KR20250019568A - 액체 방울 토출장치, 조정방법, 및 물품의 제조방법 - Google Patents

Abstract

액체 방울 토출장치에 있어서, 복수의 노즐을 갖는 노즐 헤드와, 상기 복수의 노즐을 구동해서 복수의 액체 방울을 토출시키는 구동수단과, 상기 복수의 액체 방울을 촬상하는 촬상수단과, 상기 촬상수단에 의해 촬상된 상기 복수의 액체 방울의 초점맞춤 상태를 확인하는 화상 확인수단과, 상기 화상 확인수단에 의해 확인된 초점맞춤 상태에 근거하여 상기 복수의 액체 방울에 대한 상기 촬상수단의 적어도 일부의 각도를 조정하는 조정수단을 갖는 것을 특징으로 한다.

Description

액체 방울 토출장치, 조정방법, 및 물품의 제조방법{LIQUID DROPLET DISCHARGE APPARATUS, ADJUSTMENT METHOD, AND ARTICLE MANUFACTURING METHOD}

본 발명은, 액체 방울 토출장치, 조정방법, 및 물품의 제조방법 등에 관한 것이다.

잉크젯 장치의 노즐로부터 토출되는 비상 액체 방울을 촬상해서 액체 방울의 속도나 체적, 및 토출 각도 등의 액체 방울 특성을 측정하는 액체 방울 관찰장치는, 통상, 1개의 노즐로부터의 비상 액체 방울을 촬상해서 액체 방울 특성을 측정한다. 이 경우, 잉크젯 장치의 규모가 크고, 노즐수가 많으면 액체 방울 특성의 측정에 많은 시간이 필요하게 된다.

이에 대해, 복수의 노즐로부터의 비상 액체 방울을 동시에 촬상해서 액체 방울 특성을 측정하여, 측정 시간을 단축하는 방법이 있다.

예를 들면, 일본국 특개 2004-337771에는, 노즐의 열 방향에 대해 직교하는 위치에 촬상수단을 배치하고, 복수의 노즐로부터의 비상 액체 방울을 동시에 촬상해서 액체 방울 특성을 측정하는 방법이 개시되어 있다. 이 예에서는, 액체 방울 토출 헤드를 촬상수단에 대해 상대적으로 회전 가능하게 하는 회전수단과, 촬상수단을 액체 방울 토출 헤드에 대해 촬상 방향으로 이동 가능하게 하는 이동 기구를 구비하고 있다.

이 회전수단에 의해 액체 방울 토출 헤드의 노즐 열을 촬상수단에 대해 직교시키고, 이동 기구에 의해 촬상수단에 있어서의 노즐 열로부터의 비상 액체 방울과의 거리를 조정하여, 초점을 맞추고, 복수 노즐의 비상 액체 방울을 동시에 촬상해서 액체 방울 특성의 측정을 행한다.

그렇지만, 일본국 특개 2004-337771에 기재된 종래기술에서는, 복수의 노즐로부터의 비상 액체 방울을 동시에 촬상할 때에, 액체 방울 토출 헤드에 대해 촬상 방향으로 이동가능한 이동 기구에 의해 촬상수단과 노즐 열의 거리를 조정할 뿐이었다.

그 때문에 촬상 대상이 되는 복수 노즐로부터 토출되는 비상 액체 방울에 의한 피촬상면과, 촬상수단의 피사계 심도에 의한 초점이 맞은 촬상면이 평행하지 않은 경우, 비상 액체 방울에 대해 촬상면 내에서 초점이 맞지 않는 장소가 존재한다. 그 결과, 비상 액체 방울의 촬상 화상에 흐려짐이 생겨, 정확한 측정을 행할 수 없다고 하는 문제가 있었다.

이들 점을 감안하여, 본 발명은, 복수 노즐로부터 토출되는 액체 방울의 측정 정밀도를 향상가능한 액체 방울 토출장치를 제공하는 것을 목적의 1개로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 일 측면의 액체 방울 토출장치는,

복수의 노즐을 갖는 노즐 헤드와,

상기 복수의 노즐을 구동해서 복수의 액체 방울을 토출시키는 구동수단과,

상기 복수의 액체 방울을 촬상하는 촬상수단과,

상기 촬상수단에 의해 촬상된 상기 복수의 액체 방울의 초점맞춤 상태를 확인하는 화상 확인수단과,

상기 화상 확인수단에 의해 확인된 초점맞춤 상태에 근거하여, 상기 복수의 액체 방울에 대한 상기 촬상수단의 적어도 일부의 각도를 조정하는 조정수단을 갖는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 복수 노즐로부터 토출되는 액체 방울의 측정 정밀도를 향상가능한 액체 방울 토출장치를 실현하는 것이 가능해진다.

도1은 본 발명의 실시예 1에 따른 액체 방울 토출장치의 구성예를 나타낸 기능 블록도다.
도2a 및 도2b는 본 발명의 실시예 1에 있어서의 XY 가동부와 노즐 헤드 모듈의 구성예를 도시한 도면이다.
도3은 본 발명의 실시예 1에 있어서의 노즐 헤드와 토출 액체 방울의 예를 나타낸 도면이다.
도4a 내지 도4c는 본 발명의 실시예 1에 있어서의 노즐 헤드와 액체 방울 촬상부의 위치 관계의 예를 나타낸 도면이다.
도5는 본 발명의 실시예 2에 따른 액체 방울 토출장치의 구성예를 나타낸 기능 블록도다.
도6a 및 도6b는, 본 발명의 실시예 2에 있어서의 노즐 헤드와 기준 마크에 대해 설명하기 위한 도면이다.
도7은 본 발명의 실시예 3에 따른 액체 방울 토출장치의 구성예를 나타낸 기능 블록도다.
도8은 본 발명의 실시예 3에 있어서의 XY 가동부와 노즐 헤드 모듈의 구성예를 도시한 도면이다.
도9는 본 발명의 실시예 4에 따른 액체 방울 토출장치의 구성예를 나타낸 기능 블록도다.
도10a 내지 도10c는, 본 발명의 실시예 4에 있어서의 노즐 헤드와 토출 액체 방울의 예를 나타낸 도면이다.
도11은 본 발명의 실시예 5에 따른 액체 방울 토출장치의 구성예를 나타낸 기능 블록도다.

이하, 도면을 참조해서 본 발명의 실시형태를, 실시예를 사용하여 설명한다. 단, 본 발명은 이하의 실시예에 한정되는 것은 아니다. 이때, 각 도면에 있어서, 동일한 부재 또는 요소에 대해서는 동일한 참조번호를 붙이고, 중복하는 설명은 생략 또는 간략화한다.

