JP2004337709A - 液滴吐出装置、カラーフィルター製造装置、カラーフィルター及びその製造方法、液晶装置、電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】液滴吐出ヘッドのメンテナンスコストを低減するとともに、液滴吐出ヘッドの復活、延命を図れる液滴吐出装置、これを用いたカラーフィルター製造装置、カラーフィルター及びその製造方法、液晶装置、電子機器を提供する。
【解決手段】被処理基材上にパターン形成用材料を含有する液状体を吐出して所望形状のパターンを形成する液滴吐出装置であって、被処理基材の流れ方向と交差する方向に配列された複数の液滴吐出ヘッド３４と、液滴吐出ヘッド３４を所定個数ずつ補修するメンテナンスユニット１００、１１０、１２０と、上記パターンを検査する検査部６４と、上記各ユニット１００、１１０、１２０を制御する制御部１５０と、を備え、上記各ユニットが液滴吐出ヘッド３４に対して移動可能に配置され、制御部１５０は、検査部６４の出力に基づき、上記各ユニットが液滴吐出ヘッド３４を補修するように制御することを特徴とする。
【選択図】 図６

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液滴吐出装置、カラーフィルター製造装置、カラーフィルター及びその製造方法、液晶装置、電子機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、コンピュータディスプレイや大型テレビジョン等の電子機器の発達に伴い、液晶表示装置、特にカラー液晶表示装置の使用が増加している。この種の液晶表示装置には、通常、表示画像をカラー化するためにカラーフィルターが用いられている。カラーフィルターには、例えばガラス基板に対してＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のインクを所定のパターンで吐出させ、このインクを基板上で乾燥させることで着色層を形成するものがある。このような基板に対してインクを吐出する方式としては、例えばインクジェット方式の液滴吐出装置が採用されている。
【０００３】
インクジェット方式の液滴吐出装置を採用した場合、インクジェットヘッドからガラス基板に対して所定量のインクを吐出して着弾させる。この場合、例えば直交する２方向（Ｘ方向、Ｙ方向）に移動可能、および任意の回転軸を中心として回転可能とされたＸＹθステージにガラス基板を搭載し、インクジェットヘッドを固定したタイプの装置を用いることができる。このタイプの装置は、ＸＹθステージの駆動によりインクジェットヘッドに対してガラス基板を所定の位置に位置決めした後、ガラス基板をＸ方向、Ｙ方向に走査しながらインクジェットヘッドからインクを吐出することで、ガラス基板の所定の位置にインクを着弾させる構成となっている。
【０００４】
この種の液滴吐出装置の例が、下記の特許文献１に開示されている。この文献に開示された液滴吐出装置は、ベースと、液滴を吐出するインクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）と、インクジェットヘッドとガラス基板とを相対移動可能とする第１の移動手段および第２の移動手段と、インクジェットヘッドをキャッピングやワイピングなどのメンテナンスをするクリーニングユニットと、コントローラなどを有している。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１１−２４８９２６号公報 （第８頁、第２図）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、従来の液滴吐出装置においては、描画されたパターンに描画漏れなどの不具合が発見されると、全ての液滴吐出ヘッドを一斉にキャッピング、ワイピングするメンテナンスをしていた。しかしながら、詰まり、飛行曲がりなどの不具合を起こした液滴吐出ヘッドのノズルの数は多くても数個単位であるため、上述したメンテナンスにおいては、メンテナンスする必要のない液滴吐出ヘッドまでメンテナンスしていた。
そのため、メンテナンスする必要のない液滴吐出ヘッドをメンテナンスすることによりインクが無駄に廃棄されたり、ワイピングクロスが無駄に消費されたりしていた。
【０００７】
また、複数の液滴吐出ヘッドを同時にキャッピングするため、その吸引力は各液滴吐出ヘッドに分散され弱くなる。さらに、液滴吐出ヘッドの詰まったノズルと詰まっていないノズルとでは、詰まっていないノズルの方がインクが流れやすく、詰まったノズルの吸引力がさらに弱くなる。つまり、メンテナンスの確実性が低下する恐れがあるという問題があった。
【０００８】
液滴吐出ヘッドを吸引用キャッピングユニット、ワイピングユニットのところまで移動させてメンテナンスを行っていた。しかしながら、メンテナンス終了後に液滴吐出ヘッドが元の位置に移動する際に、移動による振動で液滴吐出ヘッドのノズル内のインクの表面形状であるメニスカスが乱れる恐れがあった。メニスカスが乱れるとインクの着弾位置も乱れ、所望のパターンを描画できなくなる恐れがあり、再度ワイピングを行ってメニスカスの形状を整える必要が発生するという問題があった。
【０００９】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、液滴吐出ヘッドのメンテナンス時に廃棄されるインク量、消費されるワイピングクロス量を低減してメンテナンスコストを低減するとともに、液滴吐出ヘッドの復活、延命を図ることができる液滴吐出装置、これを用いたカラーフィルター製造装置、カラーフィルター及びその製造方法、液晶装置、電子機器を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の液滴吐出装置は、被処理基材上にパターン形成用材料を含有する液状体を吐出することにより所望形状のパターンを形成する液滴吐出装置であって、被処理基材の流れ方向と交差する方向に配列された複数の液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドを所定個数ずつメンテナンスするメンテナンスユニットと、被処理基材上に形成されたパターンの形成不良を検出する検査部と、メンテナンスユニットを駆動制御する制御部と、を備え、メンテナンスユニットが液滴吐出ヘッドに対して移動可能に配置され、制御部は、検査部の出力に基づき、メンテナンスユニットがパターンの形成不良に対応する液滴吐出ヘッドをメンテナンスするように制御することを特徴とする。
