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TW202227196A - 塗布裝置及塗布方法 - Google Patents

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TW202227196A
TW202227196A TW110129644A TW110129644A TW202227196A TW 202227196 A TW202227196 A TW 202227196A TW 110129644 A TW110129644 A TW 110129644A TW 110129644 A TW110129644 A TW 110129644A TW 202227196 A TW202227196 A TW 202227196A
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西尾勤
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日商中外爐工業股份有限公司
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Abstract

本發明提供一種塗布裝置，係在使塗布用噴嘴10於被塗布體W的上方與被塗布體相對移動，且將塗液P從塗布用噴嘴前端部的開縫狀吐出口12塗布在被塗布體的表面，該塗布裝置係構成為：於收容塗液的塗液收容部11內將塗液供給體14在開縫狀吐出口的上方設置成可旋轉，其中塗液供給體14係設置有預定圖案形狀的塗液收容凹部14a，並且設置有沿著開縫狀吐出口的長邊方向分離成複數個吐出部12a的分隔構件13，且使塗液供給體14旋轉，而將塗液通過與塗液收容凹部相對應的位置的吐出部而塗布於被塗布體的表面。

Description

塗布裝置及塗布方法
本發明是關於一種塗布裝置及塗布方法，該塗布裝置係於塗布用噴嘴的內部設置收容塗液的塗液收容部，並且於塗布用噴嘴的前端部設置吐出前述塗液收容部的塗液的開縫狀吐出口，且將前述開縫狀吐出口設置於被塗布體的上方，使前述塗布用噴嘴與被塗布體相對移動，並通過前述開縫狀吐出口而將塗液塗布在被塗布體的表面，該塗布方法係使用如上述的塗布裝置在被塗布體的表面塗布塗液。尤其具有下述特徵：在如前述使被塗布體與塗布用噴嘴相對移動，並通過設置在塗布用噴嘴的開縫狀吐出口將塗液塗布在被塗布體的表面時，以不會產生不均勻等之方式，能夠容易且正確地將塗液呈圓形形狀等各種形狀地塗布於被塗布體的表面。
要在晶圓等的被塗布體的表面利用塗布裝置將塗液塗布成預定的形狀時，在以往使用過各種方法，例如，已知有將於前端部具有吐出塗液的開縫狀吐出口的塗布用噴嘴配置於被塗布體的上方，且使前述被塗布體與塗布用噴嘴相對移動，而通過前述開縫狀吐出口將塗液塗布在被塗布體的表面的塗布裝置等的各種塗布裝置。
在此，例如要在晶圓等的圓形形狀的被塗布體的表面將塗液塗布成圓形形狀時，已知有如專利文獻1所示之旋轉塗布機，該旋轉塗布機將圓形形狀的被塗布體設置在旋轉的轉台上方並使其旋轉，並且從噴嘴將塗液供給至如此旋轉的被塗布體的中心部，藉由旋轉的被塗布體的離心力將塗液塗布在圓形形狀的被塗布體的表面。
然而，專利文獻1所示的旋轉塗布機當中，難以對旋轉的被塗布體的表面以會形成固定的厚度之方式均勻地供給塗液，而且被供給至旋轉的被塗布體的表面的塗液會受離心力而從被塗布體上方甩飛而導致浪費塗液，尤其是昂貴的塗液的情況，便產生了浪費掉的塗液的成本提高的問題。
此外，如專利文獻2所示，提出以下的技術：將圓形形狀的被塗布體設置在旋轉的轉台上方並使其旋轉，並且使對旋轉的被塗布體之表面供給塗液的噴嘴從旋轉的被塗布體的中心部慢慢朝外周側移動，將塗液漩渦狀地供給至旋轉的被塗布體的表面，而使塗液塗布在旋轉的圓形形狀的被塗布體的表面。
然而，如專利文獻2所示，使對旋轉的被塗布體的表面供給塗液的噴嘴從旋轉的被塗布體的中心部慢慢朝外周側移動，將塗液漩渦狀地供給至旋轉的被塗布體的表面，而使塗液塗布在旋轉的圓形形狀的被塗布體的表面的情形，會有以下的課題：對圓形形狀的被塗布體之表面塗布塗液所耗費的時間變長使得生產性惡化，並且還變得難以將塗液以均一的厚度塗布在被塗布體的表面。
此外，如專利文獻3所示，提出以下的技術：設置載置被塗布體並至少可旋轉180度的旋轉台，並且設置樹脂膜形成頭部及移動機構，其中，該樹脂膜形成頭部係配置用以沿著相當於由通過前述被塗布體之中心的第一方向(X方向)軸一分為二的第一被塗布體周邊區域及第二被塗布體周邊區域之一方的圓 弧吐出樹脂的複數個噴嘴，並且前述噴嘴被設置成與被塗布體的周邊區域相對向；該移動機構係使被塗布體與樹脂膜形成頭部朝與第一方向正交的第二方向(Y方向)相對移動，且藉由前述移動機構來控制樹脂膜形成頭部的移動，並且使用個別控制各噴嘴當中的塗液的吐出及停止，並個別控制從各噴嘴吐出的塗液的吐出寬度之機構，從而使塗液塗布在圓形形狀的被塗布體的表面。
