KR20080113116A

KR20080113116A - 결함 수복 장치, 결함 수복 방법, 프로그램 및 컴퓨터 판독가능한 기록 매체

Info

Publication number: KR20080113116A
Application number: KR1020087028352A
Authority: KR
Inventors: 요시노리 나까지마; 히로쯔구 마또바; 도시히로 다무라
Original assignee: 샤프 가부시키가이샤
Priority date: 2006-04-21
Filing date: 2007-04-18
Publication date: 2008-12-26
Also published as: EP2014375A1; WO2007123148A1; CN101484248A; JP2007289820A; US8196543B2; US20090304916A1; JP4057037B2; EP2014375A4; CN101484248B

Abstract

결함을 효율적으로 수복할 수 있는 결함 수복 장치(1)는 반송된 기판을 고정하는 기판 적재대(3)와, 기판 적재대(3)에 의해 고정된 기판에 수직한 방향으로부터 보아서 기판의 반송 방향과 다른 방향을 따라 배치되어 기판 상에 점재하는 결함에 액적을 토출하는 복수개의 액적 토출 유닛(11)과, 복수개의 액적 토출 유닛(11)을 탑재한 헤드 갠트리 유닛(7)과, 헤드 갠트리 유닛(7)을 기판의 반송방향을 따라 상대적으로 등속 이동시키는 갠트리 슬라이드 기구(4)를 구비하고, 각 액적 토출 유닛(11)은 상기 기판 상에 점재하는 복수개의 결함의 위치를 나타내는 데이터에 따라 헤드 갠트리 유닛(7)이 기판의 반송 방향을 따라 이동하고 있는 동안에 상기 반송 방향과 다른 방향을 따라 서로 독립하여 이동한다.

부상 슬라이드 기구, 갠트리, 토출 유닛 슬라이드 기구, 액적 토출 유닛, 얼라인먼트 카메라, 관찰 카메라 유닛, 메인터넌스 기구

Description

결함 수복 장치, 결함 수복 방법, 프로그램 및 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체 {DEFECT REPAIRING DEVICE, DEFECT REPAIRING METHOD, PROGRAM AND COMPUTER READABLE RECORDING MEDIUM}

본 발명은 기판 상에 점재하는 결함의 위치 데이터에 기초하여 결함을 수복하는 결함 수복 장치, 결함 수복 방법, 프로그램 및 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체에 관한 것이다.

최근, 잉크젯 기술은 종이 매체 상에 화상을 형성하는 프린터 장치로서 뿐만아니라 제조 장치로서의 용도가 기대되고 있다. 예를 들어, 특허 문헌1에서는 액정 디스플레이, 유기 EL 디스플레이, 플라즈마 디스플레이, 전자 방출 소자, 전기 영동 표시 장치 등의 제조 장치로서 잉크젯 방식에 의한 액적 토출 소자를 탑재한 제조 장치의 구성이 개시되어 있다. 이 특허 문헌1에서는 기판 상으로의 착탄 위치 정밀도를 향상시키기 위하여 장치 기체를 석정반으로 하고, 기판을 동일한 방향으로 반송하는 스테이지와 스테이지 진행 방향과 직교하는 방향으로 잉크젯 헤드를 이동시키는 캐리지 기구를 각각 석정반 상에 직결해서 설치하고 있다.

잉크젯 방식에 의한 범용 프린터에는 통상은 액적을 토출시키는 소자로서 150 내지 300 노즐/인치의 간격으로 노즐 구멍이 규칙적으로 배열된 폭 1/2 내지 2 인치의 잉크젯 헤드 소자를 각 색마다 몇 개씩 탑재한 1개의 잉크젯 헤드 유닛을 사용해서 화상을 형성한다. 화상 형성 방법으로서는 기록지를 종이 이송 롤러에 의해 이송시키면서 기록지의 반송 방향에 대하여 직교하는 방향으로 잉크젯 헤드 유닛을 복수회 주사함으로써 기록지에 화상을 형성하고 있었다.

이 잉크젯 방식을 제조 장치로서 사용하는 경우에도 잉크젯 헤드 소자는 범용 프린터용과 마찬가지로 노즐 열방향의 사이즈는 기껏해야 1 내지 2인치 정도 밖에 없는 것이 현상이다.

한편, 액정 디스플레이 유기 EL 디스플레이 플라즈마 디스플레이 전자 방출 소자, 전기 영동 표시 장치의 제조 프로세스는 대면적 기판을 사용해서 채취수를 늘림으로써 저비용 및 택트의 단축을 도모하는 경향에 있어 잉크젯 방식에 의해 이것들을 제조하기 위해서는 1변이 수m나 되는 대면적 기판에 대응할 수 있는 제조 장치가 요구되어 왔다.

대면적 기판에 대하여 고속으로 처리할 수 있는 잉크젯 방식을 사용한 제조 장치로서는 복수의 잉크젯 헤드 소자를 나란히 늘어 놓아 기판 사이즈 이상의 길이로 한 라인 헤드 방식이 있다. 이 방식은 기껏해야 1 내지 2인치의 폭의 잉크젯 소자를, 기판 사이즈에 도달하는 길이까지 지그재그로 배열시키는 것으로, 기판 사이즈가 수m나 되면 적어도 10O 내지 200개의 헤드를 배열시킬 필요가 있다. 이 라인 헤드 방식에 의한 제조 장치는 예를 들어 컬러 필터 기판과 같은 기판 전체면에 토출을 필요로 하고 또한 토출 개소가 규칙적인 기판에는 매우 효과적이라고 할 수 있다.

또한, 컬러 필터 기판의 제조 방법의 일부로서 컬러 필터 기판에 착색 불량 부분이 있었을 경우에 불량 개소에만 컬러 필터 재료를 토출시키는 구성이 알려져 있다(특허 문헌2).

또한, 라인형 고정 잉크젯 헤드와 리페어용 헤드를 설치하고 라인형 고정 잉크젯 헤드로부터 토출되지 않는 노즐(이하, 불토출 노즐이라 한다)을 검출하여 리페어용 헤드를 불토출 노즐에 대응하는 위치까지 이동시켜서 불토출 노즐 대신에 리페어용 헤드에 의해 액적을 토출하는 구성이 개시되어 있다(특허 문헌3).

또한, 제1 토출부 및 제2 토출부와 제1 토출부가 묘화한 패턴의 결함을 검출하는 묘화 검사부를 설치하고 묘화 검사부로부터의 정보에 기초하여 제2 토출부를 결함에 대응하는 위치로 상대 이동시켜서 액적을 토출하는 구성이 개시되어 있다(특허 문헌4).

특허 문헌1 : 일본 특허 출원 공개2003-191462호 공보[평성 15년 7월 8일(2003.7.8) 공개]

특허 문헌2 : 일본 특허 출원 공개2003-66218호 공보[평성 15년 3월 5일(2003.3.5) 공개]

특허 문헌3 : 일본 특허 출원 공개2005-185978호 공보[평성 17년 7월 14일(2005.7.14) 공개]

특허 문헌4 : 일본 특허 출원 공개2004-337707호 공보[평성 16년 12월 2일(2004.12.2) 공개]

그러나, 특허 문헌1에 기재한 라인 헤드 방식에 의해 특허 문헌2에 개시되어 있는 컬러 필터 기판의 수복을 실시하려고 하면, 이하와 같은 문제가 발생한다.

컬러 필터 기판에 점재하는 결함(불량 개소)을 수정하는 수단으로서 라인 헤드 방식을 사용하면, 기판 전체면에 액적을 토출시키는 것과 동일한 처리 시간을 필요로 하는 데다가 대부분이 토출되지 않는 비 동작 노즐이 되어 노즐 막힘을 발생시키기 쉽다. 또한 모든 노즐에 대하여 메인터넌스 동작을 행하는 것이 필요하여 불필요한 폐액이 증가한다. 또한, 토출량을 균일화시키고 싶을 경우에 있어서, 라인 헤드 방식에서는 점재하는 원하는 개소에 대하여 액적을 토출시키는 것일 뿐임에도 불구하고 합계 수천개에 이르는 노즐에 대하여 모두 토출량 보정을 행하는 것이 필요하게 되어 지극히 비효율적이다.

또한, 범용 프린터로 다용되어 온 잉크젯 헤드 유닛을 복수개 동일 갠트리(gantry) 상에 늘어 놓아 왕복시키는 방식에서는 잉크젯 헤드 유닛의 주사 거리는 증가하는 데다가 안정 동작면에서 주사 속도에도 한계가 있어, 처리 시간을 단축할 수 없다.

또한,대면적 기판상의 전체면에 한하지 않고 원하는 개소에 액적을 효율적으로 토출시키고 싶다고 하는 요망은 컬러 필터의 수복에 한하지 않고 다양한 제조 분야에서 향후 요구되는 것이다.

특허 문헌3에 기재된 라인형 고정 잉크젯 헤드와 리페어용 헤드와의 조합의 구성, 또는 특허 문헌4에 기재된 제1 토출부 및 제2 토출부의 조합의 구성으로, 액적을 기판에 토출하면, 수복 전문 장치를 별도로 설치하여 수복하는 구성에 비하여 택트 타임이 길어진다고 하는 문제가 있다.

본 발명은 상기의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은 기판에 점재하는 결함을 효율적으로 수복할 수 있는 결함 수복 장치, 결함 수복 방법, 프로그램 및 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체를 실현하는 것에 있다.

본 발명에 관한 결함 수복 장치는 상기 과제를 해결하기 위해서 반송된 기판을 고정하는 고정 수단과, 상기 고정 수단에 의해 고정된 기판에 수직한 방향에서 보았을때 상기 기판의 반송 방향과 상이한 방향을 따라 배치되어 상기 기판 상에 점재하는 결함에 액적을 토출하는 복수개의 액적 토출 유닛과, 상기 복수개의 액적 토출 유닛을 탑재한 일렬 이상의 갠트리와, 상기 갠트리를 상기 기판의 반송 방향을 따라 상대적으로 등속 이동시키는 이동 수단을 구비하고, 각 액적 토출 유닛은 상기 기판 상에 점재하는 복수개의 결함의 위치를 나타내는 데이터에 따라서 상기 갠트리가 상기 기판의 반송 방향을 따라 상대 이동하고 있는 동안, 상기 반송 방향과 다른 방향을 따라 서로 독립하여 이동하는 것을 특징으로 한다.

이 특징에 따르면, 각 액적 토출 유닛은 기판 상에 점재하는 복수개의 결함의 위치를 나타내는 데이터에 따라 갠트리가 기판의 반송 방향을 따라 상대 이동하고 있는 동안, 반송 방향에 수직한 방향을 따라 서로 독립하여 이동한다. 이로 인해 표면에 결함이 점재하는 기판을 반입하고, 갠트리를 기판의 반송 방향을 따라 상대 이동시키면서 상기 반송 방향에 수직한 방향을 따라 각 액적 토출 유닛을 서로 독립하여 이동시킴으로써 기판 상에 점재하는 결함을 효율적으로 수복할 수 있다. 또한, 표면에 결함이 점재하는 대형 기판에 대응해서 갠트리가 대형화하고 중량이 증대해도 갠트리를 등속 이동시키므로, 액적 토출 유닛으로부터 토출한 액적의 기판에의 착탄 정밀도가 악화되는 일이 없다.

본 발명에 관한 결함 수복 장치에서는 상기 이동 수단은 상기 기판의 일단부로부터 타단부까지 상기 갠트리를 왕복 이동시키는 것이 바람직하다.

상기 구성에 따르면, 갠트리가 기판에 대하여 이동하므로, 갠트리에 대하여 대형 기판이 이동하는 구성보다도 공간 절약을 실현할 수 있다.

본 발명에 관한 결함 수복 장치에서는 상기 갠트리는 상기 기판의 반송 방향을 따라 소정의 간격을 두고 복수열 설치되어 있는 것이 바람직하다.

상기 구성에 따르면, 복수개의 결함을 수복하기 위한 갠트리 1열당의 총 이동량을 저감할 수 있으므로, 기판의 처리 시간(택트 타임)을 단축할 수 있다.

본 발명에 관한 결함 수복 장치에서는 상기 갠트리에는 각 액적 토출 유닛을 상기 반송 방향과 다른 방향을 따라 슬라이드시키는 복수개의 슬라이드 기구가 설치되어 있는 것이 바람직하고, 특히 장치의 공간 절약화의 점에서 상기 반송 방향에 수직한 방향으로 배열시키는 것이 바람직하다.

상기 구성에 따르면, 간단한 구성에 의해 액적 토출 유닛을 상기 반송 방향과 다른 방향을 따라 서로 독립해서 이동시킬 수 있다.