【００１１】
すなわち、本発明の液滴吐出装置は、まず、検査部が検知したパターン形成不良の情報に基づき、制御部が対応する液滴吐出ヘッドを割り出している。そして、制御部はメンテナンスユニットを上記液滴吐出ヘッドに移動させ、上記液滴吐出ヘッドをメンテナンスユニットによりメンテナンスさせている。
従来の液滴吐出装置では、メンテナンスの際には、正常な液滴吐出ヘッドまでメンテナンスしていたので、その分のコストが無駄にかかっていた。しかし、本発明の液滴吐出装置では、パターン形成不良の場所に対応した液滴吐出ヘッドのみをメンテナンスしている。そのため、メンテナンスにかかるコストを低減することができる。
【００１２】
また、液滴吐出ヘッドをメンテナンスユニットにより所定個数ずつメンテナンスするので、従来の液滴吐出装置と比較して、より確実にメンテナンスすることができる。そのため、液滴吐出ヘッドを復活させやすくなり、その寿命が長くなって交換頻度を少なくすることができる。
【００１３】
メンテナンスユニットが移動して液滴吐出ヘッドをメンテナンスしているので、液滴吐出ヘッドを動かさないでメンテナンスをすることができる。そのため、液滴吐出ヘッド内の液状体の表面形状（以後、メニスカスと表記）が、液滴吐出ヘッドの移動により乱れることがない。つまり、従来の液滴吐出装置で行われていたメニスカスを整えるための作業を行う必要がなく、メンテナンスにかかるコストを低減することができる。
【００１４】
上記の構成を実現するために、より具体的には、上記メンテナンスユニットが、液滴吐出ヘッドをキャップし、液滴吐出ヘッド内に詰まった異物を吸引する吸引用キャッピングユニットであることが望ましい。
この構成によれば、液滴吐出ヘッド１つ１つについてキャッピングして異物を吸引することができる。そのため、吸引され廃棄される液体の量を、従来の全ての液滴吐出ヘッドを吸引するする方法よりも大幅に少なくすることができる。
また、異物を吸引する力についてみると、従来の方法では全てを同時に吸引するため、１つの液滴吐出ヘッド当たりの吸引力が分散され小さくなっていた。しかし、液滴吐出ヘッドを１つ１つ吸引する本発明は、従来よりも吸引力が大きくなり、異物を吸引して取り除く確率が高くなる。
【００１５】
上記の構成を実現するために、より具体的には、上記メンテナンスユニットが、液滴吐出ヘッドの液滴吐出部およびその周囲をクリーニングするワイピングユニットであることが望ましい。
この構成によれば、液滴吐出ヘッド１つ１つについてワイピングしてその液滴吐出部およびその周囲をクリーニングすることができる。従来の全ての液滴吐出ヘッドをワイピングする方法よりも確実に液滴吐出部およびその周囲をワイピングすることができる。
【００１６】
上記の構成を実現するために、より具体的には、ワイピングユニットが、ワイピングクロスを備え、ワイピングクロスが、液滴吐出部およびその周囲を摺動することによりクリーニングしても良い。
この構成によれば、液滴吐出ヘッド１つ１つについて、ワイピングクロスが、液滴吐出部およびその周囲を摺動することによりクリーニングしている。このワイピングクロスの寸法が、１つの液滴吐出ヘッドをクリーニングできる寸法でよいため、従来のワイピングクロスの寸法よりも大幅に小さくすることができる。
【００１７】
上記の構成を実現するために、より具体的には、ワイピングユニットが、弾性を有した材料からなる板状部材を備え、板状部材が、液滴吐出部およびその周囲を摺動することによりクリーニングしてもよい。
この構成によれば、液滴吐出ヘッド１つ１つについて、板状部材が、液滴吐出部およびその周囲を摺動することによりクリーニングしている。従来の全ての液滴吐出ヘッドをワイピングする方法では、幾つかの液滴吐出ヘッドと板状部材との接触が不十分となりクリーニングされない恐れがあった。しかし、液滴ヘッド１つ１つをワイピングする本発明では、確実に液滴吐出部およびその周囲を摺動しクリーニングすることができる。
【００１８】
上記の構成を実現するために、より具体的には、メンテナンスユニットが、上記本発明の吸引用キャッピングユニット、および上記本発明のワイピングユニットのうち、いずれか２以上のユニットを備えてもよい。
この構成によれば、液滴吐出ヘッドの状態に応じて上記ユニットを使い分けることができ、また、各ユニットが同時に別々の液滴吐出ヘッドをメンテナンスすることができる。そのため、確実かつ短時間に液滴吐出ヘッドのメンテナンスを行うことができる。
【００１９】
上記の構成を実現するために、より具体的には、液滴吐出ヘッドを検査する液滴吐出ヘッド検査ユニットを備え、液滴吐出ヘッド検査ユニットが、液滴吐出ヘッドに対して移動可能に配置され、制御部が、検査部の出力に基づき、液滴吐出ヘッド検査ユニットがパターンの形成不良に対応する液滴吐出ヘッドを検査するように制御してもよい。
この構成によれば、液滴吐出ヘッド検査ユニットがパターンの形成不良に対応する液滴吐出ヘッドを検査することができる。つまり、制御部が割り出したパターンの形成不良に対応する液滴吐出ヘッドが、本当にパターンの形成不良に対応するのか確認することができる。そのため、正常な液滴吐出ヘッドをメンテナンスすることを防ぐことができ、メンテナンスのコストを低減することができる。
【００２０】
上記の構成を実現するために、より具体的には、液滴吐出ヘッド検査ユニットが、液滴吐出ヘッドから液滴が吐出されることを検査する飛行観測ユニットであってもよい。
この構成によれば、液滴吐出ヘッドから液滴が吐出されるか否かを確認することができる。そのため、正常な液滴吐出ヘッドをメンテナンスすることを防ぐことができ、メンテナンスのコストを低減することができる。
【００２１】
上記の構成を実現するために、より具体的には、飛行観測ユニットが、液滴を撮影する第１の撮影手段と、間欠点灯可能な照明手段とを備え、照明手段を間欠点灯させて、液滴の飛行軌跡を第１の撮影手段により観測してもよい。
この構成によれば、液滴の飛行軌跡を観測することができるため、液滴吐出ヘッドから液滴が吐出されるか否かを確認するだけでなく、液滴の飛行曲がりを確認することもできる。
そのため、液滴吐出ヘッドのメンテナンスに適したメンテナンスユニットを選択することができ、より確実にメンテナンスできてメンテナンスのコストを低減することができる。
