KR101166839B1 - 액정패널 검사 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 액정패널 검사장치에 관한 것으로서, 특히 액정패널을 고온 상태로 가열하는 히팅 챔버 내의 온도를 균일하게 하면서 상기 액정패널에 대한 고온 불량의 검사가 정확히 이루어질 수 있도록 한 새로운 구조의 액정패널 검사장치에 관한 것이다.

이를 위해, 본 발명의 액정패널 검사장치는 복수의 액정패널이 적층된 카세트를 공급받아 상기 액정패널을 설정 온도에까지 이르게 가열하도록 구성되며, 그의 전방측 하부에는 요입부가 형성되고, 상기 요입부의 상면에는 패널 출입구가 형성된 히팅 챔버; 상기 히팅 챔버의 요입부 내에 위치되고, 상기 히팅 챔버에 의해 가열된 액정패널을 제공받아 불량을 검사하는 검사부; 그리고, 상기 히팅 챔버의 전후 방향을 따라 이동되면서 상기 카세트 내의 액정패널을 취출하여 상기 패널 출입구를 통해 검사부로 제공하도록 구성된 패널 반송부:가 포함되어 구성됨을 특징으로 한다.

이러한 구성에 의해 히팅 챔버 내부의 온도 변화를 최소화할 수 있고, 또한 액정패널의 정확한 불량 검사가 가능하다.

히팅 챔버, 패널 출입구, 고온 불량, 외부 기류, 온도 변화, 검사부

Description

액정패널 검사 장치{apparatus for testing for LCD panel}

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 액정패널 검사 장치의 내부 구조를 개략적으로 나타내는 측면도

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 액정패널 검사 장치의 내부 구조를 설명하기 위한 요부 사시도

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 액정패널 검사 장치 중 패널 반송부를 나타낸 사시도

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 액정패널 검사 장치의 패널 반송부 중 파지부 및 승강 파지부에 의해 액정패널이 파지되는 상태를 설명하기 위해 나타낸 요부 측면도

도 5a 내지 도 5f는 본 발명의 실시예에 따른 액정패널 검사 장치에 의해 액정패널을 검사하는 일련의 과정을 설명하기 위해 나타낸 개략적인 상태도

도면의 주요 부분에 대한 부호설명

100. 히팅 챔버 110. 요입부

111. 패널 출입구 112. 카세트 출입구

120. 이송부 130. 투시창

140. 리프트 150. 히터부

200. 검사부 210. 액정패널 유입측

300. 패널 반송부 310. 핸드부

311. 몸체 312. 핑거

313. 파지부 314. 승강 파지부

320. 전후 이동부 321. 제1레일

322. 제1동작부 323. 스텝 모터

330. 승강 이동부 331. 제2레일

332. 제2동작부 400. 밀폐부

본 발명은 액정패널의 검사 장치에 관한 것으로, 특히 균일한 온도를 유지하면서 액정패널의 검사가 빠르게 진행될 수 있도록 한 새로운 구조의 액정패널의 검사장치에 관한 것이다.

일반적으로 액정 표시장치(Liquid Crystal Display)의 제조를 위해 사용되는 검사 장치는 여타의 제조 공정에서 완성된 액정패널의 각종 불량(예컨대, 패턴 불량 및/혹은, 화소 불량)등을 검사하는 장치이다.

상기한 검사 장치를 이용한 검사 공정은 완성된 액정패널을 고온 상태로 유지한 다음 불량 검사를 진행하게 된다.

즉, 히팅 챔버에서 다수의 액정패널이 적층된 카세트를 공급받아 상기 액정 패널이 고온에 이르도록 가열하고, 상기 가열된 액정패널은 반송 로봇에 의해 검사부로 반송된 후 상기 검사부에서 중력 불량(액정이 흘러 내리는 현상에 대한 불량 검사) 등을 검사함으로써 불량 검사가 이루어지는 것이다.