然而，如專利文獻3所示，為了將塗液塗布在圓形形狀的被塗布體的表面，裝置複雜化並且其控制亦控難，會有致使將塗液塗布在圓形形狀的被塗布體之表面所需的裝置成本提高，而且進行其控制操作也變得麻煩，而無法簡單地將塗液塗布在圓形形狀的被塗布體的表面，甚至於要將塗液以均勻的厚度塗布在被塗布體的表面也變得困難等的問題。
此外，在專利文獻4中，揭示長條型的噴嘴主體具有沿著噴嘴長邊方向延伸的圓柱形狀的空洞部，沿著噴嘴長邊方向延伸的開縫狀吐出口，及形成從前述空洞部到前述吐出口的藥液通路的滴落部(land)，其中，在前述空洞部內，將收容塗液的圓筒狀的旋轉歧管道以可旋轉之方式嵌入，以使塗液從塗液供給部供給並收容在該旋轉歧管道內，並封住該旋轉歧管道的端部，且另一方面在該旋轉歧管道的外周部貫穿設置與要供給至被塗布體上的塗液的塗布形狀相對應的開口。
並且，在專利文獻4所揭示的技術中，使前述噴嘴主體相對於要塗布塗液的被塗布體相對移動，並且使供給有塗液的前述旋轉歧管道在空洞部內旋轉，並將貫穿設置在該旋轉歧管道的外周的開口引導至與前述開縫狀吐出口相對應的位置，而從設在旋轉歧管道的外周的前述開口通過開縫狀的吐出口將 塗液供給至前述被塗布體的表面，以與設在旋轉歧管道的外周的開口的形狀相對應的方式將塗液塗布在被塗布體的表面。
然而，如專利文獻4所示，將塗液供給並收容在以可旋轉之方式嵌入於噴嘴主體的空洞部內的圓筒狀的旋轉歧管道內，使如此收容有塗液的旋轉歧管道在空洞部內旋轉，將貫穿設在該旋轉歧管道的外周的開口引導至與噴嘴主體的開縫狀的吐出口相對應的位置，而使收容在旋轉歧管道內的塗液從前述開口通過開縫狀的吐出口並供給至前述被塗布體的表面的情形，會有以下的問題：收容在旋轉歧管道內的塗液會從貫穿設置的開口通過開縫狀的吐出口而過多地被供給至被塗布體的表面，致使難以用固定的厚度將塗液供給至被塗布體的表面，或是旋轉歧管道內的塗液會通過設在旋轉歧管道的前述開口而流入旋轉歧管道與空洞部之間，以致該塗液通過開縫狀的吐出口滴在被塗布體的表面，或是甚至收容在旋轉歧管道內的塗液無法整體均勻地被使用，部份塗液的濃度或黏度發生不均以致發生塗工不良。
此外，專利文獻5所揭示的內容也與前述專利文獻4所揭示的內容同樣是將塗液收容在內筒部內，使如此被收容的塗液通過周部開口與吐出口重疊的部分而供給至被塗布體的表面，因而存在有與前述專利文獻4同樣的問題。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
專利文獻1：日本特開2009-290029號公報
專利文獻2：日本特開2002-320902號公報
專利文獻3：日本特開2013-54128號公報
專利文獻4：日本特開2014-22545號公報
專利文獻5：日本特開2012-120938號公報
本發明之課題在於解決要在被塗布體等的被塗布體的表面將塗液塗布成預定的形狀時的如前述的各種問題。
亦即，本發明之課題如下：在將前端部具有吐出塗液的開縫狀吐出口的塗布用噴嘴設置在被塗布體上方，使前述被塗布體與塗布用噴嘴相對移動，而通過前述開縫狀吐出口將塗液塗布在被塗布體的表面時，使塗液不會產生不均勻等，而可容易並正確地塗液呈各種形狀地塗布於被塗布體的表面。
本發明的塗布裝置為了解決如前述的課題，布，係於塗布用噴嘴的內部設置有收容塗液的塗液收容部，並且於塗布用噴嘴的前端部設置有吐出前述塗液收容部內的塗液的開縫狀吐出口，且使前述開縫狀吐出口位在於被塗布體的上方，並使前述塗布用噴嘴與被塗布體相對移動，而將塗液通過前述開縫狀吐出口塗布至被塗布體的表面，其中，在前述塗液收容部內將塗液供給體設置成位在前述開縫狀吐出口的上方且可旋轉，其中塗液供給體係於外周面設置有收容塗液的呈預定圖案形狀的塗液收容凹部，並且設置有沿著前述開縫狀吐出口的長邊方向使開縫狀吐出口分離成複數個吐出部的分隔構件，且使前述被塗布體與塗布用噴嘴相對移動，並且使於前述塗液收容凹部內收容著塗液的塗液供給體在塗液收容部內進行旋轉，使前述塗液收容凹部內的塗液通過被導引至 塗布用噴嘴的開縫狀吐出口之塗液收容凹部所相對應的位置的吐出部而吐出至被塗布體的表面，而使塗液以與塗液收容凹部的形狀相對應的方式塗布於前述被塗布體的表面。
並且，如本發明的塗布裝置，塗液供給體係於外周面設置有呈預定圖案形狀之收容塗液的塗液收容凹部，並將該塗液供給體以使其在開縫狀吐出口的上方進行旋轉之方式可旋轉地設置於塗布用噴嘴的塗液收容部內，在該塗液供給體的塗液收容凹部內收容塗液，而當使塗液供給體在開縫狀吐出口的上方進行旋轉，並且使被塗布體與塗布用噴嘴相對移動時，在使前述塗液供給體的塗液收容凹部導引至與開縫狀吐出口連通的位置的狀態下，該塗液收容凹部的部分的塗液會通過塗布用噴嘴的前端部的開縫狀吐出口而供給至與塗布用噴嘴相對移動的被塗布體的表面，而與塗液收容凹部的形狀相對應地將塗液塗布於被塗布體的表面。
此外，如本發明的塗布裝置，當設置沿著開縫狀吐出口的長邊方向使開縫狀吐出口分離成複數個吐出部的分隔構件時，如前述使塗液供給體的塗液收容凹部內的塗液通過開縫狀吐出口而對被塗布體的表面進行塗液的塗布時，即便塗液沒有被塗布至被塗布體的表面而殘留於開縫狀吐出口內，塗液收容凹部內的塗液也僅導引至與塗液收容凹部相對應的位置的吐出部，如此僅通過要導引塗液的吐出部而供給至被塗布體的表面，會抑制塗液流動至開縫狀吐出口的其他部分，而塗液從與塗液收容凹部相對應的位置以外的多個部位被牽引並供給至被塗布體的表面的情形，從而能夠對被塗布體的表面以與塗液收容凹部的形狀相對應的方式正確地塗布塗液。