【００２２】
上記の構成を実現するために、より具体的には、飛行観測ユニットが、光を照射する光照射手段と、光照射手段から照射された光を検知する光検知手段とを備え、吐出された液滴が、光照射手段から照射された光を遮るか否かを光検知手段により検知してもよい。
この構成によれば、吐出された液滴が、光照射手段から照射された光を遮るか否かを光検知手段により検知することにより、液滴吐出ヘッドから液滴が吐出されるか否かを確認することができる。そのため、正常な液滴吐出ヘッドをメンテナンスすることを防ぐことができ、メンテナンスのコストを低減することができる。
【００２３】
上記の構成を実現するために、より具体的には、液滴吐出ヘッド検査ユニットが、液滴吐出ヘッドの液滴吐出部およびその周囲を観測する吐出部観測ユニットであってもよい。より望ましくは、吐出部観測ユニットが、液滴吐出部およびその周囲を液滴の吐出方向から観測する第２の撮影手段を備えていてもよい。
この構成によれば、液滴吐出ヘッドの液滴吐出部およびその周囲を観測することができ、液滴吐出部およびその周囲に付着した異物などを確認することができる。そのため、液滴吐出ヘッドのメンテナンスに適したメンテナンスユニットを選択することができ、より確実にメンテナンスできてメンテナンスのコストを低減することができる。
特に、液滴の吐出方向から液滴吐出部およびその周囲を第２の撮影手段で観測すると、異物の確認が行いやすい。
【００２４】
上記の構成を実現するために、より具体的には、液滴吐出ヘッド検査ユニットが、上記本発明の飛行観測ユニット、および上記本発明の吐出部観測ユニットのうち、いずれか２以上のユニットを備えていてもよい。
この構成によれば、２以上の上記ユニットを用いて液滴吐出ヘッドを調べることができるため、液滴吐出ヘッドの状態をより詳しく知ることができる。そのため、液滴吐出ヘッドの状態に応じてメンテナンスユニットを使い分けることができ、より確実に液滴吐出ヘッドのメンテナンスを行うことができる。
【００２５】
本発明のカラーフィルター製造装置は、異なる色の着色層を備えたカラーフィルターを製造するカラーフィルター製造装置であって、上記本発明の液滴吐出装置が複数備えられ、各液滴吐出装置で用いる前記液状体がそれぞれ異なる色の色素を含み、各液滴吐出装置が異なる色の着色層をそれぞれ形成することを特徴とする。
すなわち、本発明のカラーフィルター製造装置は、異なる色の着色層、例えばＲ、Ｇ、Ｂの着色層をそれぞれ形成する複数の液滴吐出装置を備え、この液滴吐出装置が上記本発明の液滴吐出装置で構成されたものである。この構成によれば、メンテナンスコスト低減を図ることができるカラーフィルター製造装置を実現することができる。
【００２６】
本発明のカラーフィルターの製造方法は、異なる色の着色層を備えたカラーフィルターの製造方法であって、上記本発明のカラーフィルター製造装置を用いて前記着色層を形成することを特徴とする。
この構成によれば、メンテナンスコスト低減を図りながらカラーフィルターを製造することが可能となり、製造コスト低減を図ることができる。
【００２７】
本発明のカラーフィルターは、異なる色の着色層を備えたカラーフィルターであって、上記本発明のカラーフィルターの製造方法により製造されたことを特徴とする。
この構成によれば、安価で品質の良いカラーフィルターを提供することができる。
【００２８】
本発明の液晶装置は、一対の基板間に液晶が挟持された液晶装置であって、上記本発明のカラーフィルターを備えたことを特徴とする。
この構成によれば、安価で品質の良いカラー液晶表示装置を提供することができる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図１から図１０を参照して説明する。
図１は本実施形態のカラーフィルター製造装置の概略構成図であり、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色の着色層を備えたカラーフィルターを製造するための装置である。
本実施形態のカラーフィルター製造装置１は、図１に示すように、上流側からインク受容層形成装置２、Ｒ着色層形成装置３、Ｇ着色層形成装置４、Ｂ着色層形成装置５、本焼成装置６が配置され、これらの装置が任意の搬送装置（図示略）を介して連結されたものである。このカラーフィルター製造装置１には、Ｒ、Ｇ、Ｂの各着色層のパターンを区画する隔壁（バンクとも言う）が形成されたガラス、プラスチック等からなる透明基板（被処理基材）が供給される。インク受容層形成装置２は、隔壁で区画された領域内に樹脂組成物からなるインク受容層を下地層として形成するための装置である。Ｒ着色層形成装置３、Ｇ着色層形成装置４、Ｂ着色層形成装置５は、それぞれ後で着色層となるＲ、Ｇ、Ｂのインクからなる液状体を塗布するための装置である。本焼成装置６は、塗布後のＲ、Ｇ、Ｂのインクからなる液状体を一括して加熱、焼成するための装置である。これらの装置のうち、インク受容層形成装置２、Ｒ着色層形成装置３、Ｇ着色層形成装置４、Ｂ着色層形成装置５の４台には、本発明の液滴吐出装置（インクジェット装置）が用いられている。
【００３０】
図２は、本実施形態のカラーフィルター製造装置１の要部である液滴吐出装置の部分のみを示す概略構成斜視図である。液滴吐出装置が用いられるインク受容層形成装置２、Ｒ着色層形成装置３、Ｇ着色層形成装置４、Ｂ着色層形成装置５の基本構成は全て同様であるため、ここではＲ着色層形成装置３を一例として説明する。
Ｒ着色層形成装置３は、図２に示すように、上流側から下流側（図２における右側から左側）に向けて給材部６１、表面改質部６２、描画部６３、検査部６４、仮焼成部６５、除材部６６が備えられている。大まかな処理の流れとしては、給材部６１から供給された描画前の基板に対し、表面改質部６２において親液処理、撥液処理が施され、描画部６３において隔壁で区画された所定の領域にＲのインクが吐出、描画される。次いで、検査部６４において描画状態が検査され、仮焼成部６５でインクの仮焼成が施された後、描画後の基板が除材部６６により排出される。本装置において、これら各部は基板の流れ方向に沿って直線状に配置されている。なお、本装置は大型の基板を処理可能な大規模な装置であるため、作業者が後述するヘッドユニットのメンテナンスを行うための通路６７が設けられている。給材部６１および除材部６６は任意の基板搬送手段で構成することができ、例えばローラコンベア、ベルトコンベア等が用いられる。表面改質部６２は、プラズマ処理室を備えており、親液処理としては大気雰囲気中で酸素を反応ガスとするプラズマ処理（Ｏ_２プラズマ処理）が行われ、基板の表面及び隔壁の側面が親液化される。撥液処理としては大気雰囲気中でテトラフルオロメタン（四フッ化炭素）を反応ガスとするプラズマ処理（ＣＦ_４プラズマ処理）が行われ、隔壁の上面が撥液化される。
