KR101464211B1

KR101464211B1 - 유궤도 대차 시스템

Info

Publication number: KR101464211B1
Application number: KR1020137028922A
Authority: KR
Inventors: 쇼헤이 나가미네; 마사히로 히라타
Original assignee: 무라다기카이가부시끼가이샤
Priority date: 2011-05-16
Filing date: 2012-04-12
Publication date: 2014-11-25
Anticipated expiration: 2032-04-12
Also published as: TW201302595A; EP2711261A4; EP2711261B1; JP2012240463A; JP5310784B2; CN103547498B; US20140090575A1; EP2711261A1; KR20130133071A; WO2012157378A1; US8978562B2; CN103547498A; TWI532674B

Abstract

본 발명의 유궤도 대차 시스템은, 제 1 및 제 2 본궤도(101, 102), 및 접속 궤도(105)를 가지는 궤도(100)와, 대차(200)를 구비하며, 대차는, 한 쌍의 제 1 및 제 2 분기 롤러(610)를 시프트 가능하게 지지하는 분기 롤러 지지부(720)와, 자세 안정 롤러(620)를 시프트 불가능하게 지지하는 자세 안정 롤러 지지부(710)를 가지고 있고, 궤도는, 제 1 분기 롤러를 안내하는 제 1 분기 가이드(110a)와, 제 2 분기 롤러를 안내하는 제 2 분기 가이드(110b)와, 분기 가이드가 설치되어 있지 않은 무 가이드 구간에서 자세 안정 롤러를 안내하는 자세 안정 롤러 가이드(120b)를 가지고 있다.

Description

유궤도 대차 시스템{CARRIAGE SYSTEM HAVING TRACK}

본 발명은, 피(被)반송물을 궤도를 따라 반송하는 유궤도 대차 시스템에 관한 것이며, 피반송물로서, 예컨대 반도체 장치 제조용의 각종 기판 등이 수용된 용기를 반송하는 유궤도 대차 시스템에 관한 것이다.

유궤도 대차 시스템으로서, 예컨대 FOUP(Front Opening Unified Pod) 등의 피반송물을 반송하는 것이며, 천장에 부설(敷設)된 궤도를 주행하는 서스펜션(懸垂)형의 대차를 가지는 것(이른바 OHT : Overhead Hoist Transport)이 알려져 있다.

이러한 유궤도 대차 시스템은, 스페이스 단가가 고액인 클린룸(clean room) 내에서 사용되는 경우가 많기 때문에, 공간 절약의 실현이 요청된다. 이 때문에, 2개의 본궤도(本軌道) 간을 접속하는 접속 궤도의 길이를 단축시킴으로써, 공간절약을 실현하고자 하는 기술이 제안되어 있다. 예컨대, 접속 궤도를 주행할 때 이용되는 분기 롤러를 접속 궤도상에서 강제적으로 시프트시키는 강제 가이드를 구비함으로써, 접속 궤도의 길이를 단축시키도록 한 기술이 알려져 있다(예컨대, 특허문헌 1).

보다 구체적으로는, Ｎ형 궤도에 있어서 다른 궤도로 갈아타고자 하는 대차는, 우선 대차의 주행 유닛이 가지는 분기 롤러 기구를 주행 중인 궤도의 폭방향의 갈아탈 궤도가 있는 측으로 시프트시켜 놓고, 주행 중인 궤도로부터 접속 궤도 중까지 연장되는 분기 가이드의 안내에 의해 접속 궤도로 갈아탄다. 이후, 주행방향에 대해, 어떤 일정한 이격영역을 거쳐서 접속 궤도의 폭방향 반대측에 존재하는 합류측의 분기 가이드에 안내되도록, 분기 롤러 기구를 반대측으로 시프트시킨다. 이때, 분기 롤러 기구는, 이격영역에 설치된 강제 가이드에 의해, 반대측의 분기 가이드 방향으로 강제적으로 시프트된다. 이와 같이 하여, 대차의 주행 유닛은 갈아타는 측의 궤도로 안내된다.

일본 특허공개공보 제2008-126743호

상술한 기술에서는, 분기 가이드가 존재하지 않는 이격영역이 아니면, 분기 롤러 기구를 시프트시킬 수 없다. 그러나, 이격영역은, 설사 강제 가이드를 사용하였다 하더라도, 1개의 분기 롤러 기구의 주행방향에 대한 길이와, 분기 롤러 기구를 시프트시키고 있는 동안에 주행하는 길이를 더한 값 이상이 되는 길이가 요구된다.

여기서, 접속 궤도를 더욱 단축시키고자 할 경우, 예컨대 강제 가이드의 주행방향의 길이를 단축시킴으로써 이격영역을 짧게 할 필요가 있다. 그러나, 강제 가이드의 길이를 단축시키면, 대차의 주행 속도를 느리게 하지 않는 한, 급격히 분기 롤러를 시프트시키게 된다. 이러한 분기 롤러의 급격한 시프트는 분기 롤러에 대해 큰 응력이 작용하게 되므로, 동작 이상(異常)의 원인이 될 우려가 있다. 또한, 분기 롤러가 강제 가이드에 접촉할 때의 충격도 커지기 때문에, 대차의 진동이나 분기 롤러의 파손 등을 초래할 우려가 있다.

이상과 같이, 종래의 기술은, 설사 접속 궤도의 길이를 단축시킬 수 있다 하더라도, 그 효과는 한정적이며, 그 이상의 단축화를 도모하고자 하면 여러 가지 문제가 생기게 되는 기술적 과제를 가지고 있다.

본 발명은, 상술한 문제점을 감안하여 이루어진 것이며, 접속 궤도를 효과적으로 단축하여, 공간절약을 실현가능한 유궤도 대차 시스템을 제공하는 것을 과제로 한다.

