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KR102184447B1 - 액정 표시 장치 및 액정 표시 장치의 정전 용량 측정 방법 - Google Patents

액정 표시 장치 및 액정 표시 장치의 정전 용량 측정 방법 Download PDF

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KR102184447B1
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박재현
최재호
홍성철
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삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치는 상부 기판, 하부 기판 및 사이에 개재되어 있는 액정층을 포함하며 복수의 화소가 형성되어 있는 표시 영역, 및 태그부, 공통 전압 인가부 및 화소 전압 인가부를 포함하는 측정부를 포함하며, 상기 공통 전압 인가부와 상기 태그부, 상기 화소 전압 인가부와 상기 태그부는 연결되어 있으며, 상기 공통 전압 인가부는 표시 영역의 화소와 동일한 두께의 데이터 도전체, 공통 전극, 보호막, 화소 전극이 적층되어 있고, 상기 공통 전압 인가부의 상기 데이터 도전체의 일부는 상기 화소 전극과 직접 접촉하고 있으며, 상기 공통 전압 인가부의 상기 데이터 도전체의 일부는 공통 전극과 직접 접촉하고 있다.

Description

액정 표시 장치 및 액정 표시 장치의 정전 용량 측정 방법{LIQUID CRYSTAL DISPLAY AND METHOD OF MEASURING OF CAPACITANCE OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY}
본 발명은 액정 표시 장치 및 액정 표시 장치의 정전 용량 측정 방법에 대한 것이다.
액정 표시 장치(Liquid Crystal Display)는 현재 가장 널리 사용되고 있는 평판 표시 장치(Flat Panel Display) 중 하나로서, 전극에 전압을 인가하여 액정층의 액정 분자들을 재배열시킴으로써 투과되는 빛의 양을 조절하는 표시 장치이다.
액정 표시 장치는 박형화가 용이한 장점을 지니고 있지만, 전면 시인성에 비해 측면 시인성이 떨어지는 단점이 있어 이를 극복하기 위한 다양한 방식의 액정 배열 및 구동 방법이 개발되고 있다. 이러한 광시야각을 구현하기 위한 방법으로서, 화소 전극 및 공통 전극을 하나의 기판에 형성하는 액정 표시 장치가 주목받고 있다.
이러한 형태의 액정 표시 장치의 경우, 화소 전극과 공통 전극의 두 개의 전기장 생성 전극 중 적어도 하나는 복수의 절개부를 가지고, 복수의 절개부에 의해 정의되는 복수의 가지 전극을 가지게 된다.
이처럼, 하나의 표시판 위에 두 개의 전기장 생성 전극을 형성하는 경우, 각 전기장 생성 전극을 형성하기 위하여, 서로 다른 광 마스크가 필요하고, 이에 따라 제조 비용이 증가하게 된다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 하나의 표시판 위에 두 개의 전기장 생성 전극을 형성하면서도, 제조 비용 증가를 방지할 수 있는 액정 표시 장치 및 상기 액정 표시 장치의 정전 용량 측정 방법을 제공하는 것이다.
이러한 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치는 상부 기판, 하부 기판 및 사이에 개재되어 있는 액정층을 포함하며 복수의 화소가 형성되어 있는 표시 영역, 및 태그부, 공통 전압 인가부 및 화소 전압 인가부를 포함하는 측정부를 포함하며, 상기 공통 전압 인가부와 상기 태그부, 상기 화소 전압 인가부와 상기 태그부는 연결되어 있으며, 상기 공통 전압 인가부는 표시 영역의 화소와 동일한 두께의 데이터 도전체, 공통 전극, 보호막, 화소 전극이 적층되어 있고, 상기 공통 전압 인가부의 상기 데이터 도전체의 일부는 상기 화소 전극과 직접 접촉하고 있으며, 상기 공통 전압 인가부의 상기 데이터 도전체의 일부는 공통 전극과 직접 접촉하고 있다.
상기 표시 영역은 하부 기판, 상기 하부 기판 위에 위치하는 게이트선 및 데이터선, 상기 게이트선 및 데이터선에 연결되어 있는 박막 트랜지스터, 상기 박막 트랜지스터 위에 위치하는 제1 보호막, 상기 제1 보호막 위에 위치하는 공통 전극, 상기 공통 전극 위에 위치하는 제2 보호막, 그리고 상기 제2 보호막 위에 위치하는 화소 전극을 포함하고, 상기 공통 전극과 상기 제2 보호막은 하나의 마스크로 동시에 형성될 수 있다.
상기 공통 전극의 제1 가장자리와 상기 제2 보호막의 제2 가장자리는 같은 평면 형태를 가지고, 상기 공통 전극의 상기 제1 가장자리보다 상기 제2 보호막의 상기 제2 가장자리가 더 돌출되어 있을 수 있다.
상기 태그부는 공통 전극, 상기 공통 전극 위의 보호막 및 상기 보호막 위의 화소 전극을 포함하며, 상기 공통 전극, 보호막 및 화소 전극의 두께는 상기 표시 영역의 공통 전극, 제2 보호막 및 화소 전극의 두께와 동일할 수 있다.
상기 화소 전압 인가부의 상기 화소 전극은 상기 태그부의 상기 화소 전극과 연결되어 있을 수 있다.
상기 화소 전압 인가부는 상기 표시 영역의 화소 전극과 동일한 두께의 화소 전극을 포함할 수 있다.
상기 공통 전압 인가부의 상기 공통 전극은 상기 태그부의 상기 공통 전극과 연결되어 있을 수 있다.
상기 공통 전압 인가부의 일부 영역은 데이터 도전체, 공통 전극, 보호막 및 화소 전극이 모두 적층되어 있으며, 공통 전극과 화소 전극은 보호막으로 전기적으로 절연되어 있고, 상기 공통 전압 인가부의 일부 영역은 데이터 도전체 및 화소 전극이 적층되어 있어 데이터 도전체와 화소 전극이 직접 접촉하며, 상기 화소 전극은 공통 전압 인가부의 전 면적에 형성되어 있을 수 있다.
상기 공통 전압 인가부는 상기 표시 영역과 동시 공정으로 형성되며, 상기 공통 전압 인가부의 데이터 도전체, 공통 전극, 보호막 및 화소 전극의 두께는 상기 표시 영역의 데이터 도전체, 공통 전극, 제2 보호막 및 화소 전극의 두께와 동일할 수 있다.
상기 측정부에서, 상기 태그부, 상기 태그부와 상기 공통 전압 인가부의 연결부, 및 상기 연결부와 연결된 공통 전압 인가부의 일부 영역에만 공통 전극 및 보호막이 형성되어 있을 수 있다.
