JP2005315798A - 検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 正確かつ迅速な検査を可能にすることにある。
【解決手段】 表示用パネルの検査装置は、矩形の表示用パネルを受けて検査する検査ステージであって検査時に表示用パネルを傾斜した状態に維持する検査ステージと、表示用パネルの少なくとも２つの辺に個々に対応された少なくとも２つのプローブユニットとを含み、表示用パネルは、７０°以上８５°以下、好ましくは８０°の傾斜角度に維持する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、矩形の表示用パネルを検査する装置に関する。

液晶表示パネルの点灯検査装置のように、表示用パネルを検査する装置の１つとしては、矩形の表示用パネルを検査ステージに受け、受けた表示用パネルを水平面に対し傾斜させた状態で検査を行うものがある（例えば、特許文献１）。

表示用パネルを傾斜させた状態で検査すると、表示用パネルを略垂直又は水平の状態で検査する場合に比べ、検査、特に目視検査が容易になり、検査を迅速に行うことができる。

しかし、表示用パネルは、その製作技術の向上に伴って、大型化されている。そのような大型の表示用パネルを略垂直又は水平の状態若しくは傾斜させた状態に維持すると、表示用パネルは自重により大きな撓みを生じる。

作業者は、大きく撓んだ表示用パネルを点灯検査するために、表示用パネルを作動させても、表示用パネルにムラなどが生じ、正確な検査を迅速に行うことができない。

特開２００２−１４０４７号公報

本発明の目的は、正確かつ迅速な検査を可能にすることにある。

本発明者等は、大型の表示用パネルを特許文献１のように傾斜させたとき、水平線に対する表示用パネルの傾斜角度と表示用パネルの撓みの度合いについて種々検討を行った結果、水平線に対する表示用パネルの傾斜角度が所定の値であるとき、表示用パネルの撓みの度合いが著しく小さくなることを見出し、本発明を完成した。

本発明に係る検査装置は、矩形の表示用パネルを受けて検査する検査ステージであって検査時に前記表示用パネルを傾斜した状態に維持する検査ステージと、前記表示用パネルの少なくとも２つの辺に個々に対応された少なくとも２つのプローブユニットとを含む。前記表示用パネルは、検査時に７０°以上８５°以下の傾斜角度に維持される。

前記傾斜角度を８０°にしてもよい。

表示用パネルは、検査時に水平線に対して７０°以上８５°以下、好ましくは、８０°の傾斜角度に維持されるから、表示用パネルの撓み量が少なくなり、その結果表示用パネルが傾斜されていることと相まって、正確かつ迅速な検査を行うことができる。

検査装置は、さらに、未検査の前記表示用パネル又は検査済みの前記表示用パネルを受ける受渡しステージと、前記未検査の前記表示用パネルを前記検査時と同じ傾斜角度に維持した状態で前記受渡しステージから前記検査ステージに移送すると共に、前記検査済みの前記表示用パネルを前記検査時と同じ傾斜角度に維持した状態で前記検査ステージから前記受渡しステージに移送するキャリア装置とを含むようにしてもよい。そのようにすれば、撓み量の少ない状態で表示用パネルをキャリア装置で移送することができ、したがって従来のキャリア装置を用いることができる。

前記キャリア装置は、前記表示用パネルの対向する辺を保持するパネル保持機構を有する保持機と、前記保持機を前記検査ステージと前記受渡しステージとに選択的に移動する移動機構とを含むようにしてもよい。

図１から図６を参照するに、検査装置１０は、長方形をした表示用パネル１２の点灯検査装置とされている。図示の例では、表示用パネル１２は、矩形の３つの辺（対向する２つの短辺と１つの長辺）のそれぞれに複数の電極を備えている。各辺に設けられた電極は、その辺の方向（すなわち、辺の長手方向）に間隔をおいており、またその辺と直交する方向へ伸びている。

検査装置１０は、複数の長尺部材と複数の板部材とにより製作された筐体１４内に、点灯検査のための各種の機器を収容している。筐体１４には、Ｘ方向へ伸びる一対の本体ベース１８が斜めの方向に間隔をおいて支持されている。

