KR20060097250A - Automated Optical Inspection System and Method - Google Patents
Automated Optical Inspection System and Method Download PDFInfo
- Publication number
- KR20060097250A KR20060097250A KR1020050018336A KR20050018336A KR20060097250A KR 20060097250 A KR20060097250 A KR 20060097250A KR 1020050018336 A KR1020050018336 A KR 1020050018336A KR 20050018336 A KR20050018336 A KR 20050018336A KR 20060097250 A KR20060097250 A KR 20060097250A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- inspection
- unit
- inspection object
- printed circuit
- camera
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B07—SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
- B07C—POSTAL SORTING; SORTING INDIVIDUAL ARTICLES, OR BULK MATERIAL FIT TO BE SORTED PIECE-MEAL, e.g. BY PICKING
- B07C5/00—Sorting according to a characteristic or feature of the articles or material being sorted, e.g. by control effected by devices which detect or measure such characteristic or feature; Sorting by manually actuated devices, e.g. switches
- B07C5/34—Sorting according to other particular properties
- B07C5/342—Sorting according to other particular properties according to optical properties, e.g. colour
- B07C5/3422—Sorting according to other particular properties according to optical properties, e.g. colour using video scanning devices, e.g. TV-cameras
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/08—Monitoring manufacture of assemblages
- H05K13/081—Integration of optical monitoring devices in assembly lines; Processes using optical monitoring devices specially adapted for controlling devices or machines in assembly lines
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/59—Transmissivity
- G01N21/5907—Densitometers
- G01N2021/5957—Densitometers using an image detector type detector, e.g. CCD
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Operations Research (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
본 발명은 플렉시블 인쇄회로기판 유닛들이 연속적으로 형성된 필름 또는 테이프 형태의 검사대상물 외관을 광학적인 방식을 이용하여 자동 검사하는 광학 자동 검사 시스템 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 광학 자동 검사 시스템은 검사대상물이 제공되는 권출부(loader); 상기 권출부로부터 제공되는 상기 검사대상물의 표면을 검사하는 비젼 검사부; 상기 검사대상물에 형성된 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛들 중 불량으로 판별된 유닛을 표시하는 마킹부; 및 검사를 마친 상기 검사대상물이 감겨지는 귄취부(unloader)를 포함하되; 상기 비젼 검사부는 서로 다른 시야를 가지고 상기 필름 테이프를 촬상하는 촬상부재들을 포함한다. 이와 같은 구성을 갖는 본 발명에 의하면, 보다 높은 검사품질을 얻을 수 있으며 또한, 각각의 시야(검사영역)별 특성에 따라 반사조명과 투과조명 중 어느 하나를 선택적으로 사용할 수 있기 때문에 검사 품질을 높일 수 있는 각별한 효과를 갖는다. The present invention relates to an optical automatic inspection system and method for automatically inspecting the appearance of an inspection object in the form of a film or tape in which flexible printed circuit board units are continuously formed using an optical method. The optical automatic inspection system of the present invention includes a unloader (loader) provided with an inspection object; A vision inspection unit which inspects a surface of the inspection object provided from the unwinding unit; A marking unit which displays a unit which is determined as defective among the flexible printed circuit board units formed on the inspection object; And a unloader on which the inspection object is wound after the inspection; The vision inspection unit may include imaging members configured to photograph the film tapes having different views. According to the present invention having such a configuration, a higher inspection quality can be obtained, and the inspection quality can be improved because either the reflected light or the transmissive light can be selectively used according to the characteristics of each visual field (inspection area). It can have a special effect.
인쇄회로기판, TAB, COF Printed Circuit Boards, TAB, COF
Description
도 1은 본 발명을 설명하기 위한 블록 구성도;1 is a block diagram for explaining the present invention;
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 광학 자동 검사 시스템의 주요 구성을 보여주는 도면;2 shows a main configuration of an optical automatic inspection system according to an embodiment of the present invention;
도 3은 1차 비젼 검사부의 주요 구성을 보여주는 도면;3 is a view showing the main configuration of the primary vision inspection unit;
도 4는 1차 비젼 검사부의 지지부를 보여주는 도면;4 shows a support of a primary vision inspection unit;
도 5는 서로 다른 시야(검사영역)를 가지고 검사대상물을 촬상하는 촬상부재들을 보여주는 도면;5 is a view showing image pickup members for imaging an inspection object with different fields of view (inspection area);
도 6은 본 발명의 광학 자동 검사 시스템에 의한 검사 방법에 대한 흐름도이다. 6 is a flow chart of the inspection method by the optical automatic inspection system of the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
102 : 권출부102: unwinding unit
110 : 1차 비젼 검사부110: primary vision inspection unit
150 : 2차 비젼 검사부150: secondary vision inspection unit
160 : 마킹부160: marking part
106 : 귄취부 106: Gunguin
본 발명은 광학 자동 검사 시스템에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 플렉시블 인쇄회로기판 유닛들이 연속적으로 형성된 필름 또는 테이프 형태의 검사대상물 외관을 광학적인 방식을 이용하여 자동 검사하는 광학 자동 검사 시스템 및 방법에 관한 것이다. The present invention relates to an optical automatic inspection system, and more particularly, to an optical automatic inspection system and method for automatically inspecting the appearance of an object to be inspected in the form of a film or tape in which flexible printed circuit board units are continuously formed using an optical method. It is about.
액정표시장치의 드라이버 집적회로, 메모리 등의 각종 반도체 디바이스들의 제조에 사용되는 주요 재료의 하나인 인쇄회로기판은 반도체 디바이스의 소형화, 경량화 추세에 따라 필름(film), 테이프(tape) 타입 등의 플렉시블 인쇄회로 기판(Flexible Printed Circuit Board)을 많이 사용하고 있다. 플렉시블 형태의 인쇄회로기판 중에서는 예를 들어, TAB(Tape Automatic Bonding), COF(Chip On Film) 기판 등이 있으며, 노광, 현상, 에칭 공정 등을 통하여 기판에 미세 회로 패턴이 형성된다. 따라서 플렉시블 인쇄회로기판의 생산업체에서는 제품 출하전 검사에 있어서, 제품의 도금영역, 솔더 레지스터(solder resist)영역, 반도체 웨이퍼 등이 실장되는 영역(inner lead부)등의 외관 검사가 핵심 검사 항목으로 구분되어 지고 있다. Printed circuit boards, which are one of the main materials used in the manufacture of various semiconductor devices such as driver integrated circuits and memories of liquid crystal displays, are flexible such as film and tape types according to the trend of miniaturization and light weight of semiconductor devices. Flexible printed circuit boards are used a lot. Among flexible printed circuit boards, for example, a tape automatic bonding (TAB), a chip on film (COF) substrate, and the like are formed, and a fine circuit pattern is formed on the substrate through an exposure, development, and etching process. Therefore, in the inspection of pre-shipment, the manufacturers of flexible printed circuit boards have the external inspection such as plating area, solder resist area, and area where semiconductor wafer is mounted (inner lead part) as a key inspection item. It is being divided.
즉, 반도체 IC 제조용 플렉시블 인쇄회로기판의 생산업체에서는 상기 검사 항목들의 효과적인 검사가 생산성 및 품질 관리에 관건이 되고 있다. That is, in the production of flexible printed circuit boards for semiconductor IC manufacturing, effective inspection of the inspection items becomes a key to productivity and quality control.
그러나, 기존 광학 자동 검사 시스템에서는 실제적으로 불량이지만 양품으로 판정되는 미검출이나, 양품성 이물 및 먼지 등에 의한 과검출(예컨대, 규격상 양품을 불량으로 판정하는 등)이 발생된다. 특히, 과검출은 애써 제조한 양품을 자동으로 불량 폐기 처리하게 되어 생산성을 크게 저하시키며 이는 곧바로 제조 기업의 채산성 악화로 바로 이어지게 된다. 필름, 테이프 형태의 인쇄회로기판 제조업체에 도입된 기존 광학 자동 검사 시스템은 투과광만을 사용하거나 또는 반사광만을 사용하여 영상을 획득하기 때문에, 투과광 또는 반사광을 통하여 획득한 영상에서 양품성 이물 및 먼지 등에 의한 과검출 현상이 많이 나타난다. However, in the existing optical automatic inspection system, undetection, which is actually defective, is judged as good quality, or overdetection by good quality foreign matter and dust (for example, judgment of good quality as standard) is generated. In particular, over-detection automatically scraps hard-worked good products, greatly reducing productivity, which immediately leads to deterioration of profitability of manufacturing companies. Existing optical automatic inspection systems introduced to printed circuit board manufacturers in the form of films and tapes acquire images by using only transmitted light or only reflected light. Many detection phenomena appear.