본 발명에 관한 결함 수복 장치에서는 상기 반송 방향으로부터 보아 각 슬라이드 기구에 의해 슬라이드하는 액적 토출 유닛의 슬라이드 범위의 단부가, 서로 겹쳐져 있는 것이 바람직하다.

상기 구성에 따르면, 기판의 전역에 걸쳐 결함의 수복이 가능해진다.

본 발명에 관한 결함 수복 장치에서는 상기 기판에 수직한 방향으로부터 보아서 상기 복수개의 슬라이드 기구는 지그재그 형상으로 배치되어 있는 것이 바람직하다.

상기 구성에 따르면, 액적 토출 유닛을 효율적으로 갠트리에 배치할 수 있고 갠트리를 소형화할 수 있으므로, 이동 속도를 고속화할 수 있고 기판의 처리 시간(택트 타임)을 단축할 수 있다.

본 발명에 관한 결함 수복 장치에서는 상기 기판의 수복 영역을, 각 액적 토출 유닛마다 할당하는 것이 바람직하다.

상기 구성에 따르면, 각 액적 토출 유닛의 이동량을 억제할 수 있어 장치 비용을 저감할 수 있다. 또한, 수복 동작을 효율적으로 행할 수 있다.

본 발명에 관한 결함 수복 장치에서는 각 액적 토출 유닛은 상기 반송 방향과 다른 방향을 따라 이동한 후 정지한 상태에서 상기 결함에 상기 액적을 토출하는 것이 바람직하다.

상기 구성에 따르면, 결함에 대한 액적의 착탄 정밀도를 높일 수 있다.

본 발명에 관한 결함 수복 장치에서는 각 액적 토출 유닛은 그 액적 토출 위치와 상기 기판상의 결함의 위치가 일치하도록 상기 반송 방향과 다른 방향을 따라 이동하는 것이 바람직하다.

상기 구성에 따르면, 기판 상에 점재하는 복수개의 결함의 위치를 나타내는 데이터에 따라 각 액적 토출 유닛에 의해 결함에 액적을 토출하여 그 결함을 수복할 수 있다.

본 발명에 관한 결함 수복 장치에서는 상기 복수개의 액적 토출 유닛을 탑재한 갠트리의 중량은 0.5톤 이상 4톤 이하인 것이 바람직하다.

상기 구성에 따르면, 액정 표시 장치용 화면의 대형화에 대응해서 갠트리가 대형화되어 0.5톤 이상 4톤 이하로 중량이 증대해도 갠트리를 등속 이동시키므로, 액적 토출 유닛으로부터 토출한 액적의 기판에의 착탄 정밀도가 악화되는 일이 없다.

본 발명에 관한 결함 수복 방법은 상기 과제를 해결하기 위해서 반송된 기판을 고정하고, 상기 고정한 기판에 수직한 방향으로부터 보아서 상기 기판의 반송 방향과 다른 방향을 따라 배치된 복수개의 액적 토출 유닛을 탑재한 일렬 이상의 갠트리를 상기 기판의 반송 방향을 따라 상대 이동시키고, 상기 갠트리가 상기 기판의 반송 방향을 따라 이동하고 있는 동안에 상기 기판 상에 점재하는 복수개의 결함의 위치를 나타내는 데이터에 따라 상기 반송 방향과 다른 방향을 따라 각 액적 토출 유닛을 서로 독립해서 이동시켜서 상기 기판 상에 점재하는 결함에 액적을 토출하는 것을 특징으로 한다.

이 특징에 따르면, 각 액적 토출 유닛은 기판 상에 점재하는 복수개의 결함의 위치를 나타내는 데이터에 따라 갠트리가 기판의 반송 방향을 따라 상대적으로 등속 이동하고 있는 동안에 반송 방향과 다른 방향을 따라 서로 독립하여 이동한다. 이로 인해 표면에 결함이 점재하는 기판을 반입하고 갠트리를 기판의 반송 방향을 따라 이동시키면서 상기 반송 방향과 다른 방향을 따라 각 액적 토출 유닛을 서로 독립하여 이동시킴으로써 기판 상에 점재하는 결함을 효율적으로 수복할 수 있다. 또한, 표면에 결함이 점재하는 대형 기판에 대응해서 갠트리가 대형화되어 중량이 증대해도 갠트리를 등속 이동시키므로, 액적 토출 유닛으로부터 토출한 액적의 기판에의 착탄 정밀도가 악화되는 일이 없다.

본 발명에 관한 프로그램은 상기 과제를 해결하기 위해서 컴퓨터에, 반송된 기판을 고정하는 수순과, 상기 고정한 기판에 수직한 방향으로부터 보아서 상기 기판의 반송 방향과 다른 방향을 따라 배치된 복수개의 액적 토출 유닛을 탑재한 일렬 이상의 갠트리를 상기 기판의 반송 방향을 따라 상대적으로 등속 이동시키는 수순과, 상기 갠트리가 상기 기판의 반송 방향을 따라 이동하고 있는 동안에 상기 기판 상에 점재하는 복수개의 결함의 위치를 나타내는 데이터에 따라 상기 반송 방향과 다른 방향을 따라 각 액적 토출 유닛을 서로 독립해서 이동시켜 상기 기판 상에 점재하는 결함에 액적을 토출하는 수순을 실행시키는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 관한 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체는 상기 과제를 해결하기 위해서 컴퓨터에, 반송된 기판을 고정하는 수순과, 상기 고정한 기판에 수직한 방향으로부터 보아서 상기 기판의 반송 방향과 다른 방향을 따라 배치된 복수개의 액적 토출 유닛을 탑재한 일렬 이상의 갠트리를 상기 기판의 반송 방향을 따라 상대적으로 등속 이동시키는 수순과, 상기 갠트리가 상기 기판의 반송 방향을 따라 이동하고 있는 동안에 상기 기판 상에 점재하는 복수개의 결함의 위치를 나타내는 데이터에 따라 상기 반송 방향과 다른 방향을 따라 각 액적 토출 유닛을 서로 독립하여 이동시켜서 상기 기판 상에 점재하는 결함에 액적을 토출하는 수순을 실행시키는 프로그램을 기록한 것을 특징으로 한다.

본 발명에 관한 결함 수복 장치는 이상과 같이 상기 갠트리를 상기 기판의 반송 방향을 따라 상대적으로 등속 이동시키는 이동 수단을 구비하고 각 액적 토출 유닛은 상기 기판 상에 점재하는 복수개의 결함의 위치를 나타내는 데이터에 따라 상기 갠트리가 상기 기판의 반송 방향을 따라 이동하고 있는 동안에 상기 반송 방향과 다른 방향을 따라 서로 독립하여 이동하므로, 기판 상에 점재하는 결함을 효율적으로 수복할 수 있다고 하는 효과를 발휘한다.

본 발명에 관한 결함 수복 방법은 이상과 같이 상기 갠트리를 상기 기판의 반송 방향을 따라 상대적으로 등속 이동시키고 각 액적 토출 유닛을, 상기 기판 상에 점재하는 복수개의 결함의 위치를 나타내는 데이터에 따라 상기 갠트리가 상기 기판의 반송 방향을 따라 이동하고 있는 동안에 상기 반송 방향과 다른 방향을 따라 서로 독립해서 이동시키므로, 기판 상에 점재하는 결함을 효율적으로 수복할 수 있다고 하는 효과를 발휘한다.

도1은 제1 실시형태에 관한 결함 수복 장치의 외관을 도시하는 사시도이다.

도2는 상기 결함 수복 장치의 모식적인 단면도이다.

도3은 상기 결함 수복 장치에 설치된 헤드 갠트리 유닛 및 기판 적재대의 동작을 설명하기 위한 모식적인 단면도이다.

도4의 (a)는 상기 결함 수복 장치에 설치된 헤드 갠트리 유닛의 구성을 설명하기 위한 주요부 평면도이며 (b)는 주요부 정면도이다.

도5는 상기 헤드 갠트리 유닛에 설치된 액적 토출 유닛의 구성을 설명하기 위한 주요부 측면도이다.

도6은 상기 헤드 갠트리 유닛에 설치된 토출 유닛 슬라이드 기구의 구성을 설명하기 위한 주요부 정면도이다.

도7의 (a)는 상기 액적 토출 유닛의 구성을 설명하기 위한 주요부 하면도이며 (b)는 상기 액적 토출 유닛의 다른 구성을 설명하기 위한 주요부 하면도이다.

도8의 (a) 내지 (c)는 상기 헤드 갠트리 유닛 및 상기 기판 적재대의 동작을 설명하기 위한 모식적인 단면도이다.

도9의 (a)는 상기 결함 수복 장치에 설치된 메인터넌스 기구의 불토출 검출기의 구성을 설명하기 위한 정면도이며 (b)는 그 하면도이다.

도10의 (a), (b)는 상기 결함 수복 장치의 얼라인먼트 동작을 설명하기 위한 평면도이다.

도11의 (a), (b)는 상기 헤드 갠트리 유닛에 설치된 얼라인먼트 카메라의 구성을 설명하기 위한 주요부 평면도이다.

도12의 (a), (b)는 상기 결함 수복 장치의 얼라인먼트 동작을 설명하기 위한 주요부 평면도이다.

도13의 (a), (b)는 상기 결함 수복 장치의 얼라인먼트 동작을 설명하기 위한 주요부 확대 평면도이다.

도14는 상기 결함 수복 장치의 얼라인먼트 동작을 도시하는 흐름도이다.

도15의 (a), (b)는 상기 결함 수복 장치에 설치된 관찰 카메라 유닛에 의한 액적 착탄 위치의 계측 동작을 설명하기 위한 평면도이다.

도16의 (a), (b)는 상기 결함 수복 장치에 설치된 헤드 갠트리 유닛의 왕복 동작을 설명하기 위한 평면도이다.

도17의 (a), (b)는 상기 헤드 갠트리 유닛의 대상 기판에 대한 동작을 설명하기 위한 평면도이다.

도18의 (a) 내지 (d)는 상기 액적 토출 유닛의 결손부에 대한 토출 동작을 설명하기 위한 모식적인 평면도이다.

도19의 (a) 내지 (c)는 3종류의 액적 재료를 적하하는 액적 토출 유닛의 이동 방향이 화소 길이 방향과 직교할 경우의 액적 토출 유닛의 토출 동작을 도시하는 모식적인 평면도이다.

도20의 (a) 내지 (c)는 3종류의 액적 재료를 적하하는 액적 토출 유닛의 이동 방향이 화소 길이 방향으로 평행할 경우의 액적 토출 유닛의 토출 동작을 도시하는 모식적인 평면도이다.

도21의 (a)는 제2 실시형태에 관한 결함 수복 장치의 헤드 갠트리 유닛의 구성을 도시하는 평면도이며 (b)는 그 동작을 설명하기 위한 평면도이다.

도22는 제2 실시형태에 관한 결함 수복 장치의 헤드 갠트리 유닛의 다른 구성을 도시하는 평면도이다.

도23의 (a), (b)는 제2 실시형태에 관한 결함 수복 장치의 헤드 갠트리 유닛의 또 다른 구성을 도시하는 평면도이다.

부호의 설명

1 : 결함 수복 장치

2 : 기체

2a : 메인 스테이지

2b, 2c : 서브 스테이지

3 : 기판 적재대(고정 수단)

4 : 갠트리 슬라이드 기구(이동 수단)

5a, 5b, 5c : 갠트리 가이드

6 : 리니어 스케일

7 : 헤드 갠트리 유닛(갠트리)

8 : 부상 슬라이드 기구

9 : 갠트리

10 : 토출 유닛 슬라이드 기구(슬라이드 기구)

11 : 액적 토출 유닛

11a 내지 11i : 액적 토출 유닛

12 : 얼라인먼트 카메라

13 : 카메라 슬라이드 기구

14 : 관찰 카메라 유닛

15 : 메인터넌스 기구

16 : 하우징

17 : 토출 소자

18 : 구동 제어 회로

19 : 케이블

20 : 잉크 탱크

21 : 잉크 배관

22 : 노즐 플레이트

23 : 노즐 구멍

24 : 리니어 구동 기구

25 : LM 가이드

26 : 갠트리 리니어 스케일

27 : 리니어 구동 기구

28 : 카메라 슬라이드 기구

29 : LM 가이드

30 : 카메라용 리니어 스케일

31 : 캡 부재

32 : 불토출(不吐出) 검출기

33 : 레이저 발광 소자

34 : 레이저 수광 소자

35 : 대상 기판

36 : 얼라인먼트 마크

37a : 외측 원환부

37b : 내측 원부

38 : 더미 기판

39 : 액적 착탄 위치

40 : 결손부(결함)

41 : 영역(수복 영역)

본 발명의 일 실시 형태에 대해서 도1 내지 도23에 기초하여 설명하면 이하와 같다.

