[go: up one dir, main page]

NL177161C - Aftastende elektronenmicroscoop voor het weergeven van een doorgelaten elektronenbeeld. - Google Patents

Aftastende elektronenmicroscoop voor het weergeven van een doorgelaten elektronenbeeld.

Info

Publication number
NL177161C
NL177161C NL7409907A NL7409907A NL177161C NL 177161 C NL177161 C NL 177161C NL 7409907 A NL7409907 A NL 7409907A NL 7409907 A NL7409907 A NL 7409907A NL 177161 C NL177161 C NL 177161C
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
displaying
extracted
electron microscope
scanning electron
image
Prior art date
Application number
NL7409907A
Other languages
English (en)
Other versions
NL177161B (nl
NL7409907A (nl
Original Assignee
Jeol Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jeol Ltd filed Critical Jeol Ltd
Publication of NL7409907A publication Critical patent/NL7409907A/nl
Publication of NL177161B publication Critical patent/NL177161B/nl
Application granted granted Critical
Publication of NL177161C publication Critical patent/NL177161C/nl

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/244Detectors; Associated components or circuits therefor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/28Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/244Detection characterized by the detecting means
    • H01J2237/2441Semiconductor detectors, e.g. diodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/244Detection characterized by the detecting means
    • H01J2237/2446Position sensitive detectors
    • H01J2237/24465Sectored detectors, e.g. quadrants
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/244Detection characterized by the detecting means
    • H01J2237/2446Position sensitive detectors
    • H01J2237/2447Imaging plates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/245Detection characterised by the variable being measured
    • H01J2237/24592Inspection and quality control of devices

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
NL7409907A 1973-07-27 1974-07-23 Aftastende elektronenmicroscoop voor het weergeven van een doorgelaten elektronenbeeld. NL177161C (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8466273A JPS5329472B2 (nl) 1973-07-27 1973-07-27

Publications (3)

Publication Number Publication Date
NL7409907A NL7409907A (nl) 1975-01-29
NL177161B NL177161B (nl) 1985-03-01
NL177161C true NL177161C (nl) 1985-08-01

Family

ID=13836921

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL7409907A NL177161C (nl) 1973-07-27 1974-07-23 Aftastende elektronenmicroscoop voor het weergeven van een doorgelaten elektronenbeeld.

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JPS5329472B2 (nl)
GB (1) GB1432887A (nl)
NL (1) NL177161C (nl)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5216160A (en) * 1975-07-30 1977-02-07 Hitachi Ltd Electron beam detection device
GB8509493D0 (en) * 1985-04-12 1985-05-15 Plessey Co Plc Scanning microscopes
DE3540916A1 (de) * 1985-11-19 1987-05-21 Zeiss Carl Fa Verfahren und vorrichtung zur raster-lichtmikroskopischen darstellung von objekten im dunkelfeld
JP4187544B2 (ja) * 2003-02-25 2008-11-26 富士通株式会社 走査透過型電子顕微鏡

Also Published As

Publication number Publication date
NL177161B (nl) 1985-03-01
JPS5329472B2 (nl) 1978-08-21
GB1432887A (en) 1976-04-22
NL7409907A (nl) 1975-01-29
JPS5034158A (nl) 1975-04-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL7414845A (nl) Inrichting voor het weergeven van kleurentelevi- siebeelden.
NL7412732A (nl) Werkwijze voor het alkyleren van een isoalkaan.
NL7413151A (nl) Werkwijze voor de bereiding van een verbeterde stof.
NL7316388A (nl) Kathodestraalbuis voor het weergeven van ge- kleurde beelden.
NL166131C (nl) Inrichting voor het vormen van een beeld van een ver- lichte kruisdraad.
NL147883B (nl) Aftastelektronenmicroscoop.
NL152919B (nl) Werkwijze voor het bereiden van fluorescerende pigmenten.
NL167798C (nl) Elektronenstraalbuis voor het weergeven van gekleurde beelden.
NL7404365A (nl) Kathodestraalbuis voor het weergeven van gekleurde beelden.
NL175911C (nl) Werkwijze voor het bereiden van zuivere alfa-l-aspartyl-l-fenylalaninemethylester.
NL156901B (nl) Werkwijze voor de bereiding van een olie-in-water emulsie.
NL7515039A (nl) Kathodestraalbuis voor het weergeven van gekleurde beelden.
NL170198C (nl) Elektronenstraalbuis voor het weergeven van gekleurde beelden.
NL7413673A (nl) Machine voor het aanbrengen van een voorwerp- drager.
NL7310372A (nl) Kathodestraalbuis voor het weergeven van gekleurde beelden.
NL177161C (nl) Aftastende elektronenmicroscoop voor het weergeven van een doorgelaten elektronenbeeld.
NL7412977A (nl) Werkwijze voor het omkralen van buizen uit etrafluoretheen.
NL7402421A (nl) Kathodestraalbuis voor het weergeven van gekleurde beelden.
NL7514975A (nl) Kathodestraalbuis voor het weergeven van gekleurde beelden.
NL163644C (nl) Inrichting voor het met de hand aftasten van informatiedragers.
NL156860B (nl) Inrichting voor het verdampen met behulp van een elektronenstraal.
NL7409951A (nl) Aftastmicroscoop.
NL160676C (nl) Inrichting voor het weergeven van kleurentelevisiebeelden.
NL179693C (nl) Weergeefstelsel voor een veldemissie-aftastmicroscoop.
NL163645C (nl) Inrichting voor het met de hand aftasten van informatiedragers.

Legal Events

Date Code Title Description
BC A request for examination has been filed
A85 Still pending on 85-01-01
V4 Lapsed because of reaching the maxim lifetime of a patent