본 발명의 유궤도 대차 시스템은, 궤도와, 대차를 구비하는 유궤도 대차 시스템이다. 궤도는, 제 1 및 제 2 본궤도와, 제 1 및 제 2 본궤도를 서로 접속하는 접속 궤도를 가진다. 대차는, 궤도에 지지되는 동시에 안내되어 주행한다. 대차는, 주행부와, 분기 롤러 지지부와, 자세 안정 롤러 지지부를 구비하고 있다. 주행부는, 궤도를 주행한다. 분기 롤러 지지부는, 주행부에 설치되어 있으며, 주행부의 폭방향으로 이격하여 설치된 제 1 및 제 2 분기 롤러를, 주행부의 폭방향으로 시프트 가능하게 지지한다. 자세 안정 롤러 지지부는, 주행부에 설치되어 있으며, 주행부의 주행 자세를 안정시키기 위한 자세 안정 롤러를, 주행부의 폭방향으로 시프트 불가능하게 지지한다. 궤도는, 제 1 분기 가이드와, 제 2 분기 가이드와, 자세 안정 롤러 가이드를 구비하고 있다. 제 1 분기 가이드는, 접속 궤도의 폭방향의 일방측에서, 제 1 본궤도로부터 접속 궤도의 연신(延伸)방향을 따라 연장되며, 제 1 분기 롤러를 안내한다. 제 2 분기 가이드는, 접속 궤도의 폭방향의 타방측에서, 접속 궤도의 연신방향에 대해 제 1 분기 가이드와 겹치지 않는 무(無) 가이드 구간을 사이에 두고, 접속 궤도의 연신방향을 따라 제 2 본궤도까지 연장되며, 제 2 분기 롤러를 안내한다. 자세 안정 롤러 가이드는, 무 가이드 구간에 설치되어 있으며, 무 가이드 구간 내에서 자세 안정 롤러를 안내한다. 여기서, 주행부의 폭방향이란, 대차의 진행방향에 교차하는 방향이다.

본 발명에서는, 궤도의 분기 가이드가 설치되어 있지 않은 무 가이드 구간에, 자세 안정 롤러를 안내하는 자세 안정 롤러 가이드가 설치되어 있다. 이와 같은 자세 안정 롤러 가이드를 설치함으로써, 분기 롤러를 안내하는 분기 가이드가 설치되어 있지 않은 무 가이드 구간에서, 자세 안정 롤러 가이드에 의해 자세 안정 롤러를 안내하여, 대차의 자세를 안정시킬 수 있다.

무 가이드 구간에서 대차의 자세를 안정시킬 수 있으면, 종래기술에서는 제 1 및 제 2 분기 가이드가 설치되어야 할 구간(즉, 제 1 및 제 2 분기 롤러가, 제 1 및 제 2 분기 가이드에 안내됨으로써 대차의 자세를 안정시켜야 할 구간)으로 무 가이드 구간을 확장시킬 수 있다. 따라서, 무 가이드 구간을 충분한 길이로 하면서도, 접속 궤도 전체가 길어져 버리는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 제 1 본궤도 및 제 2 본궤도 사이에서의 대차의 이동을 적절하게 행할 수 있고, 접속 궤도의 단축도 실현할 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 유궤도 대차 시스템에 따르면, 접속 궤도를 효과적으로 단축시켜, 공간절약을 실현하는 것이 가능하다.

대차는, 본체부와, 본체부에 대해 수평방향으로 회동가능하게 설치된 복수의 보기 대차(Bogie 臺車)부를 더 가지고 있어도 좋다. 주행부, 분기 롤러 지지부 및 자세 안정 롤러 지지부는, 복수의 보기 대차부의 각각에 각각 설치되어 있어도 좋다.

상기 구성에서는, 대차에 복수의 보기 대차부가 설치되어 있으므로, 대차를 비교적 대형으로 구성할 수 있다. 구체적으로는, 대차가 궤도의 커브 부분에 다다른 경우에는, 복수의 보기 대차부의 각각이 수평방향을 따라 각각 다른 각도로 회동(回動)함으로써, 적절한 주행을 실현할 수 있다.

자세 안정 롤러는, 자세 안정 롤러 지지부의 폭방향으로 이격하여 부착된 제 1 및 제 2 롤러부를 가지고 있어도 좋다. 자세 안정 롤러 가이드는, 무 가이드 구간 내에 있어서 접속 레일의 폭방향의 일방측에서 연신방향으로 연장되어, 제 1 롤러부를 안내하는 제 1 롤러 가이드부와, 무 가이드 구간 내에 있어서 접속 레일의 폭방향의 타방측에서 연신방향으로 연장되어, 제 2 롤러부를 안내하는 제 2 롤러 가이드부를 가지고 있어도 좋다.

상기 구성에서는, 제 1 분기 가이드로부터 무 가이드 구간에 다다른 대차의 경우, 우선 제 1 롤러 가이드부에 의해, 제 1 롤러부가 안내되는 상태가 된다. 이어서, 제 1 롤러 가이드부가 중단되면, 제 2 롤러 가이드부에 의해, 제 2 롤러부가 안내되는 상태가 된다. 제 1 및 제 2 롤러부와, 제 1 및 제 2 롤러 가이드부에 의하면, 좌우방향으로의 흔들림이나 위치 어긋남의 발생이 억제되기 때문에, 무 가이드 구간에 있어서의 대차의 자세를 확실하게 안정시키는 것이 가능하다.

궤도는, 천장 또는 천장의 근방 위치에 부설되고, 하부의 폭방향 양측에 간극을 두고 이격된 제 1 및 제 2 주행면부를 가지고 있어도 좋다. 제 1 롤러 가이드부는, 접속 궤도에 있어서의 제 1 주행면부에서의 간극의 근방 위치로부터 판형상을 이루며 기립(屹立)해 있어도 좋다. 제 2 롤러 가이드부는, 접속 궤도에 있어서의 제 2 주행면부에서의 간극의 근방 위치로부터 판형상을 이루며 기립해 있어도 좋다. 제 1 및 제 2 롤러부의 각각은, 제 1 및 제 2 롤러 가이드부에 대해, 접속 궤도의 폭방향의 양(兩) 외측으로부터 각각 접촉하여 안내되어도 좋다.

상기의 구성에서는, 제 1 및 제 2 롤러부는 각각, 제 1 및 제 2 롤러 가이드부에 대해, 각각 접촉함으로써 안내된다. 구체적으로는, 제 1 롤러부는, 접속 궤도의 폭방향의 내측으로부터 제 1 롤러 가이드부가 접촉된 상태로 안내된다. 한편, 제 2 롤러부는, 접속 궤도의 폭방향의 내측으로부터 제 2 롤러 가이드부가 접촉된 상태로 안내된다. 따라서, 무 가이드 구간에 있어서의 대차의 자세를 확실하게 안정시킬 수 있다.