【００３１】
図３は、描画部６３の近傍のみを示す概略構成斜視図である。描画部６３は、図３に示すように、一方向に移動可能なステージ７０上に基板Ｓを吸着保持し、その状態で基板Ｓを一方向（図３における右側から左側）に搬送する構成となっており、基板Ｓの搬送方向と直交して延びるヘッドユニット７１が装置本体に架設されている。すなわち、本実施形態の液滴吐出装置７２は、液滴吐出ヘッド側が移動せず、基板側のみが移動する構成である。ヘッドユニット７１は、基板Ｓの搬送方向と直交する方向に配列された複数個の液滴吐出ヘッド３４が固定された大型基準プレート７４を備えている。図４（ａ）は、大型基準プレート７４を液滴吐出ヘッド３４のノズル側から見た斜視図、図４（ｂ）は１個の液滴吐出ヘッド３４の拡大図（図４（ａ）の符号Ｈの円内の拡大図）である。これらの図に示すように、１枚の小型基準プレート７３に対して１個の液滴吐出ヘッド３４が固定され、１枚の大型基準プレート７４に対してヘッドの個数分の小型基準プレート７３が固定されている。本実施形態の場合、複数個の液滴吐出ヘッド３４は複数個ずつ３列に配列されており、各列間で大型基準プレート７４の長手方向にずれた位置に配置されている。また、各液滴吐出ヘッド３４は、複数のノズル（液滴吐出部、図４では図示せず）１８を有している。この構成により、このヘッドユニット７１は、大型基準プレート７４の長手方向、すなわち基板Ｓの搬送方向と直交する方向で例えば数ｍという長い寸法にわたって所定のピッチでインク滴を吐出可能となっている。そして、液滴吐出ヘッド３４の配列方向と直交する方向に基板Ｓを搬送しつつインク滴を吐出することで、基板Ｓの全面にわたって所望のパターン形状でＲのインクを描画することができる。また、図３における符号７６はインクタンクである。インクタンク７６はインクを貯留するものであり、配管（図示せず）を介してインクを液滴吐出ヘッド３４に供給するものとなっている。
【００３２】
液滴吐出ヘッド３４は、例えばピエゾ素子によって液室を圧縮してその圧力波で液体を吐出させるもので、上述したように、一列または複数列に配列された複数のノズルを有している。この液滴吐出ヘッド３４の構造の一例を説明すると、液滴吐出ヘッド３４は、図５（ａ）に示すように、例えばステンレス製のノズルプレート１２と振動板１３とを備え、両者を仕切部材（リザーバプレート）１４を介して接合したものである。ノズルプレート１２と振動板１３との間には、仕切部材１４によって複数の空間１５と液溜まり１６とが形成されている。各空間１５と液溜まり１６の内部はインクで満たされており、各空間１５と液溜まり１６とは供給口１７を介して連通したものとなっている。また、ノズルプレート１２には、空間１５からインクを噴射するためのノズル１８が形成されている。一方、振動板１３には、液溜まり１６にインクを供給するための孔１９が形成されている。
【００３３】
また、振動板１３の空間１５に対向する面と反対側の面上には、図５（ｂ）に示すように、圧電素子（ピエゾ素子）２０が接合されている。この圧電素子２０は、一対の電極２１の間に位置し、通電するとこれが外側に突出するようにして撓曲するよう構成されたものである。そして、このような構成のもとに圧電素子２０が接合されている振動板１３は、圧電素子２０と一体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間１５の容積が増大するようになっている。したがって、空間１５内に増大した容積分に相当するインクが、液溜まり１６から供給口１７を介して流入する。また、このような状態から圧電素子２０への通電を解除すると、圧電素子２０と振動板１３はともに元の形状に戻る。したがって、空間１５も元の容積に戻ることから、空間１５内部のインクの圧力が上昇し、ノズル１８から基板に向けてインクの液滴Ｌが吐出される。
なお、液滴吐出ヘッドのインクジェット方式としては、前記の圧電素子２０を用いたピエゾジェットタイプ以外の方式でもよく、例えば、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用いた方式を採用してもよい。
【００３４】
図３に示すように、ヘッドユニット７１の基材搬送方向の上流側には、吸引用キャッピングユニット（メンテナンスユニット）１００と、第１のワイピングユニット（メンテナンスユニット）１１０と、第２のワイピングユニット（メンテナンスユニット）１２０と、飛行観測ユニット（液滴吐出ヘッド検査ユニット）１３０と、ノズル検査ユニット（液滴吐出ヘッド検査ユニット）１４０とが設けられている。これら吸引用キャッピングユニット１００と、第１のワイピングユニット１１０と、第２のワイピングユニット１２０と、飛行観測ユニット１３０と、ノズル検査ユニット１４０とは、基材搬送方向およびその直交方向に移動可能に設けられるとともに、互いに独立して移動可能に設けられている。なお、これらのユニットは、ヘッドユニット７１の基材搬送方向の上流側に設ける代わりに下流側に設けることもできる。
さらに、図６に示すように、前述した検査部６４の出力に基づいて吸引用キャッピングユニット１００と、第１のワイピングユニット１１０と、第２のワイピングユニット１２０と、飛行観測ユニット１３０と、ノズル検査ユニット１４０とを制御する制御部１５０が設けられている。
【００３５】
吸引用キャッピングユニット１００は、液滴吐出ヘッド３４が詰まり等により吐出不良を起こした時に、その液滴吐出ヘッド３４を１つずつ吸引して吐出不良を修復するものである。その構成としては、図５および図６に示すように、１つの液滴吐出ヘッド３４に設けられたノズル１８を覆う寸法に形成されたキャッピング部１０１と、キャッピング部１０１に設けられノズル１８を吸引する吸引部（図示せず）とを備えている。
【００３６】
第１のワイピングユニット１１０と、第２のワイピングユニット１２０とは、液滴吐出ヘッド３４が詰まり等により吐出不良を起こした時に、その液滴吐出ヘッド３４を１つずつワイピングすることでクリーニングし、吐出不良を修復するものである。