하지만, 전술한 종래의 검사 장치는 히팅 챔버와 검사부가 서로 별개의 존재로 구성되기 때문에 상기 히팅 챔버 내의 카세트로부터 반출된 액정패널은 상기 검사부로 반송하는 도중 외기에 노출된다. 이에 따라 상기 액정패널의 온도가 떨어지고, 이로 인해 상기 액정패널에 대한 정확한 불량의 검사가 진행되지 못하였던 문제점을 가진다.

또한, 종래의 검사 장치는 상기 히팅 챔버 내의 카세트로부터 액정패널이 반출될 때에는 상기 히팅 챔버의 내부가 외기와 연통되기 때문에 외부 기류가 상기 히팅 챔버 내부로 유입되어 상기 히팅 챔버 내의 온도가 불균일할 수밖에 없다는 문제점을 가진다.

또한, 종래의 검사 장치를 구성하는 반송 로봇은 카세트로부터 액정패널을 취출하고 이 취출한 액정패널을 검사 장치로 이송할 수 있도록 다수의 관절을 가지는 로봇으로 구성되어야만 하였다.

이로 인해, 전체적인 제조 단가의 상승이 야기되었으며, 상기 액정패널을 반송하는데 소요되는 시간 역시 길 수밖에 없었던 문제점을 가진다.

본 발명의 상기한 종래의 각종 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 액정패널을 고온 상태로 가열하는 히팅 챔버 내의 온도를 균일하게 하면서 상기 액정패널에 대한 고온 불량의 검사가 진행될 수 있도록 한 새로운 구조의 액정패널 검사장치를 제공하고자 한 것이다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 액정패널 검사장치는 복수의 액정패널이 적층된 카세트를 공급받아 상기 액정패널을 설정 온도에까지 이르게 가열하도록 구성되며, 그의 전방측 하부에는 요입부가 형성되고, 상기 요입부의 상면에는 패널 출입구가 형성된 히팅 챔버; 상기 히팅 챔버의 요입부 내에 위치되고, 상기 히팅 챔버에 의해 가열된 액정패널을 제공받아 불량을 검사하는 검사부; 그리고, 상기 히팅 챔버의 전후 방향을 따라 이동되면서 상기 카세트 내의 액정패널을 취출하여 상기 패널 출입구를 통해 검사부로 제공하도록 구성된 패널 반송부:가 포함되어 구성됨을 특징으로 한다.

여기서, 상기 패널 반송부는 액정패널을 선택적으로 파지할 수 있도록 구성되며, 상단은 상기 히팅 챔버의 상측 외부로 노출되게 설치된 핸드부와, 상기 핸드부를 상기 히팅 챔버의 전후 방향을 따라 이동시키는 전후 이동부와, 일단은 전후 이동부에 고정되고, 타단은 상기 핸드부를 상하 방향을 따라 승강시키는 승강 이동부를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.

이때, 상기 전후 이동부는 상기 히팅 챔버 상면의 전후 방향을 따라 설치되는 제1레일과, 일단은 상기 제1레일의 지지를 받아 전후 방향으로 이동 가능하게 설치되고, 타단은 상기 승강 이동부에 고정되는 제1동작부를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.

또한, 상기 승강 이동부는 상기 히팅 챔버 내의 상하 방향을 따라 설치되는 제2레일과, 상단이 상기 제2레일의 지지를 받아 상하 방향으로 이동 가능하게 설치되고, 타단은 상기 핸드부에 고정되는 제2동작부를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 액정패널 검사장치를 설명한다.

첨부된 도 1 및 도 2와 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 액정패널 검사장치는 크게 히팅 챔버(100)와, 검사부(200) 및 패널 반송부(300)를 포함하여 구성되며, 이를 각 구성별로 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

먼저, 히팅 챔버(100)에 대하여 첨부된 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한다.

상기 히팅 챔버(100)는 다수의 액정패널(1)이 적층된 카세트(10)를 공급받아 상기 액정패널(1)을 설정 온도에까지 이르게 가열하도록 구성된 장치이다.