此外，在本發明的塗布裝置中，較佳為：如前述於開縫狀吐出口設置有分隔構件，並沿著開縫狀吐出口的長邊方向使開縫狀吐出口分離成複數個吐出部時，沿著開縫狀吐出口的長邊方向設置有呈波浪形狀的分隔構件，並於開縫狀吐出口的寬度方向兩側以彼此連續的方式設置複數個吐出部。如此，藉由呈波浪形狀的分隔構件，於開縫狀吐出口的寬度方向兩側以彼此連續的方式設置複數個吐出部時，在開縫狀吐出口的長邊方向的各位置中，會使寬度方向兩側的吐出部的總合寬度大致固定，且使塗液收容凹部內的塗液通過位於對應的位置的吐出口而供給置被塗布體的表面的量在開縫狀吐出口的長邊方向的各位置中成為固定，而使供給至被塗布體的表面的塗液的量固定化，防止產生厚度不均的情形。
此外，在本發明的塗布裝置中，較佳為：在設置沿著開縫狀吐出口的長邊方向使開縫狀吐出口分離成複數個吐出部的分隔構件時，前述分隔構件的吐出方向的長度係比前述開縫狀吐出口的吐出方向的長度還短。如此，將分隔構件的吐出方向的長度設為比開縫狀吐出口的吐出方向的長度還短時，在開縫狀吐出口的吐出方向端部沒有存在分隔構件，且開縫狀吐出口成為在吐出方向端部中連續的狀態，使從塗液收容凹部內導引至相對應的位置的吐出部的塗液會超過藉由分隔構件所分離的吐出部並導引至吐出方向端部中之連續的開縫狀吐出口而供給至被塗布體的表面，不會於被塗布體的表面產生與分隔構件相對應的條紋，而均勻地塗布塗液。另外，此時的連續的開縫狀吐出口的吐出方向的長度係僅些許地設置在吐出方向的端部側，如前述地塗液不會從與塗液收容凹部相對應的位置以外的多個部位被牽引。
此外，在本發明的塗布裝置中，較佳為：設置有調整施加於前述塗液收容部內之塗液的壓力的壓力調整手段，在藉由前述壓力調整手段將施加於塗液收容部內之塗液的壓力保持成固定壓的狀態下，使前述塗液供給體旋轉，而使前述塗液收容凹部內的塗液通過被導引至塗布用噴嘴的開縫狀吐出口之塗液收容凹部所相對應的位置的吐出部而吐出至被塗布體的表面。如此一來，在使塗液收容凹部內的塗液通過被導引至塗布用噴嘴的開縫狀吐出口之塗液收容凹部所相對應的位置的吐出部而吐出至被塗布體的表面時，塗液收容凹部內的塗液會以固定的壓力通過開縫狀吐出口的吐出部而供給至被塗布體的表面，使塗液以固定的厚度塗布至被塗布體的表面。
此外，在本發明的塗布裝置中，可設置氣體供給調整手段或塗液供給調整手段來作為前述壓力調整手段；該氣體供給調整手段係在使塗液供給至前述塗液收容部內的狀態下對塗液收容部內供給氣體，並使施加於前述塗液收容部內的塗液的壓力調整為固定壓；該塗液供給調整手段係使塗液填充至前述塗液收容部內，並調整塗液對於塗液收容部內的供給，而使施加至填充於塗液收容部內之塗液的壓力形成為固定壓。
此外，在本發明的塗布裝置中，可在前述塗液供給體的外周面使塗液收容凹部凹設成軸方向的長度呈較長的橢圓形形狀，且使被塗布體與塗布用噴嘴相對移動的移動速度比使前述塗液供給體旋轉的圓周速度還快，而將塗液於被塗布體的表面塗布成圓形形狀布。如此一來，可將塗液於晶圓等呈圓形形狀的被塗布體的表面塗布成圓形形狀布，並且可縮小設置塗液收容凹部的塗液供給體的直徑，可使塗布用噴嘴小型化。
並且，在本發明的塗布方法中，使用如前述的塗布裝置，藉由在前述塗液收容部內設置成可旋轉的塗液供給體中之沒有設置塗液收容凹部的部分來封閉塗布用噴嘴的前端部的開縫狀吐出口，在此狀態下，將塗液供給至前述塗液收容部內，且使塗液收容於在該塗液收容部內設置成可旋轉的前述塗液供給體的外周面所形成的呈預定圖案形狀之塗液收容凹部內，使前述塗布用噴嘴與被塗布體相對移動，並且使於前述塗液收容凹部內供給有塗液的塗液供給體在塗液收容部內進行旋轉，將前述塗液收容凹部內的塗液通過被導引至塗布用噴嘴的開縫狀吐出口之塗液收容凹部所相對應的位置的吐出部而吐出至被塗布體的表面，而與塗液收容凹部的形狀相對應地對前述被塗布體的表面塗布塗液。
如此一來，藉由塗液供給體中之沒有設置塗液收容凹部的部分來封閉塗布用噴嘴的開縫狀吐出口，而沒有供給至塗液收容部內的塗液會從開縫狀吐出口漏出至外部的情形，此外若使被塗布體與塗布用噴嘴相對移動，並且使於塗液收容凹部內收容有塗液收容部內的塗液的前述塗液供給體旋轉，則塗液收容凹部內的塗液會通過被導引至塗布用噴嘴的開縫狀吐出口之塗液收容凹部所相對應的位置的吐出部而吐出至被塗布體的表面，而與塗液收容凹部的形狀相對應地對前述被塗布體的表面塗布塗液。
在本發明的塗布裝置中，塗液供給體係於外周面設置有呈預定圖案形狀之收容塗液的塗液收容凹部，並如前述將該塗液供給體以位在開縫狀吐出口的上方進行旋轉之方式可旋轉地設置於塗布用噴嘴的塗液收容部內，在該塗液供給體的塗液收容凹部內收容塗液，而使塗液供給體在開縫狀吐出口的上方進行旋轉，並且使被塗布體與塗布用噴嘴相對移動，因此在使前述塗液供給體 的塗液收容凹部導引至與開縫狀吐出口連通的位置的狀態下，該塗液收容凹部的部分的塗液會通過塗布用噴嘴的前端部的開縫狀吐出口而供給至與塗布用噴嘴相對移動的被塗布體的表面，而對被塗布體的表面以與塗液收容凹部的形狀相對應的方式適當地塗布塗液。
