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KR101775257B1 - 유체 제어 장치 및 유체 제어 장치에의 서멀 센서 설치 구조 - Google Patents

유체 제어 장치 및 유체 제어 장치에의 서멀 센서 설치 구조 Download PDF

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KR101775257B1
KR101775257B1 KR1020157022600A KR20157022600A KR101775257B1 KR 101775257 B1 KR101775257 B1 KR 101775257B1 KR 1020157022600 A KR1020157022600 A KR 1020157022600A KR 20157022600 A KR20157022600 A KR 20157022600A KR 101775257 B1 KR101775257 B1 KR 101775257B1
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KR
South Korea
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control device
fluid control
thermal sensor
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fluid
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준 요코타
다카히로 요시다
타잉 뚱 응엔
다카히로 마츠다
Original Assignee
가부시키가이샤 후지킨
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Abstract

본 발명은 유체 제어 장치에 있는 스페이스를 효과적으로 사용하고, 간단한 시공으로 온도 관리를 위한 서멀 센서를 설치할 수 있는 유체 제어 장치 및 유체 제어 장치에의 서멀 센서 설치 구조를 제공한다.
유체 제어 장치(1)는, 서로 인접하는 제1 유체 제어 기기(3) 및 제2 유체 제어 기기(4)와, 제1 유체 제어 기기(3) 내를 흐르는 유체의 온도를 측정하는 서멀 센서(17)를 구비하고 있다. 유체 제어 장치(1)는, 제2 유체 제어 기기(4)에 부착되어 서멀 센서(17)를 지지하는 지지 부재(19)를 더 구비하고 있다.

Description

유체 제어 장치 및 유체 제어 장치에의 서멀 센서 설치 구조{FLUID CONTROL DEVICE AND STRUCTURE FOR INSTALLING THERMAL SENSOR AT FLUID CONTROL DEVICE}
본 발명은 반도체 제조 장치 등에 사용되는 유체 제어 장치 및 유체 제어 장치에의 서멀 센서 설치 구조에 관한 것으로, 특히 복수의 유체 제어 기기가 집적화되어 형성되는 유체 제어 장치 및 그와 같은 유체 제어 장치에의 서멀 센서 설치 구조에 관한 것이다.
반도체 제조 장치에서 사용되는 유체 제어 장치에 있어서는, 복수의 유체 제어 기기가 인접하도록 배치되어 지지 부재에 부착된 라인을 베이스 부재 상에 병렬형으로 설치함으로써, 파이프나 조인트를 통하지 않고 유체 제어 장치를 구성하는 집적화가 진행되고 있으며, 이것에는, 가열 수단이 설치되는 경우도 있다(특허문헌 1).
이러한 유체 제어 장치에서는, 온도 관리할 필요가 있으며, 그를 위한 바람직한 센서로서는, 서멀 센서가 있다.
특허문헌 1 : 일본 특허 공개 제2006-349075호 공보
집적화된 유체 제어 장치에 의하면, 복수의 유체 제어 기기가 인접하도록 배치되어 있기 때문에, 서멀 센서를 설치하기 위한 충분한 스페이스가 없어, 설치가 곤란하다고 하는 문제가 있었다.
본 발명의 목적은, 유체 제어 장치에 있는 스페이스를 효과적으로 사용하여, 간단한 시공으로 온도 관리를 위한 서멀 센서를 설치할 수 있는 유체 제어 장치 및 유체 제어 장치에의 서멀 센서 설치 구조를 제공하는 것에 있다.
본 발명에 의한 유체 제어 장치는, 서로 인접하는 제1 유체 제어 기기 및 제2 유체 제어 기기와, 제1 유체 제어 기기의 유체 통로를 흐르는 유체의 온도를 측정하는 서멀 센서를 구비하고 있는 유체 제어 장치로서, 제1 유체 제어 기기 및 제2 유체 제어 기기 중 어느 한쪽에 부착되어 서멀 센서를 지지하는 지지 부재를 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 것이다.
유체 제어 장치는, 통상, 직렬형으로 인접하는 제1 유체 제어 기기 및 제2 유체 제어 기기와, 이들에 직렬형으로 배치된 제3, 제4 등의 복수의 유체 제어 기기에 의해 형성된 라인이 복수 병렬형으로 배치된 것이 된다.
