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KR950021006A - 프라스마발생장치 및 방법 - Google Patents

프라스마발생장치 및 방법 Download PDF

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KR950021006A
KR950021006A KR1019940022047A KR19940022047A KR950021006A KR 950021006 A KR950021006 A KR 950021006A KR 1019940022047 A KR1019940022047 A KR 1019940022047A KR 19940022047 A KR19940022047 A KR 19940022047A KR 950021006 A KR950021006 A KR 950021006A
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KR
South Korea
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inductive coupling
high frequency
plasma
pair
coupling coil
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Inventor
카오루 우수이
Original Assignee
세기자와 다다시
후지스 가부시끼가이샤
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Publication date
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
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    • H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
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    • H—ELECTRICITY
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    • H01J37/32697—Electrostatic control
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Abstract

플라스마발생장치에 관한 것이며, 용량형결합방식 및 유도결합형방식이 결점을 보완하여, 간단하고, 염가의 구성으로, 또한 저전력으로, 비교적 용이하게 고밀도로 균일성의 높은 이방성플라스마를 고진공하에서 발생하여 유지할 수 있는 플라스마발생장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 진공처리실(1)과, 이 진공처리실(1)의 둘레에 감긴 유도결합용코일(2)과, 상기 진공처리실(1)에서 유도결합용코일(2)의 중심축 위에 중심을 갖고, 또한 중심에 대해서 수직, 또한 서로 평행하게 배치된 한쌍의 평판전극(3,4)과 고주파전원(6)과 이 고주파전원(6)과 접속된 고주파정합기(5)를 구비하고, 이 고주파정합기(5)는 이 유도결합용코일(2) 및 이 한쌍의 평판전극(3,4)중 적어도 한쪽과 접속되어 있고, 이 한쌍의 평판전극(3,4) 및 이 유도결합용코일(2)은 각각 용량결합 및 유도결합을 동시에 행하여 상기 진공처리실(1)내에서 용량형플라스마 및 유도결합형플라스마를 발생하도록 구성한다.

Description

프라스마발생장치 및 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명 플라스마발생장치의 제1실시예의 구성을 나타낸 도면
제2도는 제1 실시예의 전극부분을 나타낸 사시도
제3도는 제1 실시예의 전체구성을 나타낸 사시도
제4도는 제1 실시예의 등가회로도
제5도는 본 발명 플라스마 발생장치의 제2 실시예의 구성을 나타낸 도면,
제6도는 제2 실시예의 등가회로도.

Claims (10)

  1. 진공처리실(1)과, 상기 진공처리실(1)의 둘레에 감긴 유도결합용코일(2)과, 상기 진공처리실(1)에서 유도결합코일(2)의 중심축 위에 중심을 갖고, 또한 중심축에 대해서 수직, 또, 서로 평행하게 배치된 한쌍의 평판전극(3,4)과, 고주파전원(6)과, 상기 고주파전원(6)과 접속된 고주파정합기(5)를 구비하고, 상기 고주파정합기(5)는 상기 유도결합용코일(2) 및 상기 한쌍의 평판전극(3,4)중 적어도 한쪽과 접속되어 있고, 상기 한쌍의 평판전극(3,4)및 상기 유도결합용코일(2)은 각각 용량결합 및 유도결합을 동시에 행하여 상기 진공처리실(1)내에서 용량형 플라스마 및 유도결합형플라스마를 발생하는, 플라스마발생장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 한쌍의 평판전극(3,4) 및 상기 유도결합용코일(2)은 상기 고주파정합기(5)에 대해서 직렬과 접속되어 있는, 플라스마발생장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 한쌍의 평판전극(3,4)은 제1및 제2전극(4,3)으로 되고, 상기 제1전극(4)은 상기 고주파전원(6)과 함께 접지되고, 상기 유도결합용코일(2)의 일단은 상기 고주파정합기(5)와 접지되고, 다른 단부는 상기 제2전극(3)과, 접속되어 있고 플라스마처리를 하는 기판(9)은 상기 제2전극(3) 위에 재치되는 플라스마발생장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 한쌍의 평판전극(3,4)은 제1및 제2전극(4,3)으로 되고 상기 제1전극(4)은 상기 고주파정합기(5)와 접속되고, 상기 제2전극(3)은 상기 유도결합용코일(2)의 일단과 접속되고, 상기 유도결합용코일(2)의 다른 다른단부는 상기 고주파전원(6)과 함께 접지되고, 플라스마처리를 하는 기판(9)은 상기 제1전극(4) 위에 재치되는, 플라스마발생장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 한쌍의 평판전극(3,4)및 상기 유도결합용코일(2)은 상기 고주파정합기(5)에 대해서 병렬로 접속되어 있는 플라스마발생장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 한쌍의 평판전극(3,4)은 제1및 제2전극(4,3)으로 되고, 상기 제전극(4)및 상기 유도결합용코일(2)의 일단은 상기 고주파전원(6)과 함께 접지되고, 상기 유도결합용코일(2)의 다른 단부는 상기 고주파정합기(5) 및 상기 제2전극(3)과 접속되어 있고, 플라스마처리를 하는 기판(9)은 상기 제2전극(3) 위에 재치되는 플라스마발생장치.
  7. 제1항∼제6항의 어느 한항에 있어서, 발생되는 플라스마의 상태 및 성질은, 상기 유도결합용코일(2)의 감는법 및 감는 방향 등에 의해서 제어되는 플라스마발생장치.
  8. 한쌍의 평판전극(3,4) 및 유도결합용코일(2)이 각각 용량결합 및 유도결합을 동시에 행하여 진공처리실(1)내에서 용량형플라스마 및 유도결합형플라스마를 발생하는, 플라스마발생방법.
  9. 제8항에 있어서, 발생하는 플라스마의 상태 및 성질을, 상기 유도결합용코일(2)의 감는법 및 감는 방향등에 의해서 제어하는, 플라스마발생방법.
  10. 제8항 또는 제9항에 있어서, 사이 유도결합용코일(2)의 자계와 상기 한쌍의 평판전극(3,4)의 전계가 동일한 위치관계, 또한 동일주기로 반복되는 플라스마발생방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940022047A 1993-12-08 1994-09-02 플라스마발생장치 및 방법 KR0142041B1 (ko)

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