KR20210152941A - 연삭 장치 - Google Patents
연삭 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20210152941A KR20210152941A KR1020210063761A KR20210063761A KR20210152941A KR 20210152941 A KR20210152941 A KR 20210152941A KR 1020210063761 A KR1020210063761 A KR 1020210063761A KR 20210063761 A KR20210063761 A KR 20210063761A KR 20210152941 A KR20210152941 A KR 20210152941A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- light
- grinding
- segment
- unit
- air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B19/00—Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/27—Work carriers
- B24B37/30—Work carriers for single side lapping of plane surfaces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
- B24B41/04—Headstocks; Working-spindles; Features relating thereto
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
- B24B41/06—Work supports, e.g. adjustable steadies
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B47/00—Drives or gearings; Equipment therefor
- B24B47/10—Drives or gearings; Equipment therefor for rotating or reciprocating working-spindles carrying grinding wheels or workpieces
- B24B47/14—Drives or gearings; Equipment therefor for rotating or reciprocating working-spindles carrying grinding wheels or workpieces by liquid or gas pressure
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B47/00—Drives or gearings; Equipment therefor
- B24B47/20—Drives or gearings; Equipment therefor relating to feed movement
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
- B24B49/006—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation taking regard of the speed
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
- B24B49/12—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation involving optical means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/14—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Abstract
(해결 수단) 피가공물(14)을 연삭 가공하는 연삭 장치(1)에 구비하는 에어 노즐(7)로부터 에어를 분사하여 연삭 휠(36)을 저속(예컨대 10 rpm)으로 회전시키면서, 선단 검지 수단(5)을 이용하여 세그먼트 지석(360)을 검지하면서, 카운터(60)를 이용하여 세그먼트 지석(360)의 수 등을 카운트한다. 그리고, 카운터(60)에 의해 카운트된 카운트값과 미리 판단부(61)에 기억된 세그먼트 지석(360)의 수를 비교하는 것에 의해, 세그먼트 지석(360)이 탈락하고 있는지를 판단한다. 이러한 연삭 장치(1)는, 연삭 휠(36)을 저속으로 회전시키기 위한 모터 등을 구비할 필요가 없기 때문에, 연삭 장치(1)를 저가로 구성할 수 있다.
Description
도 2는 제1 연삭 휠의 저면도이다.
도 3은 투광부로부터 투광된 광이 간극을 통과하는 상태를 나타내는 정면도이다.
도 4는 연삭 휠이 투광부로부터의 측정광을 단속적으로 차광할 때의 전압의 변화를 나타내는 그래프도이다.
2: 유지 수단 20: 흡인부 200: 유지면
21: 프레임 210: 프레임의 상면 27: 벨로우즈 28: 커버
3: 연삭 수단 30: 스핀들 31: 하우징 32: 모터
33: 마운트 35: 회전축 36: 연삭 휠 360: 세그먼트 지석
361: 베이스 362: 하면 363: 간극 364: 세그먼트 길이
365: 내측면 366: 외측면
4: 연삭 이송 수단 40: 볼 나사 41: 가이드 레일
42: Z축 모터 43: 승강판 44: 홀더 45: 회전축
5: 선단 검지 수단 50: 투광부 51: 수광부 52: 투수광 라인 53: 베이스
54: 투수광 소자 540: 오목부 55: 검지부
60: 카운터 61: 판단부
7: 에어 노즐 70: 투광부 에어 분사부 71: 수광부 에어 분사부
72: 에어원 80: 세그먼트 임계치 81: 간극 임계치
82: 제1 수광 전압 83: 제2 수광 전압
Claims (3)
- 유지면에 피가공물을 유지하는 유지 수단과,
베이스에 복수의 세그먼트 지석이 간극이 설치된 상태로 환형으로 배치되고 회전 가능한 연삭 휠을 구비하고, 상기 유지 수단에 유지된 피가공물을 상기 세그먼트 지석을 이용하여 연삭하는 연삭 수단과,
