JP2008100138A - 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】機能液滴吐出ヘッドの吐出性能検査を行っても、ワーク処理のタクトタイムが長くなることのない液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】機能液滴吐出ヘッド１７により検査パターンが描画される被描画ユニット１６１を有し、その検査パターンを画像認識して吐出性能を検査する吐出検査手段と、ワークのアライメントを行うワークアライメント手段と、セットテーブル２１を、描画エリアとアライメント位置４１との間で移動させるテーブル移動手段と、被描画ユニット１６１を待避位置と検査位置との間で移動させるユニット移動手段と、上記各手段を制御する制御手段７と、を備え、制御手段７は、セットテーブル２１をアライメント位置４１に移動させワークのアライメントを行うアライメント処理と、被描画ユニット１６１を検査位置に移動させ吐出性能検査を行う検査処理と、を並行して行わせる。
【選択図】図１

Description

本発明は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを用いてワークに描画を行う液滴吐出装置であって、特に機能液滴吐出ヘッドの吐出検査手段を搭載した液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。

従来、機能液滴吐出ヘッドを用いた描画処理により、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成する液滴吐出装置が知られている。この液滴吐出装置には、ワークをセットするセットテーブルおよび機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して吐出不良の有無を検査するための検査吐出を受ける被描画ユニットが設置されている。被描画ユニットは、セットテーブルを走査方向に移動させるスライダ上に支持されており、セットテーブルと一体に移動するようになっている。そして、セットテーブルにワークを載せ換える（搬入・搬出）動作と並行して、機能液滴吐出ヘッドの吐出不良の有無の検査を行うようになっている。（例えば、特許文献１参照。）
特開２００６−０７６０６７号公報

しかしながら、従来の液滴吐出装置における吐出不良の検査は、画像認識および画像処理を伴うと共に、カメラ視野の関係で全吐出ノズルからの着弾結果を複数に分けてバッチ処理を行うため、時間を要するものとなっていた。一方、ワークの載せ換えは、ロボットにより処理済のワークを取り去り、処理前のワークをセットするだけなので短時間で済む。このため、吐出検査とワークの載せ換えを並行して行うシーケンス動作では、セットテーブル側の動作休止時間が長くなり、結果としてワーク処理のタクトタイムが長くなる問題があった。

本発明は、機能液滴吐出ヘッドの吐出性能検査を行っても、ワーク処理のタクトタイムが長くなることのない液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的とする。

本発明の液滴吐出装置は、ワークがセットされ且つ描画エリアに臨むセットテーブルを、機能液滴吐出ヘッドに対して走査方向に移動させながら、ワークに対して機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して描画を行う液滴吐出装置において、セットテーブルの移動軌跡上に配設され、機能液滴吐出ヘッドからの検査吐出により検査パターンが描画される被描画ユニットを有し、被描画ユニットに描画された検査パターンを画像認識し、機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する吐出検査手段と、セットテーブルに対するワークのアライメントを行うワークアライメント手段と、セットテーブルを、描画エリア内で走査方向に移動させると共に、描画エリアと描画エリア手前のアライメント位置との間で走査方向に移動させるテーブル移動手段と、被描画ユニットを、セットテーブルと別個に、かつ描画エリア先方の待避位置と機能液滴吐出ヘッド直下の検査位置との間で走査方向に移動させるユニット移動手段と、機能液滴吐出ヘッド、吐出検査手段、テーブル移動手段、ユニット移動手段およびワークアライメント手段を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、セットテーブルをアライメント位置に移動させると共にワークのアライメントを行うアライメント処理と、被描画ユニットを検査位置に移動させると共に検査吐出および吐出性能の検査を行う検査処理と、を並行して行わせることが好ましい。

この構成によれば、テーブル移動手段およびワークアライメント手段により、ワークが載置されたセットテーブルをアライメント位置に移動させると共にワークのアライメントを行うアライメント処理と、これと並行して、テーブル移動手段と別個のユニット移動手段、機能液滴吐出ヘッドおよび吐出検査手段により、被描画ユニットを検査位置に移動させると共に検査吐出および吐出性能検査を行う検査処理を行わせる。このように、アライメント処理と検査処理とを同時併行的に行うことができ、ワークのアライメント処理時間を利用して、効率的に機能液滴吐出ヘッドの吐出性能検査を行うことができる。したがって、オンマシンで機能液滴吐出ヘッドの吐出性能検査を行いつつ、ワーク処理のタクトタイムを短縮することが可能となり、ワークの生産性を向上させることができる。

この場合、アライメント位置において、セットテーブルに対し、描画済みのワークを搬出すると共に描画前のワークを搬入する載換え処理を行うワーク載換え手段を、更に備え、制御手段は、ワーク載換え手段を更に制御し、セットテーブルをアライメント位置に移動させた後であってアライメントを行う前に、載換え処理を行わせると共に、載換え処理と検査処理と、を並行して行わせることが好ましい。

この構成によれば、アライメント処理に加えワークの載換え処理の時間を利用して、機能液滴吐出ヘッドの吐出性能検査を行わせるため、より一層、ワーク処理のタクトタイムを短縮することができる。

これらの場合、テーブル移動手段は、セットテーブルを支持する第１スライダと、第１スライダを走査方向にスライド自在に支持する共通支持ベースと、を有し、ユニット移動手段は、被描画ユニットを支持する第２スライダと、第２スライダを走査方向にスライド自在に支持する共通支持ベースと、を有していることが好ましい。

この構成によれば、セットテーブルおよび被描画ユニットは別個のスライダに支持されているため、これらを同期させて移動をさせることができる一方で、非同期で個別に移動をさせることも可能である。さらに、スライダを別個とすることにより、各スライダの搬送重量が軽減されるため、描画送りの応答性を向上させることができる。さらにまた、アライメント動作により第１スライダがＸ・Ｙ・θ方向に微小移動することがあっても、被描画ユニットによる検査に影響を及ぼすことがない。また、支持ベースを共通にすることで、コンパクトな設計が可能である。