<실시예1>

도1은, 본 발명의 실시예 1에 따른 액체 방울 토출장치의 구성예를 나타낸 기능 블록도다. 이때, 도1에 도시되는 기능 블록의 일부는, 액체 방울 토출장치에 포함되는 미도시의 컴퓨터로서의 CPU 등에, 미도시의 기억매체로서의 메모리에 기억된 컴퓨터 프로그램을 실행시킴으로써 실현되고 있다.

그러나, 그것들의 일부 또는 전부를 하드웨어로 실현하도록 해도 상관없다. 하드웨어로서는, 전용 회로(ASIC)나 프로세서(리컨피겨러블 프로세서, DSP) 등을 사용할 수 있다.

또한, 도1에 도시되는 각각의 기능 블록은, 같은 하우징에 내장되지 않고 있어도 되고, 서로 신호로를 거쳐 접속된 각각의 장치에 의해 구성해도 된다. 이때, 도1에 관한 상기한 설명은, 도5, 도7, 도9, 도11에 대해서도 마찬가지로 해당한다.

도1에 있어서, 10은 액체 방울 토출장치(잉크젯 장치)의 노즐 헤드이고, 액체 방울 구동부(20)는 노즐 헤드(10)를 구동해서 잉크를 액체 방울로서 토출시키는 액체 방울 구동부다. 액체 방울 구동부(20)는, 복수의 노즐을 구동해서 복수의 액체 방울을 토출시키는 구동수단으로서 기능하고 있다.

도2a 및 도2b는, 본 발명의 실시예 1에 있어서의 XY 가동부와 노즐 헤드 모듈의 구성예를 나타낸 도면이고, 노즐 헤드(10)는, 도2a에 나타낸 것과 같이 복수의 노즐(101)을 갖는다.

각 노즐은 예를 들면 수십 ㎛ 정도의 미세한 구멍이며, 도2a에 나타낸 예에서는, 횡방향으로 열을 형성하고, 종방향으로 4열 배치되어 있다. 복수의 노즐(101)은, 각각 액체 방울 구동부(20)를 갖고, 예를 들면, 압전소자를 구동해서 잉크를 노즐(101)로부터 액체 방울로서 토출시킨다. 압전소자는 인가된 전압에 따라 액체 방울을 토출시킨다.

따라서, 액체 방울 구동부(20)에 인가하는 전압에 의해 노즐(101)로부터 토출하는 액체 방울의 체적이나 속도를 제어하는 것이 가능해진다. 타이밍 조정부(30)는 제어부(40)로부터의 지령에 의해 액체 방울 구동부(20)를 구동하는 타이밍을 조정한다.

도1의 굵은 실선부는 검사 유닛(100)이며, 점선으로 둘러싸인 부분은 비상 액체 방울 측정부(60)이다. 비상 액체 방울 측정부(60)는 복수의 노즐(101)로부터 토출한 비상 액체 방울을 조명부(52)에서 조명하고, 액체 방울 촬상부(50)에서 촬상하고, 화상 처리부(56)에서 화상처리를 행하여, 각 노즐로부터 토출되는 액체 방울의 속도, 체적, 토출 각도 등을 산출한다.

여기에서, 액체 방울 촬상부(50)는, 복수의 액체 방울을 촬상하는 촬상수단으로서 기능하고 있다. 또한, 화상 처리부(56)는, 촬상수단으로부터의 화상에 의해 상기 복수의 노즐로부터 토출되는 액체 방울의 속도, 체적, 토출 각도의 적어도 1개를 산출하는 화상 처리수단으로서 기능하고 있다.

여기에서, 도2a에 나타낸 것과 같이, 액체 방울 촬상부(50)와 조명부(52)는 플레이트(55)에 고정되고, 횡축을 Xdrv, 종축을 Ydrv로 하면, Xdrv축과 Ydrv축을 따라 가능하게 이동가능한 XY 가동부(140) 위에 탑재되어 있다.

즉, XY 가동부(140)는, 노즐 헤드와 촬상수단을 상대적으로 이동시키는 이동수단으로서 기능하고 있고, 소정 방향의 구동축 X(제1구동축)와, 구동축 X(제1구동축)에 수직한 방향의 구동축 Y(제2구동축)를 갖는다. 이때, 도2a에 나타낸 것과 같이, 구동축 X(제1구동축)와 구동축 Y(제2구동축)는 복수의 노즐의 배열 면에 평행한 축이다.

도2a에서는 복수의 노즐 헤드(10)가 노즐 헤드 모듈(200)에 부착되어 있다. 이 예에서는 노즐 헤드 모듈(200)에 노즐 헤드(10)가 6개 부착되어 있다.

도3은, 본 발명의 실시예 1에 있어서의 노즐 헤드와 토출 액체 방울의 예를 나타낸 도면이며, 종축을 Zdrv, 횡축을 Xdrv로 하여, 노즐 헤드 모듈(200)에 부착된 노즐 헤드(10)를 옆에서 본 상태를 나타내고 있다. 도3과 같이, 노즐(101)에서 복수의 액체 방울(103)이 동시에 토출되고 있다.

비상 액체 방울 측정부(60)에서는, 이들 복수의 액체 방울(103)을 액체 방울 촬상부(50)에서 복수매 동시에 촬상하고, 화상 처리부(56)의 화상처리에 의해 복수의 노즐로부터 토출되는 액체 방울의 속도, 체적, 토출 각도를 산출한다.

XY 가동부(140)는 구동 제어부(130)에 의해 도2a에 나타낸 Xdrv와 Ydrv의 축을 따라 임의의 위치로 이동가능하다. 검사 유닛(100)은, XY 가동부(140)에 탑재되어 있다.

다음에 도2b에 나타낸 것과 같이 액체 방울 촬상부(50)와 조명부(52)가 고정되어 있는 플레이트(55)의 부착 각도가 어긋나 있는 경우에 대해 설명한다. XY 가동부(140)의 좌표계 Xdrv와 Ydrv에 대하여, 액체 방울 촬상부(50)와 조명부(52)가 고정되어 있는 플레이트(55)가 θz 어긋나 있는 경우가 있다.

실제로는, 액체 방울 촬상부(50)와 플레이트(55)의 어긋남이나, 플레이트(55)와 XY 가동부(140)의 미도시의 부착 플레이트의 어긋남, 더구나 부착 플레이트와 XY 가동부의 어긋남, 등, 다양한 요인에 의해 부착 각도가 어긋난다.