상기 공통 전극 및 상기 보호막의 두께는 상기 표시 영역에 형성된 공통 전극 및 제2 보호막의 두께와 동일할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치의 정전 용량 측정 방법은 표시 영역과 분리된 영역에 공통 전압 인가부, 화소 전압 인가부 및 태그부를 형성하는 단계, 공통 전압 인가부 및 화소 전압 인가부에 각각 공통 전압 및 화소 전압을 공급하는 단계, 및 상기 인가된 전압에 의해 태그부에 형성되는 정전용량을 측정하는 단계를 포함한다.
상기 공통 전압 인가부, 상기 화소 전압 인가부 및 상기 태그부는 상기 표시 영역의 형성과 동일 공정으로 형성될 수 있다.
상기 공통 전압 인가부는 표시 영역의 화소와 동일한 두께의 데이터 도전체, 공통 전극, 보호막, 화소 전극이 적층되어 있으며, 상기 공통 전압 인가부의 데이터선의 일부는 상기 화소 전극과 직접 접촉하고 있으며, 상기 공통 전압 인가부의 데이터선의 일부는 공통 전극과 직접 접촉하고 있을 수 있다.
상기 공통 전압 인가부와 상기 화소 전압 인가부에는 각각 상이한 전압이 공급될 수 있다.
상기 화소 전압 인가부에 인가된 전압은 상기 화소 전압 인가부 상면에 위치하는 화소 전극으로 공급되고, 상기 화소 전압 인가부의 화소 전극과 상기 태그부의 화소 전극을 연결하는 연결선을 따라 상기 태그부의 화소 전극으로 전달될 수 있다.
상기 공통 전압 인가부에 인가된 전압은 상기 공통 전압 인가부 상면에 위치하는 화소 전극으로 공급되고, 상기 전압은 상기 화소 전극과 접촉하고 있는 데이터 도전체로 공급되며, 상기 전압은 다시 데이터 도전체와 접촉하고 있는 상기 공통 전압 인가부의 공통 전극으로 공급되고, 상기 전압은 상기 공통 전압 인가부의 공통 전극과 상기 태그부의 공통 전극을 연결하는 연결선을 따라 상기 태그부의 공통 전극으로 전달될 수 있다.
상기 정전 용량의 측정은 상기 공통 전압 인가부 및 상기 화소 전압 인가부와 연결된 별도의 측정 장치를 통해 이루어질 수 있다.
상기 태그부는 공통 전극, 화소 전극 및 상기 공통 전극과 상기 화소 전극 사이에 위치하는 보호막을 포함하며, 상기 태그부의 상기 공통 전극, 상기 화소 전극 및 상기 보호막의 두께는 상기 표시 영역의 공통 전극, 제2 보호막 및 화소 전극의 두께와 동일할 수 있다.
이상과 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치는 하나의 표시판 위에 두 개의 전기장 생성 전극을 형성하면서도, 제조 비용 증가를 방지할 수 있으며, 액정 표시 장치에 직접 전압을 인가하지 않고도 액정 표시 장치의 정전 용량을 측정할 수 있다.
도 1은 본 발명 일 실시예에 따른 액정 표시 장치를 개략적으로 나타낸 것이다.
도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 액정 표시 장치의 배치도이다.
도 3은 도 2의 액정 표시 장치를 III-III 선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.
도 4는 도 2의 액정 표시 장치를 IV-IV 선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.
도 5는 도 2의 액정 표시 장치를 V-V 선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.
도 6은 도 1의 태그부를 VI-VI선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.
도 7은 도 1의 화소 전압 인가부를 VII-VII선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.
도 8은 도 1의 공통 전압 인가부를 VIII-VIII선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.
도 9는 본 발명 비교예에 따른 액정 표시 장치의 공통 전압 인가부의 단면을 도시한 것이다.
도 10은 본 발명 일 실시예에 따른 액정 표시 장치의 측정부(900)에서 보호막 및 공통 전극이 존재하는 부분과 존재하지 않는 부분을 전체적으로 구분하여 나타낸 것이다.
첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.
이제 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치에 대하여 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명 일 실시예에 따른 액정 표시 장치를 개략적으로 나타낸 것이다. 도 1을 참고하면, 본 발명 일 실시예에 따른 액정 표시 장치는 복수의 화소(Px)가 형성되어 영상이 표시되는 표시 영역(800) 및 액정 표시 장치의 정전 용량을 측정하는 측정부(900)로 구분된다. 측정부(900)는 다시 태그(910), 공통 전압 인가부(920) 및 화소 전압 인가부(930)를 포함한다.
그러면, 먼저 표시 영역(800)에 대하여 설명한다.
먼저, 도 2 내지 도 5를 참고하여, 본 발명의 한 실시예에 따른 액정 표시 장치의 표시 영역에 대하여 설명한다. 도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 액정 표시 장치의 배치도이고, 도 3은 도 2의 액정 표시 장치를 III-III 선을 따라 잘라 도시한 단면도이고, 도 4는 도 2의 액정 표시 장치를 IV-IV 선을 따라 잘라 도시한 단면도이고, 도 5는 도 2의 액정 표시 장치를 V-V 선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.
도 2 내지 도 5를 참고하면, 본 발명의 한 실시예에 따른 액정 표시 장치의 표시 영역은 서로 마주보는 하부 표시판(100) 및 상부 표시판(200)과 그 사이 주입되어 있는 액정층(3)을 포함한다.
먼저, 하부 표시판(100)에 대하여 설명한다.
투명한 유리 또는 플라스틱 등으로 이루어진 제1 기판(110) 위에 게이트선(121)을 포함하는 게이트 도전체가 형성되어 있다.
게이트선(121)은 게이트 전극(124) 및 다른 층 또는 외부 구동 회로와의 접속을 위한 넓은 게이트 패드부(129)를 포함한다. 게이트선(121)은 알루미늄(Al)이나 알루미늄 합금 등 알루미늄 계열 금속, 은(Ag)이나 은 합금 등 은계열 금속, 구리(Cu)나 구리 합금 등 구리 계열 금속, 몰리브덴(Mo)이나 몰리브덴 합금 등 몰리브덴 계열 금속, 크롬(Cr), 탄탈륨(Ta) 및 티타늄(Ti) 따위로 만들어질 수 있다. 그러나 게이트선(121)은 물리적 성질이 다른 적어도 두 개의 도전막을 포함하는 다중막 구조를 가질 수도 있다.
