[go: up one dir, main page]

KR20190111785A - 물품 반송 설비 - Google Patents

물품 반송 설비 Download PDF

Info

Publication number
KR20190111785A
KR20190111785A KR1020190030045A KR20190030045A KR20190111785A KR 20190111785 A KR20190111785 A KR 20190111785A KR 1020190030045 A KR1020190030045 A KR 1020190030045A KR 20190030045 A KR20190030045 A KR 20190030045A KR 20190111785 A KR20190111785 A KR 20190111785A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
article
region
posture
change control
posture change
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
KR1020190030045A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102525864B1 (ko
Inventor
다이치 도미다
요시타카 다나카
Original Assignee
가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 다이후쿠 filed Critical 가부시키가이샤 다이후쿠
Publication of KR20190111785A publication Critical patent/KR20190111785A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102525864B1 publication Critical patent/KR102525864B1/ko
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C13/00—Other constructional features or details
    • B66C13/04—Auxiliary devices for controlling movements of suspended loads, or preventing cable slack
    • B66C13/08—Auxiliary devices for controlling movements of suspended loads, or preventing cable slack for depositing loads in desired attitudes or positions
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C13/00—Other constructional features or details
    • B66C13/16—Applications of indicating, registering, or weighing devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C13/00—Other constructional features or details
    • B66C13/18—Control systems or devices
    • B66C13/48—Automatic control of crane drives for producing a single or repeated working cycle; Programme control
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
  • Control Of Conveyors (AREA)
  • Sewing Machines And Sewing (AREA)

Abstract

[해결하려고 하는 과제] 물품의 자세 변경 중에 상기 물품과 간섭 대상물이 간섭하는 것을 억제 가능한 물품 반송 설비를 실현한다.
[해결 수단] 물품 반송 설비는 물품 반송차(2)와, 상기 물품 반송차를 제어하는 제어 장치를 포함하고 있다. 제어 장치는, 자세 변경 기구에 의해 물품(W)의 자세를 변경하는 자세 변경 제어를 실행하는 경우에, 물품 반송차(2)가 좌측 허용 구간 내에 있는 상태에서는, 좌방 영역(A1)에 물품(W)을 돌출시키는 제1 자세 변경 제어를 실행하고, 물품 반송차(2)가 우측 허용 구간 내에 있는 상태에서는, 우방 영역(A2)에 물품(W)을 돌출시키는 제2 자세 변경 제어를 실행하고, 물품 반송차(2)가 양측 허용 구간 내에 있는 상태에서는, 제1 자세 변경 제어, 제2 자세 변경 제어, 또는, 좌방 영역(A1) 및 우방 영역(A2)의 양쪽으로 물품(W)을 돌출시키는 제3 자세 변경 제어를 실행한다.

