[go: up one dir, main page]

SU952051A1 - Способ изготовления интегральных схем - Google Patents

Способ изготовления интегральных схем

Info

Publication number
SU952051A1
SU952051A1 SU3232843/25A SU3232843A SU952051A1 SU 952051 A1 SU952051 A1 SU 952051A1 SU 3232843/25 A SU3232843/25 A SU 3232843/25A SU 3232843 A SU3232843 A SU 3232843A SU 952051 A1 SU952051 A1 SU 952051A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
integrated circuits
manufacturing integrated
manufacturing
circuits
absent
Prior art date
Application number
SU3232843/25A
Other languages
English (en)
Inventor
Г.И. Ишков
В.Н. Кокин
М.И. Лукасевич
Н.М. Манжа
А.Д. Сулимин
Original Assignee
Г.И. Ишков
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Г.И. Ишков filed Critical Г.И. Ишков
Priority to SU3232843/25A priority Critical patent/SU952051A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU952051A1 publication Critical patent/SU952051A1/ru

Links

Landscapes

  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
  • Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)

Abstract

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ, включающий операции окисления, формирования скрытых слоев, наращивания эпитаксиальной пленки, диэлектрических слоев, создания изолирующих и базовых областей транзисторных структур, вытравливания в диэлектрике эмиттерных и коллекторных окон, наращивания легированной пленки кремния, термического отжига для перераспределения примеси, обтравливания легированной пленки кремния, металлизацию, отличающийся тем, что, с целью увеличения процента выхода годных интегральных схем и повышения их надежности, после создания базовых областей формируют дополнительное маскирующее покрытие, устойчивое к травителю для пленки кремния, а обтравливание легированной пленки кремния осуществляют при формировании металлизации.
SU3232843/25A 1981-01-08 1981-01-08 Способ изготовления интегральных схем SU952051A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU3232843/25A SU952051A1 (ru) 1981-01-08 1981-01-08 Способ изготовления интегральных схем

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU3232843/25A SU952051A1 (ru) 1981-01-08 1981-01-08 Способ изготовления интегральных схем

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU952051A1 true SU952051A1 (ru) 1996-04-20

Family

ID=60525650

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU3232843/25A SU952051A1 (ru) 1981-01-08 1981-01-08 Способ изготовления интегральных схем

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU952051A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2629657C2 (ru) * 2016-02-24 2017-08-30 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова" (КБГУ) Способ изготовления полупроводникового прибора

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2629657C2 (ru) * 2016-02-24 2017-08-30 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова" (КБГУ) Способ изготовления полупроводникового прибора

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3271346D1 (en) Method of making integrated bipolar transistors of very small dimensions
DE3276285D1 (en) Manufacture of integrated circuits by masterslice methods
DE3165937D1 (en) Method of making an integrated planar transistor
DE3272090D1 (en) Method of manufacturing an integrated planar bipolar transistor
DE3569437D1 (en) Method for producing an integrated circuit of the mis type
SU952051A1 (ru) Способ изготовления интегральных схем
JPS57166079A (en) Method of producing semiconductor integrated circuit
SU1195862A1 (ru) Способ изготовления интегральных схем
SU980465A1 (ru) Способ возведения искусственного острова на акватории
SU705934A1 (ru) Способ изготовления интегральных схем
SU1111634A1 (ru) Способ изготовления изоляции элементов интегральных схем
SU1192263A1 (ru) Способ изготовления бриллианта фантазийной формы
SU1193950A1 (ru) Способ изготовления микроканальных пластин
SU760837A1 (ru) Способ изготовления полупроводниковых интегральных схем
SU1135378A1 (ru) Способ изготовления биполярных интегральных транзисторов
SU1259873A1 (ru) Способ изготовления пленочных резисторов
SU1128694A1 (ru) Способ изготовления высокотемпературного тензорезистивного элемента
JPS57194584A (en) Method of producing mos integrated circuit
SU1063233A1 (ru) Способ изготовления полупрозрачного фотокатода
SU1208765A1 (ru) Способ получения производных феноксифенилмочевины
SU1081999A1 (ru) Способ получения клея
SU953798A1 (ru) Способ получения тетрахлорсилана
SU758971A1 (ru) Способ изготовления полупроводниковых приборов
SU1172397A1 (ru) Способ изготовления прецизионных резисторов
SU1196536A1 (ru) Способ создания вакуума