게이트 도전체(121, 124, 129) 위에는 질화규소(SiNx) 또는 산화규소(SiOx) 등으로 이루어지는 게이트 절연막(140)이 형성되어 있다. 게이트 절연막(140)은 물리적 성질이 다른 적어도 두 개의 절연층을 포함하는 다층막 구조를 가질 수도 있다.
게이트 절연막(140) 위에는 비정질 규소 또는 다결정 규소 등으로 만들어진 반도체(154)가 형성되어 있다. 반도체(154)는 산화물 반도체를 포함할 수 있다.
반도체(154) 위에는 저항성 접촉 부재(163, 165)가 형성되어 있다. 저항성 접촉 부재(163, 165)는 인(phosphorus) 따위의 n형 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 n+ 수소화 비정질 규소 따위의 물질로 만들어지거나 실리사이드(silicide)로 만들어질 수 있다. 저항성 접촉 부재(163, 165)는 쌍을 이루어 반도체(154) 위에 배치될 수 있다. 반도체(154)가 산화물 반도체인 경우, 저항성 접촉 부재(163, 165)는 생략 가능하다.
저항성 접촉 부재(163, 165) 및 게이트 절연막(140) 위에는 소스 전극(173)을 포함하는 데이터선(171), 그리고 드레인 전극(175)을 포함하는 데이터 도전체가 형성되어 있다.
데이터선(171)은 다른 층 또는 외부 구동 회로와의 접속을 위한 넓은 데이터 패드부(179)를 포함한다. 데이터선(171)은 데이터 신호를 전달하며 주로 세로 방향으로 뻗어 게이트선(121)과 교차한다.
이 때, 데이터선(171)은 액정 표시 장치의 최대 투과율을 얻기 위해서 굽어진 형상을 갖는 제1 굴곡부를 가질 수 있으며, 굴곡부는 화소 영역의 중간 영역에서 서로 만나 V자 형태를 이룰 수 있다. 화소 영역의 중간 영역에는 제1 굴곡부와 소정의 각도를 이루도록 굽어진 제2 굴곡부를 더 포함할 수 있다.
소스 전극(173)은 데이터선(171)의 일부이고, 데이터선(171)과 동일선 상에 배치된다. 드레인 전극(175)은 소스 전극(173)과 나란하게 뻗도록 형성되어 있다. 따라서, 드레인 전극(175)은 데이터선(171)의 일부와 나란하다.
게이트 전극(124), 소스 전극(173) 및 드레인 전극(175)은 반도체(154)와 함께 하나의 박막 트랜지스터(thin film transistor, TFT)를 이루며, 박막 트랜지스터의 채널(channel)은 소스 전극(173)과 드레인 전극(175) 사이의 반도체(154)에 형성된다.
본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치는 데이터선(171)과 동일선 상에 위치하는 소스 전극(173)과 데이터선(171)과 나란하게 뻗어 있는 드레인 전극(175)을 포함함으로써, 데이터 도전체가 차지하는 면적을 넓히지 않고도 박막 트랜지스터의 폭을 넓힐 수 있게 되고, 이에 따라 액정 표시 장치의 개구율이 증가할 수 있다.
그러나, 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정 표시 장치의 경우, 소스 전극(173)과 드레인 전극(175)은 다른 형태를 가질 수 있다.
데이터선(171)과 드레인 전극(175)은 몰리브덴, 크롬, 탄탈륨 및 티타늄 등 내화성 금속(refractory metal) 또는 이들의 합금으로 만들어지는 것이 바람직하며, 내화성 금속막(도시하지 않음)과 저저항 도전막(도시하지 않음)을 포함하는 다중막 구조를 가질 수 있다. 다중막 구조의 예로는 크롬 또는 몰리브덴 (합금) 하부막과 알루미늄 (합금) 상부막의 이중막, 몰리브덴 (합금) 하부막과 알루미늄 (합금) 중간막과 몰리브덴 (합금) 상부막의 삼중막을 들 수 있다. 그러나 데이터선(171)과 드레인 전극(175)은 이외에도 여러 가지 다양한 금속 또는 도전체로 만들어질 수 있다.
게이트 패드부(129)와 인접한 부분에, 데이터선(171)과 동일한 층으로 이루어지는 게이트 신호 전달 패드부(139)가 형성되어 있다.
게이트 신호 전달 패드부(139)는 게이트 구동부로부터 게이트 패드부(129)를 통해 게이트선(121)에 게이트 신호를 전달한다.
데이터 도전체(139, 171, 173, 175, 179), 게이트 절연막(140), 그리고 반도체(154)의 노출된 부분 위에는 제1 보호막(180x)이 위치한다. 제1 보호막(180x)은 유기 절연 물질 또는 무기 절연 물질 등으로 이루어질 수 있다.
제1 보호막(180x) 위에는 유기막(80)이 배치되어 있다. 유기막(80)은 제1 보호막(180x)보다 두께가 두꺼우며, 평탄한 표면을 가질 수 있다.
복수의 화소가 위치하여 영상을 표시하는 표시 영역에 위치하는 유기막(80)의 제1 두께(H1)는 데이터 패드부(179) 등이 형성되어 있는 영역에 위치하는 유기막(80)의 제2 두께(H2) 보다 클 수 있다.
본 발명의 다른 한 실시예에 따른 액정 표시 장치의 경우, 유기막(80)은 생략될 수도 있다. 본 발명의 다른 한 실시예에 따른 액정 표시 장치의 경우, 유기막(80)은 색필터일 수 있고, 이 경우 유기막(80) 위에 배치되어 있는 막을 더 포함할 수도 있다. 예를 들어, 색필터 위에 배치되어, 색필터의 안료가 액정층으로 유입되는 것을 방지하기 위한, 덮개막(capping layer)을 더 포함할 수 있고, 덮개막은 질화규소(SiNx)와 같은 절연물질로 이루어질 수 있다.
유기막(80)과 제1 보호막(180x)은 드레인 전극(175)의 일부분을 드러내는 제1 드레인 접촉 구멍(185a)을 가진다. 유기막(80), 제1 보호막(180x) 및 게이트 절연막(140)은 게이트 패드부(129)를 드러내는 제1 패드부 접촉 구멍(186a)을 가지고, 유기막(80) 및 제1 보호막(180x)은 게이트 신호 전달 패드부(139)를 드러내는 제2 패드부 접촉 구멍(186b)을 가진다. 또한, 유기막(80)과 제1 보호막(180x)은 데이터 패드부(179)를 드러내는 제3 패드부 접촉 구멍(187)을 가진다.
유기막(80) 위에는 공통 전극(common electrode)(270)이 형성되어 있다. 공통 전극(270)은 면형으로서 제1 기판(110) 전면 위에 통판으로 형성되어 있을 수 있고, 드레인 전극(175) 주변에 대응하는 영역에 형성되어 있는 제2 드레인 접촉 구멍(185b)을 가진다.
