SE508807C2 - Anordning för tillförsel av luft till renrum indelat i zoner med olika klimatkrav - Google Patents

Description

508 807 10 15 20 25 2 spjällförsedda inlopp som kan kommunicera med blandningskammaren respektive tilluñskammaren.

Klimatet i det rena rummet kontrolleras på följande sätt. Frisk lufi och en del av returluften från returkammaren tillförs luftbehandlingsaggregatet där luften ges en bestämd temperatur och luftfuktighet. I anslutning till luftbehandlingsaggregatet sker även en grovfiltrering av luften. Den sålunda behandlade tillufren tillförs tilluñskammaren. Den andra delen av returlufien leds från returkammaren till blandningskammaren. Genom att reglera inloppsspjällen hos ventilationsenheterna är det möjligt att kontrollera blandningsförhållandet mellan till- och returlufi hos den lufi som tillförs respektive zon. En zon med höga krav på renhet men inga krav på temperatur eller lufifialctighet tillförs enbart returlufi, som ju redan är filtrerad genom HEPA-filter vid sin förra passage genom ventilationsenheten. En zon som har krav endast beträffande temperatur och luftfuktighet tillförs enbart tillufi från lufibehandlingsaggregatet. Zoner som kräver både en viss renhet och en viss temperatur samt luftfuktighet tillförs en blandning av till- och returluñ.

Tekniskt problem Den ovan beskrivna kända anläggningen medför en rad problem vid tillförsel av luñ till ett rent rum som är indelat i zoner. Till att börja med har anläggningen en komplicerad uppbyggnad med många ingående detaljer och enheter. Exempelvis måste varje zon vara försedd med en ventilationsenhet, som förutom HEPA-filtret innefattar bland annat en fläkt, två spjäll, en fläktkammare och en spridningskammare. Dessutom måste varje sådan ventilationsenhet vara försedd med styr- och reglerutrustning för styming av fläkten och spjällen. Denna komplicerade uppbyggnad är inte bara kostsam att installera och underhålla, den är även utrymmeskrävande och känslig för drifl- störningar. Det senare utgör en väsentlig nackdel, eñersom kraven på driftsäkerhet hos renrumsanläggningar exempelvis vid halvledartillverkning eller operationssalar är extremt högt ställda.

En kanske än större nackdel hos den ovan beskrivna anläggningen utgör emellertid den begränsade möjligheten att kontrollera de olika zonemas klimat oberoende av 10 15 20 25 508 807 3 varandra. Den tidigare kända anläggningen innefattar endast ett lufibehandlings- aggregat, som ska tillgodose kraven på temperatur och luftfuktighet i samtliga zoner.

Eftersom varje zon i allmänhet måste tillföras åtminstone en viss andel friskluft, innebär detta att luftbehandlingsaggregatet måste vara dimensionerat att, för anläggningens totala tilluftsflöde, kunna reglera temperatur och luftfuktighet eñer den zon som ställer strängast krav. Om således en zon exempelvis kräver att temperaturen hålls vid 20° C :h O,1° C och att relativa lufifiiktigheten hålls vid 50% RH i 1 %-enhet, måste luñbehandlingsaggregatet ha kyl- och lufifuktningskapacitet för att hålla tillufisflödet till samtliga zoner inom dessa snäva gränser. Detta även om det i samtliga andra zoner räcker att hålla temperaturen vid 22° C i 1° C och den relativa luftfiiktigheten vid 50% RH :t 5 %-enheter. Luftbehandlingsaggregatet måste alltså ha en avsevärd överkapacitet i förhållande till de faktiskt ställda klimatkraven. En sådan överkapacitet innebär naturligtvis en onödig kostnadsökning.

Ytterligare ett problem ligger i att regleringen av temperatur och luñfuktighet blir förhållandevis långsam med den ovan beskrivna anläggningen. Regleringen av spjällen hos ventilationsenhetema kan endast i viss mån kompensera för uppkomna förändringar av klimatet i zonema. Sker hastiga och icke ringa förändringar måste dessa kompenseras genom att luftbehandlingsaggregatet bringas att leverera luft med en annan temperatur eller lufifiiktighet. En sådan förändring kan inte genomföras momentant utan kräver en viss inställningstid, i synnerhet om flödet genom luñbehandlingsaggregatet är stort. Eftersom förändringen sker i lufibehandlings- aggregatet, på förhållandevis stort avstånd från den aktuella zonen, tar det sedan ytterligare tid innan klimatkompenseringen hos tilluften slår igenom i zonen.