Description

물품 반송 설비{ARTICLE TRANSPORT FACILITY}
본 발명은, 복수의 반송(搬送) 대상 장소 사이에서 이동 경로를 따라 이동하여 물품을 반송하는 물품 반송차를 포함하는 물품 반송 설비에 관한 것이다.
예를 들면, 하기의 특허문헌 1(일본공개특허 제2012-253070호 공보)에 개시된 설비에서는, 복수의 반송 대상 장소[1] 사이에서 물품[4]의 반송이 행해지고 있다. 특허문헌 1의 설비에 있어서 반송 대상으로 되는 물품[4]은, 그 일측면에 내용물을 출납하기 위한 개구부를 가지고 있다. 그리고, 특허문헌 1의 설비는, 각 반송 대상 장소[1]에 있어서 물품[4]의 개구부로부터 내용물의 출납을 적절하게 행할 수 있도록, 반송원(搬送元)의 반송 대상 장소[1]로부터 반송처(搬送處)의 반송 대상 장소[1]에 물품[4]이 반송되는 도중에 상기 물품[4]의 자세 변경을 행하는 자세 변경 장치[31]를, 물품 반송차[3]와는 별도로 포함하고 있다. 이 자세 변경 장치[31]에 의해, 물품[4]의 자세가 반송처의 반송 대상 장소[1]에서 적절한 자세로 되도록, 즉 반송처의 물품 처리 장치[1]에 대하여 개구부가 대향하는 자세로 되도록, 상기 물품[4]의 자세 변경이 행해지고 있다.
일본공개특허 제2012-253070호 공보
여기에서, 설비 내에서의 자세 변경 장치의 배치 공간을 삭감하는 관점에서, 물품의 자세를 변경하는 자세 변경 기구(機構)를 물품 반송차와 일체적으로 설치하는 것이 고려된다. 그러나, 물품 반송차에 의한 물품의 반송 중에 그 자세 변경이 행해지는 경우에는, 물품 반송차의 수납부에 있어서 자세 변경 중인 물품이, 수납부로부터 외측으로 돌출되어 이동 경로의 주위에 존재하는 것(예를 들면, 벽, 기둥, 다른 물품 반송차 등, 이하, 물품과 간섭할 가능성이 있는 것을 간섭 대상물이라고 함)에 간섭할 가능성이 있다. 자세 변경 중인 물품과 간섭 대상물의 간섭을 회피하기 위하여, 이동 경로의 주위 공간을 넓게 확보하도록 설비 전체를 설계하는 것도 고려되지만, 설비의 대형화나 공간 효율의 저하를 초래하게 된다.
상기 실정에 감안하여, 물품의 자세 변경 중에 상기 물품과 간섭 대상물이 간섭하는 것을 억제 가능한 물품 반송 설비의 실현이 요망되고 있다.
본 개시에 관한 물품 반송 설비는, 복수의 반송 대상 장소의 사이에서 이동 경로를 따라 이동하여 물품을 반송하는 물품 반송차와, 상기 물품 반송차를 제어하는 제어 장치를 포함한 물품 반송 설비로서, 상기 물품 반송차는, 상기 물품을 수용하는 수용부와, 상기 물품의 자세를 변경하는 자세 변경 기구를 구비하고, 상기 이동 경로에서의 상기 물품 반송차의 진행 방향을 기준으로 하여, 상기 수용부에 대하여 좌측의 영역을 좌방 영역, 상기 수용부에 대하여 우측의 영역을 우방 영역으로 하고, 상기 자세 변경 기구에 의한 상기 물품의 자세 변경 중에 상기 물품이 상기 수용부로부터 외측으로 돌출되도록, 상기 수용부 및 상기 자세 변경 기구가 구성되며, 상기 수용부로부터 외측으로의 상기 물품의 돌출을, 상기 좌방 영역에서 허용하는 좌측 허용 구간과, 상기 우방 영역에서 허용하는 우측 허용 구간과, 상기 좌방 영역 및 상기 우방 영역 양쪽에서 허용하는 양측 허용 구간이 상기 이동 경로 중에 설정되고, 상기 제어 장치는, 상기 자세 변경 기구에 의해 상기 물품의 자세를 변경하는 자세 변경 제어를 실행하는 경우에, 상기 물품 반송차가 상기 좌측 허용 구간 내에 있는 상태에서는, 상기 좌방 영역 및 상기 우방 영역 중 상기 좌방 영역에 상기 물품을 돌출시키는 제1 자세 변경 제어를 실행하고, 상기 물품 반송차가 상기 우측 허용 구간 내에 있는 상태에서는, 상기 좌방 영역 및 상기 우방 영역 중 상기 우방 영역에 상기 물품을 돌출시키는 제2 자세 변경 제어를 실행하고, 상기 물품 반송차가 상기 양측 허용 구간 내에 있는 상태에서는, 상기 제1 자세 변경 제어, 상기 제2 자세 변경 제어, 또는, 상기 좌방 영역 및 상기 우방 영역의 양쪽에 상기 물품을 돌출시키는 제3 자세 변경 제어를 실행한다.
본 구성에 의하면, 자세 변경 기구에 의해 물품의 자세를 변경하는 경우에, 이동 경로 중에 설정된 좌측 허용 구간, 우측 허용 구간 및 양측 허용 구간에 따라서, 각 허용 구간에서의 물품의 돌출이 허용되고 있는 측의 영역에 물품을 돌출시켜, 물품의 자세 변경을 행하도록 할 수 있다. 이에 의해, 물품의 돌출이 허용되고 있는 영역 이외의 영역으로의 물품의 돌출을 없애고, 또는 물품의 돌출량을 적게 할 수 있다. 그 결과, 자세 변경 중의 물품이 간섭 대상물에 간섭하는 것을 억제할 수 있다. 또한, 이와 같은 허용 구간을 이동 경로 중에 설치함으로써, 예를 들면, 물품과 간섭 대상물의 간섭을 회피하기 위해 설비 전체에 있어서 이동 경로의 주위 공간을 넓게 확보할 필요도 없고, 설비의 대형화 억제도 도모할 수 있다.
본 개시에 관한 기술의 새로운 특징과 이점은, 도면을 참조하여 기술하는 이하의 예시적이면서 비한정적인 실시형태의 설명에 따라 보다 명확해질 것이다.
[도 1] 물품 반송 설비의 일부를 나타내는 평면도이다.
[도 2] 물품의 이송탑재(移載)의 모양을 나타내는 도면이다.
[도 3] 물품 반송차의 이동 방향에서 볼 때의 도면이다.
[도 4] 물품 반송 설비의 제어 블록도이다.
[도 5] 자세 변경 제어의 설명도이다.
[도 6] 제어 종류를 결정할 때의 순서를 나타내는 플로차트다.
[도 7] 허용 구간의 설명도이다.
[도 8] 자세 변경 제어의 설명도이다.
1. 제1 실시형태
물품 반송 설비의 제1 실시형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비(1)는, 복수의 반송 대상 장소(6) 사이에서 이동 경로(R)를 따라 이동하여 물품(W)을 반송하는 물품 반송차(2)와, 상기 물품 반송차(2)를 제어하는 제어 장치(H)(도 4 참조)를 포함하고 있다. 그리고, 상기 물품 반송 설비(1)는, 복수의 반송 대상 장소(6) 중 반송원으로 되는 반송 대상 장소(6)로부터 반송처로 되는 다른 반송 대상 장소(6)까지 물품(W)을 반송하는 도중에 상기 물품(W)의 자세를 변경할 수 있도록 되어 있다.
이하의 설명에서는, 물품 반송차(2)가 이동 경로(R)를 따라 주행하는 방향을 「진행 방향 X」로 하고, 평면에서 볼 때 진행 방향 X에 직교하는 방향을 「폭 방향 Y」로 한다. 또한, 진행 방향 X를 기준으로 하여 좌우를 정의한 것으로 하고, 구체적으로는, 진행 방향 X를 향하여 폭 방향 Y로서의 좌측을 「좌측 Y1」로 하고, 우측을 「우측 Y2」로 한다.
1-1. 물품 반송 설비의 기계 구성
물품(W)은 물품 반송차(2)에 의해 반송되는 대상이다. 여기에서, 물품(W)은 평면에서 볼 때 비(非)원형상으로 형성되어 있다. 물품(W)은 예를 들면, 평면에서 볼 때 다각형상, 보다 구체적으로는, 사각형상으로 형성되어 있다. 그리고, 사각형상에는, 엄밀하게는 사각형이 아니어도, 전체로서 보면 사각형으로 간주할 수 있는 형상도 포함한다. 또한, 다각형상의 일부의 변이 원호 등의 곡선으로 형성된 평면에서 볼 때의 형상을 가지고 있어도 된다. 예를 들면, 물품(W)의 평면에서 볼 때의 형상은 D형이어도 된다. 이하, 「형」이라는 표현을 사용하여 사물 등의 형상을 설명하는 경우에는, 이것과 동일한 취지이다. 또한, 물품(W)의 입체적 형상에 관해서는, 여기서는, 기둥형체로 되어 있다. 물품(W)은 예를 들면 내용물이 수납되는 용기이다. 본 실시형태에서는, 물품(W)은, 반도체 기판이 수납되는 용기이다. 본 예에서는, 물품(W)은 직육면체형으로 형성되어 있고, 복수 개의 반도체 기판을 복수 단으로 나누어 수납 가능하다. 본 실시형태에서는, 물품(W)의 상면 및 바닥면은 막힌 상태이다. 또한, 물품(W)의 상면에는, 물품(W)의 반송 시에 물품 반송차(2)에 의해 파지되기 위한 플랜지부(Wa)가 형성되어 있다. 또한, 물품(W)의 4개의 측면 중 한 면에는, 반도체 기판을 출납하기 위한 개구부(Wb)가 형성되어 있다(도 2 등 참조). 물품(W)의 나머지 3개의 측면은 막힌 상태이다.
반송 대상 장소(6)는 물품(W)의 반송원으로 되는 장소이고, 또는, 물품(W)의 반송처로 되는 장소이다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 반송 대상 장소(6)는, 물품 반송 설비(1) 내의 복수 개소에 형성되어 있다[도 1에서는 물품 반송 설비(1)의 일부를 나타내고 있음]. 반송 대상 장소(6)에서는, 예를 들면 물품(W)의 처리가 행해진다. 본 실시형태에서는, 도 1 및 2에 나타낸 바와 같이, 반송 대상 장소(6)에는, 반도체 기판에 대한 처리를 행하는 처리 장치(6a)와 물품 반송차(2) 사이에서의 물품(W)의 수수(授受)를 위한 수수부(6b)가 포함되어 있다. 본 실시형태에서는, 수수부(6b)에는, 처리 장치(6a)에 대하여 개구부(Wb)를 대향시킨 상태의 물품(W)이 반송된다. 또한, 물품(W)에 수납된 반도체 기판이, 처리 장치(6a)가 구비하는 취출 장치 등에 의해 개구부(Wb)로부터 취출된다. 그리고, 반도체 기판은 처리 장치(6a)에 의해 처리된다. 이와 같이 처리 장치(6a)에 의해 반도체 기판을 처리하기 위하여, 물품(W)은, 개구부(Wb)가 처리 장치(6a)에 대하여 대향하는 적절한 자세로 된 후에, 물품 반송차(2)에 의해 수수부(6b)에 반송된다.
이동 경로(R)는, 물품 반송 설비(1)에 있어서 물품 반송차(2)가 이동하는 경로다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 이동 경로(R)는 복수의 반송 대상 장소(6)를 경유하고 있다. 이동 경로(R)는 예를 들면, 바닥면 상에 설치되거나, 또는, 바닥면으로부터 상방으로 거리를 둔 위치에 설치된다. 본 실시형태에서는, 이동 경로(R)는 천장(99)으로부터 매달아 지지된 레일(98)에 의해 정해져 있다(도 2 및 도 3 참조). 도 1에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 레일(98)은 복수의 수수부(6b)를 경유하는 경로를 따라 설치되어 있고, 복수의 수수부(6b)의 각각과 평면에서 볼 때 중복되도록 배치되어 있다.
본 실시형태에서는, 물품 반송차(2)는 이동 경로(R) 내에서의 상기 물품 반송차(2)의 현재 위치를 검출하는 위치 검출 센서(도시하지 않음)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 이동 경로(R)에는, 복수의 위치 정보 기억부(도시하지 않음)가 분산되어 배치되어 있다. 그리고, 위치 정보 기억부는 이동 경로(R)를 구획한 복수의 영역의 각각에 할당되어 있다. 또한, 복수의 위치 정보 기억부의 각각은, 이동 경로(R) 내에서 각각이 배치되어 있는 위치의 정보를 기억하고 있다. 본 실시형태에서는, 위치 검출 센서는, 이동 경로(R) 내에 배치된 복수의 위치 정보 기억부의 각각에 기억된 위치 정보를 판독함으로써, 이동 경로(R) 내에서의 물품 반송차(2)의 현재 위치를 검출 가능하게 구성되어 있다. 예를 들면, 위치 정보 기억부로서는 바코드가 표시된 플레이트 등이어도 되고, 그 경우의 위치 검출 센서는 바코드 리더로 된다.
도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 물품 반송차(2)는, 이동 경로(R)를 주행하기 위한 주행부(21)와, 물품(W)을 수용하는 수용부(22a)를 가지고 있다. 본 실시형태에서는, 주행부(21)는 레일(98)의 위쪽에 위치하고 있다. 주행부(21)는 모터 등의 구동 수단에 의해 구동되어 이동 경로(R)를 따라 주행한다. 여기서는, 주행부(21)는, 주행용 모터(21M)에 의해 구동되어 수평축 주위에 회전하고, 또한 레일(98)의 상면을 진행 방향 X를 따라 전동하는 주행륜(21a)을 가지고 있다. 주행륜(21a)이 레일(98)의 상면을 전동하는 것에 의해, 주행부(21)가 이동 경로(R)를 따라 주행 가능해지고 있다.