この場合、第２スライダ上に配設され、機能液滴吐出ヘッドからの機能液の捨て吐出を受ける定期フラッシングボックスを、更に備えていることが好ましい。

この構成によれば、次の描画動作まで定期フラッシングボックスに機能液滴吐出ヘッドから捨て吐出を行って待機し、次の描画動作に移行する。定期フラッシングボックスを第２スライダに設けておくことで、待機から描画への移行時間を短縮することができる。このため、移行時間中にノズルの乾燥等を有効に防止することができる。

これらの場合、被描画ユニットは、検査パターンが描画される描画シートと、描画シートが載置される検査ステージと、描画シートの検査済み部分を検査ステージから送り出し、かつ非検査済み部分を検査ステージに送り込むように描画シートを送るシート送り手段と、を備え、制御手段は、被描画ユニットを待避位置に移動させた状態で、ワークへの描画と、描画シートの送りと、を並行して行わせることが好ましい。

この構成によれば、被描画ユニットを待避位置に移動させた状態で、ワークへの描画と、描画シートのシート送りを並行して行わせることで、描画処理時間を利用して効率的に描画シートのシート送りを行うことができる。また、被描画ユニットを待避位置に移動させることで、描画エリアおよびセットテーブルとの間に一定の距離を確保することができ、描画シートのシート送りに伴って発生する紙屑や埃が、機能液滴吐出ヘッドおよびセットテーブルに載置されるワークに付着せず、機能液滴吐出ヘッドやワークのクリーン度を確保することができる。

この場合、被描画ユニットは、検査ステージに送り込まれた描画シートのセット不良を検出する不良検出センサを、更に備え、制御手段は、被描画ユニットを待避位置に移動させた状態で、ワークへの描画と、不良検出センサによる前記セット不良の検出と、を並行して行わせることが好ましい。

この構成によれば、被描画ユニットを待避位置に移動させた状態で、ワークへの描画と、描画シートのセット不良の検出を並行して行わせることで、機能液滴吐出ヘッドが描画シートに干渉するのを防止することができると共に、描画処理の時間を利用して効率的に描画シートの吸着不良の検出を行うことができる。

本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成することを特徴とする。

また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成したことを特徴とする。

これらの構成によれば、上記液滴吐出装置を用いて、ワークのアライメント処理および機能液滴吐出ヘッドの吐出性能検査を並列に行うことで、製造のサイクルタイムを短縮することができ、ワークの生産性を向上させることができる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。

本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。

この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。

以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。本実施形態に係る液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。

図１および図２に示すように、液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース２上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在して、ワークＷをＸ軸方向（主走査方向）に移動させるＸ軸テーブル１１と、複数本の支柱４を介してＸ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された１対（２つ）のＹ軸支持ベース３上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル１２と、複数の機能液滴吐出ヘッド１７（図示省略）が搭載された１０個のキャリッジユニット５１から成り、１０個のキャリッジユニット５１は、Ｙ軸テーブル１２に吊設されている。そして、Ｘ軸テーブル１１およびＹ軸テーブル１２の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動させることにより、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液滴を吐出させ、ワークＷに所定の描画パターンを描画する。

また、液滴吐出装置１は、フラッシングユニット１４、吸引ユニット１５、ワイピングユニット１６、吐出性能検査ユニット１８から成るメンテナンス装置５を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド１７の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド１７の機能維持・機能回復を図るようになっている。なお、メンテナンス装置５を構成する各ユニットのうち、フラッシングユニット１４および吐出性能検査ユニット１８は、Ｘ軸テーブル１１に搭載され、吸引ユニット１５およびワイピングユニット１６は、Ｘ軸テーブル１１から外れ、かつＹ軸テーブル１２によりキャリッジユニット５１が移動可能である位置に配設された架台６上に配設されている。

なお、同図では省略したが、液滴吐出装置１には、装置全体を制御する制御手段７（図９参照）が備えられており、上記の描画処理およびメンテナンス処理は、制御手段７による制御に基づいて行われている。

以下、液滴吐出装置１の構成要素について説明する。図１または図２に示すように、Ｘ軸テーブル１１は、ワークＷをセットするセットテーブル２１と、セットテーブル２１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第１スライダ２２と、上記のフラッシングユニット１４および吐出性能検査ユニット１８をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第２スライダ２３と、Ｘ軸方向に延在し、Ｘ軸第１スライダ２２を介してワークＷをＸ軸方向に移動させると共に、Ｘ軸第２スライダ２３を介してフラッシングユニット１４および吐出性能検査ユニット１８をＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｘ軸リニアモータに並設され、Ｘ軸第１スライダ２２およびＸ軸第２スライダ２３の移動を案内する一対（２本）のＸ軸共通支持ベース２４と、を備えている。なお、Ｘ軸第１スライダ２２とＸ軸共通支持ベース２４とにより請求項に言うテーブル移動手段が構成され、Ｘ軸第２スライダ２３とＸ軸共通支持ベース２４とにより請求項に言うユニット移動手段が構成される。

セットテーブル２１は、ワークＷを吸着セットする吸着テーブル３１と、吸着テーブル３１を支持し、吸着テーブル３１にセットしたワークＷの位置をθ軸方向に補正するためのθテーブル３２等を有している。また、セットテーブル２１のＹ軸方向と平行な一対の辺には、描画前フラッシングユニット１１１の一対の描画前フラッシングボックス１２１が添設されている。

なお、図１における図示手前側の位置が、ワークＷのアライメント位置４１（載換え位置）となっており、未処理のワークＷを吸着テーブル３１に導入するときや、処理済のワークＷを回収するときには、吸着テーブル３１をこの位置まで移動させるようになっている。そして、後述するロボットアーム７１（ワーク載換え手段）により、吸着テーブル３１に対するワークＷの搬入・搬出（載換え）が行われる（図１１参照）。また、図中の符号４２は、ワークＷの位置認識を行うためのワークアライメントカメラ（ワークアライメント手段）であり、ワークアライメントカメラ４２の撮像結果に基づいて、Ｘ軸方向およびＹ軸方向のデータ補正が行われると共に、θテーブル３２によるワークＷのθ補正が行われる。

Ｙ軸テーブル１２は、ヘッドユニット１３を構成する１０個の各キャリッジユニット５１をそれぞれ固定した１０個のブリッジプレート５２と、１０個のブリッジプレート５２を両持ちで支持する１０組のＹ軸スライダ（図示省略）と、上記した一対のＹ軸支持ベース３上に設置され、１０組のＹ軸スライダを介してブリッジプレート５２をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、を備えている。