상기 유지면에 수직인 방향으로 상기 연삭 수단을 이동시키는 연삭 이송 수단과,
상기 세그먼트 지석의 선단을 검지하는 선단 검지 수단을 구비한 연삭 장치에 있어서,
상기 선단 검지 수단이 상기 세그먼트 지석의 선단을 검지 가능한 위치에 위치된 상기 연삭 휠에 에어를 분사하여 상기 선단 검지 수단이 검지 가능한 속도로 상기 연삭 휠을 회전시키는 에어 노즐과,
상기 연삭 휠의 회전 중의 상기 세그먼트 지석의 수 또는 상기 간극의 수를 카운트하는 카운터와,
상기 카운터의 값에 의해 상기 세그먼트 지석의 탈락을 판단하는 판단부를 구비한 연삭 장치. - 제1항에 있어서,
상기 선단 검지 수단은, 측정광을 투광하는 투광부와, 상기 투광부와의 사이에 상기 세그먼트 지석을 진입 가능하게 상기 투광부에 대향 배치되고 상기 투광부로부터 투광된 상기 측정광을 수광하는 수광부와, 상기 투광부와 상기 수광부의 사이에 상기 세그먼트 지석이 진입하는 것에 의한 상기 수광부의 수광량의 변화로 상기 세그먼트 지석 또는 상기 간극을 검지하는 검지부를 구비한 연삭 장치. - 제2항에 있어서,
상기 에어 노즐은, 상기 투광부에 에어를 분출하는 투광부 에어 분사부와, 상기 수광부에 에어를 분사하는 수광부 에어 분사부를 구비한 연삭 장치.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020099979A JP7636141B2 (ja) | 2020-06-09 | 2020-06-09 | 研削装置 |
JPJP-P-2020-099979 | 2020-06-09 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20210152941A true KR20210152941A (ko) | 2021-12-16 |
KR102838024B1 KR102838024B1 (ko) | 2025-07-23 |
Family
ID=
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003089065A (ja) | 2001-09-17 | 2003-03-25 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削ホイール |
JP2017127936A (ja) | 2016-01-21 | 2017-07-27 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003089065A (ja) | 2001-09-17 | 2003-03-25 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削ホイール |
JP2017127936A (ja) | 2016-01-21 | 2017-07-27 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7636141B2 (ja) | 2025-02-26 |
TW202146164A (zh) | 2021-12-16 |
CN113770861A (zh) | 2021-12-10 |
TWI862839B (zh) | 2024-11-21 |
JP2021194708A (ja) | 2021-12-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6439962B1 (en) | Cleaning apparatus | |
KR102688369B1 (ko) | 크리프 피드 연삭 방법 | |
KR20150130914A (ko) | 연삭 장치 | |
JP2018083266A (ja) | 研削装置及び粗さ測定方法 | |
KR20160025462A (ko) | 연삭 장치 | |
JP2018140450A (ja) | 研削装置 | |
JP2015036170A (ja) | 研削装置 | |
JP7636141B2 (ja) | 研削装置 | |
KR20200101836A (ko) | 연삭 장치 | |
US20210245326A1 (en) | Grinding apparatus | |
CN110170892A (zh) | 磨削装置 | |
JP2007223014A (ja) | スピンドルユニット | |
JP6704256B2 (ja) | 研削装置 | |
JP7112273B2 (ja) | クリープフィード研削方法 | |
KR20200015378A (ko) | 휠 마운트 | |
KR102838024B1 (ko) | 연삭 장치 | |
JP7347967B2 (ja) | 研削方法 | |
JP7351611B2 (ja) | ウェーハの面取り加工装置 | |
JP7096752B2 (ja) | 研削装置 | |
JP6831250B2 (ja) | リニアゲージと加工装置 | |
KR20210144569A (ko) | 연삭 장치 | |
JP4639405B2 (ja) | ウェーハ面取り装置及びウェーハ面取り方法 | |
JP7295670B2 (ja) | 研削装置 | |
JP2021146417A (ja) | ウェーハの研削方法 | |
JP6171048B1 (ja) | 研削装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20210518 |
|
PG1501 | Laying open of application | ||
A201 | Request for examination | ||
PA0201 | Request for examination |
Patent event code: PA02012R01D Patent event date: 20240216 Comment text: Request for Examination of Application Patent event code: PA02011R01I Patent event date: 20210518 Comment text: Patent Application |
|
E902 | Notification of reason for refusal | ||
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20250204 Patent event code: PE09021S01D |