도4a 내지 도4c는, 본 발명의 실시예 1에 있어서의 노즐 헤드와 액체 방울 촬상부의 위치 관계의 예를 나타낸 도면이며, 도4a에 나타낸 것과 같이, 노즐 헤드(10) 부근이 확대되어 표시되어 있다. 간략화를 위해 액체 방울 촬상부(50)와 노즐만을 확대하고 있고, 복수의 구조물의 적층으로 생기는 액체 방울 촬상부(50)와 조명부(52)가 고정되어 있는 플레이트(55)의 각도 어긋남을 θz로서 표시한다.

도4a에는 6개의 노즐이 ○ 표시로 표시되어 있다. 좌측의 노즐은 Nz-1, 우측의 노즐은 Nz-6으로 한다. 액체 방울 촬상부(50)는, Nz-1∼Nz-6의 6개의 노즐로부터 토출되는 액체 방울을 동시에 촬상하고, 화상 처리부(56)에서 화상처리를 행하여, 각 노즐로부터 토출되는 액체 방울의 속도, 체적, 토출 각도 등을 산출한다.

여기에서, 예를 들면, 좌측에서 4번째의 노즐을 기준 노즐로 한다. 액체 방울 촬상부(50)의 초점이 맞는 초점 맞춤면을 점선으로 나타내고 있는데, 이 면에서는 기준 노즐로부터의 액체 방울에 대해 초점이 맞고, 초점 흐려짐이 없는 명확한 윤곽선을 갖는 액체 방울의 촬상 화상이 얻어진다.

이 위치를 제1 초점맞춤 위치 (X0, Y0)로 한다. 예를 들면, 이 위치에서는, Nz-1나 Nz-6은 초점 맞춤면에서 어긋나 있기 때문에 초점 흐려짐이 발생하여, 액체 방울의 정확한 촬상 화상이 얻어지지 않아, 화상 처리부(56)에서 산출되는 액체 방울의 속도, 체적, 토출 각도 등의 측정 결과에 오차가 생긴다.

각 액체 방울의 촬상 화상의 초점맞춤 상태의 확인은, 도1의 화상 확인부(70)에서 행해진다. 화상 확인부(70)는, 촬상수단에 의해 촬상된 복수의 액체 방울의 초점맞춤 상태를 확인하는 화상 확인수단으로서 기능하고 있다. 이때, 예를 들면, 액체 방울 촬상부(50)가 측정 대상 노즐인 Nz-1∼Nz-6의 액체 방울을 동시에 촬상 가능하게 되도록 XY 가동부(140)를 Xdrv축을 따라 이동시킨다.

다음에 Ydrv축을 따라 스텝 구동시켜 액체 방울을 촬상하고, 화상 확인부(70)에서 촬상 화상의 콘트라스트를 확인하여, 기준 노즐에 대해 가장 콘트라스트가 높은 Ydrv의 위치를 제1 초점맞춤 위치 (X0, Y0)로 한다.

다음에 제2 초점맞춤 위치를 구한다. 예를 들면, Nz-1을 측정 대상으로 하는 측정 노즐로 한다. 도4b에 나타낸 것과 같이, 측정 노즐과 기준 노즐의 거리는 기지이며 이 거리를 ΔXnz로 한다. 기준 노즐이나 측정 노즐의 선정은 이것에 한정되는 것은 아니고, 적어도 노즐 사이의 거리가 기지인 2개 이상의 노즐을 임의로 선정하는 것이 가능하다.

측정 노즐 Nz-1에 대하여, XY 가동부(140)를 Ydrv축을 따라 스텝 구동시켜 액체 방울을 촬상하고, 화상 확인부(70)에서 촬상 화상의 콘트라스트를 확인하여, 가장 콘트라스트가 높은 Ydrv의 위치를 제2 초점맞춤 위치 (X0, Y1)으로 한다. 이때, 제1 초점맞춤 위치에 대해 Xdrv축 방향으로 이동하고 있지 않기 때문에, 위치의 차이는 Ydrv축 방향 뿐이다.

여기에서, 도4b에서 알 수 있는 것과 같이, 각도 어긋남 θz는 하기의 식 1에서 산출하는 것이 가능해진다.

θz=tan-1{(Y1-Y0)/ΔXnz} …(식 1)

이 각도 어긋남은 도1의 조정량 산출부(80)에서 산출되고, 각도 조정부(90)에서 θz가 제로가 되도록 각도 조정이 행해진다. 이와 같이, 본 실시예에서는, 소정의 기준 노즐과, 기준 노즐로부터 소정 거리만큼 떨어진 측정 노즐의 각각의 초점위치를 측정한 결과에 근거하여 각도 조정부(90)에 의한 각도 조정을 행한다. 이때, 각도 조정부(90)는, 모터 등을 사용한 전기적 조정수단이어도 되고, 수동으로 각도를 조정하는 수동 조정수단이어도 된다.

여기에서, 각도 조정부(90)는, 화상 확인수단에 의해 확인된 초점맞춤 상태에 근거하여, 복수의 액체 방울에 대한 촬상수단의 적어도 일부의 각도를 조정하는 조정 스텝을 실행하는 조정수단으로서 기능하고 있다. 이때, 본 실시예에서는, 각도 조정부(90)는, 액체 방울 촬상부(50) 전체를, Z축 중심으로 회전함으로써 각도를 조정하도록 구성되어 있다.

그러나, 액체 방울 촬상부(50)의 렌즈 또는 촬상 소자의 적어도 한쪽을 Z축에 평행한 축을 중심으로 회전함으로써 각도를 조정하는 것이어도 된다. 즉, 그것에 의해 피사계 심도를 변화시켜, 복수의 노즐이 피사계 심도에 들어가도록 조정하는 것이어도 된다.

이 각도 조정에 의해 도4c에 나타낸 것과 같이 각도 어긋남 θz가 없어지고, 노즐 헤드(10)의 각 노즐 열에 대해 액체 방울 촬상부(50)의 초점 맞춤면이 평행하게 되어, 촬상 범위에 있어서의 전체 노즐로부터의 액체 방울에 대해 초점이 맞은 상태가 된다. 이에 따라, 촬상 범위에 있어서의 전체 액체 방울에 대해 초점 흐려짐이 없는 명확한 윤곽선을 갖는 촬상 화상이 얻어져, 화상 처리부(56)에서 정밀도가 좋은 액체 방울의 속도, 체적, 토출 각도를 산출하는 것이 가능해진다.

