KR20180020180A

KR20180020180A - METHOD FOR MANUFACTURING FLUID CONTROL APPARATUS AND FLUID CONTROL APPARATUS

Info

Publication number: KR20180020180A
Application number: KR1020177037930A
Authority: KR
Inventors: 가즈나리 와타나베; 도시오 아오키; 쓰토무 시노하라
Original assignee: 가부시키가이샤 후지킨
Priority date: 2015-05-29
Filing date: 2016-05-27
Publication date: 2018-02-27
Anticipated expiration: 2036-05-27
Also published as: TW201704669A; TWI597448B; WO2016194826A1; CN107850254B; JP6721913B2; CN107850254A; JPWO2016194826A1; KR102022440B1

Abstract

유체 제어 기기(10)를 효율적으로 제조하는 방법과 이 때 사용되는 조인트용 보호구(20, 30)와 유체 제어 기기(10)를 제공한다. 조인트용 보호구(20, 30)는, 너트의 관통공에 조인트 슬리브(13)를 삽통한 상태에서, 보디(12)에 용접된 조인트 슬리브(13)에 대하여 탈리 가능하게 장착된다. 조인트용 보호구(20, 30)의 본체부(22)는, 조인트 슬리브(13)의 축 주위 외주면(13B)과 간극을 가지도록 조인트 슬리브(13)의 외측 직경보다도 대경의 내주면(21)을 가지고, 본체부(22)가 조인트 슬리브(13)에 착탈하기 위한 슬릿(24)을 구비한다. 조인트용 보호구(20)를 조인트 슬리브(13)에 장착함으로써, 너트의 축방향으로의 이동을 억제하여, 조인트 슬리브(13)의 실링부가 너트로부터 돌출되지 않도록 하여 실링부를 보호한다. 보디(12)에 조인트용 보호구(20, 30)를 장착한 채 세정 가능하게 한다. A method for efficiently manufacturing the fluid control device 10 and the joint protection 20 and 30 and the fluid control device 10 used at this time are provided. The joint protectors 20 and 30 are detachably mounted to the joint sleeve 13 welded to the body 12 in a state where the joint sleeve 13 is inserted into the through hole of the nut. The main body portion 22 of the joint protective members 20 and 30 has an inner peripheral surface 21 having a larger diameter than the outer diameter of the joint sleeve 13 so as to have a clearance with the peripheral peripheral surface 13B around the axis of the joint sleeve 13 , And a slit (24) for attaching and detaching the main body portion (22) to and from the joint sleeve (13). By securing the joint protection member 20 to the joint sleeve 13, the movement of the nut in the axial direction is suppressed, and the sealing portion of the joint sleeve 13 is prevented from protruding from the nut to protect the sealing portion. The joint protecting members 20 and 30 are mounted on the body 12 so as to be cleanable.

Description

METHOD FOR MANUFACTURING FLUID CONTROL APPARATUS AND FLUID CONTROL APPARATUS

본 발명은, 유체 제어 기기(fluid control device)의 제조 방법 및 유체 제어 기기 및 그에 사용되는 조인트용 보호구에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a fluid control device and a fluid control device and a protector for a joint used therein.

반도체막, 절연막, 도전성(導電性) 막 등의 박막을 제조하는 시스템에 있어서는, 프로세스 챔버에 가스를 공급하고 있다. 가스 공급계(供給系)는, 개폐 밸브 등의 각종 유체 제어 기기를 배관에 의해 접속하여 구성되어 있다. 유체 제어 기기끼리의 접속 또는 유체 제어 기기와 배관과의 접속에는 조인트가 사용되고 있다. In a system for manufacturing a thin film of a semiconductor film, an insulating film, a conductive (conductive) film or the like, gas is supplied to the process chamber. The gas supply system (supply system) is constituted by connecting various fluid control devices such as open / close valves by piping. Joints are used for connection between fluid control devices or connection between fluid control devices and piping.

도 10은, 종래의 유체 제어 기기의 일부를 나타낸 도면이다. 유체 제어 기기(1)는, 너트(4)의 관통공(4A)에 조인트 슬리브(3)를 삽통(揷通)한 상태에서, 구동부(도시하지 않음)를 탑재하는 보디(2)의 양 측면에 조인트 슬리브(3)의 기단부(基端部)를 용접하여 구성되어 있다. 조인트 슬리브(3) 선단의 실링부(3A)의 배면과 너트(4)와의 사이에는 베어링(5)이 구성되어 있고, 너트(4)가 회전하기 용이하게 되어 있다. 유체 제어 기기(1)를 출하(出荷; shipment)할 때는, 너트(4)의 이동을 규제하기 위해, 특히 너트(4)가 보디(2) 측으로 이동하여 실링부(3A)가 돌출하는 것을 방지하기 위해, 수지제의 원통 부재(6A)에 절입(切入) 즉 커트인(cut- in)(6B)을 행하여 스토퍼(6)로 하고, 스토퍼(6)를 조인트 슬리브(3)에 장착하고 있다. 이와 같이 하여, 이동 중에 실링부(3A)가 뜻하지 않게 돌출되어 손상되지 않도록 보호하고 있다. 10 is a diagram showing a part of a conventional fluid control device. The fluid control device 1 is configured such that the joint sleeve 3 is inserted into the through hole 4A of the nut 4 and both sides of the body 2 on which the drive portion And the base end of the joint sleeve 3 is welded. A bearing 5 is formed between the back surface of the sealing portion 3A at the front end of the joint sleeve 3 and the nut 4 so that the nut 4 is easily rotated. When the fluid control device 1 is shipped, the nut 4 is prevented from moving to the side of the body 2 in order to regulate the movement of the nut 4 to prevent the sealing portion 3A from protruding A cut-in 6B is made in the cylindrical member 6A made of resin to form the stopper 6 and the stopper 6 is attached to the joint sleeve 3 . In this manner, the sealing portion 3A is prevented from being accidentally protruded and damaged during the movement.

그런데, 푸시 타입 디스펜서에 있어서, 노즐 헤드에 연동(連動)한 상하동하는 피스톤의 이동을 제한하거나, 이동하는 범위를 조정하거나 하는 수단으로서, 예를 들면, 스토퍼를 탄성적으로 장착하는 것이 고려되고 있다(특허문헌 1 내지 특허문헌 3). [0004] In the push type dispenser, as a means for restricting the movement of the upwardly and downwardly moving piston relative to the nozzle head or adjusting the moving range, for example, it is considered to mount the stopper elastically (Patent Documents 1 to 3).

일본 공개특허 제2002―273277호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-273277 일본 공개특허 제2004―203456호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-203456 일본 공개특허 제2012―153409호 공보Japanese Patent Laid-Open Publication No. 1535409

발명이 해결하려고 하는 과제Challenges to be solved by the invention

전술한 유체 제어 기기에 있어서, 너트의 이동을 규제하기 위한 스토퍼는, 수지제의 원통 부재에 절입 즉 커트인을 행하여 제작되므로, 원통 부재의 복원력에 의해 그 원통 형상을 유지하도록 한다. 그러므로, 스토퍼가 조인트 슬리브에 탄성적으로 밀착되어 장착되고, 또한 원통 부재가 얇아 파지하기 어렵기 때문에, 스토퍼를 분리해내는(detach) 데 있어서는 수고를 요한다. 또한, 청정도가 높은 청정실 내에 있어서 유체 제어 기기가 조립될 때, 작업자는 장갑을 장착하여 작업하고 있으므로, 작업자에게 있어 이와 같은 스토퍼의 착탈(着脫)은 어렵다. 특히, 원통 부재로의 절입 즉 커트인에 의해, 원통 단부(端部)의 절단 부분은 예리하게 되기 쉬워, 스토퍼의 착탈의 곤란성이 증가한다. In the above-described fluid control device, the stopper for restricting the movement of the nut is formed by cutting into the cylindrical member made of resin, that is, cutting the cylinder, so that the cylindrical shape is maintained by the restoring force of the cylindrical member. Therefore, since the stopper is mounted elastically in close contact with the joint sleeve, and the cylindrical member is thin and difficult to grasp, it takes a lot of trouble to detach the stopper. Further, when the fluid control device is assembled in a clean room with high cleanliness, the worker wears gloves, so that it is difficult for the operator to attach and detach such a stopper. Particularly, the cut portion of the cylindrical end portion tends to be sharpened by the cutting into the cylindrical member, that is, the cut-in, so that the difficulty of attaching / detaching the stopper increases.