서멀 센서는, 예컨대 이종(異種) 금속 사이에서의 온도 구배에 의해 발생하는 열기전력(제베크 효과)을 이용한 센서가 된다. 서멀 센서는, 유체 제어 장치의 모든 라인에 설치되는 경우가 있고, 일부의 라인에 설치되는 경우가 있다.
서멀 센서를 지지하는 지지 부재는, 제1 유체 제어 기기 및 제2 유체 제어 기기 중 어느 한쪽에 부착된다. 서멀 센서가 제1 유체 제어 기기에 부착되어 있는 경우에, 지지 부재는, 제2 유체 제어 기기를 이용하여 부착하면 되지만, 제1 유체 제어 기기에 부착하는 것이 용이한 경우에는, 지지 부재는, 제1 유체 제어 기기를 이용하여 부착하도록 해도 좋다. 이에 의해, 유체 제어 장치에 있는 스페이스를 효과적으로 사용하고, 또한 간단한 시공으로 서멀 센서를 설치할 수 있다.
서멀 센서에 의해 측정되는 제1 유체 제어 기기는, 예컨대 유량 제어기가 되지만, 이것에 한정되는 것은 아니며, 개폐 밸브, 레귤레이터, 필터, 통로 블록 등이 적절하게 서멀 센서에 의해 측정되는 제1 유체 제어 기기가 된다. 그리고, 이 서멀 센서에 의해 측정되는 제1 유체 제어 기기에 인접하는 제2 유체 제어 기기는, 예컨대 개폐 밸브가 되지만, 유량 제어기, 레귤레이터, 필터, 통로 블록 등이 적절하게 제1 유체 제어 기기에 인접하는 제2 유체 제어 기기가 된다.
제1 유체 제어 기기는, 유량을 제어하는 것(매스플로우 컨트롤러 또는 유체 가변형 유량 제어 장치 등)이고, 제2 유체 제어 기기는, 제1 유체 제어 기기의 유체 통로의 차단 개방을 행하는 개폐 밸브인 것이 바람직하다.
제2 유체 제어 기기(개폐 밸브)는, 개폐 기구를 내장하는 케이싱을 갖고 있고, 지지 부재는, 케이싱에 케이싱 상방으로부터 착탈 가능하게 부착되어 있는 것이 바람직하다.
유량을 제어하는 유체 제어 기기(즉, 매스플로우 컨트롤러, 유체 가변형 유량 제어 장치 등)는, 하나의 라인에 하나 배치되는 주요한 유체 제어 기기이며, 이것에 인접하도록 개폐 밸브가 반드시 배치된다. 그래서, 유량을 제어하는 유체 제어 기기를 흐르는 유체의 온도를 측정하도록 하고, 개폐 밸브를 이용하여 서멀 센서의 지지 부재를 설치함으로써, 하나의 라인을 구성하는 유체 제어 기기의 수나 종류가 변화하는 경우라도, 서멀 센서의 설치 구조를 변경하지 않아도 되는 것으로 할 수 있다.
제1 유체 제어 기기(즉, 매스플로우 컨트롤러, 유체 가변형 유량 제어 장치 등)는, 누설 포트(leak port)를 갖고 있고, 서멀 센서의 검출 단부가 상기 누설 포트에 삽입되어 있는 것이 바람직하다.
누설 포트는, 누설의 유무를 테스트할 때에 사용되는 것이며, 이것을 이용함으로써, 추가의 가공을 행하지 않고, 유체에 가까운 위치에서 유체의 온도를 측정할 수 있어, 유체의 온도를 정확히 측정할 수 있다.
서멀 센서는, 그 검출 단부를 누설 포트에 삽입하여 온도를 계측할 수 있는 것이면, 여러 가지 형식의 것을 사용할 수 있다.
지지 부재는, 둘레 방향의 1곳에 슬릿이 형성된 환형의 본체와, 본체에 형성된 슬릿을 직경 방향 외측으로 연장하도록 본체에 일체로 형성된 한 쌍의 돌출부로 이루어지며, 본체 내주면은, 케이싱의 정상벽의 외주면에 대응하는 형상으로 되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같이 하면, 지지 부재의 유체 제어 기기에의 부착을 용이하게 행할 수 있다.