(제1 실시형태)

<장치 전체의 구성 설명>

도1은 제1 실시형태에 관한 결함 수복 장치(1)의 외관을 도시하는 사시도이다. 도2는 결함 수복 장치(1)의 모식적인 단면도이다.

결함 수복 장치(1)는 기체(2)를 구비하고 있다. 결함 수복 장치(1)에는 기체(2) 상에 탑재되어 기판 반입 및 반출시에 이동하는 기판 적재대(3)와 기판 적재대(3)의 상방을 상기 대에 접촉하는 일 없이 횡단하고 있는 헤드 갠트리 유닛(7)이 설치되어 있다. 헤드 갠트리 유닛(7)은 기체(2)에 연결되어 있는 갠트리 슬라이드 기구(4)에 의해 일방향(도1의 Y 방향에 평행한 방향)으로 왕복 이동할 수 있는 구성으로 되어 있다.

헤드 갠트리 유닛(7)의 측면에는 액적 토출 유닛(11)을 헤드 갠트리 유닛(7)의 이동 방향(도1의 Y 방향에 평행한 방향)과는 다른 방향(도1의 X 방향에 평행한 방향)으로 이동시킬 수 있는 토출 유닛 슬라이드 기구(10)가 탑재되어 있고, 토출 유닛 슬라이드 기구(10) 상에 탑재된 액적 토출 유닛(11)은 토출 유닛 슬라이드 기구(10) 상의 이동 가능 영역의 범위 내에서 헤드 갠트리 유닛(7)의 이동 방향과 다른 방향(도1의 X 방향에 평행한 방향)으로 이동 가능하게 되어 있다.

액적 토출 유닛(11)은 헤드 갠트리 유닛(7)의 측면에 복수개(도1에서는 9개)탑재되어, 각각에 개별적인 토출 유닛 슬라이드 기구(10)를 갖고 있다. 그리고 복수의 액적 토출 유닛(11)은 각각의 토출 유닛 슬라이드 기구(10) 상을 결함 수복 장치(1)로부터의 제어 지령에 기초하여 개별적으로 독립하여 도1의 X 방향에 평행한 방향으로 이동한다.

또한, 액적 토출 유닛(11)은 헤드 토출면을 갖고 있다. 헤드 토출면은 기판 적재대(3)에 대략 평행하며 또한, 액적을 토출하기 위한 구멍이 형성되어 있다. 액적 토출 유닛(11)은 액적 토출 장치(1)로부터의 제어 지령에 기초하여 기판 적재대(3) 상에 적재한 대상 기판에 헤드 토출면으로부터 액적을 적하한다.

장치 기체(2) 상에는 기판 적재대(3) 외에 액적 토출 유닛(11)에 대하여 비사용시에 토출면을 캡하는 기구, 불량 토출구를 검출하는 기구, 불량 토출구를 회복시키는 기구 등을 갖는 메인터넌스 기구(15)가 설치되어 있다. 메인터넌스 시에는 갠트리 슬라이드 기구(4)에 의해 헤드 갠트리 유닛(7)이 메인터넌스 기구(15)의 바로 위로 이동하여 액적 토출 유닛(11)에 대하여 각종 메인터넌스 동작을 행한다.

<장치 기체(2)의 설명>

장치 기체(2)의 구성에 대해서 도2를 사용해서 설명한다.

장치 기체(2)는 중앙에 위치하는 메인 스테이지(2a)를 갖고 있고, 메인터넌 스 기구(15)를 갖는 서브 스테이지(2c)와 서브 스테이지(2b)를 그 양편에 기계적으로 연결하고 있다.

메인 스테이지(2a)는 화강암제의 고정밀도의 스테이지로, 액적 토출 유닛(11)으로부터 기판 적재대(3) 상의 대상 기판을 향해서 액적이 토출되는 동안은 기판 적재대(3)를 정확하게 고정하는 것이다.

서브 스테이지(2c)는 메인터넌스 기구(15)를 탑재하는 것으로, 메인 스테이지(2a)에 비하여 고정밀도로 제조할 필요는 없다.

서브 스테이지(2b)는 기판 적재대(3) 상에 기판을 반입, 또는 기판 적재대(3) 상으로부터 기판을 반출할 때에, 기판 적재대(3)를 장치 단부로 이동시킬 때에 사용하는 스테이지다.

각각의 스테이지에는 메인 스테이지용 갠트리 가이드(5a) 및 서브 스테이지용 갠트리 가이드(5b·5c)가 탑재되어 있고, 갠트리 가이드(5a·5b·5c)는 다른 갠트리 가이드(5a·5b·5c) 사이에 걸쳐서 헤드 갠트리 유닛(7)이 자유롭게 슬라이드 할 수 있도록, 각각의 사이에 이음매를 갖고서 연결되어 있다.

도1에서는 헤드 갠트리 유닛(7)은 부상 슬라이드 기구(8)와 갠트리 슬라이드 기구(4) 사이에서 항상 에어 부상되어 있고, 갠트리 슬라이드 기구(4) 상의 자석식 리니어 스케일(6)과 부상 슬라이드 기구(8) 사이의 리니어 모터 제어에 의해 헤드 갠트리 유닛(7)의 이동을 가능하게 하고 있다.

그리고 갠트리 슬라이드 기구(4) 및 리니어 스케일(6)은 각각의 스테이지(2a·2b·2c)에 걸쳐 헤드 갠트리 유닛(7)이 자유롭게 이동할 수 있도록 연속적으로 구성되어 있다. 또한, 장치 기체(2)의 지면(地面)측에는 도시하지 않은 종래 기술의 제진 기구가 설치되어 있다.

<기판 적재대(3)의 설명>

기판 적재대(3)는 상면에는 도시하지 않은 미소한 구멍이 복수 형성되어 있고, 그 구멍 모두가 도시하지 않은 흡인/송풍 기구에 연결되어 흡인/송풍 제어를 행함으로써 기판 적재대(3) 상에 배치된 대상 기판의 흡착 고정, 혹은 기판 적재대(3)로부터의 기판의 해방을 행하는 것이 가능하게 되어 있다.

도3은 결함 수복 장치(1)에 설치된 헤드 갠트리 유닛(7) 및 기판 적재대(3)의 동작을 설명하기 위한 모식적인 단면도이다. 기판 적재대(3)는 장치 기체(2) 상에 설치된 도시하지 않은 슬라이드 레일 상을 리니어 모터 제어에 의해 이동하는 것이 가능해서 기판의 반입 혹은 반출 시에는 도3에 도시한 바와 같이 기판 적재대(3)는 화살표 r1의 방향을 따라 메인터넌스 기구(15)와 반대 방향의 장치 단부로 이동한다.

또한, 기판 적재대(3)에는 도시하지 않은 θ 회전 기구가 내재되어 있어, 슬라이드 레일 상을 리니어 모터 제어에 의해 일방향으로 이동하는 것 및 적재한 기판을 면내 방향으로 자유로이 회전시키는 것이 가능하게 되어 있다.

또한, 기판 적재대(3)는 슬라이드 레일과 직교하는 방향으로도 미세 조정 이동할 수 있는 기구를 갖고 있다. 또한, 기판 적재대(3)의 상면은 상면의 평탄성이 좋은 석정반으로 이루어져 액적 토출 유닛(11)의 토출면과 평행하다.

<헤드 갠트리 유닛(7)의 설명>

도4의 (a)는 헤드 갠트리 유닛(7)의 구성을 설명하기 위한 Z 방향으로부터 본 주요부 평면도이며 도4의 (b)는 X 방향으로부터 본 주요부 정면도이다. 헤드 갠트리 유닛(7)의 구성에 대해서 도4의 (a), (b)를 참조해서 설명한다.

헤드 갠트리 유닛(7)은 한 쌍의 갠트리(9)를 부상 슬라이드 기구(8)에 의해 연결한 구성으로 되어 있다. 갠트리(9)의 한쪽의 외측을 향한 측면에는 액적 토출 유닛(11) 및 토출 유닛 슬라이드 기구(10)가 복수개 설치되어 있다(도1에서는 4 유닛).

그 반대면에서 또한 2개의 갠트리(9) 사이에 위치하는 부분에 기판의 면내 회전 제어용의 얼라인먼트 카메라(12)가 2대 고정 설치되어 있다. 도4의 (a), (b)에서는 1대만 도시되어 있지만, 동등한 카메라(12)가 도4의 (a)에 있어서,의 상방에 1대 더 설치되어 있다.

갠트리(9)의 다른 쪽의 장치 외측을 향한 측면에는 갠트리(9)의 한쪽과 마찬가지로 액적 토출 유닛(11) 및 토출 유닛 슬라이드 기구(10)가 복수개 설치되어 있다(도1에서는 5 유닛). 그 반대면에서 또한 2개의 갠트리(9)에 끼워진 부분에 관찰용 카메라 유닛(14)이 관찰용 카메라 유닛(14)을 갠트리(9)의 길이 방향으로 이동 가능하게 하는 카메라 슬라이드 기구(13)를 통해서 이동 가능하게 설치되어 있다.

<갠트리 슬라이드 기구(4)의 설명>

갠트리 슬라이드 기구(4)는 부상 슬라이드 기구(8)와의 사이에 에어 부상시키는 동시에 부상 슬라이드 기구(8)와의 사이의 리니어 구동 제어에 의해 결함 수 복 장치(1) 본체로부터의 제어 신호에 따라 헤드 갠트리 유닛(7)을 도1의 Y 방향에 평행한 방향을 따라 임의의 위치로 이동시키는 것이 가능하다.

<액적 토출 유닛(11)의 설명>

도5는 액적 토출 유닛(11)의 구성을 설명하기 위한 도1의 Y 방향으로부터 본 주요부 측면도이다. 액적 토출 유닛(11)은 헤드 갠트리 유닛(7) 상에 설치된 토출 유닛 슬라이드 기구(10)에 탑재되어 있고 화살표 r3 방향으로 각각 독립하여 이동 가능하다.

액적 토출 유닛(11)은 토출 소자(17)와 구동 제어 회로(18)와 전기 접속 케이블(19)과 잉크 탱크(20)와 잉크 배관(21)과 그것들을 수납하는 하우징(16)을 갖고 있다. 하우징(16)이 토출 유닛 슬라이드 기구(10) 위를 이동한다.

토출 소자(17)의 기판 적재대(3)의 상면과의 평행면에는 노즐 플레이트(22)가 접착되어 있고 노즐 플레이트(22)에는 복수의 노즐 구멍(23)이 형성되어 있다. 또한, 노즐 구멍(23)의 직경은 10 내지 20μm이다.

토출 소자(17)는 압전체 기판에 복수의 잉크 실이 되는 홈을 형성한 후, 격벽 측면의 일부에 전극을 형성하고 격벽의 양측면의 사이에 전계를 인가해서 격벽 자체를 전단 변형시켜서 토출에너지를 발생시키는 공지의 것을 사용했다. 구동 제어 회로(18)는 도시하지 않은 케이블에 의해 도시하지 않은 구동 제어 시스템에 접속되어서 토출 제어가 행하여진다. 기판 적재대(3) 상에 대상 기판을 탑재했을 경우, 노즐 플레이트(22)의 최하면인 액적 토출면과 대상 기판의 상면과의 사이는 0.5 내지 1mm가 되도록 미리 조정되어 있다.

<토출 유닛 슬라이드 기구(10)의 설명>

도6은 토출 유닛 슬라이드 기구(10)의 구성을 설명하기 위한 도1의 X 방향으로부터 본 주요부 정면도이다. 토출 유닛 슬라이드 기구(10)의 구성을, 도6을 사용해서 설명한다.

토출 유닛 슬라이드 기구(10)는 2열의 LM 가이드(25)[(주) THK 제품]와 2열의 LM 가이드(25)의 열 사이에 설치한 갠트리 리니어 스케일(26)로 이루어져 액적 토출 유닛(11)에 설치되어 있는 리니어 구동 기구(24)를 구동 제어함으로써 도1의 X 방향에 평행한 방향(도6에 있어서, 지면에 수직한 방향)의 소정의 위치에 액적 토출 유닛(11)을 이동시키는 것이 가능하다. 리니어 스케일(26)은 소형의 N극 및 S극의 영구 자석을 교대로 규칙적으로 배열시킨 것이다.