또한, 각도 조정부(90)가 전기적 조정수단인 경우, 각도 조정은, 노즐 헤드 모듈(200)에 부착되어 있는 복수의 노즐 헤드마다 행해도 된다. 즉, 노즐 헤드마다 기준 노즐과 측정 노즐을 선정해서 각도 어긋남을 조정량 산출부(80)에서 산출하고, 각도 조정부(90)에서 각 θz가 제로가 되도록 각도 조정해도 된다.

이 경우, 노즐 헤드마다 미묘하게 다른 각도 어긋남 θz가 있어도 각 노즐 헤드에 대해 정확하게 θz가 제로가 되도록 각도 조정하는 것이 가능해진다. 따라서, 노즐 헤드 모듈(200)에 부착되어 있는 복수의 노즐 헤드로부터의 전체 액체 방울에 대해 초점 흐려짐이 없는 명확한 윤곽선을 갖는 촬상 화상이 얻어져, 화상 처리부(56)에서 정확한 액체 방울의 속도, 체적, 토출 각도를 산출하는 것이 가능해진다.

이상과 같이, 본 실시예에 따르면, 액체 방울 촬상부(50)의 초점 맞춤면과 복수의 노즐의 열의 각도가 어긋나 있는 경우에도, XY 가동부(140)를 Ydrv축 방향으로 스텝 구동해서 기준 노즐과 측정 노즐의 촬상 화상의 콘트라스트를 화상 확인부(70)에서 확인한다. 그리고, 가장 콘트라스트가 높은 Ydrv의 위치에서 제1 초점맞춤 위치와 제2 초점맞춤 위치를 산출한다.

이에 따라, 조정량 산출부(80)에서 각도 어긋남을 산출해서 각도 조정부(90)에서 각도 어긋남을 조정함으로써, 노즐 헤드(10)의 각 노즐 열에 대해 액체 방울 촬상부(50)의 초점 맞춤면이 평행하게 되고, 촬상 범위에 있어서의 전체 노즐로부터의 액체 방울에 대해 초점이 맞은 상태가 된다. 따라서, 촬상 범위에 있어서의 전체 액체 방울에 대해 초점 흐려짐이 없는 명확한 윤곽선을 갖는 촬상 화상이 얻어져, 화상 처리부(56)에서 정확한 액체 방울의 속도, 체적, 토출 각도를 산출하는 것이 가능해진다.

이와 같이, 본 실시예에 따르면, 복수 노즐로부터 토출되는 비상 액체 방울에 의한 피촬상면과 촬상수단의 피사계 심도에 의한 초점이 맞은 촬상면의 어긋남을 조정해서 피촬상면에 있어서의 초점을 최적화할 수 있다. 또한, 복수 노즐의 비상 액체 방울을 동시에 촬상해서 액체 방울 특성을 측정할 때의 측정 정밀도를 향상시키는 것이 가능해진다.

<실시예2>

다음에, 도5에 근거하여 본 발명의 실시예 2의 설명을 행한다. 이때, 실시예 1과 같은 동작에 대해서는 설명을 생략한다.

도5는, 본 발명의 실시예 2에 따른 액체 방울 토출장치의 구성예를 나타낸 기능 블록도다. 실시예 1과의 차이는 검사 유닛(100a)에 있어서의 기준 마크 촬상부(105)와 위치 산출부(110), 위치 보정부(120)를 설치한 점이며, 다른 부분에 대해서는 실시예 1과 같기 때문에 설명을 생략한다.

즉, 본 실시예의 검사 유닛(100a)에는 기준 마크 촬상부(105)가 탑재되어 있다. 도6a 및 도6b는, 본 발명의 실시예 2에 있어서의 노즐 헤드와 기준 마크에 대해 설명하기 위한 도면으로, 노즐 헤드(10)에는, 도6a에 나타낸 것과 같이 복수의 기준 마크(102)가 노즐 헤드(10)의 하측에 설치되어 있다. 단, 복수의 기준 마크(102)는 노즐 헤드(10)의 상측에 설치해도 된다.

기준 마크 촬상부(105)는, 상기한 복수의 기준 마크(102)를 노즐 헤드(10)의 하측에 설치한 경우에는, 기준 마크(102)를 노즐 헤드(10)의 하측으로부터 촬상한다. 기준 마크(102)를 노즐 헤드(10)의 상측에 설치한 경우에는, 기준 마크(102)를 노즐 헤드(10)의 상측으로부터 촬상한다. 여기에서, 기준 마크 촬상부(105)는, 기준 마크를 검출하는 검출수단으로서 기능하고 있다.

위치 산출부(110)는, 기준 마크 촬상부(105)로부터의 화상 데이터와 구동 제어부(130)로부터의 Xdrv축과 Ydrv축의 좌표 위치 데이터에 근거하여 각 기준 마크(102)의 위치를 산출한다.

여기에서, 도6b에 나타낸 것과 같이 노즐 헤드(10)가 Xdrv축과 Ydrv축에 의한 좌표에 대해 어긋나 있는 경우를 생각한다. Xhd와 Yhd를 노즐 헤드(10)의 좌표축으로 한다. XY 가동부(140)의 좌표계 Xdrv와 Ydrv에 대하여, 노즐 헤드(10)의 좌표축은 도면에 도시한 것과 같이 θhd만큼 각도가 어긋나 있다.

다음에, 기준 마크 촬상부(105)에서, 노즐 헤드(10)의 복수의 기준 마크(102) 중, 기준 마크 102-a와 102-b를 촬상한 경우를 예로 들어 설명한다.

위치 산출부(110)에서는, 기준 마크 102-a와 102-b의 화상 데이터와, 구동 제어부(130)로부터의 Xdrv축과 Ydrv축의 좌표 위치 데이터에서 각 기준 마크(102)의 위치를 산출한다. 여기에서, 기준 마크 102-a의 위치는 (Xa, Ya), 102-b의 위치는 (Xb, Yb)이다. 기준 마크 102-a와 102-b의 거리 Lab은 기지이다.

따라서, XY 가동부(140)의 좌표계에 대한 노즐 헤드(10)의 좌표축의 각도 어긋남 θhd는, 하기의 식 2, 식 3에 의해 산출된다.

cos(θhd)=(Xb-Xa)/Lab …(식 2)

θhd=cos-1{(Xb-Xa)/Lab} …(식 3)

또한, 기준 마크(102)와 각 노즐(101)의 위치 관계는 기지이다. 따라서 위치 보정부(120)에서는, 예를 들면, 기준 마크 102-a의, XY 가동부(140)의 좌표계에 있어서의 좌표 (Xa, Ya)와, 각도 어긋남 θhd에 근거하여, 노즐 헤드(10)의 전체의 노즐(101)의, XY 가동부(140)의 좌표계에 있어서의 좌표를 산출한다.

