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KR20080092609A - 잉크젯 헤드 세정 장치 및 이를 이용한 세정 방법 - Google Patents

잉크젯 헤드 세정 장치 및 이를 이용한 세정 방법 Download PDF

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KR20080092609A
KR20080092609A KR1020070036130A KR20070036130A KR20080092609A KR 20080092609 A KR20080092609 A KR 20080092609A KR 1020070036130 A KR1020070036130 A KR 1020070036130A KR 20070036130 A KR20070036130 A KR 20070036130A KR 20080092609 A KR20080092609 A KR 20080092609A
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KR
South Korea
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coating material
inkjet head
cleaning
inkjet
filter
Prior art date
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Withdrawn
Application number
KR1020070036130A
Other languages
English (en)
Inventor
이승현
이휘재
서황운
김봉철
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
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Priority to KR1020070036130A priority Critical patent/KR20080092609A/ko
Publication of KR20080092609A publication Critical patent/KR20080092609A/ko
Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

본 발명은 액정표시장치의 제조에 이용되는 잉크젯 도포 장비의 잉크젯 헤드를 세정하는 세정 장치 및 이를 이용한 세정 방법에 관한 것으로서, 특히 잉크젯 헤드의 더미 제팅(dummy jetting) 작업 시에 잉크젯 헤드로부터 토출되는 도포물질을 회수하는 회수부와, 상기 회수로부터의 회수 도포물질에 포함된 이물을 제거한 후 순수한 도포물질을 배출하는 필터를 마련함으로써, 낭비되는 도포물질을 회수하여 재활용하는 세정 장치 및 이를 이용한 세정 방법에 관한 것이다.
이러한 본 발명은, 잉크젯 헤드의 더미 제팅(dummy jetting) 작업 시에 잉크젯 헤드로부터 토출되는 도포물질을 회수하는 제 1 홈(groove)이 형성된 회수부; 상기 회수부에 연결되어, 상기 회수부로부터 전달된 회수 도포물질을 필터링하여 이물을 제거하는 필터; 및 잉크젯 헤드를 세척하여 상기 잉크젯 헤드에 묻어있는 이물과 잔존물을 제거하는 제 2 홈이 형성된 세정부; 에 의해 달성된다.
액정표시장치, 잉크젯, 세정 장치

Description

잉크젯 헤드 세정 장치 및 이를 이용한 세정 방법{CLEANING APPARATUS FOR INK JET HEAD AND CLEANING METHODE OF USING THE SAME}
도 1은 일반적인 잉크젯 도포 장비를 이용하여 액정패널을 제조하는 공정을 도시한 사시도.
도 2는 일반적인 잉크젯 도포 장비에 구비된 잉크젯 헤드를 도시한 평면도.
도 3은 일반적인 잉크젯 헤드의 세정 장치를 이용하여 잉크젯 도포 장비의 잉크젯 헤드를 세정하는 공정을 도시한 사시도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 세정 장치를 도시한 사시도.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 세정 장치를 이용하여 잉크젯 헤드의 더미 제팅(dummy jetting) 작업 시에 잉크젯 헤드로부터 토출되는 도포물질을 회수하고 회수 도포물질에 포함된 이물을 제거하는 작업을 나타낸 사시도.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 세정 장치를 이용하여 잉크젯 헤드를 세정하는 작업을 나타낸 사시도.
도 7은 액정패널을 제조하는 단계의 일부를 나타낸 순서도로서, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 세정 장치를 이용하여 수행되는 잉크젯 헤드의 더미 제팅 작업이 포함된 순서도.
**도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명**
101 : 회수부 101a : 제 1 홈 102 : 필터
102 : 세정부 102a : 제 2 홈
104 : 저장부 105 : 수거부
106 : 잉크젯 도포 장비 106b : 잉크젯 헤드
본 발명은 액정표시장치의 제조에 이용되는 잉크젯 도포 장비의 잉크젯 헤드를 세정하는 세정 장치 및 이를 이용한 세정 방법에 관한 것으로서, 특히 잉크젯 헤드의 더미 제팅(dummy jetting) 작업 시에 낭비되는 도포물질을 회수하여 재활용하는 세정 장치 및 이를 이용한 세정 방법에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시장치는 경량, 박형, 저소비 전력구동 등의 특징으로 인해 그 응용범위가 점차 넓어지고 있는 추세에 있다. 이에 따라 액정표시장치는 노트북 PC와 같은 휴대용 컴퓨터, 사무 자동화 기기, 오디오/비디오 기기 등으로 널리 이용되고 있다.