一対のＹ軸リニアモータを（同期して）駆動すると、各Ｙ軸スライダが一対のＹ軸支持ベース３を案内にして同時にＹ軸方向を平行移動する。これにより、ブリッジプレート５２がＹ軸方向を移動し、これと共にキャリッジユニット５１がＹ軸方向に移動する（副走査）。なお、この場合、Ｙ軸リニアモータの駆動を制御することにより、キャリッジユニット５１を独立させて個別に移動させることも可能であるし、１０個のキャリッジユニット５１を一体として移動させることも可能である。

各キャリッジユニット５１は、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７と、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７を６個ずつ２群に分けて支持するキャリッジプレート５３と、を備えている（図４参照）。

図３に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針９２を有する機能液導入部９１と、機能液導入部９１に連なる２連のヘッド基板９３と、機能液導入部９１の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体９４と、を備えている。接続針９２は、図外の機能液タンクに接続され、機能液導入部９１に機能液を供給する。ヘッド本体９４は、キャビティ９５（ピエゾ圧電素子）と、多数の吐出ノズル９８が開口したノズル面９７を有するノズルプレート９６と、で構成されている。機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動すると、（ピエゾ圧電素子に電圧が印加され）キャビティ９５のポンプ作用により、吐出ノズル９８から機能液滴が吐出される。

なお、ノズル面９７に形成された多数の吐出ノズル９８は、等ピッチに整列して、１８０個の吐出ノズル９８から成る分割ノズル列９８ｂを２列形成している。そして、２列の分割ノズル列９８ｂ同士は、相互に半ピッチ分位置ずれしている。すなわち、機能液滴吐出ヘッド１７には、２列の分割ノズル列９８ｂにより高解像度の描画が可能となっている。

図４に示すように、各キャリッジユニット５１は、キャリッジプレート５３を介して、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド１７を搭載している。１２個の機能液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向に２群に分かれ、６個ずつＸ軸方向に並んでヘッド群５４を構成している。そして、複数のキャリッジに搭載された全機能液滴吐出ヘッド１７（１２×１０個）により、Ｙ軸方向に連続する描画ラインを形成している。この描画ラインの長さは、セットテーブル２１に搭載可能な最大サイズの基板Ｗの幅に対応している。

キャリッジユニット５１は、キャリッジプレート５３をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構６１と、θ回転機構６１を介して、キャリッジプレート５３をＹ軸テーブル１２（各ブリッジプレート５２）に支持させる吊設部材６２と、を備えている。なお、図示省略したが、吊設部材６２には、θ回転機構６１を介してキャリッジプレート５３を昇降させるヘッド昇降機構（図示省略）が組み込まれており、キャリッジプレート５３（機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７）の高さ位置を調整可能に構成されている。

ところで、ヘッドユニット１３に搭載された１２×１０個の機能液滴吐出ヘッド１７は、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液のいずれかに対応しており、ワークＷに３色の機能液から成る描画パターンを描画できるようになっている。図５に、本実施形態のヘッドユニット１３における機能液滴吐出ヘッド１７の配色パターンの説明図を示す。同図に示すように、ヘッドユニット１３における機能液滴吐出ヘッド１７の配色パターンは、Ｙ軸方向に連続する１２×１０個の機能液滴吐出ヘッド１７に対して、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色を所定の順番（本実施形態では、図示右側からＲ・Ｇ・Ｂの順）で繰り返し１個ずつ対応させたものであり、１０個の各キャリッジユニット５１における機能液滴吐出ヘッド１７の配色パターンは全て同様となっている。

したがって、ヘッドユニット１３を２ヘッド分のノズル列長分（１６０ノズル分）、副走査させれば、移動方向３番目以下の機能液滴吐出ヘッド１７が（副走査移動前に）臨んでいた領域にＲ・Ｇ・Ｂの３色分の機能液滴吐出ヘッド１７を臨ませることができ、この領域内に３色から成る描画パターンを描画可能である。

ここで、図７を参照しながら、液晶表示装置のカラーフィルタを作成する場合を例に、液滴吐出装置１の描画エリア内における一連の描画処理について説明する。詳細は後述するが、カラーフィルタ５００は、透光性の（透明）基板５０１と、ワークＷ上にＸ軸方向およびＹ軸方向にマトリクス状に並んだ多数の画素領域（フィルタエレメント）５０７ａと、画素領域５０７ａ上に形成されたＲ・Ｇ・Ｂ３色の着色層５０８（５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂ）と、各画素領域５０７ａを仕切る遮光性のバンク５０３と、を備えている（図７、図１３等参照）。そして、描画処理では、バンク５０３を作り込んだ基板５０１がワークＷとして導入され、各画素領域５０７ａ内に、対応するＲ・Ｇ・Ｂ３色のいずれか一色の機能液が吐出されるよう、ワークＷに所定の描画パターンが描画されるようになっている。

なお、カラーフィルタの配色パターンは、Ｙ軸方向に並ぶ画素領域５０７ａの横列すべてが同色であり、Ｘ軸方向においてＲ・Ｇ・Ｂの３色を繰り返し配列させたストライプ配列、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に並ぶ、縦列および横列の連続する３つの画素領域５０７ａが互いに異なるＲ・Ｇ・Ｂの３色となるモザイク配列、および複数の画素領域５０７ａが千鳥状に（半ピッチずつずらして）配設され、隣接して並ぶ３つの画素領域５０７ａが互いに異なるＲ・Ｇ・Ｂの３色となるデルタ配列のいずれを採用することも可能であるが、ここではストライプ配列のカラーフィルタを作成する場合について説明する（図６参照）。