検査装置１０の前面上部は、上部ほど後方側に後退する傾斜面１６とされている（図２参照）。傾斜面１６の角度θは、水平面に対して７０°以上８５°以下、特に、８０°の傾斜角度とされる。

図示の例では、検査装置１０に受けられた表示用パネル１２と平行な面内において、図１における左右方向がＸ方向であり、このＸ方向に直角の図１において上下方向がＹ方向である。Ｚ方向は、検査装置１０に受けられた表示用パネル１２に垂直の方向である。

検査装置１０は、検査装置１０に対する表示用パネル１２の受け渡しをするパネルセット部と、表示用パネル１２の検査をする検査部とを含む。一方の本体ベース１８には、表示用パネル１２より大きい矩形の開口２０及び２２がそれぞれパネルセット部及び検査部に対応する箇所に形成されている。

パネルセット部には、表示用パネル１２を斜めに受ける受渡しステージ２４と、受けた表示用パネル１２のプリアライメントをする２組のプッシャー２６とが配置されている。これに対し、検査部には、表示用パネル１２を斜めに受ける検査ステージ２８（図３を参照）と、電気的接続装置として作用するプローブ装置３０とが配置されている。

受渡しステージ２４は、表示用パネル１２を水平に受けるように複数の長尺部材により形成されたパネル受け３２と、受けた表示用パネル１２を表示用パネル１２をＺ方向に移動させるようにパネル受け３２を支持するＺステージ３４と、Ｚステージ３４を支持する回転ステージ３５とを含む。

回転ステージ３５は、Ｘ方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転可能に支持台３７に支持されている。回転ステージ３５を角度的に回転させる駆動機構は、回転ステージ３５に配置してもよいし、支持台３７に配置してもよい。

Ｚステージ３４及びパネル受け３２は、回転ステージ３５の角度的回転により、受けた表示用パネル１２が水平となる位置と、その表示用パネルが水平面に対し傾斜する位置とに選択的に変位される。この変位は、後に説明する搬送装置３６への表示用パネルの受け渡しのたびに行われる。

受渡しステージ２４は、未検査の表示用パネルをパネル受け３２に受けるときと、検査済みの表示用パネルをパネル受け３２から除去するときとに、パネル受け３２に受けている表示用パネルが水平となる状態に維持される。

これに対し、受渡しステージ２４は、未検査の表示用パネルを搬送装置３６に渡してプッシャー２６によりプリアライメントをするときと、検査済みの表示用パネルを搬送装置３６から受けるときとに、パネル受け３２に受けている表示用パネルが水平面に対し角度θに傾斜した状態に維持される。

Ｘ方向に間隔をおいたプッシャー２６は、Ｘ方向へ伸びる長尺部材に相寄り相離れる方向（Ｘ方向）へ移動可能に配置されて、図示しない移動機構によりＸ方向へ移動される。これに対し、Ｙ方向に間隔をおいたプッシャー２６は、Ｙ方向へ伸びる長尺部材に相寄り相離れる方向（Ｙ方向）へ移動可能に配置されて、図示しない移動機構によりＹ方向へ移動される。

表示用パネル１２は、プッシャー２６が互いに離間されている状態で、それらのプッシャー２６の間に人手又は着脱ロボットにより配置される。配置された表示用パネル１２は、各組のプッシャー２６が相寄る方向へ移動されることにより、受渡しステージ２４に対し移動されて、検査装置１０に対するプリアライメントをされる。

未検査の表示用パネル１２は、水平状態に待機しているパネル受け３２に配置され、受渡しステージ２４においてプッシャー２６によりプリアライメントをされ、回転ステージ３５により水平面に対しθの傾斜角度に傾斜される。その後、その表示用パネル１２は、搬送装置３６（図１を参照）により検査ステージ２８に搬送されて、検査部において点灯検査をされる。