第１のワイピングユニット１１０は、図６および図７に示すように、１つの液滴吐出ヘッド３４に設けられたノズル周辺部をワイピングするワイピングクロス１１１と、ワイピングクロス１１１を洗浄液で湿らせる滴下部１１２とを備えている。ワイピングクロス１１１は帯状の布からなり、その長手方向が基材搬送方向と略直交するように配置されている。また、その基材搬送方向の寸法は、液滴吐出ヘッド３４のノズル１８が設けられた面の基材搬送方向の寸法と略一致するように形成されている。ワイピングクロス１１１の長手方向の両端は、巻かれていて一方から他方に向かって巻き取られることにより液滴吐出ヘッド３４をワイピングしている。なお、滴下部１１２において、ワイピングクロス１１１を湿らせる液体としては、上述した洗浄液の他に、インクの溶媒も用いることができる。
第２のワイピングユニット１２０は、図６に示すように、１つの液滴吐出ヘッド３４に設けられたノズル周辺部をワイピングするゴム板からなるゴムベラ（板状部材）１２１を備えている。ゴムベラ１２１は、液滴吐出ヘッド３４に向かって基材搬送方向と略直交する方向に傾斜して設けられている。
【００３７】
飛行観測ユニット１３０は、液滴吐出ヘッド３４が詰まり等により吐出不良を起こした時に、その液滴吐出ヘッド３４から液滴が正常に吐出されているか否かを観測するものである。飛行観測ユニット１３０は、図８に示すように、間欠点灯可能なフラッシュライト（照明手段）１３１と、液滴の飛行を観測するＣＣＤカメラ（第１の撮影手段）１３２と、吐出された液滴を受ける受け皿１３３とを備えている。この構成は、フラッシュライト１３１を間欠点灯させることにより、液滴の飛行経路を観測することができ、液滴の飛行曲がりも観測可能な構成とされている。なお、この構成の他に、液滴の飛行経路を横切るようにレーザ等の光を照射する照射部（光照射手段）と、照射部から照射された光を検知する検知部（光検知手段）とを備えた構成も用いることができる。
ノズル検査ユニット１４０は、図６に示すように、液滴吐出ヘッド３４が詰まり等により吐出不良を起こした時に、その液滴吐出ヘッド３４を液滴吐出方向からノズル１８およびその周囲を観測するものである。ノズル検査ユニット１４０は、液滴吐出方向から液滴吐出ヘッド３４を観測するノズル観測カメラ（第２の撮影手段）１４１を備えている。
【００３８】
以上、液滴吐出装置の構成をＲ着色層形成装置３の例を挙げて説明したが、カラーフィルター製造装置１の初段にあるインク受容層形成装置２のみは表面改質部６２の上流側に洗浄部を備えている。インク受容層形成装置２には隔壁が形成された基板Ｓが供給されるが、基板Ｓの表面改質を行う前にウェット洗浄、オゾン洗浄等の方法により基板Ｓを洗浄し、清浄になった基板Ｓを表面改質部６２に供給する構成となっている。この構成により、基板Ｓに付着した異物等に起因する描画不良の発生が抑えられ、歩留りを向上することができる。
【００３９】
次に、本実施形態のカラーフィルター製造装置１を用いたカラーフィルターの製造方法の一例を説明する。
上記カラーフィルター製造装置１を用いたカラーフィルターの製造方法は、図９に示すように、生産性を高める観点から長方形状の基板Ｓ上に、複数個のカラーフィルター領域５１をマトリクス状に形成する際に適用することができる。これらのカラーフィルター領域５１は、後で基板Ｓを切断することにより、液晶表示装置に適合する個々のカラーフィルターとして用いることができる。なお、各カラーフィルター領域５１においては、図９に示したように、Ｒのインク、Ｇのインク、およびＢのインクをそれぞれ所定のパターン、本例では従来公知のストライプ型で形成して配置する。なお、この形成パターンとしては、ストライプ型のほかに、モザイク型やデルタ型あるいはスクウェアー型等としてもよい。
【００４０】
このようなカラーフィルター領域５１を形成するには、まず、図１０（ａ）に示すように、透明の基板Ｓの一方の面に対し、ブラックマトリクス５２を形成する。このブラックマトリクス５２を形成する際には、光透過性のない樹脂（好ましくは黒色樹脂）を、スピンコート等の方法で所定の厚さ（例えば２μｍ程度）に塗布し、フォトリソグラフィー技術を用いてパターニングする。このブラックマトリクス５２の格子で囲まれる最小の表示要素、すなわちフィルターエレメント５３については、例えばＸ軸方向の幅を３０μｍ、Ｙ軸方向の長さを１００μｍ程度とする。このブラックマトリクスは充分な高さを有しており、インク吐出時の隔壁として機能する。
次に、図１０（ｂ）に示すように、本実施形態のカラーフィルター製造装置１におけるインク受容層形成装置２の液滴吐出ヘッド３４からインク受容層となる樹脂組成物を含有するインク滴５４（液状体）を吐出し、これを基板Ｓ上に着弾させる。吐出するインク滴５４の量については、加熱工程におけるインクの体積減少を考慮した十分な量とする。次いで、インク受容層形成装置２の焼成部においてインク滴の焼成を行い、図１０（ｃ）に示すようなインク受容層６０とする。
【００４１】
次に、図１０（ｄ）に示すように、Ｒ着色層形成装置３の液滴吐出ヘッド３４からＲのインク滴５４Ｒ（液状体）を吐出し、これを基板Ｓ上に着弾させる。吐出するインク滴５４の量については、加熱工程におけるインクの体積減少を考慮した十分な量とする。次いで、Ｒ着色層形成装置３の仮焼成部６５においてインクの仮焼成を行い、図１０（ｅ）に示すようなＲ着色層３４Ｒとする。以上の工程を、Ｇ着色層形成装置４、Ｂ着色層形成装置５においても繰り返し、図１０（ｆ）に示すように、Ｇ着色層３４Ｇ、Ｂ着色層３４Ｂを順次形成する。Ｒ着色層３４Ｒ、Ｇ着色層３４Ｇ、Ｂ着色層３４Ｂを全て形成した後、本焼成装置６においてこれら着色層３４Ｒ，３４Ｇ，３４Ｂを一括して焼成する。
次いで、基板Ｓを平坦化し、かつ着色層３４Ｒ，３４Ｇ，３４Ｂを保護するため、図１０（ｇ）に示すように各着色層３４Ｒ，３４Ｇ，３４Ｂやブラックマトリクス５２を覆うオーバーコート膜（保護膜）５６を形成する。このオーバーコート膜５９の形成にあたっては、スピンコート法、ロールコート法、リッピング法等の方法を採用することもできるが、着色層３４Ｒ，３４Ｇ，３４Ｂの場合と同様に液滴吐出装置を用いることもできる。
【００４２】