리니어 구동 기구(24)는 교류 제어에 의해 N극 및 S극을 자유자재로 발생할 수 있는 것으로, 리니어 스케일(26)과 리니어 구동 기구(24)의 자석력에 의해 토출 유닛 슬라이드 기구(10) 상의 액적 토출 유닛(11)의 위치 제어를 가능하게 하고 있다. 또한, LM 가이드(25)의 유효 이동 스트로크는 250mm이며 이 유효 스트로크이상의 범위로 리니어 스케일(26)은 설치되어 있다. 토출 유닛 슬라이드 기구(10)에 의한 액적 토출 유닛(11)의 이동은 기판 적재대(3)의 상면과 액적 토출 유닛(11)의 액적 토출면인 노즐 플레이트(22) 사이의 갭이 항상 일정하게 되도록 미리 조정되어 있다. 이 갭은 예를 들어 O.2mm 이상 0.8mm 이하로 조정된다. 일반적으로 이 갭을 0.2mm 이하로 설정하면, 기판면에 헤드가 접촉해서 장치를 고장나게 할 가능성이 높아지는 동시에 액적을 기판에 착탄시켰을 때에 발생하는 미소한 튕겨진 액 적이 노즐면에 도달하여 노즐면 상에 축적되어서 결과적으로 큰 액적으로 되어버릴 우려가 있다. 한편, 0.8mm 이상으로 하면, 액적이 비상할 때에 바람의 영향을 받아 착탄 정밀도가 악화된다. 또한, 다른 갠트리(9)의 측면에 설치되어 있는 토출 유닛 슬라이드 기구(10)도 동일한 구성이므로 설명을 생략한다.

<카메라 슬라이드 기구(28)의 설명>

카메라 슬라이드 기구(28)의 구성을, 도6을 사용해서 설명한다. 관찰 카메라 유닛(14)은 갠트리 슬라이드 기구(4)에 설치된 Y 방향에 평행한 방향의 정보 취득 기능과 카메라 슬라이드 기구(28)에 설치된 X 방향에 평행한 방향의 정보 취득 기능에 의해 얼라인먼트 마크에 대한 대상 기판의 어드레스 정보를 출력하는 것이 가능하다. 관찰 카메라 유닛(14)은 주로 액적 토출 유닛(11)이 기판 상에 착탄한 착탄 화상을 관찰하여 각각의 액적 토출 유닛(11)의 토출 상태, 혹은 얼라인먼트 마크 기준의 착탄 위치의 어드레스를 출력할 수 있다.

관찰 카메라 유닛(14)에 의해 얻은 착탄 위치 좌표를 사용하여 각각의 액적 토출 유닛(11)에 대해서, Y 방향에 대하여는 토출 타이밍의 보정, X 방향에 대하여는 토출 유닛 슬라이드 기구(10)의 이동량의 보정에 의해 대상 기판 상의 원하는 위치에 액적을 착탄시킬 수 있다.

카메라 슬라이드 기구(28)는 전술한 토출 유닛 슬라이드 기구(10)와 마찬가지로, 2열의 LM 가이드(29)[(주) THK 제품]와 2열의 LM 가이드(29)의 열 사이에 설치한 카메라용 리니어 스케일(30)로 이루어져 관찰 카메라 유닛(14)에 설치되어 있는 리니어 구동 기구(27)를 구동 제어함으로써 도1의 X 방향(도6에 있어서,의 지면 에 수직한 방향)의 소정의 위치에 관찰 카메라 유닛(14)을 이동시키는 것이 가능하다. 또한, LM 가이드(29)의 유효 이동 스트로크는 2500mm이며 이 유효 스트로크 이상의 범위로 리니어 스케일(30)은 설치되어 있다.

<노즐 열의 배열>

도7의 (a)는 액적 토출 유닛(11)의 구성을 설명하기 위한 주요부 하면도이고, 도7의 (b)는 다른 액적 토출 유닛(11a)의 구성을 설명하기 위한 주요부 하면도이다. 액적 토출 유닛 내의 노즐 구멍의 배열을, 도7의 (a), (b)를 사용해서 설명한다. 도7의 (a)는 1종류의 액체를 토출하는 액적 토출 유닛(11)을 복수 탑재한 장치를 도시한다. 헤드 갠트리 유닛(7)에는 토출 유닛 슬라이드 기구(10)를 통하여 액적 토출 유닛(11)이 화살표 X 방향(도1)으로 이동 가능하게 설치되어 있다. 액적 토출면인 노즐 플레이트(22)에 형성된 노즐 구멍(23)은 일렬로 배열되어 화살표 B에 대하여 직각인 방향으로부터 몇도 기울어져 있다. 배열되어 있는 노즐 구멍(23)은 모두 동일한 액적 재료를 토출한다.

도7의 (b)는 3종류의 액체를 토출하는 노즐 플레이트를 복수 탑재한 액적 토출 유닛(11a)을 갖는 장치를 도시한다. 액적 토출 유닛(11a)에는 제1 액적 재료를 토출하는 노즐 구멍(23R)의 열, 제2 액적 재료를 토출하는 노즐 구멍(23G)의 열, 제3 액적 재료를 토출하는 노즐 구멍(23B)의 열을 갖고 각각의 노즐 구멍 열이 방향 B에 대하여 직각인 방향으로부터 몇도 기울어져 있고, 각각의 열의 B 방향으로의 투영 영역은 거의 일치하도록 구성되어 있다. 또한, 각각의 노즐 구멍 열은 액적 토출 유닛(11a) 내에서 B 방향으로 미소하게 이동 가능하게 되어 있어도 된다.

A 방향으로부터의 노즐 구멍 열의 경사를 θ로 하고 노즐 피치를 p로 하면, B 방향으로 투영된 노즐 피치(Q)는

Q = p×sinθ,

가 되기 때문에 실제의 노즐 피치에 비해 B 방향의 피치(Q)를 고밀도화할 수 있는 이점이 있다. 피치(Q)를 고밀도화함으로써 복수의 헤드를 조합시켜서 하나의 유닛을 제작할 때에 각 헤드의 위치 정렬을 엄밀히 행하지 않더라도 적어도 피치(Q)의 정밀도 이내로 배열시키는 것이 가능해진다.

또한, 100 내지 200DPI(1인치 폭에 100 내지 200개의 구멍이 등피치로 배열)의 노즐 구멍 피치로, 1 토출 소자당 20 내지 80 구멍의 토출 소자를 θ = 3 내지 10°경사시켜서 사용하는 것이 바람직하고, 이것은 토출 소자당의 구멍수가 작을수록 복수의 소자를 배열시켜서 이루어지는 액적 토출 유닛의 전체 폭이 작아져, 불능 영역을 작게 할 수 있기 때문이다. 또한, 제조 비용이 저렴한 100 내지 200DPI의 토출 소자를 θ = 3 내지 10°의 범위에서 경사지게 함으로써 복수의 토출 소자 간의 위치 정렬을 엄밀하게 행하지 않아도 한번 시험 토출을 행하여 토출 타이밍 제어를 행하면, B 방향으로 투영된 노즐 피치를 5 내지 35μm까지 고밀도화할 수 있어 컬러 필터나 유기 EL 표시 장치 등의 화소 사이즈보다도 고밀도의 배열을 실현할 수 있다.

<기판 반입 동작의 설명>

도8의 (a) 내지 도8의 (c)는 헤드 갠트리 유닛(7) 및 기판 적재대(3)의 동작을 설명하기 위한 도1의 X 방향으로부터 본 모식적인 단면도이다.

도8의 (a)는 대상 기판(35)을 처리한 후의 상태를 도시한다. 기판 처리 후는 도8의 (b)에 도시한 바와 같이 결함 수복 장치의 기판 적재대(3)는 화살표 r1의 방향을 따라 종이면 좌측[서브 스테이지(2b)측]으로 슬라이드되는 동시에 헤드 갠트리 유닛(7)은 화살표 r2의 방향을 따라 메인터넌스 기구(15)의 바로 위로 이동한다. 그리고 기판 적재대(3)는 처리가 끝난 대상 기판(35)의 흡착을 해방한 후에 도시하지 않은 반송 로봇에 전달한다. 그 후, 반송 로봇은 다음 대상 기판(35a)을 기판 적재대(3)에 싣는다. 그리고 실려진 대상 기판(35a)은 바로 기판 적재대(3)에 에어 흡착되고, 기판 적재대(3)는 원래의 위치[도8의 (a)에 도시하는 위치]로 복귀된다.

기판 적재대(3)로부터 대상 기판(35)이 반출되고, 다음 대상 기판(35a)이 반입되어서 기판 적재대(3)가 원래의 위치에 복귀되는 동안에 병행하여 액적 토출 유닛(11)에 대하여 통상의 메인터넌스 동작이 행하여진다. 메인터넌스 동작에서는 헤드 갠트리 유닛(7)은 메인터넌스 기구(15) 상으로 이동하고 이동을 완료한 후는 메인터넌스 작업을 행한다. 구체적으로는 액적 토출 유닛(11)의 노즐 플레이트면은 도8의 (b)에 도시한 바와 같이 고무제의 캡 부재(31)에 의해 캡핑 된다. 또한, 캡핑된 후, 캡 부재(31)의 저부에 있는 통기구로부터 부압흡인되어서 노즐 플레이트의 노즐 구멍으로부터 액을 강제 배출함으로써 노즐 구멍의 더스트 등을 제거한다. 그 후, 노즐 플레이트면을 도시하지 않은 와이프 블레이드로 닦아낸다. 그리고 그 후, 후술하는 불토출 검출기에 의해 노즐 구멍으로부터의 토출 상태를 체크한다. 이들 일련의 메인터넌스 동작 순서는 전술한 순서와 달라도 된다.

새로운 대상 기판(35a)이 탑재된 기판 적재대(3)와 액적 토출 유닛(11)의 메인터넌스 동작이 완료된 헤드 갠트리 유닛(7)은 거의 동시에 도8의 (c)에 도시하는 화살표 r4·r5의 방향으로 각각 이동하여 도8의 (a)에 나타내는 위치에 도달한다.

<메인터넌스 동작의 설명>

기판의 반출 및 반입을 실행하는 동안, 또는 기판에의 액적 토출 동작을 장기간 실시하지 않을 때는 액적 토출 유닛(11)에 대하여 메인터넌스 동작을 실행한다. 이 메인터넌스 동작은 불토출 검출 동작과 캡 동작과 캡 내 흡인 퍼지 동작과 와이핑 동작을 포함한다. 전회의 대상 기판을 처리 후에 즉시 다음 대상 기판의 처리를 행할 경우, 전회의 대상 기판의 반출 동작의 명령이 부여되는 것과 동시에 액적 토출 유닛(11)을 탑재한 헤드 갠트리 유닛(7)은 메인터넌스 기구(15)의 바로 위로의 이동 명령이 부여된다.

도9의 (a)는 불토출 검출기(32)의 구성을 설명하기 위한 도1의 X 방향으로부터 본 정면도이며 도9의 (b)는 도1의 Z 방향으로부터 본 그 하면도이다. 메인터넌스 기구(15)는 레이저 발광 소자(33)와 레이저 수광 소자(34)를 갖는 불토출 검출기(32)을 갖고 있고, 불토출 검출기(32)는 액적 토출 유닛(11) 마다 설치되어 있다.

레이저 발광 소자(33)와 도시하지 않은 레이저 발광 회로는 불토출 검출의 지령을 받으면 레이저광을 레이저 수광 소자(34)를 향해서 연속적으로 조사한다. 레이저 수광 소자(34)에 접속된 수광량 계측 회로는 통상의 수광량을 기억하고 있다. 레이저 조사 방향은 도9의 (a), (b)에 도시한 바와 같이 기판면 및 노즐 플레 이트(22)의 면에 대략 평행하고 또한 노즐 구멍(23R·23G·23B)의 열에 대략 평행하다. 레이저광은 직경 1mm이며 하나의 액적 토출 유닛(11a)의 모든 노즐 구멍(23R·23G·23B)으로부터 토출되는 액적은 이 레이저 광축 내를 통과하도록 배치되어 있다.

레이저 발광 소자(33) 및 레이저 수광 소자(34)는 미소 이동 기구를 갖고 있어, 만일 레이저 광축 내를 액적이 통과하지 않는 경우에는 위치를 조정한다. 우선 처음에 제1번째의 노즐 구멍(23R)으로부터 액적을 일정시간 토출시켜서 수광량 계측 수단으로부터의 광량을 판독하고 통상의 수광량과 비교하여 차광량을 계측해서 그 값이 미리 설정한 설정값의 범위 내에 있는지 판단하고 설정값의 범위 내의 경우에는 정상 토출로 간주하고 그 이외는 토출 불량으로 간주한다.