상기 액정표시장치(Liquid Crystal Display)는 상부기판인 컬러필터(color filter)기판과 하부기판인 박막트랜지스터 어레이(Thin film Transistor Array)기판이 서로 대향하고 그 사이에는 액정층이 충진된 액정패널과, 상기 액정패널에 주사신호 및 화상정보를 공급하여 액정패널을 동작시키는 구동부를 포함하여 구성된다.
이러한 액정패널의 제조 공정은 다수의 박막 또는 배선을 형성하는 공정이 수반되며, 상기 다수의 박막과 배선 등의 미세한 패턴을 형성하는 방법으로는 사진식각 기술이 이용된다. 즉, 액정패널 제조용 기판에 금속막을 형성한 후, 상기 금속막 위에 포토레지스트(photo resist) 패턴을 형성하고, 상기 포토레지스트를 마스크로 적용하여 식각을 통해 박막 또는 배선을 형성한다.
상기와 같은 포토레지스트 패턴을 형성하는 방법으로는 스캔 코팅이나 스크린 프린팅법과 같은 방법이 알려져 있지만, 최근에는 신속한 패턴의 형성을 위하여 잉크젯 도포 장비를 이용한 잉크젯 방식이 소개되고 있다.
이러한 잉크젯 방식은 단순히 포토레지스트를 형성하기 위한 사진 식각 공정에서만 이용되는 것이 아니라, 액정패널의 컬러필터 및 배향막을 형성하기 위한 공정에도 적용될 수 있다.
이하, 첨부한 도 1 및 도 2를 참조하여 일반적인 잉크젯 도포 장비 및 잉크젯 도포 장비의 잉크젯 헤드를 세정하기 위한 세정 장치에 대하여 설명한다.
도 1은 일반적인 잉크젯 도포 장비를 이용하여 액정패널을 제조하는 공정을 도시한 사시도로서, 기판 상에 포토레지스트 패턴이나 컬러필터 또는 배향막을 형성하는 공정을 도시한 도면이다.
또한, 도 2는 일반적인 잉크젯 도포 장비에 구비된 잉크젯 헤드를 도시한 평면도로서, 잉크젯 헤드 중에 노즐이 형성된 영역을 도시한 도면이다.
도 3은 일반적인 잉크젯 헤드의 세정 장치를 이용하여 잉크젯 도포 장비의 잉크젯 헤드를 세정하는 공정을 도시한 사시도이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 상기 잉크젯 도포 장비(6)는 공정 스테이지(9) 상에 배치된 지지대(6a) 및 상기 지지대(6a)에 설치되고 포토레지스트, 잉크, 배향액과 같은 도포물질을 충전하여 기판(8)에 토출하는 복수의 잉크젯 헤드(6b)로 구성된다. 또한, 도 2에 도시한 바와 같이 상기 잉크젯 헤드(6b)에는 복수의 노즐(6c)이 형성되어 잉크젯 헤드(6b) 내부의 도포물질을 기판(8)에 토출한다.
상기와 같이 도포물질을 기판(8)에 토출함에 따라 상기 도포물질이 잉크젯 헤드(6b)의 노즐(6c) 표면에 묻게 된다. 이와 같이 도포물질이 노즐(6c)의 표면에 묻게 됨에 따라 도포물질이 노즐(6c)의 표면에 뭉치게 되어 다음의 도포물질 토출 시에는 설정된 양보다 많은 양의 도포물질이 토출된다. 또한, 도포물질이 노즐(6c) 표면에서 건조된 경우 노즐의 토출구를 막아 다음의 도포물질 토출 시에는 설정된 양보다 적은 양이 토출되기도 한다.
따라서, 항상 설정된 양의 도포물질을 기판(8) 상에 토출하기 위해서는 상기 노즐(6c)에 묻은 도포물질을 주기적으로 제거해야만 하는데, 이러한 노즐(6c)의 세정 작업은 기판(8)에 도포물질을 도포하는 작업이 끝나는 시점이나 이후의 도포 작업이 시작하는 시점에 이루어진다. 상기 잉크젯 헤드(6b)를 세정하는 작업은 세정 장치(3)를 통하여 이루어지는데, 상기 세정 장치(3)는 세정 장치(3) 내에 마련된 홈(3a)에 충전된 세정액에 직접 잉크젯 헤드(6b)를 담금으로써 세정하거나 또는 세정 장치(3) 내에 마련된 홈(3a)에서 잉크젯 헤드(6b)에 세정액을 직접 분사함으로써 세정하는 방법이 있다.