本発明のカラーフィルター製造装置１を構成する液滴吐出装置７２を用いて、カラーフィルターを量産していると、ノズル詰まり等により所定の位置にインク滴が吐出されない不具合が発生する。この不具合は、描画されない領域が基材搬送方向に線状に延びる線欠陥として現れ、ヘッドユニット７１の下流の検査部８５により検知される。線欠陥が検知されると、カラーフィルター製造装置１はカラーフィルターの生産を一時停止して、基板を移動させることによりヘッドユニット７１のインク滴の吐出方向に空間を空ける。
この線欠陥を引き起こす原因としては、インク自身の凝固物や、液滴吐出ヘッドを製作した際に発生した異物がノズルに詰まったり、ノズルの縁にインクの凝固物が付着してインク滴の飛行経路を曲げたりすることが挙げられる。
【００４３】
検査部８５は、検知した線欠陥の位置情報を制御部１５０に出力する。制御部１５０は、その位置情報に基づき線欠陥に対応する位置にあるノズル１８およびそのノズル１８が設けられている液滴吐出ヘッド３４を割り出す。上記線欠陥に対応したノズル１８のインク滴吐出方向に空けられた空間には、制御部１５０により飛行観測ユニット１３０とノズル検査ユニット１４０とが移動される。
飛行観測ユニット１３０とノズル検査ユニット１４０との移動は同時であっても、時間的に差があっても良い。線欠陥が同時に複数存在した場合では、一方の線欠陥に対応したノズルに飛行観測ユニット１３０を、別の線欠陥に対応したノズルにノズル検査ユニット１４０を同時に移動させてもよい。
【００４４】
飛行観測ユニット１３０が、上記線欠陥に対応したノズル１８のインク滴吐出方向に配置されると、フラッシュライト１３１を間欠点灯させながら、上記線欠陥に対応したノズル１８の圧電素子２０に通電される。ノズル１８が詰まっていればインク滴は吐出されずＣＣＤカメラ１３２に観測されないため、ノズル詰まりと判断される。また、インク滴が吐出され曲がって飛行していると、ＣＣＤカメラ１３２にその軌跡が観測され、その軌跡により飛行曲がりが検出される。
【００４５】
ノズル検査ユニット１４０は、上記線欠陥に対応したノズル１８のインク滴吐出方向からノズル観測カメラ１４１によりそのノズル１８およびその周囲を観測する。ノズル１８内の見える範囲内に詰まりの原因である異物等があれば、その異物等はノズル観測カメラ１４１により検出される。また、ノズル１８の縁に付着しているインク滴の飛行曲がりの原因となるインクの凝固物は、ノズル観測カメラ１４１により検出される。
【００４６】
飛行観測ユニット１３０とノズル検査ユニット１４０とにより検出された異物の情報は制御部１５０に入力される。制御部１５０は、異物の情報に応じて吸引用キャッピングユニット１００と、第１のワイピングユニット１１０と、第２のワイピングユニット１２０とを上記線欠陥に対応したノズル１８に移動させる。
吸引用キャッピングユニット１００と、第１のワイピングユニット１１０と、第２のワイピングユニット１２０との移動は同時であっても、時間的に差があっても良い。線欠陥が同時に複数存在した場合では、一方の線欠陥に対応したノズルに吸引用キャッピングユニット１００を、別の線欠陥に対応したノズルに第１のワイピングユニット１１０を、さらに別の線欠陥に対応したノズルに第２のワイピングユニット１２０を同時に移動させてもよい。
【００４７】
ノズル１８内に異物が詰まっている場合には、主に吸引用キャッピングユニット１００により異物の吸引を行い、その後に第１のワイピングユニット１１０または第２のワイピングユニット１２０によりノズル１８内のメニスカス形状が整えられる。
また、ノズル１８の縁にインク凝固物が付着している場合には、主に第１のワイピングユニット１１０または第２のワイピングユニット１２０により上記インクの凝固物と取り除く。そしてノズル１８内のメニスカス形状が整えられる。
【００４８】
吸引用キャッピングユニット１００は、まず、キャッピング部１０１を上記線欠陥に対応するノズル１８が設けられた液滴吐出ヘッド３４に当接させ、ノズル１８を覆う。そして、キャッピング部１０１に覆われた全てのノズル１８について吸引部から吸引して、ノズル１８に詰まった異物を取り除く。
【００４９】
第１のワイピングユニット１１０は、滴下部１１２により洗浄液で湿らされたワイピングクロス１１１を巻き取ることにより動かしながら、液滴吐出ヘッド３４に当接させる。ノズル１８の縁に付着したインクの凝固物は、ワイピングクロス１１１に拭き取られる。
また、ワイピングクロス１１１は、適度に湿らされているので、ノズル１８内のインクを適度に吸い取り、乱れたメニスカス形状を整える。
【００５０】
第２のワイピングユニット１２０は、ゴムベラ１２１を液滴吐出ヘッド３４に当接させながら、第２のワイピングユニット１２０を基材搬送方向と略直交する方向に移動する。ノズル１８の縁に付着したインクの凝固物は、ゴムベラ１２１により拭き取られる。
また、ゴムベラ１２１は、液滴吐出ヘッド３４に当接しながら移動することにより、ノズル１８内のインクを適度にかき取り乱れたメニスカス形状を整える。
【００５１】
上記の構成によれば、検査部６４が検知したパターン形成不良の情報に基づき、制御部１５０が対応する液滴吐出ヘッド３４を割り出し、その液滴吐出ヘッド３４を吸引用キャッピングユニット１００と第１のワイピングユニット１１０と第２のワイピングユニット１２０とによりメンテナンスしている。つまり、パターン形成不良の場所に対応した液滴吐出ヘッド３４のみをメンテナンスしているため、メンテナンスにかかるコストを低減することができる。
吸引用キャッピングユニット１００では、液滴吐出ヘッド３４の１つ１つについてキャッピングして異物を吸引することができる。そのため、吸引され廃棄されるインクの量を、全ての液滴吐出ヘッド３４を吸引するする方法よりも大幅に少なくすることができる。
第１のワイピングユニット１１０では、ワイピングクロス１１１が、液滴吐出ヘッド３４の１つ１つについて、ノズル１８およびその周囲を摺動することによりクリーニングできる。このワイピングクロス１１１の寸法が、１つの液滴吐出ヘッド３４をクリーニングできる寸法でよいため、全ての液滴吐出ヘッドをワイピングクロスの寸法よりも大幅に小さくすることができる。
【００５２】
また、液滴吐出ヘッド３４を吸引用キャッピングユニット１００と第１のワイピングユニット１１０と第２のワイピングユニット１２０とにより１つずつメンテナンスするので、同時に複数の液滴吐出ヘッド３４をメンテナンスする方法と比較して、より確実にメンテナンスすることができる。そのため、液滴吐出ヘッド３４を復活させやすくなり、その寿命が長くなって交換頻度を少なくすることができる。