이어 2번째, 3번째의 순서로 순차 동일한 토출 제어 및 차광량 계측을 행하여 액적 토출 유닛(11)의 모든 노즐 구멍(23R·23G·23B)에 대해서 토출 불량의 유무를 확인한다. 토출 불량이 없으면 액적 토출 유닛(11)을 캡 위치로 이동시켜서 기판 반입 동작이 완료하기 직전까지 캡핑을 행한다.

토출 불량이 있을 경우, 종래 기술에서 행해지고 있는 회복 동작을 실행한다. 예를 들어, 액적 토출 유닛(11)을 캡 위치로 이동시키고 그리고 캡핑하고 이어 캡을 부압으로 하여 노즐 구멍으로부터 강제 배출시키고, 그 후, 캡을 해제하여 와이핑을 행하고, 재차 불토출 검출을 행한다.

이 불토출 검출과 회복 동작을 토출 불량이 없어질 때까지 수회를 한도로 실행한다. 그리고 토출 불량이 회복되지 않는 경우에는 그 취지를 장치에 출력한다. 또한, 전회의 대상 기판을 처리하기 직전의 최후의 불토출 검출 결과와 전회의 대상 기판을 반출 중에 행하는 최초의 불토출 검출 결과를 비교하여 토출 상태에 변화가 인정되는 경우에는 전회의 대상 기판의 처리를 부적절로 하여 폐기하거나 수복 공정으로 돌릴 수 있다.

<액적 토출 유닛(11)의 배열>

도10의 (a), (b)는 결함 수복 장치(1)의 얼라인먼트 동작을 설명하기 위한 평면도이다. 도10의 (a), (b)는 결함 수복 장치(1)를 상방으로부터 본 도면으로, 헤드 갠트리 유닛(7) 상에 합계 9개의 액적 토출 유닛(11)이 탑재되어 있다.

액적 토출 유닛(11) 마다 설치되어 있는 토출 유닛 슬라이드 기구(10)는 한 쌍의 헤드 갠트리 유닛(7)의 양쪽 외측을 향한 양측면에 각각 설치되어 있다. 헤드 갠트리 유닛(7)의 종이면 좌측면에는 4쌍의 액적 토출 유닛(11)과 토출 유닛 슬라이드 기구(10)가 일정한 간격을 두고 설치되어 있다. 헤드 갠트리 유닛(7)의 종이면 우측면은 5쌍의 액적 토출 유닛(11)과 토출 유닛 슬라이드 기구(10)가 일정한 간격을 두고 설치되어 있다. 그리고 기판 적재대(3)의 상면에 대하여 각각의 토출 유닛 슬라이드 기구(10)는 지그재그 형상으로 배열되어 있다. 즉, 갠트리 이동 방향인 화살표 r3에 직교하는 방향으로 서로 인접하는 2개의 토출 유닛 슬라이드 기구(10)는 토출 유닛 슬라이드 기구(10)의 슬라이드 가능 방향인 화살표 r3의 방향을 따라 각각의 슬라이드 가능 영역의 단부가 일부 중복되도록 구성되어 있다. 또한, 중복되는 이동 가능 영역은 그 영역이 클수록 바람직하며 토출 유닛 슬라이드 기구(10)의 길이 방향의 길이의 3분의 1 이상 중복되어 있는 것이 바람직하다.

<기판 얼라인먼트 동작의 설명>

대상 기판의 얼라인먼트 동작을 도10의 (a), (b) 및 도11의 (a), (b)를 사용해서 설명한다. 도11의 (a), (b)는 헤드 갠트리 유닛(7)에 설치된 얼라인먼트 카메라(12)의 구성을 설명하기 위한 주요부 평면도이다. 기판 적재대(3) 상에서 흡착 고정된 대상 기판(35)의 기판 단부 근방에는 대상 기판(35)의 면내 회전 방향을 보정하기 위한 얼라인먼트 마크(36)가 2개소 설치되어 있다.

헤드 갠트리 유닛(7)에 고정되어 있는 2개의 얼라인먼트 카메라(12)는 도10의 (a)에 도시하는 위치로부터 헤드 갠트리 유닛(7)과 일체적으로 도10의 (b)에 도시하는 위치로 이동한다. 그리고 얼라인먼트 카메라(12)의 화상 정보에 기초하여 대상 기판(35)의 면내 회전 방향의 편차를 산출하고 전술한 기판 적재대(3)의 θ 회전 기구와 화살표 r3의 방향의 미소 이동 기구에 의해 도10의 (b)에 도시하는 회전 화살표 r6의 방향으로 대상 기판(35)의 자세를 보정한다.

대상 기판(35)에는 미리 고정밀도의 2개의 얼라인먼트 마크(36)가 설치되어 있고 대상 기판(35)의 액적 도포 위치는 이 얼라인먼트 마크(36)를 기준으로 하여 미리 결정되어 있다. 이 얼라인먼트 마크(36)는 동심원 형상의 마크이며 대상 기판(35) 상의 2개의 얼라인먼트 마크(36)의 피치 편차는 2μm 이내이다. 2 개의 얼라인먼트 마크(36)의 피치와 동 피치로 2개의 얼라인먼트 카메라(12)는 헤드 갠트리 유닛(7) 상에 설치되어 있다. 또한, 얼라인먼트 카메라(12)는 복수의 광시야 모드부(43a)와 협시야 모드부(43b)를 갖고 광시야 모드부(43a)에서 θ 회전 기구 및 미소 이동 기구에 의해 얼라인먼트한 뒤, 협시야 모드부(43b)에서 다시 동일한 얼라인먼트 동작을 행한다.

도12의 (a), (b)는 결함 수복 장치(1)의 얼라인먼트 동작을 설명하기 위한 주요부 평면도이다. 도13의 (a), (b)는 그 주요부 확대 평면도이다. 도12의 (a), (b)는 광시야 모드에서의 얼라인먼트 카메라(12)에 의한 촬상 화상을 도시하는 모식도이며 도12의 (a)는 한 쌍의 얼라인먼트 카메라(12)의 한쪽에 의한 화상, 도12의 (b)는 한 쌍의 얼라인먼트 카메라(12)의 다른 쪽에 의한 화상이다.

얼라인먼트 카메라(12)의 광시야 모드는 반송 로봇의 기판 적재대(3)로의 기판의 배치 정밀도 이상의 시야를 갖도록 설계되어 있다. 이 광시야 모드에서는 우선, 동심원의 얼라인먼트 마크(36)의 외측 원환부(37a)를 이용하여 얼라인먼트 마크(36)와 기준 위치의 편차를 계측하고 얼라인먼트 마크(36)와 기준 위치가 일치하도록, θ 회전 기구 및 미세 조정 기구에 의해 기판 적재대(3)를 조정하여 대상 기판(35)의 자세를 제어한다. 외측 원환부(37a)의 외경은 예를 들어 2mm이며 내측 원부(37b)의 외경은 예를 들어 0.2mm이다.

다음에 도13의 (a), (b)에 도시한 바와 같이 얼라인먼트 카메라(12)를 협시야 모드로 절환하고 얼라인먼트 마크(36)의 동심원의 내측 원부(37b)를 사용해서 얼라인먼트 마크(36)와 기준 위치의 편차를 계측하여 얼라인먼트 마크(36)와 기준 위치가 일치하도록 θ 회전 기구 및 미세 조정 기구에 의해 기판 적재대(3)를 조정하여 대상 기판(35)의 자세를 제어한다. 또한, 한 쌍의 얼라인먼트 카메라(12)에 의한 관찰 위치와 액적 토출 유닛(11)의 액적 토출 위치는 액적 토출 유닛(11)을 설치한 후의 조정 공정에서 미리 계측되어 있다.

도14는 결함 수복 장치(1)의 얼라인먼트 동작을 도시하는 흐름도이다. 우선, 결함 수복 장치(1)에 설치된 제어 유닛으로부터 얼라인먼트 개시 지령이 발행되면(스텝S1), 서브 스테이지(2b)측으로 이동한 기판 적재대(3) 상에 대상 기판(35)이 반입된다(스텝S2). 그리고 대상 기판(35)을 적재한 기판 적재대(3)는 메인 스테이지 상의 정위치로 이동한다(스텝S3).

그리고 도10의 (a)에 도시한 바와 같이 메인터넌스 기구(15) 상에 위치하고 있었던 헤드 갠트리 유닛(7)은 도10의 (b)에 도시하는 얼라인먼트 위치로 이동한다(스텝S4). 그리고 얼라인먼트 카메라(12)의 광시야 모드부(43a)를 얼라인먼트 마크(36) 상의 표준 위치로 이동시킨다(스텝S5).

다음에 얼라인먼트 카메라(12)의 광시야 모드부(43a)는 얼라인먼트 마크(36)의 외측 원환부(37a)를 촬상하여(스텝S6), 얼라인먼트량을 산출한다(스텝S7). 그 후, 산출한 얼라인먼트량에 기초하여 기판 적재대(3)의 위치를 애벌 조정하는 애벌 얼라인먼트 동작을 실행한다(스텝S9).

그리고 얼라인먼트 카메라(12)의 협시야 모드부(43b)를 얼라인먼트 마크(36) 상의 표준 위치로 이동시킨다(스텝S8). 그 후, 얼라인먼트 카메라(12)의 협시야 모드부(43b)는 얼라인먼트 마크(36)의 내측 원부(37b)를 촬상하여(스텝S10), 얼라인먼트량을 산출한다(스텝S11). 그 후, 산출한 얼라인먼트량에 기초하여 기판 적재대(3)의 위치를 정밀하게 조정하는 정밀 얼라인먼트 동작을 실행한다(스텝S12).

그 후, 다시, 얼라인먼트 카메라(12)의 협시야 모드부(43b)는 얼라인먼트 마크(36)의 내측 원부(37b)를 촬상하여(스텝S13), 기판 적재대(3)의 위치 정밀도를 확인한다(스텝S14). 그리고 얼라인먼트 동작을 완료한다(스텝S15).

<관찰 카메라유닛(14)에 의한 액적 착탄 위치의 계측>

도15의 (a), (b)는 결함 수복 장치(1)에 설치된 관찰 카메라 유닛(14)에 의한 액적 착탄 위치의 계측 동작을 설명하기 위한 평면도이다. 관찰 카메라 유닛(14)은 액적 토출 유닛(l1)의 액적 토출 소자(17)(도5)를 교환해서 착탄 위치 보정을 행하기 위한 정보를 취득할 경우나, 사용 중의 착탄 위치를 재확인할 때에 사용한다. 관찰 카메라 유닛(14)은 갠트리 슬라이드 기구(4)와 카메라 슬라이드 기구(28)에 의해 결함 수복 장치(1) 상면의 임의의 위치를 촬상할 수 있고 또한, 결함 수복 장치(1) 상면의 임의의 위치를 산출해 내는 것이 가능하다. 관찰 카메라 유닛(14)의 촬상 위치는 갠트리 슬라이드 기구(4)와 카메라 슬라이드 기구(28)에 내재되어 있는 스케일에 의해 그 위치 정보를 출력하는 것이 가능하다.

액적 착탄 위치를 관찰할 경우, 통상의 대상 기판(35)과 동일한 소정의 얼라인먼트 마크(36)가 부여된 더미 기판(38)을 결함 수복 장치(1)에 반입하고 통상대로의 기판 자세 제어를 행한다. 다음에 관찰 카메라 유닛(14)은 더미 기판(38) 상의 2개의 얼라인먼트 마크(36)를 각각 촬상하여 그 위치 정보를 취득한다.

도15의 (a)에 도시한 바와 같이 헤드 갠트리 유닛(7)은 더미 기판(38) 상의 임의의 위치까지 이동한다. 그리고 각각의 액적 토출 유닛(11)의 노즐 구멍으로부터 더미 기판(38)을 향해서 액적을 토출한다. 이때, 모든 노즐 구멍으로부터 액적을 토출해도 좋다. 또한, 각각의 액적 토출 유닛(11)은 갠트리 슬라이드 기구(4)와 각각의 토출 유닛 슬라이드 기구(10)에 내재되어 있는 스케일에 기초하여 가상 의 착탄 위치(이상적인 착탄 위치)를 각각 인식한다.