그래서, 본 발명은, 상기 문제점을 해결하기 위해, 유체 제어 기기를 제조할 때, 조인트용 슬리브로부터 스토퍼와 같은 부재를 착탈하는 횟수를 줄인 유체 제어 기기의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 그 제조 방법에 있어서 사용되는 조인트용 보호구를 제공하고, 병행하여 그 조인트용 보호구를 장착한 유체 제어 기기를 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 조인트 슬리브에 대한 착탈을 행하기 쉬운 조인트용 보호구를 제공하는 것도 목적으로 한다. SUMMARY OF THE INVENTION It is therefore an object of the present invention to provide a method of manufacturing a fluid control device which reduces the number of times of attachment and detachment of a member such as a stopper from a sleeve for joints when manufacturing a fluid control device. It is an object of the present invention to provide a joint protector used in the manufacturing method, and to provide a fluid control device equipped with the joint protector in parallel. It is also an object of the present invention to provide a joint protecting member which is easy to attach and detach to and from a joint sleeve.

상기한 목적 및 그 외에 관련된 목적을 실현하기 위해, 본 발명은, In order to achieve the above object and other related objects,

너트의 관통공에 조인트 슬리브를 삽통하여 유체 제어 기기 본체용의 보디에 상기 조인트 슬리브를 용접함으로써, 상기 조인트 슬리브의 축을 따라 상기 보디로부터 멀어지는 방향으로의 상기 너트의 이동에 의해 상기 너트가 상기 조인트 슬리브의 실링부를 수용하고 또한 상기 조인트 슬리브의 축을 따라 상기 보디에 가까워지는 방향으로의 상기 너트의 이동에 의해 상기 실링부가 상기 너트로부터 돌출하는 상태로 하고, By moving the nut in the direction away from the body along the axis of the joint sleeve by welding the joint sleeve to the body of the fluid control device body by inserting the joint sleeve into the through hole of the nut, And the sealing portion is protruded from the nut by movement of the nut in a direction along the axis of the joint sleeve toward the body,

상기 조인트 슬리브의 축 주위의 외주면(外周面)과 간극을 가지도록 상기 조인트 슬리브의 외측 직경보다도 대경(大徑)의 내주면(內周面)을 가지는 본체부를 구비하고 또한 상기 본체부가 상기 조인트 슬리브에 장착되기 위한 슬릿(slit)을 구비한 조인트용 보호구를, 상기 조인트 슬리브에 장착함으로써, 상기 너트의 이동을 억제하여 상기 실링부가 상기 너트로부터 돌출되지 않도록 하여 상기 실링부를 보호한 상태에서, 상기 조인트 슬리브를 용접한 보디를 세정하는, 유체 제어 기기의 제조 방법에 의해 실현된다. And a main body portion having an inner peripheral surface having a larger diameter than an outer diameter of the joint sleeve so as to have a clearance with an outer peripheral surface around the axis of the joint sleeve, Wherein a joint protector having a slit for mounting is mounted on the joint sleeve so that the movement of the nut is suppressed so that the sealing portion is prevented from protruding from the nut to protect the sealing portion, And the body is welded.

본 발명은, 너트의 관통공에 삽통된 상태로 보디에 용접된 조인트 슬리브로서, 상기 너트가 상기 조인트 슬리브의 축을 따라 상기 보디로부터 멀어지는 방향으로 이동함으로써 상기 너트가 상기 조인트 슬리브의 실링부를 수용하고 또한 상기 너트가 상기 조인트 슬리브의 축을 따라 상기 보디에 가까워지는 방향으로 이동함으로써 상기 실링부가 상기 너트로부터 돌출하는 상태의 상기 조인트 슬리브에 대하여 착탈 가능한 조인트용 보호구를 제공한다. 상기 조인트용 보호구는, 상기 조인트 슬리브의 축 주위 외주면과 간극을 가지도록 상기 조인트 슬리브의 외측 직경보다도 대경의 내주면을 가지는 본체부를 구비하고, 상기 본체부가 상기 조인트 슬리브에 착탈하기 위한 슬릿을 구비한다. 조인트용 보호구가 상기 조인트 슬리브에 장착됨으로써, 상기 너트의 이동을 억제하여, 상기 조인트 슬리브의 실링부가 상기 너트로부터 돌출되지 않도록 하여 상기 실링부가 보호된다. The present invention relates to a joint sleeve welded to a body in a state of being inserted in a through hole of a nut such that the nut moves in a direction away from the body along the axis of the joint sleeve such that the nut receives the sealing portion of the joint sleeve And the nut moves in a direction along the axis of the joint sleeve toward the body so that the sealing portion is detachable from the joint sleeve in a state of protruding from the nut. The joint protector includes a body portion having an inner peripheral surface having a larger diameter than an outer diameter of the joint sleeve so as to have a clearance with the outer peripheral surface around the axis of the joint sleeve, and the body portion has a slit for attaching / detaching to / from the joint sleeve. The joint protection member is mounted on the joint sleeve to prevent movement of the nut, so that the sealing portion of the joint sleeve is prevented from protruding from the nut, thereby protecting the sealing portion.

상기 본체부의 중심을 협지(sandwich)하여 상기 슬릿과는 반대측에 손잡이부를 구비하고 있다. And a handle is provided on the opposite side of the slit by sandwiching the center of the body portion.

상기 손잡이부는, 바람직하게는, 돌출되어 형성되고, 그 돌출된 길이는, 상기 조인트 슬리브에 상기 조인트용 보호구를 장착했을 때 상기 보디로부터 돌출되지 않는 길이로 설정된다. 본체부의 내주면의 직경은, 바람직하게는 조인트 슬리브의 외측 직경의 1.1 내지 1.3배로 한다. The protruding length of the handle is preferably set to a length that does not protrude from the body when the joint protector is mounted on the joint sleeve. The diameter of the inner peripheral surface of the body portion is preferably 1.1 to 1.3 times the outer diameter of the joint sleeve.

바람직하게는, 상기 본체부가 상기 내주면을 가지는 통형부로 구성되며, 통형부 중 상기 슬릿을 형성하는 단부에, 상기 조인트 슬리브에 대한 장착을 위한 가이드부의 쌍이 형성된다. 상기 가이드부는, 상기 통형부의 두께보다도 두껍게 설정된다. 상기 가이드부는, 상기 슬릿과 서로 마주 보는 면을 가지고 있고 상기 가이드부의 쌍에 있어서 상기 평면끼리가 70° 내지 100°의 각도로 확개(擴開)되어 있다. 상기 슬릿의 폭은, 상기 조인트 슬리브의 외측 직경에 대하여 0.5 내지 0.6배로 설정된다. Preferably, the body portion is formed of a tubular portion having the inner circumferential surface, and a pair of guide portions for attachment to the joint sleeve is formed at an end portion of the tubular portion that forms the slit. The guide portion is set to be thicker than the thickness of the tubular portion. The guide portion has a surface facing the slit, and the planar portions are widened at an angle of 70 ° to 100 ° with respect to the pair of the guide portions. The width of the slit is set to 0.5 to 0.6 times the outer diameter of the joint sleeve.

상기 조인트용 보호구에 있어서는, 바람직하게는, 상기 본체부는, 상기 너트의 이동 방향의 중간부에서 상기 슬릿 측으로부터 절결(切缺)되어, 상기 너트의 이동 방향의 양측으로 상기 슬릿을 분리하여 가지고 있다. 상기 너트의 이동 방향으로 나뉜 복수의 피스의 대향하는 측면에는, 접속용의 걸어맞춤부가 형성되고, 상기 걸어맞춤부를 걸어맞추어 상기 복수의 피스를 연결하여 구성해도 된다. In the above-described joint protection, preferably, the main body portion is cut out from the slit side in the middle of the movement direction of the nut, and the slit is separated on both sides in the moving direction of the nut . The engaging portions for connection may be formed on opposite sides of the plurality of pieces divided in the movement direction of the nut and the plurality of pieces may be connected by engaging the engaging portions.

또한, 본 발명의 유체 제어 기기는, 너트의 관통공에 조인트 슬리브를 삽통하여 보디에 상기 조인트 슬리브가 접속되고, 상기 보디에 구동부를 탑재하여 구성되며, 상기 너트가 상기 조인트 슬리브의 축을 따라 상기 보디로부터 멀어지는 방향으로 이동함으로써 상기 너트가 상기 조인트 슬리브의 실링부를 수용하고, 상기 너트가 상기 조인트 슬리브의 축을 따라 상기 보디에 가까워지는 방향으로 이동함으로써 상기 실링부가 돌출하는 유체 제어 기기 본체와, 상기 조인트 슬리브에 대하여 장착된 상기 어느 하나로 이루어지는 조인트용 보호구를 구비하여 구성되어 있다. In the fluid control device of the present invention, the joint sleeve is inserted into the through hole of the nut, the joint sleeve is connected to the body, and the driving part is mounted on the body. And the sealing portion is protruded by the nut moving in a direction in which the nut moves closer to the body along the axis of the joint sleeve, And a protector for joints made of any one of the above described devices mounted on the protector.