Anläggningen medför således en alltför långsam reglering för att tillgodose de högt ställda toleranskrav som ställs på klimatet i moderna renrumsanläggningar. Ändamålet för föreliggande uppfinning är därför att tillhandahålla en enkel och driftsäker anordning, som till förhållandevis låga investerings- och driftskostnader medger mycket snabb och noggrann klimatkontroll av rena rum, som har zoner med olika klimatkrav. 508 807 10 15 20 25 Redogörelse för unnfrnningg Detta ändamål erhålls med en anordning av det i inledningen angivna slaget, som kännetecknas av att övertryckskammaren och ett andra luftbehandlingsaggregat står i förbindelse med åtminstone ett blandningsutrymme för blandning av luft från övertryckskammaren och det andra lufibehandlingsaggregatet, och att blandnings- utrymmet även står i förbindelse med åtminstone en av zonema för tillförsel av den blandade luften till zonen.

Härigenom är det möjligt att tilldela ett blandningsutrymme till de zoner som har speciella klimatkrav. De zoner som har normalt ställda klimatkrav förses med luft enbart från övertryckskammaren, som i sin tur tillförs luft från det första lufi- behandlingsaggregatet. Detta första luñbehandlingsaggregat kan således vara dimensionerat för att leverera ett stort lufiflöde med endast måttligt ställda klimatkrav beträffande värmning, kylning, avfirktning och befiiktning av den behandlade luften. De känsliga zonemas höga klimatkrav uppfylls istället genom inblandning av ett mindre och mycket noggrant reglerat flöde från det andra luftbehandlingsaggregatet. Detta andra aggregat behöver således endast ha kapacitet att variera klimatet hos ett mycket mindre flöde. Därmed räcker det att utnyttja ett förhållandevis litet och föga kostsamt aggregat för det andra lufibehandlingsaggregatet.

Det andra luftbehandlingsaggregatet kan vara anordnat att reglera temperatur och / eller fiJkthalt hos den från detta luftbehandlingsaggregat till blandningsutrymmet tillförda luflen. Härigenom tillgodoses regleringen av de viktigaste klimatparametrarna.

Beträffande kontrollen av föroreningsnivån i de olika zonernas sker denna lämpligen genom att varje zon tillföres luft genom ett filter, vars tiltreringsgrad och porstorlek är anpassad till respektive zons krav på föroreningsnivå.

Det andra luttbehandlingsaggregatet kan via ledningar stå i förbindelse med ett eller flera blandningsutrymmen varvid medel kan vara anordnade för att reglera de till blandningsutrymmena tillförda flödena från det andra luftbehandlingsaggregatet. På så vis kan ett och samma andra luftbehandlingsaggregat användas för att reglera klimatet i flera känsliga zoner. Medlen för att reglera flödena från detta andra aggregat möjliggör 10 15 20 25 508 807 S att dessa zoner kan betjänas även om de har olika klimatkrav. Medlen för flödes- reglering kan innefatta, företrädesvis íjärrmanövrerade, spjäll, som är anordnade vid respektive blandningsutrymmes ledning.

Respektive blandningsutrymmes ledning kan lämpligen sträcka sig in i blandningsutrymmet och vara försedd med en mångfald hål genom sin mantel och / eller gavelyta utmed den del som befinner sig i blandningsutrymmet. Luften från det andra luñbehandlingsaggregatet tillförs således blandningsutrymmet via de många hålen i ledningen, så att en god blandning med den från övertryckskammaren tillförda luften tillförsäkras.

Enligt en föredragen utföringsform är övertryckskammaren åtminstone delvis anordnad ovanför zonema. Blandningsutrymmena är härvid anordnade i övertryckskammaren ovanför respektive zon och delvis avgränsade mot övertryckskammaren medelst väggar. Blandningsutrymmena står vidare i förbindelse med respektive zon via filter som är anordnade i blandningsutrymmenas nedre begränsningsytor. Denna utformning innebär en mycket enkel och flexibel konstruktion där blandningsutrymmet helt enkelt kan avgränsas av det befintliga renrumstaket och fyra stycken ovanpå renrumstaket uppsatta väggar. Om det rena rummets olika zoner flyttas är det mycket enkelt att göra motsvarande förflyttning av blandningsutrymmena genom att bara flytta de uppsatta väggarna och eventuellt de i renrumstaket anordnade filtren.

