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KR101998627B1 - 유기 전계 발광소자 및 그의 제조방법 - Google Patents

유기 전계 발광소자 및 그의 제조방법 Download PDF

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KR101998627B1
KR101998627B1 KR1020130008678A KR20130008678A KR101998627B1 KR 101998627 B1 KR101998627 B1 KR 101998627B1 KR 1020130008678 A KR1020130008678 A KR 1020130008678A KR 20130008678 A KR20130008678 A KR 20130008678A KR 101998627 B1 KR101998627 B1 KR 101998627B1
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Abstract

유기 전계 발광소자는 각각이 적색 부화소, 녹색 부화소, 및 청색 부화소를 포함하는 주화소를 포함하고, 상기 각각의 적색, 녹색, 및 청색 부화소는 제1 전극과, 상기 제1 전극에 대향하는 제2 전극과, 상기 제1 전극 및 제2 전극 사이에 위치하는 유기 발광층, 및 상기 제1 전극 및 유기 발광층 사이 또는 상기 유기발광층 또는 제2 전극 사이에 위치하는 제1 보조층 및 제2 보조층을 포함한다.

Description

유기 전계 발광소자 및 그의 제조방법{ORGANIC ELECTROLUMINESCENT DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}
본 발명은 유기 전계 발광소자 및 그의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명은 각각이 적색 부화소, 녹색 부화소, 및 청색 부화소를 포함하는 주화소로 제공되는 유기 전계 발광소자 및 그의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 과제는 미세 금속 마스크로 증착하는 공정을 줄임으로서, 원가 절감 및 가격 경쟁력을 확보하는 것이다.
본 발명은 적색, 녹색, 및 청색 부화소마다 제1 전극과, 유기 발광층, 및 제2 전극을 갖는 유기 전계 발광소자에 관한 것이다. 상기 적색, 녹색, 및 청색 부화소는 하나의 주화소로 이루어진다. 상기 적색 및 녹색 부화소는 상기 제1 전극 및 유기 발광층 사이 또는 유기 발광층 및 제2 전극 사이에 보조층을 포함한다. 또한, 상기 유기 발광층은 적색 부화소의 경우 적색, 녹색, 및 청색 발광층을 포함하고, 녹색 및 청색 부화소의 경우 녹색 및 청색 발광층을 포함한다.
상기 적색 부화소의 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이의 거리를 제1 공진 거리, 상기 녹색 부화소의 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이의 거리를 제2 공진 거리, 상기 청색 부화소의 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이의 거리를 제3 공진 거리라 한다. 상기 제1 보조층의 두께 및 상기 적색, 녹색, 및 청색 발광층의 두께를 조절함으로써 상기 제1, 제2, 및 제3 공진 거리를 조절할 수 있다. 상기 제1, 제2, 및 제3 공진 거리를 조절함에 따라 상기 적색, 녹색, 및 청색 부화소마다 광의 선택적 보강 및 상쇄 간섭이 일어나게 하여, 각 부화소마다 원하는 색상의 광만 방출될 수 있도록 할 수 있다.
본 발명에 따라 미세 금속 마스크로 증착하는 공정을 줄임으로서 증착 수율을 향상시키고, 비용을 절감할 뿐 아니라, 마스크 세정 공정을 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광소자의 단면도,
도 2는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 유기 전계 발광소자의 단면도,
도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 적색 부화소의 단면도,
도 3b는 일반적인 기술의 적색 부화소의 단면도,
도 3c는 본 발명과 종래 기술의 적색 부화소의 스펙트럼,
도 4a는 본 발명의 녹색 부화소의 단면도,
도 4b는 종래 기술의 녹색 부화소의 단면도,
도 4c는 본 발명과 종래 기술의 녹색 부화소의 스펙트럼,
도 5a는 본 발명의 청색 부화소의 단면도,
도 5b는 종래 기술의 청색 부화소의 단면도,
도 5c는 본 발명과 종래 기술의 청색 부화소의 스펙트럼,
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제조 방법의 순서도,
도 7은 기판을 나타낸 평면도,
도 8a 내지 도 8e는 본 발명의 일 실시예에 따라 상기 유기 전계 발광소자를 제조하는 방법을 순차적으로 나타낸 단면도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
이하 설명되는 어떤 광의 파장은 상기 어떤 광의 파장 대역에서의 피크파장을 의미한다. 예를 들어, 적색광, 녹색광, 및 청색광은 각각의 파장 대역에서 피크파장을 의미한다. 즉 상기 적색광은 570nm~650nm의 파장 대역에서 피크파장, 상기 녹색광은 520nm~560nm의 파장대역에서 피크파장, 상기 청색광은 430nm~500nm의 파장대역에서 피크파장을 의미한다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광소자의 단면도이다.
본 발명의 일 실시에에 따른 유기 전계 발광소자는 복수의 주화소(100)들을 포함한다. 상기 주화소(100)들은 실질적으로 동일한 구조를 가지므로, 이하에서는 하나의 주화소(100)에 대해 설명하기로 한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 하나의 주화소(100)는 적색 부화소(101), 녹색 부화소(102), 및 청색 부화소(103)를 포함한다. 또한 각각의 부화소는 제1 전극(1011,1012,1013)과, 제1 전극(1011,1012,1013)에 대향하는 제2 전극(18)과, 상기 제1 전극(1011,1012,1013) 및 상기 제2 전극(18) 사이에 위치하는 유기 발광층(19,20)을 포함하는 적층 구조를 가진다. 상기 유기 발광층(19,20)은 적색, 청색, 및 녹색 발광층(14,15,16)을 더 포함한다. 또한 상기 주화소(100)는 상기 제1 전극(1011,1012,1013)과 상기 유기 발광층(19,20) 사이에 제1 보조층(12) 및 제2 보조층(13)을 더 포함한다. 상기 일 실시예에서는 상기 제1 보조층(12) 및 상기 제2 보조층(13)이 상기 제1 전극(1011,1012,1013)과 상기 유기 발광층(19,20) 사이에 있지만, 경우에 따라 상기 제1 보조층(12) 및 제2 보조층(13) 모두 상기 유기 발광층(19,20) 및 상기 제2 전극 사이(18)에 있을 수 있고, 상기 제1 보조층(12) 및 상기 제2 보조층(13) 둘 중 하나는 상기 제1 전극(1011,1012,1013)과 상기 유기 발광층(19,20) 사이에, 다른 하나는 상기 유기 발광층(19,20)과 상기 제2 전극(18) 사이에 있을 수 있다.