吸引用キャッピングユニット１００では、液滴吐出ヘッド３４を１つ１つ吸引しているため、全ての液滴吐出ヘッド３４を吸引する方法と比較して、吸引する力が大きくなり異物を吸引して取り除く確率が高くなる。
第２のワイピングユニット１２０では、液滴吐出ヘッド３４の１つ１つについて、ゴムベラ１２１がノズル１８およびその周囲を摺動することによりクリーニングしている。そのため、液滴吐出ヘッド３４とノズル１８との接触を確実なものとすることができ、確実に液滴吐出部およびその周囲を摺動しクリーニングすることができる。
【００５３】
ノズル１８の状態に応じて吸引用キャッピングユニット１００と第１のワイピングユニット１１０と第２のワイピングユニット１２０とを使い分けることができるため、より確実に液滴吐出ヘッド３４のメンテナンスを行うことができる。
【００５４】
飛行観測ユニット１３０とノズル検査ユニット１４０とを備えていることにより、上記線欠陥に対応するノズル１８および液滴吐出ヘッド３４を検査することができる。つまり、制御部１５０が検査部の情報に基づき割り出した線欠陥に対応するノズル１８および液滴吐出ヘッド３４が、線欠陥に対応するのか確認することができる。そのため、正常なノズル１８および液滴吐出ヘッド３４をメンテナンスすることを防ぐことができ、メンテナンスのコストを低減することができる。
飛行観測ユニット１３０は、インク滴の飛行軌跡を観測することができるため、液滴吐出ヘッド３４からインク滴が吐出されるか否かを確認するだけでなく、インク滴の飛行曲がりを確認することもできる。そのため、正常な液滴吐出ヘッド３４をメンテナンスすることを防ぐことができるとともに、適切なユニットを選択することができるのでメンテナンスのコストを低減することができる。
ノズル検査ユニット１４０は、ノズル１８内の見える範囲にある異物およびノズル１８およびその周囲に付着した異物を確認することができる。そのため、液滴吐出ヘッドのメンテナンスに適したメンテナンスユニットを選択することができるのでメンテナンスのコストを低減することができる。
【００５５】
吸引用キャッピングユニット１００と第１のワイピングユニット１１０と第２のワイピングユニット１２０とが液滴吐出ヘッド３４のインク滴吐出方向に空けられた空間に移動してメンテナンスしている。そのため、液滴吐出ヘッド３４を動かさないでメンテナンスをすることができ、液滴吐出ヘッド３４内のインクのメニスカスが液滴吐出ヘッドの移動により乱れることを防げる。つまり、再びメニスカスを整える工程が不要となり、メンテナンスにかかるコストを低減することができる。
【００５６】
次に、上記カラーフィルターを備えた液晶装置（電気光学装置）の一実施形態を示す。図１１はパッシブマトリクス型の液晶装置を示す図であり、図１１中の符号３０は液晶装置である。この液晶装置３０は透過型のもので、一対のガラス基板３１、３２の間にＳＴＮ（ Ｓｕｐｅｒ Ｔｗｉｓｔｅｄ Ｎｅｍａｔｉｃ）液晶等からなる液晶層３３が挟持されてなるものである。
一方のガラス基板３１には、その内面に上記カラーフィルター５５が形成されている。カラーフィルター５５は、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色からなる着色層３４Ｒ、３４Ｇ、３４Ｂが規則的に配列されて構成されたものである。なお、これらの色素層３４Ｒ（３４Ｇ、３４Ｂ）間には、ブラックマトリクス５２が形成されている。そして、これらカラーフィルター５５およびブラックマトリクス５２の上には、カラーフィルター５５やブラックマトリクス５２によって形成される段差をなくしてこれを平坦化するため、オーバーコート膜（保護膜）５６が形成されている。オーバーコート膜５６の上には複数の電極３７がストライプ状に形成され、さらにその上には配向膜３８が形成されている。
【００５７】
他方のガラス基板３２には、その内面に、カラーフィルター５５側の電極と直交するようにして、複数の電極３９がストライプ状に形成されており、これら電極３９上には、配向膜４０が形成されている。なお、前記カラーフィルター５５の各着色層３４Ｒ、３４Ｇ、３４Ｂは、それぞれ各ガラス基板３２上の電極３９、３７の交差する位置に配置されている。また、電極３７、３９は、ＩＴＯ（ Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）などの透明導電材料によって形成されている。さらに、ガラス基板３２とカラーフィルター５５の外面側にはそれぞれ偏光板（図示せず）が設けられ、ガラス基板３１、３２間にはこれら基板３１、３２間の間隔（セルギャップ）を一定に保持するためスペーサ４１が設けられている。さらに、これらガラス基板３１、３２間には液晶３３を封入するためのシール材４２が設けられている。
【００５８】
本実施形態の液晶装置３０では、上記カラーフィルター製造装置１を用いて製造されるカラーフィルター５５を適用しているため、安価で品質の良いカラー液晶表示装置を実現することができる。
【００５９】
次に、上記液晶装置からなる表示手段を備えた電子機器の具体例について説明する。
図１２は、液晶テレビジョンの一例を示した斜視図である。図１２において、符号５００は液晶テレビジョン本体を示し、符号５０１は上記実施形態の液晶装置を備えた液晶表示部を示している。このように、図１２に示す電子機器は、上記実施形態の液晶装置を備えたものであるから、安価で表示品位に優れたカラー液晶表示を有する電子機器を実現することができる。
【００６０】
なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上記実施の形態では本発明の液滴吐出装置をカラーフィルターの製造に応用する例を挙げたが、カラーフィルターのみならず、有機ＥＬ素子等のデバイス形成技術、あるいは各種配線形成技術に適用することも可能である。
また、上記実施の形態では本発明の液滴吐出装置を基板が一方向に流れる構成に適応して説明したが、基板が一方向に流れる構成に限られることなく、基板が液滴吐出装置を双方向に移動するものなど、各種の構成に適応することができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態のカラーフィルター製造装置の概略構成図。
