KR980009112A

KR980009112A - 오존 발생장치

Info

Publication number: KR980009112A
Application number: KR1019960025510A
Authority: KR
Inventors: 요이치로 다바다; 마사키 구즈모토; 쥰지 히로츠지
Original assignee: 기타오카 다카시; 미쓰비시덴키 가부시키가이샤
Priority date: 1996-07-10
Filing date: 1997-06-18
Publication date: 1998-04-30
Anticipated expiration: 2017-06-18
Also published as: KR100228865B1; TW419437B; DE69704990T2; CA2210053C; CA2210053A1; DE69704990D1; JPH1025104A; CN1188070A; US5942196A; EP0818415B1; EP0818415A1; CN1117695C

Abstract

콤팩트하고 대용량인 오존 발생장치를 실현하고, 또 조립이나 보수가 용이한 오존 발생장치를 실현한다

접지전극 2x 및 고압전극(3a), (3b), (3c)를 유전체(3O0a), (3OOb), (300c)를 통해서 대향 배치하고 상기 전극간에 고전압을 인가해서 방전을 발생시키는 방전체를 갖고, 전극간에 산소를 포함하는 가스를 공급해서 방전에 의해 오존을 발생시키는 오존 발생장치에 있어서, 방전체는 공통의 접지전극에 대해 유전체 및 전극의 적어도 한쪽을 여러개 배치해서 구성한 여러개의 방전 셀을 갖는다. 또, 방전체를 여러개 적층해서 결합해 블록을 구성하고, 블록을 여러개 적층해서 결합시켜 모듈을 구성하였다.

Description

오존 발생장치

제1도는 본 발명의 실시의 형태1에 의한 오존 발생장치의 요부를 표시하는 평면도.

제2도는 본 발명의 실시의 형태1에 의한 오존 발생장치의 요부를 표시하는 단면도.

제3도는 본 발명의 실시의 협태2에 의한 오존 발생장치의 요부를 표시하는 평면도.

제4도는 본 발명의 실시의 형태2에 의한 오존 발생장치의 요부를 표시하는 단면도.

제5도는 본 발명의 실시의 형태3에 의한 오존 발생장치의 요부를 표시하는 단면도.

제6도는 본 발명의 실시의 형태4에 의한 오존 발생장치의 요부를 표시하는 단면도.

제7도는 본 발명의 실시의 형태4에 의한 오존 발생장치의 요부를 표시하는 단면도.

제8도는 본 발명의 실시의 형태5에 의한 오존 발생장치의 요부를 표시하는 단면도.

제9도는 본 발명의 실시의 형태6에 의한 오존 발생장치 본체와 전원회로를 표시하는 구성도.

제1O도는 본 발명의 실시의 형태7에 의한 오존 발생장치의 요부를 표시하는 구성도.

제11도는 본 발명의 실시의 형태8에 의한 오돈 발생장치의 요부를 표시하는 구성도.

제12도는 본 발명의 실시의 형태9에 의한 오존 발생장치의 요부를 표시하는 평면도.

제13도는 본 발명의 실시의 형태9에 의한 오존 발생장치의 요부를 표시하는 단면도.

제14도는 본 발명의 실시의 형태9에 의한 오존 발생장치의 요부를 표시하는 평면도.

제15도는 본 발명의 실시의 형태9에 의한 오존 발생장치의 요부를 표시하는 평면도.

제16도는 본 발명의 실시의 형태1O에 의한 오존 발생장치의 요부를 표시하는 구성도.

제17도는 본 발명의 실시의 형태H에 의한 오존 발생장치의 요부를 표시하는 구성도.

제18도는 본 발명의 실시의 형태12에 의한 오존 발생장치의 요부를 표시하는 평면도.

제19도는 본 발명의 실시의 형태12에 의한 오존 발생장치의 요부를 표시하는 단면도.

제2O도는 본 발명의 실시의 형태13에 의한 오존 발생장치의 요부를 표시하는 평면도.

제21도는 본 발명의 실시의 형태13에 의한 오존 발생장치의 요부를 표시하는 단면도.

