SU1712778A1 - Интерферометр дл контрол асферических поверхностей второго пор дка - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к измеритель^ ной технике и может быть использовано дл  технологического и аттестационного контрол  вогнутых параболоидов и зллипсоидов, в том числе с большими относительными отверсти ми, в оптическом приборостроении. Цель изобретени  - повышение точности контрол . Оптическа  система интерферометра позвол ет направить а ра-бочую ветвь световой пучок после однократного отражени  от контролируемой поверхности. Это дает возможность' исключить суммирование искажений волнового фронта, вносимых различными зонами контролируемой поверхности, возникающее при использовании интерферометров с автокол- лимаЦйонным ходом лучей. Световой пучок от источника 1 монохроматического излучени  раздел етс  светоделителем 2 на два пучка. Из прошедшей части пучка объектив 6 формирует плоский эталонный фр'онт, который после прохождени  светоделител  1 попадает в объектив В блока регистрации интерференционной картины. Отраженна  светоделителем 2 часть пучка после отражени  от зеркала 11 попадает на второй фокусирующий объектив 12 и после прохождени  диафрагмы 13 попадает на контролируемую деталь 15, после отражени  от детали 15 излучение падает на светоделитель 7, который совмещает эталонный и контролируемый волновые фронты до получени  интерференционной картины, по которой суд т о качестве контролируемой поверхности детали 15. 2 ил.Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использован4р дл  технологического и аттестационного контрол  вогнутых параболоидов и эллипсоидов, в том числе с большими относительными Отверсти ми, в оптическом приборостроении.Цель изобретени  - повышение точности контрол .'Это достигаетс  тем, что световой пучОк направл етс  на контролируемую пове|эх- ность дополнительными светоделителем ифокусирующим объективом с диафрагмой, установленной в его заднем фокусе. Это позвол ет направить световой пучок после однократного отражени  от контролируемой поверхности в рабочую ветвь интерферометра, что дает возможность исключить суммирование искажений волнового фронта, вносимых различными зонами поверхности, возникающее при использовании интерферометров с автоколлимационным ходом лучей.\^ VI ^С»Е

Description

На фиг. 1 изображена оптическа  схема интерферометра дл  контрол  вогнутых параболоидов; на фиг. 2 - схема рабочей ветви интерферометра дл  контрол  вогнутых эллипсоидов .

Интерферометр содержит источник 1 монохроматического излучени , светоделитель 2 дл  разделени  излучени  на две ветви - рабочую и эталонную, последовательно установленные по ходу прошедшего светоделитель 2 излучени  фокусирующий объектив 3, диафрагму 4, плоское зерка)10 5, объектив 6 дл  формировани  плоского эталонного волнового фронта, светоделитель 7 дл  совмещени  эталонного и контролируемого волновых фронтов, блок регистрации интерференционной картины , состо щий из объектива 8, диафрагмы 9 и фотоприемного устройства 10, и размещенные по ходу отраженного светоделителем 2 излучени  плоское зеркало 11, второй фокусирующий объектив 12, диафрагму 13, установленную в заднем фокусе объектива 12, объектив 14, установленный с возможностью вывода из хода лучей.

Интерферометр работает следующим образом.

Световой пучок от источника 1 монохроматического излучени  частично проход т светоделитель 2, частично им отражаетс . Прошедша  часть пучка направл етс  объективом 3 в диафрагму 4 и после отражени  от зеркала 5 попадает в объектив 6, формирующий плоский эталонный волновой фронт. После прохождени  светоделител  7 эталонный волновой фронт попадает в объектив 8 блока регистрации интерференционной картины. Отраженна  светоделителем 2 часть пучка после отражени  от плоского зеркала 11 попадает на второй фокусирующий объектив 12 и после прохождени  диафрагмы 13 падает на контролируемую деталь 15.

При контроле параболоидов объектив 14 выведен из рабочей ветви интерферометра . Контролируемый параболоид 15 установлен так, что его фокус Fn совмещен с

диафрагмой 13, а ось параболоида параллельна оптической оси рабочей ветви интерферометра . После отражени  от контролируемого параболоида 15 волновой

фронт падает на светоделитель 7, который совмещает эталонный и контролируемый волновые фронты. Интерферирующие волновые фронты попадают затем во входной объектив 8 блока регистрации, в котором

по анализу интерференционной картины суд т о качестве контролируемой поверхности 15.

При контроле эллипсоидов объектив 14 введен в рабочую ветвь интерферометра.

Контролируемый эллипсоид 15 установлен так, что один из его фокусов Fa совмещен с диафрагмой 13, а другой фокус FI - с фокусом объектива 14. Далее контролируемый волновой фронт, пройд  объектив 14, падает на светоделитель 7 и интерферирует с эталонным волновым фронтом. Качество контролируемой поверхности определ етс  как и при контроле параболоидов.

Claims (1)

1. Формулаизобретени 

   Интерферометр дл  контрол  асферических поверхностей второго пор дка, содержащий источник монохроматического излучени  и последовательно установленные

   по ходу лучей фокусирующий объектив, диафрагму , объектив, предназначенный дл  формировани  эталонного волнового фронта, размещенный так, что его передний фокус совмещен с диафрагмой, и светоделитель,

   предназначенный дл  совмещени  эталонного и контролируемого волновых фронтов, и расположенный в выходном пучке блок регистрации интерференционной картины, отличающийс  тем, что, с целью

   повышени  точности контрол , он снабжен вторым светоделителем, установленным между источником излучени  и фокусирующим объективом, и размещенными по ходу отраженных вторым светоделителем лучей

   вторым фокусирующим объективом и второй диафрагмой, установленной в заднем фокусе второго фокусирующего объектива.