한편, 상기 잉크젯 도포 장비(6)는 기판(8)에 도포물질을 도포하는 작업 시 에 잉크젯 헤드(6b) 내의 도포물질이 미토출되거나 이물 또는 기포가 섞여나오는 문제가 발생하는데, 이 경우 도포물질을 상기 세정 장치(3)에 마련된 홈(3a) 내부로 고속으로 토출해냄으로써 문제를 해결하는 더미 제팅(dummy jetting) 작업이 이루어진다. 상기와 같이 잉크젯 헤드(6b) 내의 도포물질이 미토출되거나 이물 또는 기포가 섞여나오는 문제가 발생하는 원인은 여러 가지가 있으나 주로 잉크젯 헤드(6b)의 노즐(6c) 내부에 충전된 도포물질이 노즐(6c)의 내부 또는 외부에서 건조됨으로써 노즐(6c)의 일부 또는 전체가 막히기 때문이다.
또한, 상기 잉크젯 도포 장비(6)는 기판(8)에 도포물질을 도포하는 작업 전 혹은 작업 중간에 도포물질이 잉크젯 헤드(6b) 외부로 토출되지 않는 잉크젯 헤드(6b) 정지 시간이 길어짐으로 인해 잉크젯 헤드(6b) 내의 도포물질이 잉크젯 헤드(6b) 외부로 토출되기 전에 미리 응고되는 현상이 발생하는데, 이를 방지하기 위하여 도포물질을 기판(8)에 직접 토출하기 직전까지 잉크젯 헤드(6b)가 정지된 시간 동안 잉크젯 헤드(6b) 내부에 충전된 도포물질을 상기 세정 장치(3)에 마련된 홈(3a) 내부로 저속으로 토출해냄으로써 문제를 해결하는 더미 제팅 작업이 이루어진다.
상기와 같은 잉크젯 헤드(6b)에 충전된 도포물질을 세정장치(3)에 마련된 홈(3a) 내부로 저속 또는 고속으로 토출해냄으로써 이루어지는 더미 제팅 작업시에 세정 장치(3)로 토출되는 도포물질은, 세정 작업 시에 세정액 등으로 인해 오염된 도포물질과 달리 세정액이 포함되지 않았음에도 불구하고 세정 장치(3)에 마련된 수거부(5)를 통해 폐기되므로 포토레지스트, 잉크, 배향액 등의 도포물질을 낭비하 게 되어 액정표시장치의 제조 비용을 높이는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 잉크젯 헤드의 더미 제팅(dummy jetting) 작업 시에 잉크젯 헤드로부터 토출되는 도포물질을 회수하는 회수부와, 상기 회수부로부터의 회수 도포물질에 포함된 이물을 제거한 후 순수한 도포물질을 배출하는 필터를 마련하여, 낭비되는 도포물질을 회수하여 재활용함으로써 액정표시장치의 제조 비용이 최소화된 잉크젯 헤드의 세정 장치 및 이를 이용한 세정 방법을 제공하는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치 제조용 잉크젯 도포 장비의 잉크젯 헤드 세정 장치는, 잉크젯 헤드의 더미 제팅(dummy jetting) 작업 시에 잉크젯 헤드로부터 토출되는 도포물질을 회수하는 제 1 홈(groove)이 형성된 회수부; 상기 회수부에 연결되어, 상기 회수부로부터 전달된 회수 도포물질을 필터링하여 이물을 제거하는 필터; 및 잉크젯 헤드를 세척하여 상기 잉크젯 헤드에 묻어있는 이물과 잔존물을 제거하는 제 2 홈이 형성된 세정부; 를 포함하여 구성된다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 세정 장치를 이용하여 이루어지는 세정 방법을 포함하여 이루어지는 잉크젯 도포 장비의 도포 물질 도포 방법은, 도포물질 도포 작업이 이루어질 기판과 잉크젯 도포 장비를 준비하는 단계; 잉크젯 헤드에 이물이 존재하는 경우에 잉크젯 헤드를 세정하는 단계; 상기 기판에 도포물질을 도포하되, 상기 잉크젯 헤드로부터 도포물질이 미토출되거나 이물질이 포함된 도포물질이 토출되는 경우와 상기 잉크젯 헤드가 정지 상태인 경우에는 더미 제팅하고, 더미 제팅을 통해 배출되는 도포물질을 회수하고 필터링하여 이물을 제거하는 단계; 를 포함하여 이루어진다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 세정 장치 및 이를 이용한 세정 방법에 대하여 설명한다.