제22도는 본 발명의 실시의 형태14에 의한 오존 발생장치의 요부를 표시하는 평면도.제23도는 본 발명의 실시의 형태14에 의한 오존 발생장치의 요부를 표시하는 단면도.

제24도는 본 발명의 실시의 형태15에 의한 오존 발생장치의 요부를 표시하는 평면도.

제125(a)도는 종래의 오존 발생장치의 요부를 표시하는 단면도.

제25(b)도는 종래의 오존 발생장치의 요부를 표시하는 좌측반쪽의 정면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1, 1a~1c, 1x : 전원 1xa : 고전압발생 회로부

1xb : 전류 인버터부 1a~1c : 방전 셀

101, 101a~101c : 3상 정류회로 102, 102a~102c : 3상 인버터 회로

103, 103a~103c : 구동회로 1O4, 104a~104c : 인버터 제어회로

105a 105b : 직렬 리엑터 106, 106a~106c : 3상 고압변압기

107a~107c : 병렬 리엑터 110 : 고전압공급 바

2, 2x, 2y : 접지전극 2a, 2bx : 도전부재

2sa, 2sb, 2sax, 2say, 2sbx, 2sby : 스프링 실판 2Oax~2bx : 가스도입

22a~2c : 과전류방지용 퓨즈 26a 26b : 냉각수 흡입 배출구

250x, 250y : 메인 집중 냉각관 251x, 251y : 중계 집중 냉각관

291a~291d, 291a~291cx : 보존구재 A 292, 292x : 보존구재 B

293a~293e : 관통구멍 294a~294d : 훅

295a~295d, 297a~297e : 결합봉 3 : 고압전극

3a~3c, 3a~3cx, 3ay~3cy : 유전체 고압전극 30a~30c : 도전막

300a~300c : 원판상 유전체 301x, 301y : 유전체 막

31, 31a~31c : 가스실 재 32, 32a~32c : 금속스프링

33, 33a~33c : 급전판 34ax~34cx : 원판상 고압전극

4 : 유전체 5 : 방전공간

6, 6ax, 6bx, 6cx, 6ay, 6by, 6cy : 스페이서 7 : 원료가스 공급구

8 : 가스출구를 표시하는 화살표 9a, 9b : 오존화 가스배출관

99 : 오존 발생장치 본체 Zb, Zo, Zzx, Zy : 절연 링

[발명의 목적]

콤팩트하고 대용량인 오존 발생장치를 실현시키고, 또 조립이나 보수가 용이한 오존 발생장치를 실현시키는 데 발명의 목적이 있다.

본 발명은, 오폰 발생장치에 관해 특히 그 대용량화에 관한 것이다.

도25는 예를 들어 간행물(일본국 「오존아이저 핸드북」 전기학회 오존아이저 전문위원회 편, 소화 35년 코로나사 간행, 249페이지)에 기재된 Otto-Plate형이라고 불리는 종래의 오존 발생장치의 요부를 표시하고, (a)는 단면도, (b)는 좌측 반쪽의 정면도이다.

도면에서, 1은 전원, 2는 접지된 금속전극, 3은 접지전극(2)에 대향해서 설치되고, 전원1에 접속되어 고전압이 인가된 고압전극, 4는 접지전극(2) 및 고압전극(3)의 표면에 놓인 유전체(유리판), 5는 방전이 발생하는 방전공간, 6은 방전공간(5)를 형성하기 위한 전기 절연성(유전체)스페이서이다. 7, 8은 각각 가스의 공급구, 배출구를 표시하는 화살표, 9는 오존화 가스의 배출관이다.

접지전극(2), 고압전극(3) 및 이들의 전극간에 배치된 유전체(4)에 의해 하나의 방전 셀을 구성하고 있다.