그리고, 기존 광학 자동 검사 시스템에서는 과검출이 발생하더라도 계속해서 검사를 진행시키고, 검사 결과에 따라 불량처리부에서 불량으로 판별된 인쇄회로기판을 펀칭 또는 마킹 등과 같이 불량 처리하게 된다. 그 결과, 양품이 이물 또는 먼지 등에 의해 불량으로 과검출되고, 광학 검사 장치의 검출 결과에 따라 제품 규격상의 양품을 불량으로 처리할 수 밖에 없었다. In the conventional optical automatic inspection system, even if overdetection occurs, the inspection is continuously performed, and the printed circuit board determined as defective in the defective processing unit according to the inspection result is poorly processed, such as punching or marking. As a result, the good product was overdetected as defective by foreign matter or dust, etc., and the good product in the product standard was inevitably treated as defective according to the detection result of the optical inspection device.
또한, 기존 광학 자동 검사 시스템은 제한된 공간 안에 여러 대의 카메라들을 설치하는데 어려움이 있기 때문에 카메라의 장착수는 한정적일 수 밖에 없으며, 추가적으로 카메라를 설치해야할 경우에는 그 설치 공간만큼 시스템 사이즈가 커져야 하는 문제를 갖고 있다. In addition, the existing optical automatic inspection system has a difficulty in installing multiple cameras in a limited space, so the number of cameras can be limited, and if additional cameras are to be installed, the system size must be as large as the installation space. Have
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 규격상으로 불량이지만 양품으로 판정되는 미검출이나, 규격상 양품인데도 불량으로 판정되는 과검출 현상을 방지하여 검사 신뢰성을 얻을 수 있는 새로운 형태의 광학 자동 검사 시스템 및 방법을 제공하는데 있다. 본 발명의 다른 목적은 한정된 공간에 많은 수의 카메라를 장착 할 수 있는 공간 활용도를 높일 수 있는 새로운 형태의 광학 자동 검사 시스템 및 방법을 제공하는데 있다. 본 발명의 다른 목적은 불량 유형을 보다 정확하게 검사할 수 있는 새로운 형태의 광학 자동 검사 시스템 및 방법을 제공하는데 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and the object thereof is a new form which can obtain inspection reliability by preventing over-detection which is determined to be defective even though it is defective in standard but not good as standard. To provide an optical automatic inspection system and method. It is another object of the present invention to provide a new type of optical automatic inspection system and method for increasing the space utilization for mounting a large number of cameras in a limited space. It is another object of the present invention to provide a new type of optical automatic inspection system and method that can more accurately inspect defect types.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 특징에 의하면, 플렉시블 인쇄회로기판 유닛들이 연속적으로 형성된 검사대상물의 광학 자동 검사 시스템은 상기 검사대상물이 제공되는 권출부(loader); 상기 권출부로부터 제공되는 상기 검사대상물의 표면을 검사하는 비젼 검사부; 검사를 마친 상기 검사대상물이 언로딩되는 귄취부(unloader)를 포함하되; 상기 비젼 검사부는 서로 다른 시야를 가지고 상기 필름 테이프를 촬상하는 촬상부재들을 포함한다.According to an aspect of the present invention for achieving the above object, an optical automatic inspection system of an inspection object in which the flexible printed circuit board units are continuously formed, the unloader (loader) provided with the inspection object; A vision inspection unit which inspects a surface of the inspection object provided from the unwinding unit; Comprising the unloader (unloader) is unloaded the inspection object after the inspection; The vision inspection unit may include imaging members configured to photograph the film tapes having different views.
이 특징의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 촬상부재들 각각은 상기 검사대상물의 검사항목들에 대응되는 시야를 가지도록 배치된다.In a preferred embodiment of this aspect, each of the imaging members is arranged to have a field of view corresponding to the inspection items of the inspection object.
이 특징의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 검사대상물의 검사항목들은 상기 검사대상물의 반송홀, 안쪽 리드(inner lead)영역, 패턴도금영역, 솔더 레지스터(solder rester)영역 등을 포함할 수 있다.In a preferred embodiment of this aspect, the inspection items of the inspection object may include a return hole of the inspection object, an inner lead region, a pattern plating region, a solder rester region, and the like.
이 특징의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 촬상부재들 각각은 카메라와, 상기 검사대상물에 광을 조사하는 조명부재를 포함하되; 상기 조명부재는 상기 검사대상물에 투과광을 조사하는 투과조명과, 상기 검사대상물에 반사광을 조사하는 반 사조명 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.In a preferred embodiment of this feature, each of the imaging member includes a camera and an illumination member for irradiating light to the inspection object; The illumination member may include at least one of a transmission light for irradiating the light to the inspection object and a reflection light for irradiating the reflected light to the inspection object.
이 특징의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 촬상부재들은 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛의 안쪽 리드들의 휨, 변색, 스크래치, 이물등을 검사하기 위하여 상기 안쪽 리드 영역을 촬상하는 제1카메라; 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛의 패턴 도금영역의 표면검사(변색, 스크래치, 이물)와, 솔러 레지스터 영역의 핀홀, 스크래치 위치 틀어짐등을 검사하기 위하여 상기 패턴 도금영역과 상기 솔더 레지스터 영역을 촬상하는 제2카메라; 및 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛의 솔러 레지스터 영역의 핀홀, 스크래치 위치, 틀어짐 등과 반송기준 홀의 찢어짐 등을 검사하기 위하여 상기 검사대상물의 폭을 촬상하는 제3카메라를 포함할 수 있다.In an exemplary embodiment of the present invention, the image pickup members may include: a first camera configured to image the inner lead area to inspect bending, discoloration, scratches, foreign matters, etc. of the inner leads of the flexible printed circuit board unit; A second image capturing the pattern plating region and the solder resist region in order to inspect surface inspection (discoloration, scratch, foreign matter) of the pattern plating region of the flexible printed circuit board unit, and pinholes, scratch position misalignment, etc. of the solar resistor region. camera; And a third camera for capturing the width of the inspection object in order to inspect pinholes, scratch positions, distortions, and tearing of the transport reference hole in the solar register area of the flexible printed circuit board unit.
이 특징의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 비젼 검사부는 상기 제1카메라에 의해 촬상된 이미지로 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛의 안쪽 리드들의 휨, 변색, 스크래치, 이물등을 판별하는 제1처리부; 상기 제2카메라에 의해 촬상된 이미지로 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛의 패턴 도금영역의 표면검사(변색, 스크래치, 이물)와, 솔러 레지스터 영역의 핀홀, 스크래치 위치 틀어짐 등을 판별하는 제2처리부; 및 상기 제3카메라에 의해 촬상된 이미지로 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛의 솔러 레지스터 영역의 표면검사(핀홀, 스크래치 위치, 틀어짐 등)와, 반송기준 홀의 찢어짐 등을 판별하는 제3처리부를 포함하는 영상처리부를 더 포함할 수 있다.According to a preferred embodiment of the present invention, the vision inspection unit may include: a first processing unit which determines warpage, discoloration, scratches, foreign matters, etc. of the inner leads of the flexible printed circuit board unit by an image captured by the first camera; A second processing unit for determining a surface inspection (discoloration, scratch, foreign matter) of the pattern plating region of the flexible printed circuit board unit, pinholes of the solar register region, a scratch position shift, etc. by the image photographed by the second camera; And a third processing unit for determining a surface inspection (pinhole, scratch position, distortion, etc.) of the solar register area of the flexible printed circuit board unit, and tearing of a transport reference hole using an image captured by the third camera. It may further include a processing unit.
이 특징의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 비젼 검사부는 상기 촬상부재들 중 2개의 촬상부재는 동일한 시야(검사영역)를 가지고 촬상하되; 상기 동일한 시야 (검사영역)를 촬상하는 2개의 촬상부재는 각각 반사광과 투과광을 이용하여 불량 유형을 촬상하게 된다. In a preferred embodiment of this aspect, the vision inspecting section captures two imaging members of the imaging members having the same field of view (inspection region); The two imaging members for imaging the same field of view (inspection area) are each configured to image the defect type using the reflected light and the transmitted light.