먼저, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 세정 장치에 대하여 설명하면 다음과 같다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 세정 장치를 도시한 사시도이다. 또한, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 세정 장치를 이용하여 잉크젯 헤드의 더미 제팅(dummy jetting) 작업 시에 잉크젯 헤드로부터 토출되는 도포물질을 회수하고 회수 도포물질에 포함된 이물을 제거하는 작업을 나타낸 사시도이며, 도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 세정 장치를 이용하여 잉크젯 헤드를 세정하는 작업을 나타낸 사시도이다. 그리고, 도 7은 액정패널을 제조하는 단계의 일부를 나타낸 순서도로서, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 세정 장치를 이용하여 수행되는 잉크젯 헤드의 더미 제팅 작업이 포함된 순서도이다.
도 4, 도 5 및 도 6에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 액정표시장치 제조용 잉크젯 도포 장비(106)의 잉크젯 헤드(106b) 세정 장치는 잉크젯 헤드(106b)의 더미 제팅(dummy jetting) 작업 시에 잉크젯 헤드(106b)로부터 토출되는 도포물질 을 회수하는 제 1 홈(groove)(101a)이 형성된 회수부(101); 상기 회수부(101)에 연결되어, 상기 회수부(101)로부터 전달된 회수 도포물질을 필터링하여 이물을 제거하는 필터(102); 및 잉크젯 헤드(106b)를 세척하여 상기 잉크젯 헤드(106b)에 묻어있는 이물과 잔존물을 제거하는 제 2 홈(103a)이 형성된 세정부(103);를 포함하여 구성된다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 헤드(106b) 세정 장치는 상기 필터(102)에 연결되어 필터(102)에 의해 필터링된 순수한 도포물질을 저장하는 저장부(104) 및 상기 세정부(103)에 연결되어 잉크젯 헤드(106b)를 세정한 폐기물을 수거하는 수거부(105)가 추가로 구비된다.
여기서, 상기 잉크젯 헤드(106b)는 액정표시장치의 제조에 있어서 다양하게 이용되는 잉크젯 도포 장비(106)의 구성요소로서, 이러한 잉크젯 헤드(106b)는 포토레지스트, 잉크, 배향액 등의 도포물질을 기판에 토출한다. 이러한 도포물질의 토출은 복수 개의 노즐(미도시)을 통해 이루어진다.
즉, 상기 잉크젯 도포 장비(106)는 상기와 같이 잉크젯 헤드(106b) 및 잉크젯 헤드(106b)에 형성된 노즐을 비롯하여, 액정표시장치의 제조 시에 상기 잉크젯 헤드(106b)가 기판(미도시)의 상부에 소정 간격 이격되도록 배치하는 지지대(106a)를 포함하여 구성된다.
상기 회수부(101)에 형성된 제 1 홈(101a)에서는 액정표시장치의 제조 과정에서 잉크젯 헤드(106b)의 더미 제팅(dummy jetting) 작업이 이루어지므로, 잉크젯 헤드(106b)로부터 토출되는 도포물질을 회수하여 필터(102)로 전달하며, 상기 필 터(102)에서는 상기 회수된 도포물질을 필터링한다.
여기서, 상기 잉크젯 헤드(106b)의 더미 제팅은, 필요에 따라 도포물질을 상기 회수부(101)에 형성된 제 1 홈(101a)에 고속 또는 저속으로 더미 토출하여 잉크젯 헤드(106b)에 발생한 문제를 해결하거나 잉크젯 헤드(106b)의 문제 발생을 미리 방지하는 작업이다. 따라서, 상기 잉크젯 헤드(106b)의 더미 제팅은 경우에 따라서 도포물질 고속 토출을 통해 수행되는 고속 더미 제팅 작업과 도포물질 저속 토출을 통해 수행되는 저속 더미 제팅 작업으로 나누어진다.
도포물질 고속 토출을 통한 잉크젯 헤드(106b)의 고속 더미 제팅 작업은 도포물질을 더미 토출하여 잉크젯 헤드(106b)의 노즐의 토출 불량을 해결하기 위한 것으로, 이를 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.
도포물질 고속 토출을 통한 잉크젯 헤드(106b)의 고속 더미 제팅 작업은 잉크젯 도포 장비(106)를 이용하여 기판에 도포물질을 도포하는 작업 시에 잉크젯 헤드(106b) 내의 도포물질이 미토출되거나 이물 또는 기포가 섞여나오는 문제가 발생하였을 경우에, 도포물질을 회수부(101)에 형성된 제 1 홈(101a)에 빠른 속도로 토출함으로써 상기와 같은 문제를 해결하기 위한 것이다.