此外，在本發明的塗布裝置中，如前述設置沿著開縫狀吐出口的長邊方向使開縫狀吐出口分離成複數個吐出部的分隔構件，因此使塗液供給體的塗液收容凹部內的塗液通過開縫狀吐出口而對被塗布體的表面塗布塗液時，即便塗液沒有被塗布至被塗布體的表面而殘留於開縫狀吐出口內，塗液收容凹部內的塗液也僅導引至與塗液收容凹部相對應的位置的吐出部，如此僅通過被導引塗液的吐出部而供給至被塗布體的表面，會抑制塗液流動於開縫狀吐出口的其他部分，而塗液從與塗液收容凹部相對應的位置以外的多個部位被牽引並供給至被塗布體的表面的情形，從而能夠對被塗布體的表面以與塗液收容凹部的形狀相對應的方式正確地塗布塗液。
10:塗布用噴嘴
11:塗液收容部
12:開縫狀吐出口
12a:吐出部
12b:連續開縫狀吐出部
13:分隔構件
13X:分隔構件
13Y:分隔構件
14:塗液供給體
14a:塗液收容凹部
20:塗液供給裝置
21:塗布供給管道
22:塗布供給閥
22a:第一塗布供給閥
22b:第二塗布供給閥
30:氣體供給裝置
31:供給/排氣管道
31a:供給側管道
31b:排氣側管道
32:氣體供給調整閥
33:排氣閥
34:排氣用管道
35:排氣用閥
40:注射泵
41:壓缸
P:塗液
W:被塗布體
圖1顯示在本發明之實施形態的塗布裝置中，塗液供給體係設置有供塗液收容之呈橢圓形形狀的塗液收容凹部，塗布用噴嘴係將該塗液供給體以位在塗布用噴嘴的前端部的開縫狀吐出口上方的方式可旋轉地設置在塗液收容部內，並且於前述開縫狀吐出口沿著開縫狀吐出口的長邊方向設置呈波浪形狀的分隔構件，並且，(A)為塗布用噴嘴的長邊方向的概略剖面說明圖，(B)為與塗布用噴嘴 的長邊方向交叉的方向的概略剖面說明圖，(C)為從設置呈波浪形狀的分隔構件的塗布用噴嘴的前端側觀看的概略仰視圖。
圖2顯示使用於前述實施型態的塗布裝置的塗液供給體，(A)為於外周面設置呈橢圓形形狀的塗液收容凹部的塗液供給體的概略正視圖，(B)為於塗液供給體的外周面設置的塗液收容凹部的展開平面圖。
圖3顯示前述實施型態的塗布裝置中，於塗布用噴嘴的開縫狀吐出口沿著長邊方向而設置的分隔構件的變更例，(A)為顯示沿著開縫狀吐出口的長邊方向設置呈鋸齒狀的分隔構件的狀態下的從塗布用噴嘴的前端側觀看時的概略仰視圖，(B)為顯示沿著開縫狀吐出口的長邊方向設置呈梳齒狀的分隔構件的狀態下的從塗布用噴嘴的前端側觀看時的概略仰視圖。
圖4為顯示在前述實施型態的第一塗布裝置中，在藉由設置於塗液收容部內的塗液供給體之未設有塗液收容凹部的部分來使開縫狀吐出口之上方封閉的狀態下，塗液從塗液供給裝置通過塗液供給管道而供給至塗液收容部內的狀態下的塗布用噴嘴的長邊方向的概略剖視說明圖。
圖5為顯示在前述第一塗布裝置中，在藉由設置於塗液收容部內的塗液供給體之未設有塗液收容凹部的部分來使開縫狀吐出口之上方封閉的狀態下，塗液從塗液供給裝置通過塗液供給管道而供給至塗液收容部內之狀態下之與塗布用噴嘴的長邊方向交叉的方向的概略剖視說明圖。
圖6為顯示在前述第一塗布裝置中，在如圖5所示方式塗液從塗液供給裝置通過塗液供給管道而供給至塗液收容部內之後，對塗液收容部內供給氣體，並調整施加於塗液收容部內的塗液的壓力成為固定壓力的狀態下之與塗布用噴嘴的長邊方向交叉的方向的概略剖視說明圖。
圖7顯示前述第一塗布裝置，(A)至(D)為在將氣體供給至供給有預定量塗液的塗液收容部內並調整施加於塗液收容部內的塗液的壓力的狀態下，將塗布用噴嘴配置於圓形的被塗布體的上方，且使前述塗液供給體旋轉，以將凹設在塗液供給體的外周面之呈橢圓形形狀的塗液收容凹部導引至開縫狀吐出口的上方，且將塗液收容部內的塗液通過與塗液收容凹部對應並連通的塗液收容部與開縫狀吐出口之間來導引至吐出部，而塗布至被塗布體的表面的步驟的概略剖視說明圖。
圖8顯示前述第一塗布裝置，(A)至(D)為與圖7(A)至(D)相對應顯示塗液塗布至圓形的被塗布體的表面的狀態的概略俯視圖。
圖9為在前述實施型態的第二塗布裝置中，(A)為顯示藉由設置於塗布用噴嘴的塗液收容布內的塗液供給體中的未設置有塗液收容凹部的部分來使塗布用噴嘴的開縫狀吐出口封閉的狀態下，將塗液供給至塗液收容部內的狀態的與開縫狀吐出口的長邊方向交叉的方向的概略剖視說明圖，(B)為顯示使塗液填充至塗液收容部內，並以使施加於收容在塗液收容部內的塗液的壓力成為一定壓的方式，調整塗液的供給的狀態的與開縫狀吐出口的長邊方向交叉的方向的概略剖視說明圖。
圖10為在前述第二塗布裝置中，(A)至(D)顯示對塗液收容部內進行填充，並使施加於填充在塗液收容部內的塗液的壓力調整為固定壓力的狀態下，將塗布用噴嘴配置至被塗布體的上方，且一邊使被塗布體在塗布用噴嘴的下方移動，一邊使前述塗液供給體旋轉，以將凹設在塗液供給體的外周面之呈橢圓形形狀的塗液收容部導引至開縫狀吐出口的上方，且將塗液收容部內的塗液通過與塗液 收容凹部對應並連通的塗液收容部與開縫狀吐出口之間來導引至吐出部，而塗布至被塗布體的表面的步驟的概略剖視說明圖。
圖11為顯示在前述實施型態的塗布裝置中，在塗液供給體的外周面設置收容塗液的塗液收容凹部時，使塗液收容凹部的形狀變形的複數個變形例的概略展開圖。