이 특징의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 비젼 검사부는 상기 검사대상물을 라운드지게 이송하는 라운드 이송부를 더 포함하고; 상기 촬상부재들은 상기 라운드지게 이송되는 상기 검사대상물 표면을 촬상할 수 있다.In a preferred embodiment of this aspect, the vision inspection unit further comprises a round transfer unit for transporting the inspection object round; The imaging members may image the surface of the inspection object to be transported roundly.
이 특징의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 라운드이송부는 상기 검사대상물의 휨이나 늘어짐이 발생되지 않도록 상기 검사대상물을 지지하는 지지부들을 포함하되; 상기 지지부들은 상기 라운드의 반경을 따라 배치되어 상기 검사대상물을 라운드지게 이송할 수 있다.In a preferred embodiment of this feature, the round transfer portion includes support portions for supporting the inspection object so that bending or sagging of the inspection object does not occur; The supports may be disposed along the radius of the round to transport the inspection object roundly.
이 특징의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 촬상부재들 각각은 카메라와, 상기 검사대상물에 광을 조사하는 조명부재를 포함하고, 상기 지지부는 서로 이격되어 설치되는 한쌍의 지지롤러를 포함하며, 상기 조명부재는 상기 한쌍의 지지롤러 사이의 틈새를 통해 상기 검사대상물에 광을 조사하게 된다.In a preferred embodiment of this aspect, each of the imaging member includes a camera and a lighting member for irradiating light to the inspection object, the support portion includes a pair of support rollers spaced apart from each other, the illumination The member irradiates light to the inspection object through a gap between the pair of support rollers.
이 특징의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 광학 자동 검사 시스템은 상기 비젼 검사부에서 상기 촬상부재들에 의해 촬상된 상기 검사대상물을 최종 촬상하여 그 불량 유무를 판별하는 2차 비젼 검사부를 더 포함할 수 있다.In a preferred embodiment of this aspect, the optical automatic inspection system may further include a secondary vision inspection unit for final imaging of the inspection object picked up by the imaging members in the vision inspection unit to determine whether there is a defect. .
이 특징의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 2차 비젼 검사부는 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛을 에어리어 스캔(area scan) 방식으로 촬상하는 에어리어 카메라를 포함할 수 있다. In a preferred embodiment of this aspect, the secondary vision inspection unit may include an area camera for imaging the flexible printed circuit board unit by an area scan method.
이 특징의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 2차 비젼 검사부는 상기 1차 비 젼 검사부 및 상기 에어리어 카메라에서 촬상된 이미지를 가지고 불량으로 판명된 부분을 칼라 이미지로 촬상하는 칼라 카메라를 더 포함하고, 상기 영상처리부는 상기 1차 비젼 검사부 및 상기 에어리어 카메라에서 촬상된 이미지 중에서 불량으로 판명된 부분의 이미지와, 상기 칼라 카메라에서 촬상된 칼라 이미지를 작업자에게 디스플레이하고, 작업자에게 최종 양,불 여부를 판단하게 하는 최종처리부를 포함할 수 있다. In a preferred embodiment of the feature, the secondary vision inspection unit further comprises a color camera for capturing a portion found to be defective with the image captured by the primary vision inspection unit and the area camera as a color image, The image processing unit displays an image of a portion of the image captured by the primary vision inspection unit and the area camera, which is found to be defective, and a color image captured by the color camera, to the operator to determine whether or not the final quantity is or not. It may include a final processing unit.
이 특징의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 카메라는 라인스캔 카메라이며, 상기 광학 자동 검사 시스템은 상기 검사대상물에 형성된 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛들 중 불량으로 판별된 유닛을 표시하는 마킹부를 더 포함할 수 있다.In a preferred embodiment of the present invention, the camera is a line scan camera, and the optical automatic inspection system may further include a marking unit for displaying a unit determined to be defective among the flexible printed circuit board units formed on the inspection object. have.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 특징에 의하면, 플렉시블 인쇄회로기판 유닛들이 연속적으로 형성된 검사대상물의 광학 자동 검사 방법은 상기 검사대상물이 제공되는 단계; 상기 권출부로부터 제공되는 상기 검사대상물의 표면을 검사하는 1차 비젼 검사 단계; 검사를 마친 상기 검사대상물이 언로딩되는 단계를 포함하되; 상기 1차 비젼 검사 단계는 촬상부재들이 검사항목들 각각에 대응되는 시야(검사영역)를 가지고 상기 검사대상물을 촬상하는 단계를 포함한다.According to an aspect of the present invention for achieving the above object, an optical automatic inspection method of an inspection object in which the flexible printed circuit board units are continuously formed comprises the steps of: providing the inspection object; A primary vision inspection step of inspecting a surface of the inspection object provided from the unwinding unit; Comprising the step of unloading the inspection object after the inspection; The first vision inspection step includes imaging the inspection object by the imaging members having a field of view (inspection region) corresponding to each of the inspection items.
이 특징의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 1차 비젼 검사 단계는 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛의 안쪽 리드 영역을 라인 스캔 방식으로 촬상하여, 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛의 안쪽 리드들의 휨, 변색, 스크래치, 이물등을 판별하는 제1처리단계; 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛의 패턴 도금영역과 솔더 레지스터 영역을 라인 스캔 방식으로 촬상하여, 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛의 패 턴 도금영역의 표면검사(변색, 스크래치, 이물)와, 솔러 레지스터 영역의 핀홀, 스크래치 위치 틀어짐 등을 판별하는 제2처리단계; 및 제3카메라가 상기 검사대상물의 폭을 라인 스캔 방식으로 촬상하여, 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛의 솔러 레지스터 영역의 표면검사(핀홀, 스크래치 위치, 틀어짐 등)와, 반송기준 홀의 찢어짐 등을 판별하는 제3처리단계를 포함할 수 있다.In a preferred embodiment of the present invention, the first vision inspection step may be performed by image scanning the inner lead area of the flexible printed circuit board unit by line scan method, such as bending, discoloration, scratch, A first processing step of discriminating foreign matters and the like; The pattern plating area and the solder resist area of the flexible printed circuit board unit are imaged by a line scan method, and the surface inspection (discoloration, scratch, foreign matter) of the pattern plating area of the flexible printed circuit board unit, and the pinhole of the solar resistor area are performed. A second processing step of determining a scratch position misalignment and the like; And a third camera photographing the width of the inspection object by a line scan method to determine surface inspection (pinhole, scratch position, distortion, etc.) of the solar register area of the flexible printed circuit board unit, and tearing of the conveyance reference hole. It may include a third processing step.
이 특징의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 1차 비젼 검사 단계는 적어도 2개의 촬상부재에서 상기 검사대상물의 동일한 검사영역을 반사광과 투과광을 각각 이용하여 촬상하여 각각의 이미지 특징을 비교 검사하는 이중 촬상 단계를 더 포함할 수 있다.In a preferred embodiment of this aspect, the primary vision inspection step includes a dual imaging step of comparing and inspecting respective image features by imaging the same inspection area of the inspection object using reflected light and transmitted light, respectively, in at least two imaging members. It may further include.
이 특징의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 광학 자동 검사 방법은 상기 1차 비젼 검사 단계에서 상기 촬상부재들에 의해 촬상된 상기 검사대상물을 다시 한번 촬상하여 그 불량 유무를 판별하는 2차 비젼 검사 단계를 더 포함할 수 있다.In a preferred embodiment of this aspect, the optical automatic inspection method further comprises a second vision inspection step of determining whether or not there is a defect by imaging the inspection object photographed by the imaging members in the first vision inspection step. It may further include.
이 특징의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 2차 비젼 검사 단계는 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛을 에어리어 스캔 방식으로 촬상하여 그 유닛에 대한 검사 결과를 산출하는 에어리어 스캔 처리단계를 포함할 수 있다.In a preferred embodiment of this aspect, the secondary vision inspection step may include an area scan processing step of imaging the flexible printed circuit board unit by an area scan method and calculating an inspection result for the unit.
이 특징의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 2차 비젼 검사 단계는 상기 1차 비젼 검사 단계 및 상기 에어리어 스캔 처리단계에서 불량으로 판명된 부분의 이미지와, 상기 불량으로 판명된 부분을 칼라 이미지로 촬상한 칼라 이미지를 디스플레이하여 작업자가 최종 양,불 여부를 판단하는 최종 처리단계를 더 포함할 수 있다.In a preferred embodiment of this aspect, the secondary vision inspection step is performed by capturing an image of a portion found to be defective in the primary vision inspection step and the area scan processing step and a color image of the portion found to be defective. By displaying the color image may further comprise a final processing step for the operator to determine whether the final amount, whether or not.