傾斜角度θは、点灯検査を行う傾斜角度と同じとされ、具体的には７０°以上８５°以下、好ましくは８０°とされる。

点灯検査は、図示の例では作業者の目視による目視点灯検査であるが、図示しないビデオカメラや画像処理装置等を用いる自動点灯検査であってもよい。傾斜角度θは、具体的には７０°以上８５°以下、好ましくは８０°とされる。

検査済みの表示用パネル１２は、搬送装置３６により検査ステージ２８から受渡しステージ２４に搬送され、その後人手又は着脱ロボットにより受渡しステージ２４から外されて、収納用カセットに収納される。

検査ステージ２８は、表示用パネル１２をチャックトップ３８のパネル吸着面に斜め上向きに受けるように、パネル吸着面を開口２２に対向させている。

チャックトップ３８は、表示用パネル１２を真空的に吸着する複数の吸着溝をパネル吸着面に有している共に、表示用パネル１２をこれの背面から照明するバックライトユニットを内部に備えている。

検査ステージ２８は、斜め上向きに受けた表示用パネル１２を、これと平行のＸ及びＹの２方向と、受けた表示用パネル１２に垂直のＺ方向とに移動させる三次元（Ｘ，Ｙ及びＺ）ステージ４０，４２及び４４を有していると共に、Ｚ方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転させるθステージ４６を備えている。

検査ステージ２８は、Ｚステージ４４によりチャックトップ３８をプローブ装置３０に対し後退（下降）させた状態で、表示用パネル１２を搬送装置３６から受け、Ｘ及びＹステージ４０及び４２により二次元的に移動させると共にθステージ４６により角度的に回転させて受けた表示用パネル１２の精密アライメントをし、表示用パネル１２の検査時にＺステージ４４によりチャックトップ３８をプローブ装置３０に対し前進（上昇）させる。

検査ステージ２８は、また、検査済みの表示用パネル１２を搬送装置３６に渡した後、チャックトップ３８を後退させた状態で待機する。

プローブ装置３０は、仮想的な矩形の辺に個々に対応された４つのベース部材４８と、３つのベース部材４８に個々に配置された３つのプローブユニット５０と、プローブユニット５０の位置合わせのために３つのベース部材４８をこれに対応する辺に沿って（すなわち、辺の長手方向に）個々に移動させる移動機構（図示せず）とを含む。

各ベース部材４８は、これに対応する辺の長手方向に長い板の形状を有しており、また本体ベース１８の裏側に支持されて、一部を開口２２に露出されている。隣り合うベース部材４８は、当接しないように間隔をおいている。

プローブユニット５０は、対向する一対のベース部材４８と、それらのベース部材４８と隣り合う１つのベース部材４８とに配置されている。これに対し、移動機構は、対向する他の一対のベース部材４８と、それらのベース部材４８と隣り合う１つのベース部材４８とに設けられている。

移動機構に連結されていないベース部材４８は、スペーサ（図示せず）と、ボルトのような複数の止め具（図示せず）とにより、本体ベース１８に移動不能に取り付けられて支持されている。

残りの各ベース部材４８は、リニアガイドのようなガイド機構（図示せず）により、対応する辺の長手方向へ移動可能に、本体ベース１８に取り付けられて支持されている。

各プローブユニット５０は、対応するベース部材４８にこれの長手方向へ伸びる状態に取り付けられた長板状のプローブベース５２と、プローブベース５２に配置された複数のプローブブロック５４と、各プローブブロック５４に配置された複数のプローブ５６とを備えている。

プローブベース５２は、ベース部材４８の幅方向における縁部のうち、矩形の中心側（すなわち、先端側）となる縁部の外側に複数のねじ部材（図示せず）により堅固に取り付けられている。

各プローブブロック５４は、プローブベース５２の幅方向における先端側の縁部の外側に複数のねじ部材（図示せず）により堅固に取り付けられている。各プローブ５６は、先端側を前方に突出させた状態にプローブブロック５４の先端部下面に適宜な手段を用いて取り付けられている。

ベース部材４８用の各移動機構は、本体ベース１８に取り付けられたモータとこのモータにより回転されるリードスクリューと、リードスクリューに螺合されたリードナットとを含む一般的な機構を用いることができる。