圖12為顯示在前述第二塗布裝置中，使前述塗液供給體旋轉，而使前述塗液收容凹部引導至開縫狀吐出口的上方，且將塗液從塗液收容凹部通過開縫狀吐出口之間而導引至吐出部，並使塗液收容部內的塗液塗布至被塗布體的表面時，與圖10(C)相對應狀態下的塗布用噴嘴的長邊方向的概略剖視說明圖。
以下，根據檢附圖式來具體說明本發明之實施型態的塗布裝置及塗布方法。另外，本發明的塗布裝置及塗布方法並不限於以下實施型態所示的內容，可在不改變發明之要旨的範圍當中進行適當的變更來實施。
此處，如圖1(A)至(C)所示，在本發明的實施型態的塗布裝置中，於塗布用噴嘴10的內部設置收容塗液P的塗液收容部11，並且以與此塗液收容部11連通的方式於塗布用噴嘴的前端部設置吐出塗液P的開縫狀吐出口12。
並且，在本實施型態的塗布裝置中，在開縫狀吐出口12內沿著其長邊方向設置波浪形狀的分隔構件13，該分隔構件13之前述開縫狀吐出口12中的吐出方向的長度比開縫狀吐出口12的長度還短，在如此方式設置分隔構件13的位置中，使前述開縫狀吐出口12沿著其長邊方向分離成複數個吐出部12a，另一方面開縫狀吐出口12的吐出方向前端部係形成為連續開縫狀吐出部12b，該連 續開縫狀吐出部12b為開縫狀吐出口12呈沿著長邊方向連續的狀態。另外，在本實施型態中，呈波浪形狀的分隔構件13係設為比開縫狀吐出口12的吐出方向的長度還短，並於開縫狀吐出口12的吐出方向前端部設置有開縫狀吐出口12呈連續的狀態的連續開縫狀吐出部12b，惟呈波浪形狀的分隔構件13的吐出方向的長度亦可設為與開縫狀吐出口12相同。
此外，在前述塗布用噴嘴10中，在前述塗液收容部11內，如將圖2(A)、(B)所示，塗液供給體14的呈圓柱狀的棒狀體的外周面凹設有軸方向長度呈較長的橢圓形形狀的塗液收容凹部14a，並將該塗液供給體14設置成位在前述開縫狀吐出口12的上方且可旋轉，且在使塗液供給體14中沒有設置有塗液收容凹部14a的部分位在開縫狀吐出口12的上方的狀態下，藉由此塗液供給體14來使開縫狀吐出口12與塗液收容部11之間封閉。
此外，在本實施型態中，如前述方式沿著開縫狀吐出口12的長邊方向來設置呈曲線的波浪形狀的分隔構件13，惟分隔構件13不限定為如此的態樣，例如，如圖3(A)所示，沿著開縫狀吐出口12的長邊方向設置呈鋸齒狀之直線的波浪形狀的分隔構件13X，而使開縫狀吐出口12沿著長邊方向分離成複數個吐出部12a，或者如圖3(B)所示，沿著開縫狀吐出口12的長邊方向設置呈梳齒狀的分隔構件13Y，而使開縫狀吐出口12沿著長邊方向分離成複數個吐出部12a，除此之外，雖然省略圖示，但亦可採用沿著開縫狀吐出口12的長邊方向使複數個吐出孔按開縫狀吐出口12的寬度方向設置複數個而成的分隔構件。
(第一塗布裝置)
接著，具體說明前述實施型態的第一塗布裝置。
在第一塗布裝置中，如圖4等所示，在從塗液供給裝置20使塗液P對前述塗布用噴嘴10中的塗液收容部11進行供給的塗布供給管道21設置塗布供給閥22，使該塗布供給閥22打開、關閉，而進行對於塗液收容部11的塗液P的供給或停止，並且設置進行對於塗液收容部11內的氣體的供給、排氣的供給/排氣管道31，在該供給/排氣管道31中的供給側管道31a，設置用以調整從氣體供給裝置30供給至前述塗液收容部11之氣體的氣體供給調整閥32作為氣體供給調整手段，並且，於供給/排氣管道31的排氣側管道31b設置排氣閥33，以通過該排氣閥33使塗液收容部11內的氣體進行排氣。此處，在圖4等中，於前述塗布用噴嘴10的前端部的開縫狀吐出口12呈部分地存在有塗液P的狀態，惟這是因為在該塗布裝置的作業中或試運轉時等的準備階段或運轉時，供給至塗布用噴嘴10的開縫狀吐出口12的塗液P形成為滯留的狀態所致。
並且，在本第一塗布裝置中，如圖4及圖5所示，在對塗布用噴嘴10的塗液收容部11內供給塗液P時，使前述塗液供給體14沒有設置有塗液收容凹部14a的部分位在塗布用噴嘴10的前端部的開縫狀吐出口12的上方，而關閉塗液收容部11與開縫狀吐出口12之間的狀態下，打開設置於塗布供給管道21的前述塗布供給閥22，使預定量的塗液P從塗液供給裝置20通過塗布供給管道21而供給至塗液收容部11內，並且打開設置於前述排氣側管道31b的排氣閥33，以使塗液收容部11內的氣體通過該排氣側管道31b進行排氣(釋氣)，另一方面，關閉設置於前述供給側管道31a的氣體供給調整閥32，而使氣體不會從氣體供給裝置30供給至塗液收容部11。此處，關於圖示的塗布供給閥22、氣體供給調整閥32、排氣閥33的打開關閉，打開狀態以空白來顯示，而關閉狀態以塗黑來顯示。
此外，如前述方式，使預定量的塗液P供給至塗布用噴嘴10的塗液收容部11內之後，如圖6所示，在藉由前述塗液供給體14中沒有設置塗液收容凹部14a的部分來關閉前述開縫狀吐出口12的狀態下，關閉設置於塗布供給管道21的前述塗布供給閥22，使塗液P不會從塗液供給裝置20供給氣體至塗液收容部11，並且在該狀態下，關閉設置於前述排氣側管道31b的排氣閥33，不會使塗液收容部11內的氣體排氣，另一方面，打開設置於前述供給側管道31a的氣體供給調整閥32，使氣體從氣體供給裝置30通過設置於供給側管道31a的氣體供給調整閥32而供給至塗液收容部11內，而使施加於塗液收容部11內的壓力調整成預定的固定壓力。