상기한 히팅 챔버(100)는 대략 내부가 빈 박스형으로 형성되며, 그의 내부 후방측에는 카세트(10)가 안착된다.

특히, 상기 히팅 챔버(100)의 전방측 하부에는 내측으로 요입된 요입부(110)가 형성되며, 상기 요입부(110)의 상면에는 액정패널(1)이 출입되는 패널 출입구(111)가 형성된다.

이때, 상기 패널 출입구(111)는 상기 액정패널(1)이 원활히 출입될 수 있을 정도의 크기로 형성된다.

물론, 상기 패널 출입구(111)에는 그의 선택적인 개폐를 위한 개폐 도어(도 시는 생략됨)가 더 구비됨이 바람직한데, 이는 히팅 챔버(100) 내부가 필요한 경우를 제외하고는 항상 밀폐된 상태를 유지할 수 있도록 하기 위함이다.

또한, 상기 히팅 챔버(100)의 측면 후방측에는 상기 카세트(10)의 반입/반출을 위한 카세트 출입구(112)가 더 형성되고, 상기 히팅 챔버(100)의 후방측 저면에는 상기 카세트 출입구(112)를 통해 상기 카세트(10)가 반입/반출되도록 구동되는 이송부(120)가 더 구비된다.

이때, 상기 이송부(120)는 다양한 구조로 이루어질 수 있지만 본 발명의 실시예에서는 상기 이송부(120)가 컨베이어(conveyor)로 구성됨을 제시한다.

물론, 상기 카세트 출입구(112)에도 그의 선택적인 개폐를 위한 개폐 도어(도시는 생략됨)가 더 구비됨이 바람직하다. 이때, 상기 개폐 도어는 상기 이송부(120)가 설치된 부위는 제외하고 상기 카세트 출입구(112)를 폐쇄하도록 구성됨이 가장 바람직하다.

또한, 상기 히팅 챔버(100)의 전방측 상면에는 상기 히팅 챔버(100) 내부의 공정 진행 사항을 작업자가 확인할 수 있도록 투시창(130)을 더 형성함이 바람직하다.

또한, 상기 히팅 챔버(100)에는 히터부(150)가 구비된다. 이때, 상기 히터부(150)는 상기 히팅 챔버(100)의 내부 공간상에 설치될 수도 있지만, 상기 히팅 챔버(100)의 벽면 내부에 설치됨을 제시한다. 물론, 도시하지는 않았지만 상기 히터부(150)는 상기 히팅 챔버(100)와는 별도로 설치됨과 동시에 덕트 등으로 상기 히팅 챔버(100) 내부를 향해 고온의 열기를 전달하도록 구성될 수도 있다.

다음으로, 검사부(200)에 대하여 첨부된 도 1을 참조하여 설명한다.

상기 검사부(200)는 상기 히팅 챔버(100)에 의해 가열된 액정패널(1)을 제공받아 불량을 검사하는 장치이다. 이때, 상기 액정패널(1)의 불량이라 함은 액정이 아래로 몰리는 현상 등의 불량이다.

상기한 검사부(200)는 상기 히팅 챔버(100)의 요입부(110) 내에 위치되도록 설치되고, 액정패널 유입측(210)은 상기 히팅 챔버(100)의 패널 출입구(111)와 대향 되도록 형성된다.

다음으로, 패널 반송부(300)에 대하여 첨부된 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명한다.

상기 패널 반송부(300)는 상기 히팅 챔버(100) 내의 카세트(10)로부터 액정패널(1)을 취출하여 패널 출입구(111)를 통해 검사부(200)로 제공하도록 구성된 장치이다.

상기한 패널 반송부(300)는 첨부된 도 3과 같이 핸드부(310)와, 전후 이동부(320)와, 승강 이동부(330)를 포함하여 구성된다.

여기서, 상기 핸드부(310)는 몸체(311)와 다수의 핑거(312)로 구성되며, 상기 몸체(311)의 상단은 상기 히팅 챔버(100)의 상측 외부로 노출되게 설치된다.