본 실시형태에서는, 수용부(22a)는 주행부(21)에 매달아 지지되어 레일(98)의 하측에 위치하는 본체부(22)에 형성되어 있다. 도시한 예에서는, 본체부(22)는, 수용부(22a)를 진행 방향 X의 양측에서 덮는 커버부(22b)를 가지고 있고[도 2 및 도 3에서는 커버부(22b)의 일부를 절결하여 나타내고 있음], 수용부(22a)는 커버부(22b)에 덮히는 공간으로 되어 있다. 보다 상세하게는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 커버부(22b)는 진행 방향 X에서 서로 대향하는 한 쌍의 대향면(22f)을 가지고 있고, 수용부(22a)는 한 쌍의 대향면(22f) 사이의 공간으로 되어 있다. 본 실시형태에서는, 커버부(22b)는 폭 방향 Y의 양측 및 하방이 개방된 형상으로 되어 있다. 구체적으로는, 커버부(22b)는 폭 방향 Y로부터 볼 때 네모진 역U자형으로 형성되어 있다. 그러므로, 수용부(22a)는 폭 방향 Y의 양측 및 하측에서, 상기 수용부(22a)의 외측과 연통하고 있다.
도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 물품 반송차(2)는 반송 대상 장소(6)와의 사이에서 물품(W)을 이송탑재하는 이송탑재 기구(3)를 가지고 있다. 도시한 예에서는, 이송탑재 기구(3)는, 처리 장치(6a)에 인접하여 설치된 수수부(6b)와 수용부(22a) 사이에서 물품(W)을 이송탑재 가능하게 구성되어 있다. 본 예에서는, 이송탑재 기구(3)는, 물품(W)을 파지하는 파지 기구(3G)와 물품(W)을 승강시키는 승강 기구(3H)를 구비하고 있다.
본 실시형태에서는, 파지 기구(3G)는 물품(W)을 상방으로부터 파지하도록 구성되어 있다. 여기서는, 파지 기구(3G)는, 파지부(3Ga)에 설치된 파지용 모터(3GM)(도 4 참조)와, 파지용 모터(3GM)에 의해 구동되어 파지 자세와 해제 자세 사이에서 전환 가능한 한 쌍의 파지 클로우(3Gb)를 가지고 있다. 그리고, 한 쌍의 파지 클로우(3Gb)는 서로 접근하는 방향으로 이동함으로써 파지 자세로 되고, 서로 이격되는 방향으로 이동함으로써 해제 자세로 된다. 한 쌍의 파지 클로우(3Gb)는, 파지 자세로 물품(W)의 플랜지부(Wa)를 파지하고, 플랜지부(Wa)를 파지한 상태로부터 해제 자세로 됨으로써, 플랜지부(Wa)의 파지를 해제한다.
본 실시형태에서는, 승강 기구(3H)는 파지부(Ga)를 승강시킴으로써 상기 파지부(Ga)에 파지된 물품(W)을 승강시키도록 구성되어 있다. 여기서는, 승강 기구(3H)는, 수용부(22a)[커버부(22b)]가 배치되는 높이로부터, 적어도 수수부(6b)가 배치되는 높이까지의 사이에서, 물품(W)을 승강시킨다. 본 실시형태에서는, 승강 기구(3H)는, 승강용 모터(3HM)에 의해 구동되는 승강용 풀리(3Hc)와, 승강용 드럼(3Hd)과, 파지부(Ga)에 연결되면서 또한 승강용 드럼(3Hd)에 권회되는 승강용 벨트(3Hb)와, 승강용 모터(3HM)와 승강용 풀리(3Hc)와 승강용 드럼(3Hd)과 승강용 벨트(3Hb)를 구비하는 승강부(3Ha)를 가지고 있다. 그리고, 승강 기구(3H)는 승강용 모터(3HM)에 의해 승강용 풀리(3Hc)를 구동시킴으로써, 승강용 벨트(3Hb)를 승강용 드럼(3Hd)에 감거나 또는 풀어내어, 파지부(Ga)와 함께 물품(W)을 승강시킨다.
이상 설명한 구성에 의해, 본 실시형태에 관한 물품 반송차(2)는, 반송 대상 장소(6)에서 물품(W)을 이송탑재 가능하고, 반송원으로 되는 반송 대상 장소(6)로부터 반송처로 되는 반송 대상 장소(6)까지 물품(W)을 반송 가능하게 되어 있다.
여기에서, 전술한 바와 같이, 물품 반송차(2)는 반송 대상 장소(6)에서 적절한 자세로 되도록 물품(W)을 반송한다. 상세하게는, 물품(W)의 내용물인 반도체 기판을 처리 장치(6a)에 의해 적절하게 처리할 수 있게 하기 위해, 물품(W)은 반송되는 과정에서, 개구부(Wb)가 반송처의 처리 장치(6a)에 대하여 대향하는 적절한 자세로 된다. 그러므로, 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 물품 반송차(2)는 물품(W)의 자세를 변경하는 자세 변경 기구(4)를 가지고 있다. 본 실시형태에서는, 자세 변경 기구(4)는, 개구부(Wb)가 반송처의 처리 장치(6a)에 대하여 대향하는 적절한 자세로 되도록, 물품(W)의 자세 변경을 행한다. 그리고, 반송원의 반송 대상 장소(6)에서 이송탑재가 완료된 후의 물품(W)의 자세가, 이미 반송처의 반송 대상 장소(6)에서의 적절한 자세가 되어 있는 경우에는, 물품 반송차(2)는 자세 변경 기구(4)에 의한 물품(W)의 자세 변경은 행하지 않고, 그대로의 자세로 반송처의 반송 대상 장소(6)에 물품(W)을 반송한다.
자세 변경 기구(4)는 물품(W)을 특정한 축 주위에 선회시키는 것에 의해, 상기 물품(W)의 자세를 변경한다. 본 실시형태에서는, 자세 변경 기구(4)는, 연직 방향 Z를 따르는 선회축(4b) 주위에 물품(W)을 선회시켜 상기 물품(W)의 자세를 변경하도록 구성되어 있다. 여기서는, 자세 변경 기구(4)는, 파지부(Ga)를 연직 방향 Z를 따르는 선회축(4b) 주위에 선회시키는 선회부(4a)를 가지고 있다. 본 예에서는, 선회부(4a)는 승강부(3Ha)를 통하여 파지부(Ga)를 선회시킨다. 선회부(4a)의 내부에는, 연직 방향 Z를 따르는 선회축(4b)과, 상기 선회축(4b)을 구동하는 선회용 모터(4M)가 설치되어 있다. 선회축(4b)은 승강부(3Ha)를 통하여 파지부(Ga)와 연결되어 있고, 선회용 모터(4M)에 구동되어 파지부(Ga)와 함께 회전한다. 이에 의해, 파지부(Ga)에 파지된 물품(W)을 선회축(4b) 주위에 선회시킬 수 있다.
그리고, 상기 물품 반송차(2)에서는, 자세 변경 기구(4)에 의한 물품(W)의 자세 변경 중에 물품(W)이 수용부(22a)로부터 외측으로 돌출되도록, 수용부(22a) 및 자세 변경 기구(4)가 구성되어 있다. 설명을 부가하면, 선회축(4b) 주위에 물품(W)이 선회한 경우의 선회 궤적의 외측 에지(Wc)(도 5 참조)이, 수용부(22a)로부터 외측으로 밀려나오도록 수용부(22a) 및 자세 변경 기구(4)가 구성되어 있다. 여기에서, 물품(W)의 선회 궤적의 외측 에지(Wc)는, 평면에서 볼 때의 물품(W)의 최대 폭[본 예에서는 평면에서 볼 때 사각형상의 물품(W)의 대각선]을 직경으로 하는 원형으로 된다. 따라서, 여기서는, 평면에서 볼 때의 물품(W)의 최대 폭이, 수용부(22a)의 폭 방향 Y의 길이보다 커지도록 구성되어 있다.
도 5의 상측 도면은, 물품(W)의 자세 변경을 행하고 있지 않은 상태를 나타내고, 도 5의 하측 도면은, 물품(W)의 자세 변경을 행하고 있는 상태(후술하는 제1 자세 변경 제어 또는 제2 자세 변경 제어를 실행하고 있는 상태)를 나타내고 있다. 여기서는, 수용부(22a)에 대하여 좌측 Y1의 영역을 좌방 영역(A1)으로 하고, 수용부(22a)에 대하여 우측 Y2의 영역을 우방 영역(A2)으로 하고 있다. 그리고, 본 실시형태에서는, 선회축(4b) 주위의 제1 방향 C1으로 물품(W)을 선회시킨 경우에 물품(W)이 좌방 영역(A1)으로 돌출되고, 선회축(4b) 주위의 제1 방향 C1과는 역방향인 제2 방향 C2로 물품(W)을 선회시킨 경우에 물품(W)이 우방 영역(A2)으로 돌출되도록, 수용부(22a) 및 자세 변경 기구(4)가 구성되어 있다. 여기에서, 「제1 방향 C1」은, 선회축(4b)을 중심으로 하는 회전 방향에 있어서의 한쪽 방향(도시한 예에서는 반시계 방향)을 가르키고, 「제2 방향 C2」는, 다른 쪽 방향(도시한 예에서는 시계 방향)을 가리킨다. 그리고, 본 실시형태에 있어서, 「물품(W)이 좌방 영역(A1)으로 돌출」이란, 물품(W)이 주로 좌방 영역(A1)으로 돌출되는 것을 가르키고, 물품(W)이 우방 영역(A2)으로 전혀 돌출되지 않는 태양(態樣) 외에, 도 5에 나타낸 바와 같이, 물품(W)이 좌방 영역(A1)보다 적은 돌출량으로 우방 영역(A2)에도 돌출되는 태양도 포함한다. 마찬가지로, 본 실시형태에 있어서, 「물품(W)이 우방 영역(A2)으로 돌출」이란, 물품(W)이 주로 우방 영역(A2)으로 돌출되는 것을 가르키고, 물품(W)이 좌방 영역(A1)에 전혀 돌출되지 않는 태양 외에, 물품(W)이 우방 영역(A2)보다 적은 돌출량으로 좌방 영역(A1)에도 돌출되는 태양도 포함한다.
도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 물품 반송차(2)는, 물품(W)을 폭 방향 Y로 이동시키는 폭 방향 이동 기구를 더 가지고 있다. 여기서는, 폭 방향 이동 기구는, 물품(W)을 폭 방향 Y를 따라 슬라이딩시키는 슬라이드 기구(5)로서 구성되어 있다. 본 실시형태에서는, 슬라이드 기구(5)는, 커버부(22b)에 장착되어 있고, 슬라이드용 모터(5M)에 의해 구동 또는 종동(從動)되는 한 쌍의 슬라이드용 풀리(5c)와, 한 쌍의 슬라이드용 풀리(5c)의 각각에 권회되는 슬라이드용 벨트(5b)와, 슬라이드용 벨트(5b)에 연결되어 폭 방향 Y로 슬라이드 가능한 슬라이드부(5a)를 가지고 있다. 슬라이드부(5a)는 선회부(4a)와 연결되어 있고, 폭 방향 Y를 따라 슬라이드함으로써, 선회부(4a) 및 승강부(3Ha)를 통하여, 파지부(Ga) 및 파지부(Ga)에 파지된 물품(W)을 폭 방향 Y를 따라 이동시키는 것이 가능하게 구성되어 있다. 상기 슬라이드 기구(5)에 의해 물품(W)을 폭 방향 Y로 이동시킴으로써, 물품(W)의 이송탑재 시에, 수수부(6b)[반송 대상 장소(6)]에 대한 위치 어긋남을, 폭 방향 Y에 있어서 조정 가능하게 되어 있다.
1-2. 물품 반송 설비의 제어 구성
다음에, 물품 반송 설비(1)의 제어 구성에 대하여 설명한다. 전술한 바와 같이, 물품 반송 설비(1)는 물품 반송차(2)를 제어하는 제어 장치(H)를 포함하고 있다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 제어 장치(H)는, 물품 반송 설비(1) 전체의 제어를 행하는 상위 제어 장치(Hu)와, 물품 반송차(2)의 제어를 행하는 하위 제어 장치(Hd)를 포함하여 구성되어 있다. 상위 제어 장치(Hu)는, 물품 반송 설비(1)의 어딘가의 영역에 배치되어 있다. 하위 제어 장치(Hd)는 물품 반송차(2)에 배치되어 있다. 제어 장치(H)는 마이크로 컴퓨터 등의 프로세서, 메모리 등의 주변 회로 등을 구비하고 있다. 그리고, 이들 하드웨어와, 컴퓨터 등의 프로세서상에서 실행되는 프로그램과의 협동(協動)에 의해, 제어 장치(H)의 각 기능이 실현된다.
상위 제어 장치(Hu)는 하위 제어 장치(Hd)에 대하여, 반송원의 반송 대상 장소(6)로부터 반송처의 반송 대상 장소(6)에 물품(W)을 반송시키는 반송 지령을 출력한다. 반송 지령을 받은 하위 제어 장치(Hd)는, 반송처의 반송 대상 장소(6)를 향하여 물품(W)을 반송하도록 물품 반송차(2)를 제어한다.
본 실시형태에서는, 상위 제어 장치(Hu)는, 복수의 반송 대상 장소(6)의 각각에 대한 물품(W)이 적정한 자세를 적정 자세 정보(Ja)로서 기억하고 있다. 그리고, 상위 제어 장치(Hu)는 하위 제어 장치(Hd)에 대하여, 반송 지령을 출력하고, 또한 적정 자세 정보(Ja)를 송신한다. 적정 자세 정보(Ja)를 수신한 하위 제어 장치(Hd)는, 반송원의 반송 대상 장소(6)에서의 물품(W)의 자세와, 적정 자세 정보(Ja)에 따른 반송처의 반송 대상 장소(6)에서의 물품(W)의 자세를 비교하여, 물품(W)의 자세 변경이 필요한지의 여부를 판단한다. 하위 제어 장치(Hd)는, 물품(W)의 자세 변경이 필요하다고 판단한 경우에는, 물품(W)의 반송 도중에 물품(W)의 자세를 변경하는 자세 변경 제어를 실행한다.