상기 각각의 부화소(101, 102, 103)는 기판(70) 상에 제공될 수도 있으며, 상기 기판(70) 상에는 각각의 부화소의 영역(71, 72, 73)이 구비되어 있다. 상기 기판(70)은 트랜지스터(미도시)를 더 포함할 수도 있다.
상기 제1 전극(1011,1012,1013) 및 상기 제2 전극(18) 둘 중 하나는 애노드이며, 다른 하나는 캐소드일 수 있다. 상기 유기 전계 발광 소자에서 상기 제1 전극 측에서 상기 제2 전극 측으로 연장된 방향을 전면 방향, 상기 제2 전극 측에서 상기 제1 전극 측으로 연장된 방향을 배면 방향이라 했을 때, 상기 유기 전계 발광소자는 전면 발광 또는 배면 발광일 수 있다. 상기 유기 전계 발광소자가 전면 발광이면 제1 전극(1011,1012,1013)은 얇고 광 반사 성질을 띠는 금속 위에 투명한 도전성 금속 산화물이 구비된 형태로 제공될 수 있으며, 상기 제2 전극(18)은 반투과성의 얇은 금속으로 제공될 수 있다. 또한 상기 유기 전계 발광소자가 배면 발광이면 제1 전극(1011,1012,1013)은 얇고 반투명 성질을 띠는 금속 위에 투명한 도전성 금속 산화물이 구비된 형태로 제공될 수 있으며, 제2 전극(18)은 전반사가 가능한 두꺼운 금속으로 형성될 수 있다.
상기 제1 전극(1011,1012,1013)이 제공되면, 상기 제1 보조층(12)이 상기 적색 부화소(101)에, 상기 제2 보조층(13)이 상기 녹색 부화소(102)에, 상기 적색 발광층(14)이 상기 적색 부화소(101)에, 상기 청색 발광층(15)과 상기 녹색 발광층(16)은 상기 적색, 녹색, 및 청색 부화소(101,102,103)에 제공된다. 이 때 상기 적색 발광층(14), 상기 청색 발광층(15), 및 상기 녹색 발광층(16)을 상기 유기 발광층(19,20)이라 한다. 이 때 상기 적색 부화소(101)의 상기 유기 발광층(19)은 상기 적색 발광층(14), 상기 녹색 발광층(16), 및 상기 녹색 발광층(16)을 포함하며, 상기 녹색 및 청색 부화소(102,103)의 상기 유기 발광층(20)은 상기 녹색 발광층(16), 상기 청색 발광층(15)을 포함한다.
상기 유기 발광층(19,20)은 상기 제1 전극(1011,1012,1013) 및 상기 제2 전극(18)에 전압이 인가되었을 때, 정공 및 전자가 이동하고 상기 정공 및 전자가 결합함으로써 발광되는 곳이다. 따라서 상기 유기 전계 발광소자는, 상기 유기 발광층(19,20)의 상기 정공 및 전자의 이동 및 결합 효율을 높이기 위해 추가적으로 도움층(11,17)을 포함하여 제공될 수도 있다. 상기 도움층(11,17)은 제1 전극(1011,1012,1013)과 유기 발광층(19,20) 사이, 그리고 제2 전극(18)과 유기 발광층(19,20) 사이에 위치한다.
또한 상기 도움층(11,17)은 증착순서대로 정공주입층(hole injecting layer; HIL)과 정공수송층(hole transfer layer; HTL)(11), 및 전자수송층(electron transfer layer; ETL)과 전자주입층(electron injecting layer; EIL)(17)을 포함할 수 있다.
상기 적색 부화소(101)의 경우, 상기 정공 주입층과 정공 수송층(11) 위 또는 상기 전자 수송층과 전자 주입층(17)위에, 상기 제1 보조층(12)이 제공된다. 또한 상기 녹색 부화소(102)의 경우, 상기 정공 주입층과 정공 수송층(11) 위 또는 상기 전자 수송층과 전자 주입층(17)위에 상기 제2 보조층(13)이 제공된다. 상기 제1 보조층(12)및 상기 제2 보조층(13)은 후술할 공진 거리를 조절하기 위해서 최적화된 두께로 구비되며, 상기 도움층(11,17)과 유사한 계열의 재료로 구성되거나 다른 유기물로 구성될 수도 있다.
상기 적색 부화소(101)의 상기 제1 보조층(12) 상에는 상기 적색 발광층(14), 상기 청색 발광층(15), 및 상기 녹색 발광층(16)이 순차적으로 구비된다. 또한 상기 녹색 부화소(102)의 상기 제2 보조층(13) 상에는 상기 청색 발광층(15), 및 상기 녹색 발광층(16)이 순차적으로 구비된다. 상기 청색 부화소(103)의 제1 전극(1013) 상에는 상기 청색 발광층(15), 및 상기 녹색 발광층(16)이 순차적으로 구비된다.
이 때 상기 적색 부화소(101), 상기 녹색 부화소(102), 및 청색 부화소(103)는 각각의 상기 제1 전극(1011,1012,1013)과 상기 제2 전극(18)의 거리가 상이하다. 이 때 상기 적색 부화소(101), 상기 녹색 부화소(102), 및 상기 청색 부화소(103)의 공진 거리를 순서대로 제1 공진 거리(191), 제2 공진 거리(192), 및 제3 공진 거리(193)라 한다.
상기 적색 부화소(101)의 상기 제1 전극(1011)과 상기 제2 전극(18)에 전압이 인가되면 상기 적색 부화소(101)의 유기 발광층(19)은 광을 방출한다. 상기 방출된 광은 상기 제1 공진 거리(191)에서 공진되어 상쇄 간섭 또는 보강 간섭되며, 적색 파장이 선택적으로 적색 부화소에서 방출된다.
상기 녹색 부화소(102)의 상기 제1 전극(1012)과 상기 제2 전극(18)에 전압이 인가되면 상기 녹색 부화소(102)의 유기 발광층(20)은 광을 방출한다. 상기 방출된 광은 상기 제2 공진 거리(192)에서 공진되어 상쇄 간섭 또는 보강 간섭되며, 녹색 파장이 선택적으로 녹색 부화소에서 방출된다.
상기 청색 부화소(103)의 상기 제1 전극(1013)과 상기 제2 전극(18)에 전압이 인가되면 상기 청색 부화소(103)의 유기 발광층(20)은 광을 방출한다. 상기 방출된 광은 상기 제3 공진 거리(193)에서 공진되어 상쇄 간섭 또는 보강 간섭되며, 청색 파장이 선택적으로 청색 부화소에서 방출된다.