한쪽의 돌출부에는, 다른쪽의 돌출부에 대향하고 있는 면의 반대측의 면으로부터 지지 부재용 수나사를 삽입 관통시키기 위한 나사 삽입 관통 구멍이 형성되어 있고, 다른쪽의 돌출부에는, 지지 부재용 수나사가 나사 결합되는 암나사부가 나사 삽입 관통 구멍과 동일한 방향으로 연장하도록 형성되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같이 하면, 지지 부재용 수나사를 체결함으로써, 슬릿의 폭이 좁아지고, 지지 부재가 유체 제어 기기에 고정되기 때문에, 지지 부재의 유체 제어 기기에의 부착을 용이하게 행할 수 있다.
나사 삽입 관통 구멍 및 암나사부는, 케이싱의 정상벽의 상면을 기준으로 하여, 나사 삽입 관통 구멍 쪽이 상방에 있도록 경사져서 형성되어 있고, 지지 부재용 수나사는, 육각 구멍을 가진 볼트로 되어 있는 것이 바람직하다.
집적화된 유체 제어 장치에서는, 복수의 라인이 병렬형으로 설치되어 있기 때문에, 작업 스페이스를 확보하는 것이 어려우나, 나사 삽입 관통 구멍(이에 따라 암나사부도)을 경사지게 함으로써, 케이싱의 정상벽 상방에 있는 스페이스의 이용이 가능해져, 케이싱이나 지지 부재 등과의 간섭을 피하여 지지 부재의 부착을 할 수 있다.
본 발명에 의한 유체 제어 장치에의 서멀 센서 설치 구조는, 유량을 제어하는 유량 제어기와, 유량 제어기에 인접하여 배치되고, 개폐 기구를 내장하는 케이싱을 가지며, 유량 제어기의 유체 통로의 차단 개방을 행하는 개폐 밸브를 구비하고 있는 유체 제어 장치에, 유량 제어기의 유체 통로를 흐르는 유체의 온도를 측정하는 서멀 센서를 설치하기 위한 서멀 센서 설치 구조로서, 서멀 센서를 지지하는 지지 부재를 구비하고 있고, 지지 부재가 개폐 밸브의 케이싱에 케이싱 상방으로부터 착탈 가능하게 부착되는 것을 특징으로 하는 것이다.
서멀 센서의 검출 단부는, 유량 제어기에 설치된 누설 포트에 삽입 가능하게 되어 있는 것이 바람직하다.
지지 부재는, 둘레 방향의 1곳에 슬릿이 형성된 환형의 본체와, 본체에 형성된 슬릿을 직경 방향 외측으로 연장하도록 본체에 일체로 형성된 한 쌍의 돌출부로 이루어지며, 본체 내주면은, 개폐 밸브의 케이싱의 정상벽의 외주면에 대응하는 형상으로 되어 있는 것이 바람직하다.
한쪽의 돌출부에는, 다른쪽의 돌출부에 대향하고 있는 면의 반대측의 면으로부터 지지 부재용 수나사를 삽입 관통시키기 위한 나사 삽입 관통 구멍이 형성되어 있고, 다른쪽의 돌출부에는, 지지 부재용 수나사가 나사 결합되는 암나사부가 나사 삽입 관통 구멍과 동일한 방향으로 연장하도록 형성되어 있는 것이 바람직하다.
나사 삽입 관통 구멍 및 암나사부는, 나사 삽입 관통 구멍 쪽이 상방에 있도록 경사져서 형성되어 있고, 지지 부재용 수나사는, 육각 구멍을 가진 볼트로 되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명의 유체 제어 장치에 의하면, 제1 유체 제어 기기 및 제2 유체 제어 기기 중 어느 한쪽에 부착되어 서멀 센서를 지지하는 지지 부재를 더 구비하고 있기 때문에, 제1 유체 제어 기기에 서멀 센서를 부착하고, 서멀 센서를 지지하는 지지 부재를 어느 한쪽의 유체 제어 기기(부착이 용이한 쪽의 유체 제어 기기)에 부착하면 되어, 유체 제어 장치에 있는 스페이스를 효과적으로 사용하고, 또한 간단한 시공으로 서멀 센서를 설치할 수 있다.
