SU549039A1 - Способ изготовлени автокатода - Google Patents

Description

(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ АВТОКАТОДА

Изобретение относитс  к области электронной микроскопии и может быть применено при изготовлении полупроводниковых авто- и автофотокатодов .

Известен способ изготовлени  автокатода, заключающийс  в оплавлении испускающего электроны конца катода электронным или лазерным пучком с последующей шлифовкой в направлении вершины, образующейс  в результате оплавлени  разм гченной массы 1.

При оплавлении кончика остри  катод нагрваетс  до высоких температур, в св зи с чем способ не пригоден дл  обработки полупроводниковых автофотокатодов, так как приведет- к потере их фоточувствительности, а также этот способ не обладает достаточной стабильностью.

Известен также способ изготовлени  автокатода путем термополевого воздействи  на острийный образец 2, согласно которому при положительной пол рности катода его нагревают при значени х температуры и пол , обеспечивающих перенос материала на рабочую поверхность катода с прилегающих к ней областей и образование на поверхности катода М1кроскопических наростов, диаметр основани  которых

соизмерим с рад 1усом кривизны рабочей поверхности катода, и выдерживают в этих услови х до fex пор, пока количество перенесенного материала не станет соизмеримо с объектом материала в сегменте под рабочей поверхностью катода.

В данном случае наблюдаетс  относительно низка  стабильность и воспроизводимость характеристик автокатодов, а также высокое рабочее напр жение.

Цель изобретени  - умехлшение рабочего напр жени  и повьпиение стабильности автокатода ,

Цель достигаетс  тем, что острийный образец охлаждают до температур не Bbmie ()°С накладывают электрическое поле, достаточное дл  самопроизвольного роста автоэмиссионного тока, затем уменьшают напр жение при выбранwoM значении тока до необходимой величины, обеспечивающей поддержание посто нного автоэмиссионного тока.

Claims (2)

1. Длительность процесса заострени  острий катода зависит от велиины тока при его самопроизвольнолТ росте и скорости, а также; уменьшени  приложенного напр же1та  при выбранном значешш посто нного тока. Остри  полученного таким способом автокатода из полупро водникового материала (кремни ) имеют идеал ную коническую форму с радиусом кртвизны 0,01 мкм. Рабочие напр жени  составл ют 200300 В. Формула изобретени  Способ изготовлени  автокатода путем термополевого воздействи  на острийный образец, отличающийс  тем, что, с целью уменьшени  рабочего напр жени  и повышени  5 94 стабильности, острийный образец охлаждают до температур не выше (-196)°С, прикладьгаают электрическое поле, достаточте дл  самопроизвольного роста автозмиссиошюго тока, затем уменьшают напр жение при выбранном значении тока до необходимой величины, обеспечивающей поддержание посто нного автоэмиссионного тока. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе: 1.Патент США N 3711908, кл. Н 01 J9/16, 1972.
2. 2.Авторское свидетельство СССР № 425239, кл. Н 01 J 9/02, 1974.