KR101874675B1 - 임프린트 장치 및 물품의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2는 몰드와 기판 사이의 위치정렬을 위한 제어계를 도시하는 블록도.
도 3은 임프린트 처리 동안의 증폭기의 증폭률의 그래프.
도 4는 몰드와 기판 사이의 위치정렬을 위한 제어계를 도시하는 블록도.
도 5는 몰드와 기판 사이의 위치정렬을 위한 제어계를 도시하는 블록도.
도 6은 몰드와 기판 사이의 위치정렬을 위한 제어계를 도시하는 블록도.
도 7은 몰드와 기판 사이의 위치정렬을 위한 제어계를 도시하는 블록도.
Claims (16)
- 몰드를 사용해서 기판 상의 임프린트 재료의 패턴을 성형하는 임프린트 장치이며,
상기 몰드 및 상기 기판 중 하나 이상을 구동시키도록 구성된 구동 유닛과,
상기 기판의 표면에 평행한 방향에서의 상기 몰드와 상기 기판 사이의 위치 어긋남량을 계측하도록 구성된 계측 유닛과,
상기 기판 상의 상기 임프린트 재료의 경화를 개시하기 전에 상기 몰드와 상기 기판 사이의 위치정렬을 수행하기 위한 기간 내에, 상기 계측 유닛에 의해 계측된 상기 위치 어긋남량에 기초하여, 상기 방향으로 상기 구동 유닛의 구동력을 제어하기 위한 명령값을 생성하도록 구성된 제어 유닛을 포함하고,
상기 기간은, 상기 몰드와 상기 임프린트 재료 사이의 접촉의 개시로부터 상기 몰드와 상기 기판 사이의 거리가 목표 범위 내에 놓일 때까지의 제1 기간과, 상기 거리가 상기 목표 범위 내에 유지되고 상기 제1 기간이 종료하는 시점에서 개시되고 상기 임프린트 재료의 경화가 개시되는 시점에서 종료하는 제2 기간을 포함하고,
상기 제어 유닛은, 상기 명령값을 생성하기 위해 사용되는 증폭률을 변경하여, 상기 증폭률이 상기 제1 기간에서보다 상기 제2 기간에서 더 크도록 하고 상기 증폭률이 상기 제2 기간에서 서서히 증가하도록 하는, 임프린트 장치. - 제1항에 있어서,
상기 제어 유닛은, 상기 제1 기간에, 상기 몰드와 상기 임프린트 재료 사이의 접촉 면적이 증가함에 따라 상기 증폭률을 증가시키는, 임프린트 장치. - 제1항에 있어서,
상기 제어 유닛은, 상기 증폭률을 사용하여 상기 위치 어긋남량을 나타내는 신호를 가공함으로써 상기 명령값을 생성하는, 임프린트 장치. - 제1항에 있어서,
상기 제어 유닛은, 상기 몰드와 상기 임프린트 재료 사이의 접촉 면적이 증가함에 따라 상기 구동력을 증가시키도록 상기 증폭률을 증가시키는, 임프린트 장치. - 제2항에 있어서,
상기 몰드를 통해 상기 임프린트 재료의 화상을 촬상하도록 구성된 촬상 유닛을 더 포함하고,
상기 제어 유닛은, 상기 촬상 유닛에 의해 촬상된 화상으로부터 얻어지는 상기 임프린트 재료의 확산에 기초하여 상기 접촉 면적을 구하는, 임프린트 장치. - 제2항에 있어서,
상기 제어 유닛은, 상기 몰드와 상기 기판 사이에 발생되는 힘을 검지하고, 상기 접촉 면적에 따라 변화하는 상기 힘에 기초하여 상기 증폭률을 변경하는, 임프린트 장치. - 제6항에 있어서,
상기 몰드와 상기 기판 사이에 발생되는 힘은, 상기 몰드와 상기 임프린트 재료를 서로 접촉시킴으로써 상기 기판의 표면에 수직인 방향으로 발생되는 힘을 포함하는, 임프린트 장치. - 제6항에 있어서,
상기 몰드와 상기 기판 사이에 발생되는 힘은, 상기 몰드와 상기 임프린트 재료가 서로 접촉하고 있는 상태에서 행해지는 상기 위치정렬에서, 상기 기판의 표면에 평행한 방향으로 발생되는 힘을 포함하는, 임프린트 장치. - 제1항에 있어서,
상기 몰드에 힘을 가하여 상기 몰드의 패턴 표면을 상기 기판을 향해서 휜 볼록 형상으로 변형시키도록 구성된 변형 유닛을 더 포함하고,