궤도는, 천장 또는 천장의 근방 위치에 부설되고, 하부 양측에 제 1 및 제 2 주행면부를 가지는 동시에 제 1 및 제 2 주행면부 사이에 간극을 가지고 있으며, 무 가이드 구간 내의 제 1 주행면부로부터 간극측으로 돌출되고, 접속 궤도의 연신방향을 따라 소정길이로 연장되는 동시에, 폭방향 단부에 제 1 측면부를 가지는 제 1 돌출부와, 무 가이드 구간 내에서 제 1 돌출부와 접속 궤도의 연신방향에 대해 겹치지 않는 위치에 있어서의, 제 2 주행면부로부터 간극측으로 돌출되고, 접속 궤도의 연신방향을 따라 소정길이로 연장되는 동시에, 폭방향 단부에 제 2 측면부를 가지는 제 2 돌출부를 더 구비하고 있어도 좋다. 자세 안정 롤러 지지부는, 주행부의 하측에 설치되어 있으며, 자세 안정 롤러를 제 1 측면부 및 제 2 측면부와 접촉가능하게 지지해도 좋다.

상기의 구성에서는, 무 가이드 구간에 있어서의 자세 안정 롤러는, 우선, 접속 궤도의 폭방향의 일방측에 존재하는 제 1 측면부에 접촉한 상태가 된다. 이어서, 자세 안정 롤러는, 접속 궤도의 폭방향의 타방측에 존재하는 제 2 측면부에 접촉한 상태가 된다. 따라서, 무 가이드 구간에 있어서의 대차의 주행 자세를 확실하게 안정시킬 수 있다. 참고로, 자세 안정 롤러가 제 1 측면부에 접촉하고 있는 경우에는, 예컨대 사이드 롤러가 폭방향의 타방측의 궤도 벽에 접촉함으로써, 보다 확실하게 자세를 안정시킬 수 있다. 마찬가지로, 자세 안정 롤러가 제 2 측면부에 접촉하고 있는 경우에는, 예컨대 사이드 롤러가 폭방향의 일방측의 궤도 벽에 접촉함으로써, 보다 확실하게 자세를 안정시킬 수 있다.

자세 안정 롤러는, 주행부의 하측이며 폭방향의 중앙부 근방에 대차의 주행방향을 따라 세로 열(縱列)상태로 복수 설치되어도 좋다. 제 1 측면부 및 제 2 측면부의 사이는, 폭방향에 있어서, 자세 안정 롤러의 직경과 동일한 길이가 되도록 이격되어도 좋다.

상기의 구성에서는, 자세 안정 롤러가 복수 장소에서 제 1 측면부 및 제 2 측면부에 접촉하게 되므로, 비교적 적은 수의 자세 안정 롤러로, 좌우방향으로의 흔들림이나 위치 어긋남의 발생을 억제할 수 있다. 따라서, 무 가이드 구간에 있어서의 대차의 주행 자세를, 보다 적절하게 안정시킬 수 있다. 참고로, 제 1 측면부 및 제 2 측면부의 사이와, 자세 안정 롤러의 직경은, 완전히 동일한 값일 필요는 없고, 서로 근사한 값이면 된다.

도 1은, 제 1 실시형태에 따른 유궤도 대차 시스템의 전체적인 구성을 나타낸 평면도이다.
도 2는, 제 1 실시형태에 따른 대차의 구성을 나타낸 측면도이다.
도 3은, 제 1 실시형태에 따른 대차의 이재(移載) 동작을 나타낸 사시도이다.
도 4는, 제 1 실시형태에 따른 대차의 가로방향 이재 동작을 나타낸 사시도이다.
도 5는, 제 1 실시형태에 따른 대차의 접속 궤도에 있어서의 주행을 나타낸 평면도이다.
도 6은, 제 1 실시형태에 따른 대차의 주행부의 구성을 궤도와 함께 나타낸 단면도이다.
도 7은, 제 1 실시형태에 따른 대차의 주행부의 구성을 궤도와 함께 나타낸 단면도(그 2)이다.
도 8은, 제 1 실시형태에 따른 대차의 주행부의 구성을 궤도와 함께 나타낸 단면도(그 3)이다.
도 9는, 제 1 실시형태에 따른 대차의 주행부의 구성을 궤도와 함께 나타낸 단면도(그 4)이다.
도 10은, 비교예에 따른 대차의 주행부의 구성을 궤도와 함께 나타낸 단면도이다.
도 11은, 비교예에 따른 대차의 자세가 안정되는 구간 및 불안정해지는 구간을 나타낸 평면도이다.
도 12는, 비교예에 따른 대차에 있어서의 분기 롤러 시프트 구간을 나타낸 평면도이다.
도 13은, 제 2 실시형태에 따른 대차의 주행부의 구성을 궤도와 함께 나타낸 단면도이다.
도 14는, 제 2 실시형태에 따른 대차의 주행부의 구성을 나타낸 측면도이다.
도 15는, 제 2 실시형태에 따른 궤도의 주행면의 구성을 나타낸 평면도이다.
도 16은, 제 2 실시형태에 따른 대차의 접속 궤도에 있어서의 주행을 나타낸 평면도이다.
도 17은, 제 2 실시형태에 따른 대차의 주행부의 구성을 궤도와 함께 나타낸 단면도이다.
도 18은, 제 2 실시형태에 따른 대차의 주행부의 구성을 궤도와 함께 나타낸 단면도(그 2)이다.

이하에서는, 본 발명의 실시형태에 대해 도면에 근거하여 설명한다.

<제 1 실시형태>

우선, 제 1 실시형태에 따른 유궤도 대차 시스템의 전체적인 구성에 대해, 도 1을 참조하여 설명한다. 도 1은, 제 1 실시형태에 따른 유궤도 대차 시스템의 전체적인 구성을 나타낸 평면도이다.

도 1에 있어서, 본 실시형태에 따른 유궤도 대차 시스템은, 궤도(100)와, 대차(200)와, 컨트롤러(300)를 구비하고 있다.

궤도(100)는, 천장에 부설되어 있으며, 알루미늄이나 스테인리스 등의 금속으로 구성된다. 궤도(100)는, 서로 평행하게 설치된 제 1 본궤도(101) 및 제 2 본궤도(102)와, 제 1 본궤도(101) 및 제 2 본궤도(102) 사이를 접속하는 접속 궤도(105)를 가지고 있다. 이 때문에, 제 1 본궤도(101)를 주행하는 대차(200)는, 접속 궤도(105)를 주행함으로써, 제 2 본궤도(102)로 갈아탈 수 있다.

대차(200)는, 궤도(100) 상에 복수 배치되어 있으며, 궤도(100)를 따라 주행함으로써, 피반송물인 FOUP를 반송하는 것이 가능하다.