상기 물품 반송차(2)에서는, 전술한 바와 같이 물품(W)의 자세 변경을 행하는 경우에, 물품(W)이 수용부(22a)로부터 외측으로 돌출된다(도 5 참조). 그러므로, 이동 경로(R)를 따라 물품(W)을 반송하고 있는 도중에 물품(W)의 자세 변경을 행하는 경우에는, 이동 경로(R)의 주위에 존재하는 간섭 대상물(97)(도 7 참조)에 물품(W)이 간섭할 가능성이 있다. 본 실시형태에 있어서 간섭 대상물(97)이란, 예를 들면 물품 반송 설비(1)가 설치된 시설 내에 설치된 벽이나 기둥 등의 구조물, 반송 대상 장소(6)로 되는 처리 장치(6a), 또는, 다른 물품 반송차(2) 등이다. 도 7에 나타낸 바와 같이, 이와 같은 간섭 대상물(97)은, 이동 경로(R)의 주위의 복수 개소에 분산되어 존재할 가능성이 있고, 물품 반송차(2)의 위치를 기준으로 하면, 좌방 영역(A1) 및 우방 영역(A2) 중 어느 하나, 또는, 이들의 양쪽에 존재할 가능성이 있다. 그래서, 하위 제어 장치(Hd)는, 물품(W)의 자세를 변경하는 자세 변경 제어로서, 제1 자세 변경 제어와 제2 자세 변경 제어와 제3 자세 변경 제어를 실행 가능하게 구성되어 있다.
제1 자세 변경 제어에서는, 하위 제어 장치(Hd)는 좌방 영역(A1) 및 우방 영역(A2) 중 좌방 영역(A1)에 물품(W)을 돌출시켜 물품(W)의 자세를 변경한다. 여기에서, 제1 자세 변경 제어의 실행 중에, 우방 영역(A2)에도 물품(W)이 돌출되는 구성이어도 된다. 이 경우에도, 좌방 영역(A1)으로의 물품(W)의 돌출량이 우방 영역(A2)으로의 물품(W)의 돌출량보다 커지도록, 제1 자세 변경 제어가 실행된다. 제1 자세 변경 제어의 실행에 의해, 자세 변경 중인 물품(W)을 주로 좌방 영역(A1)으로 돌출시킬 수 있고, 그 결과, 우방 영역(A2)으로의 물품(W)의 돌출을 없애고 물품(W)의 돌출량을 적게 할 수 있다. 이에 의해, 우방 영역(A2)에 간섭 대상물(97)이 존재하는 경우라도(도 7 참조), 상기 간섭 대상물(97)과 자세 변경 중인 물품(W)이 간섭하는 것을 억제할 수 있다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 하위 제어 장치(Hd)는 제1 자세 변경 제어로서 물품(W)을 제1 방향 C1로 선회시킴으로써, 물품(W)을 좌방 영역(A1)으로 돌출시키면서 자세 변경을 행한다. 설명을 부가하면, 도 5의 상측 도면에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 물품(W)은, 자세 변경이 행해지지 않고 있는 기본 자세에 있어서, 개구부(Wb)가 진행 방향 X의 후방 측을 향하게 되어 있다. 그리고, 파지 기구(3G)에 의해 파지되는 플랜지부(Wa)는, 물품(W)의 상면에 있어서의 진행 방향 X를 따른 방향의 중심 위치보다 개구부(Wb)에 가까운 위치에 배치되어 있다. 그리고, 물품(W)은 선회축(4b)의 회전에 의해 상기 플랜지부(Wa)를 중심으로 선회한다. 그러므로, 본 실시형태에서는, 도 5의 하측 도면에 나타낸 바와 같이, 제1 자세 변경 제어에 의해 물품(W)을 제1 방향 C1로 선회시킬 경우, 물품(W)은, 주로 좌방 영역(A1)으로 돌출된다[도시한 예에서는 우방 영역(A2)으로도 약간 돌출됨].
또한, 제2 자세 변경 제어에서는, 하위 제어 장치(Hd)는, 좌방 영역(A1) 및 우방 영역(A2) 중 우방 영역(A2)에 물품(W)을 돌출시켜 물품(W)의 자세를 변경한다. 여기에서, 제2 자세 변경 제어의 실행 중에, 좌방 영역(A1)으로도 물품(W)이 돌출되는 구성이어도 된다. 이 경우에도, 우방 영역(A2)으로의 물품(W)의 돌출량이 좌방 영역(A1)으로의 물품(W)의 돌출량보다 커지도록, 제2 자세 변경 제어가 실행된다. 제2 자세 변경 제어의 실행에 의해, 자세 변경 중인 물품(W)을 주로 우방 영역(A2)으로 돌출시킬 수 있고, 그 결과, 좌방 영역(A1)으로의 물품(W)의 돌출을 없애거나 또는 물품(W)의 돌출량을 적게 할 수 있다. 이에 의해, 좌방 영역(A1)에 간섭 대상물(97)이 존재하는 경우라도(도 7 참조), 상기 간섭 대상물(97)과 자세 변경 중인 물품(W)이 간섭하는 것을 억제할 수 있다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 하위 제어 장치(Hd)는, 제2 자세 변경 제어로서 물품(W)을 제2 방향 C2로 선회시킴으로써, 물품(W)을 우방 영역(A2)으로 돌출시키면서 자세 변경을 행한다. 설명을 부가하면, 전술한 바와 같이, 파지 기구(3G)에 의해 파지되는 플랜지부(Wa)는, 물품(W)의 상면에 있어서의 진행 방향 X를 따른 방향의 중심 위치보다 개구부(Wb)에 가까운 위치에 배치되어 있다. 그리고, 물품(W)은, 자세 변경이 행해지고 있지 않은 기본 자세에서, 개구부(Wb)가 진행 방향 X의 반대 측을 향하게 되어 있다(도 5의 상측 도면 참조). 그러므로, 본 실시형태에서는, 도 5의 하측 도면에 나타낸 바와 같이, 제2 자세 변경 제어에 의해 물품(W)을 제2 방향 C2로 선회시키는 경우, 물품(W)은 주로 우방 영역(A2)으로 돌출된다[도시한 예에서는 좌방 영역(A1)으로도 약간 돌출됨].
또한, 제3 자세 변경 제어에서는, 하위 제어 장치(Hd)는 좌방 영역(A1) 및 우방 영역(A2)의 양쪽에 물품(W)을 돌출시켜 물품(W)의 자세를 변경한다. 제3 자세 변경 제어에서, 제1 방향 C1 및 제2 방향 C2 중 어떠한 방향으로 물품(W)을 선회시켜도 된다. 또한, 제3 자세 변경 제어를 실행하는 경우에서의, 좌방 영역(A1)으로의 물품(W)의 돌출량과 우방 영역(A2)으로의 물품(W)의 돌출량이 상이해도 되고, 동일해도 된다. 예를 들면, 물품(W)을 제1 방향 C1 및 제2 방향 C2 중 어느 한 방향으로 270° 선회시키는 경우 등, 물품(W)을 선회축(4b) 주위에 180° 이상 선회시키는 경우에는, 자세 변경 중에 물품(W)이 좌방 영역(A1)과 우방 영역(A2)의 양쪽으로 돌출되는 경우가 있다. 선회부(4a)의 선회 가능한 방향이 일방향만인 경우 등에는, 이와 같은 물품(W)을 선회축(4b) 주위에 180° 이상 선회시키는 구성으로 되는 경우가 있다. 본 실시형태에서는, 이와 같은 자세 변경 제어가 제3 자세 변경 제어에 해당한다.
하위 제어 장치(Hd)는 자세 변경 제어를 실행하기 전에, 실행할 제어 종류를 결정한다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 하위 제어 장치(Hd)는 제1 자세 변경 제어, 제2 자세 변경 제어 및 제3 자세 변경 제어의 3개의 제어 종류 중에서, 실행할 제어 종류를 결정하는 제어 종류 결정부(Hd1)를 가지고 있다.
제어 종류 결정부(Hd1)에 의해 제어 종류를 결정하는 순서에 대하여, 도 6의 플로차트를 참조하여 설명한다. 먼저, 제어 종류 결정부(Hd1)는, 상위 제어 장치(Hu)로부터 반송 지령 및 적정 자세 정보(Ja)를 취득한다(S11, S12). 이에 의해, 반송처의 반송 대상 장소(6)와, 상기 반송 대상 장소(6)에서의 물품(W)의 적정 자세를 파악한다. 그리고, 반송처의 반송 대상 장소(6)에서의 물품(W)의 적정 자세에 기초하여, 물품(W)을 선회시켜야 할 선회 방향을 제1 방향 C1 및 제2 방향 C2 중에서 결정한다(S13). 구체적으로는, 반송처의 반송 대상 장소(6)에서의 물품(W)의 적정 자세가, 개구부(Wb)가 우측 Y2를 향하는 자세인 경우에는, 물품(W)의 선회 방향을 제1 방향 C1로 결정하고, 개구부(Wb)가 좌측 Y1을 향하는 자세인 경우에는, 제2 방향 C2로 결정한다(도 5도 참조). 바꾸어 말하면, 도 5의 상측 도면에 나타낸 기본 자세로부터 반송처의 반송 대상 장소(6)에서의 적정 자세로 물품(W)의 자세를 변경하기 위한 최소의 선회량으로 되는 선회 방향을 제1 방향 C1 및 제2 방향 C2 중에서 결정한다. 그리고, 제어 종류 결정부(Hd1)는, 결정한 선회 방향을 따라 자세 변경 제어의 종류를 결정한다(S14). 본 실시형태에서는, 물품(W)의 선회 방향을 제1 방향 C1로 결정한 경우에는, 제어 종류로서 제1 자세 변경 제어를 행하는 것을 결정한다. 그리고, 물품(W)의 선회 방향을 제2 방향 C2로 결정한 경우에는, 제어 종류로서 제2 자세 변경 제어를 행하는 것을 결정한다.
상기 물품 반송 설비(1)에서는, 예를 들면 도 7에 나타낸 바와 같이, 수용부(22a)로부터 외측으로의 물품(W)의 돌출을 허용하는 허용 구간(SA)이, 이동 경로(R) 중에 복수 설정되어 있다. 상세하게는, 수용부(22a)로부터 외측으로의 물품(W)의 돌출을, 좌방 영역(A1)에서 허용하는 좌측 허용 구간(SA1)과, 우방 영역(A2)에서 허용하는 우측 허용 구간(SA2)과, 좌방 영역(A1) 및 우방 영역(A2)의 양쪽에서 허용하는 양측 허용 구간(SA3)이 이동 경로(R) 중에 설정되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 이들 허용 구간(SA)과는 별도로, 수용부(22a)로부터 외측으로의 물품(W)의 돌출을 좌방 영역(A1) 및 우방 영역(A2)의 양쪽에서 금지하는 금지 구간(SR)이 설정되어 있다. 그리고, 여기서의 이동 경로(R)란, 물품 반송 설비(1) 전체에 있어서의 물품 반송차(2)가 이동 가능한 경로를 말하고, 각 반송 지령에 기초하는 반송원의 반송 대상 장소(6)로부터 반송처의 반송 대상 장소(6)까지의 경로에는 한정되지 않는다.
당연한 것이지만, 반송원의 반송 대상 장소(6)로부터 반송처의 반송 대상 장소(6)까지의 경로에 따라서는, 도중에 허용 구간(SA)이 하나밖에 존재하지 않는 경우나, 전혀 존재하지 않는 경우도 있을 수 있다. 예를 들면, 제1 자세 변경 제어를 실행하는 것이 결정되어 있지만, 반송원의 반송 대상 장소(6)로부터 반송처의 반송 대상 장소(6)까지의 경로에 좌측 허용 구간(SA1)이 존재하지 않는 경우에는, 하위 제어 장치(Hd)는, 물품 반송차(2)의 경로를 좌측 허용 구간(SA1)이 존재하는 경로로 변경하여 좌측 허용 구간(SA1)으로 자세 변경을 행하거나, 또는, 반송원이나 반송처의 반송 대상 장소(6)에서 자세 변경이 가능한 경우에는 상기 반송 대상 장소(6)에서 자세 변경을 행한다. 마찬가지로, 제2 자세 변경 제어를 실행하는 것이 결정되어 있지만, 반송원의 반송 대상 장소(6)로부터 반송처의 반송 대상 장소(6)까지의 경로에 우측 허용 구간(SA2)이 존재하지 않는 경우에는, 하위 제어 장치(Hd)는, 물품 반송차(2)의 경로를 우측 허용 구간(SA2)이 존재하는 경로로 변경하여 우측 허용 구간(SA2)에서 자세 변경을 행하거나, 또는, 반송원이나 반송처의 반송 대상 장소(6)에서 자세 변경이 가능한 경우에는 상기 반송 대상 장소(6)에서 자세 변경을 행한다.
도 7에 나타낸 바와 같이, 좌측 허용 구간(SA1)은 좌방 영역(A1)에 간섭 대상물(97)이 존재하지 않고, 또한 우방 영역(A2)에 간섭 대상물(97)이 존재하는 구간이다. 우측 허용 구간(SA2)은 우방 영역(A2)에 간섭 대상물(97)이 존재하지 않고, 또한 좌방 영역(A1)에 간섭 대상물(97)이 존재하는 구간이다. 양측 허용 구간(SA3)은 좌방 영역(A1) 및 우방 영역(A2)의 양쪽에 간섭 대상물(97)이 존재하지 않는 구간이다. 그리고, 금지 구간(SR)은 좌방 영역(A1) 및 우방 영역(A2)의 양쪽에 간섭 대상물(97)이 존재하는 구간이다.
여기에서, 전술한 「좌방 영역(A1)에 간섭 대상물(97)이 존재함」이란, 본 실시형태에서는, 좌방 영역(A1)의 수용부(22a)로부터 좌측 Y1을 향하여 설정 거리 SD까지의 범위 내에, 간섭 대상물(97)이 존재하는 것을 의미한다. 따라서, 좌방 영역(A1)에 간섭 대상물(97)이 존재하고 있어도, 수용부(22a)로부터 상기 간섭 대상물(97)까지의 거리가 설정 거리 SD보다 큰 경우에는, 허용 구간(SA)을 설정하는 데에는, 「좌방 영역(A1)에 간섭 대상물(97)이 존재하지 않는」것으로 한다.
또한, 마찬가지로, 전술한 「우방 영역(A2)에 간섭 대상물(97)이 존재함」이란, 본 실시형태에서는, 우방 영역(A2)의 수용부(22a)로부터 우측 Y2를 향하여 설정 거리 SD까지의 범위 내에, 간섭 대상물(97)이 존재하는 것을 의미한다. 따라서, 우방 영역(A2)에 간섭 대상물(97)이 존재하고 있어도, 수용부(22a)로부터 상기 간섭 대상물(97)까지의 거리가 설정 거리 SD보다 큰 경우에는, 허용 구간(SA)를 설정하는 데에는, 「우방 영역(A2)에 간섭 대상물(97)이 존재하지 않는」것으로 한다.
