SU808835A1

SU808835A1 - Интерференционный датчик измерени углОВ пОВОРОТА Об'ЕКТА

Info

Publication number: SU808835A1
Application number: SU792759170A
Authority: SU
Inventors: Борис Михайлович Комраков
Original assignee: Московское Ордена Ленина И Орденатрудового Красного Знамени Высшеетехническое Училище Им. H.Э.Баумана
Priority date: 1979-04-28
Filing date: 1979-04-28
Publication date: 1981-02-28

Description

Изобретение относитс к измерительной технике и предназначено дл определени отклонений углов, например, при контроле углов призм. Известна треугольна интерферометри ческа след ща система, содержаща источник иаиучени , систему плоских зеркал, образующих теугольник, и враща щуюс плоскопараллельную пластину l3 Недостатком этой системы вл етс ее сложность и невысока точность, обусловленна наличием вращающейс пластины. Известен интерференционный датчик измерени углов поворота объекта, содержащий источник излучени и светоделитель , в одном потоке излучени от которого последовательно расположено плоское зеркало, а в другом - анализирующий блок 2. Недостатком известного устройства вл етс недостаточна точность измере ни , обусловленна неустойчивостью интерференционной картины при температурных и вибрационных воздействи х. Цель изобретени - повыщение точности измерени . Указанна цель достигаетс тем, что датчик снабжен оптическим элементом, расположенным между зеркалом и светоделителем и выполненным в виде плоскопараллельной пластины, одна поверх ность которой, образцова , а на другую нанесена зонна решетка Френел , а Зеркало, установлено в фокальной плоскости зонной рещетки Френел . На чертеже представлена приншшиальна схема датчика. Датчик содержит источник излучени (ни чертеже не показан), светоделитель 1, плоское зеркало 2, анализирующий блок 3, плоскопараллельную пластину 4, одна поверхность которой, обраще1ша к светоделителю 1, выполнена образцовой, а на второй зонна решетка Френел , а зеркало 2 установлено в фокальной плоскости зонной рещетки Френел .

Датчик рьботает следующим образом,

Падающее излучение проходит через светоделитель 1 и частично отражаетс от образцовой поверхности плоскопарал лельной пастины 4, образу при этом один из интерферирующих пучков. Второй и-чтерферирующий пучок формируетс при прохождении излучени через пластину 4 с зонной решеткой Френел , отражени от зеркала 2 и повторного прохождени зонной решетки Френел . Коэффициент отражени образцовой поверхности пластины 4 выбираетс из услови равенства двух интерферирующих пучков.

Ширина интерферешщо1шых полос измер етс в анализирующем блоке, а зна ширину интерференционных полос и длину волны света, определ ют величину угла наклона падающего излучени к оптческой оси датчика.

Датчик При наличии вибрационных воздействий не подвержен разъюстировке так как наклоны светоделител и зеркала 2 не измен ют щирину и ориентацию интерференционных полос, а вли ние температурных воздействий ослаблено за счет компактности датчика.

Ф о

рмула изобретени

Интерференционный датчик измере1ш углов поворота объекта, содержащий источник излучени и светоделитель, в одном потоке излучени от которого последовательно расположено плоское зеркало , а в другом - анализируюЕшй блок, отличающийс тем, что, с , целью повышени точности измерени , он снабжен оптическим элементом, расположенным между зеркалом и светоделителем и выполненным в виде плоскопараллельной пластины, одна поверхность которой образцова , а на другую нанесена решетка Френел , Q зеркало. установлено в фокальной плоскости зонно решетки Френел .

Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе

1.Патент США № 4О03658, кл. 356-11О, 1977.

2. Оптика и спектроскопи . 197О, Т-ХХУШ, вып. 6,, с. 119О-1195 (прототип ).

Claims

Формула изобретения

Интерференционный датчик измерения углов поворота объекта, содержащий ис5 точник излучения и светоделитель, в одном потоке излучения от которого последовательно расположено плоское зеркало, а в другом - анализирующий блок, отличающийся тем, что, с ,

10 целью повышения точности измерения, он снабжен оптическим элементом, расположенным между зеркалом и светоделителем и выполненным в виде плоскопараллельной пластины, одна поверхность

15 которой образцовая, а на другую нанесена зонная решетка Френеля, а зеркало.' установлено в фокальной плоскости зонной решетки Френеля.

₂₀ Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент США № 4003658, кл. 356-110, 1977.
2. Оптика и спектроскопия. 1970, ²⁵ T.XXVKI, вып. 6,, с. 1190-1195 (прототип).

ВНИИПИ Заказ 391/41 Тираж 653 Подписное

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4