또한, 대차(200)는, 각각 차상(車上) 컨트롤러(205)를 구비하고 있다. 차상 컨트롤러(205)는, 컨트롤러(300)로부터 반송 명령을 받아, 대차(200)의 주행을 제어한다. 참고로, 차상 컨트롤러(205)는, 대차(200)의 주행을 제어할 뿐만 아니라, 대차(200)에 설치된 각 기기를 총괄적으로 제어하는 기능도 가지고 있다.

컨트롤러(300)는, 연산 회로나 메모리 등을 포함하여 구성되어 있으며, 차상 컨트롤러(205)를 통해, 대차(200)에 반송 명령을 주는 것이 가능하다.

참고로, 도시되어 있지 않지만, 궤도(100)를 따른 위치에는, FOUP를 일시적으로 보관하는 선반(예컨대, 버퍼나 포트 등) 및 반도체 제조 장치가 설치되어 있다.

다음으로는, 대차(200)의 보다 구체적인 구성에 대해, 도 2를 참조하여 설명한다. 도 2는, 제 1 실시형태에 따른 대차의 구성을 나타낸 측면도이다.

도 2에 있어서, 대차(200)는, 주행부(210), 본체부(220), 이동부(230), 승강부(235), 승강 벨트(240) 및 파지부(把持部; 250)를 구비하고 있다. 참고로, 도 2에서는, 설명의 편의상, 후술하는 분기 롤러 및 자세 안정 롤러가 생략되어 있다.

대차(200)는, 주행부(210)가 리니어 모터 등의 동력원에 의해 추진력을 부여함으로써, 주행 롤러(215)가 전동(轉動)되면서, 궤도(100)를 따라 주행한다. 주행부(210)의 하면에는, 본체부(220)가 매달린 형태로 부착되어 있다.

본체부(220)에는, 이동부(230)가 부착되어 있다. 이동부(230)는, 궤도(100)의 측방(즉, 도 2에 있어서의 좌우방향)으로 이동하는 것이 가능하다. 이동부(230)의 하면에는, 승강부(235)가 부착되어 있다.

승강부(235)의 하면에는, FOUP를 파지하는 파지부(250)가 승강 벨트(240)에 의해 부착되어 있다. 파지부(250)는, 승강 벨트(240)를 풀어내거나 혹은 감음으로써, 본체부(220)에 대해 승강가능하다.

다음으로는, 대차에 의한 FOUP의 이재 방법에 대해, 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한다. 도 3 및 도 4는, 각각 제 1 실시형태에 따른 대차의 FOUP의 이재 방법을 나타낸 사시도이다.

도 3에 있어서, 대차(200)가, 궤도(100)의 수직 하방에 위치하는 포트(510) 상의 FOUP(400)를 이재할 때에는, 우선 대차(200)가 궤도(100) 상을 주행하다가, 포트(510) 상에 설치된 FOUP(400)의 상방에 정지한다.

이어서, 도 3에 나타낸 바와 같이, 승강부(235)가, 승강 벨트(240)를 풀어냄으로써, 파지부(250)를 FOUP(400)의 위치까지 하강시켜, 파지부(250)가 FOUP(400)를 파지한다.

파지부(250)가 FOUP(400)를 파지하면, 승강부(235)는, 승강 벨트(240)를 감아서, 파지부(250) 및 파지된 FOUP(400)를 본체부(220)의 위치까지 상승시킨다. 그런 다음, 다시 대차(200)가 궤도(100) 상을 주행하여, FOUP(400)를 반송한다.

도 4에 나타낸 예는, FOUP(400)가 궤도(100)의 측방으로 벗어난 위치에 있는 사이드 버퍼(520)에 설치되어 있는 경우이다. 이 경우, 이동부(230)가 궤도(100)의 측방으로 이동한 후, 승강부(235)가 승강 벨트(240)를 풀어내어, 파지부(250)가 FOUP(400)의 위치까지 하강한다. 이와 같이 동작함으로써, 궤도(100)의 측방으로 벗어난 위치에 있는 FOUP(400)를 가로방향으로 이재시키는 것이 가능해진다.

다음으로는, 본 실시형태에 따른 대차에 의한 접속 궤도의 주행 방법, 및 접속 궤도의 적절한 주행을 실현하는 대차 및 궤도의 구체적인 구성에 대해, 도 5 내지 도 9를 참조하면서 설명한다. 도 5는, 제 1 실시형태에 따른 대차의 접속 궤도에 있어서의 주행을 나타낸 평면도이다. 또한, 도 6 내지 도 9는 각각, 제 1 실시형태에 따른 대차의 주행부의 구성을 궤도와 함께 나타낸 단면도이다. 참고로, 도 6 내지 도 9에는, 대차를 진행방향의 후방으로부터 바라본 상태가 도시되어 있다.

이하에서는, 도 5를 참조하여, 제 1 본궤도(101)를 주행하는 대차(200)가, 접속 궤도(105)를 주행하여, 제 2 본궤도(102)로 갈아탈 때의 동작에 대해 설명한다. 본 실시형태에 따른 대차(200)에는, 보기 대차부의 각각에, 분기 롤러(610) 및 자세 안정 롤러(620)가 설치되어 있다.

도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 제 1 본궤도(101)를 주행하는 대차(200a)가 분기 가이드(110a)가 설치된 장소에 다다르면, 분기 가이드(110a)에 의해 분기 롤러(610)가 안내되는 상태가 된다. 한 쌍의 분기 롤러(610)는, 대차(200)의 진행방향에 교차하는 방향(즉, 도 6의 좌우방향)으로 시프트 가능한 분기 롤러 지지부(720)에 지지되어 있다. 여기서는, 대차(200a)는, 제 1 본궤도(101)로부터 진행방향에 대해 좌측에 위치하는 접속 궤도(105)로 이동하고자 하고 있어, 분기 가이드(110a)가 설치된 장소에서는, 분기 롤러 지지부(720)가 좌측으로 시프트된 상태로 한다. 이때, 한 쌍의 분기 롤러(610) 중 좌측의 것이 분기 가이드(110a)에 안내되는 위치에 있는 상태가 된다. 따라서, 대차(200)는, 제 1 본궤도(101)로부터 접속 궤도(105)로 안내된다.

한편, 대차(200)를 접속 궤도(105)로 안내하지 않을 경우에는, 분기 롤러 지지부(720)를 진행방향에 대해 우측으로 시프트된 상태로 한다. 이 경우, 분기 롤러(610)는 접속 궤도(105)측의 분기 가이드(110a)에 안내되지 않고, 직진측의 분기 가이드(110c)에 의해 안내된다. 이에 따라, 대차(200)는, 제 1 본궤도(101)를 계속 주행하게 된다.

