TW511437B - Insulating resin composition for multilayer printed wiring board, multilayer printed wiring board using it, and process for manufacturing the same - Google Patents
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Description
511437 五、發明說明(1 ) 技術領域 本發明係相關半導體封裝等所使用的多層印刷佈線板 \ 及其製造方法;特別係相關於多層印刷佈線板之層絕緣膜 中所使用的絕緣性樹脂組成物及使用其之絕緣膜的製造。 背景技術 近年,隨電子領域的進步,而朝電子機器小型化及高 速化演進。因此,即便在直接構裝1C或LSI的封裝中,亦 講求依精細圖案的高密度化、及高信賴性。 習知在構裝有LSI等封裝中,隨LSI與構裝基板(插入 板)間的熱膨脹率差異,而將造成在接合邊界產生龜裂,導 致電性信賴度不足的問題發生。 因此,便有嘗試藉由在插入板中添加矽石塡料,俾減 少插入板的熱膨脹率,而企圖降低構裝物與被構裝物間的 熱膨脹率差。 此外,隨嚴苛的耐久性試驗,插入板本身亦將產生龜 裂的問題,因此亦期待改善構裝基板所採用絕緣材料的韌 性。 進年便有開發將聚醚楓之類熱塑性樹脂混合於環氧樹 脂中,俾賦予樹脂韌性,藉此改良此類絕緣材料中所使用 的環氧樹脂,並以其作爲熱固性樹脂使用的技術(參閱 Keizo Yamanaka and Takashi Inoue,Polymer, ν〇1·30,Ρ·662(1989))。混合二種樹脂的此類聚醚楓改性環氧 樹脂’相較於單獨環氧樹脂的情況下,可提升樹脂的韌
五、發明說明(2 ) 性。此理由乃形成恰巧相互連結且正確規律分散狀態的構 造,並形成由主成分爲環氧樹脂所組成的富環氧相,與由 主成分爲聚醚楓所組成的富聚醚楓相等相分離構造。 採用以環氧樹脂爲代表的熱固性樹脂作爲絕緣層的樹 脂基板,因爲輕量且廉價,所以不僅高密度印刷佈線板, 亦當作半導體配對晶片構裝用基板使用。但是,所要求導 體圖案細微化的步調並未停止,而持續的朝前邁進。此 時,雖產生密度強度之確保的問題,然若爲解決此,而在 將表面錨釘凹凸增大的話,便將損及細線配線圖案的均勻 性與信賴性,而引發無法同時滿足細線化與黏著強度的問 題。 在爲對較脆弱的熱固性環氧樹脂有效的賦予強韌性, 在熱硬化後必須形成熱固性樹脂與熱塑性樹脂的相分離構 造。當熱塑性樹脂與熱塑性樹脂形成均句混合,而在外觀 上具有相溶性頗接近構造之情況,在鍍銅時的表面粗化程 序中,因爲粗面表面由細微變粗造化,雖有利於細線化, 但另一方面,原本在某種程度的強韌化上具效果者,因含 有熱固性樹脂與熱塑性樹脂之聚合物合金,而將無法充分 發揮原本的強韌性。另,鎪銅黏著強度較弱的熱塑性樹脂 成分’將形成細微分散,而降低絕緣層與銅圖案間的黏著 強度。此外,當相分離構造較亂之情況時,鍍銅強度雖獲 ,提昇,但因表層粗面化過於吝亂,而將妨礙配線圖案的精 細圖案化。即,產生無法形成全部滿足強韌性、電鑛強 511437 五、發明說明(3) 度、黏著強度、及配線圖案精細圖案化之絕緣層的問題。 有鑒於斯,本發明之第一目的在於:提供一種可獲得高 耐熱性,且韌性強、熱膨脹較小,同時對銅配線具優越黏 著性,並適用於精細圖案形成用之具細微粗化表面之絕緣 層的多層印刷佈線板用絕緣性樹脂組成物。 再者,本發明之第二目的在於:提供一種具備有高耐熱 性,且韌性強、熱膨脹較小,同時對銅配線具優越黏著 性,並適用於精細圖案形成用之具細微粗化表面之絕緣層 的信賴性高之多層印刷佈線板。 再者,本發明之第三目的在於:提供一種可輕易且廉價 的製造信賴性高之多層印刷佈線板的多層印刷佈線板製造 方法;該多層印刷佈線板係具備有高耐熱性,且韌性強、 熱膨脹較小,同時對銅配線具優越黏著性,並適用於精細 圖案形成用之具細微粗化表面之絕緣層。 再者,本發明之第四目的在於:提供一種可獲得高耐熱 性,且韌性強、熱膨脹較小,同時對銅配線具優越黏著 性,並適用於精細圖案形成用之具細微粗化表面之絕緣層 的多層印刷佈線板用絕緣性樹脂層轉印薄片。 發明開示 緣是,本發明第一係提供一種多層印刷佈線板用絕緣 性樹脂組成物,係含有下述成分的樹脂組成物: i)熱塑性樹脂; π)可將與該熱塑性樹脂的混合物硬化,而形成具相分 511437 五、發明說明(4 ) 離構造的樹脂複合體之第一熱固性樹脂;及 iii)塡料; 其中,該硬化物具有細微相分離構造,且該塡料偏向 存在於富熱固性樹脂相、或富熱塑性樹脂相中任一者。 本發明第二係提供一種多層印刷佈線板,係具備有: 具第一配線圖案的基材; 形成於該基材上的絕緣層;以及 依與該第一配線圖案形成電性連接的方式,而形成於 絕緣層上的第二配線圖案; 其中,該絕緣層係實質上由具備下述成分的樹脂組成 物硬化物所形成; i) 熱塑性樹脂; ii) 可將與該熱塑性樹脂的混合物硬化,而形成具相分 離構造的樹脂複合體之第一熱固性樹脂;及 iii) 塡料; 而該硬化物具有細微相分離構造,且該塡料偏向存在 於富熱固性樹脂相、或富熱塑性樹脂相中任一者。 本發明第三係提供一種多層印刷佈線板之製造方法, 係具備有: 準備具備有下述成分: i) 熱塑性樹脂; ii) 可將與該熱塑性樹脂的混合物硬化,而形成具相分 離構造的樹脂複合體之第一熱固性樹脂;及 511437 五、發明說明(5) iii)塡料; 且,該硬化物具有細微相分離構造,且該塡料偏向存 在於富熱固性樹脂相、或富熱塑性樹脂相中任一方的樹脂 組成物,將該樹脂組成物塗佈於具第一配線圖案的基材 上,再將所獲得之絕緣性樹脂塗佈層,於產生相分離的加 熱條件下,施行熱硬化,而形成具該細微相分離構造之絕 緣層的程序;以及 在該絕緣層上,依與該第一配線圖案形成電性連接方 式,形成第二配線圖案的程序。 本發明第三係提供一種多層印刷佈線板用絕緣性樹脂 層轉印薄片,係具備有: 薄片狀支撐體;及 採用含有下述成分: i) 熱塑性樹脂; ii) 可將與該熱塑性樹脂的混合物硬化,而形成具相分 離構造的樹脂複合體之第一熱固性樹脂;及 iii) 塡料; 的多層印刷佈線板用絕緣性樹脂組成物,而在該薄片狀支 撐體上形成的乾式薄膜; 其中,該硬化物具有細微相分離構造,且該塡料偏向 存在於富熱固性樹脂相、或富熱塑性樹脂相中任一者。 圖式簡厘說明 第1圖係表示海島構造的模型圖。 511437 五、發明說明(6 ) 第2圖係表示連續球狀構造的模型圖。 第3圖係表示複合分散相構造的模型圖。 第4圖係表示共軛連續相構造的模型圖。 第5圖係絕緣性樹脂膜之一例的表面構造照片。 第6圖係絕緣性樹脂膜之另一例的表面構造照片。 第7圖係本發明中所採用乾式薄膜層合體之一例__ 的剖面示意圖。 第8圖係本發明中所採用乾式薄膜層合體之另〜例_ 造的剖面示意圖。 第9A至第9G圖係供說明本發明多層印刷佈線板; 造方法一例的示意圖。 第10圖係供說明本發明多層印刷佈線板之製造方法_ 例的方塊圖。 發_朋實施較佳態樣 本發明之多層印刷佈線板用絕緣性樹脂組成物,其# 徵在於含有下述成分的樹脂組成物: i) 熱塑性樹脂; ii) 可將與該熱塑性樹脂的混合物硬化,而形成具相分 離構造的樹脂複合體之第一熱固性樹脂;及 iii) 塡料; 其中,該樹脂組成物之硬化物具有細微相分離構造’ 且該塡料偏向存在於富熱固性樹脂相、或富熱塑性樹脂乎目 中任一者。 511437 五、發明說明(7) 再者,依照本發明較佳態樣的話,可獲得更進一步含 有iv)當將與該熱塑性樹脂的混合物予以硬化,便可形成具 相分離構造之樹脂複合體的第二熱固性樹脂;的多層印刷 佈線板用絕緣性樹脂組成物。此多層印刷佈線板用絕緣性 樹脂組成物的特徵在於,含有下述成分的樹脂組成物: i) 熱塑性樹脂; ii) 可將與該熱塑性樹脂的混合物硬化,而形成具相分 離構造的樹脂複合體之第一熱固性樹脂; iii) 塡料;以及 iv) 當將與該熱塑性樹脂的混合物予以硬化,便可形成 具相分離構造之樹脂複合體的第二熱固性樹脂; 其中,該樹脂組成物之硬化物具有細微相分離構造, 且該塡料偏向存在於富熱固性樹脂相、或富熱塑性樹脂相 中任一'者。 再者,本發明之多層印刷佈線板係採用上述絕緣性樹 脂組成物而所形成者;乃具備有: 具第一配線圖案的基材; 在基材上採用上述樹脂組成物而形成,且具有細微相 分離構造,且該塡料偏向存在於富熱固性樹脂相、或富熱 塑性樹脂相中任一者的絕緣層;以及 依與第一配線圖案形成電性連接的方式,而形成於絕 緣層上的第二配線圖案。 本發明之多層印刷佈線板的製造方法,係具備有:使用 511437 五、發明說明(8) 上述絕緣性樹脂組成物而形成絕緣層,乃依在具第一配線 圖案的基材上,塗佈上述樹脂組成物,再將所獲得絕緣性 樹脂塗佈層,於產生相分離的加熱條件下,施行熱硬化, 而形成具該細微相分離構造之絕緣層的程序;以及 在絕緣層上,依與第一配線圖案形成電性連接方式, 形成第二配線圖案的程序。 再者,本發明之多層印刷佈線板用絕緣性樹脂層轉印 薄片,係具備有在薄片狀支撐體上,塗佈上述樹脂組成 物,並經乾燥後所獲得的乾式薄膜。 依照本發明的話,藉由將至少由熱塑性樹脂、第一熱 固性樹脂、與塡料所組成的多層印刷佈線板用絕緣性樹脂 組成物,予以硬化而所獲得的絕緣層,在硬化後,將產生 熱固性樹脂與熱塑性樹脂的相分離,而形成細微相分離構 造,且藉由塡料選擇性的存在於富熱固性樹脂相或富熱塑 性樹脂相,便可同時滿足絕緣層的強韌性、絕緣層與銅配 線之黏著強度、配線圖案之精細圖案化。此外,採用本發 明樹脂組成物而所獲得的絕緣層,#至具高耐熱性,且熱 變形較少。藉此,依照本發明的話,便可提供信賴性高, 且可輕易及廉價製造的多層印刷佈線板。 再者,依照本發明之較佳態樣的話,藉由在上述多層 印刷佈線板用絕緣性樹脂組成物中,更進一步添加當將與 該熱塑性樹脂的混合物硬化時,便形成具相分離構造之樹 脂複合體的第二熱固性樹脂,可獲得特別在細微相分離構