그리고, 본 실시형태에서는, 「설정 거리 SD」는, 수용부(22a)에 있어서의 폭 방향 Y의 양단부의 각각을 기준으로 설정된다. 다만, 이것에 한정되지 않고, 「설정 거리 SD」는 물품 반송차(2)의 각 부분, 또는, 이동 경로(R)[레일(98)]를 기준으로 설정되어도 된다. 그리고, 상기의 어느 것을 기준으로 하여 설정하는 경우라도, 「설정 거리 SD」는 물품(W), 수용부(22a) 및 자세 변경 기구(4)의 구성에 따라서 결정되는, 수용부(22a)로부터 외측으로의 물품(W)의 돌출량에 따라서, 적절한 값으로 설정하면 된다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 하위 제어 장치(Hd)는 이동 경로(R) 중에 설정된 좌측 허용 구간(SA1), 우측 허용 구간(SA2) 및 양측 허용 구간(SA3)을 기억한 기억부(Hd2)를 구비하고 있다. 또한, 기억부(Hd2)는 이동 경로(R) 중의 금지 구간(SR)도 기억하고 있다. 구체적으로는, 기억부(Hd2)에는, 물품 반송 설비(1)의 전체의 이동 경로(R)와, 이 이동 경로(R) 상의 위치에 관련지어 설정된, 좌측 허용 구간(SA1), 우측 허용 구간(SA2), 양측 허용 구간(SA3) 및 금지 구간(SR)의 각 구간 정보를 가지는 구간 맵이 기억되어 있다. 그리고, 하위 제어 장치(Hd)는, 기억부(Hd2)에 기억된 각 허용 구간(SA)의 설정 정보에 기초하여, 자세 변경 제어를 실행한다. 본 예에서는, 하위 제어 장치(Hd)는, 기억부(Hd2)에 기억된 금지 구간(SR)의 설정 정보에도 더 기초하여, 자세 변경 제어를 실행한다.
하위 제어 장치(Hd)는 자세 변경 제어를 실행하는 경우에, 물품 반송차(2)가 좌측 허용 구간(SA1) 내에 있는 상태에서는, 좌방 영역(A1) 및 우방 영역(A2) 중 좌방 영역(A1)으로 물품(W)을 돌출시키는 제1 자세 변경 제어를 실행하고, 물품 반송차(2)가 우측 허용 구간(SA2) 내에 있는 상태에서는, 좌방 영역(A1) 및 우방 영역(A2) 중 우방 영역(A2)으로 물품(W)을 돌출시키는 제2 자세 변경 제어를 실행하고, 물품 반송차(2)가 양측 허용 구간(SA3) 내에 있는 상태에서는, 제1 자세 변경 제어, 제2 자세 변경 제어, 또는 제3 자세 변경 제어를 실행한다. 본 실시형태에서는, 하위 제어 장치(Hd)는, 물품 반송차(2)가 금지 구간(SR) 내에 있는 상태에서는, 제1 자세 변경 제어, 제2 자세 변경 제어 및 제3 자세 변경 제어 중 어느 것도 실행하지 않는다.
2. 제2 실시형태
다음에, 물품 반송 설비(1)의 제2 실시형태에 대하여 설명한다. 상기의 제1 실시형태에서는, 자세 변경 제어에 있어서 슬라이드 기구(5)에 의한 물품(W)의 폭 방향 Y의 슬라이드 이동을 행하지 않고, 물품(W)을 선회축(4b) 주위에 선회시키는 것만으로 자세 변경을 행하는 구성의 예에 대하여 설명하였다. 한편, 본 실시형태에서는, 자세 변경 제어에 있어서 슬라이드 기구(5)에 의한 물품(W)의 폭 방향 Y의 슬라이드 이동을 행한다. 이에 의해, 본 실시형태에서는, 물품(W)의 선회 방향으로 제약되지 않고 제1 자세 변경 제어 및 제2 자세 변경 제어를 실행할 수 있는 구성으로 되어 있다. 이하, 본 실시형태에 대하여, 상기의 제1 실시형태와는 상이한 점을 중심으로 설명한다. 특별히 설명하지 않는 점에 대해서는, 상기의 제1 실시형태와 동일하다.
본 실시형태에서는, 하위 제어 장치(Hd)는 제1 자세 변경 제어를 실행하는 경우에, 슬라이드 기구(5)에 의해 좌방 영역(A1) 측(좌측 Y1)으로 물품(W)을 이동시키고, 제2 자세 변경 제어를 실행하는 경우에, 슬라이드 기구(5)에 의해 우방 영역(A2) 측(우측 Y2)으로 물품(W)을 이동시킨다. 즉, 제1 자세 변경 제어에서는, 수용부(22a)의 폭 방향 Y에 있어서의 중앙 위치보다 좌방 영역(A1) 측(좌측 Y1)으로 물품(W)을 이동시킨 상태에서, 물품(W)을 선회축(4b) 주위에 선회시킨다. 이에 의해, 제1 자세 변경 제어를 실행하는 경우에는, 자세 변경 중인 물품(W)을 수용부(22a)로부터 좌방 영역(A1) 측으로 돌출시키고, 수용부(22a)로부터 우방 영역(A2) 측으로 물품(W)이 돌출되지 않거나, 또는 돌출되는 경우라도 그 돌출량을 적게 할 수 있다. 또한, 제2 자세 변경 제어에서는, 수용부(22a)의 폭 방향 Y에 있어서의 중앙 위치보다 우방 영역(A2) 측(우측 Y2)으로 물품(W)을 이동시킨 상태에서, 물품(W)을 선회축(4b) 주위에 선회시킨다. 이에 의해, 제2 자세 변경 제어를 실행하는 경우에는, 자세 변경 중인 물품(W)을 수용부(22a)로부터 우방 영역(A2) 측으로 돌출시키고, 수용부(22a)로부터 좌방 영역(A1) 측으로 물품(W)이 돌출되지 않거나, 또는 돌출되는 경우라도 그 돌출량을 적게 할 수 있다. 제1 자세 변경 제어 및 제2 자세 변경 제어에서의 물품(W)의 선회 방향은, 제1 방향 C1 및 제2 방향 C2의 어느 것이어도 된다. 그리고, 하위 제어 장치(Hd)는, 물품 반송차(2)가 좌측 허용 구간(SA1) 내에 있는 상태에서는, 물품(W)의 선회 방향에 관계없이 제1 자세 변경 제어를 실행하고, 물품 반송차(2)가 우측 허용 구간(SA2) 내에 있는 상태에서는, 물품(W)의 선회 방향에 관계없이 제2 자세 변경 제어를 실행한다.
본 실시형태에서는, 제1 자세 변경 제어를 실행하는 경우에, 자세 변경 중에 물품(W)이 수용부(22a)로부터 우방 영역(A2)으로 돌출되지 않도록(돌출량이 제로로 되도록), 슬라이드 기구(5)에 의한 폭 방향 Y의 이동량을 제어한다. 그리고, 제2 자세 변경 제어를 실행하는 경우에, 자세 변경 중에 물품(W)이 수용부(22a)로부터 좌방 영역(A1)으로 돌출되지 않도록(돌출량이 제로로 되도록), 슬라이드 기구(5)에 의한 슬라이드량을 제어한다. 그리고, 본 실시형태에서는, 선회축(4b)이 수용부(22a)의 폭 방향 Y에 있어서의 중앙 위치에 있는 상태를 기준 상태로 하고, 상기 중앙 위치를 기준 위치로서 설명한다. 구체적으로는, 도 8에 나타낸 바와 같이, 하위 제어 장치(Hd)는 제1 자세 변경 제어를 실행하는 경우에, 선회축(4b) 주위의 물품(W)의 선회 궤적의 외측 에지(Wc)가 수용부(22a)와 우방 영역(A2)의 경계부(B)를 통하는 위치로 되도록, 슬라이드 기구(5)(도 3 등 참조)에 의해 물품(W)을 폭 방향 Y로 이동시킨다. 이에 의해, 제1 자세 변경 제어의 실행에, 물품(W)이 수용부(22a)로부터 우방 영역(A2)의 측으로 돌출되지 않게 할 수 있다. 따라서, 우방 영역(A2)에 존재하는 간섭 대상물(97)과 물품(W)이 간섭하는 것을 확실성 높게 방지할 수 있다. 도시한 예에서는, 하위 제어 장치(Hd)는 제1 자세 변경 제어를 실행하는 경우에, 슬라이드 기구(5)에 의해, 폭 방향 Y에 있어서의 좌측 Y1로 선회축(4b)을 이동시킨다. 구체적으로는, 선회축(4b)이 기준 위치에 있는 상태에서 물품(W)을 선회시켰다고 가정한 경우의 우방 영역(A2)으로의 물품(W)의 최대 돌출량에 상당하는 거리만큼, 선회축(4b)을 기준 위치에 대하여 좌측 Y1로 이동시킨다. 이 때의 선회축(4b)의 이동량은, 물품(W)의 크기나 형상, 물품(W)의 선회 방향, 수용부(22a)의 크기나 형상 및 자세 변경 기구(4)의 구성 등의 관계에서, 적절히 설정되면 된다. 그리고, 상기와 같은 구성에 한정되지 않고, 제1 자세 변경 제어를 실행하는 경우에, 물품(W)의 선회 궤적의 외측 에지(Wc)가 경계부(B)보다 좌측 Y1을 통하는 위치로 되도록, 슬라이드 기구(5)에 의한 폭 방향 Y의 이동량을 설정해도 된다. 이 경우, 물품(W)의 선회 방향에 관계없이, 선회축(4b)을 폭 방향 Y로 이동시키는 이동량을 일정하게 할 수 있다. 또는, 크기나 형상이 상이한 복수 종류의 물품(W)을 반송하는 경우에도, 선회축(4b)을 폭 방향 Y로 이동시키는 이동량을 일정하게 할 수 있다.
또한, 하위 제어 장치(Hd)는 제2 자세 변경 제어를 실행하는 경우에, 선회축(4b) 주위의 물품(W)의 선회 궤적의 외측 에지(Wc)가 수용부(22a)와 좌방 영역(A1)의 경계부(B)를 통하는 위치로 되도록, 슬라이드 기구(5)에 의해 물품(W)을 폭 방향 Y로 이동시킨다. 이에 의해, 제2 자세 변경 제어의 실행에, 물품(W)이 수용부(22a)로부터 좌방 영역(A1)의 측으로 돌출되지 않게 할 수 있다. 따라서, 좌방 영역(A1)에 존재하는 간섭 대상물(97)과 물품(W)이 간섭하는 것을 확실성 높게 방지할 수 있다. 도시한 예에서는, 하위 제어 장치(Hd)는 제2 자세 변경 제어를 실행하는 경우에, 슬라이드 기구(5)에 의해, 폭 방향 Y에 있어서의 우측 Y2로 선회축(4b)을 이동시킨다. 구체적으로는, 선회축(4b)이 기준 위치에 있는 상태에서 물품(W)을 선회시켰다고 가정한 경우의 좌방 영역(A1)으로의 물품(W)의 최대 돌출량에 상당하는 거리만큼, 선회축(4b)을 기준 위치에 대하여 우측 Y2로 이동시킨다. 이 제2 자세 변경 제어에서의 선회축(4b)의 이동량의 설정 방법은, 상기 제1 자세 변경 제어와 동일하게 할 수 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 하위 제어 장치(Hd)는 제3 자세 변경 제어를 실행하는 경우에, 물품(W)을 폭 방향 Y로 이동시키지 않고 선회축(4b) 주위에 선회시켜, 좌방 영역(A1) 및 우방 영역(A2)의 양쪽으로 돌출시킨다. 제3 자세 변경 제어를 실행하는 경우에도, 제1 자세 변경 제어 및 제2 자세 변경 제어를 실행하는 경우와 마찬가지로, 물품(W)을 선회시키는 선회 방향은 제1 방향 C1 및 제2 방향 C2 중 어느 것이어도 된다. 또한, 본 실시형태에서는, 물품(W)의 선회 각도와는 관계없이 제3 자세 변경 제어를 실행한다. 즉, 하위 제어 장치(Hd)는, 물품 반송차(2)가 양측 허용 구간(SA3) 내에 있는 상태에서는, 물품(W)의 선회 방향에 관계없이 제3 자세 변경 제어를 실행한다. 이에 의해, 슬라이드 기구(5)에 의한 물품(W)의 폭 방향 Y로의 이동 동작을 생략할 수 있으므로, 물품(W)의 자세 변경의 개시로부터 완료까지의 시간을 단축할 수 있다. 그리고, 본 실시형태에 있어서도, 물품 반송차(2)가 양측 허용 구간(SA3) 내에 있는 상태에서, 제3 자세 변경 제어가 아니고, 제1 자세 변경 제어 또는 제2 자세 변경 제어를 실행하는 구성으로 해도 된다.
상기한 바와 같이, 본 실시형태의 구성에 의하면, 제1 자세 변경 제어 및 제2 자세 변경 제어 중 어느 것이어도, 물품(W)의 선회 방향에 관계없이 실행할 수 있다. 따라서, 반송원의 반송 대상 장소(6)로부터 반송처의 반송 대상 장소(6)까지의 경로 중에, 좌측 허용 구간(SA1)만이 존재하는 경우에는, 하위 제어 장치(Hd)는 원하는 선회 방향으로 제1 자세 변경 제어를 실행하고, 우측 허용 구간(SA2)만이 존재하는 경우에는, 하위 제어 장치(Hd)는 원하는 선회 방향으로 제2 자세 변경 제어를 실행한다. 그리고, 반송원의 반송 대상 장소(6)로부터 반송처의 반송 대상 장소(6)까지의 경로에 따라서는, 도중에 허용 구간(SA)이 전혀 존재하지 않는 경우도 있을 수 있다. 이 경우에는, 하위 제어 장치(Hd)는, 물품 반송차(2)의 경로를 허용 구간(SA)이 존재하는 경로로 변경하여 상기 허용 구간(SA)로 자세 변경을 행하거나, 또는 반송원 또는 반송처의 반송 대상 장소(6)로 자세 변경이 가능한 경우에는 상기 반송 대상 장소(6)로 자세 변경을 행한다.
3. 기타의 실시형태
다음에, 물품 반송 설비의 기타의 실시형태에 대하여 설명한다.
(1) 상기의 실시형태에서는, 물품(W)의 플랜지부(Wa)가, 물품(W)의 상면에 있어서의 중심 위치보다 개구부(Wb)에 가까운 위치에 배치되어 있는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 이와 같은 예에 한정되지 않고, 플랜지부(Wa)는 물품(W)의 상면에 있어서의 어느 위치에 배치되어 있어도 된다. 예를 들면, 플랜지부(Wa)는 물품(W)의 상면에 있어서의 중심 위치에 배치되어 있어도 되고, 상기 중심 위치보다 개구부(Wb)로부터 먼 위치에 배치되어 있어도 된다.