다시 말해서, 도포물질 고속 토출을 통한 잉크젯 헤드(106b)의 고속 더미 제팅 작업은 잉크젯 도포 장비(106)를 이용하여 기판에 도포물질을 도포하는 작업 시에 잉크젯 헤드(106b)의 노즐 내부 또는 노즐 부근의 도포물질이 건조됨으로써 노즐의 일부 또는 전체가 막혀 잉크젯 헤드(106b) 내의 도포물질이 미토출되거나 이물 또는 기포가 섞여나오는 문제가 발생하였을 경우에 잉크젯 헤드(106b)의 도포물 질을 빠른 속도로 토출함으로써 이루어진다.
이에 따라, 상기 노즐의 내부 또는 외부의 건조된 도포물질과 노즐 내부의 기포는 빠른 속도로 토출되는 도포물질의 압력에 의해 노즐로부터 제거되어, 잉크젯 헤드(106b)의 노즐로부터 도포물질이 미토출되거나 이물 또는 기포가 섞여나오는 문제가 해결된다.
이와 같이 도포물질 고속 토출을 통한 잉크젯 헤드(106b)의 고속 더미 제팅 작업을 수행하는 방법으로는 공기 또는 질소 기체로 잉크젯 헤드(106b) 내부를 가압하여 노즐 내의 도포물질을 토출하는 방법 등의 여러 가지 예가 있다.
그리고, 도포물질 저속 토출을 통한 저속 더미 제팅 작업은 잉크젯 도포 장비(106)를 이용하여 기판에 도포물질을 도포하는 작업 전 혹은 작업 중간에 잉크젯 헤드(106b) 내에 충전되어 있던 도포물질이 잉크젯 헤드(106)의 외부로 토출되기 전에 미리 응고되는 현상을 방지하기 위하여, 기판에 직접 토출하기 직전까지 도포물질을 회수부(101)에 형성된 제 1 홈(101a)에 토출하는 작업이다.
다시 말해서, 도포물질 고속 토출을 통한 저속 더미 제팅 작업은, 잉크젯 도포 장비(106)를 이용하여 기판에 도포물질을 도포하는 작업 전에 잉크젯 헤드(106b) 내부에 잉크를 충전한 뒤 기판에 직접 토출하기까지의 정지 시간이 길어지거나 기판에 도포물질을 도포하는 작업 중간에 도포물질을 기판에 토출하지 않는 정지 시간이 길어짐으로 인해 잉크젯 헤드(106b) 내에 충전되어 있던 도포물질이 잉크젯 헤드(106b) 외부로 토출되기 전에 미리 응고되는 현상을 방지하기 위하여, 잉크젯 헤드(106b)의 도포물질을 기판에 직접 토출하기 직전까지 도포물질을 잉크 젯 헤드(106b) 외부로 소량씩 토출하는 작업이다.
상기에 설명한 바와 같이 상기 회수부(101)의 제 1 홈(101a)은 잉크젯 헤드(106b)로부터 토출되는 잉크를 수납하여 회수해야만 하므로, 제 1 홈(101a)의 폭과 길이는 노즐이 형성된 잉크젯 헤드(106b)의 폭과 길이와 동일하거나 잉크젯 헤드(106b)의 폭과 길이보다 커야만 한다.
상기 회수부(101)의 제 1 홈(101a)은 하나가 구비되어 한번에 상기 복수 개의 잉크젯 헤드(106b)에 대응되어 잉크젯 헤드(106b)로부터 토출되는 도포물질을 회수하는 것을 그 예로 하였지만 복수 개의 잉크젯 헤드(106b) 모두에 대응되어 잉크젯 헤드(106b)로부터 토출되는 도포물질을 효과적으로 회수할 수 있는 범위 내에서는 상기 제 1 홈(101a)의 개수 및 형상은 충분히 변경 및 응용이 가능하다.
또한, 도면에 도시하지는 않았지만 상기 회수부(101)의 내부 혹은 외부에는 회수된 도포물질을 제 1 회수관(101b)과 연결된 필터(102)로 전달하기 위한 배출구(미도시)가 형성되어 회수된 도포물질을 상기 제 1 회수관(101b)을 통해 필터(102)로 전달한다.