-10- 五、發明說明(9) 造中之球狀區域的平均粒徑更小。 本發明中所採用成分⑴的熱塑性樹脂,就耐熱性觀點 言之,最好採用聚醚楓、聚楓、及聚苯撐硫等工程塑膠。 再者,若由力學特性、絕緣性、及對溶劑的溶解性等各種 觀點言之,尤以聚醚楓爲佳。 本發明所採用的聚楓,可採用習知各種化合物。聚楓 的合成例,雖可舉例如將聯苯酚A與4,4·-二氯二苯楓,施 行脫氯縮聚而成的例子,惟並不僅限於此。此外,該等聚 楓亦可如由德魯(音譯,Amoco公司產製)、屋德拉松(音 譯,BASF公司產製)而取得。 本發明所採用的聚苯撐硫,係可採用習知各種化合 物。本發明聚苯撐硫的合成例,雖可舉例如將硫化鈉與 4,4’_二氯二苯楓,施行縮聚而成的例子,惟並不僅限於 此/此外,該等聚苯撐硫亦可如德布廉(音譯,東燃化學公 司產製)、或出光PPS(出光石油化學公司產製)而取得。 本發明所採用的聚醚楓,係可採用習知各種化合物。, 此類聚醚碾之末端基的例子,可舉例如氯原子、烷氧基、 苯酚性氫氧基。特別在本發明中,藉由末端形成苯酚性氫 氧基,因爲可提升與環氧樹脂的親和性,並增加富聚醚楓 相與富環氧樹脂相之界面的相互作用,所以可提昇機械特 性,故屬較佳者。 聚醚楓樹脂的分子量,最好在1000至10000。若聚醚 楓樹脂分子量在1000以下的話,聚醚楓便無法具充分強韌 -11- 511437 五、發明說明(1〇) 性,而有脆弱的趨勢。甚至,很難與環氧樹脂形成相分離 構造,而有不易賦予絕緣性樹脂層強韌性的傾向。反之, 若超越10000的話,則因爲較不易溶解於溶劑中,所以在 處理上較困難,且當與環氧樹脂混合時,將有容易形成間 距比較大之共連續相的相分離構造之傾向,而容易對配線 圖案的精細圖案化產生不利影響。 再者,聚楓在爲於高溫水蒸氣壓偏壓測試(PCBT)等絕 緣信賴性的加速試驗中,可獲得充分的特性,最好選擇其 鹼金屬離子濃度在500ppm以下,尤以在200ppm以下爲 佳,更以在lOOppm以下爲更佳。 本發明中所採用成分(ii)的第一熱固性樹脂,可適當 選擇當與所選擇的熱塑性樹脂組合而硬化時,具有相分離 構造者。譬如環氧樹脂、氰酸酯樹脂類、雙馬來醯亞胺 類、雙馬來醯亞胺類與二胺類的加成聚合物、苯酚樹脂、 甲階酚醛樹脂、異氰酸酯、異氰酸三烯丙酯、氰酸三烯丙 酯、及含乙烯基的聚烯羥化合物,惟並不僅限於此。該等 熱固性樹脂中,就耐熱性、絕緣性等性能的平衡觀點言 之,最好爲環氧樹脂。 本發明中所採用的環氧樹脂,係可採用習知者。此類 環氧樹脂,可舉例如苯酚酚醛淸漆型環氧樹脂、甲酚酚醛 淸漆型環氧樹脂、聯苯酚A型環氧樹脂、聯苯酚F型環氧 樹脂、聯苯酚S型環氧樹脂、雙苯型環氧樹脂、雙苯酚醛 淸漆型環氧樹脂、三羥苯基甲烷型環氧樹脂、四苯乙烷型 -12- 511437 五、發明說明(11) 環氧樹脂、雙環戊二烯苯酚型環氧樹脂等含芳香族環的環 氧化合物之加氫化合物;脂環式環氧樹脂或環己烯氧化物 等各種衍生物;四溴聯苯酚A型環氧樹脂等含鹵素環氧樹 脂等,該等可單獨使用或混合使用。 其中,尤以下示化學式1所示結構的環氧樹脂,因在 耐熱性、鍍銅時的表面粗化等方面特別優越,所以最好當 作成分而添加。
本發明較佳態樣中所採用成分(iv)的第二熱固性樹 脂,可適當選擇在與所使用熱塑性樹脂相組合而硬化時, 可顯示相溶構造者。譬如環氧樹脂、氰酸酯樹脂類、雙馬 來醯亞胺類、雙馬來醯亞胺類與二胺類的加成聚合物、苯 酚樹脂、甲階酚醛樹脂、異氰酸酯、異氰酸三嫌丙酯、氰 酸三燦丙酯、及含乙嫌基的聚嫌羥化合物。該等熱固性樹 脂中,就耐熱性、絕緣性等性能的平衡觀點言之,最好爲 環氧樹脂。 使用爲第二熱固性樹脂的環氧樹脂,僅需在某種硬化 條件下,其與熱塑性樹脂的熱硬化物,可形成相溶構造的 話便可,可採用習知者。此類環氧樹脂,譬如聯苯酚A型 -13- 511437 五、發明說明(12 ) 環氧樹脂(油化昭和公司公司產製,商品名:愛畢克 828EL(音譯)、聯苯酚F型環氧樹脂、甲酚酚醛型環氧樹脂 (曰本化藥公司產製,商品名:EOCN-103S)、及縮水甘油胺 型環氧樹脂(旭汽巴公司產製),商品名:阿拉魯代德 MY721(音譯)等等,該等可單獨使用或混合使用。 本發明之絕緣性樹脂組成物中,當作第一與第二熱固 性樹脂使用的該等環氧樹脂與聚醚楓的調配比率,依聚醚 楓含量計,最好在全部樹脂乾燥成分的10重量%至40重 量%。若聚醚楓含量低於全部樹脂乾燥成分的10重量%以 下的話,便有不太能獲得聚醚楓之韌性效果的傾向;反 之,若超過40重量%的話,則將存在無法獲得充分銅黏著 強度的傾向。 在本發明較佳態樣中,第一熱固性樹脂的環氧樹脂, 與第二熱固性樹脂的環氧樹脂之重量比率,最好爲95:5至 50:50。若相對第一熱固性樹脂95重量份的第二熱固性樹 脂之重量比,低於5重量份的話,將存在硬化物的相分離 構造較難細微化的傾向。反之,若相對第一熱固性樹脂50 重量份的第二熱固性樹脂之重量比,高於50重量份的話, 則硬化物將形成接近相溶構造,而存在無法充分顯現出熱 塑性樹脂所具有強韌性的傾向。 一般上,樹脂硬化物的相構造,係依相分離速度與交 聯反應速度的競爭性反應而決定。舉環氧樹脂爲例的話, 利用控制觸媒種類及骨架構造等,而混合特性各不同的環 • 14- 511437 五、發明說明(13) 氧樹脂,並同時硬化的話,便可形成間距大小約0.1〜5 // m 的細微相分離構造。 本發明較佳實施中的第一熱固性樹脂,與第二熱固性 樹脂的組合,可認爲依所使用的熱塑性樹脂、硬化條件、 硬化劑、及硬化觸媒而有各種組合。換句話說,可自由選 擇依使硬化物週期構造的間距大小形成約0.1〜5//m,最好 爲約0 · 1〜3 // m的組合。 再者,當本發明熱固性樹脂採用環氧樹脂之情況時, 可採用習知環氧樹脂硬化劑。此類環氧樹脂硬化劑,可舉 例如苯酚酚醛淸漆等多元苯酚類、二氰胺、二胺基二苯基 甲烷、二胺二苯楓等胺系硬化劑、均苯四酸酐、偏苯三酸 酐、二苯甲酮四羧酸等酸無水物硬化劑、或該等混合物等 等。其中,就低吸水性觀點言之,最好採用苯酚酚醛淸漆 等多元苯酚類。此外,亦可採用在苯酚原料中,添加具有 蜜胺、苯胍胺等三畊構造的化合物,而所獲得之所謂胺基 三畊苯酚酚醛樹脂(ATN),與ATN的硬化物,如眾所週知 般的難燃性較高,可期待賦予難燃性效果。 環氧樹脂硬化劑的調配比率,可依與環氧樹脂的組 合,而使用任意比率。通常係依使玻璃轉化溫度變高的方 式,決定其調配比率。譬如當環氧樹脂硬化劑係採用苯酚 酚醛淸漆時,最好依環氧當量與苯酚性氫氧基當量爲1:1 方式,進行調配。此外,硬化劑中若採用ATN時,則因爲 必須隨苯酚成分與胺基三畊成分的比而進行調整,所以並 -1 5- 511437 五、發明說明(14) 不限於此。 另,本發明中所採用的絕緣性樹脂組成物,在促進硬 化反應之目的下,可添加習知硬化觸媒。譬如當熱固性樹 脂採用環氧樹脂時,可使用的硬化觸媒,可舉例如三苯 膦、三-4-甲基苯膦、三-4-甲氧基苯膦、三丁基膦、三辛基 膦、三-2-氰乙基膦等有機膦化合物及該等四苯基硼酸鹽; 三丁胺、三乙胺、1,8-二氮雙環氧樹脂(5,4,0)十一烯-7-三 戊胺等第三級胺;氯化苄基三甲基銨、氫氧化苄基三甲基 銨、三乙銨四苯基硼酸鹽等第四級銨;2-乙基咪唑、2-乙 基-4-甲基咪唑等咪唑類等等。此外,其中最好採用有機膦 化合物或咪唑類。再者,尤以採用膦化合物爲更佳。藉由 其的使用,便可更提昇絕緣信賴性。 該等硬化觸媒的調配比率,可依獲得所需凝膠時間的 方式’而依任意比率添加。通常,組成物的凝膠時間,最 好依在80〜250t:之各特定溫度下,爲1分鐘〜15分鐘方式 進行調配。 本發明中所採用成分iii)的塡料可採用習知者。譬如 有機系塡料可舉例如環氧樹脂粉末、密胺樹脂粉末、尿素 樹脂粉末、胍胺樹脂粉末、及聚酯樹脂粉末等,而無機系 塡料則可舉例如矽石、鋁土、及氧化鈦等等。 再者’塡料最好具有0.1至0.3/zni的平均粒徑。若低 於O.l^m的話,塡料間將容易凝聚,而使淸漆黏度上升, 因處理上較爲困難,導致作業性惡化,甚至亦將產生對表 -16- 511437 五、發明說明(15 ) 面粗化程序中之粗化效果影響度過小的傾向;反之,若超 過3//m的話,相分離構造將變粗略,使在鍍銅時的表面 粗化程序中,粗面化過於吝亂,而產生不適用於配線圖案 精細圖案化的傾向。 在多層印刷佈線板用絕緣性樹脂組成物中,通常在提 昇與形成於絕緣層上的無電解鍍層的黏著性之目的,或降 低熱膨脹率之目的等情況下,可添加無機或有機塡料。特 別係矽石塡料因爲介電率低,線性膨脹率低,且隨在鹼環 境下或酸環境下等表面粗化處理,容易由絕緣性樹脂中剝 脫而形成錨釘等因素,所以最好採用矽石塡料。 本發明中所採用的矽石塡料,係可採用利用濕式法或 乾式法等所合成的各種合成矽石、或將矽石粉碎的粉碎矽 石、暫時熔融的矽石等等各種物質。此外,可使用於本發 明的矽石塡料,因爲求化學粗化後的表面形狀細微化,所 以必須分散於細微相分離構造中,因此平均一階粒徑最好 爲 0.1 至 3 // m。 在本發明中,塡料的調配比率,最好塡料含量爲全部 樹脂乾燥成分的5重量%至40重量%。塡料的調配比若高 於40重量%的話,則絕緣性樹脂將變脆弱,無法賦予熱塑 性樹脂(特別指聚醚楓)強韌性;反之,若調配比低於5重 量%的話,則將不易形成化學粗化,而有不易獲得足夠電 鍍強度的傾向。 本發明絕緣性樹脂組成物之塗佈液中所採用的溶劑, -17 - 511437 五、發明說明(16) 最好使用在塗佈層乾燥烘乾之際,未殘存於塗佈層中者。 此外,聚醚楓因爲分子量較高,所以在溶劑中較容易凝膠 化。因此,最好選擇與聚醚楓具相溶性的溶劑。譬如採用 丙酮、乙甲酮(MEK)、甲苯、二甲苯、正己烷、甲醇、乙 醇、甲基溶纖素、乙基溶纖素、環己酮、N,N-二甲基乙醯 胺、甲基異丁酮(MIBK)、4-丁內酯、二甲基甲醯胺(DMF)、 正甲基-2-吡咯烷酮(NMP)、或該等混合物等。 再者,在本發明之絕緣性樹脂組成物中,配合需要, 可添加熱聚合禁止劑、可塑劑、均塗劑、消泡劑、紫外線 吸收劑、難燃化劑等添加劑及著色用顏料等。 本發明中所謂細微相分離構造,係指海島構造、連續 球狀構造、複合分散相構造、共軛連續相構造的構造週期 之間距尺寸最好約5 // m以下的細微構造。 再者,依照本發明之較佳實施態樣的話,藉由添加第 二熱固性樹脂,便可將此間距尺寸變成約3 # m以下。 再者,當細微相分離構造屬海島構造、連續球狀構 造、或複合分散相構造中之任一者時,塡料最好偏向存在 於構造中的球狀區域內。 再者,最好間距尺寸譬如球狀區域等的平均大小爲 0.1〜5/z m,尤以0.1至3> m爲佳。 若間距尺寸的平均値徑低於0.1 /z m的話,在表面粗 化後的無電解鍍銅中,將無法獲得絕緣性樹脂與銅的充分 黏著強度,有硬化物強韌性效果較降低的傾向;反之,若 -18- 511437 五、發明說明(π) 超過5 // m的話’則在鍍銅的表面粗化程序中,粗化面將 過於粗糖’而有不利於配線圖案精細圖案化的傾向。 再者’細微相分離構造係屬複合分散相構造或連續球 狀相構造’最好塡料偏向存在於富熱固性樹脂相中。 另’相關海島構造、複合分散相構造、及共軛連續相 構造(亦稱「連續相構造」),則在「聚合物合金」第325 頁(1993)東足化學同人中有詳述,而相關連續球狀構造, 貝[1 在 Keizo Y amanaka and Takashi Iniue,POLYMER, Vol.30,pp.662(1989)中有詳述。 第1圖至第4圖所示係表示該等文獻中所記載之海島 構造、連續球狀構造、複合分散相構造、及共軛連續相構 造的模型圖。 此類細微相分離構造係可藉由控制絕緣性樹脂組成物 之觸媒種類或反應溫度等硬化條件、或者控制絕緣性樹脂 組成物各成分間的相溶性等而獲得。在爲求較容易產生相 分離的情況下,可譬如採用烷基取代的環氧樹脂,而降低 與PES的相溶性,且當同一組成系統之情形時,便提高硬 化溫度、並利用選擇觸媒種類’將硬化速度便緩和’便可 獲得。 譬如當以環氧樹脂、聚醚颯、及矽石爲主成分的絕緣 性樹脂組成物時,首先在未添加塡料之情況下’將聚醚礪 與環氧樹脂混合後’當硬化時’預先調配成可形成具有約 3至5 // m以下之球狀區域的細微連續球狀構造的材料組成