도 5 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 접속 궤도(105)로 갈아탄 후, 자세 안정 롤러 가이드(120a)가 설치된 장소에 다다른 대차(200b)의 경우, 좌측의 자세 안정 롤러(620)가, 자세 안정 롤러 가이드(120a)에 안내되는 상태가 된다. 한 쌍의 자세 안정 롤러(620)는, 한 쌍의 사이드 롤러(650)와 함께, 자세 안정 롤러 지지부(710)에 지지되어 있다. 자세 안정 롤러(620)는, 자세 안정 롤러 가이드(120a)에 안내되어, 대차(200b)의 자세를 안정시킨다.

도 5 및 도 8에 나타낸 바와 같이, 자세 안정 롤러 가이드(120b)가 설치된 장소에 대차(200)가 다다르면, 우측의 자세 안정 롤러(620)(즉, 그때까지 안내되고 있던 롤러와는 반대의 롤러)가, 자세 안정 롤러 가이드(120b)에 안내되는 상태가 된다. 참고로, 본 실시형태에서는, 자세 안정 롤러 가이드(120a 및 120b)가 서로 중복되는 구간은 마련되어 있지 않지만, 자세 안정 롤러 가이드(120a 및 120b)의 양방이 설치되는 구간이 있어도 상관없다.

자세 안정 롤러 가이드(120a 및 120b)의 각각에 의해 자세 안정 롤러(620)가 안내되는 구간에서는, 분기 롤러(610)를 안내하는 분기 가이드(110)가 설치되어 있지 않기 때문에, 분기 롤러 지지부(720)가 해방된 상태(즉, 시프트 가능한 상태)가 된다. 따라서, 분기 롤러 지지부(720)는, 자세 안정 롤러(620)가 안내되는 구간에 있어서, 진행방향의 우측으로 시프트된다.

도 5 및 도 9에 나타낸 바와 같이, 자세 안정 롤러 가이드(120b)가 설치된 구간을 빠져나가, 분기 가이드(110b)가 설치된 장소에 다다른 대차(200c)의 경우는, 분기 롤러 지지부(720)가 우측으로 시프트되어 있기 때문에, 우측의 분기 롤러(610)가 분기 가이드(110b)에 안내되는 상태로 되어 있다. 따라서, 대차(200)는, 접속 궤도(105)로부터 제 2 본궤도(102)로 갈아탈 수 있다.

이상과 같이, 본 실시형태에 따른 유궤도 대차 시스템에서는, 분기 롤러(610) 및 자세 안정 롤러(620)가 각각, 분기 가이드(110) 및 자세 안정 롤러 가이드(120)에 안내됨으로써, 제 1 본궤도(101)로부터 제 2 본궤도(102)로의 갈아타기를 적절하게 실현할 수 있다. 본 실시형태에서는, 분기 가이드(110)가 설치되어 있지 않은 무 가이드 구간에 있어서, 자세 안정 롤러(620)가 자세 안정 롤러 가이드(120)에 안내된 상태가 된다. 따라서, 무 가이드 구간에 있어서도, 대차(200)의 자세를 안정시키는 것이 가능해진다.

상술한 자세 안정 롤러(620) 및 자세 안정 롤러 가이드(120)를 가지지 않는 유궤도 대차 시스템에 대해, 도 10 내지 도 12를 참조하면서 설명한다. 도 10은, 비교예에 따른 대차의 주행부의 구성을 궤도와 함께 나타낸 단면도이다. 또한, 도 11은, 비교예에 따른 대차의 자세가 안정되는 구간 및 불안정해지는 구간을 나타낸 평면도이고, 도 12는, 비교예에 따른 대차에 있어서의 분기 롤러 시프트 구간을 나타낸 평면도이다.

도 10 및 도 11에 나타낸 바와 같이, 비교예에 따른 유궤도 대차 시스템에서는, 자세 안정 롤러(620) 및 자세 안정 롤러 가이드(120)가 설치되어 있지 않다. 이 때문에, 분기 가이드(110)가 설치되어 있지 않은 무 가이드 구간에서는, 좌우에 위치하는 양 사이드 롤러(650)가 각각 궤도 벽(즉, 궤도(100)의 내측 측면)에 접촉하는 구간에 있어서의, 대차(200)의 자세가 안정적이다. 그러나, 도 11에 나타낸 바와 같이, 분기 가이드(110)가 설치되어 있지 않은 무 가이드 구간에는, 주행방향의 일측에만 궤도 벽이 존재하는 구간이 있는데, 이 구간에서는 사이드 롤러(650)가, 궤도 벽의 일방에만 접촉하는 상태가 된다. 이 때문에, 상술한 바와 같은 구간에서는, 사이드 롤러(650)에 의한 자세 안정을 도모할 수 없어, 대차(200)의 자세를 안정시키는 것이 곤란해진다. 따라서, 접속 궤도(105)에 있어서의 대차(200)의 안정적인 주행을 실현하기 위해서는, 분기 가이드(110)를 길게 할 것이 요구된다.

도 12에 나타낸 바와 같이, 비교예에 따른 유궤도 대차 시스템에 있어서 분기 가이드(110)를 길게 하면, 분기 롤러(610)를 시프트시키는 구간(즉, 분기 가이드(110)가 설치되지 않는 무 가이드 구간)의 길이가 짧아져 버린다. 따라서, 분기 롤러(610)를 적절히 시프트시키는 것이 곤란해질 우려가 있다. 또한, 이러한 경우, 분기 롤러(610)를 강제적으로 시프트시키는 강제 가이드를 이용하는 방법도 고려할 수 있지만, 대차(200)의 주행 속도를 느리게 하지 않는 한, 급격히 분기 롤러(610)를 시프트시키게 된다. 분기 롤러(610)를 급격히 시프트시키면, 분기 롤러(610)가 큰 힘을 받아서 이상 발생의 원인이 될 우려가 있다. 또한, 급격히 분기 롤러(610)를 시프트시키면, 분기 롤러(610)가 분기 가이드(110)에 접촉할 때의 충격도 커지기 때문에, 대차(200)의 진동이나 분기 롤러(610)의 파손 등을 초래할 우려가 있다.

이에 반해, 도 5∼도 9에 나타낸 본 실시형태에 따른 유궤도 대차 시스템은, 자세 안정 롤러(620) 및 자세 안정 롤러 가이드(120)를 구비하고 있기 때문에, 분기 가이드(110)가 설치되어 있지 않은 무 가이드 구간을 길게 할 수 있어, 분기 롤러(610)의 시프트 동작을 확실하고도 안전하게 실현할 수 있다.