並且，在本第一塗布裝置中，在塗液P從前述塗布用噴嘴10塗布至被塗布體W的表面時，如前述方式藉由在塗液供給體14沒有設置有塗液收容凹部14a的部分來關閉塗布用噴嘴10的前端部的開縫狀吐出口12，且氣體從氣體供給裝置30經由氣體供給調整閥32而供給至塗液收容部11內，並在將施加於塗液收容部11內的塗液P的壓力調整為預定壓的狀態下，如圖7(A)所示，將該塗布用噴嘴10導引至使塗液P開始從開縫狀吐出口12塗布至被塗布體W的表面的位置。
之後，如圖7(B)至(D)所示，在一邊使被塗布體W相對於前述塗布用噴嘴10進行移動，一邊使前述塗液供給體14旋轉，從凹設在塗液供給體14之外周面的塗液收容凹部14a與塗布用噴嘴10的開縫狀吐出口12重疊的部分，將收容於塗液收容凹部14a內的塗液P通過塗液收容凹部14a並導引至如前述設置有呈波浪形狀的分隔構件13的開縫狀吐出口12，且通過與前述塗液收容凹部14a相對應的位置的吐出部12a而從開縫狀吐出口12供給至被塗布體W的表面，而如圖8(A)至(D)所示，使收容於凹設在前述塗液供給體14之外周面的塗液收容凹部14a 的塗液P從塗布用噴嘴10通過開縫狀吐出口12而對於呈圓形形狀的被塗布體W的表面塗布成圓形形狀。另外，在本實施型態中，雖然如前述方式使被塗布體W相對於塗布用噴嘴10進行移動，惟亦可將被塗布體W固定，而使塗布用噴嘴10在被塗布體W的上方進行移動。
此處，在本實施型態的第一塗布裝置中，如前述在呈圓柱狀的塗液供給體14的外周面使塗液收容凹部14a凹設成軸方向的長度呈較長的橢圓形形狀，因此如前述使收容於凹設在塗液供給體14的外周面的塗液收容凹部14a的塗液P從塗布用噴嘴10的開縫狀吐出口12在呈圓形形狀的被塗布體W的表面塗布成圓形形狀時，使前述被塗布體W移動的移動速度較使前述塗液供給體14旋轉的圓周速度還快，並從軸方向的長度呈較長的橢圓形形狀的塗液收容凹部14a通過前述開縫狀吐出口12，來使塗液P在圓形形狀的被塗布體W的表面塗布成圓形形狀。
如此一來，當使塗液P在圓形形狀的被塗布體W的表面塗布成圓形形狀時，就沒有需要在塗液供給體14的外周面設置與被塗布體W相對應的大小的圓形形狀的塗液收容凹部14a，而如前述藉由設成軸方向的長度呈較長的橢圓形形狀的塗液收容凹部14a，可縮小塗液供給體14的直徑，並可使塗布用噴嘴10小型化。
此外，在本實施型態的第一塗布裝置中，如前述沿著開縫狀吐出口12的長邊方向於塗布用噴嘴10的開縫狀吐出口12設置呈波浪形狀的分隔構件13，並使開縫狀吐出口12沿著其長邊方向分離成複數個吐出部12a，使收容於塗液收容凹部14a內的塗液P僅通過與塗液收容凹部14a相對應的位置的吐出部12a而供給至被塗布體W的表面，因此不會從與塗液收容凹部14a相對應的位置的吐 出部12a以外的吐出部12a牽引塗液P，並抑制塗液P從沒有與塗液收容凹部14a相對應的部分供給至被塗布體W的表面。如此一來，塗液P會於被塗布體W的表面以與塗液收容凹部14a的形狀相對應的方式正確地進行塗布，並且亦防止供給至被塗布體W的表面的塗液P的周邊部分的厚度變厚的情形。
此外，在本實施型態的第一塗布裝置中，如前述呈波浪形狀的分隔構件13係比開縫狀吐出口12的吐出方向的長度還短，並於開縫狀吐出口12的吐出方向前端部設置開縫狀吐出口12沿著長邊方向連續的連續開縫狀吐出部12b，因此能夠防止塗液P從被分隔構件13分離之狀態的各吐出部12a個別地直接塗布至被塗布體W的表面，而在供給至被塗布體W之表面的塗液P產生與各吐出部12a相對應的條紋狀的不均的情形。
此外，在本實施型態的第一塗布裝置中，如前述在施加於塗液收容部11內的塗液P的壓力調整為固定壓力的狀態下，使收容於塗液收容凹部14a內的塗液P通過與塗液收容凹部14a相對應的位置的吐出部12a而供給至被塗布體W的表面，因此塗液P會以呈均勻的厚度的方式塗布至被塗布體W的整體表面。
(第二塗布裝置)
接著，具體說明前述實施型態的第二塗布裝置。
在本第二塗布裝置中亦與前述第一塗布裝置同樣地，係使塗液P從省略圖示的塗液供給裝置20通過塗布供給管道21而供給至塗布用噴嘴10的塗液收容部11。
並且，在本第二塗布裝置中，當使塗液P從塗液供給裝置20通過塗布供給管道21而供給至塗布用噴嘴10的塗液收容部11時，如圖9(A)、(B)及圖 10(A)至(D)所示，於前述塗布供給管道21的中途的位置，設置注射泵(syringe pump)40作為調整塗液P的供給而使施加於收容至塗液收容部11內之塗液P的壓力成為固定壓力的塗液供給調整手段，且使塗液P通過設置於注射泵40的上游側的塗布供給管道21的第一塗布供給閥22a而導引至注射泵40內，並且使被導引至該注射泵40內的塗液P通過設置於注射泵40之下游測的塗布供給管道21的第二塗布供給閥22b而供給至塗液收容部11內。
此外，在本第二塗布裝置中，為了使塗液P供給至塗液收容部11內的情形，設置用以使塗液收容部11內的氣體往外部排氣的排氣用管道34，並且於該排氣用管道34設置排氣用閥35。