상기 필터(102)는 도 3에 도시한 바와 같이 제 1 회수관(101b)을 통해 상기 회수부(101)와 연결되어, 상기 회수부(101)로부터 전달된 도포물질에 포함된 이물을 제거하며, 이물이 제거된 순수한 도포물질은 제 2 회수관(102b)를 통해 상기 저장부(104)로 전달된다.
상기 필터(102)는 순수한 도포 물질의 입자 보다는 크고 이물질의 입자보다는 작은 체(sieve) 구조로 이루어져 회수부(101)로부터 전달된 회수 도포물질에 포 함된 순수 도포물질만을 통과시키고 이물은 필터링한다.
즉, 상기 회수부(101)로부터 전달된 회수 도포물질이 상기와 같이 체(sieve) 구조를 가지는 필터(102)를 거치게 되면, 회수 도포물질에 포함된 순수 도포물질과 이물 중에 상대적으로 입자 크기가 작은 순수 도포물질은 필터(102)를 통과하여 저장부(104)로 전달되고 상대적으로 입자 크기가 큰 이물은 필터에 남게 된다.
그리고, 상기 필터(102)에 의해 필터링된 순수 도포물질은 제 2 회수관(102b)를 통해 저장부(104)로 전달되며, 상기 저장부(104)는 상기 필터(102)로부터 전달된 순수 도포물질을 저장한다. 상기 저장부(104)에 저장된 순수 도포물질은 상기 잉크젯 도포 장비(106)로 전달되어, 액정표시장치를 제조하기 위한 도포물질로 재사용된다. 즉, 상기 저장부(104)에 저장된 순수 도포물질은 재활용되는 것이다.
상기 세정부(103)의 제 2 홈(103a)에서는 잉크젯 도포 장비(106)의 도포물질의 토출 종료 시점 혹은 시작 시점에 잉크젯 헤드(106b)에 존재하는 이물과 잔존물을 제거하는 세정 작업이 이루어진다.
상기 세정 작업은 세정부(103)의 제 2 홈(103a) 내부에 세정액을 충전한 후 잉크젯 헤드(106b)를 담금으로써 세정하는 방법과 상기 제 2 홈(103a) 내부에 잉크젯 헤드(106b)를 위치시킨 후 잉크젯 헤드(106b)에 세정액을 분사함으로써 세정하는 방법이 있으며, 이를 더욱 자세히 설명하면 다음과 같다.
상기 세정부(103)의 제 2 홈(103a)에서 이루어지는 세정 작업 중에 세정액에 잉크젯 헤드(106b)를 담금으로써 세정하는 방법은, 도 6에 도시한 바와 같이 상기 세정부(103)의 제 2 홈(103a)의 내부에 세정액을 충전한 후 잉크젯 헤드(106b)를 담금으로써 상기 잉크젯 헤드(106b)에 존재하는 이물과 잔존물이 세정액의 내부로 용해됨으로써 잉크젯 헤드(106b)로부터 떨어져 나가도록 하는 것이다.
또한, 상기 세정부(103)의 제 2 홈(103a)에서 이루어지는 세정 작업 중에 세정액을 잉크젯 헤드(106b)에 분사함으로써 세정하는 방법은, 도면에 도시하지는 않았지만 상기 세정부(103)의 제 2 홈(103a)의 내부에 세정액 분사 장치를 마련하여 잉크젯 헤드(106b)에 직접 세정액을 분사함으로써 상기 세정액의 압력에 의해 잉크젯 헤드(106b)에 존재하는 이물과 잔존물이 떨어져 나가도록 하거나 상기 이물과 잔존물이 세정액의 내부로 용해됨으로써 잉크젯 헤드(106b)로부터 떨어져 나가도록 하는 것이다.
상기와 같이 세정부(103)의 제 2 홈(103a) 내에서 세정이 이루어진 후에 제 2 홈(103a) 내에 남게 되는 이물, 잔존물 및 세정액은 수거관(103b)을 통해 상기 수거부(105)로 전달된다.
상기 수거부(105)는 도 4에 도시한 바와 같이, 상기 세정부(103)로부터 전달된 이물, 잔존물 및 세정액을 수거하며, 상기 수거부(105)에 저장된 이물, 잔존물 및 세정액은 폐기된다.
본 발명을 설명함에 있어서 상기 잉크젯 도포 장비의 잉크젯 헤드 세정장치와 잉크젯 도포장비는 서로 일체로 형성되지 않은 것을 그 예로 하였지만, 본 발명이 이에 한정되는 것이 아니며 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 잉크젯 도포 장비의 잉크젯 헤드 세정장치는 잉크젯 도포 장비와 일체로 형성되는 것이 충분히 가능하다.