참고로, 도 5와 도 11 및 도 12를 비교해 보면 알 수 있듯이, 본 실시형태에 따른 유궤도 대차 시스템에서는, 비교예에 따른 유궤도 대차 시스템에 비해 무 가이드 구간이 길기는 하지만, 접속 궤도(105)의 길이 자체는 변하지 않는다. 즉, 본 실시형태에 따른 유궤도 대차 시스템에서는, 무 가이드 구간을 길게 한다 하더라도, 그에 수반하여 접속 궤도(105)가 길어지는 것을 방지할 수 있어, 접속 궤도(105)를 단축시킬 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시형태에 따른 유궤도 대차 시스템에 따르면, 자세 안정 롤러(620)에 의해 안정적인 접속 궤도의 주행이 가능해지는 동시에, 접속 궤도(105)의 길이를 단축시켜 공간절약을 실현하는 것이 가능하다.

<제 2 실시형태>

다음으로는, 제 2 실시형태에 따른 유궤도 대차 시스템에 대해 설명한다. 참고로, 제 2 실시형태는, 상술한 제 1 실시형태에 비해 일부의 구성이 다를 뿐이며, 그 밖의 구성은 대체로 동일하다. 따라서, 이하에서는 제 1 실시형태와 상이한 부분에 대해 상세히 설명하며, 중복되는 부분에 대해서는 적절히 설명을 생략하기로 한다.

제 2 실시형태에 따른 대차의 구성에 대해, 도 13 및 도 14를 참조하여 설명한다. 도 13은, 제 2 실시형태에 따른 대차의 주행부의 구성을 궤도와 함께 나타낸 단면도이다. 또한, 도 14는, 제 2 실시형태에 따른 대차의 주행부의 구성을 나타낸 측면도이다.

도 13에 있어서, 제 2 실시형태에 따른 대차(200)에는, 주행부(210)의 하측부분에 하측 자세 안정 롤러(625)가 설치되어 있다. 하측 자세 안정 롤러(625)는, 주행부(210)에 대해 시프트 불가능하게 고정되어 있으며, 궤도(100)의 하면(즉, 주행부(210)가 주행하는 주행면)에 가까운 높이에 설치되어 있다.

도 14에 나타낸 바와 같이, 하측 자세 안정 롤러(625)는, 대차(200)의 주행방향을 따라 세로 열 상태로 복수 설치되어 있다. 구체적으로는, 대차(200)의 주행방향 전방측의 주행부(210a)에는, 하측 자세 안정 롤러(625a)가 2개의 세로 열 상태로 설치되어 있다. 또한, 대차(200)의 주행방향 후방측의 주행부(210b)에는, 하측 자세 안정 롤러(625b)가 2개의 세로 열 상태로 설치되어 있다.

다음으로는, 제 2 실시형태에 따른 유궤도 대차 시스템에 있어서의 궤도의 구성에 대해, 도 15를 참조하여 설명한다. 도 15는, 제 2 실시형태에 따른 궤도의 주행면의 구성을 나타낸 평면도이다.

도 15에 나타낸 바와 같이, 제 2 실시형태에 따른 궤도(100)는, 접속 궤도(105)에 있어서의 주행면에, 제 1 돌출부(910) 및 제 2 돌출부(920)를 가지고 있다. 제 1 돌출부(910)는, 돌출방향의 단부에 제 1 측면부(915)를 가지고 있다. 제 2 돌출부(920)는, 돌출방향의 단부에 제 2 측면부(925)를 가지고 있다. 제 1 측면부(915) 및 제 2 측면부(925)의 각각은, 후술하는 바와 같이, 하측 자세 안정 롤러(625)와 접촉하는 위치에 설치되어 있다.

제 1 돌출부(910)는, 궤도(100)의 주행방향 우측에 설치되어 있으며, 제 1 본궤도(101) 및 접속 궤도(105)로의 분기점 주변으로부터 접속 궤도(105)의 도중(途中)까지 연장되어 있다. 제 2 돌출부(920)는, 궤도(100)의 주행방향 좌측에 설치되어 있으며, 접속 궤도(105)의 도중으로부터 접속 궤도(105) 및 제 2 본궤도(102)의 합류점 주변까지 연장되어 있다. 제 1 돌출부(910) 및 제 2 돌출부(920)는, 대차(200)의 주행방향에 대해 서로 겹치지 않는 위치에 설치되어 있다.

제 1 측면부(915)와 제 2 측면부(925)의, 대차(200)의 주행방향에 대한 간극의 길이는, 하측 자세 안정 롤러(625)의 회전방향을 가변시킬 수 있는 길이로 되어 있다. 또한, 제 1 측면부(915)와 제 2 측면부(925)의, 대차(200)의 주행방향에 교차하는 방향에 대한 간극의 길이는, 하측 자세 안정 롤러(625)의 직경과 동일한 길이로 되어 있다.

다음으로는, 제 2 실시형태에 따른 대차(200)에 의한 접속 궤도(105)의 주행 방법, 및 이때의 주행부(210)의 동작에 대해, 도 16 내지 도 18을 참조하면서 구체적으로 설명한다. 도 16은, 제 2 실시형태에 따른 대차의 접속 궤도에 있어서의 주행을 나타낸 평면도이다. 또한, 도 17 및 도 18은 각각, 제 2 실시형태에 따른 대차의 주행부의 구성을 궤도와 함께 나타낸 단면도이다.

이하에서는, 제 1 본궤도(101)를 주행하는 대차(200a)가, 접속 궤도(105)를 주행하다가, 제 2 본궤도(102)로 갈아타는 경우의 동작에 대해 설명한다. 참고로, 분기 롤러(610)의 안내 동작 및 시프트 동작에 대해서는, 상술한 제 1 실시형태와 동일하므로, 여기서는 제 2 실시형태 특유의 하측 자세 안정 롤러(625)의 동작에 대해 상세히 설명하기로 한다.

도 16 및 도 17에 나타낸 바와 같이, 접속 궤도(105)에 다다른 대차(200b)의 경우, 분기 가이드(110a)가 중단되는 부분을 대차(200b)가 통과하는 시점에 있어서, 하측 자세 안정 롤러(625)가, 제 1 돌출부(910)의 제 1 측면부(915)에 접촉하는 상태가 된다. 이 때문에, 분기 롤러(610)가 분기 가이드(110a)에 안내되지 않는 상태가 되더라도, 대차(200)의 자세를 안정시킬 수 있다. 구체적으로, 대차(200)는, 하측 자세 안정 롤러(625) 및 제 1 측면부(915)의 접촉부분과, 좌측 사이드 롤러(650) 및 궤도 벽의 접촉부분에 의해 자세가 유지된다.