並且，在本第二塗布裝置中，當塗液P供給至塗布用噴嘴10的塗液收容部11內時，如圖9(A)所示，藉由在前述塗液供給體14中沒有設置塗液收容凹部14a的部分來將塗布用噴嘴10的前端部的開縫狀吐出口12設為關閉的狀態，並打開設置於塗布供給管道21的前述第一塗布供給閥22a及第二塗布供給閥22b，通過塗布供給管道21將塗液P供給至注射泵40內，如此將供給至注射泵40內的塗液P供給至塗布用噴嘴10的塗液收容部11內，並且打開設置於前述排氣用管道34的排氣用閥35，以使供給有塗液P的塗液收容部11內的氣體通過排氣用管道34進行排氣(釋氣)。
此外，如上述方式對塗布用噴嘴10的塗液收容部11內供給塗液P，並使塗液P填充至塗液收容部11內之後，如圖9(B)所示，在關閉前述第一塗布供給閥22a及排氣用閥35的狀態下，藉由前述注射泵40的壓缸41，將注射泵40內的塗液P往送出至塗液收容部11內的方向推壓，並使施加於塗液收容部11內的塗液P的壓力形成為預定的固定壓力。另外，關於圖示的第一塗布供給閥22a、第二塗 布供給閥22b、排氣用閥35的打開關閉，打開狀態以空白來顯示，而關閉狀態以塗黑來顯示。
並且，在本第二塗布裝置中，當塗液P從前述塗布用噴嘴10塗布至被塗布體W的表面時，如前述藉由在塗液供給體14中沒有設置塗液收容凹部14a的部分來關閉塗布用噴嘴10的前端部的開縫狀吐出口12，且藉由注射泵40的壓缸41，將注射泵40內的塗液P往送出至塗液收容部11內的方向推壓，並在將施加於塗液收容部11內的塗液P的壓力調整為預定的固定壓力的狀態下，如圖10(A)所示，將該塗布用噴嘴10導引至使塗液P開始從開縫狀吐出口12塗布至被塗布體W的表面的位置。
之後，如圖10(B)至(D)所示，在一邊使被塗布體W相對於前述塗布用噴嘴10進行移動，一邊使前述塗液供給體14旋轉，從凹設在塗液供給體14之外周面的塗液收容凹部14a與塗布用噴嘴10的開縫狀吐出口12重疊的部分，將收容於塗液收容凹部14a內的塗液P通過塗液收容凹部14a並導引至如前述設置有呈波浪形狀的分隔構件13的開縫狀吐出口12，且通過與前述塗液收容凹部14a相對應的位置的吐出部12a而從開縫狀吐出口12供給至被塗布體W的表面，而與前述第一塗布裝置的情形同樣地，如前述圖8(A)至(D)所示，使收容於凹設在前述塗液供給體14之外周面的塗液收容凹部14a的塗液P從塗布用噴嘴10通過開縫狀吐出口12而對於呈圓形形狀的被塗布體W的表面塗布成圓形形狀。另外，在本實施型態中亦與前述第一塗布裝置的情形同樣地，亦可將被塗布體W固定，而使塗布用噴嘴10在被塗布體W的上方進行移動。
此外，如前述將塗液P塗布至被塗布體W的表面的結果，當前述注射泵40內的塗液P減少時，雖然省略圖示，但關閉前述第二塗布供給閥22b，另一 方面打開前述第一塗布供給閥22a，且將前述注射泵40往吸引方向移動，而再次使塗液P通過塗布供給管道21而填充至注射泵40內。另外，在顯示第二塗布裝置的前述圖示中，顯示注射泵40內的塗液P藉由一次的塗布就用完，惟通常而言，在塗布進行複數次後，才使塗液P填充至注射泵40內。
此處，在本實施型態的第二塗布裝置中，亦如前述在呈圓柱狀的塗液供給體14的外周面將塗液收容凹部14a凹設成軸方向的長度呈較長的橢圓形形狀，因此如前述使收容於凹設在塗液供給體14的外周面的塗液收容凹部14a的塗液P從塗布用噴嘴10的開縫狀吐出口12於呈圓形形狀的被塗布體W的表面塗布成圓形形狀時，與前述第一塗布裝置的情形同樣地，使前述被塗布體W移動的移動速度較使前述塗液供給體14旋轉的圓周速度還快，並從軸方向的長度呈較長的橢圓形形狀的塗液收容凹部14a通過前述開縫狀吐出口12，將塗液P於圓形形狀的被塗布體W的表面塗布成圓形形狀。
如此一來，當將塗液P圓形形狀的被塗布體W的表面塗布成圓形形狀時，就沒有需要在塗液供給體14的外周面設置與被塗布體W相對應的大小的圓形形狀的塗液收容凹部14a，而如前述藉由設成軸方向的長度呈較長的橢圓形形狀的塗液收容凹部14a可縮小塗液供給體14的直徑，並可使塗布用噴嘴10小型化。
此外，在本實施型態的第二塗布裝置中，亦如前述沿著開縫狀吐出口12的長邊方向於塗布用噴嘴10的開縫狀吐出口12設置呈波浪形狀的分隔構件13，並使開縫狀吐出口12沿著其長邊方向分離成複數個吐出部12a，使收容於塗液收容凹部14a內的塗液P僅通過與塗液收容凹部14a相對應的位置的吐出部12a而供給至被塗布體W的表面，因此與前述第一塗布裝置的情形同樣地，不會 從與塗液收容凹部14a相對應的位置的吐出部12a以外的吐出部12a牽引塗液P，並抑制塗液P從沒有與塗液收容凹部14a相對應的部分供給至被塗布體W的表面。如此一來，於被塗布體W的表面與塗液收容凹部14a的形狀相對應地正確地塗布塗液P，並且亦防止供給至被塗布體W的表面的塗液P的周邊部分的厚度變厚的情形。
此處，在圖12中顯示：如前述圖10(C)所示，使收容於塗液收容凹部14a內的塗液P通過塗液收容凹部14a而導引至如前述設置有呈波浪形狀的分隔構件13的開縫狀吐出口12，且使塗液P通過與前述塗液收容凹部14a相對應的位置的吐出部12a而從開縫狀吐出口12塗布至被塗布體W的表面之情形的塗布用噴嘴10的長邊方向的概略剖視說明圖。該情形，藉由如前述呈波浪形狀的分隔構件13，使開縫狀吐出口12分離成沿著其長邊方向的複數個吐出部12a，因此不會從與塗液收容凹部14a相對應的位置的吐出部12a以外的吐出部12a牽引塗液P，並抑制塗液P從沒有與塗液收容凹部14a相對應的部分供給至被塗布體W的表面，且防止供給至被塗布體W的表面的塗液P的周邊部分的厚度變厚的情形。