-19- 511437 五、發明說明(1 8 ) 物,然後再於此混合物中,添加由矽石所構成平均粒徑〇·1 至3^m的細微塡料,藉由重新將反應溫度與反應速度最 佳化,便可獲得具細微相分離構造,且塡料選擇性分散偏 向存在於富環氧樹脂相的硬化物。可選擇性的使塡料僅分 散於富環氧樹脂相中。 第5圖所示係顯示依此方式所獲得絕緣性樹脂膜一例 之表面構造的電子顯微鏡照片。 如圖所示得知,絕緣性樹脂膜係具有由富聚醚楓相與 富環氧樹脂相所構成的共軛連續相構造,且矽石僅選擇性 的偏向存在分散於富環氧樹脂相中。另,其間距爲約3〆 m ° 再者,當屬以相異二種環氧樹脂、聚醚楓、及矽石爲 主成分的絕緣性樹脂組成物之情況時,則首先與聚醚楓混 合後,再選擇於硬化時可形成連續球狀構造之環氧樹脂的 第一熱固性樹脂。然後,當第一環氧樹脂與聚醚楓的混合 物中,在未添加塡料下進行硬化時,預先調查可形成具有 約3至5//m球狀區域之細微連續球狀構造的第一環氧樹 脂,與聚醚碾的組成比率與硬化條件。同樣的,在與聚醚 楓混合後,於硬化時,選擇具有可形成相溶構造之特性的 環氧樹脂爲第二環氧樹脂。在經預先調查過組成比率之第 一環氧樹脂與聚醚珮的混合物中,添加適當量的經選擇出 的第二環氧樹脂,藉由重新將反應溫度與反應速度最佳化 而施行硬化,便可獲得具有約0.1至3 // m尺寸球狀區域之 -20- 511437 五、發明說明(19) 細微相分離構造的絕緣性樹脂層。 再者,當上述絕緣性樹脂組成物之情況時,添加由矽 石所構成之平均粒徑0.1至3μιη的細微塡料,藉由重新將 反應溫度與反應速度最佳化而施行硬化,便可獲得具有細 微相分離構造,且塡料選擇性的分散於富環氧樹脂中的硬 化物。 第6圖所示係顯示依此方式所獲得絕緣性樹脂膜一例 之表面構造的電子顯微鏡照片。 如圖所示得知,絕緣性樹脂膜係具有由富聚醚楓相與 富環氧樹脂相所構成的共軛連續相構造,且矽石僅選擇性 的偏向存在分散於富環氧樹脂相中。而且得知其間距非常 細小,約1至2 // m。藉由具有如此細小間距的相分離構造 表面,便可使配線更精細圖案化。同時亦可提高黏著強 度。 如上述,本發明中所採用的絕緣性樹脂組成物’當其 中未添加塡料之情況時,雖形成海島構造或連續球狀構 造,但藉由添加塡料則可獲得形成細微共軛連續相構造或 複合分散相構造的樹脂絕緣層。 其次,針對採用本發明絕緣材料之多層印刷佈線板的 製造方法中,屬較佳例之所謂強化方法進行具體說明。 首先,準備具第一配線圖案的基材。 使用爲此基材的基板,可舉例如塑膠基板、陶瓷基 板、金屬基板、薄膜基板等,具體而言,最好採用如玻璃 -21 - 511437 五、發明說明(2〇) 環氧基板、雙馬來醯亞胺-三胺基板、芳香族聚醯胺纖維不 織布基板、液晶電漿基板、鋁基板、鐵基板、聚醯亞胺基 板等。 其次,在具有第一配線圖案的基材上,塗佈上述絕緣 性材料之後,利用經乾燥與熱硬化,而形成樹脂絕緣層。 在具有第一配線圖案的基材上形成上述樹脂絕緣層的 方法,可採用如將上述絕緣性樹脂組成物,利用輥輪塗佈 法、浸漬塗佈法、噴灑塗佈法、旋轉塗佈法、幕簾塗佈 法、擠壓塗佈法、絲網塗佈法等各種方式進行塗佈的方 法,或者將含有絕緣性樹脂組成物的混合液,加工呈薄膜 狀的乾式薄膜,再轉印貼附的方法。 乾式薄膜因爲可使印刷佈線板的製造程序,進行乾式 處理程序,故最好採用乾式薄膜。 乾式薄膜係經形成於薄片狀支撐體上而獲得。譬如將 本發明之樹脂組成物溶解於溶劑中,並將樹脂組成物中的 塡料進行機械式的分散後獲得淸漆,然後將所獲得的淸漆 塗佈於PET等薄片狀支撐體上,最後再將溶劑乾燥去除, 便可製成具有此種乾式薄膜的多層印刷佈線板用絕緣性樹 脂轉印薄片。 第7圖所示係顯示形成於支撐體上之多層印刷佈線板 用絕緣性樹脂轉印薄片之構造槪略圖。圖中,1係指支撐 薄膜,2係指採用本發明之絕緣性樹脂組成物兒所形成的 乾式薄膜,4係指多層印刷佈線板用絕緣性樹脂轉印薄 -22- 511437 五、發明說明(21) 片。 在上述乾式薄膜上,藉由更進一步設置保護膜的聚乙 烯薄膜,便可獲得由支撐薄膜/乾式薄膜/聚乙烯薄膜所構 成之三層構造的薄膜。 第8圖所示係顯示含有乾式薄膜之三層構造的多層印 刷佈線板用絕緣性樹脂轉印薄片構造槪略圖。圖中,1係 指支撐薄膜,2係指採用本發明之絕緣性樹脂組成物兒所 形成的乾式薄膜,3係指設計成可與乾式薄膜剝脫的保護 薄膜,5係指薄膜層合體。 當使用時,將此保護薄膜剝脫後,便可使用於具配線 圖案的基材上。 至少在支撐薄膜1與乾式薄膜2之間,或者在乾式薄 膜2與保護薄膜3之間,配合需要可形成剝離層。 在爲製成淸漆上所採用的溶劑,最好選擇可與聚醚楓 具相溶性者。此類溶劑可舉例如丙酮、乙甲酮(MEK)、甲 苯、二甲苯、正己烷、甲醇、乙醇、甲基溶纖素、乙基溶 纖素、環己酮、N,N-二甲基乙醯胺、甲基異丁酮(MIBK)、 4-丁內醯胺、4-丁內酯、二甲基甲醯胺(DMF)、正甲基-2-吡 略烷酮(NMP)等。 再者,在賦予乾式薄膜可撓性之目的下,可依在薄膜 中殘餘3重量%至25重量%溶劑左右的方式,將所塗佈的 淸漆進行乾燥。乾式薄膜中溶劑之最佳殘餘量,可依樹脂 中之可撓性成分,如聚醚楓等熱塑性樹脂及異狀環氧等的 -23- 511437 五、發明說明(22) 含量,而進行各種選擇。若乾式薄膜中之溶劑殘餘量少於 3重量%的話,便將產生龜裂,而有產生降低與支撐薄膜或 聚乙烯薄膜間之黏著性的傾向。反之,若溶劑殘餘量超過 25重量%的話,則薄膜表面將產生龜裂,在疊層時將先產 生黏著,而有無法獲得均勻層合面的傾向。 再者,樹脂絕緣層之較佳厚度,通常在20~ 100// m左 右,特別當講求較高絕緣性之情況時,亦可在其以上的厚 度。 此時的加熱條件,最好包含有在60至1 20°C下,施行 30分鐘至2小時的預烘乾處理,及在150至220°C下,施 行30分鐘至4小時的硬化處理。尤以包含有在80至100 艺下,施行50分鐘至90分鐘的預烘乾處理,及在180至 1 90 °C下,施行1至2小時的硬化處理。 當預烘乾低於60 °C的話,由塗佈層蒸發溶劑所需時間 便有增長的趨勢。反之,若超過120°C的話,在預烘乾階 段下將產生相分離,且硬化後之絕緣層相分離構造,將有 變粗糙的傾向。 再者,若預烘乾少於30分鐘的話,則殘餘塗佈層中 的溶劑將有過多的傾向;反之,若超過2小時的話,則僅 引發少許的環氧硬化反應,而有最終硬化物耐熱性較低的 傾向。 硬化溫度若低於15CTC的話,絕緣層的玻璃轉化點(Tg) 將變低,就耐熱性觀點而言,屬較不佳的狀況。反之,若 -24- 511437 五、發明說明(23) 超過220°C的話,則隨基材劣化、及強化程序中重複的硬 化,將產生降低配線圖案黏著強度的傾向。 再者,當硬化時間低於30分鐘的話,絕緣層的硬化 將嫌不足,將產生Tg降低,並可能隨殘餘溶劑的影響,而 造成各種特性的惡化。 然後,配合需要便可施行樹脂絕緣層表面的硏磨處 理。 此外,配合需要,亦可採用酸或酸化劑,對樹脂絕緣 層表面施行粗面化處理。 然後,藉由對樹脂絕緣層上,施行無電解鍍及電解 鍍,而形成供形成配線圖案的金屬層。此無電解層的方 法,最好譬如由無電解鍍銅、無電解鑛鎳、無電解鍍金、 無電解鍍銀、無電解鑛錫中任選其中一者。另,施行無電 解鍍之外,亦可施行相異種類之無電解或電解鍍,或者被 覆軟焊。 再者,配合需要,將本發明之絕緣材料,在半硬化狀 態下,預先塗佈於銅箔上,便可當作貼銅積層板使用。 另,在爲獲取與各配線圖案的電性連接上’在經硬化 後的樹脂絕緣層上,可利用雷射等形成通路孔。所謂雷 射,可採用如C02氣體雷射、或υν/YAG雷射、準分子激 光雷射等。若採用雷射的話,便可獲得較利用所謂微影法 而形成通路孔更小尺寸的通路孔。譬如在微影法中,形成 直徑80/zm左右的通路孔,但若採用UV/YAG雷射的話’
-25- 511437 五、發明說明(24 ) 便可獲得最小値徑約30 /z m爲止的通路孔。 通路孔最好在樹脂絕緣層上形成無電解鍍金屬之前, 便已形成。此乃若在已形成無電解鍍金屬層後,才形成通 路孔的話,則在通路孔中因爲無金屬層,所以無法電鍍, 結果,便無法獲得導通的通路孔之原因所致。 藉由將所獲得無電解鍍金金屬層當作電極,而施行電 鍍,便可在無電解鍍金屬層上,形成電鍍金屬層。 將所獲得鍍銅金屬層施行圖案化處理,便可形成第二 配線圖案。 此外,可採用在將無電解鍍金屬層施行圖案化處理 後,再施行電鍍,而獲得配線圖案之所謂部分蝕刻法(Semi Additive Process ; SAP 製程)。 在依此方式所獲得第二配線圖案上,藉由重複使用上 述程序,便可層合配線。藉由採用強化工法,便可輕易的 形成細微多層配線板。 實施例 以下,顯示實施例,針對本發明之絕緣性樹脂組成物 及多層印刷佈線板進行具體的說明。 其中,各絕緣性樹脂的剖面構造,係採用SEM進行觀 察。各相的組成物,係利用ΕΡΜΑ進行鑑定。 實施例1 首先,將第一熱固性樹脂的耐熱性環氧樹脂(住友化學 公司產製,商品名「ΤΜΗ574」)100.0重量份、難燃性環氧
-26- 511437 五、發明說明(25) 樹脂(油化昭和公司產製,商品名「E5050」)46·5重量份、 苯酚樹脂(日本化藥公司產製)61.6重量份、及屬熱塑性樹 脂之末端苯酚改性聚醚楓(住友化學公司產製,商品名「斯 米佳克謝爾5003P」)89.2重量份,溶解於4-丁內酯與正丁 基2-吡咯烷酮的混合溶劑中。 在此溶液中,將矽石塡料(龍森公司產製,商品名「1 -FX」,平均粒徑3.0 μ m)127.4重量份與硬化觸媒 2E4MZ(東京化成公司產製)〇.3重量份,利用攪練輥進行分 散後,經攪拌及脫泡後,便獲得多層印刷佈線板用絕緣性 樹脂組成物。 第9A圖至第9G圖所示係相關本發明多層印刷佈線板 製造方法一例的說明圖。 另,第10圖所示係供說明本發明多層印刷佈線板之 製造程序的方塊圖。 如第9A圖所示般,首先,準備雙面上具有經施行黑 化處理之銅配線圖案的玻璃環氧基板6。如第9B圖所示, 在玻璃環氧基板6上,將上述多層印刷佈線板用絕緣性樹 脂組成物,利用旋塗機,塗佈呈約40 /z m厚度,然後採用 乾燥烤箱,在80°C下乾燥一小時,接著再於180°C下施行 2小時的熱硬化處理。而形成樹脂絕緣層8。如第9圖所 示,對樹脂絕緣層表面施行硏磨。 其次,如第9D圖所示,在上述樹脂絕緣薄層3表面 上,利用UV/YAG雷射加工,開設通路孔10,直到達銅配 -27- 511437 五、發明說明(26) 線圖案7爲止。然後,如第9E圖所示,採用藥液,經化學 粗化’利用污染去除處理去除不必要的毛邊等之後,再施 行無電解鍍。 之後’如第9F圖所示,將所獲得無電解鍍層9當作 電極,施行電鍍,俾形成厚度約18/zm的銅電鍍層11,而 獲得試驗樣品。另,如第9G圖所示,採用蝕刻液,對銅電 鍍層施行蝕刻處理,而獲得多層印刷佈線板。 相關所獲得樣品,施行以下試驗、及評估。結果顯示 於表1中。另,相關除未添加塡料之外,其餘採用如同上 述絕緣性樹脂組成物相同的組成物,並經硬化過的樹脂絕 緣層之相分離構造,亦一併記載於表1中。 黏著強度試驗 黏著強度係根據JIS-C6481,利用寬lcm圖案的90度 剝脫試驗進行調查。 細微導體層形成能力試驗 在爲調查細微導體形成能力上,便於樹脂絕緣層上, 利用部分蝕刻法形成LINE/SPACE = 20/zm/20/zm的細微圖 案,並使用光學顯微鏡觀察圖案形成。將由配線圖案頂端 至底端缺損者設爲良好,而將特別係指在底部邊緣有部分 缺損,便評估爲部分蝕刻缺陷,甚至某種程度不良的不佳 狀況。 絕緣樹脂層確認到在硬化時將引發旋節線分解,而使 多官能基環氧樹脂與聚醚楓形成細微相分離構造,且塡料 -28- 511437 五、發明說明(27) 實質選擇性的存在於多官能環氧樹脂相區域中。 冷熱衝擊試驗 在爲調查絕緣性樹脂層韌性上,將基板在-65〜150°C下 施行1000次循環的冷熱衝擊試驗,而調查絕緣性樹脂層上 有無龜裂。 