상기 유기 전계 발광소자가 배면 발광형인 경우, 상기 적색 부화소(101)의 유기 발광층(19)에서 방출된 광 중 하부 방향으로 향하는 광은 상기 제1 전극(1011)에서 일부 투과되고 일부 반사된다. 상기 제1 전극(1011)을 투과한 광은 제2 전극(18)에서 전반사 됨으로써 다시 하부 방향을 향한다. 이에 따라, 상기 광의 상쇄 간섭 또는 보강 간섭이 일어난다.
상기 유기 전계 발광소자가 배면 발광형인 경우, 상기 녹색 부화소(102)의 유기 발광층(20)에서 방출된 광 중 하부 방향으로 향하는 광은 상기 제1 전극(1011)에서 일부 투과되고 일부 반사된다. 상기 제1 전극(1011)을 투과한 광은 제2 전극(18)에서 전반사 됨으로써 다시 하부 방향을 향한다. 이에 따라, 상기 광의 상쇄 간섭 또는 보강 간섭이 일어난다.
상기 유기 전계 발광소자가 배면 발광형인 경우, 상기 청색 부화소(103)의 유기 발광층(20)에서 방출된 광 중 하부 방향으로 향하는 광은 상기 제1 전극(1011)에서 일부 투과되고 일부 반사된다. 상기 제1 전극(1011)을 투과한 광은 제2 전극(18)에서 전반사 됨으로써 다시 하부 방향을 향한다. 이에 따라, 상기 광의 상쇄 간섭 또는 보강 간섭이 일어난다.
상기 공진 거리(
Figure 112013007493236-pat00001
)는 광의 선택적 보강 간섭 및 선택적 상쇄 간섭이 일어날 수 있도록 조절될 수 있다. 상기 공진 거리(
Figure 112013007493236-pat00002
) 내에서 보강 간섭이 일어나는 특정 광의 피크 파장을
Figure 112013007493236-pat00003
라고 할 때, 상기 공진 거리(
Figure 112013007493236-pat00004
)는
Figure 112013007493236-pat00005
/2의
Figure 112013007493236-pat00006
배가 되어야 한다. 상기 피크 파장(
Figure 112013007493236-pat00007
)과 상기 공진 거리(
Figure 112013007493236-pat00008
)와의 관계를 식으로 나타내면 다음의 수학식 1과 같다. 여기서
Figure 112013007493236-pat00009
은 1 이상의 정수이다.
[수학식 1]
Figure 112013007493236-pat00010
상기 공진 거리(
Figure 112013007493236-pat00011
)는 상기 적색, 녹색, 및 청색 부화소(101,102,103)의 해당 유기 발광층(19,20)에서 방출된 광이 보강 간섭 또는 상쇄 간섭될 수 있도록 조절될 수 있다.
본 발명의 상기한 일 실시예에 따르면, 상기 적색, 녹색, 및 청색 부화소(101,102,103)의 구조가 다르므로 상기 제1, 제2, 및 제3 공진 거리(191,192,193)는 상이하다.
상기 적색 부화소(101)의 경우 상기 제1 보조층(12), 상기 적색 발광층(14), 상기 청색 발광층(15), 및 상기 녹색 발광층(16)을 포함함에 따라 상기 제1 공진 거리(191)를 갖는다. 상기 각 공진 거리의 두께를 조절하면 상기 제1 공진 거리(191)를 조절할 수 있고, 선택된 제1 공진 거리(191)에 따라 제1 전극(1011) 및 제2 전극(18)에 전압이 인가되면 상기 적색 발광층(14)이 방출하는 파장(
Figure 112013007493236-pat00012
만 보강 간섭되고, 상기 청색 발광층(15)이 방출하는 파장(
Figure 112013007493236-pat00013
및 상기 녹색 발광층(16)이 방출하는 파장(
Figure 112013007493236-pat00014
은 상쇄 간섭될 수 있다. 상기 제1 공진 거리(191)는
Figure 112013007493236-pat00015
,
Figure 112013007493236-pat00016
, 및
Figure 112013007493236-pat00017
을 만족시킨다. (여기서
Figure 112013007493236-pat00018
은 적색광의 파장,
Figure 112013007493236-pat00019
는 녹색광의 파장,
Figure 112013007493236-pat00020
는 청색광의 파장이며,
Figure 112013007493236-pat00021
과
Figure 112013007493236-pat00022
및
Figure 112013007493236-pat00023
은 각각 1 이상의 정수이다.) 따라서 상기 적색 부화소(101)에서 적색의 빛이 방출될 수 있다.
상기 녹색 부화소(102)의 경우 상기 제2 보조층(13), 상기 청색 발광층(15), 및 상기 녹색 발광층(16)을 포함함에 따라 상기 제2 공진 거리(192)를 갖는다. 상기 각 층의 두께를 조절하면 제2 공진 거리(192)를 조절할 수 있고, 선택된 제2 공진 거리(192)에 따라 제1 전극(1012) 및 제2 전극(18)에 전압이 인가되면 상기 녹색 발광층(16)이 방출하는 파장(
Figure 112013007493236-pat00024
만 보강 간섭되고, 상기 청색 발광층(15)이 방출하는 파장(
Figure 112013007493236-pat00025
은 상쇄 간섭될 수 있다. 상기 제2 공진 거리(192)는
Figure 112013007493236-pat00026
, 및
Figure 112013007493236-pat00027
을 만족시킨다. 따라서 상기 녹색 부화소(102)에서는 녹색의 빛이 방출될 수 있다.
상기 청색 부화소(103)의 경우 상기 청색 발광층(15) 및 상기 녹색 발광층(16)을 포함함에 따라 상기 제3 공진 거리(193)를 갖는다. 상기 각 층의 두께를 조절하면 제3 공진 거리(193)를 조절할 수 있고, 선택된 제3 공진 거리(193)에 따라 제1 전극(1013) 및 제2 전극(18)에 전압이 인가되면 상기 청색 발광층(15)이 방출하는 파장(
Figure 112013007493236-pat00028
만 보강 간섭되고, 상기 녹색 발광층(16)이 방출하는 파장(
Figure 112013007493236-pat00029
은 상쇄 간섭될 수 있다. 상기 제3 공진 거리(193)는
Figure 112013007493236-pat00030
, 및
Figure 112013007493236-pat00031
을 만족시킨다. 따라서 상기 청색 부화소(103)에서는 청색의 빛이 방출될 수 있다.