본 발명의 유체 제어 장치에의 서멀 센서 설치 구조에 의하면, 서멀 센서를 지지하는 지지 부재가 개폐 밸브의 케이싱에 케이싱 상방으로부터 착탈 가능하게 부착되기 때문에, 유체 제어 장치에 있는 스페이스를 효과적으로 사용하고, 또한 간단한 시공으로 서멀 센서를 설치할 수 있다.
도 1은 본 발명에 의한 유체 제어 장치 및 유체 제어 장치에의 서멀 센서 설치 구조의 일 실시형태의 사시도이다.
도 2는 도 1의 주요부의 평면도이다.
도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ선을 따라 취한 단면도이다.
도 4는 서멀 센서 유닛의 분해 사시도이다.
본 발명의 실시형태를, 이하 도면을 참조하여 설명한다. 이하의 설명에 있어서, 도 1의 상하를 상하로 하는 것으로 한다. 또한, 도 1에서의 개폐 밸브측을 전(前), 유량 제어기측을 후(後)로 하는 것으로 한다. 이 상하·전후는 편의적인 것이며, 전후가 반대로 되거나, 상하가 좌우로 되거나 하여 사용되는 경우도 있다.
도 1에는, 복수의 라인으로 이루어지는 집적화 유체 제어 장치(1) 중의 2개의 라인(2)의 일부를 도시하고 있다.
각 라인(2)은, 유량 제어기(제1 유체 제어 기기)(3)와, 유량 제어기(3)의 유체 통로(도시 생략)의 차단 개방을 행하는 개폐 밸브(제2 유체 제어 기기)(4)와, 도시를 생략한 복수의 유체 제어 기기(다른 개폐 밸브, 레귤레이터, 필터 등)와, 유량 제어기(3)의 유체 통로를 흐르는 유체의 온도를 관리하기 위한 서멀 센서 유닛(5)을 구비하고 있다.
유량 제어기(3)는, 매스플로우 컨트롤러라고 칭해지고 있는 것이며, 유량의 조정 기능을 내장하는 본체(11)와, 이것을 지지하는 전후의 돌출 통로 블록(12, 13)으로 이루어진다. 돌출 통로 블록(12)에는, 유량 제어기(3)의 누설 시험에서 사용되는 누설 포트(12a)가 상방으로 개구하도록 설치되어 있다.
개폐 밸브(4)는, 에어 오퍼레이트 밸브이며, 유량 제어기(3)의 유체 통로에 연통(連通)되는 통로가 형성되어 있는 직육면체 블록형의 본체(14)와, 본체(14)의 상방에 설치되며 액추에이터(개폐 기구)를 내장하는 케이싱(15)을 구비하고 있다.
케이싱(15)은, 정상벽(15a)을 갖고 있고, 정상벽(15a)의 중앙부에는, 케이싱(15) 내부에 압축 공기를 도입하는 압축 공기 도입관을 접속하는 조인트부(16)가 설치되어 있다. 정상벽(15a)은, 원판의 양측이 잘라 내어진 형상으로 되어 있다.
유량 제어기(3)의 유체 통로와 개폐 밸브(4)의 유체 통로는, 앞쪽의 돌출 통로 블록(12) 및 개폐 밸브(4)의 본체(14)의 양방에 걸치도록 이들의 하방에 형성된 통로 블록(6)에 의해 연통되어 있다. 앞쪽의 돌출 통로 블록(12) 및 개폐 밸브(4)의 본체(14)는, 상방으로부터의 육각 구멍을 가진 볼트(7)에 의해 통로 블록(6)에 고정되어 있다.
서멀 센서 유닛(5)은, 선단에 검출 단부(17a)를 갖는 코드형으로 된 서멀 센서(17)와, 서멀 센서(17)가 관통된 플랜지(18)와, 개폐 밸브(4)에 부착되어 서멀 센서(17)를 지지하는 지지 부재(19)를 구비하고 있다.
서멀 센서(17)는, 시스 열전대를 구비한 것으로 되어 있다.
플랜지(18)는, 사각형 판 형상의 것이며, 서멀 센서(17)가 삽입 관통되는 센서 삽입 관통 구멍(18a)과, 플랜지(18)를 나사 고정하는 플랜지용 수나사(20)가 삽입 관통되는 나사 삽입 관통 구멍(18b)이 형성되어 있다.