此外，在本實施型態的第二塗布裝置，亦如前述呈波浪形狀的分隔構件13係比開縫狀吐出口12的吐出方向的長度還短，並於開縫狀吐出口12的吐出方向前端部設置開縫狀吐出口12沿著長邊方向連續的連續開縫狀吐出部12b，因此亦防止塗液P從被分隔構件13分離之狀態的各吐出部12a個別地直接塗布至被塗布體W的表面，而在供給至被塗布體W之表面的塗液P產生與各吐出部12a相對應的條紋狀的不均的情形。
此外，在本實施型態的第二塗布裝置中，亦如前述在施加於塗液收容部11內的塗液P的壓力調整為固定壓力的狀態下，使收容於塗液收容凹部 14a內的塗液P通過與塗液收容凹部14a相對應的位置的吐出部12a而供給至被塗布體W的表面，因此塗液P會以呈均勻的厚度的方式塗布至被塗布體W的整體表面。
另外，在前述第一及第二塗布裝置中，在呈圓柱狀的塗液供給體14的外周面將塗液收容凹部14a凹設成軸方向的長度呈較長的橢圓形形狀，而如圖7(A)至(D)所示，使收容於凹設在塗液供給體14的外周面的塗液收容凹部14a的塗液P從塗布用噴嘴10通過開縫狀吐出口12於呈圓形形狀的被塗布體W的表面塗布成圓形形狀，惟被塗布體W的形狀不特別限定為圓形形狀。此外，在通過塗布用噴嘴10的開縫狀吐出口12使塗液P塗布至被塗布體W的表面的前述塗液供給體14的外周面所凹設的塗液收容凹部14a的形狀亦不被限定，例如，可因應要塗布塗液P的產品，而如圖11(A)、(B)、(C)所示，如使凹設在塗液供給體14的外周面的塗液收容凹部14a的形狀設成為菱形形狀、三角形形狀、或葫蘆形狀等，可設置各種各樣形狀的塗液收容凹部14a。
10:塗布用噴嘴
11:塗液收容部
12:開縫狀吐出口
12a:吐出部
12b:連續開縫狀吐出部
13:分隔構件
14:塗液供給體
14a:塗液收容凹部
21:塗布供給管道
34:排氣用管道
35:排氣用閥
P:塗液
W:被塗布體

Claims (6)

  1. 一種塗布裝置，係於塗布用噴嘴的內部設置有收容塗液的塗液收容部，並且於塗布用噴嘴的前端部設置有吐出前述塗液收容部內的塗液的開縫狀吐出口，且使前述開縫狀吐出口位在於被塗布體上，並使前述塗布用噴嘴與被塗布體相對移動，而將塗液通過前述開縫狀吐出口塗布至被塗布體的表面，其中，在前述塗液收容部內將塗液供給體設置成位在前述開縫狀吐出口的上方且可旋轉，其中該塗液供給體係於外周面設置有收容塗液的呈預定圖案形狀的塗液收容凹部，並且設置有沿著前述開縫狀吐出口的長邊方向使開縫狀吐出口分離成複數個吐出部的分隔構件，且使前述被塗布體與塗布用噴嘴相對移動，並且使於前述塗液收容凹部內收容著塗液的塗液供給體在塗液收容部內進行旋轉，使前述塗液收容凹部內的塗液通過被導引至塗布用噴嘴的開縫狀吐出口之塗液收容凹部所相對應的位置的吐出部而吐出至被塗布體的表面，而使塗液以與塗液收容凹部的形狀相對應的方式塗布於前述被塗布體的表面。
  2. 如請求項1所述之塗布裝置，其中，沿著前述開縫狀吐出口的長邊方向設置有呈波浪形狀的分隔構件，並於開縫狀吐出口的寬度方向兩側以交互地連續的方式設置有複數個吐出部。
  3. 如請求項1或2所述之塗布裝置，其中，在設置沿著前述開縫狀吐出口的長邊方向使開縫狀吐出口分離成複數個吐出部的分隔構件時，前述分隔構件的吐出方向的長度係比前述開縫狀吐出口的吐出方向的長度還短。
  4. 如請求項1或2所述之塗布裝置，其中，設置有調整施加於前述塗液收容部內的塗液的壓力的壓力調整手段，且在藉由前述壓力調整手段將施加於塗液收容部內之塗液的壓力保持為固定壓的狀態下，使前述塗液供給體旋 轉，而使前述塗液收容凹部內的塗液通過被導引至塗布用噴嘴的開縫狀吐出口之塗液收容凹部所相對應的位置的吐出部而吐出至被塗布體的表面。
  5. 如請求項1或2所述之塗布裝置，其中，在前述塗液供給體的外周面將塗液收容凹部凹設成軸方向的長度呈較長的橢圓形形狀，且使被塗布體與塗布用噴嘴相對移動的移動速度比使前述塗液供給體旋轉的圓周速度還快，而使塗液於被塗布體的表面塗布成圓形形狀。
  6. 一種塗布方法，係使用請求項1或2所述之塗布裝置，藉由在前述塗液收容部內設置成可旋轉的塗液供給體中之沒有設置塗液收容凹部的部分來封閉塗布用噴嘴的前端部的開縫狀吐出口的狀態下，將塗液供給至前述塗液收容部內，且使塗液收容於在該塗液收容部內設置成可旋轉的前述塗液供給體的外周面所形成之呈預定圖案形狀的塗液收容凹部內，使前述塗布用噴嘴與被塗布體相對移動，並且使於前述塗液收容凹部內供給有塗液的塗液供給體在塗液收容部內進行旋轉，將前述塗液收容凹部內的塗液通過被導引至塗布用噴嘴的開縫狀吐出口之塗液收容凹部所相對應的位置的吐出部而吐出至被塗布體的表面，而與塗液收容凹部的形狀相對應地對前述被塗布體的表面塗布塗液。
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