絕緣信賴性試驗 在爲調查樹脂絕緣層的絕緣信賴性上,採用直徑lcm 0之對向電極圖案,在121度C、85%、20V條件下,施行 100小時的絕緣阻抗質測量,將阻抗値維持於1〇6Ω以上者 設定爲合格者。 回流信賴性試驗 再者,在爲調查電鍍圖案的回流信賴性上,將設置有 各種導體圖案的基板,在IEDEC LEVEL1條件下,施行吸 濕保存的前處理之後,再於240°C下,施行軟焊回流試驗5 次,然後觀察圖案剝脫等不佳情況。將在所有試驗中均未 產生剝落者設定爲OK,在第4至5次試驗中,圖案便產生 剝落的情況,設定爲圖案剝落度小;在第1至3次的試驗 中,圖案便產生剝落的情況,設定爲圖案剝落度大,而進 行各種評估。 再者,在此例中,雖僅基板單面形成配線,但亦可雙 面均形成配線。 實施例2 首先,將第一熱固性樹脂的耐熱性環氧樹脂(住友化學 -29- 511437 五、發明說明(28) 公司產製,商品名「TMH574」)100.0重量份、難燃性環氧 樹脂(油化昭和公司產製,商品名「E5050」)46.5重量份、 苯酚樹脂(日本化藥公司產製)61.6重量份、及屬熱塑性樹 脂之末端苯酚改性聚醚楓(住友化學公司產製,商品名「斯 米佳克謝爾5003P」)89.2重量份,溶解於4-丁內酯與正丁 基2-吡咯烷酮的混合溶劑中。 在此溶液中,將矽石塡料(日本矽石工業公司產製,商 品名「NIPGEL CX-200」,平均粒徑1.7/zm)127.4重量份 與硬化觸媒2E4MZ(東京化成公司產製)〇.3重量份,利用攪 練輥進行分散後,經攪拌及脫泡後,便獲得多層印刷佈線 板用絕緣性樹脂組成物。 其次,採用上述絕緣性樹脂組成物,依照如同實施例 1的方法,製成印刷佈線板,並進行評估。所獲得結果, 如表1中所示。 實施例3 首先,將第一熱固性樹脂的耐熱性環氧樹脂(日本化藥 公司產製,商品名「EOCN103S」)100.0重量份、難燃性環 氧樹脂(油化昭和公司產製,商品名「E5050」)46.5重量 份、苯酚樹脂(日本化藥公司產製)61.6重量份、及屬熱塑 性樹脂之末端苯酚改性聚醚楓(住友化學公司產製,商品名 「斯米佳克謝爾5003P」)89.2重量份,溶解於4-丁內酯與 正丁基2-吡咯烷酮的混合溶劑中。 在此溶液中,將矽石塡料(日本奧德瑪的斯公司產 -30- 511437 五、發明說明(29) 製),商品名「ADMAFINE S0-C2」,平均粒徑 0.5 // m)127.4重量份與硬化觸媒2E4MZ(東京化成公司產製)〇.3 重量份,利用攪練輥進行分散後,經攪拌及脫泡後,便獲 得多層印刷佈線板用絕緣性樹脂組成物。 其次,採用上述絕緣性樹脂組成物,依照如同實施例 1的方法,製成印刷佈線板,並進行評估。所獲得結果, 如表1中所示。 實施例4 首先,將第一熱固性樹脂的耐熱性環氧樹脂(日本化藥公司 產製,商品名「EPPN502H」)100.0重量份、難燃性環氧樹 脂(油化昭和公司產製,商品名「E5050」)46.5重量份、苯 酚樹脂(日本化藥公司產製)61.6重量份、及屬熱塑性樹脂 之末端苯酚改性聚醚楓(住友化學公司產製,商品名「斯米 佳克謝爾5003P」)89.2重量份,溶解於4-丁內酯與正丁基 2-吡咯烷酮的混合溶劑中。 在此溶液中,將矽石塡料(日本奧德瑪的斯公司產 製),商品名「ADMAFINE SO-C2」,平均粒徑 0.5 # m)127.4重量份與硬化觸媒2E4MZ(東京化成公司產製)0.3 重量份’利用攪練輥進行分散後,經攪拌及脫泡後,便獲 得多層印刷佈線板用絕緣性樹脂組成物。 其次,採用上述絕緣性樹脂組成物,利用乾燥烤箱, 在180°C、2小時下施行熱硬化處理。之後,便依照如同實 施例1的方法,製成印刷佈線板,並進行評估。所獲得結
_31 - 511437 五、發明說明(30) 果,如表1中所示。 表1 實施例1 實施例2 實施例3 實施例4 耐熱性環氧棚旨 TMH574 TMH574 EOCN103S EPPN502H 塡料(平均粒徑 1-FX NIPGEL Adma Fine SO-C2 Adma Fine SO-C2 (0.3) CX-200 (1.7) (0.5) (0.5) 未添加塡料而硬 纖球狀構造 麵球狀構造 連續球狀構造 麵球狀構造 化時之相分離構 造(平均區域直徑 [_) (0.1-5.0) (0.1-5.0) (0.1-5.0) (0.1-5.0) 添加塡料而硬化 細微相分離構造 細微相分離構造 細微相分離構造 細微相分離構造 時的構造 或細微複合分散 或細微複合分散 或細微複合分散 或細微複合分散 相構造 相構造 相構造 相構造 黏著強度 (kg/cm) 1.1 0.9 0.8 0.8 形成細微導體層 的能力 佳 佳 佳 佳 冷熱衝擊試驗 〇 〇 〇 〇 絕緣信賴試驗 合格 合格 合格 合格 回流信賴性 OK 圖案稍微剝落 OK OK 比較例1 首先,將耐熱耐熱性環氧樹脂(汽巴嘉基公司產製,商 品名「MY721」)100.0重量份、難燃性環氧樹脂(油化昭和 公司產製),商品名「E5050」)46.5重量份、苯酚樹脂(日 本化藥公司產製)61.6重量份、及屬熱塑性樹脂之末端苯酚 改性聚醚楓(住友化學公司產製,商品名「斯米佳克謝爾 5003P」)89.2重量份,溶解於4-丁內酯與正丁基2-吡咯烷 -32- 511437 五、發明說明(31) 酮的混合溶劑中。 在此溶液中,將矽石塡料(日本奧德瑪的斯公司產 製),商品名「ADMAFINE S0-C2」,平均粒徑〇·5 # m)127.4重量份與硬化觸媒2Ε4ΜΖ(東京化成公司產製)0.3 重量份,利用攪練輥進行分散後,經攪拌及脫泡後,便獲 得多層印刷佈線板用絕緣性樹脂組成物。 其次,採用上述絕緣性樹脂組成物,於18(TC、2小 時條件下,形成樹脂層,然後依照如同實施例1的方法, 製成印刷佈線板,並進行評估。所獲得結果,如表2中所 示0 比較例2 首先’將耐熱耐熱性環氧樹脂(日本化藥公司產製,商 品名「157S70」)100.0重量份、難燃性環氧樹脂(油化昭和 公司產製),商品名「E5050」)46.5重量份、苯酚樹脂(日 本化藥公司產製)61·6重量份、及屬熱塑性樹脂之末端苯酚 改性聚醚楓(住友化學公司產製,商品名「斯米佳克謝爾 5003Ρ」)89.2重量份,溶解於4-丁內酯與正丁基2-吡咯烷 酮的混合溶劑中。 在此溶液中,將矽石塡料(龍森公司產製,商品名「1 -FX」,平均粒徑 0.3 // m)127.4重量份與硬化觸媒 2E4MZ(東京化成公司產製)〇.3重量份,利用攪練輥進行分 散後,經攪拌及脫泡後,便獲得多層印刷佈線板用絕緣性 樹脂組成物。 -33- 511437 五、發明說明(32) 其次,採用上述絕緣性樹脂組成物,如同實施例1的 方法製成印刷佈線板,並進行評估。所獲得結果,如表2 中所示。 實施例5 首先,將耐熱耐熱性環氧樹脂(住友化學工業公司產 製,商品名「TMH574」)100.0重量份、難燃性環氧樹脂 (油化昭和公司產製,商品名「E5050」)25.1重量份、苯酚 樹脂(日本化藥公司產製)56.0重量份、及末端苯酚改性聚 醚碾(住友化學公司產製,商品名「斯米佳克謝爾 5003P」)89.2重量份,溶解於4-丁內酯與正丁基2-吡咯烷 酮的混合溶劑中。 在此溶液中,將矽石塡料(日本矽石公司產製,商品名 「NIPGEL AY-460」,平均粒徑3.0// m)103.5重量份與硬 化觸媒2E4MZ(東京化成公司產製)0.2重量份,利用攪練輥 進行分散後,經攪拌及脫泡後,便獲得多層印刷佈線板用 絕緣性樹脂組成物。 其次,採用上述絕緣性樹脂組成物,依照如同實施例 1的方法製成印刷佈線板,並進行評估。所獲得結果,如 表2中所示。 實施例6 首先,將耐熱耐熱性環氧樹脂(住友化學工業公司產 製’商品名「TMH574」)100.0重量份、難燃性環氧樹脂 (油化昭和公司產製,商品名「E505 0」)46.5重量份、苯酚 -34- 511437 五、發明說明(33) 樹脂(日本化藥公司產製)61.6重量份、及末端苯酚改性聚 醚碾(住友化學公司產製,商品名「斯米佳克謝爾 5003P」)89.2重量份,溶解於4-丁內酯與正丁基2-吡咯烷 酮的混合溶劑中。 在此溶液中,將樹脂塡料(積水化成工業公司產製,商 品名「SBX-6」)127.4重量份與硬化觸媒2E4MZ(東京化成 公司產製)0.3重量份,利用攪練輥進行分散後,經攪拌及 脫泡後,便獲得多層印刷佈線板用絕緣性樹脂組成物。 其次,採用上述絕緣性樹脂組成物,依照如同實施例 1的方法製成印刷佈線板,並進行評估。所獲得結果,如 表2中所示。 比較例3 首先,將耐熱耐熱性環氧樹脂(住友化學工業公司產 製’商品名「TMH574」)100.0重量份、難燃性環氧樹脂 (油化昭和公司產製,商品名「E5050」)46.5重量份、苯酚 橫f脂(日本化藥公司產製)61.6重量份、末端苯鼢改性聚醚 »(住友化學公司產製,商品名「斯米佳克謝爾 50G3P」)89.2重量份,及硬化觸媒2E4MZ(東京化成公司產 _)〇·2重量份,溶解於4-丁內酯與正丁基2-吡咯烷酮的混 合溶劑中。 其次,採用上述絕緣性樹脂組成物,依照如同實施例 1方法製成印刷佈線板,並進行評估。所獲得結果,如 表2中所示。 -35- 511437 五、發明說明(34 )
表2 比較例1 比較例2 實施例5 實施例6 比較例3 耐熱性環氧 MY721 157S70 TMH 574 TMH 574 TMH 574 塡料(平均粒徑 [/im]) Adma Fine SO-C2 (0.5) 1-FX (0.3) NIPGEL AY-460 (3.0) SBX-6 (6.0) Μ j\w 未添加塡料而硬 化時之相分離構 造(平均區域直 徑[#m]) 相溶構造 連續球狀構 造 (>5.0) 連續球狀構造 (0.1-5.0) 連續球狀構造 (0.1-5.0) 連續球狀構造 (0.1-5.0) 添加塡料而硬化 時的構造 相溶構造 共軛連續相 構造 共軛連續相構 造 共軛連續相構 造 連續球狀構造 黏著強度 (kg/cm) 0.3 0.5 0.6 0.6 0.3 形成細微導體層 的能力 佳 佳 部分邊緣缺損 部分邊緣缺損 不佳 冷熱衝擊試驗 〇 — 〇 〇 一 絕緣信賴試驗 合格 合格 合格 合格 合格 回流信賴性 OK OK 圖案稍微剝落 OK OK 如表1與表2所示般,確認若耐熱性環氧TMH574、 EOCN103S、EPPN502H,在未添力口塡料便硬化的話,便將 形成0.1 // m至5 // m的細微連續球狀構造。此外,耐熱性 環氧MY721係當未添加塡料便硬化的話,依SEM觀察則 屬無法發現具明確相分離構造的相溶構造,耐熱性環氧 1 57S70則形成5// m以上大小的連續球狀構造區域。 利用上述實施例與比較例,在本發明之絕緣性樹脂中 分散矽石塡料,便可顯現出較高的黏著強度。反之,得知 -36 - 511437 五、發明說明(35) 採用比較例1的耐熱性環氧MY721,其黏著強度便屬較 低。此可推定乃因絕緣性樹脂未形成細微相分離構造,所 以並未賦予屬熱塑性樹脂充分聚醚楓強韌性的原因所致。 當未添加塡料而硬化之際,當使用形成5/zm以下區 域的多官能基環氧,且採用粒徑0.1至3^m之矽石塡料的 情況下,便發現可形成LINE/SPACE = 20/20 /z m的細微配線 圖案。