各プローブ５６は、検査ステージ２８に搬送された表示用パネル１２の検査時に、チャックトップ３８が上昇されることにより表示用パネル１２の電極に押圧される。その状態において、表示用パネル１２にその電極を介して通電される。このとき、表示用パネル１２は、水平線に対して７０°以上８５°以下、好ましくは、８０°の傾斜角度に維持されているから、表示用パネルの撓み量が少なくなり、検査もより正確に及びより迅速に行える。

搬送装置３６は、Ｘ方向へ移動可能に及びＺＡ方向に間隔をおいた状態に一対の本体ベース１８に配置された一対のキャリア６２，６４と、キャリア６２，６４をＸ方向へ個々に移動させる一対のキャリア移動機構６６，６８とを備えている。

各本体ベース１８には、２つのガイドレール７２，７４が、これらがＺ方向に間隔をおいてＸ方向へ伸びる状態に、取り付けられている。移動可能に嵌合は、それぞれ、ガイドレール７２及び７４に移動可能に嵌合されている。

ガイド７６及び７８は、それぞれ、キャリア６２及び６４の両端部に取り付けられている。このため、キャリア６２はガイドレール７２及びガイド７６を介して本体ベース１８に移動可能に支持されており、キャリア６４はガイドレール７４及びガイド７８を介して本体ベース１８に移動可能に支持されている。

キャリア６２及び６４のそれぞれは、Ｙ方向に間隔をおいてＸ方向へ伸びる一対の支持アーム８２を矩形のキャリアベース８０に一対のガイドレール８４及び４つのガイド８６によりＹ方向へ移動可能に配置している。

一対のガイドレール８４，８４は、Ｘ方向に間隔をおいてＹ方向に平行に伸びる状態に、対応する各キャリアベース８０に取り付けられている。４つのガイド８６は、両ガイドレール８４に２つずつＹ方向に間隔をおいてＹ方向へ移動可能に嵌合されている。

各支持アーム８２は、これの両端部にガイド８６を取り付けている。このため、各支持アーム８２は、キャリアベース８０に両端支持梁状に支持されている。

各支持アーム８２には、一対の第１のアーム８８がＸ方向に間隔をおいて組み付けられていると共に、第２のアーム９０が両第１のアーム８８の間に取り付けられている。両第１のアーム８８と第２のアーム９０とは、対応する支持アーム８２から相手側の支持アーム８２に向けて伸びて、対応する支持アーム８２に片持ち梁状に支持されている。

各第１のアーム８８は、ガイドレール９２ａとガイド９２ｂとを含むリニアガイドのような適宜な結合手段９２により、対応する支持アーム８２にＸ方向へ移動可能に組み付けられている。各支持アーム８２に組み付けられた両第１のアーム８８は、相寄り相離れる方向（Ｘ方向）へ移動される。

各第２のアーム９０は、対応する支持アーム８２に移動不能に取り付けられている。各第２のアーム９０の先端側は、第２のアーム９０の基部からＸ方向において互いに反対方向へ伸びる２つの先端部とされている。

各第１のアーム８８は、Ｘホルダ９４を先端部に取り付けている。これに対し、各第２のアーム９０は、Ｙホルダ９６を両先端部にＸ方向に間隔をおい状態に取り付けている。両Ｘホルダ９４及び両Ｙホルダ９６は、それぞれ、表示用パネル１２のＸ方向の両縁部及びＹ方向の１つの縁部に当接することにより、共同してその表示用パネル１２を支持する。

Ｘホルダ９４及びＹホルダ９６は、いずれも、表示用パネル１２を対向するホルダで挟持することにより支持するものであってもよいし、表示用パネル１２を係止片に係止させることにより支持するものであってもよく、さらには表示用パネル１２を受け片に受けることにより支持するものであってもよい。

キャリア移動機構６６，６８の各々は、Ｘ方向へ伸びるボールねじ１００を本体ベース１８に回転可能に支持させ、ボールねじ１００に螺合するナット（図示せず）をキャリアベース８０に取り付けている。ボールねじ１００は、キャリア用モータ（図示せず）により回転される。