후술할 방법발명에서, 상기 청색 발광층(15) 및 녹색 발광층(16)은 상기 적색 부화소(101), 상기 녹색 부화소(102), 및 상기 청색 부화소(103)에 한꺼번에 형성된다. 상기 청색 발광층(15) 및 상기 녹색 발광층(16)은 한꺼번에 두께가 조절될 수 있다. 따라서 상기한 시예1의 설명에서, 유기 발광층(20) 두께를 조절 시 상기 제1 보조층(12) 및 상기 제2 보조층(13)은 따로 두께를 조절하되, 상기 청색(15) 및 녹색 발광층(16)은 한꺼번에 두께를 조절함을 감안해야 할 것이다.
상기 제1, 제2, 및 제3 공진 거리(191,192,193)를 조절하기 위해 상기 청색 발광층(15) 및 상기 녹색 발광층(16) 구비시, 상기 청색 발광층(15)이 아래에, 상기 녹색 발광층(16)이 위에 제공되거나 상기 녹색 발광층(16)이 아래에, 상기 청색 발광층(15)이 위에 제공될 수 있다.
도 2는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 유기 전계 발광소자를 나타낸 단면도이다. 이하, 상기 다른 일 실시예에서 특별히 설명하지 않은 부분은 상기 일 실시예에 따른다.
도 2를 참조하면, 상기 보조층(22)이 일체로 제공되어 상기 적색 부화소(201) 및 상기 녹색 부화소(202)에 구비되어 있다. 따라서 상기 일 실시예 및 다른 일 실시예는 상기 청색 발광층(15,25) 및 상기 녹색 발광층(16,26)을 한꺼번에 증착하며, 상기 제1 공진 거리(191,291), 상기 제2 공진 거리(192,292), 및 상기 제3 공진 거리(193,293)를 조절하여 적색, 녹색, 및 청색의 빛을 방출시킨다. 이에 따른 컬러 재현은 일 실시예를 따라, 도 3a 내지 도 3c, 도 4a 내지 도 4c, 및 도 5a 내지 도 5c를 참조하여 설명하고자 한다.
도 3a는 본 발명의 적색 부화소(101)의 단면도, 도 3b는 종래 기술의 적색 부화소(301)의 단면도, 도 3c는 본 발명에 따른 상기 적색 부화소(101)의 스펙트럼(RF)과 일반적인 기술의 적색 부화소의 스펙트럼(RR)을 나타낸 것이다. 도 3c의 x축은 파장(nm), y축은 정규화된 빛의 세기값이다. 도 3a는 제1 보조층(12)과 적색 발광층(14), 청색 발광층(15), 녹색 발광층(16)을 순차적으로 구비한 것이고, 도 3b는 청색 발광층(314)만을 유기 발광층에 구비하였다. 도 3c를 보면, 상기 본 발명에 따른 적색 부화소(101)의 스펙트럼(RF)과 상기 일반적인 기술의 적색 부화소의 스펙트럼(RR)의 피크 파장에 큰 차이가 나지 않는다. 이것으로 보아, 본 발명의 유기 전계 발광소자의 적색 재현율과 종래 기술의 적색 재현율이 유사함을 볼 수 있다.
도 4a는 본 발명의 녹색 부화소(GF)의 단면도, 도 4b는 종래 기술의 녹색 부화소(GR)의 단면도, 도 4c는 본 발명에 따른 상기 녹색 부화소(102)의 스펙트럼(GF)과 일반적인 기술의 적색 부화소의 스펙트럼(GR)을 나타낸 것이다. 도 4c의 x축은 파장(nm), y축은 정규화된 빛의 세기값이다. 도 4a는 제2 보조층(13)과 청색 발광층(15), 녹색 발광층(16)을 순차적으로 구비한 것이고, 도 4b는 녹색 발광층(16)만을 유기 발광층에 구비하였다. 도 4c를 보면, 상기 본 발명에 따른 녹색 부화소(102)의 스펙트럼(GF)과 상기 일반적인 기술의 녹색 부화소의 스펙트럼(GR)의 피크파장에 큰 차이가 나지 않는다. 이것으로 보아, 본 발명의 유기 전계 발광소자의 녹색 재현율과 종래 기술의 녹색 재현율이 유사함을 볼 수 있다.
도 5a는 본 발명의 청색 부화소(103)의 단면도, 도 5b는 종래 기술의 청색 부화소(501)의 단면도, 도 5c는 본 발명(BF)과 종래 기술의 청색 부화소(BR)의 스펙트럼이다. 도 5c의 x축은 파장(nm), y축은 정규화된 빛의 세기값이다. 도 5a는 청색 발광층(15), 녹색 발광층(16)을 순차적으로 구비한 것이고, 도 5b는 청색 발광층(514)만을 유기 발광층에 구비하였다. 도 5c를 보면, 상기 본 발명에 따른 청색 부화소(103)의 스펙트럼(BF)과 상기 일반적인 기술의 청색 부화소의 스펙트럼(BR)의 피크파장에 큰 차이가 나지 않는다. 이것으로 보아, 본 발명의 유기 전계 발광소자의 청색 재현율과 종래 기술의 청색 재현율이 유사함을 볼 수 있다.
따라서, 상기 유기 전계 발광소자를 포함하는 표시 장치는 상기 적색 부화소(101), 녹색 부화소(102), 청색 부화소(103)를 포함하는 다수의 주화소(100)를 통해 시청자에게 풀 컬러의 영상을 제공하는 것이 가능하다.
이하 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광소자의 제조방법을 설명한다. 하기와 같이 설명함에 있어서, 앞서 설명된 구성요소들에 대해서는 도면 부호를 병기하고, 상기 구성요소들에 대한 중복된 설명은 생략된다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광소자의 제조 방법을 나타낸 순서도이다.
도 6 및 도 1을 참조하면, 먼저 각 부화소의 영역이 표시된 기판(70)이 준비(601)된다. 그 후, 상기 기판(70) 상에 상기 제1 전극(1011)이 형성(602)되면, 상기 적색 부화소(101)에 상기 제1 보조층(12)이 형성(603)된다. 그 후, 상기 녹색 부화소(102)에 상기 제2 보조층(604)이 형성(604)되면, 상기 적색 부화소(101)에 상기 적색 발광층(14)이 형성(605)된다. 그 후, 상기 적색, 녹색, 및 청색 부화소(101,102,103)에 상기 청색 발광층(15)이 형성(606)된 후, 상기 녹색 발광층(16)이 형성된다. 그리고 상기 제2 전극(18)이 형성(608)된다. 경우에 따라서 상기 유기 발광층(19,20)의 정공 및 전자의 수송율 및 재결합율을 높이기 위해 상기 제1 전극(1011,1012,1013)과 상기 유기 발광층(19,20)사이, 및 상기 제2 전극(18)과 상기 유기 발광층(19,20)사이에 도움층(11,17)을 형성할 수도 있다.
