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KR970076033A - 액정표시장치의 제조방법 - Google Patents

액정표시장치의 제조방법 Download PDF

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KR970076033A KR1019960016135A KR19960016135A KR970076033A KR 970076033 A KR970076033 A KR 970076033A KR 1019960016135 A KR1019960016135 A KR 1019960016135A KR 19960016135 A KR19960016135 A KR 19960016135A KR 970076033 A KR970076033 A KR 970076033A
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Abstract

본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로 특히 액정표시장치의 제조방법에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조방법은 기판을 준비하는 스텝과, 기판상의 일정영역에 섬모양의 반도체층을 형성하고 반도체층을 포함하는 기판 전면에 제1절연층을 형성하는 스텝과, 제1절연층상에 게이트전극물질을 형성하고 패터닝하여 반도체층들상에 일부가 중첩되고 일정간격을 갖는 복수개의 게이트라인들을 형성하는 스텝과, 게이트라인들을 마스크로 기판 전면에 불순물이온을 주입하여 반도체층들에 소오스 영역들과 드레인영역들을 형성하는 스텝과, 게이트라인들을 포함한 기판 전면에 제2절연층을 형성하고 패터닝하여 게이트라인들의 일부분이 노출되도록 제1콘택홀들을 형성하는 스텝과, 제2절연층상에 투명도전층을 형성하고 패터닝하여 제1콘택홀들을 통해 게이트라인들에 연결되도록 스토리지전극을 형성하는 스텝과, 스토리지전극을 포함한 기판 전면에 제3절연층을 형성하고 패터닝하여 반도체층들의 드레인영역들이 노출되도록 제2콘택홀들을 형성하는 스텝과, 제3절연층상에 투명도전층을 형성하고 패터닝하여 제2콘택홀들을 통해 드레인영역들에 연결되고 스토리지전을 포함도록 화소전극을 형성하는 스텝과, 화소전극을 포함한 기판 전면에 제4절연층을 형성하고 패터닝하여 반도체층들의 소오스영역들이 노출되도록 제3콘택홀들을 형성하는 스텝과, 그리고 제4절연층상에 금속층을 형성하고 패터닝하여 제3콘택홀들을 통해 소오스영역들에 연결되고 화소전극에 중첩되지 않으면 게이트라인들에 수직한 방향으로 일정간격을 갖는 복수개의 데이터라인들을 형성하는 스텝으로 이루어진다.
따라서 본 발명은 다음과 같은 효과가 있다.
스토리지 커패시터를 형성하는 스토리지전극을 ITO와 같은 투명한 도전물질을 사용하여 형성함으로써 스토리지 커패시터가 차지하는 영역까지 빛이 투과되어 액정표시장치의 개구율이 크게 향상될 수 있다.

Description

액정표시장치의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 따른 액정표시장치의 레이아웃도, 제4도 (a) 내지 (e)는 제3도의 A-A′선에 따른 제조공정을 보여주는 공정도면도.

Claims (2)

  1. 기판을 준비하는 스텝; 상기 기판상의 일정영역에 섬모양의 반도체층을 형성하고 상기 반도체층을 포함하는 기판 전면에 제1절연층을 형성하는 스텝; 상기 제1절연층상에 게이트전극물질을 형성하고 패터닝하여 상기 반도체층들상에 일부가 중첩되고 일정간격을 갖는 복수개의 게이트라인들을 형성하는 스텝; 상기 게이트라인들을 마스크로 기판 전면에 불순물이온을 주입하여 상기 반도체층들에 소오스영역들과 드레인영역들을 형성하는 스텝; 상기 게이트라인들을 포함한 기판 전면에 제2절연층을 형성하고 패터닝하여 게이트라인들의 일부분이 노출되도록 제1콘택홀들을 형성하는 스텝; 상기 제2절연층상에 투명도전층을 형성하고, 패터닝하여 상기 제1콘택홀들을 통해 게이트라인들에 연결되도록 스토리지전극을 형성하는 스텝; 상기 스토리지전극을 포함한 기판전면에 제3절연층을 형성하고 패터닝하여 상기 반도체층들의 드레인영역들이 노출되도록 제2콘택홀들을 형성하는 스텝; 상기 제3절연층상에 투명도전층을 형성하고 패터닝하여 상기 제2콘택홀들을 통해 상기 드레인영역들에 연결되고 상기 스토리지전을 포함하도록 화소전극을 형성하는 스텝; 상기 화소전극을 포함한 기판 전면에 제4절연층을 형성하고 패터닝하여 상기 반도체층들의 소오스영역들이 노출되도록 제3콘택홀들을 형성하는 스텝; 그리고 상기 제4절연층상에 금속층을 형성하고 패터닝하여 상기 제3콘택홀들을 통해 상기 소오스영역들에 연결되고 상기 화소전극에 중첩되지 않으며 상기 게이트라인들에 수직한 방향으로 일정간격을 갖는 복수개의 데이타라인들을 형성하는 스텝을 구비함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 투명도전층은 ITO로 형성함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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