그리고, 위치 보정부(120)에 의해 전체 노즐(101)의 좌표(위치)를 보정하고, 보정된 좌표에 근거하여 구동 제어부(130)에 의해 XY 가동부(140)가 구동된다. 이와 같이, 위치 보정부(120)는, 기준 마크를 검출하는 검출수단의 검출 결과에 근거하여 이동수단을 소정의 위치로 이동시키는 위치 보정수단으로서 기능하고 있다.

즉, 검출수단은 복수의 기준 마크를 2점 이상 검출하고, 위치 보정수단은 검출수단의 검출 결과에 근거하여 복수의 노즐과 이동수단의 상대적인 위치 어긋남을 산출하고, 산출 결과에 근거하여 이동수단을 소정의 위치로 이동시킨다.

이에 따라, 노즐 헤드(10)가 XY 가동부(140)에 대해 각도 어긋남 θhd가 있어도 정확하게 검사 유닛(100)의 위치를 제어하고, 임의의 복수의 노즐(101)로부터 토출되는 비상 액체 방울을 조명부(52)에서 조명하고, 액체 방울 촬상부(50)에서 촬상하는 것이 가능해진다.

이때, 이상의 설명에서는, 도6b의 기준 마크 중, 102-a와 102-b를 촬상해서 위치 어긋남의 보정을 행하는 경우를 예로 들어서 설명하였다. 그러나, 기준 마크 촬상부(105)의 촬상 범위 내에 있는 기준 마크이면 어떤 기준 마크를 사용해도 마찬가지로 위치 어긋남을 보정하는 것이 가능하다. 따라서, 노즐 헤드 모듈(200)에 부착되어 있는 복수의 노즐 헤드(10)로부터 토출되는 비상 액체 방울을 액체 방울 촬상부(50)에서 정밀하게 촬상하는 것이 가능해진다.

이상과 같이 , 본 발명의 실시예 2에 따르면, XY 가동부(140)에 탑재된 검사 유닛(100)은, 노즐 헤드(10)에 부착된 복수의 기준 마크(102)를 촬상하는 기준 마크 촬상부(105)를 갖는다.

그리고 이 기준 마크 촬상부(105)와 위치 산출부(110)에 의해, 기준 마크(102)의, XY 가동부(140)의 좌표계에 있어서의 좌표와, 각도 어긋남을 산출하고, 노즐 헤드(10)의 전체 노즐(101)의, XY 가동부(140)의 좌표계에 있어서의 위치(좌표)를 산출한다.

이에 따라, 전체의 노즐(101)의 위치가 보정되어, 보정된 좌표에 근거하여 구동 제어부(130)에 의해 XY 가동부(140)를 구동함으로써, 임의의 복수의 노즐(101)로부터 토출되는 비상 액체 방울을 조명부(52)에서 조명하고, 액체 방울 촬상부(50)에서 촬상하는 것이 가능해진다.

이때, 노즐 헤드를 복수 갖는 경우에, 검출수단은 복수의 노즐 헤드의 복수의 기준 마크를 검출하고, 위치 보정수단은 검출수단의 검출 결과에 근거하여 노즐 헤드마다 이동수단을 소정의 위치로 이동시키도록 제어해도 된다.

<실시예3>

다음에, 도7에 근거하여 본 발명의 실시예 3의 설명을 행한다. 이때, 실시예 1, 2와 같은 동작에 대해서는 설명을 생략한다.

도7은, 본 발명의 실시예 3에 따른 액체 방울 토출장치의 구성예를 나타낸 기능 블록도다. 실시예 2와의 차이는, 위치 보정부(120a)와 각도 조정부(90a)이며, 다른 부분은 실시예 2와 같기 때문에 설명을 생략한다.

실시예 3에서는 실시예 2의 식 3에 근거하여 위치 보정부(120a)에서 산출한 각도 어긋남 θhd를 각도 조정부(90a)에 송신하고, θhd가 제로가 되도록 각도 조정을 행한다. 또한, 조정량 산출부(80)로부터의 액체 방울 촬상부(50)의 각도 어긋남 θz도 제로가 되도록 각도 조정을 행한다.

따라서, 각도 조정부(90a)에 의해 노즐 헤드(10)의 각도 어긋남 θhd와 액체 방울 촬상부(50)의 각도 어긋남 θz를 함께 제로로 할 수 있다. 따라서, 노즐 헤드(10)의 각 노즐 열에 대해 액체 방울 촬상부(50)의 초점 맞춤면이 평행하게 되어, 촬상 범위에 있어서의 전체 노즐로부터의 액체 방울에 대해 초점이 맞은 상태로 할 수 있다.

이에 따라, 촬상 범위에 있어서의 전체 액체 방울에 대해 초점 흐려짐이 없는 명확한 윤곽선을 갖는 촬상 화상이 얻어져, 화상 처리부(56)에서 정확한 액체 방울의 속도, 체적, 토출 각도를 산출하는 것이 가능해진다.

또한, 도8은, 본 발명의 실시예 3에 있어서의 XY 가동부와 노즐 헤드 모듈의 구성예를 나타낸 도면으로, 도8에 나타낸 것과 같이 노즐 헤드 모듈(200)에 부착되어 있는 복수의 노즐 헤드(10)는, 각각 부착 위치가 어긋나 있는 경우가 있다. 이와 같은 경우에도, 각 노즐 헤드(10)에 설치한 기준 마크를 기준 마크 촬상부(105)에서 촬상하고, 노즐 헤드(10)마다, 위치 보정부(120a)에서 XY 가동부(140)에 대한 각도 어긋남 θhd를 산출한다.

그리고, 각도 조정부(90a)에 의해 노즐 헤드마다 θhd가 제로가 되도록 액체 방울 촬상부(50)의 각도 조정을 행한다. 즉, 기준 마크를 검출하는 검출수단의 검출 결과에 근거하여 조정수단에 의해 상기 각도를 조정한다.

또한, 노즐 헤드를 복수 갖고, 상기 복수의 노즐 헤드의 복수의 기준 마크에 근거하여 노즐 헤드마다의 각도 어긋남을 산출하고, 노즐 헤드마다 상기 조정수단에 의해 상기 각도를 조정한다. 이에 따라, 노즐 헤드마다 각도 어긋남 θhd가 있어도 정확하게 검사 유닛(100)의 위치를 제어하는 것이 가능해진다.