지지 부재(19)는, 둘레 방향의 한 곳에 슬릿(22)이 형성된 환형의 본체(21)와, 본체(21)에 형성된 슬릿(22)을 직경 방향 외측으로 연장하도록 본체(21)에 일체로 형성된 한 쌍의 돌출부[제1 돌출부(23) 및 제2 돌출부(24)]로 이루어진다.
본체(21)는, 외주면(21a)이 짧은 원통면으로 되어 있고, 내주면(21b)은, 케이싱(15)의 정상벽(15a)의 외주면에 대응하는 형상(예컨대 원통면의 양측이 평탄면으로 된 형상)으로 되어 있다. 본체(21)는, 슬릿(22)이 형성되어 있음으로써, 슬릿(22)의 폭이 넓어지는 방향 또는 좁혀지는 방향의 탄성을 갖고 있다.
제1 돌출부(23)에는, 제2 돌출부(24)에 대향하고 있는 면의 반대측의 면으로부터 지지 부재용 수나사(25)를 삽입 관통시키기 위한 나사 삽입 관통 구멍(26)이 형성되어 있다. 제2 돌출부(24)에는, 지지 부재용 수나사(25)가 나사 결합되는 암나사부(27)가 나사 삽입 관통 구멍(26)과 동일한 방향으로 연장하도록 형성되어 있다. 제2 돌출부(24)에는, 상방으로 연장되는 암나사부(28)가 더 형성되어 있다.
나사 삽입 관통 구멍(26) 및 암나사부(27)는, 도 3에 잘 도시되어 있는 바와 같이, 상방에서 보아, 슬릿(22)이 연장되는 방향에 대해 직교하고 있으나, 수평면[개폐 밸브(4)의 하면, 케이싱(15)의 정상벽(15a)의 상면 등]을 기준으로 한 경우에는, 나사 삽입 관통 구멍(26) 쪽이 상방에 있도록 경사져서 형성되어 있다. 지지 부재용 수나사(25)는, 육각 구멍을 가진 볼트로 되어 있고, 육각 구멍을 가진 볼트용의 체결 지그를 사용하여 체결할 수 있다.
지지 부재(19)의 환형의 본체(21)의 내주면(21b)은, 케이싱(15)의 정상벽(15a)의 외주면에 헐겁게 끼워 맞출 수 있는 형상으로 되어 있고, 지지 부재용 수나사(25)를 체결함으로써, 슬릿(22)의 폭이 좁혀져, 이에 의해 지지 부재(19)가 케이싱(15)에 고정된다.
한 쌍의 돌출부(23, 24)의 서로 대향하고 있는 면에는, 상하 방향으로 연장되는 단면 반원형의 오목부(29, 30)가 각각 형성되어 있고, 이들 2개의 오목부(29, 30)에 의해 형성된 관통 구멍형 부분에 서멀 센서(17)가 삽입 관통되어 있다. 지지 부재(19)를 케이싱(15)에 고정하기 위해서, 지지 부재용 수나사(25)를 체결하면, 오목부(29, 30)끼리가 접근하여, 2개의 오목부(29, 30)에 의해 서멀 센서(17)가 협지(挾持)된다.
센서 삽입 관통 구멍(18a)에 서멀 센서(17)가 삽입 관통된 플랜지(18)는, 지지 부재(19)가 개폐 밸브(4)에 부착되어 있지 않은 상태에서, 플랜지용 수나사(20)를 체결함으로써, 지지 부재(19)에 부착된다. 서멀 센서(17)가 부착된 지지 부재(19)는, 케이싱(15)에 상방으로부터 끼워 맞춰지고, 이 상태에서, 서멀 센서(17)의 검출 단부(17a)가 누설 포트(12a)에 삽입되며, 이 후, 지지 부재용 수나사(25)가 체결된다. 지지 부재용 수나사(25)의 체결시에는, 나사 삽입 관통 구멍(26) 및 암나사부(27)가 경사져 있음으로써, 케이싱(15)의 정상벽(15a)의 상방으로부터의 작업이 가능하고, 옆의 개폐 밸브(4)의 정상벽(15a) 및 서멀 센서 유닛(5)과의 간섭을 피하여 지지 부재(19)의 부착을 할 수 있다. 이렇게 해서, 서멀 센서 유닛(5)이 착탈 가능하게 개폐 밸브(4)에 부착된다.