다음에 도15의 (b)에 도시한 바와 같이 관찰 카메라 유닛(14)은 갠트리 슬라이드 기구(4)와 카메라 슬라이드 기구(28)에 의해 이동하면서 액적 착탄 위치(39)를 순차 촬상하여 얼라인먼트 마크(36)에 대한 실제의 착탄 위치를 산출해 낸다. 그리고 가상의 착탄 위치와 실제의 착탄 위치와의 사이의 차분을 각각의 액적 토출 유닛(11)의 보정 데이터로서 보관한다. 편차(차분)는 X 방향 및 Y 방향으로 분해된다. Y 방향의 편차는 헤드 갠트리 유닛(7)이 Y방향으로 이동하면서 액적 토출을 행하기 때문에 토출 타이밍을 조정함으로써 보정할 수 있다. X 방향의 편차에 관해서는 토출 유닛 슬라이드 기구(10)의 이동량을 오프셋 보정한다. 이 관찰 카메라 유닛(14)의 동작에 의해 노즐마다의 불토출을 검출하고 노즐마다의 착탄 편차를 검출하는 것도 가능하다.

<헤드 갠트리 유닛(7)의 왕복 동작/액적 토출 유닛(11)의 이동 동작>

도16의 (a), (b)는 헤드 갠트리 유닛(7)의 왕복 동작을 설명하기 위한 평면도이다. 자세 제어가 완료된 대상 기판(35)에 대하여 얼라인먼트 마크(36) 기준의 소망 위치에 액적을 적하하는 방법을 이하에 설명한다.

도16의 (a)는 대상 기판(35)에 액적을 적하하는 작업에 있어서, 헤드 갠트리 유닛(7)이 도16의 (a)에 있어서, 가장 오른쪽으로 이동한 상태를 도시하고 있다. 한편, 도16의 (b)는 가장 좌측으로 이동한 상태를 도시하고 있다. 헤드 갠트리 유닛(7)은 화살표 r7에 의해 도시되는 범위를 1회 내지 복수회 왕복한다. 헤드 갠트리 유닛(7)에 탑재되어 있는 복수의 액적 토출 유닛(11)은 도16의 (a)의 화살표 r3 로 나타내는 방향으로 각각 독립하여 이동 가능하다. 헤드 갠트리 유닛(7) 자체는 대상 기판(35) 상을 종이면 좌우 방향(화살표 r7의 방향)으로 왕복 동작한다. 각각의 액적 토출 유닛(11)은 액적 토출 동작을 실행하기 전에 화살표 r3로 나타내는 방향을 따라 원하는 어드레스로 이동해 정지한다. 그리고 헤드 갠트리 유닛(7)이 화살표 r7의 방향으로 왕복 동작하는 과정에서 화살표 r7 방향 및 화살표 r3 방향의 소망 위치의 어드레스가 일치한 시점에서 액적을 토출한다. 복수의 액적 토출 유닛(11)은 그 동작이 각각 독립적으로 제어된다.

도16의 (b)에 있어서, 화살표 r7에 의해 나타내는 헤드 갠트리 유닛(7)의 이동 범위는 액적 토출 유닛(11)이 이동하는 방향의 직교 방향의 기판 폭보다도 커서 기판 폭의 중심선을 헤드 갠트리 유닛(7)의 이동 범위의 대략 중심으로 하고 있다.

이렇게 기판 폭보다도 큰 범위를 액적 토출 유닛(11)이 이동할 수 있음으로써 착목한 액적 토출 유닛(11)은 그 액적 토출 유닛(11)이 탑재된 헤드 갠트리 유닛(7)의 이동 스트로크의 범위 내의 기판의 원하는 위치(띠 형상의 영역)에 대하여 액적을 적하하는 것이 가능해진다.

<토출 동작의 구체예>

도17의 (a), (b)는 헤드 갠트리 유닛(7)의 대상 기판(35)에 대한 동작을 설명하기 위한 평면도이다. 헤드 갠트리 유닛(7)에는 X 방향으로 독립하여 이동 가능한 9개의 액적 토출 유닛(11a·1lb·11c·11d·1le·1lf·11g·1lh·1li)이 탑재되어 있고, 각각의 액적 토출 유닛(11a 내지 11i)에는 대상 기판(35) 상의 담당 영역(41a·41b·41c·41d·41e·41f·41g·41h·41i)이 설정되어 있다.

약 2.2m×2.8m의 대상 기판(35)에는 약 30개로부터 약 300개의 토출 개소(결함)(40)가 점재하고 있다. 또한, 기판 사이즈에도 따르지만, 결함이 30개 이상의 경우에는 복수의 액적 토출 유닛이 반송 방향과 다른 방향으로 개별적으로 이동하는 구성으로 함으로써 액적 토출 유닛이 1개의 경우에 비해 택트 타임 단축의 효과가 커진다. 한편, 결함이 300개 이하의 경우에서는 수복된 컬러 필터 기판 및 유기 EL 표시 기판의 수복 부분에 기인하는 색 불균일이 실사용에 있어서, 문제가 없는 레벨로 되어 고품위의 상기 기판을 얻을 수 있다.

각각의 액적 토출 유닛(11a 내지 11i)에는 종이면 횡방향으로 띠 형상으로 연장된 담당 영역(41a 내지 41i)이 할당되어 있다. 액적 토출 유닛(11a)은 영역(41a)을 담당한다. 액적 토출 유닛(11b)은 영역(41b)을 담당한다. 각각의 액적 토출 유닛(11a 내지 11i)은 담당 영역(41a 내지 41i)에 점재하는 토출 개소(결함)(40)에 대하여 액적 토출 동작을 행한다.

헤드 갠트리 유닛(7)을 종이면 좌우 방향으로 반복해 왕복 이동시키는 과정에서 각각의 액적 토출 유닛(11a 내지 11i)은 각각 담당하는 토출 개소(40)의 바로 위로 이동하기 위해 X 방향(도1)으로 개별적으로 이동해 X 방향의 어드레스가 일치한 장소에서 정지하고, 헤드 갠트리 유닛(7)의 이동에 따라 Y 방향(도1)의 어드레스가 일치할 때까지 대기한다. 그리고 처리 기판(35)상의 원하는 위치가 바로 아래에 오는 타이밍에서 액적 토출 유닛(11)을 구동하여 토출구로부터 액적을 처리 기판(35)상의 원하는 위치로 토출시킨다.

도17의 (a), (b)에 도시한 바와 같이 9개의 액적 토출 유닛(11a 내지 11i)을 2열의 지그재그 형상으로 배열하면, 도의 점선으로 나타낸 바와 같이 대상 기판(35)을 9개의 영역(41a 내지 41i)으로 분할하여 각각의 액적 토출 유닛(11a 내지 11i)마다 그 담당 영역을 결정할 수 있다.

도18의 (a) 내지 도18의 (d)는 액적 토출 유닛(11)의 결손부(40a·40b·40c)에 대한 토출 동작을 설명하기 위한 모식적인 평면도이다. 액적 토출 유닛(11)이 헤드 갠트리 유닛(7)의 왕복 이동의 과정에서 복수의 직사각 형상 오목부(결손부(40a·40b·40c))에 액적을 토출시키는 공정을 설명한다. 이러한 공정은 예로서 일부에 결손을 갖는 컬러 필터 기판을 이 결함 수복 장치를 사용해서 수복할 경우가 상당된다. 일례로서 컬러 필터 기판의 화소의 1색이 결손되었을 경우의 결함 수복 장치로서의 설명을 행한다.

여기에서의 결손부란 제조 공정에서 더스트가 혼입된 부분, 공백의 오목부가 형성된 부분 등에 대해서 레이저 등에 의해 불량 부분을 일정 형상으로 오목하게 수정한 부분이다. 액적 토출 유닛(11)은 모두 동일 종류의 액적 재료를 토출하는 것으로서 1종류의 화소(레드, 블루 및 옐로 중의 어느 하나)의 결손에 대해서 그 수복 방법을 나타내고 있다. 따라서 모든 색의 결손부를 수복하기 위해서는 본 실시 형태의 결함 수복 장치를 색재마다 3대 설치해서 순서대로 처리하거나, 제2 실시형태에 있어서, 예시하는 바와 같이 액적 토출 유닛을 복수색의 액적을 토출 가능하게 하도록 구성함으로써 가능해진다.

도18의 (a) 내지 도18의 (d)는 헤드 갠트리 유닛(7) 상에 탑재되어 있는 복수의 액적 토출 유닛(11) 중 하나에 착목하여 하나의 액적 토출 유닛(11)에 설치된 액적 토출면으로부터 복수의 토출 개소에 토출을 행하는 동작을 시계열에 따라 나타내고 있다.

도18의 (a)를 참조하면, 처리 기판상의 결손부(결함)(40a·40b·40c)는 깊이 2μm 정도의 오목부이며 그 개구부는 헤드 갠트리 유닛(7)의 이동 방향을 긴변으로 한 200μm×70μm 정도의 직사각 형상을 하고 있다. 도18의 (a) 내지 도18의 (d)에서는 결손부(결함)(40a·40b·40c)의 긴변은 헤드 갠트리 유닛(7)의 이동 방향 A에 대하여 평행하도록 도시하고 있지만, 실제로는 도7의 (a), (b)에 도시한 바와 같이 몇도 기울어져 있다. 액적 토출 유닛(11)의 노즐 토출면은 대향하는 반송 스테이지면과 평행하게 되어 있고 노즐 플레이트(22)에는 복수의 노즐 구멍(23)이 형성되어 있다. 이 복수의 노즐 구멍(23)은 헤드 갠트리 유닛(7)의 이동 방향인 종이면 좌우 방향으로 배열되어 있고, 개개의 노즐 구멍(23)은 각각, 그 배면측에 액적 토출 제어 가능한 도시하지 않은 개별의 잉크 가압실과 가압 제어 수단을 갖고 있다. 또한, 1열로 배열되어 있는 노즐 구멍(23)은 동일한 액적 재료를 토출하는 것이 가능하게 되어 있다.

헤드 갠트리 유닛(7)은 액적 토출 유닛(11)의 이동이나 토출 동작에 의하지 않고 항상 종이면 좌우 방향으로 거의 등속도(100mm/초 내지 500mm/초)로 왕복 이동하고 있다. 결손부(40a)에 액적을 토출해서 수복하기 위해서 액적 토출 유닛(11)은 토출 유닛 슬라이드 기구(10)를 사용해서 고속 이동시켜서 노즐 구멍(23)을 결손부(40a)의 중심선 상에 맞추어 정지한다. 또한, 액적 토출 유닛(11)의 이동 시간은 실제로 이동하는 시간에 더하여 정지한 후에 토출 유닛 슬라이드 기 구(10)에 의한 잔류 진동이 액적 토출에 악영향을 주지않는 레벨까지 저감할 때까지의 정정(靜定) 시간을 포함한 시간도 고려할 필요가 있다.

기판 적재대(3)의 상대 진행 방향측에 있어서, 결손부(40a)의 중심선 상까지 미리 이동시킨 액적 토출 유닛(11)은 헤드 갠트리 유닛(7)의 등속 이동에 의해 상대적으로 화살표 D방향으로 이동하여 결손부(40a) 상에 있는 노즐 구멍(23)으로부터 액적이 토출된다. 이때, 사용하는 노즐 구멍(23)은 결손부(40a)의 바로 위에 있는 복수의 노즐 구멍(23)을 사용할 수 있기 때문에 1개의 노즐 구멍을 사용할 경우에 비해 헤드 갠트리 유닛(7)의 등속 이동 속도를 올릴 수 있고 기판 전체의 처리 속도를 향상시키는 것이 가능해진다.

다음에 결손부(40a) 상에 액적을 토출한 액적 토출 유닛(11)은 도18의 (b)에 도시한 바와 같이 결손부(40c)를 수복하기 위해서 토출 유닛 슬라이드 기구(10)를 구동하여 화살표 E방향으로 이동하여 결손부(40c)의 중심선이 노즐 구멍(23)에 일치하는 위치에서 정지한다. 이때, 헤드 갠트리 유닛(7)은 일정 속도로 종이면 좌방향으로 이동하고 있기 때문에 액적 토출 유닛(11)은 도18의 (c)의 화살표 F 방향으로 상대적으로 이동해 정지한다. 그리고 헤드 갠트리 유닛(7)의 이동에 의해 액적 토출 유닛(11)은 상대적으로 화살표 G방향으로 이동하면서 결손부(40c)의 바로 위에 있는 노즐 구멍(23)으로부터 액적을 토출하여 결손부(40c)의 수복을 행한다.