이때, 상기 각 핑거(312)의 끝단에는 파지부(313)가 형성되어 상기 액정패널(1)을 선택적으로 파지할 수 있다. 상기한 파지부(313)은 액정패널(1)의 표면에 긁힘을 방지하기 위해 테플론(Teflon) 수지나 혹은, 그에 준하는 수지 재질 등으로 형성됨이 바람직하다.

특히, 상기 파지부(313)는 전방측(혹은, 후방측)을 향해 절곡된 후 다시 상부를 향해 절곡된 다단 절곡 구조를 이루도록 형성되어 상기 액정패널(1)의 저부를 파지하게 된다. 이의 상태는 첨부된 도 4와 같다. 물론, 도시되지는 않았지만 상기 파지부(313)의 내면(액정패널과 맞닿는 면)에는 그에 의해 파지되는 액정패널(1)의 유동을 방지하기 위해 별도의 단턱이 더 형성됨이 바람직하다.

또한, 상기 핸드부(310)에는 첨부된 도 3 및 도 4와 같이 상기 액정패널(1)의 상부를 파지하는 승강 파지부(314)가 더 구비됨이 바람직하다.

상기 승강 파지부(314)는 상기 핸드부(310)를 따라 선택적으로 승강하면서 액정패널(1)의 상부 둘레를 파지하도록 형성되며, 상기 액정패널(1)이 반송 도중 유동됨을 방지하는 역할을 한다. 이때, 상기 승강 파지부(314)는 도시되지는 않았지만 스텝 모터나 액츄에이터 등에 의해 승강 가능하게 구성됨이 바람직하다.

그리고, 상기 전후 이동부(320)는 상기 핸드부(310)의 몸체(311)를 상기 히팅 챔버(100)의 전후 방향을 따라 이동시키도록 구성된 것으로, 제1레일(321)과 제1동작부(322)를 포함하여 구성된다.

상기 제1레일(321)은 상기 히팅 챔버(100) 상면의 전후 방향을 따라 설치된다.

또한, 상기 제1동작부(322)는 그 일단이 상기 제1레일(321)의 지지를 받아 전후 방향으로 이동 가능하게 설치되고, 타단은 후술되는 승강 이동부(330)의 제2레일(331)과 결합된다.

이때, 상기 제1동작부(322)의 이동을 위한 구성은 스텝 모터(323)가 사용된 다. 물론, 액츄에이터를 사용할 수도 있다.

그리고, 상기 승강 이동부(330)는 상기 핸드부(310)의 몸체(311)를 상기 히팅 챔버(100)의 상하 방향을 따라 이동시키도록 구성된 것으로, 제2레일(331)과 제2동작부(332)를 포함하여 구성된다.

상기 제2레일(331)은 상기 히팅 챔버(100) 내의 상하 방향을 따라 설치되며, 상기 전후 이동부(320)를 구성하는 제1동작부(322)과 결합된다. 즉, 상기 제2레일(331)은 상기 제1동작부(322)와 함께 상기 히팅 챔버(100)의 전후 방향을 따라 이동되는 것이다.

또한, 상기 제2동작부(332)는 일단이 상기 제2레일(331)의 지지를 받아 상하 방향으로 이동 가능하게 설치됨과 더불어 타단은 상기 핸드부(310)의 몸체(311) 상단에 고정된다.

이때, 상기 제1동작부(322)의 이동을 위한 구성은 스텝 모터(도시는 생략됨)가 사용된다. 물론, 액츄에이터를 사용할 수도 있다.

한편, 전술한 본 발명의 실시예에 따른 액정패널 검사장치를 구성하는 검사부(200) 및 핸드부(310)와, 히팅 챔버(100) 내로 반송되는 카세트(10)는 그의 전면이 하부로 갈수록 전방측을 향하도록 소정각도 경사지게 설치됨이 바람직하다.

이는, 작업자가 액정패널(1)에 대한 검사를 편하게 수행할 수 있도록 하고, 상기 액정패널(1)의 반송이 안정적으로 이루어질 수 있도록 하기 위함이다.