이하, 도 7을 참조하여, 상기에 설명한 잉크젯 헤드의 세정 장치를 이용하여 수행되는 더미 제팅 작업이 포함된 잉크젯 도포 장비의 도포물질 도포 방법에 대하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도포물질 도포 작업이 이루어질 기판과 잉크젯 도포 장비(106)를 준비한다.
그 다음, 잉크젯 헤드(106b)에 이물이 존재하는지 판단한다(S110). 이 단계에서 상기 잉크젯 헤드(106b)에 이물이 존재한다고 판단한 경우에, 잉크젯 헤드(106b)를 세정부(103)의 제 2 홈(103a)에 대응시켜 세정하고(S111), 세정을 통해 발생한 폐기물을 상기 수거부(105)에 저장하여 폐기한다(S112).
그 다음, 상기 기판에 도포물질을 도포하기 전에 상기 잉크젯 헤드(106b)가 동작하지 않고 대기하는 시간이 존재하는지 판단한다(S120). 이 단계에서, 상기 잉크젯 헤드(106b)가 동작하지 않고 대기하는 시간이 존재한다고 판단한 경우에, 기판에 도포물질을 도포하기 시작하는 시점 전까지 회수부(101)의 제 1 홈(101a)에 도포물질을 저속으로 더미 제팅한다(S121).
그 다음, 상기 기판에 도포물질을 도포하되(S140), 상기 잉크젯 헤드로부터 도포물질이 미토출되거나 이물질이 포함된 도포물질이 토출되는지 판단하고(S130), 상기 잉크젯 헤드가 정지 상태인지도 판단한다(S120). 이 단계에서, 잉크젯 헤드(106b)로부터 도포물질이 미토출되거나 이물질이 포함된 도포물질이 토출된다고 판단한 경우에는 도포물질을 고속으로 더미 제팅하되(S131) 상기 도포물질을 회수 부(101)의 제 1 홈(101a)에 회수한다(S122). 또한, 상기 잉크젯 헤드(106b)가 정지 상태라고 판단한 경우에는 도포물질을 저속으로 더미 제팅하고(S121) 상기 도포물질을 회수부(101)의 제 1 홈(101a)에 회수하며(S122), 이에 더하여 회수한 상기 도포물질을 필터(102)를 통해 필터링하여 이물을 제거하고(S213) 이물이 제거된 도포물질을 잉크젯 도포장비로 전달하여 재활용한다(S124).
상기에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명은, 잉크젯 헤드의 더미 제팅(dummy jetting) 작업 시에 잉크젯 헤드로부터 토출되는 도포물질을 회수하는 회수부 및 상기 회수부로부터의 회수 도포물질에 포함된 이물을 제거한 후 순수한 도포물질을 배출하는 필터가 구비된 세정 장치를 마련하여, 더미 제팅 시에 낭비되는 도포물질을 회수하여 재활용함으로써 액정표시장치의 제조 비용을 최소화할 수 있는 장점이 있다.
또한, 잉크젯 헤드의 더미 제팅 작업 시에 토출되는 도포물질을 상기 필터를 통해 필터링하여 이물을 제거한 후에 재사용함으로써 폐기물 처리 비용을 절감할 수 있는 장점이 있다.

Claims (17)

  1. 잉크젯 헤드의 더미 제팅(dummy jetting) 작업 시에 잉크젯 헤드로부터 토출되는 도포물질을 회수하는 제 1 홈(groove)이 형성된 회수부;
    상기 회수부에 연결되어, 상기 회수부로부터 전달된 회수 도포물질을 필터링하여 이물을 제거하는 필터; 및
    잉크젯 헤드를 세척하여 상기 잉크젯 헤드에 묻어있는 이물과 잔존물을 제거하는 제 2 홈이 형성된 세정부;
    를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 잉크젯 도포 장비의 잉크젯 헤드 세정 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 이물 제거 필터는 체(sieve) 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 잉크젯 도포 장비의 잉크젯 헤드 세정 장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 회수부와 필터 사이에 구비되어 상기 회수부의 회수 도포물질을 상기 필터를 전달하는 제 1 회수관이 추가로 구비된 것을 특징으로 하는 잉크젯 도포 장비의 잉크젯 헤드 세정 장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 도포물질은 포토레지스트(photo regist), 잉크 또는 배향액인 것을 특징으로 하는 잉크젯 도포 장비의 잉크젯 헤드 세정 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 필터에 연결되어 필터에서 필터링된 순수한 도포물질을 저장하는 저장부; 및
    상기 필터와 저장부 사이에 구비되어 상기 필터에서 필터링된 순수한 도포물질을 상기 저장부로 전달하는 제 2 회수관;
    이 추가로 구비된 것을 특징으로 하는 잉크젯 도포 장비의 잉크젯 헤드 세정 장치.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 저장부에 저장된 순수한 도포물질은 잉크젯 도포 장비로 전달되어 재활용되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 도포 장비의 잉크젯 헤드 세정 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 세정부에 연결되어 잉크젯 헤드를 세정한 폐기물을 수거하는 수거부;
    상기 세정부와 수거부 사이에 구비되어 잉크젯 헤드를 세정한 폐기물을 상기 세정부로부터 수거부로 전달하는 수거관;
    이 추가로 구비된 것을 특징으로 하는 잉크젯 도포 장비의 잉크젯 헤드 세정 장치.