이 특징의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 검사대상물에 형성된 상기 플렉 시블 인쇄회로기판 유닛들 중 불량으로 판별된 유닛을 표시하는 마킹 단계를 더 포함할 수 있다. In a preferred embodiment of this aspect, the method may further include a marking step of displaying a unit which is determined to be defective among the flexible printed circuit board units formed on the inspection object.
예컨대, 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다. For example, embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described below. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the shape of the elements in the drawings and the like are exaggerated to emphasize a clearer description.
본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 6에 의거하여 상세히 설명한다. 또, 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다. An embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 6. In addition, in the drawings, the same reference numerals are denoted together for components that perform the same function.
도 1은 본 발명을 설명하기 위한 블록 구성도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 광학 자동 검사 시스템의 주요 구성을 보여주는 도면이다. 도 3은 1차 비젼 검사부의 주요 구성을 보여주는 도면이다. 도 4는 1차 비젼 검사부의 지지부를 보여주는 도면이다. 도 5는 서로 다른 시야(검사영역)를 가지고 검사대상물을 촬상하는 촬상부재들을 보여주는 도면이다. 도 6은 본 발명의 광학 자동 검사 시스템에 의한 검사 방법에 대한 흐름도이다. 1 is a block diagram for explaining the present invention, Figure 2 is a view showing the main configuration of an optical automatic inspection system according to an embodiment of the present invention. 3 is a view showing the main configuration of the primary vision inspection unit. 4 is a view showing a support of the primary vision inspection unit. 5 is a view showing image pickup members for picking up an inspection object with different fields of view (inspection regions). 6 is a flow chart of the inspection method by the optical automatic inspection system of the present invention.
도 1 및 도2를 참조하면, 본 발명의 광학 자동 검사 시스템(100)은 플렉시블 인쇄회로기판 유닛(12;도 5에 도시됨)들이 연속적으로 형성된 필름(film), 테이프(tape) 타입 등의 검사대상물(10)을 다수의 라인스캔 카메라들과, 에어리어스캔 카메라 그리고 칼라 카메라 등을 이용하여 자동 검사하는 시스템이다. 첨부도면 도 1 에서 표시된 '⇒' 부호는 상기 검사 대상물의 이동 경로를 나타낸 것이고, '→' 부호는 신호 전송을 나타낸 것이다. 1 and 2, the optical
상기 광학 자동 검사 시스템(100)은 권출부(feed roller, loader;102), 1차 비젼 검사부(110), 2차 비젼 검사부(150), 마킹부(160) 그리고 권취부(winding roller, unloader;106)로 크게 이루어진다. The optical
상기 권출부(102)에는 상기 검사대상물이 릴(104)에 감겨져 있으며, 상기 권출부(102)로부터 송출된 상기 검사 대상물(10)은 안내롤러(105)들을 거쳐 1차 비젼 검사부(110)의 라운드 이송부로 공급된다. 상기 검사 대상물은 상기 1차 비젼 검사부(110)와 2차 비젼 검사부(150) 그리고 마킹부(160)를 거쳐 권취부(106)의 릴(108)에 감겨진다. The inspection object is wound around the
도 2 내지 도 4를 참조하면, 상기 1차 비젼 검사부(110)는 라운드 이송부(112)와, 서로 다른 시야(검사영역 또는 촬상영역)를 가지고 상기 검사대상물을 촬상하는 4개의 촬상부재들(120a-120d)을 포함한다. 여기서, 상기 촬상부재들(120a-120d) 각각은 상기 검사대상물의 검사항목들에 대응되는 시야를 가지도록 배치된다. 2 to 4, the first
상기 라운드 이송부(112)는 상기 검사대상물(10)이 라운드지게 이송되도록 일정 반경을 따라 배치되어 상기 검사대상물을 지지하는 지지부(114)들을 갖는다. 상기 지지부(114)는 서로 이격되어 설치되는 한 쌍의 지지롤러(116)를 포함한다. The
상기 1차 비젼 검사부(110)는 상기 검사대상물(10)이 라운드지게 이송됨으로써, 검사 대상물이 직선으로 이송되는 직선길이에 비해 상대적으로 넓은 길이를 갖 기 때문에 많은 수의 카메라들을 상호 간섭 없이 설치할 수 있다. 일반적으로, 카메라는 고정브라켓과(a), 카메라 위치를 조정하기 위한 조정부재(b)들이 한 세트로 설치되기 때문에, 카메라 사이즈 보다 훨씬 넓은 장착 공간이 요구된다. Since the first
상기 촬상부재들(120a-120d)은 상기 라운드 이송부(112) 주변에 배치되며, 촬상부재들(120a-120d)은 하나의 카메라(122a-122d)와 상기 검사대상물에 광을 조사하는 2개의 조명부재(124)를 포함한다. 상기 조명부재(124)는 상기 검사대상물에 투과광을 조사하는 투과조명(124a)과, 상기 검사대상물에 반사광을 조사하는 반사조명(124b)으로 이루어지며, 검사하고자 하는 항목의 특성에 따라 반사조명과 투과조명 중 어느 하나를 선택적으로 사용할 수 있다. 상기 투과조명(124a)은 상기 지지부(114)에 설치되며, 상기 한쌍의 지지롤러(116) 사이의 틈새를 통해 상기 검사대상물(10)에 투과광을 조사하는 된다. 상기 반사조명(124b)은 카메라와 상기 검사대상물 사이에 배치되며 상기 검사대상물에 반사광을 조사하게 된다. 예컨대, 상기 카메라에는 라인스캔 카메라가 사용될 수 있다. The
예컨대, 플렉시블 인쇄회로기판 유닛의 안쪽 리드(inner lead)의 휨, 솔더 레지스터영역의 위치 틀어짐, 핀홀, 반송기준홀의 찢어짐 등의 불량유형은 반사조명보다 투과조명을 조사하는 것이 검사 품질을 높일 수 있다. 이와는 반대로, 플렉시블 인쇄회로기판 유닛의 안쪽 리드/패턴 도금영역의 표면 검사(변색, 스크래치, 이물등), 솔더레지스터 표면 검사, 반송기준홀 표면검사 등의 불량유형은 투과조명보다 반사조명을 조사하는 것이 검사품질을 높일 수 있다. For example, defect types such as bending of inner leads of the flexible printed circuit board unit, misalignment of solder resistor regions, tearing of pinholes, and conveyance reference holes, etc., can improve inspection quality by irradiating transmission light rather than reflection light. . On the contrary, defect types such as surface inspection (discoloration, scratch, foreign matter, etc.), solder resist surface inspection, and conveyance reference hole surface inspection of the inner lead / pattern plating region of the flexible printed circuit board unit are performed by reflecting illumination rather than through illumination. It can improve inspection quality.
아래에는 투과조명과 반사조명으로 가장 명확하게 판별할 수 있는 불량유형 들을 살펴보면 다음과 같다. Below are the types of defects that can be most clearly distinguished by transmission and reflection lighting.