본 발명에 의하면, 조인트용 보호구가, 조인트 슬리브의 축 주위에 간극을 두고 장착되므로, 조인트용 보호구를 조인트 슬리브에 장착된 채 세정할 수 있어, 조인트 슬리브의 외주면과 본체부의 내주면과의 사이의 오염을 제거하기 용이해진다. 또한, 조인트용 보호구를 조인트 슬리브에 장착함으로써, 너트의 이동이 억제되어, 조인트 슬리브의 실링부가 너트로부터 돌출되지 않도록 하여 조인트 슬리브의 실링부가 보호된다. 특히, 조인트용 보호구의 본체부의 내주면이, 조인트 슬리브의 축 주위 외주면과 간극을 두고 있고, 또한 본체부의 외주면에 손잡이부를 구비하고 있는 경우에 있어서는, 손잡이부에 의해 조인트 슬리브에 대한 착탈이 용이하게 된다. 따라서, 조인트 슬리브에 대한 착탈을 행하기 쉽고, 또한 조인트 슬리브의 실링부를 보호할 수 있다. According to the present invention, since the joint protector is mounted with a gap around the axis of the joint sleeve, the joint protector can be cleaned while being mounted on the joint sleeve, so that the contamination between the outer circumferential surface of the joint sleeve and the inner circumferential surface of the main body . Further, by attaching the joint protector to the joint sleeve, movement of the nut is suppressed, and the sealing portion of the joint sleeve is protected by preventing the sealing portion of the joint sleeve from protruding from the nut. Particularly, when the inner circumferential surface of the body portion of the joint protector has a clearance with the outer circumferential surface around the axis of the joint sleeve and the grip portion is provided on the outer circumferential surface of the body portion, attachment and detachment of the joint sleeve can be facilitated by the grip portion . Therefore, it is easy to attach and detach the joint sleeve, and the sealing portion of the joint sleeve can be protected.

도 1은 본 발명의 실시형태에 관한 유체 제어 기기를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시형태에 관한 조인트용 보호구를 나타낸 사시도이다.
도 3은 도 2에 나타낸 조인트용 보호구의 단면도(斷面圖)이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시형태에 관한 조인트용 보호구를 나타낸 사시도이다.
도 5는 도 4에 나타낸 조인트용 보호구의 측면도이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시형태에 관한 조인트용 보호구를 나타내고, (a) 및 (b)는 조인트용 보호구를 구성하는 각 피스를 나타낸 사시도, (c)는 조인트용 보호구의 사시도이다.
도 7은 도 6에 나타낸 조인트용 보호구의 측면도이다.
도 8은 본 발명의 실시형태에 관한 유체 제어 기기를 제조하는 방법에 대한 플로우차트이다.
도 9는 본 발명의 실시형태에 관한 조인트용 보호구가 조인트 슬리브에 장착되어 있는 상태를 나타낸 도면이다.
도 10은 종래의 유체 제어 기기의 일부를 나타낸 도면이다. 1 is a perspective view showing a fluid control device according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a perspective view showing a joint protection member according to the first embodiment of the present invention. Fig.
Fig. 3 is a cross-sectional view of the joint protection shown in Fig. 2. Fig.
4 is a perspective view showing a joint protection member according to a second embodiment of the present invention.
5 is a side view of the joint protection shown in Fig.
Fig. 6 is a perspective view of a joint protection according to a third embodiment of the present invention, wherein (a) and (b) are perspective views showing the respective pieces constituting the joint protection, and Fig. 6 (c) is a perspective view of the joint protection.
7 is a side view of the joint protection shown in Fig.
8 is a flowchart of a method of manufacturing a fluid control device according to an embodiment of the present invention.
Fig. 9 is a view showing a state in which a joint protector according to an embodiment of the present invention is mounted on a joint sleeve. Fig.
10 is a view showing a part of a conventional fluid control device.

이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시형태에 대하여 상세하게 설명한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

[조인트용 보호구가 장착되는 유체 제어 기기 본체][Fluid control device main body equipped with joint protection]

도 1은 본 발명의 실시형태에 관한 유체 제어 기기(10)를 나타낸 사시도이다. 유체 제어 기기(10)는 유체 제어 기기 본체(11)에 조인트용 보호구(20)를 장착하여 구성된다. 유체 제어 기기 본체(11)는, 내부에 유로(流路; flowpath)를 가지는 보디(12)와, 보디(12)의 측면에 용접하여 기단부가 접속되는 조인트 슬리브(13)와, 조인트 슬리브(13)에 장착되는 너트(14)를 구비한다. 보디(12)는, 예를 들면, 내부의 유체를 제어하기 위한 밸브체를 개폐 구동시키기 위한 유체 조작용 액추에이터와 그 외의 구동부의 받침대(pedestal)로 이루어진다. 1 is a perspective view showing a fluid control device 10 according to an embodiment of the present invention. The fluid control device 10 is constructed by mounting a joint protection 20 to the fluid control device body 11. [ The fluid control apparatus main body 11 includes a body 12 having a flow path therein, a joint sleeve 13 welded to the side surface of the body 12 and connected to the base end thereof, a joint sleeve 13 (Not shown). The body 12 is composed of, for example, a fluid actuating actuator for opening and closing a valve body for controlling an internal fluid and a pedestal of the other driving part.

조인트 슬리브(13)는, 내부에 축 방향으로 유체가 흐르는 유로가 형성되어 있고, 선단에 실링부(13A)를 가지고 있고, 실링부(13A)로부터 기단부 측[보디(12)에 용접되는 단부 측]으로 됨에 따라 단계적으로 직경이 작아지게 되어, 예를 들면, 대경, 중경(中徑), 소경(小徑)으로 되어 있다. 너트(14)는, 조인트 슬리브(13)의 실링부(13A)를 수용함으로써, 실링부(13A)를 손상 등으로부터 보호한다. 너트(14)는, 상대방의 커플링(도시하지 않음)으로 체결함으로써, 그 커플링 선단부와 조인트 슬리브(13)의 실링부(13A)가 개스킷(도시하지 않음)을 협압(挾壓)하여, 유체 공급계의 일부를 구성한다. 유체 공급계를 구축하기 용이하게 하기 위해, 조인트 슬리브(13)의 실링부(13A)의 등부(背部; back portion)에 있어서, 외경(外徑)이 단계적으로 작아지도록 되는 부분(플랜지부라고도 함)에 베어링(15)을 장착함으로써, 너트(14)를 회전하기 용이하게 해도 된다. 너트(14)는 양단 개방의 관통공을 가지는 통형(筒形)으로 구성되며, 너트(14)의 보디(12) 측의 단부는, 조인트 슬리브(13)의 축 주위로 돌출된 플랜지부에 걸어맞추어지도록 소경의 관통공으로 이루어지고, 이것을 이하, 백형(bag type)의 너트라고 한다. The joint sleeve 13 is provided with a flow passage through which fluid flows in the axial direction and has a sealing portion 13A at the tip end and is provided at the proximal end side (the end side to be welded to the body 12 , The diameter gradually decreases, and for example, it is a large diameter, a medium diameter, and a small diameter. The nut 14 accommodates the sealing portion 13A of the joint sleeve 13 to protect the sealing portion 13A from damage or the like. The nut 14 is fastened with a coupling (not shown) of the other side so that its coupling end and the sealing portion 13A of the joint sleeve 13 clamp the gasket (not shown) And forms a part of the fluid supply system. The portion of the back portion of the sealing portion 13A of the joint sleeve 13 where the outer diameter is stepwise reduced to facilitate construction of the fluid supply system The nut 14 may be easily rotated. The nut 14 is formed in a cylindrical shape having through holes at both ends and the end of the nut 14 on the body 12 side is hooked on a flange portion protruding around the axis of the joint sleeve 13 And a small-diameter through-hole so as to be matched. This is hereinafter referred to as a bag-type nut.