상기 유기 발광층(19,20)이 형성(603)되고, 그 후 상기 제2 전극(18)이 형성(604)된다.
도 7은 상기 기판에 각 부화소의 영역이 표시된 것을 나타낸 평면도이다.
도 7 및 도 1을 참조하면, 상기 기판(70)은 다수의 주화소(100) 영역을 갖는다. 각 주화소(100) 영역은 적색 부화소 영역(71), 녹색 부화소 영역(72), 및 청색 부화소 영역(73)을 포함한다. 후술될 상기 유기 전계 발광소자의 제조 공정들이 진행되면, 각각의 부화소 영역(71,72,73)들과 일대일 대응하여 배치되는 상기 적색 부화소(101), 상기 녹색 부화소(102), 및 상기 청색 부화소(103)가 형성된다. 상기 기판(70)은 얇은 금속이나 반도체, 얇은 금속막, 절연성 물질, 유리, 석영, 또는 플라스틱으로 이루어질 수도 있으며, 플렉서블할 수도 있다. 상기 기판(70)에는 다수의 트랜지스터들(미도시)이 제공될 수 있다. 상기 적색 부화소(101), 녹색 부화소(102), 및 청색 부화소(103)들의 제1 전극(1011,1012,1013)들과 대응하여 전기적으로 연결되는 트랜지스터들은 상기 적색 부화소(101), 녹색 부화소(102), 및 청색 부화소(103)들의 제1 전극들(1011,1012,1013) 측으로 제공되는 구동 신호를 스위칭 할 수 있다.
또한, 상기 다수의 트랜지스터들 각각은 게이트 전극(미도시), 소오스 전극(미도시), 액티브 패턴(미도시), 및 드레인 전극(미도시)을 포함할 수 있다. 따라서, 상기 기판(70) 위에는 상기 게이트 전극을 인접한 다른 도전 패턴(미도시)과 연결시키는 게이트 절연막(미도시), 그리고, 상기 소오스 및 드레인 전극들을 다른 도전패턴과 절연시키는 층간 절연막(미도시)이 더 제공될 수 있다.
도 8a 내지 도 8e는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광소자의 제조방법을 나타낸 단면도이다.
도 8a는 상기 기판(70)의 각각의 적색, 녹색, 및 청색의 부화소 영역(101,102,103)에 상기 제1 전극(1011,1012,1013)이 형성된 것을 나타낸 단면도이다.
상기 제1 전극(1011,1012,1013)은 트랜지스터와 연결되어 스위칭 되는 신호를 받기 때문에 각각의 상기 적색 부화소(101), 상기 녹색 부화소(102), 및 상기 청색 부화소(103)마다 이격되어 형성된다.
또한 상기 제1 전극(1011,1012,1013) 및 후술할 상기 제2 전극(18) 둘 중 하나는 애노드이며, 다른 하나는 캐소드일 수 있다. 정공 및 전자의 주입 효율을 높이기 위해 상기 애노드는 일함수가 큰 금속을, 상기 캐소드는 일함수가 작은 금속을 배치하는 것이 바람직하다. 상기 애노드에 쓰이는 금속으로는 산화 인듐 주석(Indium Tin Oxide; ITO), 산화 인듐 아연(Indium Zinc Oxide; IZO), 산화 아연 알루미늄(Aluminum zinc-oxide; AZO), 갈륨 도핑된 산화 아연(Gallium doped zinc oxide; GZO), 산화 아연 주석(Zinc tin oxide; ZTO), 산화 갈륨 주석(Gallium tin oxide; GTO), 및 플루오린 도핑된 산화 주석(Fluorine doped tin oxide; FTO) 중 어느 하나의 투명한 도전성 금속 산화물을 포함한다. 상기 애노드 및 캐소드에 사용되는 금속의 두께는 상기 유기 전계 발광소자가 전면 발광 또는 배면 발광인지, 및 상기 제1 전극(1011,1012,1013) 및 상기 제2 전극(18)이 애노드인지 캐소드인지 여부에 따라 달라진다.
상기 제1 전극(1011,1012,1013)이 상기 애노드이고, 전면 발광인 경우에는 상기 애노드는 얇고 광 반사 성질을 띠는 금속 위에 상기 ITO, 상기 IZO, 상기 AZO, 상기 GZO, 상기 ZTO, 상기 GTO 및 상기 FTO 중 어느 하나의 투명한 도전성 금속 산화물이 구비된 형태로 형성될 수 있다. 이 때 상기 제2 전극(18)은 상기 캐소드가 되며, 상기 캐소드는 반투과성의 얇은 금속으로 형성될 수 있다. 상기 금속은, 일함수가 작은 금속, 예를 들면, Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr, Li, Ca 및 이들의 합금 중 적어도 하나를 포함하며, 금속 박막일 수 있다. 얇은 두께의 금속은 광의 일부를 투과하고 일부는 반사시킬 수 있다. 상기 제2 전극(18)의 재료로는 광의 일부는 반사시키고 일부는 투과시킬 수 있는 물질이라면 특별히 한정되는 것은 아니다.
상기 제1 전극(1011,1012,1013)이 상기 애노드이고, 배면 발광인 경우에는 상기 애노드는 얇고 반투명 성질을 띠는 금속 위에 상기 ITO, 상기 IZO, 상기 AZO, 상기 GZO, 상기 ZTO, 상기 GTO 및 상기 FTO 중 어느 하나의 투명한 도전성 금속 산화물이 구비된 형태로 형성될 수 있다. 이 때 상기 제2 전극(18)은 상기 캐소드가 되며, 상기 캐소드는 전반사가 가능한 두꺼운 금속으로 형성될 수 있다. 상기 금속은, 예를 들면 크롬(Cr), 은(Ag), 알루미늄(Al), 마그네슘(Mg), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 구리(Cu), 탄탈륨(Ta), 백금(Pt), 텅스텐(W) 또는 이들의 합금 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
상기 제1 전극(1011,1012,1013)이 형성되면, 상기 제1 보조층(12) 및 제2 보조층(13)이 형성된 후, 유기 발광층(19,20)이 형성된다. 본 발명에 따르면 상기 유기 발광층(19,20)은 상기 적색 발광층(14), 상기 청색 발광층(15), 및 상기 녹색 발광층(16)을 포함한다. 상기 제1 보조층(12) 및 상기 적색 발광층(14)은 상기 적색 부화소(101)에 제공되며, 상기 제2 보조층(13)은 상기 녹색 부화소(102)에 제공되고, 상기 청색 발광층(15) 및 상기 녹색 발광층(16)은 각각 상기 적색 부화소(101), 상기 녹색 부화소(102), 및 상기 청색 부화소(103)에 모두 제공된다.