キャリア移動機構６６のキャリア用モータ及びキャリア移動機構６８のキャリア用モータは、互いに逆方向に同期して回転される。これにより、両キャリア６２及び６４は、受渡しステージ２４から検査ステージ２８に又はその逆に個々に移動される。

キャリア移動機構６６及び６８による表示用パネル１２の搬送時、検査済み及び未検査の表示用パネル１２及び１２は、水平線に対して７０°以上８５°以下、好ましくは、８０°の傾斜角度θに維持された状態で移動される。これにより、表示用パネル１２の撓み量が少なく、検査済みの表示用パネル１２と未検査の表示用パネル１２とがすれ違う際に必要な互いの距離を小さくすることができる。

図８に示す表示用パネル（外形寸法１０５０ｍｍ×８００ｍｍのいわゆる５１インチパネル）を例にして、以下により具体的に説明する。

図８（Ａ）に示すように、表示用パネル１２を水平線に対して９０°の角度に維持した場合、その表示用パネル１２は、そのＹ方向における一方の部分がＺ方向における一方に撓み、Ｙ方向における他方の部分がＺ方向における他方に撓む、いわゆるＳ字状となる。図８（Ａ）の例では、Ｚ方向の一方及び他方へそれぞれ０．００９μｍ及び０．０１６μｍ撓んでいる。

図８（Ｂ）に示すように、表示用パネル１２を水平線に対して９０°未満の傾斜角度に維持した場合には、表示用パネル１２は、その全体がＺ方向における一方に撓んでいる。図８（Ｂ）の例では、傾斜角度が８５°のとき、４９８．１１９μｍ撓み、傾斜角度が８０°のとき、１０１．１６８μｍ撓み、傾斜角度が７５°のとき、１４７９．２３０μｍ撓み、傾斜角度が７０°のとき、１９５４．７６０μｍ撓んでいる。

したがって、キャリア移動機構６６及び６８は、表示用パネル１２を水平線に対して７０°以上８５°以下、好ましくは、８０°の傾斜角度に維持することにより、検査済み及び未検査の表示用パネル１２に、それらの撓み量が少ない状態で、すれ違いをさせることができる。

各アームにおいて、先ず第２のアーム９０及び９０がＹ移動機構１０８及び１０８により同期してＹ方向に移動される。次いで、第１のアーム８８及び８８が、それぞれ、Ｘ移動機構１０６及び１０６により、Ｘ方向に同期して移動される。

各Ｘ移動機構１０６は、電動モータのように逆転可能のＸ駆動源１１０と、Ｘ駆動源１１０により回転される第１のプーリ１１２と、第１のプーリ１１２からＸ方向に間隔をおいた第２のプーリ１１４と、第１及び第２のプーリ１１２及び１１４に掛けられた無端ベルト１１６とを含む。

上側の第１のアーム８８は無端ベルト１１６の上側の箇所に取り付けられており、下側の第１のアーム８８は無端ベルト１１６の下側の箇所に取り付けられている。このため、両第１のアーム８８及び８８は、Ｘ駆動源１１０が一方向に回転されると、相よる方向へ移動され、他方へ回転されると相離れる方向へ移動される。これにより、両第１のアーム８８及び８８は、表示用パネル１２の把持とその解除とを行う。

Ｙ移動機構１０８は、電動モータのように逆転可能のＹ駆動源１２０と、Ｙ駆動源１２０によりＸ方向へ伸びる軸線の周りに回転されるシャフト１２２と、シャフト１２２の両端に相対的回転不能に組み付けられた第１のプーリ１２２ａ，１２２ａと、第１のプーリ１２２ａからＹ方向に間隔をおいた第２のプーリ１２２ｂ，１２２ｂと、第１及び第２のプーリ１２２ａ及び１２２ｂに掛けられた無端ベルト１２２ｃ，１２２ｃとを含む。

