SU956064A1 - Устройство дл гидромеханической очистки плоских изделий - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к конструкци м очищающих устройств и предназначено дл  гидромеханической очист- . ки плоских изделий,, преимущественно хрупких, например подложек микросхем . Оно может Найти применение в электротехнической, электронной, радиотехнической и химической промьошленности при необходимости очистки тонких и хрупких изделий,

Известно устройство дл  очистки сетчатого инвентар , содержащее независимые -плоские щетки, установленные вертикально, попарно, волосом друг навстречу другу и смонтированные с возможностью вращени  вокруг своей оси С1.

В этом устройстве не может быть обеспечена высококачественна  очистка изделий микроэлектроники, так как она ведетс  неравномерно из-за различи  скоростей перемещени  всех точек поверхности щеток.

Низкое качество очистки в изЬестном устройстве объ сн етс  так .же разновысокостью волоса щетки, вызванной неравномерным истиранием его при неравномерной очистке. Это не позвол ет обеспечить одинаковый контакт волоса щётки с очищаемой поверхностью и проникать ему в микронеровности подложки. В результате режимы работы всех точек поверхности будут неодинаковы; выполнением отверстий дл  подачи моющего раствора в ворсе щеток, что приводит при вращении последних, ,с одной стороны, к перемешиванию моквдего раствора на очищаемой поверхности, а

10 с другой стороны - °к неравномерности его подачи. В первом случае загр знени  будут размыватьс  по поверхности , а во втором - режимы очистки в разных точках поверхности будут

15 неодинаковы; наличием нескольких вводов в зону очистки, внос щих дополнительные загр знени  в эту зону.

Целью изобретени   вл етс  повышение качества очистки.

20

Цель достигаетс  тем, что в устройстве дл  гидромеханической очистки плоских изделий, преимущественно хрупких, содержащем установленный в корпусе приводной узел очистки со

25 смонтированными в нем обращенными одна к другой вертикальными рабьчими поверхност ми торцовыми щетками, св занное с ними средство дл  подачи моющего раствора и размещенные

Claims (2)

1. 30 между щетками направл юидае дЛ  очищаемого издели , узел очистки выполнен в виде касеты с параллельными направл ющими дл  размещени  щеток, смонтированной с возмолсностыо. кругового плоскопарйллельного движени  , причем направл ющие дл  очищаемых изделий установлены неподвижно относительно кассеты, а средство дл  подачи моющего раствора размещено над волосом щеток.. Кроме того, дл  одновременной обработки нескольких изделий оно имеет дополнительные направл ющие дл  очищаемого издели , установленные неподвижно относительно кассеты. На чертеже изображено предлагаемое устройство. Устройство содержит установленный в корпусе 1 приводной узел очистки , в котором смонтированы торцовые щетки 2, обращенные одна к другой вертикальными рабочими поверхност ми , направл ющие 3 дл  очищаемого издели  4, размещенные между щетками 2, и средство дл  подачи моющего раствора, св занное со щетками 2. Направл ющие 3 закреплены на плите 5 под узлом очистки, а очищаемое изделие 4 в держателе 6. Кажда  щетка 2 выполнена,например, из оргстекла с отверсти ми, в которых закреплены проволокой пучки 7 из волоса колонка, и вставлена в корпус 8 Щетки 2 установлены по обе стороны держател  6 таким образом, что деформаци  их волоса составл ет не менее 2 мм. Узел очистки имеет приводную Кассету 9 со смонтированными параллельно одна относительно другой направл ющими 10 дл  щеток 2 и допол нительные направл ющие 11 дл  нескольких очищаемых изделий 4. Напрайл ющие 3 и 11 установлены неподвижно относительно кассеты 9. Средство дл  подачи моющего раствора раз мещено над волосом щеток и представл ет собой отверсти  12, выполненные в верхней части корпусов 8 и соединенные через полости 13 со штуцерами 14 Подачи моющего раствора. Кассета 9 задней стенки крепитс  к приводу кругового плоско-параллельного движени . Последний может быть выполнен , например, в виде кривошипношатунного механизма и состоит из рычага 15, который через подщипники 16 качени  установлен на-выходных парал лельных коленчатых валах 17 редуктор Дл  предотвращени  заклинивани  кассеты 9 во врем  работы одна опора рычага 15 выполнена плавающей - в рычаге 15 имеетс  паз под подшипник качени  16, сид щий на выходном валу редуктора. Выходные валы 17 редуктора Введены в корпус 1 через отверсти имеющиес  на задней стенке. Дл  ,предотвращени  затекани  моющего раство ра на валу редуктора между рычагом 15 и кассетой 9 служит заии1тный экран 18. Под направл ющими 3 и 11 с держател ми 6 в плите 5 выполнен вырез дл  слива отработанного раствора в воронку 19. Корпус 1 закрыт сверху крышкой 20. Устройство работает следующим образом . Очищаемые издели  4 устанавливаютс  на держатели 6, которые вставл ютс  в направл ющие 3 и дополнительные направл ющие 11. При загрузке держателей 6 крышка 20 корпуса 1 .открыта. Одновременно могут загружатьс  два держател  b. После окончани  загрузки держателей 6 крышка 20 корпуса 1 закрываетс , включаетс  электродвигатель привода кассеты 9 (на чертеже не показан) и подаетс  моющий раствор. Последний поступает по штуцерам 14 в полости 13 корпусов 8 щеток 2 и через отверсти  12 истекает вниз, омыва  изделие 4 с обеих сторон. При включении электродвигател  привода кассеты 9 оба коленчатых вала 17 редуктора, враща сь синхронно, перемещают кассету 9 со щетками 2 в плоскости , перпендикул рной оси вращени . При этом кассета 9 совершает круговое плоско-параллельное движение. Отработанный моющий раствор удал етс  из корпуса 1 через воронку 19. По окончании очистки выключаетс  электродвигатель привода кассеты 9 и прекращаетс  подача моющего раствора. После этого открываетс  крышка 20 корпуса 1 и держатели 6 с очищенными издели ми 4 выгружаютс . В процессе эксплуатации устройства по мере износа волоса щеток 2 последние переставл ютс  из одних направл ющих 10- в другие с целью приближени  к издели м 4. Конструкци  устройства позвол ет производить тонкую высококачественную очистку изделий, преимущественно хрупких, что снижает затраты на последующих операци х очиотки, а также позвол ет максимально использовать волос щеток, уменьша  затраты на проведение процесса. Формула изобретени  1. Устройство дл  гидромеханической очистки плоских изделий, преимущественно хрупких, содержащее установленный в корпусе приводной узел очистки со смонтированными в нем обращенными одна к другой вертикальными рабочими поверхност ми торцовыми щетками, св занное с ними средство дл  подачи моющего раствора и размещенные между щетками направл ющие дл  очищаемого издели , о т л и ч а ю щ е е с   тем, что, с целью

   повышени  качества очистки, узел очистки выполнен в виде кассеты с параллельными направл ющими дл  размещени  щеток, смонтированной с возможностью кругового плоско-параллельного движени , причем направл ющие дл  очищаемых изделий установлены неподвижно относительно кассеты, а средство дл  подачи моющего раствора размещено над волосом щеток.
2. 2. Устройство по П.1, отличающеес  тем, что, с целью повышени  производительности, оно имеет дополнительные направл к дие дл  очищаемых изделий, установленны неподвижно относительно кассеты.

   Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе

   1. Авторское свидетельство СССР 464342, кл. В 08 В 1/04, 1972.