이와 같이, 본 발명의 실시예 3에 따르면, 노즐 헤드의 각도 어긋남과 액체 방울 촬상부의 각도 어긋남을 함께 제로로 조정하여, 복수 노즐로부터 토출되는 비상 액체 방울에 의한 피촬상면과 촬상수단의 피사계 심도에 의한 초점이 맞은 촬상면의 어긋남을 조정하고 있다. 따라서, 피촬상면에 있어서의 초점을 최적화하여, 복수 노즐의 비상 액체 방울을 동시에 촬상해서 액체 방울 특성의 측정 정밀도를 향상시키는 것이 가능해진다.

<실시예4>

다음에, 도9에 근거하여 본 발명의 실시예 4의 설명을 행한다. 이때, 실시예 1, 2와 같은 동작에 대해서는 설명을 생략한다.

도9는, 실시예 4에 따른 액체 방울 토출장치의 구성예를 나타낸 기능 블록도다. 실시예 2와의 차이는 액체 방울 위치 확인부(150)와 타이밍 조정부(30a)이며, 다른 부분은 실시예 2와 같기 때문에 설명을 생략한다.

액체 방울 위치 확인부(150)는 액체 방울 촬상부(50)로부터의 액체 방울의 촬상 화상 데이터를 수신하여 액체 방울의 위치를 확인한다.

도10a 내지 도10c는, 본 발명의 실시예 4에 있어서의 노즐 헤드와 토출 액체 방울의 예를 나타낸 도면이다. 도10a 내지 도10c에서는, 종축을 Zdrv, 횡축을 Xdrv로 하고, 노즐 헤드 모듈(200)에 부착된 노즐 헤드(10)를 옆에서 본 상태에 있어서, 노즐(101)에서 액체 방울(103)이 토출되고 있는 모양을 나타내고 있다.

도10a에서는 Zdrv축에 있어서 노즐(101)로부터 액체 방울(103)까지의 위치가 Z0으로 되어 있다. 비상 액체 방울의 측정을 행하는 경우, 노즐(101)로부터 토출된 액체 방울을 소정의 위치에서 촬상할 필요가 있다. 일반적으로, 노즐(101)에 가까울수록, 액체 방울의 속도는 빠르고, 멀어짐에 따라 늦어진다. 액체 방울을 촬상하는 위치 Z0은, 수 mm 이하일 필요가 있으며, 1mm 이하로 하는 것이 바람직하다.

도10b에 나타낸 액체 방울(103)은, 액체 방울을 촬상하는 소정의 위치 Z0에 대하여, Z1의 위치에서 촬상되고 있다. 액체 방울 위치 확인부(150)에서는, 노즐(101)의 위치를 기준으로 해서 촬상된 액체 방울의 위치를 측정한다. 이 예에서는, Z1을 액체 방울 촬상 위치로 산출한다. 이 경우, 소정의 위치 Z0에 대해 앞에서 촬상되고 있기 때문에, 부적절한 촬상 위치가 되어, 비상 액체 방울 측정부(60)의 화상 처리부(56)에 의해 산출되는 액체 방울의 속도에 오차가 생겨 버린다.

따라서, 타이밍 조정부(30a)는, 액체 방울 위치 확인부(150)로부터의 액체 방울 촬상 위치 Z1을 수신하여, 액체 방울을 촬상하는 소정의 위치 Z0과 비교한다. 이 경우, Z1<Z0이기 때문에, 액체 방울 구동부(20)에 의한 액체 방울 토출의 타이밍과 액체 방울 촬상부(50)의 촬상 타이밍의 시간 간격을 길게 한다.

구체적으로는 액체 방울 구동부(20)에 의한 액체 방울 토출의 타이밍을 빠르게 해도 되고, 액체 방울 촬상부(50)의 촬상 타이밍을 늦추어도 된다. 이 타이밍 조정에 의해 도10a에 나타낸 것과 같이 노즐(101)로부터 토출된 액체 방울을 소정의 위치 Z0에서 촬상하는 것이 가능해진다.

또한, 도10c에 나타낸 액체 방울(103)의 경우, 액체 방울을 촬상하는 소정의 위치 Z0에 대하여, Z2의 위치에서 촬상되고 있다. 이 경우, 소정의 위치 Z0을 지나친 후에 촬상되어 있고 때문에, 부적절한 촬상 위치가 되어, 비상 액체 방울 측정부(60)의 화상 처리부(56)에 의해 산출되는 액체 방울의 속도에 오차가 생겨 버린다.

따라서 타이밍 조정부(30a)는, 액체 방울 위치 확인부(150)로부터의 액체 방울 촬상 위치 Z2를 수신하여, 액체 방울을 촬상하는 소정의 위치 Z0과 비교한다. 이 경우, Z2>Z0이기 때문에, 액체 방울 구동부(20)에 의한 액체 방울 토출의 타이밍과 액체 방울 촬상부(50)의 촬상 타이밍의 시간 간격을 짧게 한다.

구체적으로는 액체 방울 구동부(20)에 의한 액체 방울 토출의 타이밍을 늦춰도 되고, 액체 방울 촬상부(50)의 촬상 타이밍을 빠르게 해도 된다. 이 타이밍 조정에 의해 도10a에 나타낸 것과 같이 노즐(101)로부터 토출된 액체 방울을 소정의 위치 Z0에서 촬상하는 것이 가능해진다.

이와 같이, 본 발명의 실시예 4에 따르면, 액체 방울 위치 확인부에 의해 노즐 헤드로부터 토출되는 액체 방울의 촬상 위치를 확인하고, 타이밍 조정부(30a)에 의해 액체 방울 토출의 타이밍과 촬상 타이밍의 시간 간격을 조정한다.

여기에서, 타이밍 조정부(30a)는, 구동수단의 구동 타이밍과 촬상수단의 촬상 타이밍의 간격을 조정하는 타이밍 조정수단으로서 기능하고 있다. 이 타이밍 조정에 의해 노즐 헤드로부터 토출된 액체 방울을 소정의 위치 Z0에서 촬상하는 것이 가능해져 액체 방울 특성의 측정 정밀도를 향상시키는 것이 가능해진다.

<실시예5>

다음에, 도11에 근거하여 본 발명의 실시예 5의 설명을 행한다. 이때, 실시예 1, 2와 같은 동작에 대해서는 설명을 생략한다.

도11은, 실시예 5에 따른 액체 방울 토출장치의 구성예를 나타낸 기능 블록도다. 실시예 2와의 차이는 거리 측정부(160)와 제어부(40a)이며, 다른 부분은 실시예 2와 같기 때문에 설명을 생략한다.