인접한 화소에 위치하는 공통 전극(270)은 서로 연결되어, 표시 영역 외부에서 공급되는 일정한 크기의 공통 전압을 전달 받을 수 있다.
게이트 패드부(129)와 게이트 신호 전달 패드부(139)를 드러내는 제1 패드부 접촉 구멍(186a)과 제2 패드부 접촉 구멍(186b) 위에는 연결 부재(96)가 형성되어 있다.
연결 부재(96)는 제1 패드부 접촉 구멍(186a)과 제2 패드부 접촉 구멍(186b)에 의해 드러나 있는 게이트 패드부(129)와 게이트 신호 전달 패드부(139)를 서로 연결하여, 게이트 신호 전달 패드부(139)에 전달되는 게이트 신호를 게이트 패드부(129)에 전달함으로써, 게이트 신호는 게이트 패드부(129)에 연결되어 있는 게이트선(121)에 전달된다.
연결 부재(96)는 공통 전극(270)과 동일한 층으로 함께 형성된다. 공통 전극(270)과 연결 부재(96)는 ITO 또는 IZO와 같은 투명한 도전층으로 이루어진다.
공통 전극(270)과 연결 부재(96) 위에는 제2 보호막(180y)이 형성되어 있다.
제2 보호막(180y)은 유기 절연 물질 또는 무기 절연 물질 등으로 이루어질 수 있다.
제2 보호막(180y)은 드레인 전극(175) 주변에 대응하는 영역에 형성되어 있는 제3 드레인 접촉 구멍(185c)을 가진다.
공통 전극(270)과 제2 보호막(180y)은 서로 거의 같은 평면 형태를 가진다. 보다 구체적으로, 액정 표시 장치를 위에서 볼 때, 공통 전극(270)과 제2 보호막(180y)의 가장자리가 이루는 형태는 서로 거의 같다.
공통 전극(270)의 제2 드레인 접촉 구멍(185b)의 크기 및 폭은 제2 보호막(180y)의 제3 드레인 접촉 구멍(185c)의 크기 및 폭보다 크다.
공통 전극(270)의 제1 가장자리(E1)보다 제2 보호막(180y)의 제2 가장자리(E2)가 더 돌출되어 있다. 보다 구체적으로, 액정 표시 장치를 위에서 볼 때, 제2 보호막(180y)의 제2 가장자리(E2)는 공통 전극(270)의 제1 가장자리(E1)로부터 더 확장된 형태를 가진다.
제2 보호막(180y)과 공통 전극(270)은 복수의 화소가 위치하는 표시 영역에 위치하고, 게이트 패드부(129)와 데이터 패드부(179)가 형성되어 있는 주변 영역에는 위치하지 않을 수 있다.
도시한 실시예에서, 게이트 패드부(129)와 게이트 신호 전달 패드부(139) 위에 형성되어 있는 연결 부재(96)는 공통 전극(270)과 동일한 층으로 이루어지지만, 연결 부재(96)는 뒤에서 설명할 접촉 보조 부재(97)와 같이, 화소 전극(191)과 동일한 층으로 이루어질 수도 있다.
제2 보호막(180y) 위에는 화소 전극(191)이 형성되어 있다. 화소 전극(191)은 데이터선(171)의 제1 굴곡부 및 제2 굴곡부와 거의 나란한 굴곡변(curved edge)을 포함한다. 화소 전극(191)은 복수의 절개부(92)를 가지며, 복수의 절개부(92)에 의해 정의되는 복수의 가지 전극(192)을 포함한다.
화소 전극(191)은 드레인 전극(175)을 향해 확장되어 있는 확장부(193)를 포함하고, 화소 전극(191)의 확장부(193)는 제1 드레인 접촉 구멍(185a), 제2 드레인 접촉 구멍(185b), 그리고 제3 드레인 접촉 구멍(185c)을 통해 드레인 전극(175)과 물리적 전기적으로 연결되어, 드레인 전극(175)으로부터 데이터 전압을 인가 받는다.
제3 패드부 접촉 구멍(187)에 의해 드러나 있는 데이터 패드부(179) 위에는 접촉 보조 부재(97)가 형성되어 있다. 접촉 보조 부재(97)는 데이터 패드부(179)와 외부 장치와의 접착성을 보완하고 이들을 보호한다.
화소 전극(191) 및 접촉 보조 부재(97)는 ITO 또는 IZO와 같은 투명한 도전층으로 이루어진다. 화소 전극(191) 및 접촉 보조 부재(97)는 공통 전극(270) 및 연결 부재(96)에 비하여 두께가 두껍다. 보다 구체적으로, 공통 전극(270)의 제3 두께(T1)보다 화소 전극(191)의 제4 두께(T2)가 더 두껍고, 제4 두께(T2)는 제3 두께(T1)의 약 2배 이상일 수 있다. 예를 들어, 화소 전극(191) 및 접촉 보조 부재(97)는 약 900Å의 두께를 가질 수 있다.
도시하지는 않았지만, 화소 전극(191)과 화소 전극(191)에 의해 덮여 있지 않은 제2 보호막(180y) 위에는 제1 배향막(alignment layer)이 도포되어 있고, 제1 배향막은 수평 배향막일 수 있으며, 일정한 방향으로 러빙되어 있다. 그러나, 본 발명의 다른 한 실시예에 따른 액정 표시 장치에 따르면, 제1 배향막은 광반응 물질을 포함하여, 광배향될 수 있다.
그러면, 상부 표시판(200)에 대하여 설명한다.
투명한 유리 또는 플라스틱 등으로 만들어진 제2 기판(210) 위에 차광 부재(light blocking member)(220)가 형성되어 있다. 차광 부재(220)는 블랙 매트릭스(black matrix)라고도 하며 빛샘을 막아준다.
또한, 제2 기판(210) 위에는 복수의 색필터(230)가 형성되어 있다.
색필터(230) 및 차광 부재(220) 위에는 덮개막(overcoat)(250)이 형성되어 있다. 덮개막(250)은 (유기) 절연물로 만들어질 수 있으며, 색필터(230)가 노출되는 것을 방지하고 평탄면을 제공한다. 덮개막(250)은 생략할 수 있다.
도시하지는 않았지만, 덮개막(250) 위에는 제2 배향막이 도포되어 있고, 제2 배향막은 수평 배향막일 수 있으며, 일정한 방향으로 러빙되어 있다. 그러나, 본 발명의 다른 한 실시예에 따른 액정 표시 장치에 따르면, 제2 배향막은 광반응 물질을 포함하여, 광배향될 수 있다.