조인트 슬리브(13)가 너트(14)의 관통공(14A)에 삽통된 상태에서, 조인트 슬리브(13)의 기단부가 보디(12)에 용접되어 있고, 너트(14)의 소경의 관통공(14A)이 조인트 슬리브(13)의 중간부 및 보디(12) 기단부 측의 소경부(小徑部)보다도 크므로, 너트(14)는 조인트 슬리브(13)의 축 방향으로 이동할 수 있다. 즉, 조인트 슬리브(13)의 축을 따라 보디(12)로부터 멀어지는 방향으로의 너트(14)의 이동에 의해, 너트(14)가 조인트 슬리브(13)의 실링부(13A)를 수용한다. 또한, 조인트 슬리브(13)의 축을 따라 보디(12)에 가까워지는 방향으로의 너트(14)의 이동에 의해 실링부(13A)가 너트(14)로부터 노출되어 돌출한다. 여기서, 유체 제어 기기 본체에서의 보디(12)를, 유체 제어 기기 본체용의 보디라고도 하는 것으로 한다. The base end portion of the joint sleeve 13 is welded to the body 12 in the state where the joint sleeve 13 is inserted into the through hole 14A of the nut 14 and the small diameter through hole 14A The nut 14 can move in the axial direction of the joint sleeve 13 because the nut 14 is larger than the intermediate portion of the joint sleeve 13 and the small diameter portion on the proximal end side of the body 12. [ The nut 14 receives the sealing portion 13A of the joint sleeve 13 by the movement of the nut 14 in the direction away from the body 12 along the axis of the joint sleeve 13. [ The sealing portion 13A is exposed from the nut 14 and protruded by the movement of the nut 14 in the direction of approaching the body 12 along the axis of the joint sleeve 13. [ Here, the body 12 of the fluid control device main body is also referred to as a body for the fluid control device main body.

[조인트용 보호구][Protective joint]

본 발명의 제1 실시형태에 관한 조인트용 보호구(20)는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 백형의 너트(14)의 관통공(14A)에 조인트 슬리브(13)가 삽통된 상태에서, 보디(12)에 용접된 조인트 슬리브(13)에 대하여 장착된다. 도 2는 본 발명의 제1 실시형태에 관한 조인트용 보호구(20)를 나타낸 사시도이며, 도 3은 그 단면도이다. As shown in Fig. 1, in the joint protection 20 according to the first embodiment of the present invention, in a state in which the joint sleeve 13 is inserted into the through hole 14A of the back nut 14, 12 to the joint sleeve 13 welded thereto. Fig. 2 is a perspective view showing the joint protection 20 according to the first embodiment of the present invention, and Fig. 3 is a sectional view thereof.

조인트용 보호구(20)는, 조인트 슬리브(13)의 축 주위의 외주면(13B)과 간극을 가지도록 조인트 슬리브(13)의 외측 직경보다도 대경의 내주면(21)을 가지는 본체부(22)를 구비하고, 본체부(22)는 조인트 슬리브(13)에 착탈하기 위한 슬릿(24)을 구비한다. 도 1에 나타낸 형태에서는, 손잡이부(23)가, 본체부(22)의 외주면으로부터 돌출되어 형성되어 있고, 본체부(22)의 중심에 대하여 슬릿(24)과는 반대측(반대측)으로 돌출되도록 형성되어 있다. The joint protection member 20 is provided with a main body portion 22 having an inner peripheral surface 21 having a larger diameter than the outer diameter of the joint sleeve 13 so as to have a clearance with the outer peripheral surface 13B around the axis of the joint sleeve 13 And the body portion 22 is provided with a slit 24 for attaching and detaching it to and from the joint sleeve 13. 1, the handle 23 is formed so as to protrude from the outer circumferential surface of the main body 22 and is configured to protrude from the center of the main body 22 on the opposite side (opposite side) to the slit 24 Respectively.

조인트용 보호구(20)가, 조인트 슬리브(13)에 장착됨으로써, 너트(14)가 조인트 슬리브(13)의 축방향으로의 이동이 억제된다. 즉, 너트(14)의 배면(14B)과 조인트 슬리브(13)의 실링부(13A)와의 거리가 일정 범위로 규제되고, 또한 너트(14)의 배면(14B)과 보디(12)의 측면(12B)과의 거리가 일정 범위로 규제된다. 따라서, 조인트 슬리브(13)의 실링부(13A)가 너트(14)로부터 돌출되지 않도록 하여 실링부(13A)가 보호된다. The joint protection member 20 is mounted on the joint sleeve 13 so that the movement of the nut 14 in the axial direction of the joint sleeve 13 is suppressed. That is, the distance between the back surface 14B of the nut 14 and the sealing portion 13A of the joint sleeve 13 is regulated within a certain range and the distance between the back surface 14B of the nut 14 and the side surface 14B of the body 12 12B are regulated within a certain range. Therefore, the sealing portion 13A of the joint sleeve 13 is prevented from protruding from the nut 14, so that the sealing portion 13A is protected.

다음에, 조인트용 보호구(20)의 구체적인 형태에 대하여, 도 2 및 도 3를 참조하면서 추가로 설명한다. 조인트용 보호구(20)의 본체부(22)는, 내주면(21)을 가지는 통형부(25)로 구성되어 있고, 통형부(25) 중 슬릿(24)을 형성하는 단부(25A)에는, 조인트 슬리브(13)에 대한 장착을 위한 가이드부(25B)가 구비되어 있다. 가이드부(25B)는, 통형부(25)의 단부(25A) 이외의 부위의 두께보다도 더 두껍게 되어 있다. 가이드부(25B)의 쌍은, 슬릿(24)으로부터 외측으로 확개되어 있고, 가이드부(25B)는 그 방향에서 평면형으로 형성되어 있다. 따라서, 가이드부(25B)의 평면은, 조인트 슬리브(13)에 대한 장착 시의 안내로서 기능하여, 넣기 용이해진다. 그 평면을 형성하는 부위의 두께는, 통형부(25)의 단부(25A) 이외의 부위의 두께보다도 두껍다. 또한, 가이드부(25B)는, 서로 마주하는 방향과는 반대측에는 라운드부를 형성함으로써, 작업성이 향상된다. Next, a concrete form of the joint protection 20 will be further described with reference to Figs. 2 and 3. Fig. The body portion 22 of the joint protection member 20 is constituted by a tubular portion 25 having an inner circumferential surface 21. In the end portion 25A of the tubular portion 25 forming the slit 24, And a guide portion 25B for mounting to the sleeve 13 is provided. The guide portion 25B is thicker than the portion other than the end 25A of the barrel 25. The pair of guide portions 25B are extended outward from the slit 24, and the guide portion 25B is formed in a planar shape in the direction. Therefore, the plane of the guide portion 25B functions as a guide at the time of attachment to the joint sleeve 13, so that it is easy to insert. The thickness of the portion forming the plane is larger than the thickness of the portion other than the end 25A of the barrel 25. Further, the guide portion 25B has a rounded portion opposite to the direction in which the guide portions 25B are opposed to each other, thereby improving workability.

조인트용 보호구(20)의 손잡이부(23)는, 본체부(22)의 중심을 협지하여 슬릿(24)과는 반대측으로 돌출하도록 형성되어 있다. 손잡이부(23)는 대략 구형(球形), 대략 타원 구상(球狀) 등의 라운드부를 가지고 있다. 손잡이부(23)의 단면(斷面)은 삼각, 4각인 어느 다각형이라도 되지만, 미립자가 쌓이지 않도록 예각(銳角)이 없는 것으로 된다. 본체부(22)의 외주면으로부터 손잡이부(23)의 돌출하는 길이(도 9에 나타낸 H), 즉 조인트용 보호구(20)를 조인트 슬리브(13)에 장착했을 때의 조인트용 보호구(20)와 조인트 슬리브(13)와의 접촉 부위로부터 손잡이부(23)의 선단까지의 길이(H)는, 조인트용 보호구(20)를 조인트 슬리브(13)에 장착했을 때, 도 9에 나타낸 보디(12)로부터 돌출되지 않도록 설정되어 있다. 예를 들면, 보디(12)의 바닥면(12C)으로부터 아래쪽으로 돌출되지 않도록 설정된다. 이것은, 조인트 슬리브(13)에 조인트용 보호구(20)를 장착한 보디(12)를 작업대 등에 탑재했을 때, 손잡이부(23)와 작업대 등이 간섭하여, 작업성을 악화시키는 것을 방지하기 위해서이다. The grip portion 23 of the joint protection member 20 is formed so as to protrude toward the side opposite to the slit 24 while sandwiching the center of the main body portion 22. The grip portion 23 has a round portion such as a substantially spherical shape and a substantially elliptical spherical shape. Although the cross section of the grip portion 23 may be any polygon having a triangular or quadrangular shape, there is no acute angle such that the fine particles are not accumulated. The protruding length 20 of the grip 23 from the outer circumferential surface of the main body 22 (H shown in Fig. 9), that is, the joint protector 20 when the joint protector 20 is mounted on the joint sleeve 13 The length H from the contact area with the joint sleeve 13 to the tip of the handle 23 is set such that when the joint protection 20 is attached to the joint sleeve 13, It is set so as not to protrude. For example, it is set so as not to project downward from the bottom surface 12C of the body 12. This is to prevent the workpiece from interfering with the grip 23 when the body 12 having the joint protection member 20 mounted on the joint sleeve 13 is mounted on a workbench or the like .