유체(가스)의 온도를 측정하기 위해서는, 그 유체에 가능한 한 가까운 장소에 서멀 센서(17)의 검출 단부(17a)를 배치하는 것이 바람직하다. 유량 제어기(3)의 돌출 통로 블록(12)에 형성된 누설 포트(12a)를 이용함으로써, 정밀도 좋게 온도를 측정할 수 있다.
누설 포트(12a)를 이용하는 경우에, 앞쪽의 돌출 통로 블록(12)을 통로 블록(6)에 고정하고 있는 육각 구멍을 가진 볼트(7)를 사용하여, 서멀 센서(17)가 삽입 관통된 플랜지(18)를 앞쪽의 돌출 통로 블록(12)에 고정하는 것도 가능하지만, 이 경우에는, 서멀 센서(17)의 착탈시에 유량 제어기(3)를 떼어낼 필요가 있으며, 그 때문에, 라인이 대기 개방되게 되고, 서멀 센서(17)의 착탈에 매우 시간이 걸린다고 하는 문제가 있었다.
상기한 실시형태에서는, 유량 제어기(3)를 떼어낼 필요는 없으며, 유체 제어 장치(1)의 기능에 영향을 미치지 않고, 서멀 센서 유닛(5)의 착탈이 가능하다. 게다가, 개폐 밸브(4)를 사용하여 서멀 센서 유닛(5)을 고정하고 있음으로써, 유체 제어 장치(1)에 존재하고 있는 스페이스가 효과적으로 이용되고 있으며, 스페이스적으로 호스밴드를 사용하여 서멀 센서(17)를 부착하는 것이 곤란한 경우라도, 서멀 센서 유닛(5)의 설치가 가능하다.
한편, 상기에 있어서, 유량 제어기(3)로서, 매스플로우 컨트롤러를 예시하였으나, 유량 제어기(3)로서, 유체 가변형 유량 제어 장치를 사용해도 좋다. 또한, 유량 제어기(3) 및 개폐 밸브(4)을 사용하여 서멀 센서 유닛(5)을 설치하는 것을 대신하여, 서로 인접하는 다른 2개의 유체 제어 기기를 사용할 수도 있다. 이 경우, 지지 부재의 본체의 내주면 형상은, 지지 부재가 부착되는 유체 제어 기기의 형상에 따라 적절하게 변경된다. 지지 부재의 본체의 외주면 형상은, 상기한 바와 같이 원주면(원통형)이어도 좋고, 각통(角筒)형이어도 좋다.
산업상 이용가능성
본 발명에 의하면, 반도체 제조 장치 등에 사용되는 유체 제어 장치에 서멀 센서를 용이하게 설치할 수 있기 때문에, 유체 제어 장치의 제어 정밀도가 향상되어, 그 용도를 넓힐 수 있다.
1: 유체 제어 장치 3: 유량 제어기(제1 유체 제어 기기)
4: 개폐 밸브(제2 유체 제어 기기) 12a: 누설 포트
15: 케이싱 15a: 정상벽
17: 서멀 센서 17a: 검출 단부
19: 지지 부재 21: 본체
21b: 내주면 22: 슬릿
23: 제1 돌출부 24: 제2 돌출부
25: 지지 부재용 수나사 26: 나사 삽입 관통 구멍
27: 암나사부

Claims (12)

  1. 서로 인접하는 제1 유체 제어 기기 및 제2 유체 제어 기기와, 제1 유체 제어 기기의 유체 통로를 흐르는 유체의 온도를 측정하는 서멀 센서를 구비하고 있는 유체 제어 장치로서,
    제1 유체 제어 기기 및 제2 유체 제어 기기 중 어느 한쪽에 부착되어 서멀 센서를 지지하는 지지 부재를 더 구비하고,
    제2 유체 제어 기기는, 개폐 기구를 내장하는 케이싱을 갖고 있고, 상기 지지 부재는, 상기 케이싱에 케이싱 상방으로부터 착탈 가능하게 부착되어 있으며,
    상기 지지 부재는 환형의 본체를 갖고, 본체 내주면은 상기 케이싱의 정상벽의 외주면에 대응하는 형상으로 되어 있고,
    상기 지지 부재의 본체에는 둘레 방향의 1곳에 슬릿이 형성되고, 상기 지지 부재는 본체에 형성된 슬릿을 직경 방향 외측으로 연장하도록 본체에 일체로 형성된 한 쌍의 돌출부를 포함하며,
    상기 한 쌍의 돌출부의 서로 대향하고 있는 면에는 상하 방향으로 연장되는 오목부가 각각 형성되고, 상기 오목부에 의해 형성된 관통 구멍형 부분에 상기 서멀 센서가 삽입 관통되는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