Blandningsutrymmena kan vara försedda med perforaturer, som är anordnade vid den eller de sidor hos blandningsutrymmet som ej uppvisar väggar mot övertrycks- kammaren. Perforaturema tillförsäkrar att den luft som strömmar i blandningsutrymmet från övertryckskammaren erhåller en jämn hastighetsprofil över hela tvärsnittet. Härigenom förbättras ytterligare omblandningen av luñen från övertryckskammaren och från det andra luftbehandlingsaggregatet.

En annan utföringsform av uppfinningen innebär att ett eller flera blandningsutrymmen är avgränsade mot övertryckskammaren åtminstone delvis medelst filter och mot respektive zon medelst en perforatur. Dessa blandningsutrymmen är lämpligen anordnade under renrumstaket som uppbär filtren och inom de väggar som avgränsar 508 807 10 15 20 25 6 zonen i det rena rummet. Blandningsutrymmet avgränsas då nedåt, mot zonen, av en perforatur. Denna alternativa utformning innebär fördelen att blandningsutrymmet till en zon automatiskt följer med vid en förflyttning av zonen i det rena rummet.

Anordning enligt uppfinningen kan vidare ha en för de olika zonema gemensam undertryckskskammare, vanligen i form av en returkammare, som företrädesvis är anordnad nedanför zonemas golv och som via tryckreducerande medel står i förbindelse med zonema, vilken undertryckskammare även står i förbindelse med det första och/ eller andra luñbehandlingsaggregatet för cirkulation av luñen genom anordningen. Härigenom är det möjligt att återanvända åtminstone en del av den tillförda lufien, vilket medför en energibesparing eftersom den återanvända lufien i allmänhet inte behöver genomgå någon avsevärd temperaturförändring innan den återförs till det rena rummet.

Figurbeskrivning I det följande beskrivs tre exempliflerande utföringsformer av uppfinningen med hänvisning till de bifogade ritningama.

Figur 1 visar ett schematiskt tvärsnitt genom en utföringsform av en anordning enligt uppfinningen.

Figur 2 visar ett schematiskt tvärsnitt genom en annan utföringsform av en anordning enligt uppfinningen.

Figur 3 visar ett schematiskt tvärsnitt genom ytterligare en utföringsform av en anordning enligt uppfinningen.

Den i figur l visade anordningen innefattar ett rent rum 1, som medelst mellanväggar 2 är indelat i tre olika zoner A, B, C. I zonema A och C krävs att föroreningsnivån hålls under klass 1000 enligt normen US Federal Standard 209E, att temperaturen hålls vid 20° C d: l° C och att den relativa luftfiaktigheten hålls vid 50% RH i 5 %-enheter_ Zonen B är avsedd att inrymma utrustning för ytterst känslig halvledartillverkning. 10 15 20 25 30 508 807 7 Klimatkraven för zonen B är därför väsentligt strängare. Föroreningsnivån måste här hållas under klass 1 enligt den ovan angivna normen, temperaturen ska ligga vid 18° C och får endast variera i 0,05° C. Vad beträffar luftfuktigheten ska denna vara 45% RH och får variera med högst :h 1%-enhet.

Det rena rummet avgränsas uppåt av ett renrumstakß med infällda HEPA-filter 4a, 4b, 4c, för filtrering av den till respektive zon tillförda luflen. De HEPA-frlter 4a respektive 4c genom vilka luft tillförs zonerna A och C har filtereffektiviteten 99,995% för partiklar som är större än 0,12 um, medan filtret 4b ovanför den känsliga zonen B har filtereffektiviteten 99,99995% för de partiklar som har den mest penetrerande partikel storleken (MPPS; Most Penetrating Particle Size). Ovanför renrumstaket 3, är en övertryckskammare 5 anordnad. Det rena rummet avgränsas vidare i sidled av renrumsväggar 6 samt nedåt, mot en returkammare 7, av ett renrumsgolv 8.