조인트용 보호구(20)의 본체부(22)는, 도 3의 단면도에 나타낸 바와 같이, 조인트 슬리브(13)의 외측 직경 d보다도 긴 직경(대경)(D)의 내주면(21)을 가진다. 내주면(21)의 단면이 원형상은 아니고 타원 형상 등인 경우에는, 내주면(21)으로 에워싸인 면적과 등가(等價)인 면적을 가지는 원형상으로 근사(近似)시키고, 그 근사한 원의 직경이, 조인트 슬리브(13)의 외측 직경 d보다도 대경이면 된다. 본체부(22)의 내주면(21)이 조인트 슬리브(13)에 밀착하면, 후술하는 작업 공정 중, 보디(12)에 조인트 슬리브(13)를 용접한 후 등에 세정을 행해도, 조인트 슬리브(13)의 외표면과 내주면(21)과의 사이에 잔사(殘渣)가 남을 우려가 있다. 반대로 내주면(21)이 너무 크면, 조인트 슬리브(13)로부터 이탈할 우려가 있다. 그러므로, 대략 본체부(22)의 단면 중공(中空)의 등가 단면 직경 d이, 조인트 슬리브(13)의 외측 직경 d의 1.1 내지 1.3배 정도의 크기, 특히 바람직하게는 1.2±0.05배의 크기를 가지면 된다. 그리고, 내주면(21)의 단면은 원형상, 타원 형상에 한정되지 않고, 예를 들면, 사각이라도 되고, 조인트 슬리브(13)에 탈착(脫着) 가능하면 된다. The body portion 22 of the joint protection member 20 has an inner circumferential surface 21 having a diameter (large diameter) D larger than the outer diameter d of the joint sleeve 13 as shown in the sectional view of FIG. When the cross section of the inner peripheral surface 21 is not a circular shape but an elliptical shape or the like, it is approximated to a circular shape having an area equivalent to the area surrounded by the inner peripheral surface 21, and the approximate circle diameter And the outer diameter d of the joint sleeve 13 may be larger. Even if the inner circumferential surface 21 of the main body portion 22 is brought into close contact with the joint sleeve 13 and the joint sleeve 13 is welded to the body 12 during cleaning, And the inner circumferential surface 21, as shown in Fig. On the other hand, if the inner peripheral surface 21 is too large, there is a risk of disengaging from the joint sleeve 13. Therefore, the equivalent cross-sectional diameter d of the cross-section hollow of the main body 22 is about 1.1 to 1.3 times larger than the outer diameter d of the joint sleeve 13, particularly preferably 1.2 +/- 0.05 times You have to. The end surface of the inner circumferential surface 21 is not limited to a circular shape and an elliptical shape. For example, it may be a square shape, and it may be detachable to the joint sleeve 13.

조인트용 보호구(20)의 소재로서는, 종래의 스토퍼와 같이 테플론(등록상표)을 사용해도 되지만, 내약품성, 내열성을 가지는 폴리프로필렌 등의 저렴한 수지를 사용할 수 있다. As the material of the joint protection 20, Teflon (registered trademark) may be used as a conventional stopper, but an inexpensive resin such as polypropylene having chemical resistance and heat resistance can be used.

조인트용 보호구(20)의 본체부(22)는, 도 3의 단면도에 나타낸 바와 같이, 조인트 슬리브(13)에 착탈하기 위한 슬릿(24)을 구비한다. 슬릿(24)이 넓으면 조인트 슬리브(13)로부터 이탈되기 쉬워지는 한편, 슬릿(24)이 좁으면 조인트 슬리브(13)에 장착하기 어려워진다. 조인트용 보호구(20)의 소재가 전술한 재료인 경우에는, 슬릿(24)의 치수 W는, 조인트 슬리브(13)의 외측 직경 d에 대하여 0.5 내지 0.6배가 바람직하다. The body portion 22 of the joint protection member 20 is provided with a slit 24 for attaching and detaching it to and from the joint sleeve 13 as shown in the sectional view of FIG. When the slit 24 is wide, it is easy to be detached from the joint sleeve 13. On the other hand, if the slit 24 is narrow, it is difficult to attach the joint to the joint sleeve 13. [ It is preferable that the dimension W of the slit 24 is 0.5 to 0.6 times the outer diameter d of the joint sleeve 13. In the case of the material of the joint protection member 20 described above,

조인트용 보호구(20)의 본체부(22)는, 도 3의 단면도에 나타낸 바와 같이, 슬릿(24)을 형성하도록 가이드부(25B)를 구비한다. 가이드부(25B)는, 본체부(22)의 가이드부(25B)를 제외하고 대략 C자형의 링부(22A), 즉 통형부(25)의 두께보다도 두껍다. 가이드부(25B)에 의해 조인트 슬리브(13)에 대한 장착을 용이하게 하기 위해서이다. 가이드부(25B)의 쌍(한 쌍의 가이드부)은 슬릿 측에서 평면을 이루고 있고, 쌍으로 되는 평면끼리는, 70° 내지 100°를 이룬다. 가이드부(25B)의 평면끼리가 이루는 각이 너무 크거나 너무 작거나 하면, 조인트 슬리브(13)의 장착이 용이하게 되지 않기 때문이다. The body portion 22 of the joint protection member 20 is provided with a guide portion 25B to form a slit 24 as shown in the sectional view of Fig. The guide portion 25B is thicker than the substantially C-shaped ring portion 22A, that is, the tubular portion 25, except for the guide portion 25B of the body portion 22. [ This is for facilitating the attachment to the joint sleeve 13 by the guide portion 25B. The pairs (pair of guide portions) of the guide portions 25B are flat at the slit side, and the pair of planes are 70 DEG to 100 DEG. If the angle formed by the planar portions of the guide portion 25B is too large or too small, mounting of the joint sleeve 13 is not easy.

도 4는 본 발명의 제2 실시형태에 관한 조인트용 보호구(20)를 나타낸 사시도이며, 도 5는 도 4에 나타낸 조인트용 보호구(20)의 측면도이다. 도 2 및 도 3에 나타낸 조인트용 보호구(20)와 동일한 또는 대응하는 부위에는 동일한 부호를 부여하고 있다. 제2 실시형태에 관한 조인트용 보호구(20)에 있어서는, 본체부(22)의 축 방향 중간부에 슬릿(24) 측으로부터 절결하여 홈(26)을 형성하고, 슬릿(24) 및 가이드부(25B)가 축 방향의 양측으로 분리되어 있다. 여기서, 본체부(22)의 축 방향이란, 조인트 슬리브(13)의 축 방향과 같은 방향이다. 제2 실시형태에 관한 조인트용 보호구(20)에서는, 제1 실시형태와는 달리, 본체부(22)의 내주면(21)이 조인트 슬리브(13)의 외주면(13B)을 덮는 비율, 즉 면적 비율이 작아져, 조인트 슬리브(13)의 외주면(13B)이 노출되기 쉬워, 세정의 효율화가 도모된다. Fig. 4 is a perspective view showing the joint protection 20 according to the second embodiment of the present invention, and Fig. 5 is a side view of the joint protection 20 shown in Fig. The same reference numerals are given to the same or corresponding parts as those of the joint protection 20 shown in Figs. In the joint protection 20 according to the second embodiment, the groove 26 is formed by being cut out from the slit 24 side in the axial middle portion of the body portion 22, and the slit 24 and the guide portion 25B are separated on both sides in the axial direction. Here, the axial direction of the body portion 22 is the same as the axial direction of the joint sleeve 13. [ The protector 20 of the joint according to the second embodiment differs from the first embodiment in the ratio of the inner circumferential surface 21 of the main body 22 covering the outer circumferential surface 13B of the joint sleeve 13, So that the outer circumferential surface 13B of the joint sleeve 13 is easily exposed, and the cleaning efficiency is improved.

