KR102270832B1 - 다중 검사 및 다중 배출 경로 구조의 엑스레이 검사 장치 - Google Patents
다중 검사 및 다중 배출 경로 구조의 엑스레이 검사 장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
도 2a 및 도 2b는 본 발명에 따른 검사 장치에 적용되는 핸드 모듈의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 검사 장치에 적용되는 검사 모듈의 실시 예를 도시한 것이다.
도 4는 본 발명에 따른 검사 장치에 적용되는 핸드 모듈의 작동 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
도 5는 본 발명에 따른 검사 장치에서 검사 대상이 고정되는 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
도 6은 본 발명에 따른 검사 장치에서 검사 과정에서 검사가 완료된 검사 대상의 이동 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
도 7은 본 발명에 따른 검사 장치에서 검사가 완료된 검사 대상의 배출 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
도 8은 본 발명에 따른 검사 장치에 적용되는 정렬 모듈의 실시 예를 도시한 것이다.
도 9a 및 도 9b는 본 발명에 따른 검사 장치가 적용되는 검사 대상의 실시 예를 도시한 것이다.
16: 검사 모듈 17: 선택 모듈
21a, 21b: 이동 조절 블록 22a: 검사 핸드
22b: 이송 핸드 23a, 23b: 고정 브래킷
32: 버퍼 유닛 42a, 42b: 1, 2 검사 대상 고정 유닛
44: 결합 유닛 45: 제한 플레이트
54: 그립 유닛 55: 흡착 패드
61: 로드리스 실린더 62: 스토퍼 유닛
63: 위치 선택 유닛 80: 정렬 모듈
81: 고정 프레임 82: 압력 설정 유닛
83: Z축 실린더 84: 정렬 유닛
85: 회전 플레이트 87: 스토퍼 실린더
88: 이동 제한 유닛 111, 121, 131: 1, 2, 3 이송 라인
151: 선형 가이드 유닛 151a, 151b: 1, 2 선형 가이드
161, 162: 1, 2 엑스레이 튜브 163, 164: 1, 2 디텍터
221: 선형 브래킷 222: 판 브래킷
311: 베이스 플레이트 312: 조절 플레이트
331: 튜브 조절 유닛 332: 축 조절 유닛
333: 디텍터 브래킷 511: 패드 고정 유닛
512: 흡착 패드 513: 고정 탭
514: 위치 조절 유닛 515: 수직 브래킷
521: 수직 부재 552: 연결 부재
524: 간섭 회피 부재 523: 작동 조절 실린더
551: 공기 조절 호스 522: 안정 유닛
621: 스토퍼 실린더 622: 제한 플레이트
623: 스토퍼 631: 이송 브래킷
632: 이송 유도 유닛 633: Z축 실린더
641: 위치 조절 플레이트 642: 흡착 패드
841: 회전 실린더 861, 862: 가압 유닛
881: 정렬 스토퍼 B: 베이스 하우징
BL1, BL2: 기준선 BT: 검사 대상
LS: 이송 방향 NGP: 불량 대상 위치
OKP: 정상 대상 위치 P1, P2, P3: 1, 2, 3 검사 포인트
R1, R2: 이송 레일 R11: 유도 레일
XH: 평 방향 XV, XV1, XV2: 수직 방향
Claims (3)
- 검사 대상을 이송시키는 1 이송 모듈(11);
상기 검사 대상을 1 이송 모듈(11)로부터 검사 영역으로 이송시키는 핸드 모듈(15);
상기 검사 대상의 서로 다른 부위로 서로 다른 방향의 엑스레이를 조사하여 상기 검사 대상을 검사하는 검사 모듈(16);
검사 모듈(16)에서 검사가 완료된 검사 대상이 서로 다른 경로로 이송되도록 하는 선택 모듈(17);
선택 모듈(17)로부터 이송된 검사 대상을 이송 경로의 정해진 위치로 이동시키는 정렬 모듈(80); 및
상기 핸드 모듈(15)은 선형 가이드 유닛(151)을 따라 독립적으로 또는 연결되어 이동되는 검사 대상을 고정 및 분리시키는 두 개의 검사 대상 고정 수단을 포함하고,
상기 검사 대상 고정 수단은 흡착 패드를 가지는 검사 핸드(22a) 및 이송 핸드(22b)가 되고, 상기 검사 핸드(22a)는 아래쪽으로 경사진 형상으로 연장되는 부분과 수평 방향으로 연장되는 부분으로 이루어지는 간섭 회피 부재(524); 상기 간섭 회피 부재(524)의 수평 연장 부분의 아래쪽에 배치되어 서로 수평 방향으로 이동되어 간격 조절이 가능하고 검사 대상의 양쪽 측면을 고정시키는 그립 유닛(54); 및 상기 검사 대상의 고정을 위한 흡착 패드(55)로 이루어지고,
상기 정렬 모듈(80)은 고정 프레임(81); 고정 프레임(81)에 배치된 Z축 실린더(83); Z축 실린더(83)에 의하여 상하로 이동되는 정렬 유닛(84); 정렬 유닛(84)에 의하여 회전되는 회전 플레이트(85); 및 회전 플레이트(85)의 아래쪽에 배치되는 한 쌍의 가압 유닛(861, 862)을 포함하고, 검사 대상이 이송 라인으로 진입되면 Z축 실린더(83)의 작동에 의해 정렬 유닛(84)이 아래쪽으로 이동되고 한 쌍의 가압 유닛(861, 862)이 검사 대상의 위쪽 표면에 접촉하고 회전 실린더(841)에 의해 회전되어 검사 대상이 이송 라인의 한쪽 경계 벽을 따라 정렬되는 것을 특징으로 하는 다중 검사 및 다중 배출 경로 구조의 엑스레이 검사 장치. - 청구항 1에 있어서, 두 개의 검사 대상 고정 수단은 하나의 축을 따라 또는 서로 다른 축을 따라 이동되는 것을 특징으로 하는 다중 검사 및 다중 배출 경로 구조의 엑스레이 검사 장치.
- 청구항 1에 있어서, 선택 모듈(17)은 로드리스 실린더(61); 로드리스 실린더(61)에 이동 가능하도록 결합되는 위치 선택 유닛(63); 및 로드리스 실린더(61)에 대하여 상하 이동 가능하면서 검사 대상(BT)의 이송 라인을 따른 이동을 제한하는 스토퍼 유닛(62)을 더 포함하는 다중 검사 및 다중 배출 경로 구조의 엑스레이 검사 장치.
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