(2) 상기의 제1 실시형태에서는, 제어 장치(H)는, 제1 자세 변경 제어로서 물품(W)을 제1 방향 C1로 선회시키고, 제2 자세 변경 제어로서 물품(W)을 제2 방향 C2로 선회시키는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 이와 같은 예에 한정되지 않고, 물품(W), 수용부(22a) 및 자세 변경 기구(4) 등의 각 조건에 따라서, 자세 변경 제어를 실행할 때의 물품(W)의 선회 방향을 설정할 수 있다. 예를 들면, 도 5에서는, 파지 기구(3G)에 의해 파지되는 플랜지부(Wa)가, 물품(W)의 상면에 있어서의 중심 위치보다 개구부(Wb)에 가까운 위치에 배치되어 있는 구성을 나타내었다. 그러나, 플랜지부(Wa)가 물품(W)의 상면에 있어서의 중심 위치보다 개구부(Wb)로부터 먼 위치에 배치되어 있는 경우, 제1 자세 변경 제어는 물품(W)을 제2 방향 C2로 선회시켜 좌방 영역(A1)으로 돌출시키도록 실행된다. 반대로, 제2 자세 변경 제어는 물품(W)을 제1 방향 C1로 선회시켜 우방 영역(A2)으로 돌출시키도록 실행된다.
(3) 상기의 실시형태에서는, 제어 장치(H)는 기억부(Hd2)에 기억된 각 허용 구간(SA)의 설정 정보에 기초하여, 자세 변경 제어를 실행하는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 이와 같은 예에 한정되지 않고, 제어 장치(H)는 물품 반송차(2)가 이동 경로(R)를 주행하고 있을 때, 장해물 센서의 검출 정보 등에 기초하여 허용 구간(SA)의 판정을 행하고, 그 판정 결과에 기초하여 어느 하나의 자세 변경 제어를 실행하는 구성이어도 된다.
(4) 상기의 실시형태에서는, 레일(98)[이동 경로(R)]에 대하여 평면에서 볼 때 중복되는 위치에 수수부(6b)[반송 대상 장소(6)]가 배치되고, 물품 반송차(2)는 이 수수부(6b)와의 사이에서 물품(W)을 이송탑재하도록 구성되어 있는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 이와 같은 예에 한정되지 않고, 수수부(6b)는 레일(98)에 대하여 폭 방향 Y로 벗어난 위치에 배치되어 있어도 된다. 이 경우, 이송탑재 기구(3)는, 물품(W)을 폭 방향 Y를 따라 이동시켜 레일(98)에 대하여 폭 방향 Y로 돌출되도록 파지 기구(3G) 및 승강 기구(3H)를 이동시키는 이송탑재용 슬라이드 기구를 구비하여 구성된다. 이송탑재용 슬라이드 기구에 의해, 평면에서 볼 때 수수부(6b)와 중복되는 위치에 파지 기구(3G) 및 승강 기구(3H)를 배치하는 것에 의해, 레일(98)에 대하여 폭 방향 Y로 벗어난 위치에 배치된 수수부(6b)와의 사이에서 물품(W)을 이송탑재하는 것이 가능해진다. 그리고, 이 경우, 이송탑재용 슬라이드 기구는, 상기 제2 실시형태에서의 자세 변경 제어 시에 물품(W)을 폭 방향 Y로 이동시키는 폭 방향 이동 기구[슬라이드 기구(5)]와 겸용되고 있으면 호적하다.
(5) 상기의 각 실시형태에서는, 하위 제어 장치(Hd)가 제1 자세 변경 제어 및 제2 자세 변경 제어에 더하여, 제3 자세 변경 제어를 실행하는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 이와 같은 예에 한정되지 않고, 하위 제어 장치(Hd)는 제3 자세 변경 제어를 실행하지 않고, 자세 변경 제어로서, 제1 자세 변경 제어 및 제2 자세 변경 제어 중 어느 하나를 선택하여 실행하도록 구성되어 있어도 된다. 예를 들면, 상기의 제1 실시형태와 마찬가지로 자세 변경 제어에 있어서 물품(W)의 폭 방향 Y의 슬라이드 이동을 행하지 않는 구성으로서, 물품(W)이, 선회축(4b) 주위의 선회 중에 수용부(22a)에 대하여 폭 방향 Y의 어느 한쪽밖에 돌출되지 않고, 또한, 물품(W)의 선회 각도가 180° 이하인 경우 등에는, 제3 자세 변경 제어는 존재하지 않는다. 또한, 상기의 제2 실시형태에 있어서, 양측 허용 구간(SA3)에 있어서도 제3 자세 변경 제어가 아니고, 제1 자세 변경 제어 및 제2 자세 변경 제어 중 어느 하나를 실행하도록 구성해도 된다.
(6) 그리고, 전술한 각 실시형태에서 개시된 구성은 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태에서 개시된 구성과 조합하여 적용하는 것도 가능하다. 그 외의 구성에 관해서도, 본 명세서에서 개시된 실시형태는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않는다. 따라서, 본 개시의 취지를 벗어나지 않는 범위 내에서, 적절하게 각종 개변을 행할 수 있다.
4. 상기 실시형태의 개요
이하, 상기에 있어서 설명한 물품 반송 설비의 개요에 대하여 설명한다.
복수의 반송 대상 장소의 사이에서 이동 경로를 따라 이동하여 물품을 반송하는 물품 반송차와, 상기 물품 반송차를 제어하는 제어 장치를 포함한 물품 반송 설비로서, 상기 물품 반송차는 상기 물품을 수용하는 수용부와, 상기 물품의 자세를 변경하는 자세 변경 기구를 구비하고, 상기 이동 경로에서의 상기 물품 반송차의 진행 방향을 기준으로 하여, 상기 수용부에 대하여 좌측의 영역을 좌방 영역, 상기 수용부에 대하여 우측의 영역을 우방 영역으로 하고, 상기 자세 변경 기구에 의한 상기 물품의 자세 변경 중에 상기 물품이 상기 수용부로부터 외측으로 돌출되도록, 상기 수용부 및 상기 자세 변경 기구가 구성되고, 상기 수용부로부터 외측으로의 상기 물품의 돌출을 상기 좌방 영역에서 허용하는 좌측 허용 구간과, 상기 우방 영역에서 허용하는 우측 허용 구간과, 상기 좌방 영역 및 상기 우방 영역의 양쪽에서 허용하는 양측 허용 구간이 상기 이동 경로 중에 설정되고, 상기 제어 장치는, 상기 자세 변경 기구에 의해 상기 물품의 자세를 변경하는 자세 변경 제어를 실행하는 경우에, 상기 물품 반송차가 상기 좌측 허용 구간 내에 있는 상태에서는, 상기 좌방 영역 및 상기 우방 영역 중 상기 좌방 영역에 상기 물품을 돌출시키는 제1 자세 변경 제어를 실행하고, 상기 물품 반송차가 상기 우측 허용 구간 내에 있는 상태에서는, 상기 좌방 영역 및 상기 우방 영역 중 상기 우방 영역으로 상기 물품을 돌출시키는 제2 자세 변경 제어를 실행하고, 상기 물품 반송차가 상기 양측 허용 구간 내에 있는 상태에서는, 상기 제1 자세 변경 제어, 상기 제2 자세 변경 제어, 또는, 상기 좌방 영역 및 상기 우방 영역의 양쪽으로 상기 물품을 돌출시키는 제3 자세 변경 제어를 실행한다.
본 구성에 의하면, 자세 변경 기구에 의해 물품의 자세를 변경하는 경우에, 이동 경로 중에 설정된 좌측 허용 구간, 우측 허용 구간 및 양측 허용 구간에 따라서, 각 허용 구간에서의 물품의 돌출이 허용되고 있는 측의 영역으로 물품을 돌출시켜, 물품의 자세 변경을 행하게 할 수 있다. 이에 의해, 물품의 돌출이 허용되고 있는 영역 이외의 영역으로의 물품의 돌출을 없애거나, 또는 물품의 돌출량을 적게 할 수 있다. 그 결과, 자세 변경 중인 물품이 간섭 대상물에 간섭하는 것을 억제할 수 있다. 또한, 이와 같은 허용 구간을 이동 경로 중에 설치함으로써, 예를 들면, 물품과 간섭 대상물의 간섭을 회피하기 위해 설비 전체에 있어서 이동 경로의 주위 공간을 넓게 확보할 필요도 없고, 설비의 대형화 억제도 도모할 수 있다.
여기에서, 상기 자세 변경 기구는, 연직 방향을 따르는 선회축 주위에 상기 물품을 선회시켜 이 물품의 자세를 변경하도록 구성되고, 상기 선회축 주위의 제1 방향으로 상기 물품을 선회시켰을 경우에 상기 물품이 상기 좌방 영역으로 돌출되고, 상기 선회축 주위의 상기 제1 방향과는 역방향인 제2 방향으로 상기 물품을 선회시켰을 경우에 상기 물품이 상기 우방 영역으로 돌출되도록, 상기 수용부 및 상기 자세 변경 기구가 구성되며, 상기 제어 장치는, 상기 제1 자세 변경 제어로서 상기 물품을 상기 제1 방향으로 선회시키고, 상기 제2 자세 변경 제어로서 상기 물품을 상기 제2 방향으로 선회시키면 호적하다.
본 구성에 의하면, 간이한 구성으로 물품의 자세 변경을 행할 수 있다. 그리고, 제1 자세 변경 제어에서는 물품을 제1 방향으로 선회시킴으로써, 이 물품을 좌방 영역으로 돌출시켜 자세 변경시킬 수 있고, 그 결과, 우방 영역으로의 물품의 돌출을 없애거나 또는 물품의 돌출량을 적게 할 수 있다. 또한, 제2 자세 변경 제어에서는, 물품을 제2 방향으로 선회시킴으로써, 이 물품을 우방 영역으로 돌출시켜 자세 변경시킬 수 있고, 그 결과, 좌방 영역으로의 물품의 돌출을 없애거나 또는 물품의 돌출량을 적게 할 수 있다.
또한, 상기 물품 반송차의 진행 방향으로 직교하는 방향을 폭 방향으로서, 상기 물품 반송차는, 상기 물품을 상기 폭 방향으로 이동시키는 폭 방향 이동 기구를 더 구비하고, 상기 제어 장치는, 상기 제1 자세 변경 제어를 실행하는 경우에, 상기 폭 방향 이동 기구에 의해 상기 폭 방향에 있어서의 상기 좌방 영역 측으로 상기 물품을 이동시키고, 상기 제2 자세 변경 제어를 실행하는 경우에, 상기 폭 방향 이동 기구에 의해 상기 폭 방향에 있어서의 상기 우방 영역 측으로 상기 물품을 이동시키면 호적하다.
본 구성에 의하면, 제1 자세 변경 제어를 행하는 경우에, 물품의 돌출이 허용되고 있는 좌방 영역의 측으로 이 물품을 이동시키기 위해, 우방 영역으로 물품이 돌출될 가능성을 더 적게 할 수 있다. 마찬가지로, 제2 자세 변경 제어를 행하는 경우에, 물품의 돌출이 허용되고 있는 우방 영역의 측으로 상기 물품을 이동시키기 위해, 좌방 영역으로 물품이 돌출될 가능성을 더욱 적게 할 수 있다.
또한, 상기 자세 변경 기구는, 연직 방향을 따르는 선회축 주위에 상기 물품을 선회시켜 상기 물품의 자세를 변경하도록 구성되고, 상기 제어 장치는, 상기 제1 자세 변경 제어를 실행하는 경우에, 상기 선회축 주위의 상기 물품의 선회 궤적의 외측 에지가 상기 수용부와 상기 우방 영역의 경계부를 통하는 위치로 되도록, 상기 폭 방향 이동 기구에 의해 상기 물품을 상기 폭 방향으로 이동시키고, 상기 제2 자세 변경 제어를 실행하는 경우에, 상기 선회축 주위의 상기 물품의 선회 궤적의 외측 에지가 상기 수용부와 상기 좌방 영역의 경계부를 통하는 위치로 되도록, 상기 폭 방향 이동 기구에 의해 상기 물품을 상기 폭 방향으로 이동시키면 호적하다.
본 구성에 의하면, 제1 자세 변경 제어에서는, 물품의 선회 궤적의 외측 에지가 우방 영역으로 돌출되지 않게 하면서, 물품의 폭 방향의 이동 거리를 최소한으로 억제할 수 있다. 또한, 제2 자세 변경 제어에서는, 물품의 선회 궤적의 외측 에지가 좌방 영역으로 돌출되지 않게 하면서, 물품의 폭 방향의 이동 거리를 최소한으로 억제할 수 있다. 이에 의해, 효율적인 자세 변경 제어의 실행을 도모하는 것이 가능해진다.
또한, 상기 제어 장치는, 상기 이동 경로 중에 설정된 상기 좌측 허용 구간, 상기 우측 허용 구간 및 상기 양측 허용 구간을 기억한 기억부를 더 구비하고, 상기 제어 장치는, 상기 기억부에 기억된 각 허용 구간의 설정 정보에 기초하여, 상기 자세 변경 제어를 실행하면 호적하다.
본 구성에 의하면, 간이한 제어 구성에 의해 각 허용 구간에 따른 자세 변경 제어를 적절하게 실행하는 것이 가능해진다.
본 개시에 관한 기술은, 복수의 반송 대상 장소의 사이에서 이동 경로를 따라 이동하여 물품을 반송하는 물품 반송차를 포함한 물품 반송 설비에 이용할 수 있다.
1 : 물품 반송 설비
2 : 물품 반송차
4 : 자세 변경 기구
4b : 선회축
5 : 슬라이드 기구(폭 방향 이동 기구)
6 : 반송 대상 장소
22a : 수용부
97 : 간섭 대상물
A1 : 좌방 영역
A2 : 우방 영역
B : 경계부
C1 : 제1 방향
C2 : 제2 방향
H : 제어 장치
Hu : 상위 제어 장치
Hd : 하위 제어 장치
Hd2 : 기억부
R : 이동 경로
SA : 허용 구간
SA1 : 좌측 허용 구간
SA2 : 우측 허용 구간
SA3 : 양측 허용 구간
W : 물품
Wb : 개구부
Wc : 물품의 선회 궤적의 외측 에지
X : 진행 방향
Y : 폭 방향
Y1 : 좌측
Y2 : 우측
Z : 연직 방향