다음에, 본 발명의 제3 실시형태에 관한 조인트용 보호구에 대하여 설명한다. 조인트용 보호구(20)가 장착되는 조인트 슬리브(13)는, 유체 공급 라인의 사양 등에 의해 축 방향의 길이가 설정된다. 그러므로, 축 방향으로 비교적 긴 조인트 슬리브에 대하여 장착되는 조인트용 보호구(20)에 있어서는, 본체부(22), 손잡이부(23), 가이드부(25B) 중 1 또는 복수의 부위가 축 방향으로 피스로서 분할되어, 피스끼리의 대향 측면에 걸어맞춤부를 형성하여 둠으로써, 복수의 피스의 대향 측면을 서로 걸어맞추어 일체화시킬 수 있다. 걸어맞춤부는, 예를 들면, 피스의 한쪽 및 다른 쪽의 대향하는 측면에 오목부 및 볼록부를 형성하고, 이들을 서로 접합하도록 요철부(凹凸部)에 의해 끼워맞추어 일체로서 구성해도 된다. 요철부는, 형상의 요철뿐아니라, 핀과 핀 삽입공과 같은 것이라도 된다. 적절히 설정되는 축 방향의 길이에 대응할 수 있어, 부품의 공통화가 도모된다. Next, a protective joint for a joint according to a third embodiment of the present invention will be described. The length of the joint sleeve 13 in which the joint protection 20 is mounted is set in the axial direction according to the specifications of the fluid supply line and the like. Therefore, in the joint protection 20 to be mounted on the relatively long joint sleeve in the axial direction, one or more portions of the body portion 22, the handle portion 23, and the guide portion 25B are axially And the engaging portions are formed on the opposite side surfaces of the pieces so that the opposite side surfaces of the plurality of pieces can be engaged and integrated with each other. The engaging portions may be integrally formed by forming concave portions and convex portions on, for example, opposing side surfaces of one and the other of the pieces, and fitting the concave portions and the convex portions with the concave and convex portions to join them to each other. The concavo-convex portion may be not only the irregular shape but also a pin and a pin insertion hole. It is possible to cope with an appropriately set length in the axial direction, so that the parts can be made common.

도 6은 본 발명의 제3 실시형태에 관한 조인트용 보호구를 나타내고, (a) 및 (b)는 조인트용 보호구를 구성하는 각 피스를 나타낸 사시도, (c)는 조인트용 보호구의 사시도이며, 도 7은 도 6에 나타낸 조인트용 보호구의 측면도이다. 도 6의 (a)와 도 6의 (b)는, 피스끼리의 대향하는 면이 지면(紙面)에 대하여 바로 앞으로 되도록 나타내고 있다. 예를 들면, 도 6 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 제3 실시형태에 관한 조인트용 보호구(30)는, 복수의 피스(27A, 27B)를 조립하여 구성되어 있다. 본체부(22), 손잡이부(23) 및 가이드부(25B)가, 장착 전의 조인트 슬리브(13)의 축 방향에 대응하여 복수의 피스(27A, 27B)마다 나누어져 있고, 조인트용 보호구(30)는, 복수의 피스(27A, 27B)가 조립됨으로써 구성되어 있다. 각 피스(27A, 27B)의 대향면(28)에, 조립용의 볼록부(29A), 오목부(29B) 중 어느 하나를 각각 형성하여, 볼록부(29A)를 오목부(29B)에 끼워맞춤으로써 복수의 피스(27A)와 피스(27B)가 일체화된다. 제3 실시형태에 있어서도, 제2 실시형태와 같이 홈을 형성하여 조인트 슬리브(13)의 외주면(13B)을 세정하기 쉽게 하는 것이 바람직하다. Fig. 6 is a perspective view of a joint protection according to a third embodiment of the present invention, wherein (a) and (b) are perspective views showing the respective pieces constituting the joint protection, 7 is a side view of the joint protection shown in Fig. 6 (a) and 6 (b) show that the opposing surfaces of the pieces are directly faced to the paper surface. For example, as shown in Figs. 6 and 7, the joint protection 30 according to the third embodiment of the present invention is constructed by assembling a plurality of pieces 27A, 27B. The body portion 22, the handle portion 23 and the guide portion 25B are divided into a plurality of pieces 27A and 27B corresponding to the axial direction of the joint sleeve 13 before attachment, Is constituted by assembling a plurality of pieces 27A, 27B. Any one of the assembling convex portion 29A and the concave portion 29B is formed on the opposing face 28 of each of the pieces 27A and 27B so that the convex portion 29A is sandwiched by the concave portion 29B The plurality of pieces 27A and the pieces 27B are integrated by fitting. Also in the third embodiment, it is preferable that grooves are formed as in the second embodiment so that the outer circumferential surface 13B of the joint sleeve 13 can be easily cleaned.

[유체 제어 기기][Fluid control device]

본 실시형태에 관한 유체 제어 기기(10)는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 백형의 너트(14)의 관통공(14A)에 조인트 슬리브(13)를 삽통하여 보디(12)에 조인트 슬리브(13)가 용접되고, 보디(12)에 구동부로서, 예를 들면, 유체 조작용 액추에이터(16)를 탑재하여 구성된 유체 제어 기기 본체(11)와, 유체 제어 기기 본체(11)의 조인트 슬리브(13)에 대하여 장착된 조인트용 보호구(20)를 구비하여 구성되며, 조인트용 보호구(20)가 조인트 슬리브(13)로부터 작업자에 의해 탈착 가능하게 되어 있다. 1, the fluid control device 10 according to the present embodiment has a structure in which a joint sleeve 13 is inserted into a through hole 14A of a back nut 14 and a joint sleeve 13 A fluid control device main body 11 constituted by mounting a fluid actuation actuator 16 as a driving part to the body 12 and a joint sleeve 13 of the fluid control device main body 11, And the joint protecting member 20 is detachable from the joint sleeve 13 by an operator.

조인트용 보호구(20)가 조인트 슬리브(13)에 장착되어 있으므로, 너트(14)가 조인트 슬리브(13)의 축방향으로 이동하는 것을 억제하여, 너트(14)가 보디(12) 측으로 필요 이상으로 이동하지 않게 되므로, 조인트 슬리브(13)의 실링부(13A)가 너트(14)로부터 돌출되지 않는다. 따라서, 조인트 슬리브(13)의 실링부(13A)가 충격이나 손상 등으로부터 보호된다. 유체 제어 기기(10)로서는 에어나 수동에 의한 개폐 밸브 등을 들 수 있다. The nut 14 is prevented from moving in the axial direction of the joint sleeve 13 and the nut 14 is prevented from moving toward the body 12 more than necessary The sealing portion 13A of the joint sleeve 13 does not protrude from the nut 14. As a result, Therefore, the sealing portion 13A of the joint sleeve 13 is protected from impact, damage, and the like. As the fluid control device 10, there may be mentioned, for example, an air or manual valve.

[유체 제어 기기의 제조 방법][Manufacturing Method of Fluid Control Device]

본 발명의 실시형태에 관한 유체 제어 기기의 제조 방법에 대하여 설명한다. 도 8은 본 발명의 실시형태에 관한 유체 제어 기기의 제조 방법을 나타낸 플로우차트이다. A method of manufacturing a fluid control device according to an embodiment of the present invention will be described. 8 is a flowchart showing a method of manufacturing the fluid control device according to the embodiment of the present invention.

먼저, 용접 장소에서, 보디(12) 내의 유로에 대응시켜 조인트 슬리브(13)를 용접하여 접속한다(STEP1). 이 때, 조인트 슬리브(13)는 백형의 너트(14)의 관통공(14A)에 삽통되어 있다. 이 상태에서는, 조인트 슬리브(13)의 축을 따라 보디(12)로부터 멀어지는 방향으로 너트(14)가 이동함으로써, 너트(14)가 조인트 슬리브(13)의 실링부(13A)를 수용하고, 조인트 슬리브(13)의 축을 따라 보디(12)에 가까워지는 방향으로의 너트(14)가 이동함으로써, 실링부(13A)가 너트(14)로부터 노출되어 돌출된다. First, at the welding position, the joint sleeve 13 is welded and connected to the flow path in the body 12 (STEP 1). At this time, the joint sleeve 13 is inserted into the through hole 14A of the bag-like nut 14. In this state the nut 14 moves in a direction away from the body 12 along the axis of the joint sleeve 13 so that the nut 14 receives the sealing portion 13A of the joint sleeve 13, The nut 14 moves in the direction of approaching the body 12 along the axis of the nut 13 so that the sealing portion 13A is exposed from the nut 14 and protruded.