다음 동작에 대해 설명한다. 종래의 오존 발생장치는 접지전극(2), 고압전극(3), 유전체 판(4)의 중앙부에는 가스 배출용 구멍이 뚫려있다. 상술한 오토 플레이트 형의 문헌에는 스페이서(6)에 관한 기술은 없으나 실제로는 도25에 표시하는 바와 같이, 유전체(4)의 간격(공극장)을 보존하기 위해, 가스의 유압을 방해하지 않는 형태를 방전공간(5)주위에 전기 절연성의 스페이서가 설치되어 있다. 산소를 포함하는 원료가스는 오존 발생장치의 주변부 전주로부터 화살표(7)의 방향에 도입되고, 전원장치1에 의해 고전압이 인가되어 방전하고 있는 방전공극(5)을 통과할 때에 산소의 일부가 오존이 되고, 이 오존을 포함하는 가스가 오존화가스로서 중앙부의 가스배출관(9)을 통해서 화살표(8)방향으로 인출된다.

상기 방전공간(5)에서는 방전에 의한 발열이 있기 때문에, 이 방전공간을 통과하는 가스를 유효하게 냉각하지 않으면, 방전공간(5)내의 가스온도가 상승하고, 오존의 발생량이 감소한다.

이 때문에, 접지전극(2) 및 고압전극(3)은 절연 오일등 전기 절연성의 액체로 냉각하고, 가스온도의 상승을 억제하고 있다.

[발명이 이루고자 하는 기술과제]

종래의 오존 발생장치는 이상과 같이 구성되어 있고, 대용량화를 도모하는데는 도25에 표시하는 바와같이 방전 셀을 다단으로 적층하면 오존의 발생량은 적층수에 비례해서 증가한다.

물처리, 펄프표백 등 산업용 용도에 이 오돈 발생장치를 이용하는데는, 수십개 이상의 방전셀을 적층해서 구성한 모듈이 다시 수십대 이상 필요하다. 이 때문에 대용량의 오존 생산 시스템을 구성하는 경우, 적층수나 장치의 대수에 비례해서 전극의 매수나 접속 부품수가 증가하고, 제작 코스트가 높아지는 것이나 장치 스페이스가 커지는 것, 보수작업이 많아지는 곤란성이 생긴다.

또, 하나의 방전 셀의 방전 면직을 증가시킴으로써 오존의 발생량은 증가하나, 전극경을 너무 크게하면 소정정밑도의 평탄도를 얻는데는 전극의 두께가 두꺼워져 대단히 무거워지는 등 문제가 있고, 또 유전체는 기계적 강도가 약하고 평탄도도 얻기 힘들기 때문에 면적을 크게하는데 한계가 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하기 위해 된 것으로, 첫째로 대면적이 되면 소정 정밀도의 평탄도를 얻는데 두께를 두껍게 해야 하는 전극이나, 게적 강도가 약하고 평탄도도 얻기 힘든 유전체를 대형화하지 않고, 콤팩트하고 부품수가 적어 제작이 쉽고 대용량인 오존을 발생할 수 있는 오존 발생장치를 실현하는 것을 목적으로 하고 있다. 둘째로, 셀의 적층, 점검, 교환 등의 각 작업이 쉽고 대용량의 오존 발생장치를 실현하는 것을 목적으로 한다.

제1의 발명에 관한 오존 발생장치는 방전체는 공통의 접지전극에 대해 유전체 및 고압전극의 적어도 한쪽을 여러개 배치해서 구성한 여러개의 방전 셀을 갖는 것이다. 제2의 발명에 관한 오존 발생장치는 접지전극은 유전체 및 고압전극을 보존하고 있는 것이다. 제3의 발명에 관한 오존 발생장치는 접지전극은 고압전원과 전극간에 접속되는 과전류 방지용 퓨즈를 측면에 보존하고 있는 것이다. 제4의 발명에 관한 오폰발생장치는, 전극간에 고전압을 인가하는 오존 발생용 전원의 적어도 고전압 발생회로부를 오존 발생장치 본체에 근접해서 배치하고, 적어도 인버터 제어회로부를 상기 오존 발생장치 본체로부터 떼어서 배치한 것이다.