此外,相關已形成細微配線圖案的絕緣性樹脂,在 所有的組成中,均可顯現出較高的冷熱衝擊試驗耐性。 再者,如實施例5與實施例6所示般,若塡料粒徑 3.0// m以上的話,雖細微導體層形成能力與回流信賴性有 若干惡化的情況產生,但終究可確認具實用性能。 當採用依乾式所製成的矽石塡料與樹脂塡料之情況 時,便顯現出可維持絕緣性與兼具耐熱性的性能。 其次,相關本發明較佳時吃態樣的實施例,如下所 示0 實施例7 首先,將屬熱塑性樹脂之末端苯酚改性聚醚楓(住友化 學公司產製,商品名「斯米佳克謝爾5003P」)100.0重量 份、第一熱固性樹脂的多官能基環氧樹脂(住友化學公司產 製,商品名「TMH574」)166.8重量份、第二熱固性樹脂的 聯苯酚A型環氧樹脂(油化昭和公司產製,商品名「愛比碼 8 2 8EL」)96.2重量份、苯酚樹脂(日本化藥公司產製)137.1 重量份,溶解於4-丁內酯與正丁基2-吡咯烷酮的混合溶劑 - 37- 511437 五、發明說明(36) 中。 在此溶液中’將矽石塡料(龍森公司產製,商品名「^ FX」)125.0重量份、硬化觸媒2-乙基-4_甲基咪唑(東京化 成公司產製,商品名「2E4MZ」)0.5重量份、及矽烷偶合 劑(信越化學公司產製)3.8重量份,利用攪練輥進行分散 後’經攪拌及脫泡後,便獲得多層印刷佈線板用絕緣性樹 脂組成物。 其次’採用上述絕緣性樹脂組成物,依照如同實施例 1的方法,製成印刷佈線板。 針對所獲得樣品,進行以下的實驗及評估。結果如表 3中所示。另,針對除未添加塡料之外,採用上述絕緣性 樹脂組成物相同的組成物,並經硬化過之樹脂絕緣層的相 分離構造,亦一倂記載於表3中。 黏著強度試驗 如同實施例1。 玻璃轉化點測量試驗 採用精工電子工業公司產製DM6100,施行動態黏彈 性測量,利用100Hz中的介質損耗角試驗,求取玻璃轉化 點。 相構造觀察試驗 將樹脂絕緣層截面,利用硏磨機予以平滑化後,在利 用鹼/過錳酸鹽溶液,施行輕蝕刻,然後在施行SEM觀察 測量細微相分離構造的間距尺寸。 -38- 511437 五、發明說明(37) 細微導體層形成能力試驗 在爲調查細微導體形成能力上,便於樹脂絕緣層上, 利用部分蝕刻法形成LINE/SPACE = 20//m/20/zm的細微圖 案,並使用光學顯微鏡觀察圖案形成。將由配線圖案頂端 至底端缺損者設爲良好,而將特別係指在底部邊緣有部分 缺損,便評估爲部分蝕刻缺陷,甚至某種程度不良的不佳 狀況。 實施例8 將屬熱塑性樹脂之末端苯酚改性聚醚楓(住友化學公司 產製,商品名「斯米佳克謝爾5003P」)100.0重量份、第一 熱固性樹脂的多官能基環氧樹脂(住友化學公司產製,商品 名「TMH574」)183.8重量份、第二熱固性樹脂的縮水甘油 胺型環氧樹脂(旭汽巴公司產製,商品名「阿拉爾達德 MY721」)65·5重量份,溶解於4-丁內酯與正丁基2-吡咯烷 酮的混合溶劑中。 在此溶液中,將矽石塡料(龍森公司產製,商品名「1-FX」)125.1重量份、與硬化觸媒2-乙基-4-甲基咪唑(東京 化成公司產製)3· 8重量份,利用攪練輥進行分散後,經攪 拌及脫泡後,便獲得多層印刷佈線板用絕緣性樹脂組成 物。 其次,採用上述絕緣性樹脂組成物,依照如同實施例 1的方法,製成印刷佈線板。 針對所獲得樣品’如同實施例7般,進行試驗及評 -39- 五、發明說明(38) 估。結果如表3中所示。 實施例9 將屬熱塑性樹脂之末端苯酚改性聚醚碾(住友化學公司 產製,商品名「斯米佳克謝爾5003P」)100.0重量份、第一 熱固性樹脂的多官能基環氧樹脂(日本化藥公司產製,商品 名「EPPN-502H」)84.0重量份、第二熱固性樹脂的聯苯酚 A型環氧樹脂(油化昭和公司產製,商品名「愛比碼 828EL」)61.6重量份、及苯酚樹脂(日本化藥公司產製)87.8 重量份,溶解於4-丁內酯與正丁基2-吡咯烷酮的混合溶劑 中 〇 在此溶液中,將矽石塡料(龍森公司產製,商品名「1-FX」)83.3重量份、硬化觸媒2-乙基-4-甲基咪唑(東京化成 公司產製)0·3重量份、及矽烷偶合劑(信越化學公司產 製)2·5重量份,利用攪練輥進行分散後,經攪拌及脫泡 後,便獲得多層印刷佈線板用絕緣性樹脂組成物。 其次’採用上述絕緣性樹脂組成物,依照如同實施例 1的方法,製成印刷佈線板。 針對所獲得樣品,如同實施例7般,進行試驗及評 估。結果如表3中所示。 實施例10 將屬熱塑性樹脂之末端苯酚改性聚醚楓(住友化學公司 產製,商品名「斯米佳克謝爾5003Ρ」)100.0重量份、第一 熱固性樹脂的多官能基環氧樹脂(日本化藥公司產製,商品 -40- 511437 五、發明說明(3 9) 名「EPPN-502H」)79.5重量份、第二熱固性樹脂的縮水甘 油胺型環氧樹脂(旭汽巴公司產製,商品名「阿拉爾達德 MY721」)54.1重量份、及苯酚樹脂(日本化藥公司產 製)99·7重量份,溶解於4-丁內酯與正丁基2-吡咯烷酮的混 合溶劑中。 在此溶液中,將矽石塡料(龍森公司產製,商品名「1-FX」)83.4重量份、硬化觸媒2-乙基-4-甲基咪唑(東京化成 公司產製)0.3重量份、及矽烷偶合劑(信越化學公司產 製)2·5重量份,利用攪練輥進行分散後,經攪拌及脫泡 後’便獲得多層印刷佈線板用絕緣性樹脂組成物。 其次,採用上述絕緣性樹脂組成物,依照如同實施例 1的方法,製成印刷佈線板。針對所獲得樣品,如同實施 例7般,進行試驗及評估。結果如表3中所示。 實施例11 將屬熱塑性樹脂之末端苯酚改性聚醚楓(住友化學公司 產製,商品名「斯米佳克謝爾5003Ρ」)100.0重量份、第一 熱固性樹脂的甲酚酚醛淸漆型環氧樹脂(日本化藥公司產 製,商品名「EOCN-103S」)81.6重量份、第二熱固性樹脂 的聯苯酚A型環氧樹脂(油化昭和公司產製,商品名「愛比 碼8 28EL」)70.9重量份、及苯酚樹脂(日本化藥公司產 製)80.8重量份,溶解於4-丁內酯與正丁基2-吡咯烷酮的混 合溶劑中。 在此溶液中,將矽石塡料(龍森公司產製,商品名 -41 - 511437 五、發明說明(4〇) 「Adma Fine S0-C2」)83.3重量份、硬化觸媒2-乙基-4-甲 基咪唑(東京化成公司產製)0.3重量份、及矽烷偶合劑(信 越化學公司產製)2.5重量份,利用攪練輥進行分散後,經 攪拌及脫泡後,便獲得多層印刷佈線板用絕緣性樹脂組成 物。 其次,採用上述絕緣性樹脂組成物,依照如同實施例 1的方法,製成印刷佈線板。 針對所獲得樣品,如同實施例7般,進行試驗及評 估。結果如表3中所示。 實施例12 將屬熱塑性樹脂之末端苯酚改性聚醚楓(住友化學公司 產製,商品名「斯米佳克謝爾5003P」)100.0重量份、第一 熱固性樹脂的甲酚酚醛淸漆型環氧樹脂(日本化藥公司產 製,商品名「EOCN-103S」)59.4重量份、第二熱固性樹脂 的縮水甘油胺型環氧樹脂(旭汽巴公司產製,商品名「阿拉 爾達德MY721」)31.9重量份、及苯酚樹脂(日本化藥公司 產製)5 8.8重量份,溶解於4-丁內酯與正丁基2-吡咯烷酮的 混合溶劑中。 在此溶液中,將矽石塡料(龍森公司產製,商品名 「Adma Fine SO-C2」)62.5重量份、硬化觸媒2-乙基-4-甲 基咪唑(東京化成公司產製)0.3重量份、及矽烷偶合劑(信 越化學公司產製)1.9重量份,利用攪練輥進行分散後,經 攪拌及脫泡後,便獲得多層印刷佈線板用絕緣性樹脂組成 -42· 511437 五、發明說明(41) 物。 其次,採用上述絕緣性樹脂組成物,依照如同實施例 1的方法,製成印刷佈線板。 針對所獲得樣品,如同實施例7般,進行試驗及評 估。結果如表4中所示。 實施例13 將屬熱塑性樹脂之末端苯酚改性聚醚碾(住友化學公司 產製,商品名「斯米佳克謝爾5003P」)100.0重量份、第一 熱固性樹脂的多官能基環氧樹脂(住友化學公司產製,商品 名「TMH574」)152.9重量份、第二熱固性樹脂的聯苯酚A 型環氧樹脂(油化昭和公司產製,商品名「愛比碼 828£1^」)3.2重量份、及苯酚樹脂(日本化藥公司產製)7 7.2 重量份,溶解於4-丁內酯與正丁基2-吡咯烷酮的混合溶劑 中 〇 在此溶液中,將矽石塡料(龍森公司產製,商品名「1-FX」,平均粒徑3·0// πι)83·3重量份、硬化觸媒2-乙基-4-甲基咪唑(東京化成公司產製)〇·3重量份、及矽烷偶合劑 (信越化學公司產製)2.5重量份’利用攪練輥進行分散後’ 經攪拌及脫泡後’便獲得多層印刷佈線板用絕緣性樹脂組 '成物。 其次,採用上述絕緣性樹脂組成物,依照如同實施例 1的方法,製成印刷佈線板。 針對所獲得樣品,如同實施例7般’進行試驗及評
-43- 511437 五、發明說明(42) 估。結果如表4中所示。 實施例1 4 將屬熱塑性樹脂之末端苯酚改性聚醚楓(住友化學公司 產製,商品名「斯米佳克謝爾5003P」)100.0重量份、第一 熱固性樹脂的多官能基環氧樹脂(住友化學公司產製,商品 名「TMH574」)78.8重量份、第二熱固性樹脂的縮水甘油 胺型環氧樹脂(旭汽巴公司產製,商品名「阿拉爾達德 MY721」)2.4重量份、及苯酚樹脂(日本化藥公司產製)41.1 重量份,溶解於4-丁內酯與正丁基2-吡咯烷酮的混合溶劑 中。 在此溶液中,將矽石塡料(龍森公司產製,商品名 「Adma Fine SO-C2」55.6重量份、硬化觸媒2-乙基-4-甲 基咪唑(東京化成公司產製)0.2重量份、及矽烷偶合劑(信 越化學公司產製)1·7重量份,利用攪練輥進行分散後,經 攪拌及脫泡後,便獲得多層印刷佈線板用絕緣性樹脂組成 物。 其次,採用上述絕緣性樹脂組成物,依照如同實施例 1的方法,製成印刷佈線板。 針對所獲得樣品,如同實施例7般,進行試驗及評 估。結果如表4中所示。 實施例15 將屬熱塑性樹脂之末端苯酚改性聚醚碾(住友化學公司 產製,商品名「斯米佳克謝爾5003Ρ」)100.0重量份、第一 •44- 五、發明說明(43) 熱固性樹脂的多官能基環氧樹脂(住友化學公司產製,商品 名「TMH574」)131.7重量份、第二熱固性樹脂的聯苯酚a 型環氧樹脂(油化昭和公司產製,商品名「愛比碼 828」)83.1重量份、及三畊改性苯酚酹醛淸漆樹脂(大日本 油墨化學工業公司產製,商品名「KA-7502L」)68.6重量 份,溶解於4-丁內酯與正丁基2-吡咯烷酮的混合溶劑中。 在此溶液中,將矽石塡料(龍森公司產製,商品名 「Adma Fine S0-C2」83·4重量份、硬化觸媒2-乙基-4-甲 基咪唑(東京化成公司產製)0·3重量份、及矽烷偶合劑(信 越化學公司產製)2.5重量份,利用攪練輥進行分散後,經 攪拌及脫泡後,便獲得多層印刷佈線板用絕緣性樹脂組成 物。 其次,採用上述絕緣性樹脂組成物,依照如同實施例 1的方法,製成印刷佈線板。 針對所獲得樣品,如同實施例7般,進行試驗及評 估。結果如表4中所示。 