도 16 및 도 18에 나타낸 바와 같이, 제 1 돌출부(910)가 중단되는 부분을 대차(200b)가 통과하는 시점에 있어서, 하측 자세 안정 롤러(625)는, 계속하여 제 2 돌출부(920)의 제 2 측면부(925)에 접촉하는 상태가 된다. 이 때문에, 분기 롤러(610)가 제 2 본궤도(102)측에 존재하는 분기 가이드(110b)에 안내되고 있지 않은 상태이더라도, 대차(200)의 자세를 안정시킬 수 있다. 구체적으로, 대차(200)는, 하측 자세 안정 롤러(625) 및 제 2 측면부(925)의 접촉부분과, 우측 사이드 롤러(650) 및 궤도 벽의 접촉부분에 의해 자세가 유지된다.

도 16에 나타낸 바와 같이, 대차(200c)가 제 2 본궤도(102)에 다다라, 제 2 돌출부(920)가 중단되는 부분을 통과하는 시점에 있어서, 분기 롤러(610)가 분기 가이드(110b)에 안내된 상태가 된다. 따라서, 하측 자세 안정 롤러(625)가 제 2 측면부(925)에 접촉되어 있지 않더라도, 대차(200)의 자세는 안정된다.

상술한 바와 같이, 하측 자세 안정 롤러(625)와, 제 1 돌출부(910) 및 제 2 돌출부(920)에 따르면, 분기 가이드(110)가 존재하지 않는 구간에서도, 대차(200)의 주행 자세를 안정시킬 수 있다. 이에 따라, 분기 가이드(110)가 설치되는 구간을 짧게 할 수 있기 때문에, 접속 궤도(105)의 길이를 변경하지 않더라도 분기 롤러(610)가 시프트 가능해지는 무 가이드 구간을 길게 할 수 있다. 즉, 분기 가이드(110)가 설치되어 있지 않은 무 가이드 구간을 길게 한다 하더라도, 그에 수반하여 접속 궤도(105)가 길어져 버리는 것을 방지할 수 있어, 접속 궤도(105)를 단축시킬 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 제 2 실시형태에 따른 유궤도 대차 시스템에 따르면, 상술한 제 1 실시형태와 마찬가지로, 하측 자세 안정 롤러(625)에 의해 안정적인 접속 궤도의 주행이 가능해지는 동시에, 접속 궤도(105)의 길이를 단축하여 공간절약을 실현할 수 있게 된다.

본 발명은, 상술한 실시형태에 한정되는 것이 아니라, 특허청구의 범위 및 명세서 전체로부터 파악되는 발명의 요지 혹은 사상에 반하지 않는 범위 내에서 적절히 변경이 가능하며, 이러한 변경을 수반하는 유궤도 대차 시스템도 또한 본 발명의 기술적 범위에 포함되는 것이다.

100 : 궤도
101 : 제 1 본궤도
102 : 제 2 본궤도
105 : 접속 궤도
110 : 분기 가이드
120 : 자세 안정 롤러 가이드
200 : 대차
205 : 차상 컨트롤러
210 : 주행부
215 : 주행 롤러
220 : 본체부
230 : 이동부
235 : 승강부
240 : 승강 벨트
250 : 파지부
300 : 컨트롤러
400 : FOUP
510 : 포트
520 : 사이드 버퍼
610 : 분기 롤러
620 : 자세 안정 롤러
625 : 하측 자세 안정 롤러
650 : 사이드 롤러
710 : 자세 안정 롤러 지지부
720 : 분기 롤러 지지부
910 : 제 1 돌출부
915 : 제 1 측면부
920 : 제 2 돌출부
925 : 제 2 측면부