제5의 발명에 관한 오존 발생장치는, 적어도 3개의 고압전극을 갖고 적어도 3개의 방전 셀을 구성하고, 3상 교류전원을 사용해서 상기 3개의 방전 셀에 각각 위상이 다른 3상 교류를 인가하도록 한 것이다.

제6의 발명에 관한 오존 발생장치는, 방전체를 유전체와 소정의 간격을 유지한 결합봉에 의해 다단으로 적층한 것이다.

제7의 발명에 관한 오존 발생장치는, 방전체를 수직방향으로 적층한 것이다.

제8의 발명에 관한 오존 발생장치는, 접지전극 및 고압전극을 유전체를 통해서 대향배치하고 상기 전극간에 고전압을 인가해서 방전용 발생시키는 방전체를 여러겹 적층해서 결합해 블록을 구성해서, 상기 블록을 여러개 적층 결합해서 모듈을 구성하고 상기, 전극간에 산소를 포함하는 가스를 공급해서 상기 방전에 의해 오존을 발생시키는 것이다.

[발명의 구성 및 작용]

실시의 형태 1

이하, 본발명의 한 실시의 형태를 도면에 따라 설명한다.

도1, 2는 본 발명의 실시의 형태1에 의한 오존 발생장치의 요부를 표시하고, 도1은 평면도, 도2는 도1의 A-A선 단면도이다. 또, 도1은 도2의 B一B선을 화살표 방향에서 본 경우를 표시하고 있다. 도면에서 1a, 1b, 1c는 오존 발생용 전원 2x, 2y는 변형 6각형의 접지전극이다. 300a, 300b, 300c는 원판상의 유전체이고, 각 유전체 300a, 300b, 300c의 한면에 도전막 30a, 3Ob, 30c가 형성되어서 유전체 고압전극 3a 3b, 3c)를 구성하고 있다. 32는 도전성을 갖는 탄성체 즉 금속스프링, 33은 고전압을 급전하기 위한 급전판으로 급전판(33)으로부터 금속스프링(32)을 통해서 유전체 전극(3a), (3b), (3c)의 도전막(30a), (30b), (30c)면에 전기적으로 접속함으로써 고전압을 공급하도록 구성하고 있다.

본 실시의 형태에서는 변형 6각 형상의 접지전극(2)의 중심으로부터 각도 120도에서 3등분한 접지 전극면에 방전면이 되는 고정밀도의 평탄도를 갖는 원판상의 도전부재 2a, 2bx(2cx도시않음)을 각각 접합하고, 이들의 도전부재 2bx, 2bx, 2cx에 3개의 유전체 전극 (3a), (3b), (3c)를 각각 대향시켜서 배치하고 있다. 이와 같이. 공통의 접지전극 2x와 하나의 유전체 전극 3a 또는 3b 또는 3c를 갖는 방전부분을 각각 오전발생방전 셀 1Oa, 10b(1Oc 도시않음)이라 칭한다. 본 실시의 형태에서는 공통의 접지전극(2x)에 3개의 방전 셀(1Oa), (1Ob), (10c)를 갖는 방전체 즉 방전유닛을 구성하고 있다. 20a, 20b, 20c는 가스 도입구멍, 21는 절연애자이다. 22a, 22b, 22C는 과전류 방지용 퓨즈이고, 접지전극(2)의 측면에 절연애자(21)를 통해서 보존되어 있다. Ba, Bb는 접지전극 2x, 2y의 냉각용 매채인 불의 입구와 출구, 24a, 24b는 배관 25a, 25b 는 복수개의 접지전극을 냉각하기 위한 중계 집합 냉각관, 26a, 26b는 주냉각관의 배출구와 흡입구이고, 접지전극에 설치된 중공부를 냉각수가 유통하도록 구성되어 있다. 27은 냉각수의 흐름을 표시하는 화살표, 5는 방전을 발생시키는 방전공간, 6은 방전공간을 형성하기 위한 스페이서, 31은 탄서를 갖는 가스씰재, 7은 원료가스 공급구, 8은 오존화 가스배출방향을 표시하는 화살표, 9a, 9b, 9c는 오존화 가스의 배출관, 100은 압력용기이다.