상기 제어 유닛은, 상기 몰드와 상기 임프린트 재료 사이의 접촉이 개시된 후에, 상기 몰드와 상기 기판 사이의 거리가 감소됨에 따라 상기 몰드에 가해지는 힘을 감소시키도록 상기 변형 유닛을 제어하는, 임프린트 장치. - 제9항에 있어서,
상기 제어 유닛은, 상기 변형 유닛에 의해 상기 몰드에 가해지는 힘에 기초하여 상기 증폭률을 변경하는, 임프린트 장치. - 제1항에 있어서,
상기 제어 유닛은, 상기 임프린트 재료가 경화되고 있는 동안에 상기 임프린트 재료의 경화를 개시할 때의 상기 증폭률을 유지하는, 임프린트 장치. - 제1항에 있어서,
상기 제2 기간은, 상기 거리가 상기 목표 범위 내에서 유지되는 상태에서 상기 몰드의 요철 패턴의 오목부가 상기 임프린트 재료로 충전되는 기간을 포함하는, 임프린트 장치. - 제1항에 있어서,
상기 제어 유닛은, 상기 임프린트 재료가 경화되는 동안에, 상기 위치정렬을 수행하기 위한 상기 기간의 종료시에 사용된 상기 증폭률을 유지하는, 임프린트 장치. - 제1항에 있어서,
상기 제어 유닛은, 상기 몰드와 상기 경화된 임프린트 재료를 분리시킬 때의 상기 증폭률을, 상기 위치정렬을 수행하기 위한 상기 기간에서의 상기 증폭률보다 감소시키는, 임프린트 장치. - 물품의 제조 방법이며,
임프린트 장치를 사용해서 기판에 패턴을 형성하는 단계와,
상기 패턴이 형성된 기판을 가공해서 물품을 제조하는 단계를 포함하고,
상기 임프린트 장치는,
몰드를 사용해서 상기 기판 상의 임프린트 재료의 패턴을 성형하고,
상기 몰드 및 상기 기판 중 하나 이상을 구동시키도록 구성된 구동 유닛과,
상기 기판의 표면에 평행한 방향에서의 상기 몰드와 상기 기판 사이의 위치 어긋남량을 계측하도록 구성된 계측 유닛과,
상기 기판 상의 상기 임프린트 재료의 경화를 개시하기 전에 상기 몰드와 상기 기판 사이의 위치정렬을 수행하기 위한 기간 내에, 상기 계측 유닛에 의해 계측된 상기 위치 어긋남량에 기초하여, 상기 방향으로 상기 구동 유닛의 구동력을 제어하기 위한 명령값을 생성하도록 구성된 제어 유닛을 포함하고,
상기 기간은, 상기 몰드와 상기 임프린트 재료 사이의 접촉의 개시로부터 상기 몰드와 상기 기판 사이의 거리가 목표 범위 내에 놓일 때까지의 제1 기간과, 상기 거리가 상기 목표 범위 내에 유지되고 상기 제1 기간이 종료하는 시점에서 개시되고 상기 임프린트 재료의 경화가 개시되는 시점에서 종료하는 제2 기간을 포함하고,
상기 제어 유닛은, 상기 명령값을 생성하기 위해 사용되는 증폭률을 변경하여, 상기 증폭률이 상기 제1 기간에서보다 상기 제2 기간에서 더 크도록 하고 상기 증폭률이 상기 제2 기간에서 서서히 증가하도록 하는, 물품의 제조 방법. - 몰드를 사용해서 기판 상의 임프린트 재료의 패턴을 성형하는 임프린트 장치이며,
상기 몰드 및 상기 기판 중 하나 이상을 구동시키도록 구성된 구동 유닛과,
상기 기판의 표면에 평행한 방향에서의 상기 몰드와 상기 기판 사이의 위치 어긋남량을 계측하도록 구성된 계측 유닛과,
상기 기판 상의 상기 임프린트 재료의 경화를 개시할 때까지 상기 몰드와 상기 기판 사이의 위치정렬을 수행하기 위한 기간 내에, 상기 계측 유닛에 의해 계측된 상기 위치 어긋남량에 기초하여, 상기 방향으로 상기 구동 유닛의 구동력을 제어하기 위한 명령값을 생성하도록 구성된 제어 유닛을 포함하고,
상기 제어 유닛은, 상기 기간 내에 상기 몰드와 상기 임프린트 재료 사이의 접촉 면적이 증가함에 따라, 상기 명령값을 생성하기 위해 사용되는 증폭률을 서서히 증가시키는, 임프린트 장치.
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