描画処理は、ワークＷのアライメント位置４１からのワークＷ（吸着テーブル３１）の移動に引き続いて行われ、先ず、第１描画動作が開始される。第１描画動作では、Ｘ軸テーブル１１がそのまま駆動され、セットテーブル２１を介してワークＷが往動すると共に、これと同期して、ホーム位置に臨むヘッドユニット１３の機能液滴吐出ヘッド１７が選択的に吐出駆動され、ワークＷに機能液が吐出される（主走査）。ワークＷの往動が終了すると、Ｙ軸テーブル１２が駆動され、ヘッドユニット１３がＹ軸方向へ微少量移動する（副走査）。そして、再度Ｘ軸テーブル１１の駆動と機能液滴吐出ヘッド１７の選択的な吐出駆動とが同期して行われ、復動するワークに対して機能液が吐出される。ワークＷの復動が終了すると、さらにＹ軸テーブル１２が駆動され、ヘッドユニット１３がＹ軸方向へ微少量移動すると共に、上記した一連の動作が再び繰り返され、第１描画動作が終了する。なお、Ｙ軸テーブル１２によりヘッドユニット１３をＹ軸方向に微小移動させて副走査を行う代わりに、Ｘ軸テーブル上にサブＹ軸テーブル（図示省略）を設け、このサブＹ軸テーブルにより、セットテーブル２１をＹ軸方向に微小移動させることで副走査を行っても良い。

図７（ａ）に示すように、ヘッドユニット１３の１描画ラインは、ワークＷにマトリクス状に形成された画素領域５０７ａの縦列と直交しており、各画素領域列に機能液滴吐出ヘッド１７が臨むようになっている。また、ヘッドユニット１３がホーム位置に臨んでいるとき、ヘッドユニット１３の（Ｒ・Ｇに対応する）図示右端の２つの機能液滴吐出ヘッド１７（図１においては、左端に位置する）は、図示最右端の画素領域列からさらに右側に外れている。上記の第１描画動作を行うと、各機能液滴吐出ヘッド１７が各列に臨み、当該機能液滴吐出ヘッド１７が対応する色と同色に対応する画素領域５０７ａに機能液が吐出される。

第１描画動作が終了すると、Ｙ軸テーブル１２が駆動され、ヘッドユニット１３が略１ヘッドノズル列長Ｌ分だけＹ軸方向に移動する。これにより、第１描画動作時にＲ色に対応する機能液滴吐出ヘッド１７が臨んでいた位置に、Ｂ色に対応する機能液滴吐出ヘッド１７が、Ｇ色が対応していた位置にＲ色に対応する機能液滴吐出ヘッド１７が、Ｂ色が対応していた位置にＧ色に対応する機能液滴吐出ヘッド１７が臨む。続いて、第２描画動作が行われ、第１描画動作と同様にワークＷの往復動とこれに伴う機能液滴吐出ヘッド１７の吐出駆動が２回繰り返される。図７（ｂ）に示すように、これにより、第２描画動作では、第１描画動作でＲ色が吐出された画素領域列にＢ色の機能液が、Ｇ色が吐出された画素領域列にＲ色の機能液が、Ｂ色が吐出された画素領域列にＧ色の機能液が吐出される。

第２描画動作が終了すると、Ｙ軸テーブル１２が駆動されて、ヘッドユニット１３が、さらに略１ヘッドノズル列長分Ｙ軸方向に移動する。これにより、第１描画動作時にＲ色に対応する機能液滴吐出ヘッド１７が臨んでいた位置に、Ｇ色に対応する機能液滴吐出ヘッド１７が、Ｇ色が対応していた位置にＢ色に対応する機能液滴吐出ヘッド１７が、Ｂ色が対応していた位置にＲ色に対応する機能液滴吐出ヘッド１７が臨むようになっている。そして、この後、第３描画動作が行われ、第１描画動作および第２描画動作と同様に、ワークＷの往復動が２回行われる。これにより、各画素領域列の全画素領域５０７ａに対してＲ・Ｇ・Ｂ全色分の機能液が吐出され、ワークＷに対する描画処理が終了する。なお、描画処理の終了時には、ヘッドユニット１３の（Ｇ・Ｂに対応する）図示左端の２つの機能液滴吐出ヘッド１７（図１においては、右端に位置する）が、図示最左端の画素領域列からさらに左側に外れている（図７（ｃ）参照）。

このように、本実施形態では、Ｙ軸方向に連続する１２×１０個の機能液滴吐出ヘッド１７の配色パターンを、Ｒ・Ｇ・Ｂ異なる３色の繰り返しパターンとしているため、２ヘッド分のノズル列長（２Ｌ）の移動を行うだけで、ワークＷの全画素領域５０７ａに全色分の機能液を吐出させることができる。また、同一列の画素領域５０７ａに対して（ストライプ配列の場合には、横列の画素領域５０７ａに対しても）、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液が同時に吐出されることがないため、たとえ（飛行曲がり等に起因して）バンク５０３上に機能液が着弾した場合でも、（時間差によってバンク５０３上の機能液が乾燥するため）混色が生じ難く、精度良くカラーフィルタを作成することが可能である。

なお、本実施形態では、各画素領域５０７ａに対して、ヘッドユニット１３を２回往復動させることにより描画処理を行っているが、この回数は実情に合わせて任意に設定可能である。

次に、メンテナンス手段を構成するフラッシングユニット１４、吸引ユニット１５、ワイピングユニット１６、および吐出性能検査ユニット１８について順に説明する。フラッシングユニット１４は、機能液滴吐出ヘッド１７の全吐出ノズル９８からの捨て吐出（フラッシング）により吐出された機能液滴を受けるためのものであり、描画前フラッシングユニット１１１と、定期フラッシングユニット１１２と、で構成されている。

描画前フラッシングユニット１１１は、ワークＷに機能液を吐出させる直前にヘッドユニット１３の全機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動して行う、描画前フラッシングの機能液を受けるためのものであり、機能液を受ける一対の描画前フラッシングボックス１２１と、一対の各描画前フラッシングボックス１２１を吸着テーブル３１（支持ベース：図示省略）に支持させる一対のボックス支持部材（図示省略）と、で構成されている（図１および図２参照）。各描画前フラッシングボックス１２１は、Ｙ軸方向に長い平面視長方形の細長い箱状に形成されており、その底部には、機能液を吸収させる吸収材１２２が敷設されている。