액정층(3)은 양의 유전율 이방성을 가지는 네마틱(nematic) 액정 물질을 포함한다. 액정층(3)의 액정 분자는 그 장축 방향이 표시판(100, 200)에 평행하게 배열되어 있을 수 있다.
화소 전극(191)은 드레인 전극(175)으로부터 데이터 전압을 인가 받고, 공통 전극(270)은 표시 영역 외부에 배치되어 있는 공통 전압 인가부로부터 일정한 크기의 공통 전압을 인가 받는다.
전기장 생성 전극인 화소 전극(191)과 공통 전극(270)은 전기장을 생성함으로써 두 전극(191, 270) 위에 위치하는 액정층(3)의 액정 분자는 전기장의 방향과 평행한 방향으로 회전한다. 이와 같이 결정된 액정 분자의 회전 방향에 따라 액정층을 통과하는 빛의 편광이 달라진다.
앞서 설명하였듯이, 공통 전극(270)과 공통 전극(270) 위에 위치하는 제2 보호막(180y)은 거의 같은 평면 형태를 가진다. 그러므로, 제2 보호막(180y)과 공통 전극(270)은 하나의 광 마스크를 이용하여, 함께 형성할 수 있다.
이에 의하여, 액정 표시 장치의 제조 비용의 증가를 방지할 수 있다.
그러면, 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치의 드레인 접촉부에 대하여 보다 상세히 설명한다.
유기막(80), 제1 보호막(180x) 및 게이트 절연막(140)은 제1 드레인 접촉 구멍(185a)을 가지고, 공통 전극(270)은 제2 드레인 접촉 구멍(185b)을 가지고, 제2 보호막(180y)은 제3 드레인 접촉 구멍(185c)을 가진다.
제1 드레인 접촉 구멍(185a), 제2 드레인 접촉 구멍(185b), 그리고 제3 드레인 접촉 구멍(185c)은 적어도 일부분 서로 중첩한다.
서로 중첩하는 부분을 통해 드러나 있는 드레인 전극(175)은 화소 전극(191)과 연결된다.
제1 드레인 접촉 구멍(185a)의 제1 크기 및 제1 폭(W1)은 제2 드레인 접촉 구멍(185a)의 제2 크기 및 제2 폭(W2) 및 제3 드레인 접촉 구멍(185c)의 제3 크기 및 제3 폭(W3)보다 작다. 또한, 제2 드레인 접촉 구멍(185a)의 제2 크기 및 제2 폭(W2)은 제3 드레인 접촉 구멍(185c)의 제3 크기 및 제3 폭(W3)보다 크다. 즉, 제1 드레인 접촉 구멍(185a), 제3 드레인 접촉 구멍(185c) 및 제2 드레인 접촉 구멍(185b)의 순서대로 크기 및 폭이 커진다.
공통 전극(270)에 형성되어 있는 제2 드레인 접촉 구멍(185b)의 제2 크기 및 제2 폭(W2)이 제2 보호막(180y)에 형성되어 있는 제3 드레인 접촉 구멍(185c)의 제3 크기 및 제3 폭(W3)보다 크기 때문에, 제2 보호막(180y)의 제2 가장자리(E2)는 공통 전극(270)의 제1 가장자리(E1)보다 돌출되어 있다. 따라서, 제2 보호막(180y) 위에 형성되는 화소 전극(191)이 제2 보호막(180y) 아래에 형성되어 있는 공통 전극(270)과 연결되는 것을 방지할 수 있다.
도 1를 참고하면, 제1 드레인 접촉 구멍(185a)이 형성되어 있는 경사부의 가장자리(185d)의 크기 및 폭은 제2 드레인 접촉 구멍(185a)의 제2 크기 및 제2 폭(W2)은 제3 드레인 접촉 구멍(185c)의 제3 크기 및 제3 폭(W3)보다 넓다.
즉, 공통 전극(270)의 제2 드레인 접촉 구멍(185a) 및 제2 보호막(180y)의 제3 드레인 접촉 구멍(185c)은 유기막(80)에 형성되어 있는 제1 드레인 접촉 구멍(185a)의 경사부(S) 내에 위치한다. 이에 의하여, 제2 드레인 접촉 구멍(185b) 보다 돌출되어 있는 제3 드레인 접촉 구멍(185c)에 의해서 접촉부에서 발생하는 단차에 의해 화소 전극(191)이 단선되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 앞서 설명하였듯이, 화소 전극(191)의 제4 두께(T2)는 공통 전극(270)의 제3 두께(T1)보다 약 2배 이상 두껍기 때문에, 제2 드레인 접촉 구멍(185b) 보다 돌출되어 있는 제3 드레인 접촉 구멍(185c)에 의해서 접촉부에서 발생하는 단차에 의해 화소 전극(191)이 단선되는 것을 방지할 수 있다.
화소 전극(191)의 제4 두께(T2)가 두껍기 때문에, 제3 드레인 접촉 구멍(185c)과 화소 전극(191)의 확장부(193)의 가장자리 사이의 간격(D1)은 화소 전극(191)의 제4 두께(T2)와 거의 같다.
이처럼, 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치에 따르면, 제2 보호막(180y)과 공통 전극(270)은 하나의 광 마스크를 이용하여, 함께 형성하여, 액정 표시 장치의 제조 비용의 증가를 방지할 수 있고, 드레인 접촉부에서 제2 보호막(180y)과 공통 전극(270)의 단차에 따라 발생할 수 있는 화소 전극(191)의 단선을 방지할 수 있다.
그러면 이하 측정부(900)에 대하여 설명한다. 측정부(900)는 액정 표시 장치의 표시 영역(800) 밖에 위치하며, 표시 영역의 액정 표시 장치의 성능을 측정하여 제조된 액정 표시 장치의 품질을 판단하는 역할을 한다.
도 1을 참고하면, 측정부(900)는 표시 영역의 액정 표시 장치의 샘플과 같이 기능하여 측정 대상이 되는 태그부(910), 태그부(910)의 공통 전극에 공통 전압을 인가해주는 공통 전압 인가부(920) 및 태그부(910)의 화소 전극에 화소 전압을 인가해주는 화소 전압 인가부(930)를 포함한다.
도 6은 도 1의 태그부를 VI-VI선을 따라 잘라 도시한 단면도이다. 도 6을 참고로 하면, 태그부는 공통 전극(270), 화소 전극(191) 및 공통 전극(270)과 화소 전극(191) 사이에 위치하는 제2 보호막(180y)을 포함한다.