그리고 헤드 갠트리 유닛(7)은 일방향의 이동을 완료한 후에 반대 방향으로 이동을 시작한다. 도18의 (d)에 도시한 바와 같이 액적 토출 유닛(11)은 결손부(40b)를 수복하기 위해서 토출 유닛 슬라이드 기구(10)를 사용해서 화살표 K방향 으로 이동하여 결손부(40b)의 중심선 상에 노즐 구멍(23)을 맞춰서 정지한다. 그리고 헤드 갠트리 유닛(7)의 이동에 의해 액적 토출 유닛(11)은 상대적으로 화살표 L방향으로 이동하여 결손부(40b)의 바로 위에 있는 노즐 구멍(23)으로부터 액적을 토출한다.

이와 같이 헤드 갠트리 유닛(7)의 왕복 동작을 이용하여 3개의 결손부(40a·40b·40c)의 수복을, 결손부(40a), 결손부(40b), 결손부(40c)의 순으로 행하고 있어, 본 결함 수복 장치의 구성상의 이점을 최대한 활용하는 것이다. 즉, 도18의 (c)에 도시한 바와 같이 결손부(40a)에 복수의 노즐 구멍(23)으로부터 토출할 때에 실제로 토출을 행하는 종이면 우단의 노즐 구멍(23)이 결손부(40a) 바로 위로부터 이격될 때 까지는 이동시킬 수가 없어 적어도 사용하는 노즐 구멍(23)의 양단부 간의 거리에 상당하는 영역에서는 액적 토출 유닛(11)을 종이면 상하 방향으로 이동시켜 다음 결손부의 수복을 행할 수는 없다.

이 불능 범위(H)는 처리 직후의 결손부 단부로부터 사용하는 노즐 구멍(23)의 양단간거리에 상당하는 띠 형상의 범위에 더하여 반송 스테이지의 이동 속도와 화살표E 방향[도18의 (b)]의 이동에 필요로 하는 시간 및 이동 후의 잔류 진동의 정정에 필요로 하는 시간의 합을 곱한 영역도 포함된다.

도18의 (c)에 도시한 바와 같이 결손부(40b)는 결손부(40a)에 대한 불능 범위(H)에 들어가는 장소에 위치하고 있기 때문에 결손부(40a)의 수복의 직후에 결손부(40b)의 처리를 행하지 않고 불능 범위(H)에 속하지 않는 결손부(40c)의 수복을 행하고 있다. 그리고 헤드 갠트리 유닛(7)의 귀로 이동에 따라 결손부(40c)의 수 복 후에 그 불능 범위(H)에 속하지 않는 결손부(40b)의 수복을 행하고 있다.

이상은 1개의 액적 토출 유닛(11)의 이동 동작에 대해서 설명을 행했지만, 결함 수복 장치는 복수의 액적 토출 유닛(11)을 갖고 각각이 독립하여 동작하고 있다. 또한, 본 실시 형태의 결함 수복 장치는 컬러 필터 기판의 결함 수복 장치에 한정하는 것이 아니고 기판 상에 점재하는 소망 개소에 액적을 토출시키는 것이 가능하다.

도19의 (a) 내지 도19의 (c)는 3종류의 액적 재료를 적하하는 액적 토출 유닛(11a)의 이동 방향이 화소(42R·42G·42B)의 길이 방향과 직교할 경우의 액적 토출 유닛의 토출 동작을 도시하는 모식적인 평면도이다. 도20의 (a) 내지 도20의 (c)는 3종류의 액적 재료를 적하하는 액적 토출 유닛(11a)의 이동 방향이 화소(42R·42G·42B)의 길이 방향으로 평행할 경우의 액적 토출 유닛의 토출 동작을 도시하는 모식적인 평면도이다. 더스트 등의 원인에 의해 제조 도중에 R 및 G의 화소간에 있어서, 혼색이 발생되어버려 원하는 색을 나타내지 않는 화소가 생겼을 때에 그 부분을 직사각형 형상으로 레이저로 제거하고 본 실시형태의 결함 수복 장치를 사용해서 직사각형부에 액적을 적하한다.

도19의 (a) 내지 도19의 (c) 및 도20의 (a) 내지 도20의 (c)에서는 액적 토출 유닛(11a)과 그 액적 토출 유닛(11a)이 수복해야 할 화소(42R·42G·42B)를 도시하고 있으며, 화소(42R) 및 화소(42G)가 혼색 리크되었기 때문에 미리 레이저에 의해 혼색 개소를 제거해서 함몰을 형성하고 있다.

도19의 (a)는 수복 전의 상태를 나타내고 있으며, 액적 토출 유닛(11a)은 도 의 화살표 방향에 따라 화소(42R·42G·42B)를 향해서 이동하고 있다. 도19의 (b)는 노즐 구멍(23R)에 의해 화소(42R)에 액적을 적하한 직후의 도면이며 다음에 도19의 (c)에 도시한 바와 같이 노즐 구멍(23G)에 의해 화소(42G)에 액적을 적하한다.

화소(42R·42G·42B)의 길이 방향이 헤드 갠트리 유닛[액적 토출 유닛(11a)]의 이동 방향과 평행할 경우에 대해서도 마찬가지로, 도20의 (a)는 수복 전의 상태를 나타내고 있으며, 도20의 (b), 도20의 (c)의 순서에 따라서 화소(42R), 화소(42G)를 수복한다.

(제2 실시형태)

도21의 (a)는 제2 실시형태에 관한 결함 수복 장치의 헤드 갠트리 유닛의 구성을 도시하는 평면도이며 도21의 (b)는 그 동작을 설명하기 위한 평면도이다.

제2 실시형태에 관한 결함 수복 장치는 소정의 간격을 두고 서로 병렬로 설치된 2개의 헤드 갠트리 유닛(7)을 갖고 있다. 각 헤드 갠트리 유닛(7)에는 4개의 액적 토출 유닛(11)이 설치되어 있다. 따라서 액적 도포 장치에는 합계 8개의 액적 토출 유닛(11)이 탑재되어 있다.

첫번째의 헤드 갠트리 유닛(7)에 탑재된 4개의 액적 토출 유닛(11)을 슬라이드시키는 토출 유닛 슬라이드 기구(11)의 이동 가능 영역은 서로 중복되어 있다. 이로 인해 4개의 액적 토출 유닛(11)은 그 중의 어느 하나가 기판의 임의의 위치로 이동 가능하다. 2번째의 헤드 갠트리 유닛(7)에도 마찬가지로 4개의 액적 토출 유닛(11)이 탑재되어 있다.

1개의 액적 토출 유닛(11)은 토출 유닛 슬라이드 기구(10)의 이동 범위(P) 만큼 이동 가능하며 지그재그 형상으로 인접하는 토출 유닛 슬라이드 기구(10)의 이동 범위는 액적 토출 유닛(11)이 이동하는 방향에 따라 일부를 중복시키고 있다. 이로 인해 1개의 갠트리 상에 있는 4개의 액적 토출 유닛(11) 중의 어느 하나가, 헤드 갠트리 유닛(7)의 길이 방향에 따른 위치로 반드시 이동하는 것이 가능하다. 서로 보완하면서 헤드 갠트리 유닛(7)의 이동 방향에 직교하는 방향을 따른 모든 위치로의 이동을 망라할 수 있는 액적 토출 유닛(11)의 집합을 유닛열이라고 하면, 본 실시 형태에서는 2개의 유닛열이 존재하는 것이 된다. 그리고 1 유닛열은 4개의 액적 토출 유닛(11)으로 구성되어 있다.

대상 기판(35)에는 도면 중 흑점으로 나타내는 복수의 결손부(40)가 점재한다. 대상 기판(35)의 영역은 유닛열수를 열수, 유닛열마다의 액적 토출 유닛수를 행수로 하여 균등 분할하여, 구체적으로는 4행×2열의 영역으로 분할하여 각각의 액적 토출 유닛(11)의 담당 영역으로 한다. 예를 들어, 좌측의 헤드 갠트리 유닛(7)에 설치된 좌측 위의 액적 토출 유닛(11)은 도면 중의 해칭으로 나타내고 있는 담당 영역(41)에 점재하는 결손부(40) 만을 수복한다. 또한, 도17에서 전술한 유닛 배열에서는 유닛열수는 1이 되기 때문에 도17에 도시한 바와 같이 9행×1열로 분할되어 있다.

도21의 (b)는 헤드 갠트리 유닛(7)의 이동에 의한 대상 기판(35)의 왕복 동작의 왕로(往路)의 반 정도의 상태를 나타내는 도면이고 도면 중의 백색 화살표 방향까지 헤드 갠트리 유닛(7)은 이동해서 왕로를 끝낸다. 그 후, 헤드 갠트리 유 닛(7)은 귀로로 전환하여 도21의 (a)에 도시하는 위치까지 복귀된다. 이 왕복 동작을 1왕복으로 하여 점재하는 결손부(40)의 다소에 따라서 1 내지 수회 왕복을 반복함으로써 대상 기판(35) 전체에 점재하는 결손부(40)를 수복한다. 여기서 합계 8 영역인 액적 토출 유닛(11) 마다의 담당 영역에서 결손부(40)의 다소의 차 때문에 액적 토출 유닛(11) 마다 완료·미 완료의 차가 발생하지만, 모든 액적 토출 유닛(11)이 결손부(40)를 수복할 때까지 헤드 갠트리 유닛(7)은 왕복을 반복한다.

여기서 도21의 (b)에 도시한 바와 같이 전술한 유닛열은 하나의 헤드 갠트리 유닛(7) 상에 탑재된 4개의 액적 토출 유닛(11)이며 이 유닛열의 중심선은 Y2-Y2 및 Y3-Y3이 된다. 본 실시 형태에서는 이 2개의 유닛열[헤드 갠트리 유닛(7)]의 중심선 Y2-Y2 및 중심선 Y3-Y3 사이의 거리가, 대상 기판(35)의 반송 방향에 따른 길이의 대략 2분의 1로 되어 있다. 그리고 도21의 (b)에 도시한 바와 같이 2개의 헤드 갠트리 유닛(7)의 중심선 Y2-Y2, 및 중심선 Y3-Y3의 사이의 간격이 대상 기판(35)의 폭의 대략 절반 정도가 되도록 배치하고 그 배치 위치를 중심으로 양 진폭을 기판의 폭의 대략 절반 정도의 이동량으로 이동한다.

이와 같이 유닛열수마다 기판 폭을 분할하고 각각의 유닛열이 그 분할 영역 내에서 주사함으로써 효율적으로 수복 작업을 행하는 것이 가능해진다. 또한, 도17과 같이 유닛열수가 하나인 경우, 기판 중간선을 유닛열 중심으로 하고 양 진폭을 기판폭으로 한다.

도22는 제2 실시형태에 관한 결함 수복 장치의 헤드 갠트리 유닛의 다른 구성을 도시하는 평면도이다. 도22에는 3열의 유닛열[헤드 갠트리 유닛(7)]을 갖는 구성의 예가 도시되고 있다. 이 경우, 1유닛당 4개의 액적 토출 유닛(11)이 탑재되어, 합계 3열의 유닛열을 형성하고 있다. 따라서 대상 기판(35)은 4행×3열로 분할되어 있다.

n열(n은 정수)의 유닛열을 갖는 결함 수복 장치에 있어서,는 대상 기판을 n분할하고 그 n분할 영역의 중간선을 중심으로 하여 각각의 유닛열을 기판폭의 n분의 1의 양 진폭으로 복수회 주사하면 좋다. 이렇게 함으로써 왕복 동작에 의한 헤드 갠트리 유닛(7)의 이동 총 거리를 최소한으로 하는 것이 가능해져 기판의 처리 시간을 가장 단축할 수 있다. 이 비율은 엄밀하게 적용하지 않더라도 ±20% 정도의 오차 이내이면, 시간 단축의 효과는 크다.

여기서 대상 기판(35)의 헤드 갠트리 유닛 이동 방향의 폭을 D, 유닛열의 주사폭을 d, 유닛열수를 n이라고 했을 때,

0.8d≤D/n≤1.2d

의 범위에 있으면, 기판의 처리 시간을 단축할 수 있다.

수복을 끝난 처리 기판은 도시하지 않은 반송 로봇에 의해 취출된다. 컬러 필터 기판의 경우에는 기판은 소성로에 넣어져서 액적 재료는 고화, 완성된다. 제2 실시형태에서는 2개의 유닛열, 및, 3개의 유닛열을 갖는 결함 수복 장치에 대해서 설명한 것에서, n개의 유닛열을 갖는 경우, 기판 도입 방향의 기판 사이즈 D에 대하여 기판을 n분할하고 유닛열을 분할한 각각의 영역의 중간선을 중심으로, 기판의 D/2n의 진폭으로 왕복 주사하는 것이 좋은 것을 알 수 있다. 또한, d를 D/n와 대략 일치시킴으로써 장치 사이즈의 최소화를 도모하는 것이 가능해지지만 ±10% 정도의 차이이면, 장치 사이즈가 대폭적으로 증가할 일은 없어 장치의 점유 면적을 작게 할 수 있다. 또한, d와 D/n는 일치하는 것이 바람직하지만 ±20%까지의 차이이면, 기판 1매당에 필요로 하는 처리 시간이 대폭으로 증가할 일은 없어 택트 타임의 단축을 실현할 수 있다.