이때, 상기 카세트(10)는 그 자체가 경사지도록 구성될 수도 있지만, 첨부된 도면에서와 같이 별도의 리프트(140)가 이송부(120)의 전방측(도면상 우측)을 들어 올리도록 구성됨으로써 상기 카세트(10)가 선택적으로 경사지게 할 수도 있다. 뿐만 아니라, 도시되지는 않았지만 상기 별도의 리프트(140)가 상기 카세트(10)의 전방측을 직접 들어올리도록 구성됨으로써 상기 카세트(10)가 선택적으로 경사지게 할 수도 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 액정패널 검사장치에는 첨부된 도 1과 같이 밀폐부(400)가 더 구비됨을 제시한다.

상기 밀폐부(400)는 상기 핸드부(310)가 이동할 수는 있도록 하되 히팅 챔버(100)의 상면에 개구되는 부위는 밀폐되도록 구성된 것이다. 즉, 히팅 챔버(100) 내부가 밀폐된 상태를 이룰 수 있도록 함으로써 외기 노출로 인한 온도 변화를 방지할 수 있도록 한 것이다.

이때, 상기한 밀폐부(400)는 다단 접힘이 가능한 주름식 커튼의 형상으로 형성된다. 이와 함께, 상기 밀폐부(400)의 양단은 상기 히팅 챔버(100)의 상면 전방측 및 후방측에 각각 고정되고, 내측 부위는 상기 핸드부(310)를 구성하는 몸체(311)의 둘레면을 감싸도록 형성된다.

만일, 첨부된 도 5와 같이 상기 핸드부(310)의 각 핑거(312)가 상기 히팅 챔버(100)의 외부로 노출되도록 구성될 경우 상기 밀폐부(400)에는 상기 각 핑거(312)의 출입이 가능한 별도의 출입구(410)가 더 형성됨이 바람직하다.

이하, 전술한 본 발명의 실시예에 따른 액정패널 검사장치를 이용한 액정패널의 검사 과정에 대하여 첨부된 도 5a 내지 도 5e를 참조하여 설명하면 후술되는 바와 같다.

우선, 다수의 액정패널(1)이 적층된 카세트(10)가 이송부(120)를 통해 히팅 챔버(100) 내부로 반입된다. 이때, 상기 히팅 챔버(100)의 개폐 도어(도시는 생략됨)는 카세트 출입구(112)가 개방되도록 동작된다.

그리고, 상기한 과정에 의해 히팅 챔버(100) 내로 카세트(10)가 안착되면 상기 개폐 도어의 동작이 이루어지면서 상기 카세트 출입구(112)가 폐쇄된다. 이의 상태는 첨부된 도 5a와 같다.

이와 함께, 리프트(140)의 동작이 이루어지면서 상기 카세트(10)의 전방측이 후방측에 비해 높게 기울어진다. 이때, 상기 카세트(10)의 경사 각도는 패널 반송부(300)의 경사 각도 및/혹은, 검사부(200)의 경사 각도와 동일한 각도이며, 이의 상태는 첨부된 도 5b와 같다.

이후, 히터부(150)의 동작이 이루어지면서 상기 히팅 챔버(100) 내부는 설정된 온도(예컨대, 대략 50～70℃ 정도)에 이르도록 가열된다.

그리고, 전술한 일련의 과정에 의해 히팅 챔버(100) 내의 카세트(10)에 수납된 각 액정패널(1)이 설정 온도에 도달되면, 패널 반송부(300)가 구동된다.

이때, 전후 이동부(320)를 구성하는 제1동작부(322)는 상기 패널 반송부(300)의 핸드부(310)가 첨부된 도 5b와 같이 상기 카세트(10)의 상부 중 취출하고자 하는 액정패널(이하, “대상 패널”이라 함)(1)의 위치에 위치되도록 구동되고, 승강 이동부(330)를 구성하는 제2동작부(332)는 상기 핸드부(310)의 각 핑거(312)를 하향 이동시켜 상기 각 핑거(312)가 상기 카세트(10) 내의 대상 패널(1)을 취출하는 위치에 이르도록 동작된다. 이의 상태는 첨부된 도 5c와 같다.