다음에, 보디(12)에 조인트 슬리브(13)를 용접한 제작 중인 물품의 조인트 슬리브(13)에 본 발명의 각각의 실시형태에 관한 조인트용 보호구(20, 30)를 장착한다. 장착 시에는, 손잡이부(23)를 작업자가 손잡이, 가이드부(25B)를 이용하면서 슬릿(24)으로부터 삽입하여 조인트용 보호구(20, 30)를 조인트 슬리브(13)에 장착한다. 이 상태에서는, 너트(14)의 이동이 억제되어, 실링부(13A)가 너트(14)로부터 돌출되지 않으므로, 실링부(13A)가 보호되고 있다. 그 후, 조인트 슬리브(13)가 용접되어 있는 보디(12)를, 복수, 세정 장소로 운반한다. Next, the joint protectors 20 and 30 according to the respective embodiments of the present invention are mounted on the joint sleeve 13 of the article being manufactured, in which the joint sleeve 13 is welded to the body 12. The operator inserts the grip 23 into the joint sleeve 13 by inserting the joint protective members 20 and 30 through the slit 24 while using the handle and the guide portion 25B. In this state, the movement of the nut 14 is suppressed, and the sealing portion 13A is not protruded from the nut 14, so that the sealing portion 13A is protected. Thereafter, the body 12 to which the joint sleeve 13 is welded is carried to a plurality of cleaning places.

그 후, 세정 장소에 있어서, 필요에 따라 이와 같은 1 또는 복수의 제작 중인 물품을 세정용 망에 수용한 후, 초음파 등에 의한 세정을 행한다(STEP2). 도 9에 나타낸 바와 같이, 손잡이부(23)의 질량으로 조인트용 보호구(20, 30)의 손잡이부(23)가 연직(沿直) 아래쪽을 향한다. 그와 같은 상태에서 제작 중인 물품이 세정액에 침지(浸漬)되므로, 본체부(22)의 가이드부(25B) 및 그 근방이 조인트 슬리브(13)와 접촉한 채로 되기 쉽다. 그러나, 조인트용 보호구(20, 30)의 내주면(21)과 조인트 슬리브(13)와의 접촉 부분을 가급적으로 줄여, 세정 시의 요동(搖動)에 의해 조인트 슬리브(13)의 외주면(13B) 전체를 세정할 수 있다. 이로써, 조인트 슬리브(13)에 부착된 잔류물을 제거할 수 있다. 또한, 세정액을 흐르게 하면서 세정하는 경우에 있어서는, 손잡이부(23)가 조인트 슬리브(13)에 당겨 걸린 상태인 채, 세정액의 흐름에 의해 손잡이부(23)에 힘이 가해져, 조인트 슬리브(13)의 주위를 손잡이부(23)가 회전한다. 따라서, 더욱 양호한 효율로, 조인트 슬리브(13)와 보디(12)와의 용접 부분 및 그 주위, 조인트 슬리브(13)의 외주면 등을, 더욱 양호한 효율로, 세정할 수 있다. Thereafter, if necessary, one or a plurality of such products are placed in a cleaning net at a cleaning site, and then cleaned by ultrasonic waves or the like (STEP 2). The grip portions 23 of the joint protective members 20 and 30 are directed downward along the vertical direction by the mass of the grip portion 23 as shown in Fig. In this state, the article being manufactured is immersed in the cleaning liquid, so that the guide portion 25B of the main body portion 22 and the vicinity thereof tend to remain in contact with the joint sleeve 13. The contact portions between the inner circumferential surface 21 of the joint protective members 20 and 30 and the joint sleeve 13 are reduced as much as possible and the entire outer circumferential surface 13B of the joint sleeve 13 is swung It can be cleaned. Thereby, the residue attached to the joint sleeve 13 can be removed. In the case of cleaning while flowing the cleaning liquid, force is applied to the grip portion 23 by the flow of the cleaning liquid while the grip portion 23 is pulled by the joint sleeve 13, The handle 23 rotates about the periphery thereof. Therefore, the welded portion between the joint sleeve 13 and the body 12 and the periphery thereof, the outer peripheral surface of the joint sleeve 13, and the like can be cleaned with higher efficiency with a higher efficiency.

도 9는, 조인트용 보호구(20, 30)가 조인트 슬리브(13)에 장착되어 있는 상태를 나타낸 도면이다. 조인트 슬리브(13)의 외주면(13B)과 조인트용 보호구(20, 30)의 내주면(21)은, 부호 "40"으로 나타낸 바와 같이, 근소한 부위에서 밖에 접촉하지 않는다. 즉, 조인트 슬리브(13)의 외주면(13B)과 조인트용 보호구(20, 30)의 내주면(21)과의 사이에 초승달형의 간극이 생긴다. 그러므로, 이 간극에 의해 세정이나 건조 등의 작업이 용이하게 된다. 9 is a view showing a state in which the joint protective members 20 and 30 are attached to the joint sleeve 13. Fig. The outer circumferential surface 13B of the joint sleeve 13 and the inner circumferential surface 21 of the joint protective members 20 and 30 come into contact with only a small portion as indicated by reference numeral 40. [ That is, a crescent-shaped gap is formed between the outer circumferential surface 13B of the joint sleeve 13 and the inner circumferential surface 21 of the joint protective members 20, 30. Therefore, this gap facilitates work such as cleaning and drying.

종래에는, 세정 장소로 운반된 제작 중인 물품의 조인트 슬리브로부터 스토퍼를 분리하여 세정하고, 세정이 종료되면, 검사 장소로 운반하기 위해 스토퍼를 조인트 슬리브에 장착하고 있었다. 본 발명의 실시형태에서는, 조인트용 보호구(20, 30)를 조인트 슬리브(13)에 장착된 채 세정하므로, 작업 효율이 향상된다. 세정 시에는 조인트용 보호구(20, 30) 그 자체도 세정되므로, 유체 제어 기기의 청정도도 향상된다. Conventionally, a stopper is detached from a joint sleeve of an article being manufactured, which is transported to a cleaning place, and is cleaned. When the cleaning is completed, the stopper is mounted to the joint sleeve for transporting the inspection article to the inspection site. In the embodiment of the present invention, since the joint protectors 20 and 30 are mounted on the joint sleeve 13 and cleaned, the working efficiency is improved. At the time of cleaning, the joint protectors 20 and 30 themselves are also cleaned, thereby improving the cleanliness of the fluid control device.

세정이 종료되면, 제작 중인 조인트 슬리브 부착 보디는, 검사 장소로 운반된다. 그리고, 검사 장소에 있어서, 작업자는 조인트용 보호구(20, 30)의 손잡이부(23)를 잡고, 조인트 슬리브(13)로부터 떼어내 분리해내고, 손상이나 오염의 유무가 없는지 등 사양을 따라 검사를 행한다(STEP3). 검사에 합격한 제작 중인 물품의 조인트 슬리브(13)에 조인트용 보호구(20, 30)를, 전술한 바와 마찬가지의 수순으로 장착한다. When the cleaning is completed, the joint sleeve attaching body under production is carried to the inspection site. Then, at the inspection site, the operator grasps the handle portion 23 of the joint protective members 20, 30, detaches the joint sleeve 13 from the joint sleeve 13, and checks whether there is any damage or contamination (STEP3). The joint protectors 20 and 30 are attached to the joint sleeve 13 of the article under production that has passed the inspection in the same procedure as described above.

다음에, 제작 중인 조인트 슬리브 부착 보디는, 청정도가 높은 슈퍼 청정실 내의 세정 장소로 운반된다. 그래서, 작업자는, STEP2와 마찬가지로, 제작 중인 조인트 슬리브 부착 보디의 세정을 행하고(STEP4), 그 후, 소정의 프로세스를 거쳐, 조립 장소로 반송(搬送)된다. 조립 장소에 있어서, 사양으로 정해져 있는 유체 조작용 액추에이터(16)를 보디(12)에 장착하는 등의 조립 작업을 행한다(STEP5). Next, the joint sleeve attaching body being manufactured is carried to a cleaning place in a super clean room having high cleanliness. Thus, the operator cleans the joint sleeve attaching body in process (STEP4) in the same manner as in STEP2, and thereafter, is transported to the assembly place through a predetermined process. An assembling operation such as mounting the fluid actuating actuator 16, which is specified in the specification, to the body 12 is performed (STEP 5).