【図２】同、カラーフィルター製造装置の液滴吐出装置を示す斜視図。
【図３】同、液滴吐出装置の描画部を示す斜視図。
【図４】液滴吐出ヘッドの配置を示す斜視図。
【図５】液滴吐出ヘッドの内部構成を示す斜視図。
【図６】ヘッドユニットの周辺の構成を示す概略構成図。
【図７】第１のワイピングユニット１１０を示す斜視透視図。
【図８】飛行観測ユニット１３０を示す透視図。
【図９】カラーフィルター形成用基板を示す斜視図。
【図１０】カラーフィルターの製造方法を順を追って示す工程断面図。
【図１１】本発明の一実施形態の液晶装置の断面図。
【図１２】本発明の電子機器の一実施形態の液晶テレビジョンの斜視図。
【符号の説明】
１・・・カラーフィルター製造装置、１８・・・ノズル（液滴吐出部）、３０・・・液晶装置、３４・・・液滴吐出ヘッド、 ６３・・・検査部、１００・・・吸引用キャッピングユニット（メンテナンスユニット）、１１０・・・第１のワイピングユニット（メンテナンスユニット）、１１１・・・ワイピングクロス、１２０・・・第２のワイピングユニット（メンテナンスユニット）、１２１・・・ゴムベラ（板状部材）、１３０・・・飛行観測ユニット（液滴吐出ヘッド検査ユニット）、１３１・・・フラッシュライト（照明手段）、１３２・・・ＣＣＤカメラ（第１の撮影手段）、１４０・・・ノズル検査ユニット（液滴吐出ヘッド検査ユニット）、１４１・・・ノズル観測カメラ（第２の撮影手段）、１５０・・・制御部

Claims (18)

1. 被処理基材上にパターン形成用材料を含有する液状体を吐出することにより所望形状のパターンを形成する液滴吐出装置であって、
   前記被処理基材の流れ方向と交差する方向に配列された複数の液滴吐出ヘッドと、
   前記液滴吐出ヘッドを所定個数ずつメンテナンスするメンテナンスユニットと、前記被処理基材上に形成されたパターンの形成不良を検出する検査部と、
   前記メンテナンスユニットを駆動制御する制御部と、を備え、
   前記メンテナンスユニットが前記液滴吐出ヘッドに対して移動可能に配置され、
   前記制御部は、前記検査部の出力に基づき、前記メンテナンスユニットが前記パターンの形成不良に対応する前記液滴吐出ヘッドをメンテナンスするように制御することを特徴とする液滴吐出装置。
2. 前記メンテナンスユニットが、前記液滴吐出ヘッドをキャップし、前記液滴吐出ヘッド内に詰まった異物を吸引する吸引用キャッピングユニットであることを特徴とする請求項１記載の液滴吐出装置。
3. 前記メンテナンスユニットが、前記液滴吐出ヘッドの液滴吐出部およびその周囲をクリーニングするワイピングユニットであることを特徴とする請求項１記載の液滴吐出装置。
4. 前記ワイピングユニットが、ワイピングクロスを備え、
   該ワイピングクロスが、前記液滴吐出部およびその周囲を摺動することによりクリーニングすることを特徴とする請求項３記載の液滴吐出装置。
5. 前記ワイピングユニットが、弾性を有した材料からなる板状部材を備え、
   該板状部材が、前記液滴吐出部およびその周囲を摺動することによりクリーニングすることを特徴とする請求項３記載の液滴吐出装置。
6. 前記メンテナンスユニットが、前記吸引用キャッピングユニット、および前記ワイピングユニットのうち、いずれか２以上のユニットを備えることを特徴とする請求項２から５のいずれかに記載の液滴吐出装置。
7. 前記液滴吐出ヘッドを検査する液滴吐出ヘッド検査ユニットを備え、
   該液滴吐出ヘッド検査ユニットが、前記液滴吐出ヘッドに対して移動可能に配置され、
   前記制御部が、前記検査部の出力に基づき、前記液滴吐出ヘッド検査ユニットが前記パターンの形成不良に対応する前記液滴吐出ヘッドを検査するように制御することを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の液滴吐出装置。
8. 前記液滴吐出ヘッド検査ユニットが、前記液滴吐出ヘッドから液滴が吐出されることを検査する飛行観測ユニットであることを特徴とする請求項７記載の液滴吐出装置。
9. 前記飛行観測ユニットが、液滴を撮影する第１の撮影手段と、間欠点灯可能な照明手段とを備え、
   該照明手段を間欠点灯させて、液滴の飛行軌跡を前記第１の撮影手段により観測することを特徴とする請求項８記載の液滴吐出装置。
10. 前記飛行観測ユニットが、光を照射する光照射手段と、該光照射手段から照射された光を検知する光検知手段とを備え、
    吐出された液滴が、前記光照射手段から照射された光を遮るか否かを前記光検知手段により検知することを特徴とする請求項８記載の液滴吐出装置。
11. 前記液滴吐出ヘッド検査ユニットが、前記液滴吐出ヘッドの液滴吐出部およびその周囲を観測する吐出部観測ユニットであることを特徴とする請求項７記載の液滴吐出装置。
12. 前記吐出部観測ユニットが、前記液滴吐出部およびその周囲を液滴の吐出方向から観測する第２の撮影手段を備えることを特徴とする請求項１１記載の液滴吐出装置。
13. 前記液滴吐出ヘッド検査ユニットが、前記飛行観測ユニット、前記吐出部観測ユニットのうち、いずれか２以上のユニットを備えることを特徴とする請求項８から１２のいずれかに記載の液滴吐出装置。
14. 異なる色の着色層を備えたカラーフィルターを製造するカラーフィルター製造装置であって、
    請求項１から１３のいずれかに記載の液滴吐出装置が複数備えられ、各液滴吐出装置で用いる前記液状体がそれぞれ異なる色の色素を含み、各液滴吐出装置が異なる色の着色層をそれぞれ形成することを特徴とするカラーフィルター製造装置。
15. 異なる色の着色層を備えたカラーフィルターの製造方法であって、
    請求項１４記載のカラーフィルター製造装置を用いて前記着色層を形成することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
16. 異なる色の着色層を備えたカラーフィルターであって、
    請求項１５に記載のカラーフィルターの製造方法により製造されたことを特徴とするカラーフィルター。
17. 一対の基板間に液晶が挟持された液晶装置であって、
    請求項１６に記載のカラーフィルターを備えたことを特徴とする液晶装置。
18. 請求項１７に記載の液晶装置を備えたことを特徴とする電子機器。

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