상기 유기 발광 물질로는 폴리플루오렌(polyfluorene) 유도체, (폴리)파라페닐렌비닐렌((poly)paraphenylenevinylene) 유도체, 폴리페닐렌(polyphenylene) 유도체, 폴리비닐카바졸(polyvinylcarbazole) 유도체, 폴리티오펜(polythiophene) 유도체, 안트라센(anthracene) 유도체, 부타디엔(butadiene) 유도체, 테트라센(tetracene) 유도체, 디스티릴아릴렌(distyrylarylene) 유도체, 벤자졸(benzazole) 유도체 또는 카바졸(carbazole) 유도체를 포함할 수 있다.
상기 유기 전계 발광소자는 상기 유기 발광층(19,20)을 포함하여 제공될 수도 있고, 상기 유기 발광층(19,20)의 효율을 높이기 위해 추가적으로 제1 전극(1011,1012,1013)과 유기 발광층(19,20) 사이, 그리고 제2 전극(18)과 유기 발광층(19,20) 사이에 도움층(11,17)을 더 포함하여 형성될 수도 있다. 상기 도움층(11,17)은 증착순서대로 정공주입층(hole injecting layer; HIL)과 정공수송층(hole transfer layer; HTL)(11), 및 전자수송층(electron transfer layer; ETL)과 전자주입층(electron injecting layer; EIL)(17)을 포함할 수 있다.
상기 제1 전극(1011,1012,1013)이 애노드이고 상기 제2 전극(18)이 캐소드로 사용될 경우, 상기 제1 전극(1011,1012,1013)에 인접한 상기 정공 주입층과 정공 수송층(11)은 제1 전극의(1011,1012,1013) 일함수와 유기 발광 재료의 HOMO(highest occupied molecular orbital) 준위 사이의 HOMO 준위를 가지는 물질로 형성될 수 있다. 상기 제2 전극(18)에 인접한 상기 전자 수송층과 전자 주입층(17)은 제2 전극(18)의 일 함수와 유기 발광 재료의 LUMO(lowest unoccupied molecular orbital) 준위 사이의 LUMO 준위를 가지는 물질로 형성될 수 있다.
상기 정공 주입층과 정공 수송층(11)으로 사용될 수 있는 물질은 다이아민류, MTDATA([4,4',4"-tris(3-methylphenyl)phenylamino]triphenylamine), TPD(N,N'-diphenyl-N,N'-di(3-methylphenyl)-1,1'-biphenyl-4,4'-diamine), 1,1-비스(4-디-p-톨릴아미노페닐)시클로헥산(1,1-bis(4-dip-tolylaminophenyl)cyclohexane), ,N,N',N'-테트라(2-나프틸)-4,4-디아미노-p-터페닐(N,N,N',N'-tetra(2-naphthyl)-4,4-diamino-p-terphenyl), 4,4',4-트리스[(3-메틸페닐)페닐아미노]트리페닐아민(4,4',4-tris[(3-methylphenyl)phenylamino]triphenylamine), 폴리피롤(polypyrrole), 폴리아닐린(polyaniline), 또는 폴리에틸렌디옥시티오펜과 폴리스티렌술폰산의 혼합물(poly-(3,4-ethylenedioxythiophene: polystyrenesulfonate, PEDOT:PSS)을 포함할 수 있다. 상기 전자 수송층과 전자 주입층(17)으로 사용될 수 있는 물질은 알칼리 금속, 알칼리 토금속 또는 그들의 산화물을 포함할 수 있다. 상기 전자 수송층과 전자 주입층(17)으로 사용될 수 있는 물질은 트리스(8-퀴놀리네이트)알루미늄 유도체, o-, m-, 또는 p-페난트롤린 유도체, 옥사디아졸 유도체, 또는 트리아졸 유도체를 포함할 수 있다.
상기 정공 주입층과 정공 수송층(11), 및 상기 전자 수송층과 전자 주입층(17)은 각 부화소(101,102,103)마다 이격되어 형성되기 보다는 공통층으로 형성될 수 있다.
도 8b는 기판(70), 제1 전극(1011,1012,1013), 제1 보조층(12), 및 제2 보조층(13)이 형성된 상기 주화소(100)를 나타낸 단면도이다.
상기 정공 주입층과 정공 수송층(11)이 형성된 후, 상기 제1 보조층(12) 또는 상기 제2 보조층(13)이 형성된다. 먼저 상기 제1 보조층(12)이 상기 적색 부화소(101)에 형성된 후, 상기 제2 보조층(13)이 상기 녹색 부화소(102)에 형성된다. 상기 제1 보조층(12) 및 상기 제2 보조층(13)은 제1 마스크 및 제2 마스크를 이용하여 증착(Evaporation)될 수 있으며, 각각 다른 두께로 형성될 수 있다. 상기 제1 마스크 및 상기 제2 마스크는 미세 금속 마스크(Fine metal mask; FMM)로서, 각각 상기 적색 부화소(101) 및 상기 녹색 부화소(102)에 상기 제1 보조층(12) 및 상기 제2 보조층(13)이 증착될 수 있도록 정교하게 패터닝 된 것이다.
상기 제1 보조층(12) 및 상기 제2 보조층(13)을 형성하는 과정은 다음과 같다. 먼저 진공챔버 안에서 상기 제1 마스크를 상기 제1 전극(1011,1012,1013)에 배치한다. 특히, 상기 적색 부화소(101), 상기 녹색 부화소(102), 및 청색 부화소(103) 중에서 상기 적색 부화소(101) 영역에 상기 제1 보조층(12)이 증착되도록 상기 제1 마스크를 배치한다. 그 후 상기 제1 전극(1011,1012,1013) 상에 상기 제1 보조층(12)을 증착하고, 증착이 되면 상기 제1 마스크를 제거하고 제1 보조층(12)을 노출시킨다. 그 후, 상기 적색 부화소(101), 상기 녹색 부화소(102), 및 상기 청색 부화소(103) 중에서 상기 녹색 부화소(102) 영역에 상기 제2 보조층(13)이 증착되도록 상기 제2 마스크를 상기 제1 전극(1011,1012,1013)에 배치하고, 제2 보조층(13)을 증착한다. 그 후 상기 제2 마스크를 제거하고 제2 보조층(13)을 노출시킨다.
도 8c는 기판(70), 제1 전극(1011,1012,1013), 제1 보조층(12), 제2 보조층(13), 및 적색 발광층(14)이 형성된 상기 주화소(100)의 단면도이다.