태그부(910)는 표시 영역에 제조된 실제 액정 표시 장치의 공통 전극과 화소 전극 사이의 정전용량을 측정하기 위하여 제조된 것이므로, 태그부(910)의 공통 전극 물질 및 두께, 제2 보호막(180y)의 물질 및 두께, 화소 전극의 물질 및 두께는 표시 영역(800)의 액정 표시 장치와 동일하다.
즉 태그부(910)는 표시 영역(800)의 액정 표시 장치 제조 공정과 동시 공정으로 제조된다. 태그부의 공통 전극(270)에 공통 전압을 인가하고, 태그부의 화소 전극(191)에 화소 전압을 인가한 후, 태그부의 공통 전극과 화소 전극 사이에서 형성되는 정전 용량(capacitance)의 크기를 측정한다. 이와 같은 방법으로 실제로 표시 영역에 제조된 액정 표시 장치에 전압을 인가하지 않고도, 표시 영역의 액정 표시 장치의 정전용량의 크기를 측정할 수 있고, 제조된 액정 표시 장치의 품질을 확인할 수 있다.
태그부(910)에 공통 전압 및 화소 전압을 인가하기 위하여, 태그부의 공통 전극(270)은 공통 전압 인가부(920)와 연결되어 있고, 화소 전극(191)은 화소 전압 인가부와 연결되어 있다.
먼저 화소 전압 인가부(930)에 대하여 설명한다. 도 7은 도 1의 화소 전압 인가부를 VII-VII선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.
도 7을 참고로 하면, 화소 전압 인가부(930)는 게이트 절연막(140), 반도체(154), 접촉성 저항부재(163), 데이터 도전체(171) 및 화소 전극(191)을 포함하는 적층 구조를 갖는다. 즉, 화소 전압 인가부(930)의 적층 구조는 표시 영역의 한 화소의 적층 구조와 유사하다. 화소 전압 인가부(930)는 표시 영역의 액정 표시 장치 형성시 동시 공정으로 형성된다. 따라서 각 층의 두께는 표시 영역의 액정 표시 장치에서의 두께와 동일할 수 있다.
화소 전압 인가부(930)의 위에 전압 인가용 탐침 등을 접촉시키면, 화소 전압 인가부(930)의 화소 전극(191)에 전압이 공급된다. 이러한 화소 전압 인가부(930)의 화소 전극(191)은 태그부(910)까지 연장되어 태그부(910)의 화소 전극(191)과 연결되어 있으며, 태그부(910)의 화소 전극(191)에 전압을 공급하게 된다.
그러면, 공통 전압 인가부(920)에 대하여 설명한다. 도 8은 도 1의 공통 전압 인가부(920)를 VIII-VIII선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.
도 8을 참고로 하면, 공통 전압 인가부(920)는 공통 전극(270) 및 제2 보호막(180y)이 공통 전압 인가부(920)의 일부에만 형성되어 있다.
도 9는 본 발명 비교예에 따른 액정 표시 장치의 공통 전압 인가부의 단면을 도시한 것이다.
도 9를 참고로 하면, 본 발명 비교예에 따른 액정 표시 장치의 공통 전압 인가부는 공통 전극(270)과 화소 전극(191) 사이에 보호막이 위치하지 않는다. 본 발명 비교예에 따른 액정 표시 장치는 공통 전극(270)의 형성과 보호막의 형성 공정이 각각 별도의 마스크를 이용하여 제조되기 때문에 공통 전극 위에 보호막을 형성하지 않는 것이 가능하다.
따라서, 도 9의 공통 전압 인가부의 상부에 전압 인가용 탐침등을 이용하여 공통 전압을 인가하는 경우, 인가된 전압은 화소 전극(191)을 통과하여 화소 전극(191)과 접촉하고 있는 공통 전극(270)으로 전달된다. 공통 전압 인가부의 공통 전극(270)은 연장되어 태그부(910)의 공통 전극(270)와 연결되어 있고, 태그부(910)의 공통 전극(270)에 공통 전압을 공급하게 된다.
그러나 본 발명에서 액정 표시 장치는 제2 보호막(180y)과 공통 전극(270)이 하나의 마스크를 이용하여 동시에 형성되기 때문에, 공통 전극(270)이 존재하게 되면 제2 보호막(180y)도 존재하게 되고, 따라서 공통 전극(270)과 화소 전극(191) 사이에 제2 보호막(180y)이 모두 존재하게 된다.
따라서, 공통 전압 인가부(920)에서도 공통 전극(270)이 존재하는 위치에는 위에 제2 보호막(180y)이 반드시 존재하게 되고, 공통 전극(270)과 화소 전극(191)이 직접적으로 접촉하지 않는다. 그러나 이와 같이 공통 전압 인가부(920)에서 공통 전극(270)과 화소 전극(191) 사이에 제2 보호막(180y)이 모두 존재하게 되면, 공통 전극(270)에 전압을 인가하는 것이 어려워지는 문제점이 발생한다.
따라서 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치에서는, 도 8에서와 같이 공통 전압 인가부(920)의 공통 전극(270)과 제2 보호막(180y)이 화소 전극(191)과 전체적으로 중첩하지 않고, 일부만 존재하도록 식각하였다.
즉 공통 전압 인가부(920)의 일부에만 공통 전극(270)이 존재하고, 공통 전극(270)이 존재하지 않는 영역에서는 화소 전극(191)과 데이터 도전체(171)가 직접 접촉하고 있다.
따라서, 공통 전압 인가부(920) 상부에 전압 인가용 탐침 등을 이용하여 공통 전압을 인가하는 경우 인가된 공통 전압은 화소 전극(191)으로 전달된다. 화소 전극(191)과 공통 전극(270) 사이에는 제2 보호막(180y)이 존재하므로, 화소 전극에 인가된 공통 전압이 공통 전극으로 직접 전달되지 못한다.
대신, 본 발명에서는 공통 전극(270)이 데이터 도전체 전부를 덮지 않고 일부만 덮고 있으므로, 화소 전극(191)이 데이터 도전체와 접촉하고 있다.
따라서 화소 전극(191)에 인가된 공통 전압은 데이터 도전체로 전달되고, 다시 데이터 도전체와 접촉하고 있는 공통 전극(270)으로 전달된다. 공통 전압 인가부(920)의 공통 전극(270)은 연장되어 태그부(910)의 공통 전극(270)과 연결되어 있다. 따라서, 공통 전압 인가부(920)에 인가된 공통 전압은 화소 전극(191) -> 데이터 도전체(171) -> 공통 전극(270)의 경로를 통해 태그부의 공통 전극에 전달된다.