Renrumsgolvet 8 är försett med spjäll 9, för att reglera trycket i de olika zonerna. En tilluftsledning 10 leder från ett första luftbehandlingsaggregat ll till övertrycks- kammaren 5. Från returkammaren 7 leder en returledning 12 till det första luftbehandlingsaggregatet 11. Detta aggregat 11 har även ett frisklufisintag 13. Det första luftbehandlingsaggregatet 11 innefattar en cirkulationsfläkt, ett grovfilter (med frlteretïektiviteten EU6), en värmeväxlare för temperering och avfirktning av luften samt en lufifiaktare 1 la. De olika lufibehandlingsutrustningarna behöver inte vara anordnade i ett och samma aggregat, utan kan vara separerade från varandra. Det ovan beskrivna ryms inom ramen för tidigare känd teknik.

I övertryckskammaren, ovanför zonen B med särskilt högt ställda klimatkrav, är vidare ett blandningsutrymme 14 anordnat. Blandningsutrymmet 14 avgränsas nedåt, mot zonen B, av renrumstaket 3 med det infällda I-[EPA-filtret 4b. Blandningsutrymmet 14 avgränsas mot övertryckskammaren 5 av fyra stycken väsentligen vertikala väggar 15a, l5b, l5c av slätplåt, aluminiumpanel eller liknande. Väggama 15a, l5b, l5c är anordnade så att blandningsutrymmet 14 får en rektangulär bottenyta med åtminstone samma area, som filtret 4b, genom vilka lufi tillförs zonen B.

En tillufisledning 16a, 16b mynnari blandningsutrymmet 14. Tilluftsledningen 16a, 16b sträcker sig in genom en av blandningsutrymmets 14 väggar 15a, varvid en del l6a av 508 807 10 15 20 25 30 8 ledningen sträcker sig vidare väsentligen horisontellt in.i blandningsutrymmet 14.

Denna del 16a sträcker sig in i blandningsutrymmet 14 en sträcka, som motsvarar åtminstone två tredjedelar av avståndet mellan den genomförda väggen 15c och dess motstående vägg l5a. Den i blandningsutrymmet 14 anordnade delen 16b av tilluñs- ledningen innefattar ett rör vars mantelyta över en väsentlig del av rörets längd uppvisa en perforering i form av en mångfald förhållandevis små genomgående hål.

Tilluñsledningens andra del 16b är ansluten till ett andra lufibehandlingsaggregat 17.

Detta luftbehandlingsaggregat är i sin tur med en ledning 18 ansluten till retur- kammaren 7 och eventuellt med en friskluñsledning 19 till ett friskluñsintag (ej visat).

Det andra luñbehandlingsaggregatet 17 innefattar utrustning för filtrering samt noggrann reglering av temperatur och luftfiiktighet av den luft som tillförs blandningsutrymmet via ledningen 16a, 16b. En reglerventil 20 är anordnad på ledningen 16b, för reglering av det via ledningen 16a, 16b till blandningsutrymmet 14 tillförda lufiflödet.

I blandningsutrymmets 14 övre del, ovanför tilluñsledningen 16a är en perforatur 21 anordnad. Perforaturen 21 utgörs av en perforerad plåt och den sträcker sig väsentligen horisontellt över blandningsutrymmets 14 hela tvärsnittsarea, så att den anligger mot blandningsutrymmets fyra väggar l5a, l5b, l5c.

I det följande beskrivs hur den ovan beskrivna anordningen används för att kontrollera klimatet i det rena rummet 1. Det första luftbehandlingsaggregatet tillförs friskluñ via ledningen 13 och returlufi via ledningen 12. Idetta första lufibehandlingsaggregat 11 blandas frisk- och returlufien. Luften filtreras även och bibringas en temperatur och luftfuktighet som överensstämmer med klimatkraven i de mindre känsliga zonerna A och C. I det visade exemplet värms eller kyls lufien till 20° C och genom att avfukta eller befukta luñen, regleras den relativ lufifuktighet till 50% RH. Den sålunda behandlade lufien tillförs med hjälp av cirkulationsfläkten i luñbehandlingsaggregatet ll, via ledningen 10 till övertryckskammaren, även kallat plenumet, 5. Från övertryckskammaren 5 passerar luften genom HEPA-filtren 4a och 4b till de mindre känsliga zonerna A respektive C. Vid passagen genom HEPA-filtren sker den slutgiltiga föroreningskontrollen genom att mer än 99,995% av partiklarna med en diameter över 0,12 um frånskiljs. Luften som tillförs zonerna A och C via filtren 4a 10 15 20 25 30 508 807 9 respektive 4c har en förhållandevisjämn och laminär strömningsbild, varvid föroreningar som uppkommer i zonerna följer med luftflödet nedåt och lämnar zonerna via spjällen 9 i renrumsgolvet 8. För att de uppställda klimatkraven ska tillgodoses i de mindre känsliga zonerna A och C mäts kontinuerligt temperatur och luftfuktigheten i dessa zoner. Om temperaturen eller relativa luftfuktigheten skulle avvika mer än de tillåtna toleranserna, :t 1° C respektive i 5%-enheter, kompenseras detta genom att det första luñbehandlingsaggregatet 11 i motsvarande grad ändrar temperatur och lufifiiktighet hos den via ledningen 10 tillförda lufien.