表3 實施例7 實施例8 實施例9 實施例10 實施例11 第一熱固性 ΤΜΗ ΤΜΗ ΕΡΡΝ- ΕΡΡΝ-502Η ECON-103S 樹脂 574 574 502Η 第二熱固性 愛比碼828EL 阿拉魯代德 愛比碼 阿拉魯代德 愛比碼828EL 樹脂 ΜΥ721 828EL ΜΥ721 PES添加量 20 20 30 30 30 (%) 塡料平均粒 1-FX 1-FX 1-FX 1-FX Adma Fine SO- 徑[//111] (0.3) (0.3) (0.3) (0.3) C2 - 45- 511437 五、發明說明(44) 相分離構造 (平均間距 尺寸//m) 共軛連續相構 造 (1.0-1.5) 共軛連續相構 造 (1.0-2.0) 共轭連續 相構造 (1.0-1.0) 共軛連續相構 造 (0.5-1.0) 共軛纖相構造 (1.5-2.5) 形成細微導 體層的能力 佳 佳 佳 佳 佳 黏著強度 (kg/cm) 0.8 0.8 0.7 0.7 0.7 玻璃轉化點 CC) 230 242 227 241 226 表4 實施例12 實施例13 實施例14 實施例15 第一熱固性樹脂 ECON-103S TMH TMH ΤΜΗ 574 574 574 第二熱固性樹脂 阿拉魯代德 愛比碼828EL 阿拉魯代德 愛比碼828EL MY721 MY721 PES添加量 Adma Fine SO-C2 1-FX(0.3) Adma Fine SO- Adma Fine S0-C2 (%) (0.5) C2 (0.5) (0.5) 塡料平均粒徑[/i 40 30 45 30 m] 相分離構造 共軛連續相構造 共軛連續相構 共軛連續相構 共軛連續相構造 (平均間距尺寸μ (2.0-3.0) 造 造 (10 〜3.0) m) (3.0 〜5.5) (2·5~5.0) 形成細微導體層 佳 部分邊緣缺損 部彌緣缺損 佳 的能力 黏著強度 0.7 0.9 0.9 0.9 (kg/cm) 玻璃轉化點(。C) 237 , 238 235 214 如表3與表4所示得知,若採用本發明知絕緣性樹脂 組成物的話,特別可獲得相分離構造間距尺寸更細微,且-4 6 - 511437 五、發明說明(45) 黏著強度更高的多層印刷佈線板。 另,如實施例13與12中所示得知,若第一熱固性樹 脂與第二熱固性樹脂的重量比,在95:5至5 0:50範圍之外 的話,間距尺寸將多少有增大,且黏著強度亦有若干變差 的現象。 實施例16 將屬熱塑性樹脂之末端苯酚改性聚醚碾(住友化學公司 產製,商品名「斯米佳克謝爾5003P」)100.0重量份(以 下,「調配量」全部均表「重量份」)、第一熱固性樹脂的 多官能基環氧樹脂(住友化學公司產製,商品名 「TMH574」)132.1重量份、第二熱固性樹脂的聯苯酚A型 環氧樹脂(油化昭和公司產製,商品名「愛比碼 828」)23.36重量份、及苯酚樹脂(日本化藥產產製)77.8重 量份,溶解於4-丁內酯與正丁基2-吡咯烷酮的混合溶劑 中。 在此溶液中,將矽石塡料(龍森公司產製,商品名「1 -FX」)83.3重量份、硬化觸媒2-乙基-4-甲基咪唑(東京化成 公司產製)0.3重量份、及矽烷偶合劑(信越化學公司產 製)2.5重量份,利用攪練輥進行分散後,經攪拌及脫泡 後,便獲得含有本發明之樹脂組成物的淸漆。 將所獲得淸漆,在厚度35// m的PET薄膜上,依乾燥 後膜厚爲約50//m的方式,利用輥塗佈機進行塗佈,並利 用120 °C的乾燥溫度,於乾燥爐內進行乾燥,而獲得具有 -47- 511437 五、發明說明(46) 如第7圖所示構造的乾式薄膜層合體。此時乾式薄膜中的 殘餘溶劑量,約15重量%。 其次,準備具有經施行使具有如同第9圖所示構造之 黑化與無光輝處理之銅配線圖案的玻璃環氧基板。 然後,將此乾式薄膜層合體,採用加壓真空壓層機, 壓層於此玻璃環氧基板的雙面上。在穿孔內無空隙的塡入 樹脂之較佳條件爲溫度130°C、壓力3kgf/cm2、加壓時間 10秒、真空度1托以下。之後,放置冷卻至室溫附近,將· PET薄膜剝落,於180°C下施行2小時的熱硬化處理,便如 第9C圖所示,在玻璃環氧基板上,形成樹脂絕緣層。 接著,在如第9D圖所示,於特定部位處,利用 UV/YAG雷射,開設通路孔。其次,如第9E圖所示,利用 鹼/過錳酸鹽溶液,將所獲得樹脂絕緣層表面予以粗面化, 並施行去除此通路孔之窗底部污染的處理。 然後,對上述樹脂絕緣層表面施行無電解鑛,而獲得 無電解鍍金屬層。之後將所獲得無電解鍍金屬層當作電 極’而施行電鍍,而形成厚度約18/zm的鍍銅層。將此鍍 銅層施行圖案化處理,而製成本發明之多層印刷佈線板。 針對所獲得印刷佈線板,進行以下試驗、評估。 另,各絕緣性樹脂的表面、截面構造,係採用SEM進 行觀察。 薄膜的可撓性試驗 對乾式薄膜層合體,施行180度彎曲試驗,觀察乾式 -48- 511437 五、發明說明(47) 薄膜有無龜裂等。當經目視,在外觀上無變化者便屬 「佳」,若產生龜裂或薄膜脫落者便屬「不佳」 相構造觀察試驗 進行如同實施例1的試驗。 黏著強度試驗 進行如同實施例1的試驗。 回流信賴性試驗 製作具有邊長4mm〜25mm爲止之七種面積正方形的評 估用多層印刷佈線板。將此基板通過回流裝置,於240 °C 下施行1 0秒鐘加熱處理後,觀察圖案膨脹情形。 將最久經5次加熱處理,完全無產生膨脹狀態者設定 爲「佳」。若七個圖案中,存在一至二個圖案產生膨脹之 情況時,便設定爲「部分不佳」,幾乎或者全部產生膨脹 之情況便設定爲「不佳」。 冷熱衝擊試驗 譬如利用當產生龜裂的話,內層電路便斷線的方式, 製作設計呈形成導通不良的評估用多層印刷佈線板,於-65 °C ~R.T·〜150°C (故循環15分鐘)的試驗條件下,採用試驗機 調查1000循環氧樹脂後之良品率(n = 5)。 上述試驗、評估的結果,下述表5中所示。 實施例17 將屬熱塑性樹脂之末端苯酚改性聚醚楓(住友化學公司 產製,商品名「斯米佳克謝爾5003P」)100.0重量份、第一 -49- 511437 五、發明說明(48) 熱固性樹脂的多官能基環氧樹脂(住友化學公司產製,商品 名「TMH574」)164.2重量份、第二熱固性樹脂的縮水甘油 胺型環氧樹脂(旭汽巴公司產製,商品名「阿拉爾達德 MY721」)28.9重量份、及苯酚樹脂(日本化藥產產製)106.9 重量份,溶解於4-丁內酯與正丁基2-吡咯烷酮的混合溶劑 中。 在此溶液中,將矽石塡料(龍森公司產製,商品名「1-FXj ,平均粒徑3.0/zm)100.0重量份、硬化觸媒2 -乙基- 4-甲基咪唑(東京化成公司產製)0·4重量份、及矽烷偶合劑 (信越化學公司產製)3·0重量份,利用攪練輥進行分散後, 經攪拌及脫泡後,便獲得含有本發明之樹脂組成物的淸 漆。 採用上述樹脂組成物淸漆,如同實施例1 6,施行印刷 佈線板的製作、評估。所獲得結果,如表5中所示。 實施例18 將屬熱塑性樹脂之末端苯酚改性聚醚碾(住友化學公司 產製,商品名「斯米佳克謝爾5003Ρ」)100.0重量份、第一 熱固性樹脂的多官能基環氧樹脂(日本化藥公司產製,商品 名「EPPN-502H」)166.5重量份、第二熱固性樹脂的聯苯酚 A型環氧樹脂(油化昭和公司產製,商品名「愛比碼 828EL」)18.5重量份、及苯酚樹脂(日本化藥產產製)115.0 重量份,溶解於4-丁內酯與正丁基2-吡咯烷酮的混合溶劑 中。 -50- 511437 五、發明說明(49) 在此溶液中,將矽石塡料(龍森公司產製,商品名「1-FX」,平均粒徑3.0/z m) 174.4重量份、硬化觸媒2-乙基-4-甲基咪唑(東京化成公司產製)0.4重量份、及矽烷偶合劑 (信越化學公司產製)5·1重量份,利用攪練輥進行分散後, 經攪拌及脫泡後,便獲得含有本發明之樹脂組成物的淸 漆。 採用上述樹脂組成物淸漆,如同實施例1 6,施行印刷 佈線板的製作、評估。所獲得結果,如表5中所示。 實施例19 將屬熱塑性樹脂之末端苯酚改性聚醚楓(住友化學公司 產製,商品名「斯米佳克謝爾5003Ρ」)100.0重量份、第一 熱固性樹脂的多官能基環氧樹脂(日本化藥公司產製,商品 名「EPPN-502H」)162.8重量份、第二熱固性樹脂的縮水甘 油胺型環氧樹脂(旭汽巴公司產製,商品名「阿拉爾達德 ΜY721」)18.3重量份、及苯酚樹脂(日本化藥產產製)118.9 重量份,溶解於4-丁內酯與正丁基2-吡咯烷酮的混合溶劑 中〇 在此溶液中,將矽石塡料(龍森公司產製,商品名^ 1-FX」,平均粒徑3.0/zm) 17 1.4重量份、硬化觸媒2-乙基-4-甲基咪唑(東京化成公司產製)0.4重量份、及矽烷偶合劑 (信越化學公司產製)5.1重量份,利用攪練輥進行分散後, 經攪拌及脫泡後,便獲得含有本發明之樹脂組成物的淸 漆。
-51 - 511437 五、發明說明(so) 採用上述樹脂組成物淸漆,如同實施例1 6,施行印刷 佈線板的製作、評估。所獲得結果,如表5中所示。 實施例20 將屬熱塑性樹脂之末端苯酚改性聚醚碾(住友化學公司 產製,商品名「斯米佳克謝爾5003P」)100.0重量份、第一 熱固性樹脂的甲酚酚醛淸漆型環氧樹脂(日本化藥公司產 製,商品名「EOCN-103S」)169.3重量份、第二熱固性樹 ,脂的聯苯酚A型環氧樹脂(油化昭和公司產製,商品名「愛 比碼828EL」)3 0.0重量份、及苯酚樹脂(日本化藥產產 製)100.9重量份,溶解於4-丁內酯與正丁基2-吡咯烷酮的 混合溶劑中。 在此溶液中,將矽石塡料(龍森公司產製,商品名「1-FX」,平均粒徑3.0/z m)171.6重量份、硬化觸媒2-乙基-4-甲基咪唑(東京化成公司產製)0.4重量份、及矽烷偶合劑 (信越化學公司產製)5.1重量份,利用攪練輥進行分散後, 經攪拌及脫泡後,便獲得含有本發明之樹脂組成物的淸 漆。 採用上述樹脂組成物淸漆,如同實施例1 6,施行印刷 佈線板的製作、評估。所獲得結果,如表5中所示。 實施例21 將屬熱塑性樹脂之末端苯酚改性聚醚碾(住友化學公司 產製,商品名「斯米佳克謝爾5003P」(註:商品名,)10.0 重量份、第一熱固性樹脂的多官能基環氧樹脂(住友化學公 - 52- 511437 五、發明說明(51) 司產製,商品名「TMH574」)114.3重量份、第二熱固性樹 脂的聯苯酚A型環氧樹脂(油化昭和公司產製,商品名「愛 比碼828EL」)12.7重量份、及苯酸樹脂(日本化藥產產 製)63.1重量份,溶解於4-丁內酯與正丁基2-吡咯烷酮的混 合溶劑中。 在此溶液中,將矽石塡料(龍森公司產製,商品名「1-FX」,平均粒徑3.0// m)85.7重量份、硬化觸媒2-乙基-4-甲基咪唑(東京化成公司產製)0.2重量份、及矽烷偶合劑 (信越化學公司產製)2.6重量份,利用攪練輥進行分散後, 經攪拌及脫泡後,便獲得含有本發明之樹脂組成物的淸 漆。 採用上述樹脂組成物淸漆,如同實施例1 6,施行印刷 佈線板的製作、評估。所獲得結果,如表6中所示。 實施例22 將屬熱塑性樹脂之末端苯酚改性聚醚楓(住友化學公司 產製,商品名「斯米佳克謝爾5003P」)100.0重量份、第一 熱固性樹脂的多官能基環氧樹脂(住友化學公司產製,商品 名「TMH5 74」)60.2重量份、第二熱固性樹脂的聯苯酚A 型環氧樹脂,商品名「愛比碼828EL」)6.7重量份、及苯 酚樹脂(日本化藥產產製)33.3重量份,溶解於4-丁內酯與 正丁基2-吡咯烷酮的混合溶劑中。 在此溶液中,將矽石塡料(龍森公司產製,商品名「1-FX」,平均粒徑3.0# m)85.9重量份、硬化觸媒2-乙基-4- -53- 五、發明說明(52) 甲基咪唑(東京化成公司產製)0.2重量份、及矽烷偶合劑 (信越化學公司產製)2.6重量份,利用攪練輥進行分散後, 經攪拌及脫泡後,便獲得含有本發明之樹脂組成物的淸 漆。 