이와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치는 공통 전압 인가부(920)에서 공통 전극(270)이 데이터 도전체를 일부만 덮도록 형성함으로써, 공통 전극(270)과 제2 보호막(180y)이 5매 공정으로 동시에 형성되는 경우에도 태그부(910)에 공통 전압을 인가할 수 있도록 하였다.
도 10은 본 발명 일 실시예에 따른 액정 표시 장치의 측정부(900)에서 보호막 및 공통 전극이 존재하는 부분과 존재하지 않는 부분을 전체적으로 구분하여 나타낸 것이다. 도 10을 참고하면, 빗금으로 도시된 부분에는 보호막 및 공통 전극이 존재하지 않는다. 즉, 측정부(900)에서 보호막(180y) 및 공통 전극(270)은 빗금으로 도시되지 않은 부분에만 존재한다.
이때, 이와 같은 측정부(900)의 형상은 도 10에 빗금으로 도시된 형상과 같은 마스크를 이용하여, 빗금으로 도시된 부분의 보호막 및 공통 전극을 식각하는 방법으로 제조할 수 있다.
그러면, 이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치의 정전용량 측정 방법에 대하여 설명한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시의 정전 용량 측정 방법은 공통 전압 인가부 및 화소 전압 인가부에 각각 공통 전압 및 화소 전압을 공급하는 단계, 상기 인가된 전압에 의해 제2 보호막에 형성되는 정전용량을 측정하는 단계를 포함한다.
먼저, 공통 전압 인가부 및 화소 전압 인가부에 각각 공통 전압 및 화소 전압을 공급하는 단계에 대하여 설명한다.
본 정전 용량 측정 방법에서 태그부(910), 공통 전압 인가부(920) 및 화소 전압 인가부(930)의 적층 구조는 앞서 설명한 바와 동일하다. 동일한 내용에 대하여 구체적인 설명은 생략한다.
즉, 태그부(910)는 도 6에 도시된 바와 같이 공통 전극(270), 보호막(180y) 및 화소 전극(191)의 적층 구조로 되어 있으며, 공통 전극(270)은 공통 전압 인가부(920)의 공통 전극과 연결되어 있고, 화소 전극(191)은 화소 전압 인가부(930)의 화소 전극과 연결되어 있다.
본 발명에서, 공통 전압 인가부에는 공통 전압을, 화소 전압 인가부에는 화소 전압을 인가한다. 이때, 전압 인가는 각 인가부 상부에 전압 인가용 탐침 등으로 접촉시키는 방법으로 이루어질 수 있다. 즉, 전압 인가는 각 전압 인가부 상부를 통해 이루어진다.
화소 전압 인가부에 공급된 화소 전압은 화소 전극(191)을 따라 태그부(910)의 화소 전극(191)에 공급된다.
즉, 화소 전압 인가부의 화소 전극(191) -> 화소 전극 연장선(도 1에서 선으로 도시) -> 태그부의 화소 전극(191)으로 전달된다.
반면, 공통 전압 인가부에 전달된 공통 전압은 공통 전압 인가부의 화소 전극 및 데이터 도전체를 통해 공통 전극으로 전달된다.
이를 공통 전압 인가부의 단면을 도시한 도 1 및 도 8을 참고로 하여 설명한다. 즉, 공통 전압 인가부에 전달된 공통 전압은 공통 전압 인가부의 화소 전극(191) -> 데이터 도전체(171) -> 공통 전압 인가부의 공통 전극(270) -> 공통 전극 연장선(도 1에서 선으로 도시) -> 태그부의 공통 전극(270)으로 전달된다.
이와 같은 전압의 전달에 의해, 도 6에 도시된 태그부의 공통 전극과 화소 전극 사이에는 전계가 형성되고, 그 사이에 존재하는 보호막의 종류 및 두께에 따라 정전 용량이 축적된다.
다음 단계는, 인가된 전압에 의해 제2 보호막에 형성되는 정전용량을 측정하는 단계이다. 이는 각 화소 전압 인가부 및 공통 전압 인가부와 연결된 별도의 측정 장비에 의해 측정될 수 있다. 태그부의 공통 전극 및 화소 전극에 인가된 전압에 의해, 태그부에는 정전용량이 축적되고 이러한 정전용량을 측정하여 표시 영역의 액정 표시 장치의 품질을 확인할 수 있다.
즉, 태그부에 축적되는 정전용량의 값은 공통 전극과 화소 전극 사이의 보호막의 물질 및 두께에 따라 달라진다.
이때 태그부는 표시 영역의 액정 표시 장치와 동일 공정으로 형성되므로, 태그부에 형성된 보호막의 두께 및 물질은 표시 영역에 형성된 보호막의 두께 및 물질과 동일하게 된다.
따라서 본 발명에서와 같이 태그부의 정전용량을 측정하는 방법으로 실제로 영상을 표시하는 표시 영역의 액정 표시 장치의 품질을 확인할 수 있다. 즉, 태그부의 정전용량 측정 결과 목적하는 값과 다른 값이 나타났다면, 이는 제조 공정에서 액정 표시 장치의 보호막 형성 단계에서 문제가 있었음을 의미한다. 즉, 보호막의 두께가 정상수치를 벗어났음을 쉽게 확인할 수 있으며, 따라서 간단한 방법으로 불량 액정 표시 장치를 확인할 수 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
110, 210: 기판 3: 액정층
121: 게이트선 129: 게이트 패드부
139: 게이트 신호 전달 패드부 140: 게이트 절연막
154: 반도체 163, 165: 저항성 접촉 부재
171: 데이터선 173: 소스 전극
175: 드레인 전극 179: 데이터 패드부
180x, 180y: 보호막 80: 유기막
185a, 185b, 185c: 드레인 접촉 구멍
186a, 186b, 187: 패드부 접촉 구멍
191: 화소 전극 270: 공통 전극
800: 표시 영역 900: 측정부
910: 태그부 920: 공통 전압 인가부
930: 화소 전압 인가부

Claims (19)

  1. 상부 기판, 하부 기판 및 사이에 개재되어 있는 액정층을 포함하며 복수의 화소가 형성되어 있는 표시 영역, 및
    태그부, 공통 전압 인가부 및 화소 전압 인가부를 포함하는 측정부를 포함하며,
    상기 공통 전압 인가부와 상기 태그부, 상기 화소 전압 인가부와 상기 태그부는 연결되어 있으며,
    상기 공통 전압 인가부는 표시 영역의 화소와 동일한 두께의 데이터 도전체, 공통 전극, 보호막, 화소 전극이 적층되어 있고,
    상기 공통 전압 인가부의 상기 데이터 도전체의 일부는 상기 화소 전극과 직접 접촉하고 있으며,
    상기 공통 전압 인가부의 상기 데이터 도전체의 일부는 공통 전극과 직접 접촉하고 있는 액정 표시 장치.