계속해서, 상기 제1동작부(322)가 구동되면서 상기 각 핑거(312)가 상기 대상 패널(1)의 배면을 받치도록 동작 되고, 이와 함께 상기 대상 패널(1)의 저부는 상기 각 핑거(312)의 끝단에 형성된 파지부(313)와 대향되게 위치된다.

또한, 상기한 상태에서 제2동작부(332)의 구동에 의해 상기 핸드부(310)의 각 핑거(312)가 상향 이동되면 상기 대상 패널(1)의 저부는 상기 파지부(313)에 파지된 상태를 이룸과 동시에 상기 대상 패널(1)의 배면은 상기 각 핑거(312)에 기댄 상태를 이루면서 카세트(10)로부터 취출된다.

그리고, 상기 대상 패널(1)의 취출이 완료되어 핸드부(310)가 카세트(10)에 의해 이동에 간섭을 받지 않는 높이에까지 도달되면 첨부된 도 5d 및 도 5e와 같이 제1동작부(322)의 구동에 의해 상기 핸드부(310)는 히팅 챔버(100)의 패널 출입구(111)와 대향되는 위치에까지 이동된다.

이후, 제2동작부(332)의 구동에 의해 상기 핸드부(310)의 하향 이동이 이루어지면 각 핑거(312) 및 그에 얹힌 대상 패널(1)은 상기 패널 출입구(111)를 통과한 후 검사부(200)로 제공된다. 이의 상태는 첨부된 도 5f와 같다.

계속해서, 상기 검사부(200)가 상기 대상 패널(1)만을 고정하게 되면 상기 각 핑거(312)는 제1동작부(322) 및 제2동작부(332)의 순차적인 구동에 의해 상기 대상 패널(1)을 남겨둔 채 상기 패널 출입구(111)를 통해 반출된다.

그리고, 상기한 상태가 완료되면 검사부(200)에서 상기 대상 패널(1)에 대한 불량 검사가 진행되고, 상기 불량 검사가 완료되면 기 전술된 일련의 과정과는 역순으로 상기 검사 완료된 대상 패널(1)이 상기 검사부(200)로부터 취출된 후 다시 카세트(10) 내에 안착된다.

전술한 바와 같은 일련의 과정은 상기 카세트(10) 내에 수납된 모든 액정패널(1)의 검사가 완료될 때까지 연속적으로 진행된다.

만일, 상기 카세트(10) 내에 수납된 모든 액정패널(1)의 검사가 완료되었다면 카세트 출입구(112)가 개방된 후 상기 카세트(10)가 반출됨과 동시에 또 다른 카세트(불량 검사를 진행할 액정패널이 수납된 카세트)가 반입되어 전술한 일련의 과정을 반복한다.

이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경할 수 있다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.

상기와 같은 본 발명의 실시예에 따른 액정패널 검사장치는 카세트 내의 액정패널이 검사부로 반송되는 과정이 밀폐된 상태의 히팅 챔버 내에서 진행된다.

이로 인해, 상기 액정패널의 온도 변화가 최소화되며, 이로 인해 상기 액정패널의 불량 검사가 정확히 진행될 수 있다는 효과를 가진다.

또한, 상기 히팅 챔버 내의 온도 변화가 최소화될 수 있다는 효과 역시 가진다.