採用上述樹脂組成物淸漆,如同實施例1 6,施行印刷 佈線板的製作、評估。所獲得結果,如表6中所示。 實施例23 將屬熱塑性樹脂之末端苯酚改性聚醚碾(住友化學公司 產製,商品名「斯米佳克謝爾5003P」)100.0重量份、第一 熱固性樹脂的多官能基環氧樹脂(住友化學公司產製,商品 名「TMH574」)132.1重量份、第二熱固性樹脂的聯苯酚A 型環氧樹脂(油化昭和公司產製,商品名「愛比碼 828EL」)23.36重量份、及苯酚樹脂(日本化藥產產製)77.8 重量份,溶解於4-丁內酯與正丁基2-吡咯烷酮的混合溶劑 中。在此溶液中,將矽石塡料(龍森公司產製,商品名「1-FX」,平均粒徑3.0// m)83.3重量份、硬化觸媒2-乙基-4-甲基咪唑(東京化成公司產製)0.3重量份、及矽烷偶合劑 (信越化學公司產製)2·5重量份,利用攪練輥進行分散後, 經攪拌及脫泡後,便獲得含有本發明之樹脂組成物的淸 漆。 將所獲得淸漆,在厚度35 // m的PET薄膜上,依乾燥 後膜厚爲約5 0 # m的方式,利用輥塗機進行塗佈,然後於 100°C的乾燥溫度下,於乾燥爐內進行乾燥,而獲得具如同 -54- 511437 五、發明說明(53) 第7圖所示構造的乾式薄膜層合體。此時乾式薄膜中的殘 餘溶劑量約30重量%。 採用此乾式薄膜’如同實施例16,施行印刷佈線板的 製作、評估。所獲得結果,如表6中所示。 實施例24 將屬熱塑性樹脂之末端苯酚改性聚醚楓(住友化學公司 產製,商品名「斯米佳克謝爾5003P」)100.0重量份、第一 熱固性樹脂的多官能基環氧樹脂(住友化學公司產製,商品 名「TMH574」)164.2重量份、第二熱固性樹脂的縮水甘油 胺型環氧樹脂(旭汽巴公司產製,商品名「阿拉爾達德 MY721」)28.9重量份、及苯酚樹脂(日本化藥產產製)ι〇6.9 重量份,溶解於4-丁內酯與正丁基2-吡咯烷酮的混合溶劑 中。 在此溶液中,將矽石塡料(龍森公司產製,商品名「1-FX」,平均粒徑3.0// m) 100.0重量份、硬化觸媒2-乙基-4-甲基咪唑(東京化成公司產製)0.4重量份、及矽烷偶合劑 (信越化學公司產製)3.0重量份,利用攪練輥進行分散後, 經攪拌及脫泡後,便獲得含有本發明之樹脂組成物的淸 漆。 將所獲得淸漆,在厚度35 // m的PET薄膜上,依乾燥 後膜厚爲約50// m的方式,利用輥塗機進行塗佈,然後於 150°C的乾燥溫度下,於乾燥爐內進行乾燥,而獲得具如同 第7圖所示構造的乾式薄膜層合體。此時乾式薄膜中的殘 -55- 511437 五、發明說明(54) 餘溶劑量約1重量%。 採用此乾式薄膜,如同實施例16,施行印刷佈線板的 製作、評估。所獲得結果,如表6中所示。 表5 實施例16 實施例17 實施例18 實施例19 實施例20 第一熱固性 TMH574 TMH574 EPPN-502H EPPN-502H ECON-103S 樹脂 第二熱固性 愛比碼828EL 阿拉魯代德 愛比碼 阿拉魯代德 愛比碼828EL 樹脂 MY721 828EL MY721 塡料平均粒 1-FX 1-FX 1-FX 1-FX Adma Fine SO-C2 徑(//m) (0.3) (0.3) (0.3) (0.3) (0.5) 相分離構造 共軛連續相構造 共軛連續相構造 共軛連續相 共軛連續相構造 共軛連續相構造 (平均間距 (1.0-1.5) (1.5 〜2.0) 構造 (0.5-1.0) (1.5-2.5) 尺寸# m) (0.5-1.0) 黏著強度 0.8 0.8 0.7 0.7 0.7 (kg/cm) 回流信賴性 佳 佳 佳 佳 佳 冷熱衝擊試 100% 100% 100% 100% 100% 驗 (良品率 n=5)
-56- 511437 五、發明說明(55) 表6 實施例21 實施例22 實施例23 實施例24 第一熱固性樹脂 TMH TMH ΤΜΗ TMH 574 574 574 574 莖二熱固性樹脂 愛比碼82ffiL 愛比碼82SEL 愛比碼82ffiL 愛比碼828EL 里料平均粒徑(/ΠΠ) 1-FX(0.3) 1-FX(0.3) 1-FX(0.3) 1顿0.3) 相分離構造 共軛連續相構造 共軛連續相構造 共軛連續相構造 共轭麵相構造 (平均間距尺寸//m) (L5 〜2.5) (4·0 〜5.0) (1.0-1.5) (2.5-5.5) 黏著強度(kg/cm) 0.7 0.4 1.0 0.8 回流麵性 佳 不佳 部分不佳 佳 冷熱衝擊試驗 (良品率n=5) 80% 40% 80% 100% 如上述表5中所示,由實施例16至20結果得知,依 照本發明的話,可獲得可形成處理性佳、且內設電路、圖 案埋入性優越之多層印刷佈線板的多層印刷佈線板用乾式 薄膜轉印薄片。 此外,相關本發明之乾式薄膜轉印薄片,譬如在實施 例16中,相對全部樹脂乾燥成分,熱塑性樹脂含量爲30 重量%,便可獲得具充分可撓性及圖案埋入性。但在實施 例21中得知,熱塑性樹脂含量在5重量%的話,則有無法 獲得充分可撓性的傾向。再者,由實施例22結果得知,熱 塑性樹脂含量在50重量%的話,在通常壓層溫度下,即便 提高加壓壓力,亦有無法獲得充分的圖案埋入性之傾向。 -57- 511437 五、發明說明(56) 再者,如表6所示的實施例23結果得知,當薄膜中 的殘餘溶劑量爲30重量%的話,薄膜表面的皺痕’對壓層 適用性產生極大影響,有降低圖案埋入性的傾向’另’由 殘餘溶劑量的多寡,有降低回流耐性的傾向。此外,由實 施例24的結果得知,當殘餘溶劑量爲1重量%的話’薄膜 的可撓性將變差劣,有容易產生龜裂的傾向,在處理性的 方面上,有若干惡化的現象產生。 產業上可利用性 本發明之多層印刷佈線板用絕緣性樹脂組成物,可使 用於在半導體封裝等之中所採用的多層印刷佈線板之絕緣 層的形成上。 本發明.之多層印刷佈線板用絕緣性樹脂組成物,具高 耐熱性,且韌性強,熱膨脹小,對銅配線的黏著性亦佳, 而可獲得供使用於形成精細圖案之具細微粗化表面的絕緣 層。 元件符號說明: 1…支撐薄膜 2…乾式薄膜 3 …保護薄膜 4 …多層印刷佈線板用絕緣性樹脂轉印薄片 5…薄膜層合體 6 …玻璃環氧基板 7…銅配線圖案 -58- 511437 五、發明說明(π) 8 …樹脂絕緣層 9 …無電解鍍層 10 …通路孔 11 …銅電鍍層 -59-
Claims (1)
- 511437 六、申請專利範圍 1. 一種多層印刷佈線板用絕緣性樹脂組成物,其特徵在於: 含有下述成分的樹脂組成物: i) 熱塑性樹脂; ii) 可將與該熱塑性樹脂的混合物硬化,而形成具相 分離構造的樹脂複合體之第一熱固性樹脂;及 iii) 塡料; 其中,該樹脂組成物之硬化物具有細微相分離構 造,且該塡料偏向存在於富熱固性樹脂相、或富熱塑性 樹脂相中任一者。 2. 如申請專利範圍第1項之多層印刷佈線板用絕緣性樹脂 組成物,係更含有iv)當將與該熱塑性樹脂的混合物予以 硬化,便可形成具相分離構造之樹脂複合體的第二熱固 性樹脂。 3. 如申請專利範圍第1項之多層印刷佈線板用絕緣性樹脂 組成物,其中該細微相分離構造係海島構造、連續球狀 構造、複合分散相構造、共軛連續相構造中任一者。 4. 如申請專利範圍第3項之多層印刷佈線板用絕緣性樹脂 組成物,其中該細微相分離構造係海島構造、連續球狀 構造、複合分散相構造、共軛連續相構造中任一者,且 該塡料偏向存在於該構造中的球狀區域內。 5·如申請專利範圍第3項之多層印刷佈線板用絕緣性樹脂 組成物,其中該細微相分離構造係共軛連續相構造,且 該塡料偏向存在於富熱固性樹脂中。-60- 六、申請專利範圍 6. 如申請專利範圍第3項之多層印刷佈線板用絕緣性樹脂 組成物,其中該細微相分離構造係其構造週期之間距尺 寸爲 0.1 ~5 /z m。 7. 如申請專利範圍第2項之多層印刷佈線板用絕緣性樹脂 組成物,其中該樹脂組成物之硬化物係具有由海島構 造、連續球狀構造、複合分散相構造、及共軛連續相構 造中,任選其中一種的細微相分離構造,且該細微相分 離構造係其構造週期之間距尺寸爲0.1〜3// m。 8. 如申請專利範圍第1項之多層印刷佈線板用絕緣性樹脂 組成物,其中該第一熱固性樹脂係由環氧樹脂所構成。 9. 如申請專利範圍第2項之多層印刷佈線板用絕緣性樹脂 組成物’其中該第一熱固性樹脂與第二熱固性樹脂係分 別由不同的環氧樹脂所構成。 10·如申請專利範圍第9項之多層印刷佈線板用絕緣性樹脂 組成物’其中該第一熱固性樹脂之環氧樹脂,與第二熱 固性樹脂之環氧樹脂的重量比係95:5至5 0:50。 11 ·如申請專利範圍第8項之多層印刷佈線板用絕緣性樹脂 組成物’其中該第一熱固性樹脂係下述結構式(1)環氧樹 脂; -61- 511437 六、申請專利範圍 (其中,η係指平均重複次數,爲1至10的數値;R係指 各自獨立的氫原子、碳數1至10的烷基、或碳數5至7 的環烷基、或含碳數5至7之環烷基的碳數6至20烴基 中任一者;i係指各自獨立的1至4整數値,當i爲2以 上之情況時,R可分別相同亦可分別相異;Gly係指縮 水甘油基)。 12.如申請專利範圍第9項之多層印刷佈線板用絕緣性樹脂 組成物,其中該第二熱固性樹脂係由聯苯酚A型環氧樹 脂、聯苯酚F型環氧樹脂、甲酚酚醛淸漆型環氧樹脂、 及縮水甘油胺型環氧樹脂所組成的組群中,任選其中一 種者 13.如申 組成 漆樹1 14·如申J 利範圍第8項之多層印刷佈線板用絕緣性樹脂 5更含有環氧硬化劑的胺基三畊改性苯酚酚醛淸 利範圍第1項之多層印刷佈線板用絕緣性樹脂 組成物,其中該熱塑性樹脂係聚醚碉。 15·如申請專利範圍第14項之多層印刷佈線板用絕緣性樹 脂組成物,其中該聚醚楓係重量平均分子量Mw爲1000 至 100000 。 16·如申請專利範圍第丨項之多層印刷佈線板用絕緣性樹脂 組成物,其中該熱塑性樹脂係末端苯酚改性聚醚楓。 17·如申請專利範圍第丨項之多層印刷佈線板用絕緣性樹脂 組成物,其中該熱塑性樹脂係全部樹脂乾燥成分10〜40-62- 511437 六、申請專利範圍 重量%。 1 8 ·如申請專利範圍第丨項之多層印刷佈線板用絕緣性樹脂 組成物,其中該塡料係無機塡料。 19·如申請專利範圍第18項之多層印刷佈線板用絕緣性樹 脂組成物,其中該無機塡料係矽石。 20.如申請專利範圍第丨項之多層印刷佈線板用絕緣性樹脂 組成物’其中該塡料係具0.1至3//m的平均粒徑。 21 ·如申請專利範圍第丨項之多層印刷佈線板用絕緣性樹脂 組成物’其中該塡料係其調配比率爲全部樹脂組成物乾 燥成分中,在5至40重量%。 22·—種多層印刷佈線板用絕緣性樹脂層轉印薄士,其特徵 在於具備有: 薄片狀支撐體;及 在該薄片狀支撐體上採用多層印刷佈線板用絕緣性 樹脂組成物而形成乾式薄膜,而該多層印刷佈線板用絕 緣性樹脂組成物係含有下述成分的樹1旨組成物; i)熱塑性樹脂; ii)當將與該熱塑性樹脂的混合物予以硬化時,便可 形成具相分離構造之樹脂複合體的第一熱固性樹 脂;及 iii)塡料; 且該樹脂組成物之硬化物具有細微相分離構造,且 該塡料偏向存在於富熱固性樹脂相、或富熱塑性樹脂相-63- 511437 六、申請專利範圍 中任一者。 23·如申請專利第22項之多層印刷佈線板用絕緣性樹 脂層轉印^^更具備有iv)當將與該熱塑性樹脂的混合 ! Ί Ί 物予以硬化可形成具相分離構造之樹脂複合體的第 二熱固性樹脂$淨 24.