거리 측정부(160)는 검사 유닛(100)의 액체 방울 촬상부(50) 부근에 부착된 측거 센서이며, 노즐 헤드(10) 또는 노즐(101)의 Z축 방향의 높이를 계측한다. 여기에서, 거리 측정부(160)는 노즐 헤드의 높이를 측정하는 거리 측정수단으로서 기능하고 있다.

실시예 4에서 설명한 것과 같이 비상 액체 방울의 측정을 행하는 경우, 노즐(101)로부터 토출된 액체 방울을 소정의 위치 Z0에서 촬상할 필요가 있다.

한편, 도2a에 나타낸 것과 같이 복수의 노즐 헤드(10)가 노즐 헤드 모듈(200)에 부착되어 있는 경우, 노즐 헤드(10)의 장소에 따라서는 다소의 돌출이 있는 경우가 있다. 또한, XY 가동부(140)에 탑재되어 있는 액체 방울 촬상부(50)에 대한 노즐 헤드(10)의 Z축 방향의 상대적인 높이가, XY 가동부(140)의 위치에 의해 변화하여 버리는 경우가 있다.

이와 같이, 노즐 헤드(10) 또는 XY 가동부(140)의 위치에 따라 액체 방울 촬상부(50)의 촬상면과 노즐 헤드(10)의 Z축 방향의 상대적인 높이가 일정하지 않은 경우가 있다. 그 경우에, 본 실시예에서는 미리 노즐 헤드 모듈(200)의 노즐 헤드(10)의 Z축 방향의 높이를 거리 측정부(160)에 의해 측정한다.

이 노즐 헤드(10)의 Z축 방향의 높이의 데이터를 제어부(40a)에 송신한다. 그리고 제어부(40a)는 수신한 Z축 방향의 높이 데이터에 근거하여 노즐(101)로부터 토출된 액체 방울을 소정의 위치 Z0에서 촬상할 수 있도록 액체 방울 구동부(20)의 구동 타이밍과 액체 방울 촬상부(50)의 촬상 타이밍의 간격을 조정한다.

예를 들면, 노즐 헤드(10)의 Z축 방향의 높이가 기준의 높이보다도 낮은 경우에는 액체 방울 구동부(20)에 의한 액체 방울 토출의 타이밍과 액체 방울 촬상부(50)의 촬상 타이밍의 시간 간격을 길게 한다.

구체적으로는 액체 방울 구동부(20)에 의한 액체 방울 토출의 타이밍을 빠르게 해도 되고, 액체 방울 촬상부(50)의 촬상 타이밍을 늦추어도 된다. 이 타이밍 조정에 의해 도10a에 나타낸 것과 같이 노즐(101)로부터 토출된 액체 방울을 소정의 위치 Z0에서 촬상하는 것이 가능해진다.

또한, 노즐 헤드(10)의 Z축 방향의 높이가 기준의 높이보다도 높은 경우에는 액체 방울 구동부(20)에 의한 액체 방울 토출의 타이밍과 액체 방울 촬상부(50)의 촬상 타이밍의 시간 간격을 짧게 한다.

구체적으로는 액체 방울 구동부(20)에 의한 액체 방울 토출의 타이밍을 늦추어도 되고, 액체 방울 촬상부(50)의 촬상 타이밍을 빠르게 해도 된다. 이 타이밍 조정에 의해 도10a에 나타낸 것과 같이 노즐(101)로부터 토출된 액체 방울을 소정의 위치 Z0에서 촬상하는 것이 가능해진다.

이와 같이, 본 발명의 실시예 5에 따르면, 거리 측정수단으로서의 거리 측정부(160)에 의해 각 노즐 헤드의 Z축 방향의 높이를 측정한다. 그리고, 거리 측정수단에 의해 측정된 노즐 헤드의 Z축 방향의 높이에 따라, 노즐로부터 토출된 액체 방울을 소정의 위치에서 촬상할 수 있도록 액체 방울 토출의 타이밍과 촬상 타이밍의 시간 간격을 조정한다.

즉, 타이밍 조정부(30)는, 노즐 헤드의 높이에 따라 구동수단의 구동 타이밍과 촬상수단의 촬상 타이밍의 간격을 조정한다. 이 타이밍 조정에 의해 노즐 헤드로부터 토출된 액체 방울을 소정의 위치 Z0에서 촬상하는 것이 가능해져 액체 방울 특성의 측정 정밀도를 향상시키는 것이 가능해진다.

이때, 상기 실시예에 있어서의 액체 방울 토출장치는, 예를 들면, 디스플레이의 표면에 액체 방울을 도포하기 위해서 사용할 수 있다. 또는 몰드로 임프린트를 행하는 반도체 제조장치에 있어서, 임프린트 재를 기판에 도포하는 경우 등에 사용해도 되고, 도포하는 대상에 한정되지 않는다.

또한, 상기 실시예에 따른 액체 방울 토출장치에 있어서의 조정 동작은, 액체 방울 토출장치를 제조할 때에 행하지만, 그 이외에도 정기적으로, 또는 메인티넌스시에, 또는 실전의 동작전에 캘리브레이션 동작으로서 행하도록 해도 된다.

<물품의 제조방법의 실시형태>

본 발명의 실시형태에 있어서의 물품 제조방법은, 예를 들면, 유기 EL 등의 디스플레이용 패널이나 반도체 디바이스 등의 마이크로 디바이스나 미세 구조를 갖는 소자 등의 물품을 제조하는데 적합하다.

본 실시형태의 물품 제조방법은, 상기한 액체 토출장치를 사용해서 기판 위에 액체를 공급하는 공급공정과, 공급공정에서 액체가 공급된 기판을 가공하는 가공공정과, 가공공정에서 가공된 기판으로부터 물품을 제조하는 공정을 포함한다.

또한 이러한 물품 제조방법은, 다른 주지의 공정(소성, 냉각, 세정, 산화, 성막, 증착, 도핑, 평탄화, 에칭, 레지스트 박리, 다이싱, 본딩, 패키징 등)을 포함한다. 본 실시예의 물품 제조방법은, 종래의 방법에 비해, 물품의 성능·품질·생산성·생산 코스트의 적어도 1개에 있어서 유리하다.

이상, 본 발명을 그것의 바람직한 실시예에 근거하여 상세히 설명해 왔지만, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 취지에 근거하여 다양한 변형이 가능하고, 그것들을 본 발명의 범위에서 제외하는 것은 아니다.

