SU549039A1

SU549039A1 - Autocathode manufacturing method

Info

Publication number: SU549039A1
Application number: SU7502151042A
Authority: SU
Inventors: Б.П. Бундза
Original assignee: Институт Физики Ан Украинской Сср
Priority date: 1975-07-01
Filing date: 1975-07-01
Publication date: 1978-09-25

Description

(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ АВТОКАТОДА(54) METHOD FOR MANUFACTURING A ROLLER

Изобретение относитс к области электронной микроскопии и может быть применено при изготовлении полупроводниковых авто- и автофотокатодов .The invention relates to the field of electron microscopy and can be applied in the manufacture of semiconductor auto- and auto-photocathodes.

Известен способ изготовлени автокатода, заключающийс в оплавлении испускающего электроны конца катода электронным или лазерным пучком с последующей шлифовкой в направлении вершины, образующейс в результате оплавлени разм гченной массы 1.A known method of making an autocathode involves melting the electron-emitting end of the cathode with an electron or laser beam, followed by polishing in the direction of the apex resulting from melting of the softened mass 1.

При оплавлении кончика остри катод нагрваетс до высоких температур, в св зи с чем способ не пригоден дл обработки полупроводниковых автофотокатодов, так как приведет- к потере их фоточувствительности, а также этот способ не обладает достаточной стабильностью.When the tip of the tip is melted, the cathode is heated to high temperatures, and therefore the method is not suitable for processing semiconductor auto-photocathodes, as it will lead to a loss of their photosensitivity, and this method is not sufficiently stable.

Известен также способ изготовлени автокатода путем термополевого воздействи на острийный образец 2, согласно которому при положительной пол рности катода его нагревают при значени х температуры и пол , обеспечивающих перенос материала на рабочую поверхность катода с прилегающих к ней областей и образование на поверхности катода М1кроскопических наростов, диаметр основани которых There is also known a method for producing an autocathode by means of a thermofield effect on a tip sample 2, according to which, when the cathode is positively polar, it is heated at temperatures and fields that ensure the material is transferred to the working surface of the cathode from the adjacent areas and forms M1 scopes the bases of which

соизмерим с рад 1усом кривизны рабочей поверхности катода, и выдерживают в этих услови х до fex пор, пока количество перенесенного материала не станет соизмеримо с объектом материала в сегменте под рабочей поверхностью катода.commensurate with the radius of curvature of the working surface of the cathode, and kept under these conditions until fex until the amount of transferred material becomes comparable with the object of the material in the segment under the working surface of the cathode.

В данном случае наблюдаетс относительно низка стабильность и воспроизводимость характеристик автокатодов, а также высокое рабочее напр жение.In this case, a relatively low stability and reproducibility of the characteristics of autocathodes, as well as a high operating voltage, are observed.

Цель изобретени - умехлшение рабочего напр жени и повьпиение стабильности автокатода ,The purpose of the invention is to twist the working voltage and to increase the stability of the autocathode

Цель достигаетс тем, что острийный образец охлаждают до температур не Bbmie ()°С накладывают электрическое поле, достаточное дл самопроизвольного роста автоэмиссионного тока, затем уменьшают напр жение при выбранwoM значении тока до необходимой величины, обеспечивающей поддержание посто нного автоэмиссионного тока.The goal is achieved by the fact that the tip sample is cooled to temperatures not Bbmie () ° C impose an electric field sufficient to spontaneously increase the field emission current, then reduce the voltage when the current value of twoM is chosen to the required value ensuring the maintenance of a constant field emission current.

Claims

The duration of the process of sharpening the tips of the cathode depends on the magnitude of the current during its spontaneous growth and speed, as well as; decreasing the applied voltage with the selected direct current value. The edges of the autocathode obtained in this way from a semiconductor material (silicon) have an ideal conical shape with a radius of 0.01 µm. The operating voltages are 200300 V. Claims The method of manufacturing the autocathode by means of a thermal field effect on a tip sample, characterized in that, in order to reduce the operating voltage and increase 5 94 stability, the tip sample is cooled to temperatures not higher than (-196) ° C , apply an electric field, sufficient for a spontaneous growth of the auto-emission current, then reduce the voltage at the selected current value to the required value, ensuring the maintenance of a constant auto-emission current. Sources of information taken into account in the examination: 1. US Patent N 3711908, cl. H 01 J9 / 16, 1972.

2. USSR author's certificate number 425239, cl. H 01 J 9/02, 1974.