一対の各ボックス支持部材は、各描画前フラッシングボックス１２１が吸着テーブル３１のＹ軸方向に平行な一対の辺（周縁）に沿うよう、吸着テーブル３１から張り出すようにこれを支持している。すなわち、描画前フラッシングボックス１２１は、吸着テーブル３１の前後を挟むように配置されており、ワークＷをＸ軸方向に往復動すると、ヘッドユニット１３の機能液滴吐出ヘッド１７は、ワークＷに臨む直前に順次描画前フラッシングボックス１２１に臨み、描画前フラッシングを行うことができるようになっている。これにより、機能液滴吐出ヘッド１７からの機能液滴の吐出を安定させることができ、ワークＷに精度良く描画処理を行うことが可能となる。

図１または図２、および図８に示すように、定期フラッシングユニット１１２は、ワークＷの載換え時等にように、描画処理を一時的に休止される時にヘッドユニット１３の全機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動して行われる定期フラッシングの機能液を受けるためのものであり、機能液を受ける定期フラッシングボックス１３１と、上記のＸ軸第２スライダ２３に搭載され、定期フラッシングボックス１３１の両端を高さ調整可能に支持する一対のボックス支柱部材１３２と、を有している。

定期フラッシングボックス１３１は、上面が開放され、Ｙ軸方向に長い平面視方形のボックス状に形成されている。定期フラッシングボックス１３１は、ヘッドユニット１３に搭載された１２×１０個の全機能液滴吐出ヘッド１７を包含し得る大きさに構成され、ヘッドユニット１３の全機能液滴吐出ヘッド１７を同時に定期フラッシングできるようになっている。定期フラッシングボックス１３１の底面には、Ｙ軸方向に延在する複数本（３本）のリブ１３３が突設されており、これらのリブ１３３上に機能液を吸収させるシート状のシート吸収材１３４が配設されている。シート吸収材１３４の上端面は、定期フラッシングボックス１３１の上端面と略一致している。そして、Ｘ軸第２スライダ２３を移動させて、吸着テーブル３１をワーク載せ換え位置に臨ませると、定期フラッシングボックス１３１がヘッドユニット１３に臨み、定期フラッシングの機能液を受け得るようになっている。

吸引ユニット１５は、機能液滴吐出ヘッド１７を吸引して、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル９８から機能液を強制的に排出させるものである。図１に示すように、吸引ユニット１５は、ヘッドユニット１３、すなわち１０個のキャリッジユニット５１に対応して構成されており、同様に構成された１０個の分割吸引ユニット１４１を上記架台６上に整列配置したものである。各分割吸引ユニット１４１は、吸引を行うキャリッジユニット５１に対して下側から臨み、キャリッジユニット５１に搭載された１２個の各機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７に、対応する１２個の各キャップ１４３をそれぞれ密着させるキャップユニット１４２と、キャップユニット１４２を昇降させ、機能液滴吐出ヘッド１７（ノズル面９７）に対してキャップ１４３を離接させるキャップ昇降機構（図示省略）と、密着させたキャップ１４３を介して各機能液滴吐出ヘッド１７に吸引力を作用させる吸引手段（エゼクタ：図示省略）と、を備えている。

機能液の吸引は、機能液滴吐出ヘッド１７（吐出ノズル９８）の目詰まりを解消／防止するために行われる他、液滴吐出装置１を新設した場合や、機能液滴吐出ヘッド１７のヘッド交換を行った場合などに、機能液タンクから機能液滴吐出ヘッド１７に至る機能液流路に機能液を充填するために行われる。また、吸引ユニット１５のキャップ１４３は、液滴吐出装置１の非稼動時に、機能液滴吐出ヘッド１７を保管するためにも用いられる。この場合、吸引ユニット１５にヘッドユニット１３を臨ませ、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７にキャップ１４３を密着させることにより、ノズル面９７を封止して、機能液滴吐出ヘッド１７（吐出ノズル９８）の乾燥を防止する。

ワイピングユニット１６は、洗浄液を噴霧したワイピングシート１５１で機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７を拭取る（ワイピングを行う）ものであり、ロール状に巻回したワイピングシート１５１を繰り出しながら巻き取ってゆく巻取りユニット１５２と、繰り出したワイピングシート１５１に洗浄液を散布する洗浄液供給ユニット１５３と、洗浄液が散布されたワイピングシート１５１でノズル面９７を拭取る拭取りユニット１５４と、を備えている（図１参照）。ワイピング動作は、吸引ユニット１５による吸引後等に行われ、ノズル面９７に付着した汚れを払拭する。そして、ワイピングユニット１６は、吸引ユニット１５よりもＸ軸テーブル１１側に配設されており、吸引ユニット１５による吸引後にホーム位置に戻るヘッドユニット１３（各キャリッジユニット５１）に臨んで、効率よくワイピング動作を行えるようになっている。

図１または図２、および図８に示すように、吐出性能検査ユニット１８は、ヘッドユニット１３に搭載された全機能液滴吐出ヘッド１７（の吐出ノズル９８）から機能液が適切に吐出されているか否かを検査するためのものであり、ヘッドユニット１３の全機能液滴吐出ヘッド１７の全吐出ノズル９８から検査吐出された機能液を受け、所定の検査パターンを描画させるための被描画ユニット１６１と、被描画ユニット１６１に描画された検査パターンを撮像して検査する撮像ユニット１６２と、を備えている。なお、被描画ユニット１６１はＸ軸テーブル１１に搭載され、撮像ユニット１６２はＹ軸テーブル１２直下の検査位置に固定的に設けられている（但し、後述する検査カメラ１８１は移動する）。

被描画ユニット１６１は、機能液滴吐出ヘッド１７からの検査吐出を受け、ロール状に巻回され、検査パターンを描画させる長尺状の描画シート１７１（ロール紙等）と、描画シート１７１が載置される検査ステージ１７２と、描画シート１７１の検査済み部分を検査ステージ１７２に送り出し、かつ非検査済み部分を検査ステージ１７２に送り込むように描画シート１７１を送るシート送り手段１７３と、シート送り手段１７３を支持するシート送り支持部材１７４と、シート送り支持部材１７４を支持するユニットベース１７５と、検査ステージ１７２上に載置される描画シート１７１のセット不良を検出する真空センサ１７８（図９参照）と、を備えている。シート送り手段１７３は、描画シート１７１が装填され、描画シート１７１を繰出す繰出しリール１７６と、繰出された描画シート１７１を巻き取る巻取りリール１７７と、巻取りリール１７７を回転させるための巻取りモータ（ギヤードモータ：図示省略）と、を有している。繰出された描画シート１７１は、外部に露出した状態でＹ軸方向に水平に走行し、巻取りリール１７７で巻き取られるようになっているが、この描画シート１７１の水平走行部が、検査パターンを受ける被描画部となっている。水平走行部のＹ軸方向の長辺の長さは、ヘッドユニット１３の全機能液滴吐出ヘッド１７からの検査吐出を受けることができるように設定されており、本実施形態では描画前フラッシングボックス１２１や定期フラッシングボックス１３１と同様に、１描画ラインの長さ＋２ヘッド分のノズル列長分の長さに対応して設定されている。