다음, 동작에 대해 설명한다. 도면에서, 오존 발생용 전원(1a), (1b), (1c)에서 발생한 고전압은 접지전극(2x), (2y)의 측면에 설치한 과전류 방지용 퓨즈(22a), (22b), (22C)를 통해서 급전판(33)으로부터 금속스프링(32)을 거쳐서 유전체 고압전극(3a), (3b), (3C)에 공급된다. 압력용기(100)에 설치된 원료가스 도입구(7)로부터, 산소를 포함하는 원료가스를 도입하면, 오존 발생방전 셀 1Oa, 10b, 10c의 외주방향으로부터 방전공간(5)에 원료가스는 흡입되고, 방전공간(5)에 무성방전을 하면, 원료가스는 오존화가스가 된다. 방전공간(5)를 나온 오존화가스는 가스도입구멍(2Oa), (20b), (20c)로 인도되고, 오존 배출관(9a), (9b), (9c)를 화살표(8)방향으로 배출되고, 외부로 인출된다.

이와 같이 본 실시의 형태에서는 방전면적을 증가시켜 대용량화 하는데, 공통의 접지전극 2x에 대향해서 여러개의 고압전극(30a), (30b), (30c) 및 유전체(300a), (300b), (300c)를 배치함으로써 기계적 강도가 약하고 평탄도도 얻기 힘든 유전체(300a), (300b), (300c)나 소정정밀도의 평탄도를 얻기 위하여 두껍게 하지 않으면 안되는 고압전극(30a), (3Ob), (30c)을 대형화하는 일 없이 대용량화가 가능해지고, 접지전극 및 접지전극의 냉각 조인트 동의 접지전극 부품수를 감소시키고 오존 발생량의 대용량화 도모된다. 또 복수의 방전 셀을 공통의 접지전극에 유효하게 배치함으로써 콤팩트한 장치를 실현시길 수가 있다. 또 공통의 접지전극 2X는 방전면이 되는 고정밀도의 평탄도를 갖는 원판상의 도전부재(2ax), (2bx), (2cx)를 각각 접합 하였으므로, 소정 정밀도의 평탄도가 얻어진다.

또, 본 실시의 형태에서는 접지전극(2x), (2y)의 형상을 변형 6각형으로 하였으므로, 원통형의 압력용기(100)와 접지전극(2x), (2y)사이에 공간이 생겨 이 공간인 접지전극측면에 과전류 방지용 퓨즈(22a), (22b), (22c)를 절연애자(21)를 통해 설치하거나, 접지전극의 냉각용 매체의 급배기구를 배치하거나 하는 것은 장치전압의 스페이스 절약에 유효하고, 또 공통의 접지전극(2x), (2y)에 과전류 방지용 퓨즈(22a), (22b), (22c)를 일체적으로 유지시키는 것은 오존발생 방전 셀 하나의 부픔이라고 볼수가 있어, 적층화를 쉽게 할 수 있는 이점이 있다.

또, 방전공간에 인가하는 전압은, 1kHz~ 수 10kHz, 수 kV의 오더의 고주파 고전압이고, 오존 발생방전 유닛을 다단으로 적층한 경우, 각 오존 발생 방전 셀간에 인가해 있는 고주파 고전압 배전은 각 오존 발생 전원 셀(10a), (10b), (10c)의 근방에 과전류 방지용 퓨즈(22a), (22b), (22c)를 설치하였으므로, 대단히 짧게할 수 있고, 각 오존 발생방전 셀 간에서의 고주파 고전압 배선은 이웃의 방전 셀의 고압배선과 접촉이나 근접하는 일은 거의없고, 이 때문에 고압배선끼리에 의한 절연불량의 가능성이 낮아지는 이점도 생긴다.