  2. 제1항에 있어서, 제1 유체 제어 기기는, 유량을 제어하는 것이고, 제2 유체 제어 기기는, 제1 유체 제어 기기의 유체 통로의 차단 개방을 행하는 개폐 밸브인 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
  3. 삭제
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 제1 유체 제어 기기는, 누설 포트(leak port)를 갖고 있고, 서멀 센서의 검출 단부가 상기 누설 포트에 삽입되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서, 한쪽의 돌출부에는, 다른쪽의 돌출부에 대향하고 있는 면의 반대측의 면으로부터 지지 부재용 수나사를 삽입 관통시키기 위한 나사 삽입 관통 구멍이 형성되어 있고, 다른쪽의 돌출부에는, 지지 부재용 수나사가 나사 결합되는 암나사부가 나사 삽입 관통 구멍과 동일한 방향으로 연장하도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
  7. 제6항에 있어서, 나사 삽입 관통 구멍 및 암나사부는, 케이싱의 정상벽의 상면을 기준으로 하여, 나사 삽입 관통 구멍 쪽이 상방에 있도록 경사져서 형성되어 있고, 지지 부재용 수나사는, 육각 구멍을 가진 볼트로 되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
  8. 유량을 제어하는 유량 제어기와, 유량 제어기에 인접하여 배치되고, 개폐 기구를 내장하는 케이싱을 가지며, 유량 제어기의 유체 통로의 차단 개방을 행하는 개폐 밸브를 구비하고 있는 유체 제어 장치에, 유량 제어기의 유체 통로를 흐르는 유체의 온도를 측정하는 서멀 센서를 설치하기 위한 서멀 센서 설치 구조로서,
    서멀 센서를 지지하는 지지 부재를 구비하고 있고, 상기 지지 부재가 상기 개폐 밸브의 케이싱에 케이싱 상방으로부터 착탈 가능하게 부착되며,
    상기 지지 부재는 환형의 본체를 갖고, 본체 내주면은 상기 개폐 밸브의 케이싱의 정상벽의 외주면에 대응하는 형상으로 되어 있고,
    상기 지지 부재의 본체에는 둘레 방향의 1곳에 슬릿이 형성되고, 상기 지지 부재는 본체에 형성된 슬릿을 직경 방향 외측으로 연장하도록 본체에 일체로 형성된 한 쌍의 돌출부를 포함하며,
    상기 한 쌍의 돌출부의 서로 대향하고 있는 면에는 상하 방향으로 연장되는 오목부가 각각 형성되고, 상기 오목부에 의해 형성된 관통 구멍형 부분에 상기 서멀 센서가 삽입되는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치에의 서멀 센서 설치 구조.
  9. 제8항에 있어서, 서멀 센서의 검출 단부는, 유량 제어기에 설치된 누설 포트에 삽입 가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치에의 서멀 센서 설치 구조.
  10. 삭제
  11. 제8항에 있어서, 한쪽의 돌출부에는, 다른쪽의 돌출부에 대향하고 있는 면의 반대측의 면으로부터 지지 부재용 수나사를 삽입 관통시키기 위한 나사 삽입 관통 구멍이 형성되어 있고, 다른쪽의 돌출부에는, 지지 부재용 수나사가 나사 결합되는 암나사부가 나사 삽입 관통 구멍과 동일한 방향으로 연장하도록 형성되어 있는 유체 제어 장치에의 서멀 센서 설치 구조.
  12. 제11항에 있어서, 나사 삽입 관통 구멍 및 암나사부는, 나사 삽입 관통 구멍 쪽이 상방에 있도록 경사져서 형성되어 있고, 지지 부재용 수나사는, 육각 구멍을 가진 볼트로 되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치에의 서멀 센서 설치 구조.
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