図２に示すように、撮像ユニット１６２は、上記したＹ軸支持ベース３に支持されており、Ｘ軸テーブル１１に上側から臨み、描画シート１７１に描画された検査パターンを描画する２個の検査カメラ１８１と、２個の検査カメラ１８１を保持するカメラホルダ１８２と、Ｙ軸支持ベース３に固定され、カメラホルダ１８２を介して、２個の検査カメラ１８１をＹ軸方向にスライド自在に支持するカメラ移動機構１８３と、カメラ移動機構１８３を介して検査カメラ１８１をＹ軸方向に移動させるためのカメラ移動モータ（図示省略）と、を有している。２個の検査カメラ１８１は、描画シート１７１に描画された検査パターンをそれぞれ半分ずつ撮像するように構成されている。例えば、２個の検査カメラ１８１を、ヘッドユニット１３の１描画ラインの長さの約半分の距離だけ離間して配設しておき、この状態で２個の検査カメラ１８１を移動させて、検査パターンの左側半分を左側の検査カメラ１８１で、右側半分を右側の検査カメラ１８１で撮像する。これにより、短時間で効率的に検査パターンを撮像（スキャン）することが可能となり、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出性能検査に要する時間を削減することが可能となる。

撮像ユニット１６２は、吸着テーブル３１がワーク載せ換え位置に臨んだときに、２個の検査カメラ１８１が描画シート１７１に臨むように配設されており、本実施形態では、ワーク載換え中およびアライメント中に、検査パターンの撮像を行えるようになっている。そして、２個の検査カメラ１８１による撮像結果は、制御手段７に送信されて画像認識され、この画像認識に基づいて、各機能液滴吐出ヘッド１７の各吐出ノズル９８が正常に機能液を吐出しているか（ノズル詰まりがないか）否かが判断されるが、この判断もワーク載換え中およびアライメント中に行われる。すなわち、吐出検査手段は、撮像ユニット１６２および制御手段７により構成されている。

真空センサ１７８は、吸着テーブル３１とエアー吸引手段（図示省略）を連通する吸引パイプ（図示省略）に介設されており、真空センサ１７８により所定の負圧よりも負圧小（負圧の絶対値が小）が検出されることにより、吸着不良に伴う描画シート１７１の浮き上がりが検出できるようになっている。

検出結果は制御手段７に送信され、吐出性能検査ユニット１８の駆動を停止させる。これにより、描画シート１７１が機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７と接触するのを防止している。なお、検査ステージ１７２を長手方向に複数に分割し、各分割ステージ毎に真空センサ１７８を設けてもよい。また、詳細は後述するが、本実施形態では、ワークＷへの描画と並行して真空センサ１７８による描画シート１７１のセット不良の検出が行うようになっている。

なお、真空センサ１７８に代えて、上述の待避位置に被描画ユニット１６１を上部から臨むように変位センサ（描画シート１７１までの離間寸法を複数箇所検出）を配設し、描画シート１７１のセット不良を検出するようにしてもよい。また、待避位置に被描画ユニット１６１を側面から臨むようにレーザーセンサ（描画シート１７１によりレーザー光が遮蔽されるか否かを複数箇所検出）を配設し、描画シート１７１のセット不良を検出するようにしてもよい。

次に、図９を参照して、液滴吐出装置１の主制御系について説明する。同図に示すように、液滴吐出装置１は、ヘッドユニット１３（機能液滴吐出ヘッド１７）を有する液滴吐出部１９１と、Ｘ軸テーブル１１、を有し、ワークをＸ軸方向へ移動させるためのワーク移動部１９２と、Ｙ軸テーブル１２を有し、ヘッドユニット１３をＹ軸方向へ移動させるヘッド移動部１９３と、メンテナンス手段の各ユニットを有するメンテナンス部１９４と、各種センサを有し、各種検出を行う検出部１９５と、各部を駆動制御する各種ドライバを有する駆動部１９６と、各部に接続され、液滴吐出装置１全体の制御を行う制御部１９７（制御手段７）と、を備えている。

制御部１９７には、各手段を接続するためのインタフェース２０１と、一時的に記憶可能な記憶領域を有し、制御処理のための作業領域として使用されるＲＡＭ２０２と、各種記憶領域を有し、制御プログラムや制御データを記憶するＲＯＭ２０３と、ワークＷに所定の描画パターンを描画するための描画データや、各手段からの各種データ等を記憶すると共に、各種データを処理するためのプログラム等を記憶するハードディスク２０４と、ＲＯＭ２０３やハードディスク２０４に記憶されたプログラム等に従い、各種データを演算処理するＣＰＵ２０５と、これらを互いに接続するバス２０６と、が備えられている。

そして、制御部１９７は、各手段からの各種データを、インタフェース２０１を介して入力すると共に、ハードディスク２０４に記憶された（または、ＣＤ−ＲＯＭドライブ等により順次読み出される）プログラムに従ってＣＰＵ２０５に演算処理させ、その処理結果を、駆動部１９６（各種ドライバ）を介して各手段に出力する。これにより、装置全体が制御され、液滴吐出装置１の各種処理が行われる。

次に、図１０のフローチャートと図１１の説明図を参照し、ワークＷに対する描画処理と機能液滴吐出ヘッド１７の吐出性能検査の動作手順について述べる。まず、ロボットアーム７１（ワーク載換え手段）を介して、ワークＷのアライメント位置４１に臨むＸ軸第１スライダ２２上のセットテーブル２１（吸着テーブル３１）に未処理のワークＷを載せる（載換え処理）。これと同時に、制御部１９７によりＸ軸第２スライダ２３上の被描画ユニット１６１は、検査カメラ１８１に臨む検査位置に移動され、検査カメラ１８１は、機能液滴吐出ヘッド１７により被描画ユニット１６１上の描画シート１７１に検査吐出された検査パターンを撮像し、検査パターンのデータを読み込む（図１０：Ｓ１、図１１：ａ）

