SU1111634A1 - Способ изготовления изоляции элементов интегральных схем - Google Patents
Способ изготовления изоляции элементов интегральных схемInfo
- Publication number
- SU1111634A1 SU1111634A1 SU3501668/25A SU3501668A SU1111634A1 SU 1111634 A1 SU1111634 A1 SU 1111634A1 SU 3501668/25 A SU3501668/25 A SU 3501668/25A SU 3501668 A SU3501668 A SU 3501668A SU 1111634 A1 SU1111634 A1 SU 1111634A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- integrated circuits
- manufacturing insulation
- insulation
- manufacturing
- circuits
- Prior art date
Links
Landscapes
- Bipolar Integrated Circuits (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Element Separation (AREA)
Abstract
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИЗОЛЯЦИИ ЭЛЕМЕНТОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ, включающий формирование в кремниевой подложке сплошного скрытого слоя, наращивание эпитаксиального слоя, осаждение маскирующих пленок, формирование в них окон, вытравливание в эпитаксиальном, скрытом слоях и части подложки канавок, формирование в канавках диэлектрического покрытия, удаление его с дна канавок, противоканальное подлегирование дна канавок, осаждение слоя поликристаллического кремния, удаление его с изолируемых областей и канавок, окисление поликристаллического кремния в канавках, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных интегральных схем за счет улучшения планарности, на маскирующих пленках дополнительно осаждают пленку фосфоро- или боросиликатного стекла, а после осаждения слоя поликристаллического кремния изготовленную структуру отжигают в инертной среде при температуре 950 - 1050С в течение 20 - 40 мин с последующим удалением легированного фосфором или бором слоя поликристалличекого кремния.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU3501668/25A SU1111634A1 (ru) | 1982-10-20 | 1982-10-20 | Способ изготовления изоляции элементов интегральных схем |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU3501668/25A SU1111634A1 (ru) | 1982-10-20 | 1982-10-20 | Способ изготовления изоляции элементов интегральных схем |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1111634A1 true SU1111634A1 (ru) | 1996-04-10 |
Family
ID=60517273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU3501668/25A SU1111634A1 (ru) | 1982-10-20 | 1982-10-20 | Способ изготовления изоляции элементов интегральных схем |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1111634A1 (ru) |
-
1982
- 1982-10-20 SU SU3501668/25A patent/SU1111634A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0146895A3 (en) | Method of manufacturing semiconductor device | |
| JPS56110261A (en) | Method of manufacturing bipolar transistor | |
| DE3473531D1 (en) | Method of forming semiconductor devices | |
| GB2128401B (en) | Method of manufacturing semiconductor device | |
| DE3471824D1 (en) | Method of manufacturing mos type semiconductor devices | |
| IL73844A0 (en) | Manufacture of semiconductor devices | |
| DE3165937D1 (en) | Method of making an integrated planar transistor | |
| DE3379292D1 (en) | Method of manufacturing master-slice integrated circuit device | |
| JPS5664464A (en) | Method of manufacturing semiconductor integrated circuit | |
| DE3569437D1 (en) | Method for producing an integrated circuit of the mis type | |
| DE3272090D1 (en) | Method of manufacturing an integrated planar bipolar transistor | |
| JPS56146274A (en) | Method of manufacturing bipolar transistor | |
| JPS57166079A (en) | Method of producing semiconductor integrated circuit | |
| JPS5787152A (en) | Method of producing semiconductor integrated circuit element | |
| GB2154061B (en) | Methods of manufacturing semiconductor circuit devices | |
| SU1111634A1 (ru) | Способ изготовления изоляции элементов интегральных схем | |
| EP0147471A4 (en) | METHOD FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE. | |
| SU952051A1 (ru) | Способ изготовления интегральных схем | |
| GB8332808D0 (en) | Methods of manufacture of semiconductor devices | |
| SU1195862A1 (ru) | Способ изготовления интегральных схем | |
| SU1060066A1 (ru) | Способ изготовления интегральных схем с боковой диэлектрической изоляцией | |
| SU1193950A1 (ru) | Способ изготовления микроканальных пластин | |
| SU1128694A1 (ru) | Способ изготовления высокотемпературного тензорезистивного элемента | |
| SU760837A1 (ru) | Способ изготовления полупроводниковых интегральных схем | |
| SU705934A1 (ru) | Способ изготовления интегральных схем |