-투과광 : 제1카메라(TAB제품 안쪽리드(inner Lead) 휨검사), 제2카메라(솔더 레지스터 영역의 위치 틀어짐, 핀홀 ), 제3카메라(반송기준 홀의 찢어짐, 솔더 레지스터영역의 위치 틀어짐, 핀홀) Transmitted light: 1st camera (inner lead bending test of TAB products), 2nd camera (position of solder resistor area, pinhole), 3rd camera (torn of transfer reference hole, misalignment of solder resistor area, pinhole) )
-반사광 : 제1카메라(COF 안쪽리드(inner Lead), 패턴 도금영역 표면 검사-변색,SCRATCH,이물 등), 제2카메라(패턴 도금영역의 표면 검사- 변색,SCRATCH,이물 / 솔더 레지스터 표면상의 이물, 핀홀 등), 제3카메라 (솔더 레지스터 표면상의 이물,핀홀 등/ 패턴 도금영역의 표면 검사 - 변색,SCRATCH,이물/반송홀 표면 검사) Reflective light: 1st camera (COF inner lead, pattern plating area surface inspection-discoloration, SCRATCH, foreign material, etc.), 2nd camera (pattern plating area surface inspection-discoloration, SCRATCH, foreign material / solder resist on the surface Foreign objects, pinholes, etc., 3rd camera (foreignness, pinholes, etc. on the surface of solder register / surface inspection of pattern plating area-discoloration, scratch, foreign material / conveyance surface inspection)
이와 같이, 상기 1차 비젼 검사부(110)는 반사조명과 투과조명을 선택적으로 사용함으로써, 다양한 불량 유형들을 정확하게 판별할 수 있다. As such, the primary
본 발명의 광학 자동 검사 시스템(100)은 검사하고자 하는 항목의 특성에 따라 투과조명 또는 반사조명을 선택적으로 사용할 수 있기 때문에, 검사품질을 높일 수 있는 각별한 효과를 갖는다. Since the optical
상기 촬상부재(120a-120d)들은 아래에서 좀 더 구체적으로 설명하기로 한다. The
도 3 및 도 5에 도시된 바와 같이, 제1촬상부재(120a)의 제1카메라(122a)는 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛(12)의 안쪽 리드들의 휨, 변색, 스크래치, 이물 등을 검사하기 위하여 상기 안쪽 리드 영역을 촬상하게 된다. 제2촬상부재(120b)의 제2카메라(122b)는 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛(12)의 패턴 도금영역의 표면검사(변색, 스크래치, 이물)와, 솔더 레지스터 영역의 핀홀, 스크래치 위치 틀어짐등을 검사하기 위하여 상기 패턴 도금영역과 상기 솔더 레지스터 영역을 촬상하 게 된다. 제3촬상부재(120c)의 제3카메라(122c)는 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛(12)의 솔더 레지스터 영역의 핀홀, 스크래치 위치, 틀어짐 등과 반송기준 홀의 찢어짐 등을 검사하기 위하여 상기 검사대상물(10)의 폭을 촬상하게 된다. As shown in FIGS. 3 and 5, the
아래에는 각 카메라별 검사 항목 및 그 사용예를 설명하였다. In the following, inspection items for each camera and examples of their use were described.
1). 제1카메라(시야 25mm) : One). First camera (25 mm field of view):
* TAB 제품 검사항목 투과량을 이용한 안쪽리드(INNER LEAD)들의 휨등을 검사.* TAB Product Inspection Item Inspects the warpage of inner leads using the amount of penetration.
* COF의 경우 반사광을 이용한 안쪽리드(INNER LEAD)상의 표면검사(변색,스크래치(SCRATCH),이물 등).* In case of COF, surface inspection on inner lead using reflected light (discoloration, scratch, foreign material, etc.).
2). 제2카메라(시야-35mm) : 2). Second camera (field of view -35mm):
* 반사광을 이용한 패턴 도금영역의 표면검사(변색,SCRATCH,이물 등)와 솔더 레지스터(Solder Resister) 영역(핀홀,scratch,위치 틀어짐 등).* Surface inspection (discoloration, scratch, foreign material, etc.) and solder resist area (pinhole, scratch, dislocation, etc.) of the pattern plating area using reflected light.
* 제품 및 고객의 검사 기준에 따라 투과광을 이용 할 수도 있음.* The transmitted light may be used according to the inspection criteria of the product and customer.
3). 제3카메라(시야-50mm) :3). Third camera (field of view-50mm):
* 반사광을 이용한 Solder Resister영역(핀홀,위치 틀어짐 등)과 반송기준 홀(구멍 찢어짐 등) * Solder Resister area (pinhole, position shift, etc.) and conveyance standard hole (hole tearing, etc.) using reflected light
* 검사대상물(제품) 및 사용자의 검사 기준에 따라 반사조명 또는 투과조명을 이용할 수도 있음.* Reflective or transmitted light may be used depending on the inspection object (product) and the inspection standard of the user.
* 제2카메라의 이미지(영상 데이터)를 함께 참조하여 이물에 의한 과 검출을 방지할 수 있는 새로운 검사 방법을 제시할 수 있음. * By referring to the image (image data) of the second camera, a new inspection method can be proposed to prevent the overdetection by foreign objects.
제4촬상부재(120d)의 제4카메라(122d)는 제1카메라(122a)와 동일한 시야(검사영역)를 갖는다. 다만, 상기 제4촬상부재(120d)는 상기 제1촬상부재(120a)와는 상이한 조명을 사용하여 촬상하게 된다. 예컨대, 상기 제1촬상부재(120)에서 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛의 안쪽 리드를 반사조명으로 촬상하였다면, 상기 제4촬상부재(120d)에서는 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛의 안쪽 리드를 투과조명으로 촬상하는 것을 그 특징으로 한다. The
상기 제4촬상부재(120d)는 사용자의 요구에 따라 선택적으로 설치될 수 있으며, 상기 제4촬상부재(120d)는 앞선 카메라들에 의해 촬상된 시야(검사영역)들 중에서 중요하다고 생각되는 검사영역을 다시 한번 촬상하기 위한 구성이다.The
한편, 상기 검사 대상물의 이송 속도는 상기 제1-3카메라들 중에서 가장 좁은 시야를 갖는 제1카메라의 영상취득속도(영상스피드)에 대응되도록 조절되는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 제2,3카메라의 영상취득속도는 상기 제1카메라의 영상취득속도에 맞도록 조절된 상기 검사 대상물의 이송속도에 따라 조정(느리게)하는 것이 바람직하다. On the other hand, the conveying speed of the inspection object is preferably adjusted to correspond to the image acquisition speed (image speed) of the first camera having the narrowest field of view among the 1-3 cameras. In addition, the image acquisition speed of the second and third cameras may be adjusted (slower) according to the transfer speed of the inspection object adjusted to match the image acquisition speed of the first camera.
이렇게 본 발명은 2개의 카메라(122a,122d)에서 동일한 검사영역을 투과조명과 반사조명으로 각각 촬상하여 이들 각각의 이미지 특징을 비교함으로써 보다 높은 검사품질을 얻을 수 있는 각별한 효과를 갖는다. Thus, the present invention has a special effect of obtaining a higher inspection quality by imaging the same inspection area in the two cameras (122a, 122d) with the transmission light and the reflection light respectively and comparing their respective image features.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 1차 비젼 검사부(110)의 각 카메라들로부터 촬상된 이미지(영상 데이터)는 영상처리부(140)로 제공된다. 상기 영상 처리부(140)는 전형적인 컴퓨터 시스템으로 구비되어, 자동 광학 검사에 따른 제반 동작 을 제어, 처리하게 된다. 상기 영상 처리부(140)는 상기 카메들로부터 이미지를 받아서 여러 검사항목들을 검사하게 된다.1 and 2, an image (image data) captured by the cameras of the first
상기 영상처리부(140)는 각각의 카메라들로부터 시야(검사영역)별로 제공된 이미지를 가지고 여러 검사항목들을 검사 및 결과를 통합하여 플렉시블 인쇄회로기판 유닛 전체의 양,불을 판정하게 된다. The
상기 영상처리부(140)는 제1-4처리부를 포함한다. 상기 제1처리부(142a)는 상기 제1,4카메라(122a,122d)에 의해 촬상된 이미지로 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛(12)의 안쪽 리드들의 휨, 변색, 스크래치, 이물등을 판별하게 된다. 상기 제2처리부(142b)는 상기 제2카메라(122b)에 의해 촬상된 이미지로 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛의 패턴 도금영역의 표면검사(변색, 스크래치, 이물)와, 솔더 레지스터 영역의 핀홀, 스크래치 위치 틀어짐 등을 판별하게 된다. 제3처리부(142c)는 상기 제3카메라(122c)에 의해 촬상된 이미지로 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛의 솔러 레지스터 영역의 표면검사(핀홀, 스크래치 위치, 틀어짐 등)와, 반송기준 홀의 찢어짐 등을 판별하게 된다. 상기 제4처리부(142d)와 최종처리부(144)는 2차 비젼 검사부(150)와 함께 설명하기로 한다. The