상기 제1 보조층(12) 및 상기 제2 보조층(13)이 형성되면, 상기 적색 부화소(101), 상기 녹색 부화소(102), 및 상기 청색 부화소(103) 중에서 상기 적색 부화소(101) 영역에 상기 적색 발광층(14)을 증착한다. 이 때 상기 적색 발광층(14)을 형성하기 위해 정교하게 패터닝된 제3 마스크를 이용한다. 상기 제3 마스크는 상기 미세 금속 마스크이다. 상기 제3 마스크를 상기 제1 전극(1011,1012,1013)에 배치하고, 상기 제1 전극(1011,1012,1013) 상에 상기 적색 발광층(14)을 증착한 후에, 증착이 되면 상기 제3 마스크를 제거하고 상기 적색 발광층(14)을 노출시킨다.
도 8d는 기판(70), 제1 전극(1011,1012,1013), 제1 보조층(12), 제2 보조층(13), 적색 발광층(14), 청색 발광층(15), 및 녹색 발광층(16)이 형성된 상기 주화소(100)의 단면도이다.
상기 적색 발광층(14)이 형성되면, 오픈 마스크를 이용해 상기 적색 부화소(101), 상기 녹색 부화소(102), 및 상기 청색 부화소(103)에 상기 청색 발광층(15)이 형성된 후 상기 녹색 발광층(16)이 형성된다. 또는 상기 녹색 발광층(16)이 형성된 후 상기 청색 발광층(15)이 형성될 수 있다. 상기 청색(15) 및 녹색 발광층(16)이 형성될 때는 상기 제1 보조층(12), 상기 제2 보조층(13), 및 상기 적색 발광층(14)과는 달리, 미세 금속 마스크를 사용하지 않고 오픈 마스크를 사용하여 상기 적색 부화소(101), 상기 녹색 부화소(102), 및 상기 청색 부화소(103)의 전 영역에 공통층으로 상기 청색 발광층(15) 및 상기 녹색 발광층(16)이 형성된다.
도 8e는 기판(70), 제1 전극(1011,1012,1013), 제1 보조층(12), 제2 보조층(13), 적색 발광층(14), 청색 발광층(15), 녹색 발광층(16), 및 제2 기판(18)이 형성된 상기 주화소(100)의 단면도이다.
상기 청색(15) 및 녹색 발광층(16)이 형성되면, 상기 청색(15) 및 녹색 발광층(16) 위에 상기 전자 수송층과 전자 주입층(17)이 형성된 후, 상기 제2 전극(18)이 형성될 수도 있다. 또는 상기 청색 발광층(15) 및 상기 녹색 발광층(16) 위에 상기 제2 전극(18)이 형성될 수도 있다. 이 때 상기 제2 전극(18)은 공통층으로 형성된다.
상기한 일 실시예의 제조 방법에 따를 경우, 상기 제1, 제2, 및 제3의 세 개의 미세 금속 마스크를 이용하여 증착이 가능하다. 기존에는 제1 보조층(12), 제2 보조층(13), 적색 발광층(14), 녹색 발광층(15), 및 청색 발광층(16)을 각각 다른 미세 금속 마스크를 이용하여 증착하였으므로 총 5개의 미세 금속 마스크가 필요하였다. 그러나, 미세 금속 마스크의 수가 늘어날수록 증착 수율이 떨어질 뿐만 아니라 비용이 많이 들고, 일정시간이 경과하면 미세 금속 마스크를 세정해야 하는 단점이 있었다. 따라서 본 발명에 따라 미세 금속 마스크 수를 줄이면, 양산 수율을 높이고 비용을 절감할 수 있으며 공정시간을 단축시킬 수 있다는 장점이 있다.
또한 본 발명의 다른 일 실시예에 따라 일체화된 보조층(22)을 사용하여 상기 유기 전계 발광소자를 제작할 경우, 2개의 미세 금속 마스크를 사용할 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술 분야에 통상의 지식을 갖는 자라면, 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
11: 정공 주입층과 정공 수송층 12: 제1 보조층
13: 제2 보조층 14: 적색 발광층
15: 청색 발광층 16: 녹색 발광층
17: 전자 수송층과 전자 주입층 18: 제2 전극
22: 일체화된 보조층 70: 기판
71: 적색 부화소 영역 72: 녹색 부화소 영역
73: 청색 부화소 영역 100: 주화소
101: 적색 부화소 102: 녹색 부화소
103: 청색 부화소 191: 제1 공진 거리
192: 제2 공진 거리 193: 제3 공진 거리
1011,1012,1013: 제1 전극

Claims (24)

  1. 각각이 적색 부화소, 녹색 부화소, 및 청색 부화소를 포함하는 주화소들이 포함되고,
    적색, 녹색, 및 청색 부화소들의 각각은,
    제1 전극;
    상기 제1 전극에 대향하는 제2 전극; 및
    상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 배치되며, 청색 발광층과 녹색 발광층을 포함하는 유기 발광층을 포함하고,
    상기 제1 전극과 상기 제2 전극 중 하나는 반투명 재료를 포함하고, 나머지 하나는 광 반사 재료를 포함하며, 상기 적색, 녹색, 및 청색 부화소들은 서로 다른 공진 거리를 갖되,
    상기 적색 부화소에 있어서, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이의 상기 공진 거리는
    Figure 112019050861262-pat00064
    ,
    Figure 112019050861262-pat00065
    , 및
    Figure 112019050861262-pat00066
    (단, 여기서
    Figure 112019050861262-pat00067
    은 적색광의 파장,
    Figure 112019050861262-pat00068
    는 녹색광의 파장,
    Figure 112019050861262-pat00069
    는 청색광의 파장이며,
    Figure 112019050861262-pat00070
    과
    Figure 112019050861262-pat00071
    및
    Figure 112019050861262-pat00072
    은 1 이상의 정수이다)을 만족시키는 유기 전계 발광소자.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 적색 부화소의 상기 유기 발광층은 적색 발광층을 더 포함하는 유기 전계 발광소자.
  3. 삭제
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 녹색 부화소의 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이의 상기 공진 거리는
    Figure 112019050861262-pat00041
    ,
    Figure 112019050861262-pat00042
    및
    Figure 112019050861262-pat00043
    을 만족시키는 것을 포함하는 유기 전계 발광소자.
  5. 제 2항에 있어서,
    상기 청색 부화소의 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이의 상기 공진 거리는
    Figure 112019050861262-pat00044
    , 및
    Figure 112019050861262-pat00045
    을 만족시키는 것을 포함하는 유기 전계 발광소자.