이때, 상기 실시예에 있어서의 제어의 일부 또는 전부를 실현하기 위해서, 전술한 실시예의 기능을 실현하는 컴퓨터 프로그램을 네트워크 또는 각종 기억매체를 거쳐 액체 방울 토출장치 등에 공급하도록 하여도 된다. 그리고 그 액체 방울 토출장치 등에 있어서의 컴퓨터(또는 CPU나 MPU 등)가 그 프로그램을 판독해서 실행하도록 하여도 된다. 그 경우, 그 프로그램, 및 이 프로그램을 기억한 기억매체는 본 발명을 구성하게 된다.

(관련 출원의 상호참조)

본 출원은, 앞서 출원된, 2023년 8월 1일에 출원된 일본국 특허출원 제2023-125745호의 이익을 주장하는 것이다. 또한, 상기한 일본 특허출원의 내용은 본 명세서에 있어서 참조에 의해 그 전체가 본 명세서에 포함된다.

Claims (14)

1. 복수의 노즐을 갖는 노즐 헤드와,
   상기 복수의 노즐을 구동해서 복수의 액체 방울을 토출시키는 구동수단과,
   상기 복수의 액체 방울을 촬상하는 촬상수단과,
   상기 촬상수단에 의해 촬상된 상기 복수의 액체 방울의 초점맞춤 상태를 확인하는 화상 확인수단과,
   상기 화상 확인수단에 의해 확인된 초점맞춤 상태에 근거하여, 상기 복수의 액체 방울에 대한 상기 촬상수단의 적어도 일부의 각도를 조정하는 조정수단을 갖는 것을 특징으로 하는 액체 방울 토출장치.
   
2. 제 1항에 있어서,
   상기 조정수단은, 상기 촬상수단의 렌즈 또는 촬상 소자의 적어도 한쪽의 각도를 조정하는 것을 특징으로 하는 액체 방울 토출장치.
   
3. 제 1항에 있어서,
   상기 노즐 헤드와 상기 촬상수단을 상대적으로 이동시키는 이동수단을 구비하고, 상기 이동수단은 소정 방향의 제1구동축과, 상기 제1구동축에 수직한 방향의 제2구동축을 갖고, 상기 제1구동축과 상기 제2구동축은 상기 복수의 노즐의 배열 면에 평행한 축인 것을 특징으로 하는 액체 방울 토출장치.
   
4. 제 3항에 있어서,
   상기 조정수단은, 기준 노즐과, 상기 기준 노즐로부터 소정 거리만큼 떨어진 측정 노즐의 각각의 초점위치를 측정한 결과에 근거하여 상기 각도를 조정하는 것을 특징으로 하는 액체 방울 토출장치.
   
5. 제 3항에 있어서,
   상기 노즐 헤드는 복수의 기준 마크를 갖고, 상기 기준 마크를 검출하는 검출수단의 검출 결과에 근거하여 상기 이동수단을 소정의 위치로 이동시키는 위치 보정수단을 갖는 것을 특징으로 하는 액체 방울 토출장치.
   
6. 제 5항에 있어서,
   상기 검출수단은 복수의 상기 기준 마크를 2점 이상 검출하고, 상기 위치 보정수단은 상기 검출수단의 검출 결과에 근거하여 상기 복수의 노즐과 상기 이동수단의 상대적인 위치 어긋남을 산출하고, 산출 결과에 근거하여 상기 이동수단을 소정의 위치로 이동시키는 것을 특징으로 하는 액체 방울 토출장치.
   
7. 제 5항에 있어서,
   상기 노즐 헤드를 복수 갖고, 상기 검출수단은 복수의 상기 노즐 헤드의 복수의 상기 기준 마크를 검출하고, 상기 위치 보정수단은 상기 검출수단의 검출 결과에 근거하여 노즐 헤드마다 상기 이동수단을 소정의 위치로 이동시키는 것을 특징으로 하는 액체 방울 토출장치.
   
8. 제 5항에 있어서,
   상기 검출수단의 검출 결과에 근거하여, 상기 조정수단에 의해 상기 각도를 조정하는 것을 특징으로 하는 액체 방울 토출장치.
   
9. 제 5항에 있어서,
   상기 노즐 헤드를 복수 갖고, 복수의 상기 노즐 헤드의 복수의 상기 기준 마크에 근거하여 노즐 헤드마다의 각도 어긋남을 산출하고, 노즐 헤드마다 상기 조정수단에 의해 상기 각도를 조정하는 것을 특징으로 하는 액체 방울 토출장치.
   
10. 제 1항에 있어서,
    상기 구동수단의 구동 타이밍과 상기 촬상수단의 촬상 타이밍의 간격을 조정하는 타이밍 조정수단을 갖는 것을 특징으로 하는 액체 방울 토출장치.
    
11. 제 10항에 있어서,
    상기 노즐 헤드의 높이를 측정하는 거리 측정수단을 구비하고, 상기 타이밍 조정수단은, 상기 거리 측정수단에 의해 측정된 상기 노즐 헤드의 높이에 따라 상기 구동수단의 상기 구동 타이밍과 상기 촬상수단의 상기 촬상 타이밍의 간격을 조정하는 것을 특징으로 하는 액체 방울 토출장치.
    
12. 제 1항에 있어서,
    상기 촬상수단으로부터의 화상에 의해 상기 복수의 노즐로부터 토출되는 액체 방울의 속도, 체적, 토출 각도의 적어도 1개를 산출하는 화상 처리수단을 갖는 것을 특징으로 하는 액체 방울 토출장치.
    
13. 복수의 노즐을 갖는 노즐 헤드와,
    상기 복수의 노즐을 구동해서 복수의 액체 방울을 토출시키는 구동수단과,
    상기 복수의 액체 방울을 촬상하는 촬상수단을 갖는 액체 방울 토출장치의 조정방법으로서,
    상기 촬상수단에 의해 촬상된 상기 복수의 액체 방울의 초점맞춤 상태에 근거하여, 상기 복수의 액체 방울에 대한 상기 촬상수단의 적어도 일부의 각도를 조정하는 조정 스텝을 갖는 것을 특징으로 하는 조정방법.
    
14. 청구항 1 내지 12 중 어느 한 항에 기재된 액체 방울 토출장치를 사용해서 기판 위에 액체를 공급하는 공급공정과,
    상기 공급공정에서 상기 액체가 공급된 상기 기판을 가공하는 가공공정을 포함하고,
    상기 가공공정에서 가공된 상기 기판으로부터 물품을 제조하는 것을 특징으로 하는 물품의 제조방법.