도23의 (a), (b)는 제2 실시형태에 관한 결함 수복 장치의 헤드 갠트리 유닛의 또 다른 구성을 도시하는 평면도이다. 갠트리(9)의 일측면에는 액적 토출 유닛(11)을 탑재한 토출 유닛 슬라이드 기구(10)가 설치되어 있고 갠트리(9)의 타측면에도 액적 토출 유닛(11)을 탑재한 토출 유닛 슬라이드 기구(10)가 설치되어 있다. 갠트리(9)의 일측면은 기판 적재대(3)에 수직이고 갠트리(9)의 타측면은 기판 적재대(3)에 대하여 경사져 있다.

갠트리(9)의 일측면의 액적 토출 유닛(11)의 슬라이드 방향은 헤드 갠트리 유닛의 슬라이드 방향(도1의 Y 방향에 평행한 방향)에 수직한 방향으로부터 약간 경사져 있고, 갠트리(9)의 타측면의 액적 토출 유닛(11)의 슬라이드 방향도 헤드갠트리 유닛의 슬라이드 방향(도1 Y 방향에 평행한 방향)에 수직한 방향으로부터 약간 경사져 있다. 이렇게 기판 반송 방향에 대하여 액적 토출 유닛의 슬라이드 방향이 수직하지 않더라도 본 발명은 적용 가능하다. 또한, 복수의 슬라이드 기구에 있어서, 반송 방향에 대한 각각의 슬라이드 방향이 다르게 되어 있어도 그 이동 궤적을 미리 파악하여 슬라이드 위치 좌표에 기초하여 액적 토출 유닛의 토출 타이밍을 보정할 수 있다.

전술한 제1 실시형태 및 제2 실시형태에서는 CF 패널에 발생한 결함 화소의 예를 설명했지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 매트릭스 형상 또는 스트라이프 형상으로 배열된 복수의 피 토출부를 갖는 일렉트로 루미네센스(EL) 표시장치의 제조에 대하여도 본 발명을 적용할 수 있다. 또한, 플라즈마 표시 장치의 배면 기판의 제조에 대하여도 본 발명을 적용할 수 있고 전자 방출 소자를 구비한 화상 표시 장치의 제조, 및 배선의 제조에 대하여도 본 발명을 적용할 수 있다.

또한, 본 실시예에서는 갠트리가 기판 상을, 기판의 일단부로부터 다른 일단부까지, 반복 왕복 주사하는 구성을 도시했지만, 반드시 전체 왕복 동작에 있어서, 기판의 전체 영역을 주사할 필요는 없다.

특히, 기판 반송 방향과 다른 방향으로 개별적으로 이동 가능한 액적 토출 유닛이 기판에 대하여 대략 등속에 반송 방향으로 상대이동하는 과정에서 기판 상에 점재하는 복수의 수복 개소를 순차 순회해서 수복할 경우에는 상대 이동의 이동 방향을 반복 반전 동작하여 복수회 기판 상을 주사하는 것이 가능하다.

기판 상을 주사함에 따라서 수복해야 할 개소가 감소되어가서, 복수의 주사의 최종 단계에서는 기판의 전역을 주사할 필요없이 기판의 일부 영역 상을 주사하는 것만으로도 된다.

따라서 미리 기판상의 수복해야 할 개소를 알고 있을 경우에는 액적 토출 유닛의 각각이 순차 순회하는 수복 개소를 미리 상정할 수 있기 때문에 기판상의 모든 영역 상을 주사할 필요없이 각각의 주사마다에 필요한 부분 만을 주사시키는 것이 가능해져 수복에 필요로 하는 택트를 저감하는 것이 가능해진다.

또한, 본 발명에서는 반송 방향의 대략 등속의 이동은 완만한 가속, 감속 상 태도 포함된다.

본 발명은 상술한 각 실시 형태에 한정되는 것이 아니고 청구항에 도시한 범위에서 다양한 변경이 가능해서 다른 실시 형태에 각각 개시된 기술적 수단을 적절하게 조합시켜서 얻을 수 있는 실시 형태에 대해서도 본 발명의 기술적 범위에 포함된다.

또한, 상기 실시 형태의 결함 수복 장치의 각 부나 각 처리 스텝은 CPU 등의 연산 수단이 ROM(Read Only Memory)이나 RAM등의 기억 수단에 기억된 프로그램을 실행하고 인터페이스 회로 등의 통신 수단을 제어함으로써 실현할 수 있다. 따라서 이것들의 수단을 갖는 컴퓨터가, 상기 프로그램을 기록한 기록 매체를 판독하고 당해 프로그램을 실행하는 것만으로, 본 실시 형태의 결함 수복 장치의 각종 기능 및 각종 처리를 실현할 수 있다. 또한, 상기 프로그램을 이동 가능한 기록 매체에 기록함으로써 임의의 컴퓨터 상에서 상기의 각종 기능 및 각종 처리를 실현할 수 있다.

이 기록 매체로서는 마이크로 컴퓨터로 처리를 행하기 위해서 도시하지 않은 메모리, 예를 들어 ROM과 같은 것이 프로그램 메디아이어도 좋고 또한, 도시하고 있지 않으나 외부기억장치로서 프로그램 판독장치가 설치되고 거기에 기록 매체를 삽입함으로써 판독 가능한 프로그램 미디어이어도 좋다.

또한, 어느 경우에 있어서,든 간에 저장되어 있는 프로그램은 마이크로 프로세서가 액세스해서 실행되는 구성인 것이 바람직하다. 또한, 프로그램을 판독하고 판독된 프로그램은 마이크로 컴퓨터 프로그램 기억 영역에 다운로드되어서 그 프로 그램이 실행되는 방식인 것이 바람직하다. 또한,이 다운로드용의 프로그램은 미리 본체 장치에 저장되어 있는 것으로 한다.

또한, 상기 프로그램 미디어로서는 본체와 분리 가능하게 구성되는 기록 매체이며 자기 테이프나 카셋트 데이프 등의 테이프계, 플렉시블 디스크나 하드 디스크 등의 자기 디스크나 CD/MO/MD/DVD 등의 디스크의 디스크계, IC카드(메모리 카드를 포함하는 등의 카드계, 혹은 마스크 ROM, EPROM(Erasable Programmable Read Only Memory), EEPROM(Electrically Erasable Programmable Read Only Memory), 플래시 ROM 등에 의한 반도체 메모리를 포함시킨 고정적으로 프로그램을 담지하는 기록 매체 등이 있다.

또한, 인터넷을 포함하는 통신 네트워크를 접속가능한 시스템 구성이면, 통신 네트워크로 프로그램을 다운로드하도록 유동적으로 프로그램을 담지하는 기록 매체인 것이 바람직하다.

또한, 이렇게 통신 네트워크로부터 프로그램을 다운로드할 경우에는 그 다운로드용의 프로그램은 미리 본체 장치에 저장해두거나, 혹은 다른 기록매체로부터 인스톨되는 것인 것이 바람직하다.

본 발명은 기판 상에 점재하는 결함의 위치 데이터에 기초하여 결함을 수복하는 결함 수복 장치, 결함 수복 방법, 프로그램 및 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체에 적용할 수 있다.

Claims

반송된 기판을 고정하는 고정 수단과,

상기 고정 수단에 의해 고정된 기판에 수직한 방향으로부터 보아서 상기 기판의 반송 방향과 다른 방향을 따라 배치되어 상기 기판 상에 점재하는 결함에 액적을 토출하는 복수개의 액적 토출 유닛과,

상기 복수개의 액적 토출 유닛을 탑재한 일렬 이상의 갠트리와,

상기 갠트리를 상기 기판의 반송 방향을 따라 상대적으로 등속 이동시키는 이동 수단을 구비하고,

각 액적 토출 유닛은 상기 기판 상에 점재하는 복수개의 결함의 위치를 나타내는 데이터에 따라 상기 갠트리가 상기 기판의 반송 방향을 따라 상대 이동하고 있는 동안에 상기 반송 방향과 다른 방향을 따라 서로 독립하여 이동하는 것을 특징으로 하는 결함 수복 장치.
제1항에 있어서, 상기 이동 수단은 상기 기판의 일단부로부터 타단부까지 상기 갠트리를 왕복 이동시키는 결함 수복 장치.
제1항에 있어서, 상기 갠트리는 상기 기판의 반송 방향을 따라 소정의 간격을 두고 복수열 설치되어 있는 결함 수복 장치.
제1항에 있어서, 상기 갠트리에는 각 액적 토출 유닛을 상기 반송 방향에 수직한 방향을 따라 슬라이드시키는 복수개의 슬라이드 기구가 설치되어 있는 결함 수복 장치.
제4항에 있어서,, 상기 반송 방향으로부터 보아 각 슬라이드 기구에 의해 슬라이드되는 액적 토출 유닛의 슬라이드 범위의 단부가, 서로 중복되고 있는 결함 수복 장치.
제4항에 있어서, 상기 기판에 수직한 방향으로부터 보아 상기 복수개의 슬라이드 기구는 지그재그 형상으로 배치되어 있는 결함 수복 장치.
제1항에 있어서, 상기 기판의 수복 영역을, 각 액적 토출 유닛마다에 할당하는 결함 수복 장치.
제1항에 있어서, 각 액적 토출 유닛은 상기 반송 방향과 다른 방향을 따라 이동한 후 정지한 상태에서 상기 결함에 상기 액적을 토출하는 결함 수복 장치.
제1항에 있어서, 각 액적 토출 유닛은 그 액적 토출 위치와 상기 기판 상의 결함의 위치가 일치하도록 상기 반송 방향과 다른 방향을 따라 이동하는 결함 수복 장치.
제1항에 있어서, 상기 복수개의 액적 토출 유닛을 탑재한 갠트리의 중량은 0.5톤 이상 4톤 이하인 결함 수복 장치.
반송된 기판을 고정하고,

상기 고정한 기판에 수직한 방향으로부터 보아 상기 기판의 반송 방향과 다른 방향을 따라 배치된 복수개의 액적 토출 유닛을 탑재한 일렬 이상의 갠트리를 상기 기판의 반송 방향을 따라 상대적으로 등속 이동시키고,

상기 갠트리가 상기 기판의 반송 방향을 따라 이동하고 있는 동안에 상기 기판 상에 점재하는 복수개의 결함의 위치를 나타내는 데이터에 따라 상기 반송 방향과 다른 방향을 따라 각 액적 토출 유닛을 서로 독립해서 이동시켜 상기 기판 상에 점재하는 결함에 액적을 토출하는 것을 특징으로 하는 결함 수복 방법.
컴퓨터에 반송된 기판을 고정하는 수순과,

상기 고정한 기판에 수직한 방향으로부터 보아 상기 기판의 반송 방향과 다른 방향을 따라 배치된 복수개의 액적 토출 유닛을 탑재한 일렬 이상의 갠트리를 상기 기판의 반송 방향을 따라 상대적으로 등속 이동시키는 수순과,

상기 갠트리가 상기 기판의 반송 방향을 따라 이동하고 있는 동안에 상기 기판 상에 점재하는 복수개의 결함의 위치를 나타내는 데이터에 따라 상기 반송 방향과 다른 방향을 따라 각 액적 토출 유닛을 서로 독립해서 이동시켜서 상기 기판 상 에 점재하는 결함에 액적을 토출하는 수순을 실행시키는 것을 특징으로 하는 프로그램.
컴퓨터에 반송된 기판을 고정하는 수순과,

상기 고정한 기판에 수직한 방향으로부터 보아 상기 기판의 반송 방향과 다른 방향을 따라 배치된 복수개의 액적 토출 유닛을 탑재한 일렬 이상의 갠트리를 상기 기판의 반송 방향을 따라 상대적으로 등속 이동시키는 수순과,

상기 갠트리가 상기 기판의 반송 방향을 따라 이동하고 있는 동안에 상기 기판 상에 점재하는 복수개의 결함의 위치를 나타내는 데이터에 따라 상기 반송 방향과 다른 방향을 따라 각 액적 토출 유닛을 서로 독립해서 이동시켜서 상기 기판 상에 점재하는 결함에 액적을 토출하는 수순을 실행시키는 프로그램을 기록한 것을 특징으로 하는 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체.