Den känsligare zonen B tillförs luft på ett annorlunda sätt. Genom att reglera spjällen 9 i renrumsgolvet, beroende av de från det forsta och andra luñbehandlingsaggregaten 11, 17 tillförda luñflödena, upprätthålls ett visst tryckförhållande mellan övertrycks- kammaren 5, blandningsutrymmet 14, de olika zonema A, B, C och returkammaren 7.

Beträffande zonen B är detta tryckförhållande sådant, att trycket är högst i övertrycks- kammaren för att sedan avta nedåt i blandningsutrymmet, i zonen B och i retur- kammaren. Lufi från övertryckskammaren 5 passerar på grund av det i övertryckskammaren 5 rådande högre trycket genom perforaturen 21 till blandningsutrymmet 14. Till blandningsutrymmet 14 tillförs även lufi från det andra luñbehandlingsaggregatet 17, via ledningen 16b med det perforerade röret 16a. Denna luft tillförs blandningsutrymmet 14 genom de många små öppningama i rörets 16a mantelyta. Den från det andra luftbehandlingsaggregatet tillförda luften är således uppdelad i fina strålar, varmed en mycket god blandning med luften från övertryckskammaren 5 tillförsäkras i blandningsutrymmet 14. Även perforaturen 21 bidrager till den goda blandningen genom att den luft som passerar perforaturen erhåller en jämn hastighetsprofil över hela tvärsnittet. Den sålunda väl blandade luñen passerar genom HEPA-filtret 4b till den känsliga zonen B. Den till zonen B tillförda luften tår liksom i zonerna A och C en jämn och väsentligen laminär strömningsbild.

Eventuellt kan en andra perforatur (ej visad) anordnas nedanför HEPA-filtret för att ytterligare förbättra det stömingsfria nedåtriktade luñflödet genom den känsliga zonen.

Då lufiflödet passerat ned genom zonen B, passerar det ut genom spjällen 9 till returkammaren 7, där det blandas med luften från de båda andra zonerna A och B. 508 807 10 15 20 25 30 10 I det visade exemplet ska temperaturen i den känsliga zonen B vara 18° C, i 0,05° C, dvs lägre än i de båda övriga zonerna A, C. Den luft som tillförs blandningsutrymmet 14 från det andra luftbehandlingsaggregatet 17 ges därför lägre temperatur än den luft som tillförs från det första luftbehandlingsaggregatet 11, via övertryckskammaren 5.

Temperaturskillnaden mellan de båda flödena beror av storleken hos dessa flöden samt av hur stor uppvärmning eller avkylning av luften som uppstår i zonen på grund av värmeväxling med exempelvis tillverkningsmaskiner, belysningsarmaturer och liknande.

Vad beträffar relativa luftfuktigheten i zonen B ska denna i det visade exemplet vara 45% RH, i 1%-enhet. Den luft som tillförs blandningsutrymmet 14 från det andra luftbehandlingsaggregatet 17, ska därför vara torrare än den från det första aggregatet ll tillförda luften. Den faktiska skillnaden i relativ luftfuktighet beror, analogt med temperaturskillnaden, av storleken på de båda flödena samt omgivningens inverkan på relativa luftfuktigheten i zonen.

Liksom i de båda mindre känsliga zonema A och B, mäts luftens temperatur och luftfiiktighet kontinuerligt i zonen B. Denna mätning sker företrädesvis längst ned i zonen. Så fort temperaturen eller relativa luftfiiktigheten ändras förbi ett visst i förväg definierat gränsvärde, exempelvis =t= 0,02° C respektive i O,5%-enheter, sänds en konigeringssignal till en kontrollenhet (ej visad). Körrigeringen av klimatet i zonen B kan därefter åstadkommas på två olika sätt.

