SU146090A1 - Устройство дл безокислительного напылени реплик - Google Patents

Description

Известны устройства дл  безокислительного напылени  реплик, состо щие из вакуумной камеры, внутри которой установлен образец, подвергаемый воздействию раст гиваемых напр жений и нагреву в широком интервале температур, и оптического устройства дл  наблюдени  и фотографировани  микроструктуры поверхности образца в процессе, а также дл  выбора, подлежащего исследованию на электронном микроскопе.

Описываемое устройство отличаетс  от известных тем, что оно снабжено испарителем, например в виде спирали из молибденовой проволоки , перемещение которого вдоль испытуемого образца осуществл ют посредством винтового стержн  и вакуумного уплотнител , установленных в полости корпуса устройства. Это обесп ечивает испарение и осаждение конденсата при нанесении кварцевых, металлических и угольных реплик на выбранную поверхность образца без предварительного извлечени  его из рабочей вакуумной камеры.

На фиг. 1 изображена принципиальна  схема од ого из вариантов устройства; на фиг. 2 - схема устройства дл  напылени  угольных реплик на поверхность исследуемого при нагреве в вакууме металлического образца.

Вакуумна  рабоча  камера устройства состоит из металлических корпуса / и крышки 2- Исследуемый образец 3 укреплен в захватах 4 и 5. Один конец образца 5 щарнирно соединен с неподвижной опорой 6, жестко св занной с корпусом 1, а второй конец образца через захват 4 и электрически изолирующий его шарнир 7 подвергаетс  воздействию раст гивающих напр жений, передаваемых т ге 8- Дл  обеспечени  возможности перемещени  т ги 8 без нарушени  герметичности вакуумной камеры служит сильфон 9. Нагрев образца производитс  пропусканием по нему переменного тока промышленной частоты (50 гц), подводимого от трансформатора 10 к водоохлаждаемым элект№ 146090- 2,родам // и 12. Последние проход т через специальные вакуумные уплотнени  в корпусе. Измерение температуры образца производитс  при помощи термопары 13, спай которой приварен к средней части образца , а выводы, пропущенные через вакуумное уплотнение, подключены к гальванометру 14. Откачка воздуха и газов из рабочей камеры осуществл етс  через патрубок 15 вакуумной системы (на чертеже не показана ), а патрубок 16 предназначен дл  присоединени  к вакууйметру . Наблюдение и фотографирование микроструктуры поверхности образца осуществл етс  через смотровое кварцевое стекло 17. Объектив 18 металлографического микроскопа обращен к полированной поверхности образца 3. Заслонка /9, приводима  в движение руко ткой 20 через коническое вакуумное уплотнение 21, служит дл  предотвращени  осаждени  на смотровом стекле испар ющихс  частиц при высокотемпературном нагреве металла (образца и деталей описываемого ниже устройства дл  напылени  реплик).

Напыление на поверхность образца кварцевых или металлических реплик осуществл етс  следующим образом.

Подлежащий напылению материал 22 помещаетс  в испаритель 23 (например в спираль из вольфрамовой проволоки). Питание обмотки испарител  производитс  от трансформатора 24- Ввод питающего напр жени  в рабочую камеру осуществл етс  через вакуумное уплотнение 25- Дл  перемещени  в вакууме испарител  23 вдоль образца служит винт 26, приводимый во вращение руко ткой 27 через вакуумное уплотнение 28. При этом сухарь 29 нередвигаетс  в направл ющем пазу в опоре 6. В металлическом экране 30 имеетс  отверстие, размещенное над образцом по оси испарител . Через это отверстие может производитьс  выбор подлежащего исследованию в электронном микросконе участка поверхности, проходить при нанесении реплики поток испар ющихс  частиц, а также осуществл тьс  фотографирование микроструктуры. При рассматривании микроструктуры испаритель 23 отводитс  в сторону от отверсти  в экране 30- Дл  этой цели предназначен рычаг 31, управл емый руко ткой 32 через вакуумное уплотнение 33. Поворот испарител  производитс  на оси 34Напыление угольных реплик на поверхность исследуемого при нагреве в вакууме металлического образца осуществл етс  следующим образом.

Испытуемый образец 35 (см. фиг- 2), прикрепленный к электроду 36, размещен в вакуумной камере, образуемой корпусом 37 и крыщкой 38. На поверхность образца 35 осаждаетс  графит, испар ющийс  при горении электрической дупи 39 между угольными электродами 40 и 41- Поворотный экран 42 служит дл  предохранени  от напылени  графита на смотровое стекло 43, а дл  ограничени  зоны осаждени  графита на образце служит передвижкой экран 44. Управление перемещением угольных электродов осуществл етс  через электрические изолированные от корпуса камеры вакуу.мные уплотнени  45. Источник 46, питающий дугу напр жени , присоединен к угольным электродам 40 и 41Наблюдение за микроструктурой образца и выбор подлежащего напылению участка производ тс  при помощи металлографического микроскопа 47. Патрубки 48 и 49 служат дл  соединени  с системами откачки и измерени  вакуума соответственно.

Предмет и з о б р е т е н и  

Устройство дл  безокислительного напылени  реплик, состо нхее из вакуумной камеры, внутри которой установлен образец, подвергаемый воздействию раст гиваемых напр жений и нагреву в широком интервале температур, и оптического устройства дл  наблюдени  и фотографировани  микроструктуры поверхности образца в процессе проводимого испытани , а также дл  выбора, подлежащего исследованию на электронном микроскопе участка, отличающеес  тем, что, с целью испарени  и осаждени  конденсата при нанесении кварцевых, металлических и угольных реплик на выбранную поверхность образца без предварительного извлечени  его из рабочей вакуумной камеры, устройство снабжено испарителем, например, в виде спирали из молибденовой проволоки, перемещение которого вдоль испытуемого образца осуществл ют посредством винтового стержн  и вакуумного уплотнени , установленных в полости корпуса устройства.

- 3 -№ 146090

Ф1/г

fpuz. г

э