다음에, 제작 중인 조인트 슬리브 부착 보디는, 슈퍼 청정실 내의 검사 장소로 운반된다. 그래서, 작업자는 조인트용 보호구(20, 30)를 분리해내고, 조인트 슬리브(13) 및 보디(12)의 유로 내에 리크 검사용의 가스를 흐르게 하여 리크 검사를 행하여, 최종 검사를 행한다(STEP6). 최종 검사를 행할 때는, 작업자는 조인트용 보호구(20, 30)의 손잡이부(23)를 잡고, 조인트 슬리브(13)로부터 분리해내고, 최종 검사가 검사 항목에 따라 행해진다. 최종 검사에 합격한 제작 중인 물품의 조인트 슬리브(13)에 대하여 조인트용 보호구(20, 30)를, 전술한 바와 마찬가지의 수순으로 장착한다. Next, the joint sleeve attaching body being manufactured is carried to the inspection place in the super clean room. Thus, the worker separates the joint protectors 20 and 30, and conducts a leakage inspection by flowing a leakage inspection gas into the flow path of the joint sleeve 13 and the body 12 to perform final inspection (STEP 6) . When the final inspection is performed, the operator grasps the grip portion 23 of the joint protective members 20, 30 and separates the joint sleeve 13 from the joint sleeve 13, and the final inspection is performed in accordance with the inspection item. The joint protectors 20 and 30 are attached to the joint sleeve 13 of the article under production which has passed the final inspection in the same procedure as described above.

그 후, 최종 검사에 합격한 제작 중인 물품의 조인트 슬리브(13)에 조인트용 보호구(20, 30)를 전술한 바와 마찬가지의 수순으로 장착하고, 슈퍼 청정실 내의 포장 작업 장소로 운반한다. Thereafter, the joint protectors 20 and 30 are attached to the joint sleeve 13 of the article under production which has passed the final inspection in the same procedure as described above, and are transported to the packing work place in the super clean room.

마지막으로, 포장 장소에 있어서, 제작 중인 물품을 진공용 팩에 수용하여 진공 패키징을 한다(STEP7). Finally, in the packaging place, the article being manufactured is accommodated in a vacuum pack and vacuum packaging is performed (STEP 7).

이와 같이, 본 발명의 실시형태에 관한 제조 방법에서는, 세정 전에 조인트용 보호구(20, 30)를 조인트 슬리브(13)로부터 분리해내고, 세정 종료 후에 조인트 슬리브(13)에 장착할 필요가 없어, 작업 효율이 향상된다. 본 발명의 실시형태에 관한 조인트용 보호구(20, 30)를 사용함으로써, 조인트 슬리브(13)에 장착된 채, 세정, 반입(搬入) 및 반출(搬出)의 운반의 각종 작업을 행할 수 있고, 또한 조인트 슬리브(13)에 대한 탈착을 용이하게 할 수 있으므로, 또한 작업 효율성이 향상된다. As described above, in the manufacturing method according to the embodiment of the present invention, it is not necessary to separate the joint protectors 20 and 30 from the joint sleeve 13 before cleaning, and to attach the joint protectors 20 and 30 to the joint sleeve 13 after completion of cleaning, The working efficiency is improved. The use of the joint protection members 20 and 30 according to the embodiment of the present invention enables various operations such as cleaning, Further, detachment with respect to the joint sleeve 13 can be facilitated, and work efficiency is improved.

그리고, 유체 제어 기기의 제조 방법의 수순은, 적절히 변경할 수 있고, 예를 들면, 조인트 슬리브(13)를 보디(12)에 용접한 후에, 기준을 만족시킬 것인지의 여부의 검사를 행하고, 그 후, 조인트용 보호구(20)를 조인트 슬리브(13)에 장착하여 세정해도 된다. The procedure of the manufacturing method of the fluid control device can be changed appropriately. For example, after welding the joint sleeve 13 to the body 12, it is inspected whether or not the standard is satisfied, , And the joint protection (20) may be mounted on the joint sleeve (13) and cleaned.

본 발명의 실시형태는, 도시한 태양(態樣), 전술한 사항에 한정되지 않고, 본 발명의 범위에 있어서 적절히 변경해도 된다. 예를 들면, 조인트 슬리브(13)의 길이에 따라서, 베어링의 유무에 따라, 조인트용 보호구(20, 30)를 착색함으로써, 작업 상부 부품의 차이를 없앨 수가 있다. The embodiments of the present invention are not limited to the above-described embodiments, and may be appropriately changed within the scope of the present invention. For example, depending on the length of the joint sleeve 13, the protective joints 20 and 30 may be colored depending on the presence or absence of the bearing, thereby eliminating the difference in the parts on the work.

10: 유체 제어 기기
11: 유체 제어 기기 본체
12: 보디
13: 조인트 슬리브
13A: 실링부
13B: 외주면
14: 너트
14A: 관통공
14B: 배면
15: 베어링
16: 유체 조작용 액추에이터
20, 30: 조인트용 보호구
21: 내주면
22: 본체부
22A: 링부
23: 손잡이부
24: 슬릿
25: 통형부
25A: 통형부의 단부
25B: 가이드부
26: 홈
27A, 27B: 피스
28: 대향면
29A: 볼록부
29B: 오목부10: Fluid control device
11: Fluid control device body
12: Body
13: Joint sleeve
13A:
13B:
14: Nut
14A: Through hole
14B:
15: Bearings
16: Fluid actuating actuator
20, 30: Protective joint
21: inner peripheral surface
22:
22A: ring portion
23: Handle portion
24: slit
25:
25A: end of the tubular portion
25B:
26: Home
27A, 27B: piece
28: facing face
29A:
29B:

Claims

By threading a joint sleeve through the through-hole of the nut to weld the joint sleeve to the body for the fluid control device body, the joint sleeve is moved in a direction away from the body along the axis of the joint sleeve Wherein the nut moves the nut in a direction in which the nut receives the sealing part of the joint sleeve and moves the nut along the axis of the joint sleeve toward the body, To form a protruding state; And
And a body portion having an inner circumferential surface having a larger diameter than an outer diameter of the joint sleeve so as to have a gap between the outer circumferential surface of the joint sleeve and the outer circumferential surface of the joint sleeve, Wherein a joint protector having a slit for mounting is mounted on the joint sleeve so that the movement of the nut is suppressed so that the sealing portion is prevented from protruding from the nut to protect the sealing portion, A step of cleaning a body welded to the body;
Wherein the fluid control device comprises:

Wherein the nut is adapted to move in a direction away from the body along an axis of the joint sleeve so that the nut receives the sealing portion of the joint sleeve and the nut And a sealing portion that is detachable from the joint sleeve in a state in which the sealing portion protrudes from the nut by moving in a direction approaching the body along an axis of the joint sleeve,
Wherein the joint protector includes a body portion having an inner circumferential surface having a diameter larger than an outer diameter of the joint sleeve so as to have a clearance with the outer circumferential surface around the axis of the joint sleeve, the body portion including a slit for attaching / detaching the joint sleeve to /
Wherein the joint protector is mounted on the joint sleeve so as to suppress the movement of the nut and to prevent the sealing portion of the joint sleeve from protruding from the nut,
Protective joints.

3. The method of claim 2,
And a grip portion is provided on a side opposite to the slit by sandwiching the center of the main body portion.

The method of claim 3,
And the protruding length is set to a length that does not protrude from the body when the protector for joint is mounted on the joint sleeve.

3. The method of claim 2,
Wherein the diameter of the inner circumferential surface of the body portion is 1.1 to 1.3 times the outer diameter of the joint sleeve.

3. The method of claim 2,
Wherein the main body portion comprises a tubular portion having the inner peripheral surface,
Wherein a pair of guide portions for attachment to the joint sleeve is formed at an end portion of the tubular portion that forms the slit.

The method according to claim 6,
And the guide portion is set to be thicker than the thickness of the barrel portion.

8. The method of claim 7,
Wherein the guide portion has a plane facing the slit and the planar portions are widened at an angle of 70 DEG to 100 DEG with respect to the pair of the guide portions.

3. The method of claim 2,
Wherein the width of the slit is set to 0.5 to 0.6 times the outer diameter of the joint sleeve.

3. The method of claim 2,
Wherein the main body portion has a slit that is separated from both sides of the nut in the moving direction by cutting off an intermediate portion of the nut in the moving direction from the slit side.

3. The method of claim 2,
Wherein the engaging portion for engaging is formed on an opposite side surface of the plurality of pieces divided in the moving direction of the nut, and the engaging portion is engaged to connect the plurality of pieces.

The nut is inserted into the through hole of the nut to connect the joint sleeve to the body, and the driving body is mounted on the body, the nut moves in the direction away from the body along the axis of the joint sleeve, A fluid control device body accommodating a sealing portion of the joint sleeve and protruding from the sealing portion by moving the nut in a direction along the axis of the joint sleeve toward the body; And
A joint protection member according to any one of claims 2 to 11 mounted to the joint sleeve;
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