또, 도1에서 표시하는 바와 같이, 과전류 방지용 퓨즈(22a), (22b), (22c)를 접지전극에 일체적으로 본존시켜 두면, 방전 셀(1Oa) 또는 (10b) 또는 (1＆)의 불량으로 과전류가 흘러 퓨즈(22a) 또는 (22b) 또는 (22C)가 끊어지면, 그 불량 셀을 갖는 방전 유닛을 교환하면, 동시에 과전류 방지용 퓨즈(22a), (22b), (22c)도 교환가능하고, 전극의 메인트넌스가 쉽게되고, 수리작업에 유효하다.

또, 본 실시의 형태에서는 공룡의 접지전극 2x에 대해 3개의 고압전극 (3a), (3b), (3c)를 나열해서 3개의 방전 셀을 구성한 경우의 접지 전극측면에 과전류 방지용 퓨즈를 일체적으로 보존한 경우에 대해 설명하였으나, 하나의 접지전극에 하나의 고압전극을 배치한 경우에도 접지전극에 과전류 방지용 퓨즈를 일체적으로 보존해도 마찬가지로 적층 및 메인트넌스가 쉽게 된다.

또, 본 실시의 형태에서 접지전극(2x), (2y)는 오존 발생량의 대용량화를 위해 하나의 접지 전극면에 3개의 오존 발생방전 셀(10a), (10b), (10c)를 구성하였으므로, 접지전극(2x), (2y)가 커지고 접지전극을 스테인레스강으로 만들면 대단히 무거워지므로 오존 발생방전 유닛의 적층 작업이 곤란해지고, 또 장치전체의 총중량이 무거워져 장치의 수송이 곤란해지나 접지전극(2x), (2y)를 알미늄이나 티탄 등의 경금속이나 경합금으로 구성하면 경량화가 가능하고, 적층의 작업성이 좋아져, 특히 대용량화한 대형의 오존 발생장치로 유효하고, 장치의 수송에서 유효하다.

냉각용 매체인 냉각수는 중계집합 냉각관(25a)에 도입되어서 배관(24a), 물의 입구(23a)를 통해서 공동의 접지전극(2x), (2y)의 중공부에 공급되고, 방전공간(5)의 가스의 온도상승을 방지하고, 오존 발생 성능을 유지한다. 공통의 접지전극(2x), (2y)를 나온 냉각수는, 마찬가지로 물의 출구(23b), 배관(23b)를 통해서 중계 집합냉각관(25b)에 배출된다. 이와 같이 접지전극(2x), (2y)에 냉각수를 흘리면, 접지전극의 냉각 매체 즉 물에 접촉되는 면이 전기 부식할 가등성이 있으나, 이면에 유리코팅이나 세라믹 코팅 등의 내부식 가공을 함으로써 전기부식은 방지할 수 있다.

또, 유리코팅 등의 내부식 가공은 소용량의 오존 발생장치, 즉 작은 접지전극면으로 하는 것은 가공 코스트 비율이 높아지거나, 본 실시의 형태와 같이 대형의 오존 발생장치에서 더욱이 공통된 접지전극(2x), (2y)의 냉각용 매체에 접촉되는 면에 내부식 가공을 하는 것은 가공 코스트 비율이 낮아지므로, 특히 유효하다.

또, 접지전극(2x), (2y)의 유전체 고압전극(3a), (3b), (3c)에 대향하는 면은 방전으로 발생한 오존으로 금속 산화물(녹)의 생성이 촉진되어, 이 녹이 유전체(300a), (300b), (300c)의 표면이나 장치내에 부착해서 절연불량이 생기는 가능성이 있다. 이 때문에, 접지전극(2x), (2y)의 유전체 고압전극(3a), (3b), (3c)에 대향한 면에 유리코팅이나 세라믹 코팅 등의 내오존 가공을 해서 오존에 의한 산화를 방지 하는 것은 유효한 수단이다. 또, 유전체 고압전극(3a), (3b), (3c)의 전기급전면 즉 유전막(Ma), (幻b), (3＆)의 급전판(33) 대향면도 오존에 의해 열화할 가능성이 있다. 유리 코팅이나 세라믹 코팅 등의 내오존 가공을 해서 열화를 방지하는 것도 유효한 대책이다.