Claims (5)

  1. 복수의 반송(搬送) 대상 장소의 사이에서 이동 경로를 따라 이동하여 물품을 반송하는 물품 반송차; 및
    상기 물품 반송차를 제어하는 제어 장치;
    를 포함하고,
    상기 물품 반송차는, 상기 물품을 수용하는 수용부와, 상기 물품의 자세를 변경하는 자세 변경 기구를 구비하고,
    상기 이동 경로에 있어서의 상기 물품 반송차의 진행 방향을 기준으로 하여, 상기 수용부에 대하여 좌측의 영역을 좌방 영역, 상기 수용부에 대하여 우측의 영역을 우방 영역으로 하고,
    상기 자세 변경 기구에 의한 상기 물품의 자세 변경 중에 상기 물품이 상기 수용부로부터 외측으로 돌출되도록, 상기 수용부 및 상기 자세 변경 기구가 구성되며,
    상기 수용부로부터 외측으로의 상기 물품의 돌출을, 상기 좌방 영역에서 허용하는 좌측 허용 구간; 상기 우방 영역에서 허용하는 우측 허용 구간; 및 상기 좌방 영역 및 상기 우방 영역의 양쪽에서 허용하는 양측 허용 구간;이 상기 이동 경로 중에 설정되고,
    상기 제어 장치는, 상기 자세 변경 기구에 의해 상기 물품의 자세를 변경하는 자세 변경 제어를 실행하는 경우에, 상기 물품 반송차가 상기 좌측 허용 구간 내에 있는 상태에서는, 상기 좌방 영역 및 상기 우방 영역 중 상기 좌방 영역에 상기 물품을 돌출시키는 제1 자세 변경 제어를 실행하고, 상기 물품 반송차가 상기 우측 허용 구간 내에 있는 상태에서는, 상기 좌방 영역 및 상기 우방 영역 중 상기 우방 영역에 상기 물품을 돌출시키는 제2 자세 변경 제어를 실행하고, 상기 물품 반송차가 상기 양측 허용 구간 내에 있는 상태에서는, 상기 제1 자세 변경 제어, 상기 제2 자세 변경 제어, 또는, 상기 좌방 영역 및 상기 우방 영역의 양쪽에 상기 물품을 돌출시키는 제3 자세 변경 제어를 실행하는,
    물품 반송 설비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 자세 변경 기구는, 연직 방향을 따르는 선회축 주위에 상기 물품을 선회시켜 상기 물품의 자세를 변경하도록 구성되고,
    상기 선회축 주위의 제1 방향으로 상기 물품을 선회시켰을 경우에 상기 물품이 상기 좌방 영역으로 돌출되고, 상기 선회축 주위의 상기 제1 방향과는 역방향인 제2 방향으로 상기 물품을 선회시켰을 경우에 상기 물품이 상기 우방 영역으로 돌출되도록, 상기 수용부 및 상기 자세 변경 기구가 구성되며,
    상기 제어 장치는, 상기 제1 자세 변경 제어로서 상기 물품을 상기 제1 방향으로 선회시켜, 상기 제2 자세 변경 제어로서 상기 물품을 상기 제2 방향으로 선회시키는, 물품 반송 설비.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 물품 반송차의 진행 방향에 직교하는 방향을 폭 방향으로 하여,
    상기 물품 반송차는, 상기 물품을 상기 폭 방향으로 이동시키는 폭 방향 이동 기구를 더 구비하고,
    상기 제어 장치는, 상기 제1 자세 변경 제어를 실행하는 경우에, 상기 폭 방향 이동 기구에 의해 상기 폭 방향에 있어서의 상기 좌방 영역 측으로 상기 물품을 이동시키고, 상기 제2 자세 변경 제어를 실행하는 경우에, 상기 폭 방향 이동 기구에 의해 상기 폭 방향에 있어서의 상기 우방 영역 측으로 상기 물품을 이동시키는, 물품 반송 설비.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 자세 변경 기구는, 연직 방향을 따르는 선회축 주위에 상기 물품을 선회시켜 상기 물품의 자세를 변경하도록 구성되고,
    상기 제어 장치는, 상기 제1 자세 변경 제어를 실행하는 경우에, 상기 선회축 주위의 상기 물품의 선회 궤적의 외측 에지가 상기 수용부와 상기 우방 영역의 경계부를 통하는 위치로 되도록, 상기 폭 방향 이동 기구에 의해 상기 물품을 상기 폭 방향으로 이동시키고, 상기 제2 자세 변경 제어를 실행하는 경우에, 상기 선회축 주위의 상기 물품의 선회 궤적의 외측 에지가 상기 수용부와 상기 좌방 영역의 경계부를 통하는 위치로 되도록, 상기 폭 방향 이동 기구에 의해 상기 물품을 상기 폭 방향으로 이동시키는, 물품 반송 설비.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제어 장치는, 상기 이동 경로 중에 설정된 상기 좌측 허용 구간, 상기 우측 허용 구간, 및 상기 양측 허용 구간을 기억한 기억부를 더 구비하고,
    상기 제어 장치는, 상기 기억부에 기억된 각 허용 구간의 설정 정보에 기초하여, 상기 자세 변경 제어를 실행하는, 물품 반송 설비.
KR1020190030045A 2018-03-22 2019-03-15 물품 반송 설비 Active KR102525864B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018055282A JP6919610B2 (ja) 2018-03-22 2018-03-22 物品搬送設備
JPJP-P-2018-055282 2018-03-22