Claims

제 1 및 제 2 본궤도, 및 상기 제 1 및 제 2 본궤도를 서로 접속하는 접속 궤도를 가지는 궤도와, 상기 궤도에 지지되는 동시에 안내되어 주행하는 대차를 구비하는 유궤도 대차 시스템으로서,
상기 대차는,
상기 궤도를 주행하는 주행부와,
상기 주행부의 폭방향으로 이격되어 설치되는 제 1 및 제 2 분기 롤러와,
상기 주행부에 설치되어 있으며, 상기 제 1 및 제 2 분기 롤러를, 상기 주행부의 폭방향으로 시프트 가능하게 지지하는 분기 롤러 지지부와,
상기 주행부의 주행 자세를 안정시키기 위한 자세 안정 롤러와,
상기 주행부에 설치되어 있으며, 상기 자세 안정 롤러를, 상기 주행부의 폭방향으로 시프트 불가능하게 지지하는 자세 안정 롤러 지지부
를 가지고 있으며,
상기 궤도는,
상기 접속 궤도의 폭방향의 일방측에 있어서, 상기 제 1 본궤도로부터 상기 접속 궤도의 연신방향을 따라 연장되어, 상기 제 1 분기 롤러를 안내하는 제 1 분기 가이드와,
상기 접속 궤도의 폭방향의 타방측에 있어서, 상기 접속 궤도의 연신방향에 대해 상기 제 1 분기 가이드와 겹치지 않는 무(無) 가이드 구간을 사이에 두고, 상기 접속 궤도의 연신방향을 따라 상기 제 2 본궤도까지 연장되어, 상기 제 2 분기 롤러를 안내하는 제 2 분기 가이드와,
상기 무 가이드 구간에 설치되어 있으며, 상기 무 가이드 구간 내에서 상기 자세 안정 롤러를 안내하는 자세 안정 롤러 가이드
를 가지고 있는, 유궤도 대차 시스템.
제 1항에 있어서,
상기 대차는, 본체부와, 상기 본체부에 대해 수평방향으로 회동가능하게 설치된 복수의 보기 대차부를 가지고 있고,
상기 주행부, 상기 분기 롤러 지지부 및 상기 자세 안정 롤러 지지부는, 상기 복수의 보기 대차부의 각각에 각각 설치되어 있는, 유궤도 대차 시스템.
제 1항에 있어서,
상기 자세 안정 롤러는, 상기 주행부의 폭방향으로 이격하여 부착된 제 1 및 제 2 롤러부를 가지고 있고,
상기 자세 안정 롤러 가이드는, 상기 무 가이드 구간 내에 있어서 상기 접속 궤도의 폭방향의 일방측에서 상기 연신방향으로 연장되어, 상기 제 1 롤러부를 안내하는 제 1 롤러 가이드부와, 상기 무 가이드 구간 내에 있어서 상기 접속 궤도의 폭방향의 타방측에서 상기 연신방향으로 연장되어, 상기 제 2 롤러부를 안내하는 제 2 롤러 가이드부를 가지고 있는, 유궤도 대차 시스템.
제 3항에 있어서,
상기 궤도는, 천장 또는 상기 천장의 근방 위치에 부설(敷設)되고, 하부의 폭방향 양측에 간극을 두고 이격된 제 1 및 제 2 주행면부를 가지고 있으며,
상기 제 1 롤러 가이드부는, 상기 접속 궤도에 있어서의 상기 제 1 주행면부에서의 상기 간극의 근방 위치로부터 판형상을 이루며 기립(屹立)해 있고,
상기 제 2 롤러 가이드부는, 상기 접속 궤도에 있어서의 상기 제 2 주행면부에서의 상기 간극의 근방 위치로부터 판형상을 이루며 기립해 있고,
상기 제 1 및 제 2 롤러부의 각각은, 상기 제 1 및 제 2 롤러 가이드부에 대해, 상기 접속 궤도의 폭방향의 양 외측으로부터 각각 접촉하여 안내되는, 유궤도 대차 시스템.
제 1항에 있어서,
상기 궤도는, 천장 또는 상기 천장의 근방 위치에 부설되고, 하부 양측에 제 1 및 제 2 주행면부를 가지는 동시에 상기 제 1 및 제 2 주행면부 사이에 간극을 가지고 있으며,
상기 무 가이드 구간 내의 상기 제 1 주행면부로부터 상기 간극측으로 돌출되고, 상기 접속 궤도의 연신방향을 따라 소정길이로 연장되는 동시에, 폭방향 단부에 제 1 측면부를 가지는 제 1 돌출부와,
상기 무 가이드 구간 내에서 상기 제 1 돌출부와 상기 접속 궤도의 연신방향에 대해 겹치지 않는 위치에 있어서의, 상기 제 2 주행면부로부터 상기 간극측으로 돌출되고, 상기 접속 궤도의 연신방향을 따라 소정길이로 연장되는 동시에, 폭방향 단부에 제 2 측면부를 가지는 제 2 돌출부를 더 구비하며,
상기 자세 안정 롤러 지지부는, 상기 주행부의 하측에 설치되어 있으며, 상기 자세 안정 롤러를 상기 제 1 측면부 및 상기 제 2 측면부와 접촉가능하게 지지하는, 유궤도 대차 시스템.
제 5항에 있어서,
상기 자세 안정 롤러는, 상기 주행부의 하측이며 폭방향의 중앙부 근방에 상기 대차의 주행방향을 따라 세로 열 상태로 복수 설치되고,
상기 제 1 측면부와 상기 제 2 측면부는, 상기 폭방향에 있어서, 상기 자세 안정 롤러의 직경과 동일한 길이가 되도록 이격되어 있는, 유궤도 대차 시스템.
제 2항에 있어서,
상기 자세 안정 롤러는, 상기 주행부의 폭방향으로 이격하여 부착된 제 1 및 제 2 롤러부를 가지고 있으며,
상기 자세 안정 롤러 가이드는, 상기 무 가이드 구간 내에 있어서 상기 접속 레일의 상기 폭방향의 일방측에서 상기 연신방향으로 연장되어, 상기 제 1 롤러부를 안내하는 제 1 롤러 가이드부와, 상기 무 가이드 구간 내에 있어서 상기 접속 레일의 폭방향의 타방측에서 상기 연신방향으로 연장되어, 상기 제 2 롤러부를 안내하는 제 2 롤러 가이드부를 가지고 있는, 유궤도 대차 시스템.
제 7항에 있어서,
상기 궤도는, 천장 또는 상기 천장의 근방 위치에 부설되고, 하부의 폭방향 양측에 간극을 두고 이격된 제 1 및 제 2 주행면부를 가지고 있으며,
상기 제 1 롤러 가이드부는, 상기 접속 궤도에 있어서의 상기 제 1 주행면부에서의 상기 간극의 근방 위치로부터 판형상을 이루며 기립해 있고,
상기 제 2 롤러 가이드부는, 상기 접속 궤도에 있어서의 상기 제 2 주행면부에서의 상기 간극의 근방 위치로부터 판형상을 이루며 기립해 있고,
상기 제 1 및 제 2 롤러부의 각각은, 상기 제 1 및 제 2 롤러 가이드부에 대해, 상기 접속 궤도의 폭방향의 양 외측으로부터 각각 접촉하여 안내되는, 유궤도 대차 시스템.
제 2항에 있어서,
상기 궤도는, 천장 또는 상기 천장의 근방 위치에 부설되고, 하부 양측에 제 1 및 제 2 주행면부를 가지는 동시에 상기 제 1 및 제 2 주행면부 사이에 간극을 가지고 있으며,
상기 무 가이드 구간 내의 상기 제 1 주행면부로부터 상기 간극측으로 돌출되고, 상기 접속 궤도의 연신방향을 따라 소정길이로 연장되는 동시에, 폭방향 단부에 제 1 측면부를 가지는 제 1 돌출부와,
상기 무 가이드 구간 내에서 상기 제 1 돌출부와 상기 접속 궤도의 연신방향에 대해 겹치지 않는 위치에 있어서의, 상기 제 2 주행면부로부터 상기 간극측으로 돌출되고, 상기 접속 궤도의 연신방향을 따라 소정길이로 연장되는 동시에, 폭방향 단부에 제 2 측면부를 가지는 제 2 돌출부를 더 구비하며,
상기 자세 안정 롤러 지지부는, 상기 주행부의 하측에 설치되어 있으며, 상기 자세 안정 롤러를 상기 제 1 측면부 및 상기 제 2 측면부와 접촉가능하게 지지하는, 유궤도 대차 시스템.
제 9항에 있어서,
상기 자세 안정 롤러는, 상기 주행부의 하측이며 폭방향의 중앙부 근방에 상기 대차의 주행방향을 따라 세로 열 상태로 복수 설치되고,
상기 제 1 측면부 및 상기 제 2 측면부 사이는, 상기 폭방향에 있어서, 상기 자세 안정 롤러의 직경과 동일한 길이가 되도록 이격되어 있는, 유궤도 대차 시스템.