이때도, 소용량의 오존 발생장치에서의 유리코팅 등의 내오존 가공코스트는 높아지나, 본 실시의 형태와 같이 대형의 오존 발생장치에서는 산화방지 가공을 함으로써 가공코스트 비율이 낮아져서 특히 유효하다.

[실시의 형태 2]

도3, 도4는 본 발명의 실시의 형태 2에 의한 오존 발생장치의 요부를 표시하고, 도3은 횡면도, 도4는 도3의 A-A선 단면도이다. 또, 도3은 도4의 B-B선을 화살표 방향에서 본 경우를 표시하고 있다. 도면에서, 34a, 34ay, 34bx, 34by, 34cX는 금속으로된 원판상의 고압전극이다.

본 실시의 형태에서는 원판상 고압전극(3aX), (34bx), 34cx)에 대향해서 스페이서(6)을 통해서 원판상의 유전체(300a), (300b), (300c)를 각각 배치하고, 각 유전체 (300a), (300b), (300c)의 접지전극 대향면에 도전막(30a), (30b), (30c)형 , 이 도전막(3Oa), (30b), (30c)면과, 공통의 접지전극 2x을 전기적으로 접촉시킴으로써 유전체 접지전극으로 하고 있다.

본 실시의 형태에서도, 공통의 접지전극 2x에 대해서 고압전극(34ax), (34bx), (34cx)와 유전체(300a), (300b), (300c)를 각각 3개씩 배치해서 3개의 방전 셀을 구성되고 있고, 이 경우에도 상기 실시의 형태1과 같이 대용량화에 유리하다.

[실시의 형태 3]

도5는 본 발명의 실시의 형태 3에 의한 오존 발생장치의 요부를 표시하는 단면도이다. 도면에서, (301x), (301y)는 공통의 접지전극(2x), (2y)의 방전면에 형상한 공통의 유전체막이다.

도4의 3개의 원판상 유전체 300a, 300b, 300c의 대체품으로서 접지전극(2x), (2y)의 방전측의 측면전체에 유전체 막(301x), (301y)를 형성해서 유전체막(301x), (301y)부의 접지전극으로 하고 있다. 또, 유전체 막(301x), (301y)는 용사(溶射)에 의해 접지전극(2x), (2y)에 밀착시켜 형성되므로, 대면적이라도 기계적 강도 및 평탄도는 접지전극(2x), (2y)에 의해 보존된다.

본 실시의 형태에서도, 공통의 접지전극(2x)에 대해 공통의 유전체 막(301x)와 3개의 고압전극(34ax), (34bx), (34cx)를 배치해서 3개의 방전 셀을 구성하고 있고, 이 경우에도 상기 실시의 형태1과 같이 대용량화에 유리하다.

[실시의 형태 4]

도6은 본 발명의 실시의 형태 4에 의한 오존 발생장치의 요부를 표시하는 단면도이고, 실시의 형태2의 변형예를 표시하고 있다. 도면에서 2sa, 2sbx, 2say, 2sby는 스프링 실판이다. 스프링 실판 2sa, 2sbx,(2sX도시않음)는 한쪽면에 도전막이 형성된 실시의 형태2의 도4에 표시한 것과 같은 원판상 유전체 300a, 300b(300c 도시않음)의 도전막면과 접지전극의 원판상 도전부재2ax, 2bx(2cx도시않음)사이에 끼워져 있고, 유전체(300a), (300b), (300c)의 도전막면과 접지전극 2x와의 전기적 접촉을 좋게 하는 동시에 유전체 (300a), (300b), (300c)과 접지전극 2x간에서의 가스 누설을 방지하는 역할이나 유전체(300a), (300b), (300c)의 완충재의 역할을 한다.