상기 2차 비젼 검사부(150)는 상기 1차 비젼 검사부(110)에서 검사를 마친 상기 검사대상물을 최종 촬상하여 그 불량 유무를 판별하기 위한 것으로, 상기 2차 비젼 검사부(150)는 에어리어(area) 스캔 카메라(152)와 칼라 카메라(154)를 갖는다. 상기 2차 비젼 검사부(150)는 옵션 사항으로, 사용자의 요구에 따라 추가하거나 생략할 수 있는 구성이다. The secondary
상기 에어리어 스캔 카메라(152)는 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛(12)의 솔더 레지스터 영역을 에어리어 스캔 방식과 반사조명을 사용하여 촬상하게 된다. 이렇게 촬상된 이미지는 제4처리부(142d)로 제공되고, 상기 제4처리부에서 솔더 레지스터 영역을 검사하게 된다. 상기 에어리어 스캔 카메라(152)는 COF 형태보다는 TAB형태 플렉시블 인쇄회로기판 유닛을 촬상하는데 주로 사용된다. 일반적으로, 상기 TAB형태의 플렉시블 인쇄회로기판 유닛은 COF형태의 플렉시블 인쇄회로기판 유닛에 비해 상대적으로 두꺼워서(특히 솔더 레지스터 영역이 두껍다) 투과가 어렵다. 이러한 이유 때문에, 솔더 레지스터 영역의 표면상 이물 검사의 신뢰성을 매우 낮다. 본 발명에서는 이러한 문제를 해소하기 위하여, 에어리어 스캔 카메라(152)에 반사조명(153)을 사용하여 검사 대상물(특히, TAB형태의 플렉시블 인쇄회로기판 유닛)의 솔더 레지스터 영역의 표면상 이물 검사를 실시하여 검사 신뢰성을 높일 수 있다.The
상기 칼라 카메라(154)는 이전단계(상기 1차 비젼 검사부 및 상기 에어리어 카메라)에서 촬상된 이미지로 검사하여 불량으로 판명된 부분을 칼라 이미지로 촬상하기 위한 것이다. 이렇게 촬상된 칼라 이미지는 영상처리부(140)의 최종처리부(144)로 제공되고, 상기 최종처리부(144)에서는 상기 칼라 이미지와 이전 단계(상기 1차 비젼 검사부 및 상기 에어리어 카메라)에서 불량으로 판명된 부분의 이미지를 모니터(146)에 디스플레이한다. 작업자는 상기 모니터(146)에 디스플레이된 2개의 영상을 비교하여 최종 양,불 여부를 입력장치(148)를 통해 입력하게 된다. The
상기 마킹부(160)는 상기 검사대상물에 형성된 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛들 중 불량으로 판별된 유닛에 불량 표시를 하게 된다. 상기 마킹부(160)는 상기 영상처리부에 의해 제어된다. The marking
한편, 본 발명은 상기의 구성으로 이루어진 광학 자동 검사 시스템에 있어 다양하게 변형될 수 있고 여러 가지 형태를 취할 수 있다. 하지만, 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.On the other hand, the present invention can be variously modified and can take various forms in the optical automatic inspection system consisting of the above configuration. It is to be understood, however, that the present invention is not limited to the specific forms referred to in the above description, but rather includes all modifications, equivalents and substitutions within the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It should be understood to do.
다음에는 플렉시블 인쇄회로기판 유닛들이 연속적으로 형성된 검사대상물을 검사하기 위한 본 발명의 작동 관계를 설명한다. Next, an operation relationship of the present invention for inspecting an inspection object in which flexible printed circuit board units are continuously formed will be described.
도 1, 도 2 그리고 도 6을 참조하면, 상기 권출부(102)로부터 송출된 상기 검사 대상물(10)은 안내롤러(105)들을 거쳐 1차 비젼 검사부(110)의 라운드 이송부로 공급된다(s210). 1, 2 and 6, the
상기 1차 비젼 검사부에서는 제1,2,3,처리단계와 이중촬상단계가 순차적으로 진행된다(s220). 상기 1차 처리단계(s222)는 상기 제1카메라에서 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛(12)의 안쪽 리드 영역(제1검사영역)을 촬상하는 단계(s222a), 상기 제1처리부(142a)에서 상기 제1카메라(122a)에 의해 촬상된 이미지로 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛(12)의 안쪽 리드들의 휨, 변색, 스크래치, 이물등을 판별하는 단계(s222b)를 포함한다.In the first vision inspection unit, the first, second, third, processing, and dual imaging steps are sequentially performed (S220). The primary processing step (s222) is a step (s222a) of imaging the inner lead area (first inspection area) of the flexible printed
상기 2차 처리단계(s224)는 상기 제2카메라(122b)에서 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛(12)의 패턴 도금영역과, 솔러 레지스터 영역을 촬상하는 단계(s224a), 상기 제2처리부(142b)에서 상기 제2카메라(122b)에 의해 촬상된 이미지로 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛의 패턴 도금영역의 표면검사(변색, 스크래치, 이물)와, 솔러 레지스터 영역의 핀홀, 스크래치 위치 틀어짐 등을 판별하는 단계(s224b)를 포함한다. In the second processing step s224, the pattern plating area and the solar register area of the flexible printed
상기 3차 처리단계(s226)는 제3카메라(122c)에서 상기 검사대상물(10)의 폭을 촬상하는 단계(s226a)와, 상기 제3처리부(142c)에서 상기 제3카메라(122c)에 의해 촬상된 이미지로 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛의 솔러 레지스터 영역의 표면검사(핀홀, 스크래치 위치, 틀어짐 등)와, 반송기준 홀의 찢어짐 등을 판별하는 단계(s226b)를 포함한다.The third processing step (s226) is a step (s226a) of capturing the width of the
상기 이중촬상단계(s228)는 상기 제4카메라(122d)에서 상기 제1카메라(122a)와 동일한 시야(검사영역)를 촬상하는 단계(s228a)와, 상기 제1처리부(142a)에서 상기 제1카메라(122a)에 의해 촬상된 이미지로 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛(12)의 안쪽 리드들의 휨, 변색, 스크래치, 이물등을 판별하는 단계(s228b)를 포함한다. 여기서, 상기 제4카메라는 상기 제1카메라와는 상이한 조명을 사용하여 촬상한다는데 그 특징이 있다.The double image capturing step (s228) includes capturing the same field of view (inspection area) as that of the
상기 1차 비젼 검사부에서 1차 비젼 검사를 마친 검사대상물은 2차 비젼 검사부로 이동된다. 상기 2차 비젼 검사부의 검사단계(s230)에서는 스캔처리단계(s232)와 최종처리단계(s234)가 진행된다. The inspection object having completed the first vision inspection in the first vision inspection unit is moved to the second vision inspection unit. In the inspection step s230 of the secondary vision inspection unit, a scan processing step s232 and a final processing step s234 are performed.
상기 스캔처리단계(s232)는 상기 에어리어 스캔 카메라(152)에서 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛(12)의 솔더 레지스터 영역을 에어리어 스캔 방식과 반사조 명을 사용하여 촬상하는 단계(s232a)와, 상기 제4처리부에서 솔더 레지스터 영역을 검사하는 단계(s232b)를 포함한다.In the scan processing step (s232), the
상기 최종처리단계(s234)는 상기 칼라 카메라에서 이전단계(상기 1차 비젼 검사부 및 상기 에어리어 카메라)에서 촬상된 이미지로 검사하여 불량으로 판명된 부분을 칼라 이미지로 촬상하는 단계(s234a)와, 상기 칼라 이미지와 이전 단계(상기 1차 비젼 검사부 및 상기 에어리어 카메라)에서 불량으로 판명된 부분의 이미지를 모니터(146)에 디스플레이하는 단계(s234b) 그리고 작업자가 상기 모니터(146)에 디스플레이된 2개의 영상을 비교하여 최종 양,불 여부를 입력장치(148)를 통해 입력하는 단계(s234c)를 포함한다.The final processing step (s234) is a step of inspecting an image captured in a previous step (the primary vision inspection unit and the area camera) in the color camera to capture a portion found to be defective as a color image (s234a), and Displaying a color image and an image of a portion found to be defective in the previous step (the primary vision inspection unit and the area camera) on the monitor 146 (s234b) and the two images displayed by the operator on the
이렇게, 최종적으로 불량으로 판별된 유닛은 상기 마킹부에서 불량 표시된 후(s240), 귄취부에 감겨진다(s250). Thus, the unit finally determined to be defective is marked as defective in the marking unit (s240), and wound around the gusset unit (s250).
이상에서, 본 발명에 따른 광학 자동 검사 시스템의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.In the above, the configuration and operation of the optical automatic inspection system according to the present invention has been shown according to the above description and drawings, but this is merely described for example, and various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Of course.