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20190111785A true KR20190111785A (ko) 2019-10-02
KR102525864B1 KR102525864B1 (ko) 2023-04-25

Family

ID=68026447

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190030045A Active KR102525864B1 (ko) 2018-03-22 2019-03-15 물품 반송 설비

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP6919610B2 (ko)
KR (1) KR102525864B1 (ko)
CN (1) CN110294415B (ko)
TW (1) TWI772620B (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7238733B2 (ja) * 2019-11-07 2023-03-14 株式会社ダイフク 物品搬送設備

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001187606A (ja) * 1999-12-28 2001-07-10 Murata Mach Ltd 無人搬送車
KR20120134034A (ko) * 2011-05-31 2012-12-11 가부시키가이샤 다이후쿠 물품 반송 설비
KR20170076591A (ko) * 2015-12-24 2017-07-04 가부시키가이샤 다이후쿠 물품 반송 설비

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002053039A (ja) * 2000-08-08 2002-02-19 Toyota Industries Corp 搬送車
KR100479494B1 (ko) * 2002-09-18 2005-03-30 삼성전자주식회사 기판 반송 로봇
US8192137B2 (en) * 2004-05-03 2012-06-05 Jervis B. Webb Company Automatic transport loading system and method
JP2007276958A (ja) * 2006-04-07 2007-10-25 Murata Mach Ltd 搬送車、搬送車システム、搬送車とステーションとの間の物品移載方法
JP4849331B2 (ja) * 2006-11-14 2012-01-11 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP4321631B2 (ja) * 2007-07-05 2009-08-26 村田機械株式会社 搬送システム、搬送方法および搬送車
CN101569988B (zh) * 2009-04-16 2011-06-08 上海汉虹精密机械有限公司 晶棒装卸装置
JP5756032B2 (ja) * 2012-01-24 2015-07-29 株式会社安川電機 ロボットシステム
KR101407417B1 (ko) * 2012-07-24 2014-06-18 주식회사 에스에프에이 반송 시스템
CN102795442A (zh) * 2012-09-06 2012-11-28 深圳市华星光电技术有限公司 一种自动化物料搬运系统
KR20150130850A (ko) * 2014-05-14 2015-11-24 삼성전자주식회사 오퍼헤드 호이스트 트랜스퍼 시스템 및 이를 채택하는 공장 시스템
JP6358142B2 (ja) * 2015-03-26 2018-07-18 株式会社ダイフク 物品搬送設備
CN105666486A (zh) * 2016-04-22 2016-06-15 广东凯宝机器人科技有限公司 多轴水平关节智能机器人
CN107472786B (zh) * 2017-08-08 2019-01-18 深圳普智联科机器人技术有限公司 一种双层agv车及其驱动方法和机器人搬运系统

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001187606A (ja) * 1999-12-28 2001-07-10 Murata Mach Ltd 無人搬送車
KR20120134034A (ko) * 2011-05-31 2012-12-11 가부시키가이샤 다이후쿠 물품 반송 설비
JP2012253070A (ja) 2011-05-31 2012-12-20 Daifuku Co Ltd 物品搬送設備
KR20170076591A (ko) * 2015-12-24 2017-07-04 가부시키가이샤 다이후쿠 물품 반송 설비

Also Published As

Publication number Publication date
TWI772620B (zh) 2022-08-01
TW201941345A (zh) 2019-10-16
CN110294415B (zh) 2022-08-26
CN110294415A (zh) 2019-10-01
KR102525864B1 (ko) 2023-04-25
JP6919610B2 (ja) 2021-08-18
JP2019169566A (ja) 2019-10-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102279602B1 (ko) 물품 반송 설비
US11530120B2 (en) Transport vehicle and transport facility
JP6314713B2 (ja) 階間搬送設備
KR102463268B1 (ko) 물품 반송 설비, 및 물품 반송차
KR20230004691A (ko) 천장 반송차 및 천장 반송 시스템
KR20180123979A (ko) 물품 반송 설비
JP6809062B2 (ja) 物品搬送設備
JP7238733B2 (ja) 物品搬送設備
EP4177187A1 (en) Transfer device
KR20190111785A (ko) 물품 반송 설비
TWI829780B (zh) 容置系統
KR102390054B1 (ko) 용기 수납 설비
CN111741911B (zh) 搬运装置
JP7485149B2 (ja) トレイ及び搬送設備
JP7323059B2 (ja) 搬送車システム
EP4089036A1 (en) Article storage facility
JP7238859B2 (ja) 物品搬送車
KR102794364B1 (ko) 물품 반송차
US20230322503A1 (en) Inter-Container Transfer Apparatus and Inter-Container Transfer Method
TW202200468A (zh) 物品搬送車

Legal Events

Date Code Title Description
PA0109 Patent application

Patent event code: PA01091R01D

Comment text: Patent Application

Patent event date: 20190315

PG1501 Laying open of application
A201 Request for examination
PA0201 Request for examination

Patent event code: PA02012R01D

Patent event date: 20210802

Comment text: Request for Examination of Application

Patent event code: PA02011R01I

Patent event date: 20190315

Comment text: Patent Application

E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event date: 20221122

Patent event code: PE09021S01D

E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

Patent event code: PE07011S01D

Comment text: Decision to Grant Registration

Patent event date: 20230208

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

Comment text: Registration of Establishment

Patent event date: 20230421

Patent event code: PR07011E01D

PR1002 Payment of registration fee

Payment date: 20230421

End annual number: 3

Start annual number: 1

PG1601 Publication of registration