또, 도6에서는 고압전극은 원판상 고압전극 34ax, 34bx, (%

Claims

접지전극 및 고압전극을 유전체를 통해서 대향 배치하고, 상기 전극간에 고전압을 인가해서 방전을 발생시키는 방전체를 갖고, 상기 전극간에 산소를 포함하는 가스를 공급해서 상기 방전에 의해 오존을 발생시키는 오존 발생장치에 있어서, 상기 방전체는, 공통의 상기 접지전극에 대해 상기 유전체 및 고압전극의 적어도 한쪽을 여러개 배치해서 구성한 여러개의 방전 셀을 갖는 것을 특징으로 하는 오존 발생장치.
접지전극 및 고압전극을 유전체를 통해서 대향 배치하고 상기 전극간에 고전압을 인가해서 방전을 발생시키는 방전체를 소유하고, 상기 전극간에 산소를 포함하는 가스를 공급해서 상기 방전에 의해 오존을 발생시키는 오존 발생장치에 있어서, 상기 접지전극은 상기 유전체 및 고압전극을 보유하고 있는 것을 특징으로 하는 오존 발생장치,
접지전극 및 고압전극율 유전체를 통해서 대향 배치하고 상기 전극간에 고전압을 인가해서 방전을 발생시키는 방전체를 소유하고, 상기 전극간에 산소를 포함하는 가스를 공급해서 상기 방전에 의해 오존을 발생시키는 오존 발생장치에 있어서, 상기 접지전극은 고압전원과 상기 전극간에 접속되는 과전류 방지용 퓨즈를 측면에 보존하고 있는 것을 특징으로 하는 오존 발생장치.
접지전극 및 고압전극을 유전체를 통해서 대향 배치하고 상기 전극간에 고전압을 인가해서 방전을 발생시키는 방전체를 소유하고, 상기 전극간에 산소를 포함하는 가스를 공급해서 상기 방전에 의해 오존을 발생시키는 오존 발생장치에 있어서, 상기 전극간에 고전압을 인가하는 오존 발생용 전원의 적어도 고전압 발생회로부를 오존 발생장치 본체에 근접해서 배치하고, 적어도 인버터 제어회로부를 상기 오존 발생장치 본체로부터 떼어서 배치 한 것을 특징으로 하는 오존 발생장치.
접지전극 및 고압전극을 유전체를 통해서 대향 배치하고 상기 전극간에 고전압을 인가해서 방전을 발생시키는 방전체를 소유하고, 상기 전극간에 산소를 포함하는 가스를 공급해서 상기 방전에 의해 오존을 발생시키는 오존 발생장치에 있어서, 적어도 3개의 상기 고압전극을 소유하고 적어도 3개의 방전 셀을 구성하고, 3상 교류전원을 사용해석 상기 3개의 방전 셀에 각각 위상이 다른 3상 교류를 인가하도록 한 것을 특징으로 하는 오존 발생장치.
접지전극 및 고압전극을 유전체를 통해서 대향 배치하고 상기 전극간에 고전압을 인가해서 방전을 발생시키는 방전체를 소유하고, 상기 전극간에 산소를 포함하는 가스를 공급해서 상기 방전에 의해 오존을 발생시키는 오존 발생장치에 있어서, 상기 방전체를 유전체와 소정의 간격을 유지한 결합봉에 의해 다단으로 적층한 것을 특징으로 하는 오존 발생장치.
접지전극 및 고압전극을 유전체를 통해서 대향 배치하고 상기 전극간에 고전압을 인가해서 방전을 발생시키는 방전체를 소유하고, 상기 전극간에 산소를 포함하는 가스를 공급해서 상기 방전에 의해 오존을 발생시키는 오존 발생장치에 있어서, 상기 방전체를 수직방향으로 적층한 것을 특징으로 하는 오존 발생장치.
접지전극 및 고압전극율 유전체를 통해서 대향 배치하고 상기 전극간에 고전압을 인가해서 방전을 발생시키는 방전체를 여러개 적층하고 결합해서 블록을 구성하고, 상기 블록을 여러개 적층하고 결합해서 모듈을 구성하고 상기 전극간에 산소를 포함하는 가스를 공급해서 상기 방전에 위해 오존을 발생시키는 오존발생장치.

※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.