  6. 제 2항에 있어서,
    상기 녹색 부화소의 상기 공진 거리는 상기 청색 부화소의 상기 공진 거리보다 크고, 상기 적색 부화소에 있어서의 공진 거리보다 작은 유기 전계 발광소자.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 적색 부화소는 상기 유기 발광층과 상기 제1 전극 사이 또는 상기 유기 발광층과 상기 제2 전극 사이에 제공된 제1 보조층을 더 포함하고,
    상기 녹색 부화소는 상기 유기 발광층과 상기 제1 전극 사이 또는 상기 유기 발광층과 상기 제2 전극 사이에 제공된 제2 보조층을 더 포함하는 유기 전계 발광소자.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 제1 보조층과 상기 제2 보조층은 분리되지 않은 일체로 제공된 것을 더 포함할 수 있는 유기 전계 발광소자.
  9. 제 7항에 있어서,
    상기 제1 보조층은 상기 제2 보조층과 상이한 두께를 갖는 유기 전계 발광소자.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 각 부화소는 상기 유기 발광층과 상기 제1 전극 사이에 정공주입층 및 정공수송층을 더 포함하고, 상기 유기 발광층과 상기 제2 전극 사이에 전자수송층 및 전자주입층을 더 포함하는 유기 전계 발광소자.
  11. 적색, 녹색, 및 청색 부화소 영역들을 갖는 기판을 준비하는 단계;
    상기 부화소 영역들에 각각 제1 전극을 형성하는 단계;
    상기 각 부화소 영역의 상기 제1 전극 상에 청색 발광층과 녹색 발광층을 포함하는 유기 발광층을 형성하는 단계; 및
    상기 각 부화소 영역의 상기 유기 발광층 상에 제2 전극을 형성하는 단계를 포함하며,
    상기 제1 전극과 상기 제2 전극 중 어느 하나는 반투명 재료를 포함하고, 나머지 하나는 광 반사 재료를 포함하되,
    상기 적색 부화소 영역의 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이의 공진 거리는
    Figure 112019050861262-pat00073
    ,
    Figure 112019050861262-pat00074
    , 및
    Figure 112019050861262-pat00075
    (단, 여기서
    Figure 112019050861262-pat00076
    은 적색광의 파장,
    Figure 112019050861262-pat00077
    는 녹색광의 파장,
    Figure 112019050861262-pat00078
    는 청색광의 파장이며,
    Figure 112019050861262-pat00079
    과
    Figure 112019050861262-pat00080
    및
    Figure 112019050861262-pat00081
    은 1 이상의 정수이다)을 만족시키는 유기 전계 발광소자의 제조 방법.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 적색 부화소 영역의 상기 유기 발광층은 적색 발광층을 더 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광소자의 제조 방법.
  13. 제 12항에 있어서,
    상기 적색 부화소 영역의 상기 유기 발광층과 상기 제1 전극 사이 또는 상기 유기 발광층과 상기 제2 전극 사이에 제1 보조층을 더 포함하여 형성하고,
    상기 녹색 부화소 영역의 상기 유기 발광층과 상기 제1 전극 사이 또는 상기 유기 발광층과 상기 제2 전극 사이에 제2 보조층을 더 포함하여 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광소자의 제조 방법.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 제1 보조층과 상기 제2 보조층은 분리되지 않은 일체로 형성되는 것을 더 포함할 수 있는 유기 전계 발광소자의 제조 방법.
  15. 제 13항에 있어서,
    상기 제1 보조층은 상기 제2 보조층과 상이한 두께로 형성되는 유기 전계 발광소자의 제조 방법.
  16. 제 13항에 있어서,
    상기 제1 보조층을 형성하는 단계는,
    제1 마스크를 상기 적색, 녹색, 및 청색 부화소 영역들의 상기 제1 전극들 상에 배치하는 단계;
    상기 제1 마스크를 이용하여 상기 적색 부화소 영역의 상기 제1 전극에 제1 보조층을 증착하는 단계; 및
    상기 제1 마스크를 제거하고 제1 보조층을 노출시키는 단계를 포함하는 유기 전계 발광소자의 제조 방법.
  17. 제 16항에 있어서,
    상기 제1 마스크는 미세금속마스크(Fine Metal Mask, FMM)인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광소자의 제조 방법.
  18. 제 16항에 있어서,
    상기 제2 보조층을 형성하는 단계는,
    제2 마스크를 상기 적색, 녹색, 및 청색 부화소 영역들의 상기 제1 전극들 상에 배치하는 단계;
    상기 제2 마스크를 이용하여 상기 녹색 부화소 영역의 상기 제1 전극에 상기 제2 보조층을 증착하는 단계; 및
    상기 제2 마스크를 제거하고 상기 제2 보조층을 노출시키는 단계를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광소자의 제조 방법.
  19. 제 18항에 있어서,
    상기 제2 마스크는 미세금속마스크인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광소자의 제조 방법.
  20. 제 19항에 있어서,
    상기 적색 발광층을 형성하는 단계는,
    제3 마스크를 상기 적색, 녹색, 및 청색 부화소 영역들의 상기 제1 전극들 상에 배치하는 단계;
    상기 제3 마스크를 이용하여 상기 적색 부화소 영역의 상기 제1 전극에 상기 적색 발광층을 증착하는 단계; 및
    상기 제3 마스크를 제거하고 상기 적색 발광층을 노출시키는 단계를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광소자의 제조 방법.
  21. 제 20항에 있어서,
    상기 제3 마스크는 미세금속마스크인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광소자의 제조 방법.
  22. 제 21항에 있어서,
    상기 청색 발광층을 형성하는 단계는,
    오픈 마스크를 상기 제1 전극에 배치하는 단계;
    상기 제1 전극에 상기 청색 발광층을 증착하는 단계; 및
    상기 오픈 마스크를 제거하고 상기 청색 발광층을 노출시키는 단계를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광소자의 제조 방법.
  23. 제 22항에 있어서,
    상기 녹색 발광층을 형성하는 단계는,
    오픈 마스크를 상기 제1 전극에 배치하는 단계;
    상기 제1 전극에 상기 녹색 발광층을 증착하는 단계; 및
    상기 오픈 마스크를 제거하고 상기 녹색 발광층을 노출시키는 단계를 포함하여 형성되는 것을 특징을 하는 유기 전계 발광소자의 제조 방법.
  24. 제 23항에 있어서,
    상기 청색 발광층 및 상기 녹색 발광층 중 어느 하나를 형성한 후에 다른 하나를 형성하는 유기 전계 발광소자의 제조 방법.
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