Enligt det ena sättet kan kontrollenheten beräkna en flödeskorrigering och sända en flödeskorrigeringssignal till reglerventilen 20. Genom förändring av reglerventilens 20 inställning sker därefter en förändring av det från det andra luftbehandlingsaggregatet 17 tillförda luftflödet. Om exempelvis temperaturen och relativa luftfuktigheten ökari zonen B, kompenseras detta genom att reglerventilen 20 bringas att öka flödet genom ledningen 16b, så att en större andel kallare och torrare luft blandas in i blandnings- utrymmet 14. Om istället temperaturen och relativa luftfiiktigheten i zonen B sjunker under gränsvärdena, bringas reglerventilen att strypa flödet från det andra luft- behandlingsaggregatet 17, så att luftblandningen i blandningsutrymmet 14 erhåller en högre temperatur och relativ luftfuktighet. 10 15 20 25 30 508 807 ll Enligt det andra sättet att korrigera klimatet i zonen B sänder kontrollenheten en korrigeringssignal till det andra luñbehandlingsaggregatet 17. Härigenom kan detta andra luñbehandlingsaggregat 17 bringas att direkt förändra temperatur och/ eller relativa luftfuktigheten hos det luftflöde, som tillförs blandningsutrymmet 14 via ledningen 16a, 16b. Detta senare reglerförfarande ger större möjlighet att kompensera avvikelser hos temperatur och relativ luflfixktighet oberoende av varandra. Det är naturligtvis möjligt att kombinera de båda sätten att korrigera klimatförändringar i zonen B.

Gemensamt för båda korrigeringssätten är att det första lufibehandlingsaggregatet ll kan arbeta ostört och behöver inte korrigera temperatur eller luftfiiktighet hos det från detta aggregat 11 tillförda stora lufiflödet. Det första luñbehandlingsaggregatet ll kan därför göras väsentligt enklare och mindre kostsamt än vad som vore fallet om detta aggregat ensamt skulle kunna reglera klimatet i den känsliga zonen B. Det andra luñbehandlingsaggregatet 17 behöver endast leverera en litet flöde, vilket medför att även detta aggregat kan göras litet och därmed föga kostsamt. Den förhållandevis ringa flödesstorleken från det andra luftbehandlingsaggregatet medför även att temperaturen och luñfuktigheten kan varieras mycket snabbt utan att kapacitets- kostnaden hos aggregatet blir alltför hög. I de fall korrigeringen åstadkoms genom reglering av flödet genom ledningen 16a, 16b inträffar kompensationen i zonen B i det närmaste momentant.

Med hänvisning till figur 2, beskrivs nedan en annan utföringsform av anordningen enligt uppfinningen. Den i figur 2 visade anordningen innefattar liksom den ovan beskrivna utföringsformen ett rent rum 1, som är indelat i olika zoner A, B, C. Zonerna A och B har högre ställda krav än zonen C, beträffande de toleranser inom vilka zonemas temperatur och luftfuktighet tillåts variera. Ovanför renrumstaket 3, med HEPA-filter 4a, 4b, 4c, är en övertryckskammare 5 anordnad och nedanför renrumsgolvet 8 med spjäll 9, är en returkammare 7 anordnad. Ett första lufibehandlingsaggregat 11 är på sugsidan anslutet till returkammaren 7 och till ett friskluftsintag. På trycksidan är det första luftbehandlingsaggregatet 11 anslutet till en för zonerna A, B, C gemensam övertryckskammre 5. Ett andra lufibehandlings- 508 807 10 15 20 25 12 aggregat l7 står på sin sugsida i förbindelse med returkammaren 7, och eventuellt med ett friskluftsintag (ej visat).

Nedanför renrumstaket i de känsligare zonerna A och B är varsitt blandningsutrymme 14 anordnat. Blandningsutrymmena begränsas uppåt, mot övertryckskammaren 5 av renrumstaket 3 med respektive filter 4a och 4b. I sidled begränsas blandnings- utrymmena 14 av respektive zons mellanväggar 2 och ytterväggar 6. Eventuellt kan separata blandningsutrymmesväggar (ej visade) vara anordnade hängande från renrumstaket, så att ett blandningsutrymme med mindre tvärsnittsarea bildas nedanför respektive filter 4a, 4b. De båda blandningsutrymmena 14 begränsas nedåt mot zonemas nedre del av varsin perforatur 22. I de båda blandningsutrymmena 14 sträcker sig ett perforerat rör 16a utmed en väsentlig sträcka horisontellt genom utrymmet 14.