次に、制御部１９７は、ワークアライメントカメラ４２を駆動させて、Ｘ軸第１スライダ２２上のセットテーブル２１に載置したワークＷの位置を撮像すると共に、この撮像結果を画像認識する。そして、この画像認識に基づいてＸ軸第１スライダ２２、Ｙ軸スライダおよびθテーブル３２を駆動し、Ｘ・Ｙ・θ方向にアライメント処理を行う（Ｘ、Ｙ方向はデータ補正としてもよい）。一方、被描画ユニット１６１では、制御部１９７により制御された検査カメラ１８１が、引き続き描画シート１７１に検査吐出された検査パターンを撮像し、検査パターンのデータを読み込んでいる（図１０：Ｓ２、図１１：ｂ）。

この時、ワークＷの載換え処理およびアライメント処理と、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出性能検査とを同時併行的に行うことができるため、ワークＷの載換え処理およびアライメント処理の時間を利用して、効率的に吐出性能の検査を行うことができる。したがって、ワーク処理のタクトタイムを短縮することが可能となり、ワークＷの生産性を向上できる。

また、同図では省略したが、Ｘ軸第２スライダ２３上の被描画ユニット１６１が検査カメラ１８１に臨む検査位置に移動すると、同一スライダ上に配設されている定期フラッシングユニット１１２（定期フラッシングボックス１３１）は、機能液滴吐出ヘッド１７に臨む位置に移動する。このため、次の描画動作まで定期フラッシングボックス１３１に機能液滴吐出ヘッド１７からの捨て吐出を行って待機している。定期フラッシングボックス１３１をＸ軸第２スライダ２３に設けておくことで、待機から描画への移行時間を短縮することができるため、移行時間中にノズルの乾燥等を有効に防止することができる。

次に、ワークＷのアライメント処理と機能液滴吐出ヘッド１７の吐出性能検査が終了すると、制御部１９７は、Ｘ軸第１スライダ２２を走査方向にスライドさせて、セットテーブル２１およびワークＷを描画エリアに移動させると共に、Ｘ軸第２スライダ２３を走査方向にスライドさせて、被描画ユニット１６１をそのホーム位置である待避位置に移動させる（図１０：Ｓ３、図１１：ｃ）。

次に、描画エリアに移動されたセットテーブル２１は、機能液滴吐出ヘッド１７に対して往復動すると共に、これに同期して機能液滴吐出ヘッド１７が駆動され、ワークＷに対する描画動作が行われる。被描画ユニット１６１は、移動を行う必要がないため、上述した待避位置で待機する（図１０：Ｓ４、図１１：ｄ）。また、セットテーブル２１上のワークＷに対し描画を継続している間も、被描画ユニット１６１は、待避位置で待機する（図１０：Ｓ５、図１１：ｅ）。

この場合、上述したようにＸ軸第２スライダ２３に定期フラッシングユニット１１２（定期フラッシングボックス１３１）を搭載することにより、Ｘ軸第１スライダ２２の搬送重量が軽減されるため、描画送りの応答性を向上することができる。

また、被描画ユニット１６１を描画エリアから外れた待避位置に移動させた状態で、ワークＷへの描画と、描画シート１７１のシート送りおよびシート送り後のセット不良の検出を並行して行うことで、描画処理の時間を利用して効率的に描画シート１７１のシート送りおよびセット不良の検出を行うことができる。さらに、被描画ユニット１６１を待避位置に移動させ、描画エリアおよびセットテーブル２１との間に一定の距離を確保することで、描画シート１７１のシート送りに伴って発生する紙屑や埃が、機能液滴吐出ヘッド１７およびセットテーブル２１に載置されるワークＷに付着せず、機能液滴吐出ヘッド１７やワークＷのクリーン度を確保することができる。

次に、セットテーブル２１に載置されたワークＷに対する描画動作が終了すると、制御部１９７によりＸ軸第２スライダ２３に配設された被描画ユニット１６１は、機能液滴吐出ヘッド１７に臨む位置に移動され、描画シート１７１に対して機能液滴吐出ヘッド１７から機能液の検査吐出が行われる（図１０：Ｓ６、図１１：ｆ）。その後、制御部１９７は、Ｘ軸第１スライダ２２をスライドさせて、セットテーブル２１をワークアライメントカメラ４２に臨むアライメント位置４１移動させると共に、Ｘ軸第２スライダ２３をスライドさせて、被描画ユニット１６１を検査カメラ１８１に臨む検査位置に移動させる（図１０：Ｓ７、図１１：ｇ）。

最後に、ロボットアーム７１を介してセットテーブル２１上の描画済みワークＷを搬出（載換え処理）すると共に、これと並行して、制御部１９７は検査カメラ１８１を駆動させ、被描画ユニット１６１に載置された描画シート１７１に吐出された検査パターンを撮像させ、検査パターンのデータを読み込む（図１０：Ｓ８、図１１：ｈ）。その後、「Ｓ１」の動作に戻り、再度描画処理を開始する。

以上のように、本実施形態の液滴吐出装置１では、ワークＷの載換え処理およびアライメント処理と、検査処理とを同時併行的に行うことができ、ワークＷの載換え処理およびアライメント処理の時間を利用して、効率的に吐出性能の検査を行うことができる。したがって、ワーク処理のタクトタイムを短縮することができるため、ワークＷの生産性を向上させることができる。

また、本実施形態の液滴吐出装置１では、機能液滴吐出ヘッド１７の検査吐出を受ける描画シート１７１のシート送りを待避位置で行うことで、これに伴って発生する紙屑や埃が、機能液滴吐出ヘッド１７およびワークＷに付着することがなくなる。これにより、機能液滴吐出ヘッド１７およびワークＷをクリーンな状態で維持し描画処理を行うことができる。また、描画シート１７１のシート送りおよびセット不良の検出をワークＷへの描画の時間を利用して行うことができるため、ワーク処理のタクトタイムを短縮でき、ワークＷの生産性が向上する。