상술한 바와 같이, 본 발명의 광학 자동 검사 시스템은 검사대상물의 검사항목들에 대응되는 시야(검상영역)별로 구분하여 검사대상물을 촬상하며, 그 시야(검사영역)별로 제공되는 이미지를 가지고 각각의 검사항목들을 검사 및 결과를 통합하여 플렉시블 인홰회로기판 유닛 전체의 양,불을 판정하게 된다. 따라서, 보다 높은 검사품질을 얻을 수 있는 각별한 효과를 갖는다. 또한, 각각의 시야(검사영역)별 특성에 따라 반사조명과 투과조명 중 어느 하나를 선택적으로 사용할 수 있기 때문에 검사 품질을 높일 수 있는 각별한 효과를 갖는다. 또한, 본 발명은 2개의 카메라에서 동일한 시야(검사영역)를 투과조명과 반사조명으로 각각 이중 촬상하여 이들 각각의 이미지 특징을 비교함으로써 보다 높은 검사품질을 얻을 수 있는 각별한 효과를 갖는다. 또한, 본 발명은 검사대상물이 라운드지게 이송됨으로써, 검사 대상물이 직선으로 이송되는 직선길이에 비해 상대적으로 넓은 길이를 갖기 때문에 많은 수의 카메라들을 상호 간섭 없이 설치할 수 있는 각별한 효과를 갖는다.As described above, the optical automatic inspection system of the present invention captures an inspection object by dividing the field of view (inspection region) corresponding to the inspection items of the inspection object, and has an image provided for each field of view (inspection region). By inspecting the inspection items and integrating the results, the quantity of the entire flexible printed circuit board unit is determined. Therefore, it has a special effect of obtaining a higher inspection quality. In addition, according to the characteristics of each field of view (inspection area) it can be selectively used any one of reflected light and transmitted light has a special effect to improve the inspection quality. In addition, the present invention has a special effect that can obtain a higher inspection quality by double imaging the same field of view (inspection area) in the transmission light and reflection light in each of the two cameras to compare the respective image characteristics. In addition, the present invention has a special effect that can be installed a large number of cameras without mutual interference because the inspection object is transported round, because the inspection object has a relatively wide length compared to the straight length that is conveyed in a straight line.
본 발명은 1차 비젼 검사부에서 검사를 마친 상기 검사대상물을 2차 비젼검사부에서 최종 촬상하여 그 불량 유무를 판별하기 때문에, 미검출이나 과검출 현상을 방지하여 검사 신뢰성과 제품의 생산성 및 채산성 향상 효과를 얻을 수 있다.According to the present invention, since the inspection object that has been inspected by the primary vision inspection unit is finally photographed by the secondary vision inspection unit to determine whether there is a defect, it is possible to prevent undetected or overdetected phenomenon, thereby improving inspection reliability and product productivity and profitability. Can be obtained.
Claims (22)
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050018336A KR20060097250A (en) | 2005-03-04 | 2005-03-04 | Automated Optical Inspection System and Method |
CN2006100578159A CN1828217B (en) | 2005-03-04 | 2006-02-27 | Automated optical inspection system and method |
JP2006053482A JP5203572B2 (en) | 2005-03-04 | 2006-02-28 | Automatic optical inspection system and method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050018336A KR20060097250A (en) | 2005-03-04 | 2005-03-04 | Automated Optical Inspection System and Method |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20060097250A true KR20060097250A (en) | 2006-09-14 |
Family
ID=36946723
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020050018336A KR20060097250A (en) | 2005-03-04 | 2005-03-04 | Automated Optical Inspection System and Method |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5203572B2 (en) |
KR (1) | KR20060097250A (en) |
CN (1) | CN1828217B (en) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100772608B1 (en) * | 2006-05-29 | 2007-11-02 | 아주하이텍(주) | Auto optical inspection system |
KR100909944B1 (en) * | 2007-08-02 | 2009-07-29 | 이용원 | Lens inspection system using stereo microscope |
KR100969283B1 (en) * | 2007-05-16 | 2010-07-09 | 아주하이텍(주) | Optical inspection device |
KR101012633B1 (en) * | 2008-10-09 | 2011-02-09 | (주) 인텍플러스 | Dual Camera Vision Inspection Device |
KR101031070B1 (en) * | 2008-07-23 | 2011-04-25 | 충북대학교 산학협력단 | Fault detection method and system of TCCP / COF using image processing technique |
KR101389502B1 (en) * | 2010-05-20 | 2014-04-28 | 가부시키가이샤 퓨렉스 | Cloth inspection device and inspection method |
CN104568985A (en) * | 2014-12-30 | 2015-04-29 | 东莞市合易自动化科技有限公司 | A kind of AOI optical detection equipment |
KR102217207B1 (en) * | 2019-12-06 | 2021-02-18 | (주)청아굿푸드 | Detection and quality control device in the food manufacturing |
KR20230079712A (en) * | 2021-11-29 | 2023-06-07 | (주) 시온텍 | Manufacturing system of capacitive deionization electrode |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101966627B (en) * | 2010-08-16 | 2012-08-22 | 东莞市亿铖达焊锡制造有限公司 | Method and apparatus for continuous detection of flux in cored wire production |
CN103108153B (en) * | 2011-11-11 | 2017-08-01 | 赛恩倍吉科技顾问(深圳)有限公司 | Method and system for local segmentation and photographing processing |
KR102023581B1 (en) * | 2012-11-23 | 2019-09-24 | 해성디에스 주식회사 | Reel-to-Reel inspection apparatus and inspection method using the same |
CN103475812B (en) * | 2013-07-30 | 2016-05-25 | 宁波迪吉特电子科技发展有限公司 | A kind of video camera array |
TW201514473A (en) * | 2013-10-15 | 2015-04-16 | Utechzone Co Ltd | Method for inspecting mixed types of objects |
CN104551301A (en) * | 2014-12-30 | 2015-04-29 | 东莞市合易自动化科技有限公司 | Full-automatic intelligent-welding assembly line |
CN105136121B (en) * | 2015-09-15 | 2018-06-15 | 歌尔股份有限公司 | Determine the image detection method and system of tooling state |
JP6829946B2 (en) * | 2016-04-28 | 2021-02-17 | 川崎重工業株式会社 | Parts inspection equipment and methods |
CN106290384B (en) * | 2016-10-21 | 2018-11-23 | 江苏理工学院 | Online detection and identification method for control circuit board of brushless direct current motor |
CN106524928A (en) * | 2016-11-10 | 2017-03-22 | 佛山市坦斯盯科技有限公司 | Circuit board detection apparatus with light source module with light insulation function |
CN107014823A (en) * | 2016-11-10 | 2017-08-04 | 佛山市坦斯盯科技有限公司 | A kind of camera module has the circuit board detection device of elevating function |
CN106500610A (en) * | 2016-11-10 | 2017-03-15 | 佛山市坦斯盯科技有限公司 | A kind of circuit board detection device for compressing module with roller |
CN106645192A (en) * | 2016-11-10 | 2017-05-10 | 佛山市坦斯盯科技有限公司 | Circuit board detection device with alignment feeding device |
CN106546607A (en) * | 2016-11-10 | 2017-03-29 | 佛山市坦斯盯科技有限公司 | A kind of light source assembly has the circuit board detection device of light-shielding structure |
CN106706518A (en) * | 2016-12-30 | 2017-05-24 | 佛山市坦斯盯科技有限公司 | A modular circuit board inspection machine |
CN108956628B (en) * | 2018-07-27 | 2024-04-05 | 高视科技(苏州)股份有限公司 | Plastic cover plate defect imaging detection system |
CN110044921A (en) * | 2019-04-28 | 2019-07-23 | 江苏理工学院 | Lithium battery open defect detection system and method |
CN112284442B (en) * | 2020-12-29 | 2021-03-26 | 苏州天准科技股份有限公司 | Automatic visual inspection device of flexible circuit board |
KR102346827B1 (en) * | 2021-05-31 | 2022-01-05 | 주식회사 에이케이씨 | Color optical inspection device and system comprising the same |
CN114895666B (en) * | 2022-04-11 | 2024-04-19 | 广州镭晨智能装备科技有限公司 | Path planning method and device for camera shooting assembly and computer readable storage medium |
CN118483227B (en) * | 2024-03-15 | 2025-02-21 | 广州江粤印刷科技有限公司 | A kind of printing quality online visual inspection device and method |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3419118B2 (en) * | 1994-11-29 | 2003-06-23 | 松下電器産業株式会社 | Appearance inspection device |
JPH0992692A (en) * | 1995-07-13 | 1997-04-04 | Toray Ind Inc | Apparatus and method for inspecting tab tape, method and apparatus for manufacturing mounting tap tape |
US6700603B1 (en) * | 1998-07-28 | 2004-03-02 | Matsushita Electric Works, Ltd. | Inspection system for inspecting discrete wiring patterns formed on a continuous substrate sheet of a flexible material |