De perforerade rören 16a står via ledningar l6b och varsin reglerventil 20 i förbindelse med det andra lufibehandlingsaggregatet 17.

Funktionen hos den i figur 2 visade utföringsformen är densamma som den ovan beskrivna funktionen. I den senare utföringsformen användes emellertid reglerventilerna 20 i högre utsträckning för att kompensera klimatvariationer utöver dt- tillåtna gränsvärdena i de känsligare zonerna A och B. Genom att utnyttja regler- ventilerna 20 för korrigering, är det möjligt att genomföra klimatkompensationer i de båda känsligare zonerna A och B oberoende av varandra. Den i figur 2 visade utföringsformen är särskilt lämplig att installera i redan befintliga renrumsanläggningar där den fria höjden i övertryckskammaren 5 ovanför det rena rummet är begränsad.

Den i figur 3 visade utföringsformen skiljer sig från de två övriga i det att den känsliga zonen B är anordnad i en separat enhet 23, som är placerad i en mindre känslig zon A.

Zonen A kan exempelvis utgöras av ett vanligt rum, En fördel med denna utföringsform är att enheten 23 enkelt kan placeras även i rum som ej uppfyller normala renrumskrav. Enheten kan i själva verket placeras i helt vanliga lokaler såsom i laboratorier, monteringshallar och kontor.

Rummet A tillförs luñ från ett första luftbehandlingsaggregat 11 via en övertrycks- kammare 5 som är försedd med filter. Det bör noteras att övertryckskammaren 5 inte 10 15 20 25 508 807 13 nödvändigtvis behöver vara utformad som i figuren, utan kan utgöras av exempelvis en ventilationskanal. Övertryckskammaren behöver ej heller vara försedd med filter. I de fall övertryckskammaren utgörs av en ventilationskanal för tillförsel av luft till ett vanligt rum motsvaras filtren närmast av ett tillufisdon eller en spridare vid kanalens mynning i rummet.

Zonen B avgränsas från rummet A medelst väggar 2 och ett separat renrumstak 24 med I-[EPA-filter 25. Ovanför det separata renrumstaket 24 är en fläkt 26 anordnad för cirkulation av luft genom den känsliga zonen B. Ovanför fläkten 26 är vidare en nedre perforatur 27 anordnad. Den nedre perforaturen 27 utgör den nedre begränsningen hos ett blandningsutrymme 14, som vidare avgränsas mot rummet A av fyra väggar 15a, l5b, 15c och av en övre perforatur 28. I blandningsutrymmet 14 är en tilluftsledning 16a med perforerad mantelyta anordnad. Tilluñsledningen 16a är via ledningen 16b och en ventil 20 ansluten till ett andra luftbehandlingsaggregat l7. I den känsliga zonens B nedre del är spjäll 9 anordnade för utförsel av luft samt reglering av trycket i zonen. Dessa spjäll kan, som ovan vara anordnade i renrumsgolvet 8, mellan zonen B och en returkammare 7. Det är även möjligt att spjällen 9 är anordnade i väggen 2 mellan zonerna B och A. Frånluflen från zonen B förs härvid direkt ut i det omgivande rummet A. Även en kombination av spjäll både i golvet och väggen är möjlig.

Funktionen hos anordningen enligt utföringsformen enligt figur 3 skiljer sig från de tidigare visade utföringsforrnema i det att lufien från det första luftbehandlings- aggregatet ll inte tillföres blandningsutrymmet 14 direkt från övertryckskammaren 5, utan först tillförs det zonen B omgivande rummet A. För att åstadkomma den nödvändiga luficirkulationen genom zonen B drivs fläkten 26, så att den suger lufl från blandningsutrymmet 14 och blåser lufien genom HEPA-filtret 25 in i zonen B.

Uppñnningen är naturligtvis inte begränsad till de ovan beskrivna exemplifierande utföringsformerna utan kan varieras inom ramen för eñerföljande patentkrav.

Exempelvis kan anordningen innefatta flera olika andra luñbehandlingsaggregat.