Claims (15)

1. 복수의 액정패널이 적층된 카세트를 공급받아 상기 액정패널을 설정 온도에까지 이르게 가열하도록 구성되며, 전방측 하부에는 요입부가 형성되고, 상기 요입부의 상면에는 패널 출입구가 형성된 히팅 챔버;

   상기 히팅 챔버의 요입부 내에 위치되고, 상기 히팅 챔버에 의해 가열된 액정패널을 제공받아 불량을 검사하는 검사부; 그리고,

   상기 히팅 챔버의 전후 방향을 따라 이동되면서 상기 카세트 내의 액정패널을 취출하여 상기 패널 출입구를 통해 검사부로 제공하도록 구성된 패널 반송부:가 포함되어 구성됨을 특징으로 하는 액정패널 검사 장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 히팅 챔버의 측면 후방측에는

   상기 카세트의 반입/반출을 위한 카세트 출입구가 형성됨을 특징으로 하는 액정패널 검사 장치.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 카세트 출입구에는

   선택적인 개폐를 위한 개폐 도어가 더 구비됨을 특징으로 하는 액정패널 검사 장치.
4. 제 2 항 또는, 제 3 항에 있어서,

   상기 히팅 챔버 내의 후방측 저면을 따라 상기 카세트 출입구를 통해 상기 카세트가 반입/반출되도록 구동되는 이송부가 더 구비됨을 특징으로 하는 액정패널 검사 장치.
5. 제 4 항에 있어서,

   상기 이송부는

   컨베이어(conveyor)로 구성됨을 특징으로 하는 액정패널 검사 장치.
6. 제 1 항에 있어서,

   상기 히팅 챔버에는

   히팅 챔버 내부의 공정 진행 사항을 확인하기 위한 투시창이 더 형성됨을 특징으로 하는 액정패널 검사 장치.
7. 제 6 항에 있어서,

   상기 투시창은

   상기 히팅 챔버의 전면 상측에 형성됨을 특징으로 하는 액정패널 검사 장치.
8. 제 1 항에 있어서,

   상기 패널 반송부는

   액정패널을 선택적으로 파지할 수 있도록 구성되며, 상단은 상기 히팅 챔버의 상측 외부로 노출되게 설치된 핸드부와,

   상기 핸드부를 상기 히팅 챔버의 전후 방향을 따라 이동시키는 전후 이동부와,

   일단은 전후 이동부에 고정되고, 타단은 상기 핸드부를 상하 방향을 따라 승강시키는 승강 이동부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정패널 검사 장치.
9. 제 8 항에 있어서,

   상기 핸드부의 하측 끝단에는

   상기 액정패널의 저부를 파지하는 파지부가 더 형성됨을 특징으로 하는 액정패널 검사 장치.
10. 제 8 항에 있어서,

    상기 전후 이동부는

    상기 히팅 챔버 상면의 전후 방향을 따라 설치되는 제1레일과,

    일단은 상기 제1레일의 지지를 받아 전후 방향으로 이동 가능하게 설치되고, 타단은 상기 승강 이동부에 고정되는 제1동작부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정패널 검사 장치.
11. 제 8 항에 있어서,

    상기 승강 이동부는

    상기 히팅 챔버 내의 상하 방향을 따라 설치되는 제2레일과,

    상단이 상기 제2레일의 지지를 받아 상하 방향으로 이동 가능하게 설치되고, 타단은 상기 핸드부에 고정되는 제2동작부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정패널 검사 장치.
12. 제 8 항에 있어서,

    상기 히팅 챔버의 상면에는

    상기 핸드부가 이동할 수는 있도록 하되 히팅 챔버의 상면에 개구되는 부위는 밀폐하는 밀폐부가 더 구비됨을 특징으로 하는 액정패널 검사 장치.
13. 제 12 항에 있어서,

    상기 밀폐부는 주름식 커튼의 형상으로 형성되고,

    상기 밀폐부의 양단은 상기 히팅 챔버의 상면 전방측 및 후방측에 각각 고정되고, 내측 부위는 상기 핸드부의 둘레면을 감싸도록 형성됨을 특징으로 하는 액정패널 검사 장치.
14. 제 1 항에 있어서,

    상기 카세트와 상기 검사부 및 상기 패널 반송부는

    각각 서로 동일한 각도로 경사지게 설치되는 것을 특징으로 하는 액정패널 검사 장치.
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