  2. 제1항에서,
    상기 표시 영역은 하부 기판,
    상기 하부 기판 위에 위치하는 게이트선 및 데이터선,
    상기 게이트선 및 데이터선에 연결되어 있는 박막 트랜지스터,
    상기 박막 트랜지스터 위에 위치하는 제1 보호막,
    상기 제1 보호막 위에 위치하는 공통 전극,
    상기 공통 전극 위에 위치하는 제2 보호막, 그리고
    상기 제2 보호막 위에 위치하는 화소 전극을 포함하고,
    상기 공통 전극과 상기 제2 보호막은 하나의 마스크로 동시에 형성되는 액정 표시 장치.
  3. 제2항에서,
    상기 공통 전극의 제1 가장자리와 상기 제2 보호막의 제2 가장자리는 같은 평면 형태를 가지고,
    상기 공통 전극의 상기 제1 가장자리보다 상기 제2 보호막의 상기 제2 가장자리가 더 돌출되어 있는 액정 표시 장치.
  4. 제2항에서,
    상기 태그부는 공통 전극, 상기 공통 전극 위의 보호막 및 상기 보호막 위의 화소 전극을 포함하며,
    상기 공통 전극, 보호막 및 화소 전극의 두께는 상기 표시 영역의 공통 전극, 제2 보호막 및 화소 전극의 두께와 동일한 액정 표시 장치.
  5. 제4항에서,
    상기 화소 전압 인가부는 상기 표시 영역의 화소 전극과 동일한 두께의 화소 전극을 포함하는 액정 표시 장치.
  6. 제5항에서,
    상기 화소 전압 인가부의 상기 화소 전극은 상기 태그부의 상기 화소 전극과 연결되어 있는 액정 표시 장치.
  7. 제4항에서,
    상기 공통 전압 인가부의 상기 공통 전극은 상기 태그부의 상기 공통 전극과 연결되어 있는 액정 표시 장치.
  8. 제2항에서,
    상기 공통 전압 인가부의 일부 영역은 데이터 도전체, 공통 전극, 보호막 및 화소 전극이 모두 적층되어 있으며, 공통 전극과 화소 전극은 보호막으로 전기적으로 절연되어 있고,
    상기 공통 전압 인가부의 일부 영역은 데이터 도전체 및 화소 전극이 적층되어 있어 데이터 도전체와 화소 전극이 직접 접촉하며,
    상기 화소 전극은 공통 전압 인가부의 전 면적에 형성된 액정 표시 장치.
  9. 제8항에서,
    상기 공통 전압 인가부는 상기 표시 영역과 동시 공정으로 형성되며,
    상기 공통 전압 인가부의 데이터 도전체, 공통 전극, 보호막 및 화소 전극의 두께는
    상기 표시 영역의 데이터 도전체, 공통 전극, 제2 보호막 및 화소 전극의 두께와 동일한 액정 표시 장치.
  10. 제2항에서,
    상기 측정부에서,
    상기 태그부, 상기 태그부와 상기 공통 전압 인가부의 연결부, 및 상기 연결부와 연결된 공통 전압 인가부의 일부 영역에만
    공통 전극 및 보호막이 형성되어 있는 액정 표시 장치.
  11. 제10항에서,
    상기 공통 전극 및 상기 보호막의 두께는 상기 표시 영역에 형성된 공통 전극 및 제2 보호막의 두께와 동일한 액정 표시 장치.
  12. 표시 영역과 분리된 영역에 공통 전압 인가부, 화소 전압 인가부 및 태그부를 형성하는 단계,
    공통 전압 인가부 및 화소 전압 인가부에 각각 공통 전압 및 화소 전압을 공급하는 단계,
    상기 인가된 전압에 의해 태그부에 형성되는 정전용량을 측정하는 단계를 포함하고,
    상기 공통 전압 인가부는 표시 영역의 화소와 동일한 두께의 데이터 도전체, 공통 전극, 보호막, 화소 전극이 적층되어 있으며,
    상기 공통 전압 인가부의 데이터 도전체의 일부는 상기 화소 전극과 직접 접촉하고 있으며,
    상기 공통 전압 인가부의 데이터 도전체의 일부는 공통 전극과 직접 접촉하는 액정 표시 장치의 정전 용량 측정 방법.
  13. 제12항에서,
    상기 공통 전압 인가부, 상기 화소 전압 인가부 및 상기 태그부는 상기 표시 영역의 형성과 동일 공정으로 형성되는 액정 표시 장치의 정전 용량 측정 방법.
  14. 삭제
  15. 제12항에서,
    상기 공통 전압 인가부와 상기 화소 전압 인가부에는 각각 상이한 전압이 공급되는 액정 표시 장치의 정전 용량 측정 방법.
  16. 제15항에서,
    상기 화소 전압 인가부에 인가된 전압은 상기 화소 전압 인가부 상면에 위치하는 화소 전극으로 공급되고,
    상기 화소 전압 인가부의 화소 전극과 상기 태그부의 화소 전극을 연결하는 연결선을 따라 상기 태그부의 화소 전극으로 전달되는 액정 표시 장치의 정전 용량 측정 방법.
  17. 제15항에서,
    상기 공통 전압 인가부에 인가된 전압은 상기 공통 전압 인가부 상면에 위치하는 화소 전극으로 공급되고,
    상기 전압은 상기 화소 전극과 접촉하고 있는 데이터 도전체로 공급되며,
    상기 전압은 다시 데이터 도전체와 접촉하고 있는 상기 공통 전압 인가부의 공통 전극으로 공급되고,
    상기 전압은 상기 공통 전압 인가부의 공통 전극과 상기 태그부의 공통 전극을 연결하는 연결선을 따라 상기 태그부의 공통 전극으로 전달되는 액정 표시 장치의 정전 용량 측정 방법.
  18. 제12항에서,
    상기 정전 용량의 측정은 상기 공통 전압 인가부 및 상기 화소 전압 인가부와 연결된 별도의 측정 장치를 통해 이루어지는 액정 표시 장치의 정전 용량 측정 방법.
  19. 제12항에서,
    상기 태그부는 공통 전극, 화소 전극 및 상기 공통 전극과 상기 화소 전극 사이에 위치하는 보호막을 포함하며,
    상기 태그부의 상기 공통 전극, 상기 화소 전극 및 상기 보호막의 두께는 상기 표시 영역의 공통 전극, 제2 보호막 및 화소 전극의 두께와 동일한 액정 표시 장치의 정전 용량 측정 방법.
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