JP2001272356A (en) * | 2000-03-24 | 2001-10-05 | Olympus Optical Co Ltd | Workpiece appearance inspecting apparatus |
US7075565B1 (en) * | 2000-06-14 | 2006-07-11 | Landrex Technologies Co., Ltd. | Optical inspection system |
JP2005003645A (en) * | 2003-06-16 | 2005-01-06 | Inspeck Kk | Pattern inspection device |
-
2005
- 2005-03-04 KR KR1020050018336A patent/KR20060097250A/en active Search and Examination
-
2006
- 2006-02-27 CN CN2006100578159A patent/CN1828217B/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-02-28 JP JP2006053482A patent/JP5203572B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100772608B1 (en) * | 2006-05-29 | 2007-11-02 | 아주하이텍(주) | Auto optical inspection system |
KR100969283B1 (en) * | 2007-05-16 | 2010-07-09 | 아주하이텍(주) | Optical inspection device |
KR100909944B1 (en) * | 2007-08-02 | 2009-07-29 | 이용원 | Lens inspection system using stereo microscope |
KR101031070B1 (en) * | 2008-07-23 | 2011-04-25 | 충북대학교 산학협력단 | Fault detection method and system of TCCP / COF using image processing technique |
KR101012633B1 (en) * | 2008-10-09 | 2011-02-09 | (주) 인텍플러스 | Dual Camera Vision Inspection Device |
KR101389502B1 (en) * | 2010-05-20 | 2014-04-28 | 가부시키가이샤 퓨렉스 | Cloth inspection device and inspection method |
CN104568985A (en) * | 2014-12-30 | 2015-04-29 | 东莞市合易自动化科技有限公司 | A kind of AOI optical detection equipment |
KR102217207B1 (en) * | 2019-12-06 | 2021-02-18 | (주)청아굿푸드 | Detection and quality control device in the food manufacturing |
KR20230079712A (en) * | 2021-11-29 | 2023-06-07 | (주) 시온텍 | Manufacturing system of capacitive deionization electrode |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006242953A (en) | 2006-09-14 |
CN1828217A (en) | 2006-09-06 |
JP5203572B2 (en) | 2013-06-05 |
CN1828217B (en) | 2012-05-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5203572B2 (en) | Automatic optical inspection system and method | |
TWI761880B (en) | Apparatus, method, computer readable medium and computer program product for inspecting substrate defect | |
JP2006250930A (en) | Automatic optical inspection system | |
CN100472204C (en) | Wiring pattern check up apparatus | |
JP4536033B2 (en) | Wiring pattern inspection method and inspection apparatus for flexible printed wiring board | |
JP2009128158A (en) | Pattern inspection device | |
KR20040107439A (en) | Apparatus for inspecting printed wiring boards for mounting electronic component and method of verifing a bad pattern | |
KR102192750B1 (en) | Inspection apparatus and inspection method | |
KR100673394B1 (en) | Auto optical inspection system | |
JP2006017726A (en) | Lighting system for inspecting micropattern of printed circuit board, automatic optical inspection system equipped with the same, and its inspection method | |
KR20090131000A (en) | Integrated inspection system and method of flexible printed circuit board | |
JP2009128268A (en) | Pattern inspection device | |
KR100605451B1 (en) | Pattern checker | |
JPH08271436A (en) | Inspection equipment for color filter substrate | |
KR100834113B1 (en) | Method for automated optical inspection | |
KR20060129791A (en) | Automated Optical Inspection System and Method | |
JPH09264722A (en) | Appearance inspecting method and apparatus therefor | |
KR101228321B1 (en) | Method for inspecting semiconductor substrate optically and apparatus thereof | |
JP2000266514A (en) | Method and device for inspecting metallic sheet | |
JP5407442B2 (en) | Color filter dirt defect selection method | |
KR20050009867A (en) | Optical inspection system for detecting defect of flexible printed circuit board and method of the same | |
JP4324091B2 (en) | Inspection device for film carrier tape for mounting electronic components and inspection method for film carrier tape for mounting electronic components | |
JPH10111252A (en) | Detecting equipment of flaw of glass plate | |
JPH06232229A (en) | Defect inspection method and device thereof | |
KR101176936B1 (en) | Apparatus for inspecting appearance of Tape Carrier Package |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20050304 |
|
PA0201 | Request for examination | ||
AMND | Amendment | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20060613 Patent event code: PE09021S01D |
|
AMND | Amendment | ||
PG1501 | Laying open of application | ||
E601 | Decision to refuse application | ||
PE0601 | Decision on rejection of patent |
Patent event date: 20070112 Comment text: Decision to Refuse Application Patent event code: PE06012S01D Patent event date: 20060613 Comment text: Notification of reason for refusal Patent event code: PE06011S01I |
|
J201 | Request for trial against refusal decision | ||
PJ0201 | Trial against decision of rejection |
Patent event date: 20070208 Comment text: Request for Trial against Decision on Refusal Patent event code: PJ02012R01D Patent event date: 20070112 Comment text: Decision to Refuse Application Patent event code: PJ02011S01I Appeal kind category: Appeal against decision to decline refusal Decision date: 20080327 Appeal identifier: 2007101001566 Request date: 20070208 |
|
AMND | Amendment | ||
PB0901 | Examination by re-examination before a trial |
Comment text: Amendment to Specification, etc. Patent event date: 20070312 Patent event code: PB09011R02I Comment text: Request for Trial against Decision on Refusal Patent event date: 20070208 Patent event code: PB09011R01I Comment text: Amendment to Specification, etc. Patent event date: 20060907 Patent event code: PB09011R02I Comment text: Amendment to Specification, etc. Patent event date: 20050915 Patent event code: PB09011R02I |
|
E801 | Decision on dismissal of amendment | ||
PE0801 | Dismissal of amendment |
Patent event code: PE08012E01D Comment text: Decision on Dismissal of Amendment Patent event date: 20070402 Patent event code: PE08011R01I Comment text: Amendment to Specification, etc. Patent event date: 20070312 Patent event code: PE08011R01I Comment text: Amendment to Specification, etc. Patent event date: 20060907 Patent event code: PE08011R01I Comment text: Amendment to Specification, etc. Patent event date: 20050915 |
|
B601 | Maintenance of original decision after re-examination before a trial | ||
PB0601 | Maintenance of original decision after re-examination before a trial | ||
J301 | Trial decision |
Free format text: TRIAL DECISION FOR APPEAL AGAINST DECISION TO DECLINE REFUSAL REQUESTED 20070208 Effective date: 20080327 |
|
PJ1301 | Trial decision |
Patent event code: PJ13011S01D Patent event date: 20080327 Comment text: Trial Decision on Objection to Decision on Refusal Appeal kind category: Appeal against decision to decline refusal Request date: 20070208 Decision date: 20080327 Appeal identifier: 2007101001566 |
|
J2X1 | Appeal (before the patent court) |
Free format text: APPEAL AGAINST DECISION TO DECLINE REFUSAL |
|
PJ2001 | Appeal |
Patent event date: 20080327 Comment text: Trial Decision on Objection to Decision on Refusal Patent event code: PJ20011S01I Appeal kind category: Appeal against decision to decline refusal Decision date: 20081219 Appeal identifier: 2008201005069 Request date: 20080429 |
|
J302 | Written judgement (patent court) |
Free format text: JUDGMENT (PATENT COURT) FOR APPEAL AGAINST DECISION TO DECLINE REFUSAL REQUESTED 20080429 Effective date: 20081219 |
|
PJ1302 | Judgment (patent court) |
Patent event date: 20090102 Comment text: Written Judgment (Patent Court) Patent event code: PJ13021S01D Request date: 20080429 Decision date: 20081219 Appeal identifier: 2008201005069 Appeal kind category: Appeal against decision to decline refusal |