Härvid är lämpligen ett blandningsutrymme ovanför varje zon med speciellt stränga klimatkrav anslutet till ett eget andra lufibehandlingsaggregat. Denna utformning 508 807 14 medger mycket noggrann kontroll av varje känslig zon. Konditionen hos den till varje känslig zon tillfórda luñen kan regleras både genom att variera blandningsforhållandet mellan mängden lufi från övertryckskammaren och från respektive andra lufi- behandlingsaggregat samt genom att variera konditionen hos den från respektive andra 5 aggregat tillforda luften.

Vare sig det forsta eller andra luftbehandlingsaggregatet behöver tillföras returluft utan kan matas med enbart friskluft eller luñ från annat håll. Härvid kan returluñskammaren ersättas med ett frånlufisutlopp,

Claims (8)

10 15 20 25 30 508 807 15 Patentkrav

1. Anordning för tillförsel av luft till ett rum, företrädesvis ett renrum, vilket rum är indelat i zoner (A, B, C) med olika klimatkrav, innefattande ett första luft- behandlingsaggregat (11) från vilket luft tillförs en för flera zoner gemensam övertryckskammare (5), från vilken luft tillförs de olika zonema (A, B, C) och åtminstone ett blandningsutrymme, kännetecknad av ett andra luftbehandlings- aggregat (17), vilket via ledningar (16a, 16b) ståri förbindelse med åtminstone ett blandningsutrymme (14) för blandning av luft från övertryckskammaren (5) och det andra luftbehandlingsaggregatet, av medel (20) för att reglera det till blandningsutrymmet tillförda luftflödet från det andra luftbehandlingsaggregatet, och av att blandningsutrymmet även ståri förbindelse med åtminstone en av zonema (B) för tillförsel av den blandade luften till denna zon (B).

2. . Anordning enligt krav 1, kännetecknad av att medlet för flödesreglering innefattar för vaije blandningsutrymme (14) minst ett, företrädesvis ijärrmanövrerat spjäll (20) anordnat vid respektive blandningsutrymmes ledningar (16a, 16b) från det andra luftbehandlingsaggregatet (17).

3. . Anordning enligt krav 1, kännetecknad av att det andra luftbehandlingsaggrega- tet (17) är anordnat att reglera temperatur och / eller relativ luftfuktighet hos den från detta luftbehandlingsaggregat till blandningsutrymmet (14) tillförda luften.

4. . Anordning enligt något av kraven 1 - 3, kännetecknad av att en utloppsdel (16a) av respektive blandningsutrymmes (14) ledningar (16a, 16b) från det andra luft- behandlingsaggregatet (17) sträcker sig in i blandningsutrymmet och är försedd med en mångfald hål i ledningens mantel- och/ eller gavelyta, genom vilka hål luft från det andra luftbehandlingsaggregatet tillförs blandningsutrymmet.

5. . Anordning enligt något av krav 1 - 4, kännetecknad av att övertryckskainmaren (5) åtminstone delvis år anordnad ovanför zonema (A, B, C), att blandningsutrymmena (14) är anordnade i övertryckskammaren (5) ovanför respektive zon (B) och är avgränsade mot övertryckskarnmaren delvis medelst väggar (15a, 15b, l5c), och att blandningsutrymmena ståri förbindelse med respektive zon (B) via filter (4b) som är anordnade i blandningsutrymmenas nedre begränsningsytor. 508 807 16

6. Anordning enligt krav 5, kännetecknad av en eller flera perforaturer (21), som är anordnade vid den eller de sidor hos blandningsutxymmet (14) som ej uppvisar mot övertryckskainmaren (5) avgränsande, väggar.

7. Anordning enligt något av kraven 1 - 4, kännetecknad av att ett eller flera bland- 5 ningsutrymmen (14) är avgränsade mot övertiyckskammaren (5) åtminstone delvis medelst filter (4b) och mot respektive zon (B) medelst en perforatiir (22).

8. Anordning enligt något av kraven 1 - 7, kännetecknad av en för de olika zonema (A, B, C) gemensam undertryckskammare (7), som företrädesvis är anordnad under zonemas golv (8) och som via tryckreducerande medel (9) ståri förbindelse med 10 zonerna, vilken undertryckskammare (7) även står i förbindelse med det första (11) och andra (17) luftbehandlingsaggregatet för cirkulation av luften genom anord- ningen.