  8. 복수 개의 노즐이 구비되어 도포물질을 토출하는 잉크젯 헤드;
    상기 잉크젯 헤드의 더미 제팅(dummy jetting) 작업 시에 잉크젯 헤드로부터 토출되는 도포물질을 회수하는 제 1 홈(groove)이 형성된 회수부;
    상기 회수부에 연결되어, 상기 회수부로부터 전달된 회수 도포물질을 필터링하여 이물을 제거하는 필터; 및
    상기 잉크젯 헤드를 세척하여 잉크젯 헤드에 묻어있는 이물과 잔존물을 제거하는 제 2 홈이 형성된 세정부;
    를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 도포 장비.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 이물 제거 필터는 체(sieve) 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 잉크젯 도포 장비.
  10. 제 8 항에 있어서, 상기 회수부와 필터 사이에 구비되어 상기 회수부의 회수 도포물질을 상기 필터를 전달하는 제 1 회수관이 추가로 구비된 것을 특징으로 하는 잉크젯 도포 장비.
  11. 제 8 항에 있어서, 상기 도포물질은 포토레지스트(photo regist), 잉크 또는 배향액인 것을 특징으로 하는 잉크젯 도포 장비.
  12. 제 8 항에 있어서,
    상기 필터에 연결되어 필터에서 필터링된 순수한 도포물질을 저장하는 저장부; 및
    상기 필터와 저장부 사이에 구비되어 상기 필터에서 필터링된 순수한 도포물질을 상기 저장부로 전달하는 제 2 회수관;
    이 추가로 구비된 것을 특징으로 하는 잉크젯 도포 장비.
  13. 제 12 항에 있어서, 상기 저장부에 저장된 순수한 도포물질은 잉크젯 도포 장비로 전달되어 재활용되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 도포 장비.
  14. 제 8 항에 있어서,
    상기 세정부에 연결되어 잉크젯 헤드를 세정한 폐기물을 수거하는 수거부;
    상기 세정부와 수거부 사이에 구비되어 잉크젯 헤드를 세정한 폐기물을 상기 세정부로부터 수거부로 전달하는 수거관;
    이 추가로 구비된 것을 특징으로 하는 잉크젯 도포 장비.
  15. 도포물질 도포 작업이 이루어질 기판과 잉크젯 도포 장비를 준비하는 단계;
    잉크젯 헤드에 이물이 존재하는 경우에 잉크젯 헤드를 세정하는 단계;
    상기 기판에 도포물질을 도포하되, 상기 잉크젯 헤드로부터 도포물질이 미토출되거나 이물질이 포함된 도포물질이 토출되는 경우와 상기 잉크젯 헤드가 정지 상태인 경우에는 더미 제팅하고, 더미 제팅을 통해 배출되는 도포물질을 회수하고 필터링하여 이물을 제거하는 단계;
    를 포함하여 이루어지는 잉크젯 도포 장비의 도포물질 도포 방법.
  16. 제 15 항에 있어서, 잉크젯 헤드에 이물이 존재하는 경우에 잉크젯 헤드를 세정하는 단계 후에는,
    상기 잉크젯 헤드를 세정함으로써 발생한 폐기물을 폐기처리하는 단계가 수행되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 도포 장비의 도포물질 도포 방법.
  17. 제 15 항에 있어서, 더미 제팅을 통해 배출된 도포물질을 회수하고 필터링하여 이물을 제거하는 단계 후에는,
    이물이 제거된 순수한 도포물질을 재활용하는 단계가 수행되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 도포 장비의 도포물질 도포 방법.
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