KR20180099480A - 임프린트 장치, 임프린트 방법, 기록 매체, 및 물품 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2는, 위치 정렬의 제어 블록도이다.
도 3은, 종래의 제어계의 전달 함수의 주파수 특성을 도시하는 보드 선도이다.
도 4는, 제1 실시예에 관한 제어계의 전달 함수의 주파수 특성을 도시하는 보드 선도이다.
도 5는, 도 2의 제어계 개루프 전달 함수와 폐루프 전달 함수의 보드 선도이다.
도 6은, 제1 실시예에 관한 피드백 제어의 공정을 도시하는 흐름도이다.
도 7은, 제2 실시예에 관한 임프린트 장치의 구성을 도시하는 도면이다.
도 8은, 제1 실시예에 관한 피드백 제어의 공정을 도시하는 흐름도이다.
Claims (8)
- 형을 기판 상의 임프린트재에 접촉시켜서 기판 상에 패턴을 제공하는 임프린트 장치로서,
상기 형과 상기 기판 간의 정렬을 위한 방향에 있어서의 상대 위치를 계측하는 계측부;
상기 형을 보유 지지하는 형 보유 지지부;
상기 기판을 보유 지지하여 이동 가능한 기판 보유 지지부; 및
상기 기판 보유 지지부의 이동을 제어하는 제어부를 포함하며,
상기 제어부는, 상기 임프린트재에 상기 형을 접촉시킨 상태에서 상기 계측부에 의해 얻어진 상기 상대 위치와, 상기 방향에 있어서의 상기 상태에서의 상기 형 보유 지지부의 가속도에 기초하여, 상기 상대 위치가 목표값으로 되도록 상기 기판 보유 지지부의 이동 제어를 행하는 임프린트 장치. - 제1항에 있어서,
상기 제어부는, 상기 형 보유 지지부의 상기 가속도에 상기 기판 보유 지지부의 가속도가 근접하도록 상기 제어를 행하는 임프린트 장치. - 제2항에 있어서,
상기 형 보유 지지부의 상기 가속도를 계측하는 센서를 더 포함하는 임프린트 장치. - 제1항에 있어서,
상기 제어부는, 상기 계측부에 의해 얻어진 상기 상대 위치에 기초하여 상기 형 보유 지지부의 상기 가속도를 얻는 임프린트 장치. - 형을 기판 상의 임프린트재에 접촉시켜서 기판 상에 패턴을 제공하는 임프린트 방법으로서,
상기 형과 상기 기판 간의 정렬을 위한 방향에 있어서의 상대 위치의 목표값을 설정하고;
상기 임프린트재에 상기 형을 접촉시킨 상태에서의 상기 상대 위치를 계측하고;
상기 형을 보유 지지하는 형 보유 지지부의 상기 방향에 있어서의 상기 상태에서의 가속도를 얻고, 상기 상대 위치가 상기 목표값으로 되도록, 상기 상대 위치와 상기 가속도에 기초하여, 어긋남양이 작아지게, 상기 기판 보유 지지부의 이동을 제어하는 임프린트 방법. - 컴퓨터가 임프린트 방법을 실행할 수 있게 하는 컴퓨터 프로그램이 저장된 비일시적 기억 매체이며,
상기 임프린트 방법이,
상기 형과 상기 기판 간의 정렬을 위한 방향에 있어서의 상대 위치의 목표값을 설정하고;
상기 임프린트재에 상기 형을 접촉시킨 상태에서의 상기 상대 위치를 계측하고;
상기 형을 보유 지지하는 형 보유 지지부의 상기 방향에 있어서의 상기 상태에서의 가속도를 얻고, 상기 상대 위치가 상기 목표값으로 되도록, 상기 상대 위치와 상기 가속도에 기초하여, 어긋남양이 작아지도록, 상기 기판 보유 지지부의 이동을 제어하는 비일시적 기억 매체. - 형과 기판 상의 임프린트재를 접촉시켜 기판 상에 패턴을 제공하는 임프린트 장치를 사용하는 물품 제조 방법이며,
상기 임프린트 장치가,
상기 형과 상기 기판 간의 정렬을 위한 방향에 있어서의 상대 위치를 계측하는 계측부;
상기 형을 보유 지지하는 형 보유 지지부;
상기 기판을 보유 지지하여 이동 가능한 기판 보유 지지부; 및
상기 기판 보유 지지부의 이동을 제어하는 제어부를 포함하며,
상기 제어부는, 상기 임프린트재에 상기 형을 접촉시킨 상태에서 상기 계측부에 의해 얻어진 상기 상대 위치와, 상기 방향에 있어서의 상기 상태에서의 상기 형 보유 지지부의 가속도에 기초하여, 상기 상대 위치가 목표값으로 되도록 상기 기판 보유 지지부의 이동 제어를 행하고,
상기 물품 제조 방법은,
상기 임프린트 장치를 사용하여 상기 기판 상에 상기 패턴을 형성하고;
상기 패턴이 형성된 상기 기판의 가공을 행하고;
상기 가공이 행해진 상기 기판으로부터 상기 물품을 제조하는 단계를 포함하는 물품 제조 방법.
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- 2017-02-28 JP JP2017036020A patent/JP2018142627A/ja active Pending
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Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20200720 Patent event code: PE09021S01D |
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PE0601 | Decision on rejection of patent |
Patent event date: 20201021 Comment text: Decision to Refuse Application Patent event code: PE06012S01D Patent event date: 20200720 Comment text: Notification of reason for refusal Patent event code: PE06011S01I |