次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。

まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１２は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１３は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１３（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。

続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１３（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１３（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１７により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。

以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。

次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１３（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１３（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。

図１４は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１３に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。

この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１４において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。

液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。

実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。

図１５は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。

液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

図１６は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。

この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。

対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。

また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。

なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。

次に、図１７は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。

この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。

回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。

また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。

そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。

このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。

上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。

バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。

上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。

発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。

そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。

陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。

次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１８〜図２６を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１８に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。

まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１９に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図２０に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。

表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。

そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。

図２１に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１７から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２２に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。

次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。

そして次に、図２３に示すように、各色のうちのいずれか（図２３の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。

その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２４に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。

同様に、機能液滴吐出ヘッド１７を用い、図２５に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。

対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２６に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ₂、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。

このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。

次に、図２７は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。

第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。

放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。

第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。

本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１７により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。

補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。

ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１７から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。

次に、図２８は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。

第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。

第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。

そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。

この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。

第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２９（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２９（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。

また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。

実施形態に係る液滴吐出装置の平面図である。 液滴吐出装置の側面図である。 機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。 ヘッド群を構成する機能液滴吐出ヘッドの図である。 ヘッドユニットに搭載された機能液滴吐出ヘッドの配色パターンの説明図である。 カラーフィルタの配色パターンの説明図であり、（ａ）は、ストライプ配列、（ｂ）は、モザイク配列、（ｃ）は、デルタ配列を示している。 液滴吐出装置による描画処理の説明図であり、（ａ）は、第１描画動作、（ｂ）は、第２描画動作、（ｃ）は、第３描画動作についての平面模式図である。 第２スライダ廻りの外観斜視図である。 描画装置の主制御系について説明したブロック図である。 描画処理工程と吐出性能検査工程との並行処理を説明したフローチャートである。 描画処理工程と吐出性能検査工程との並行処理を説明した工程図である。 カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。 （ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。 有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。 無機物バンク層の形成を説明する工程図である。 有機物バンク層の形成を説明する工程図である。 正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。 正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。 青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。 青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。 各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。 陰極の形成を説明する工程図である。 プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。 電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。 表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。

符号の説明

１…液滴吐出装置 ７…制御手段 １７…機能液滴吐出ヘッド ２１…セットテーブル ２２…Ｘ軸第１スライダ ２３…Ｘ軸第２スライダ ２４…Ｘ軸共通支持ベース ４１…アライメント位置 １３１…定期フラッシングボックス １６１…被描画ユニット １７１…描画シート １７２…検査ステージ １７３…シート送り手段 １７８…真空センサ Ｗ（ワーク）…基板

Claims (9)

1. ワークがセットされ且つ描画エリアに臨むセットテーブルを、機能液滴吐出ヘッドに対して走査方向に移動させながら、前記ワークに対して前記機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して描画を行う液滴吐出装置において、
   前記セットテーブルの移動軌跡上に配設され、前記機能液滴吐出ヘッドからの検査吐出により検査パターンが描画される被描画ユニットを有し、前記被描画ユニットに描画された前記検査パターンを画像認識し、前記機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する吐出検査手段と、
   前記セットテーブルに対する前記ワークのアライメントを行うワークアライメント手段と、
   前記セットテーブルを、前記描画エリア内で前記走査方向に移動させると共に、前記描画エリアと前記描画エリア手前のアライメント位置との間で前記走査方向に移動させるテーブル移動手段と、
   前記被描画ユニットを、前記セットテーブルと別個に、かつ前記描画エリア先方の待避位置と前記機能液滴吐出ヘッド直下の検査位置との間で前記走査方向に移動させるユニット移動手段と、
   前記機能液滴吐出ヘッド、前記吐出検査手段、前記テーブル移動手段、前記ユニット移動手段および前記ワークアライメント手段を制御する制御手段と、を備え、
   前記制御手段は、前記セットテーブルを前記アライメント位置に移動させると共に前記ワークのアライメントを行うアライメント処理と、前記被描画ユニットを前記検査位置に移動させると共に前記検査吐出および前記吐出性能の検査を行う検査処理と、を並行して行わせることを特徴とする液滴吐出装置。
2. 前記アライメント位置において、前記セットテーブルに対し、描画済みのワークを搬出すると共に描画前のワークを搬入する載換え処理を行うワーク載換え手段を、更に備え、
   前記制御手段は、前記ワーク載換え手段を更に制御し、前記セットテーブルを前記アライメント位置に移動させた後であって前記アライメントを行う前に、前記載換え処理を行わせると共に、前記載換え処理と前記検査処理と、を並行して行わせることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
3. 前記テーブル移動手段は、
   前記セットテーブルを支持する第１スライダと、
   前記第１スライダを前記走査方向にスライド自在に支持する共通支持ベースと、を有し、
   前記ユニット移動手段は、
   前記被描画ユニットを支持する第２スライダと、
   前記第２スライダを前記走査方向にスライド自在に支持する前記共通支持ベースと、を有していることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
4. 前記第２スライダ上に配設され、前記機能液滴吐出ヘッドからの機能液の捨て吐出を受ける定期フラッシングボックスを、更に備えていることを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。
5. 前記被描画ユニットは、
   前記検査パターンが描画される描画シートと、
   前記描画シートが載置される検査ステージと、
   前記描画シートの検査済み部分を前記検査ステージから送り出し、かつ非検査済み部分を前記検査ステージに送り込むように前記描画シートを送るシート送り手段と、を備え、
   前記制御手段は、前記被描画ユニットを前記待避位置に移動させた状態で、前記ワークへの描画と、前記描画シートの送りと、を並行して行わせることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出装置。
6. 前記被描画ユニットは、
   前記検査ステージに送り込まれた前記描画シートのセット不良を検出する不良検出センサを、更に備え、
   前記制御手段は、前記被描画ユニットを前記待避位置に移動させた状態で、前記ワークへの描画と、前記不良検出センサによる前記セット不良の検出と、を並行して行わせることを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出装置。
7. 請求項１ないし６のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
8. 請求項１ないし６のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
9. 請求項７に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項８に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。

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