如申請專利範圍第22項之多層印刷佈線板用絕緣性樹 脂層轉印薄片,其中該細微相分離構造係海島構造、連 續球狀構造、複合分散相構造、共軛連續相構造中任一 者。 25·如申請專利範圍第24項之多層印刷佈線板用絕緣性樹 脂層轉印薄片’其中該細微相分離構造係海島構造、連 續球狀構造、複合分散相構造、共軛連續相構造中任一 者,且該塡料偏向存在於該構造中的球狀區域內。 26·如申請專利範圍第24項之多層印刷佈線板用絕緣性樹 脂層轉印薄片,其中該細微相分離構造係共軛連續相構 造,且該塡料偏向存在於富熱固性樹脂中。 27·如申請專利範圍第24項之多層印刷佈線板用絕緣性樹 脂層轉印薄片’其中該細微相分離構造係其構造週期之 間距尺寸爲0.1〜5/zm。 28·如申請專利範圍第23項之多層印刷佈線板用絕緣性樹 脂層轉印薄片,其中該樹脂組成物之硬化物係具有由海 島構造、連續球狀構造、複合分散相構造、及共軛連續 相構造中,任選其中一種的細微相分離構造,且該細微-64- 511437 六、申請專利範圍 相分離構造係其構造週期之間距尺寸爲0.1〜3// m。 29·如申請專利範圍第22項之多層印刷佈線板用絕緣性樹 脂層轉印薄片,其中該第一熱固性樹脂係由環氧樹脂所 構成。 3〇·如申請專利範圍第23項之多層印刷佈線板用絕緣性樹 脂層轉印薄片,其中該第一熱固性樹脂與第二熱固性樹 脂係分別由不同的環氧樹脂所構成。 3 1 ·如申請專利範圍第30項之多層印刷佈線板用絕緣性樹 脂層轉印薄片,其中該第一熱固性樹脂之環氧樹脂,與 第二熱固性樹脂之環氧樹脂的重量比係95:5至50:50。 32·如申請專利範圍第29項之多層印刷佈線板用絕緣性樹 脂層轉印薄片,其中該第一熱固性樹脂係下述結構式(1) 環氧樹脂;OGIy (其中,n係指平均重複次數,爲1至1〇的數値;R係指 各自獨立的氫原子、碳數1至10的烷基、或碳數5至7 的環烷基、或含碳數5至7之環烷基的碳數6至20烴基 中任一者;i係指各自獨立的1至4整數値,當i爲2以 上之情況時,R可分別相同亦可分別相異;Gly係指縮 -65- 511437 六、申請專利範圍 水甘油基)。 33·如申請專利範圍第3〇項之多層印刷佈線板用絕緣性樹 脂層轉印薄片,其中該第二熱固性樹脂係由聯苯酚A型 環氧樹脂、聯苯酚F型環氧樹脂、甲酚酚醛淸漆型環氧 樹脂、及縮水甘油胺型環氧樹脂所組成的組群中,任選 其中一種者。 34·如申請專利第29項之多層印刷佈線板用絕緣性樹 脂層轉印更含有環氧硬化劑的胺基三畊改性苯酚 酹醒淸漆樹yί.斤:..:Γ、 35.如申請專利擊馨I第22項之多層印刷佈線板用絕緣性樹 脂層轉印薄片,其中該熱塑性樹脂係聚醚楓。 36·如申請專利範圍第35項之多層印刷佈線板用絕緣性樹 脂層轉印薄片,其中該聚醚楓係重量平均分子量Mw爲 至 100000。 37.如申請專利範圍第35項之多層印刷佈線板用絕緣性樹 脂層轉印薄片,其中該熱塑性樹脂係末端苯酚改性聚醚 碼。 38·如申請專利範圍第22項之多層印刷佈線板用絕緣性樹 脂層轉印薄片,其中該熱塑性樹脂係全部樹脂乾燥成分 〜40重量%。 39. 如申請專利範圍第22項之多層印刷佈線板用絕緣性樹 脂層轉印薄片,其中該塡料係無機塡料。 40. 如申請專利範圍第39項之多層印刷佈線板用絕緣性樹-66- 511437 六、申請專利範圍 脂層轉印薄片,其中該無機塡料係矽石。 41. 如申請專利範圍第22項之多層印刷佈線板用絕緣性樹 脂層轉印薄片,其中該塡料係具〇. 1至3 μ m的平均粒 徑。 42. 如申請專利範圍第22項之多層印刷佈線板用絕緣性樹 脂層轉印薄片,其中該塡料係其調配比率爲全部樹脂組 成物乾燥成分中,在5至40重量%。 43·—種多層印刷佈線板,其特徵在於具備有: 具第一配線圖案的基材; 形成於該基材上的絕緣層;以及 依與該第一配線圖案形成電性連接的方式,而形成 於絕緣層上的第二配線圖案; 其中,該絕緣層係實質上由申請專利範圍第1項之 樹脂組成物的硬化物所構成,而該硬化物具有細微相分 離構造,且該塡料偏向存在於富熱固性相、或富熱 塑性樹脂相中任一者。 / 44·如申請專利範圍第43項之多層印刷佈&更具備有 iv)當將與該熱塑性樹脂的混合物予以硬俐金便可形成具 相分離構造之樹脂複合體的第二熱固性棱[1#。 45.如申請專利範圍第43項之多層印刷佈線板,其中該細 微相分離構造係海島構造、連續球狀構造、複合分散相 構造、共軛連續相構造中任一者。 46·如申請專利範圍第45項之多層印刷佈線板,其中該細 # -67- 六、申請專利範圍 微相分離構造係海島構造、連續球狀構造、複合分散相 構造、共軛連續相構造中任一者,且該塡料偏向存在於 該構造中的球狀區域內。 47.如申請專利範圍第45項之多層印刷佈線板,其中該細 微相分離構造係共軛連續相構造,且該塡料偏向存在於 富熱固性樹脂中。 48·如申請專利範圍第45項之多層印刷佈線板,其中該細 微相分離構造係其構造週期之間距尺寸爲0.1〜5// m。 49·如申請專利範圍第44項之多層印刷佈線板,其中該樹 脂組成物之硬化物係具有由海島構造、連續球狀構造、 複合分散相構造、及共軛連續相構造中,任選其中一種 的細微相分離構造,且該細微相分離構造係其構造週期 之間距尺寸爲0.1 ~ 3 # m。 50·如申請專利範圍第43項之多層印刷佈線板,其中該第 一熱固性樹脂係由環氧樹脂所構成。 51.如申請專利範圍第44項之多層印刷佈線板,其中該第 一熱固性樹脂與第二熱固性樹脂係分別由不同的環氧樹 脂所構成。 52·如申請專利範圍第51項之多層印刷佈線板,其中該第 一熱固性樹脂之環氧樹脂,與第二熱固性樹脂之環氧樹 脂的重量比係95:5至50:50。 53·如申請專利範圍第50項之多層印刷佈線板,其中該第 一熱固性樹脂係下述結構式(1)環氧樹脂; -68- 511437 六、申請專利範圍(其中,η係指平均重複次數,爲1至1 0的數値;R係指 各自獨立的氫原子、碳數1至10的烷基、或碳數5至7 的環烷基、或含碳數5至7之環烷基的碳數6至20烴基 中任一者;i係指各自獨立的1至4整數値,當i爲2以 上之情況時,R可分別相同亦可分別相異;Gly係指縮 水甘油基)。 54.如申請專利範圍第50項之多層印刷佈線板,其中該第 二熱固性樹脂係由聯苯酚A型環氧樹脂、聯苯酚F型環 氧樹脂、甲酚酚醛淸漆型環氧樹脂、及縮甘油胺型環 氧樹脂所組成的組群中,任選其中一種者i正g 55·如申請專利範圍第50項之多層印刷佈 含有環 » V 4 氧硬化劑的胺基三畊改性苯酚酚醛淸漆樹贈金 56·如申請專利範圍第43項之多層印刷佈線1#,其中該熱 塑性樹脂係聚醚楓。 57·如申請專利範圍第56項之多層印刷佈線板,其中該聚 醚碾係重量平均分子量Mw爲1000至100000 !,j: Ή:’ 58·如申1#^利範圍第56項之多層印刷佈線板 f,其中該熱塑性樹脂係末端苯性聚醚-69- 511437 六、申請專利範圍 碾。 59·如申請專利範圍第43項之多層印刷佈線板,其中該熱 塑性樹脂係全部樹脂乾燥成分1〇~40重量%。 60.如申請專利範圍第43項之多層印刷佈線板,其中該塡 料係無機塡料。 61·如申請專利範圍第60項之多層印刷佈線板,其中該無 機塡料係砂石。 62·如申請專利範圍第43項之多層印刷佈線板,其中該塡 料係具0.1至3// m的平均粒徑。 63·如申請專利範圍第43項之多層印刷佈線板,其中該塡 料係其調配比率爲全部樹脂組成物乾燥成分中,在5至 40重量%。 64·—種多層印刷佈線板之製造方法,其特徵在於具備有: 在具具第一配線圖案的基材上,塗佈申請專利範圍 第1項之絕緣性樹脂組成物,而獲得絕緣性樹脂塗佈 層,將該絕緣性樹脂塗佈層於產生相分離的加熱條件 下,施行熱硬化,而形成具細微相分離構造的絕緣層的 程序;以及 在該絕緣層上,依與該第一配線圖案形成電性連接 方式,形成第二配線圖案的程序。 65.如申請專利範圍第64項之方離|,其中該第二配線圖案 係利用無電解鍍及電鍍而所形咸蠢 66·如申請專利範圍第64項之方更包含有:加熱條件爲 H丨,,彆 511437 六、申請專利範圍 60至160°C,且施行30分鐘至2小時預烘乾的程序;以 及於160至220°C下,施行分鐘至4小時硬化的程 序。 i !.E · 67.如申請專利範圍第64項之方更具備有iv)當將與該 熱塑性樹脂的混合物予以硬#金便可形成具相分離構造 之樹脂複合體的第二熱固性樹1#。 6 8 ·如申請專利範圍第64項之方法,其中該細微相分離構 造係海島構造、連續球狀構造、複合分散相構造、共軛 連_相構造中任一者。 69·如申請專利範圍第68項之方法,其中該細微相分離構 造係海島構造、連續球狀構造、複合分散相構造、共軛 連續相構造中任一者,且該塡料偏向存在於該構造中的 球狀區域內。 70·如申請專利範圍第68項之方法,其中該細微相分離構 造係共軛連續相構造,且該塡料偏向存在於富熱固性樹 脂中。 71·如申請專利範圍第68項之方法,其中該細微相分離構 造係其構造週期之間距尺寸爲0.1〜5 μ m。 72·如申請專利範圍第67項之方法,其中該樹脂組成物之 硬化物係具有由海島構造、連續球狀構造、複合分散相 構造、及共軛連續相構造中,任選其中一種的細微相分 離構造’且該細微相分離構造係其構造週期之間距尺寸 爲 〇 · 1 〜3 // m 〇-71 · 511437 六、申請專利範圍 73·如申請專利範圍第64項之方法,其中該第一熱固性樹 脂係由環氧樹脂所構成。 74.如申請專利範圍第67項之方法,其中該第一熱固性樹 脂與第二熱固性樹脂係分別由不同的環氧樹脂所構成。 7 5.如申請專利範圍第74項之方法,其中該第一熱固性樹 脂之環氧樹脂,與第二熱固性樹脂之環氧樹脂的重量比 係 95:5 至 50:50 。 76_如申請專利範圍第73項之方法,其中該第一熱固性樹 脂係下述結構式(1)環氧樹脂;OGIy (其中,η係指平均重複次數,爲1至1 〇的數値;R係指 各自獨立的氫原子、碳數1至10的烷基、或碳數5至7 的環烷基、或含碳數5至7之環烷基的碳數6至20烴基 中任一者;i係指各自獨立的1至4整數値,當i爲2以 上之情況時,R可分別相同亦可分別相異;Gly係指縮 水甘油基)。 77.如申請專利範圍第74項之方法,其中該第二熱固性樹 脂係由聯苯酚A型環氧樹脂、聯苯鼢F型環氧樹脂、甲 酚酚醛淸漆型環氧樹脂、及縮水甘油胺型環氧樹脂所組 -72- 511437 六、申請專利範圍成的組群中,任選其中一種者胺基三畊改性苯酚酚醛淸漆樹肖旨_| 79·如申請專利範圍第64項之方緣:皆其中該熱塑性樹脂係 聚醚楓。 80.如申請專利範圍第79項之方法,其中該聚醚楓係重量 平均分子量Mw爲1000至100000。 81·如申請專利範圍第64項之方法,其中該熱塑性樹脂係 末端苯酚改性聚醚楓。 82.如申請專利範圍第64項之方法’其中該熱塑性樹脂係 全部樹脂乾燥成分10〜40重量%。 83•如申請專利範圍第64項之方法,其中該塡料係無機^ 84·如申請專利範圍第83項之方法,其中該無機填料係砂 85·如申請專利範圍第64項之方法,其中該塡料係具〇丨$ 3 μ m的平均粒徑。 86.如申請專利範圍第64項之方法,其中該塡料係其調配 比率爲全部樹脂組成物乾燥成分中,在5至40重量%。
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