ガイドレール７２，７４，８４及びガイド７６，７８及び７８，８６として、リニアガイドを用いることができる。

図示の例では、上側の支持アーム８２は無端ベルト１２２ｃの上側の箇所に取り付けられており、下側の支持アーム８２は無端ベルト１２２ｃの下側の箇所に取り付けられている。このため、両支持アーム８２及び８２は、Ｙ駆動源１２０が一方向に回転されると、相よる方向へ移動され、他方へ回転されると相離れる方向へ移動される。これにより、両支持アーム８２及び８２は、表示用パネル１２の把持とその解除とを行う。

検査装置１０においては、検査ステージ２８においてパネルを検査する間に、キャリア６２（又は６４）による受渡しステージ２４への検査済みパネルの搬送及び配置と、受渡しステージ２４からの検査済みパネルの除去と、受渡しステージ２４への未検査の表示用パネル１２の配置と、その未検査のパネルのプリアライメントと、キャリア６４（又は６２）へのその未検査パネルの配置とが行われる。

検査が終了すると、受渡しステージ２４側の未検査のパネルが一方のキャリア６２（又は６４）に保持され、検査ステージ２８側の検査済みのパネルが他方のキャリア６４（又は６２）に保持され、それらがそれぞれ検査ステージ２８及び受渡しステージ２４に搬送される。

キャリア６２及び６４による未検査及び検査済みパネルの搬送は、それぞれ、キャリア移動機構６６及び６８を互いに逆方向に回転させることにより、行われる。

キャリア６２，６４による表示用パネル１２の把持は、Ｘ駆動源１１０，１１０及びＹ駆動源１２０を一方向に回転させて、Ｘホルダ９４，９４及びＹホルダ９６，９６をこれらが相よる方向へ移動させ、それによりホルダ９４，９４，９６，９６に表示用パネル１２の縁部を支持させることにより行われる。

上記の結果、受渡しステージ２４において、キャリア６２及び６４が未検査のパネルを把持することにより、その未検査のパネルはセンターリングをされて、プリアライメントをされる。

キャリア６２，６４による表示用パネル１２の搬送は、Ｘホルダ９４及びＹホルダ９６をそれぞれＸ方向の各縁部のＹ方向に間隔をおいた複数箇所及びＹ方向の各縁部のＸ方向に間隔をおいた複数箇所に当接させて表示用パネル１２を解除可能に支持した状態で行われる。このため、表示用パネル１２の支持が安定する。

キャリア６２，６４による表示用パネル１２の解放は、Ｘ駆動源１１０，１１０及びＹ駆動源１２０を他方向に回転させて、Ｘホルダ９４，９４及びＹホルダ９６，９６をこれらが離れる方向に移動させることにより行われる。

受渡しステージ２４及び検査ステージ２８は、キャリア６２，６４に対するパネルの受け渡しのたびに、パネル受け３２及びチャックトップをＺ方向に少なくとも一回往復移動させる。

検査装置１０のように、表示用パネル１２を矩形の４つの辺に個々に対応する４つの縁部において支持すると、大型のパネルであっても、Ｘ方向中央領域におけるパネルの湾曲及びＹ方向中央領域におけるパネルの湾曲がＹ方向縁部の支持及びＸ方向縁部の支持により相互に防止される。その結果、大型のパネルを、損傷することなく、安定して搬送可能になる。

図７（Ａ），（Ｂ），（Ｃ），（Ｄ）を参照するに、ホルダ１３０は、Ｌ字状のホルダ片１３２をＬ字状の凹所がパネル支持側となる状態にパネル係止側となる状態に第１のアーム８８又は第２のアーム９０に取り付け、表示用パネル１２の落下を防止する落下防止片１３４をホルダ片１３２の下端に設けられた固定枠１３２ａのパネル係止側に設け、表示用パネル１２に当接する弾性ブロック１３６をホルダ片１３２のＬ字状の凹所にねじのような止め部材１３８によって取り付けている。

落下防止片１３４の厚さ寸法（紙面に垂直の方向における寸法）は、それぞれ、ホルダ片１３２のそれより小さい。弾性ブロック１３６は、ウレタンゴムのようなゴム材で製作されている。図１から図６に示す実施例で用いるホルダ９４，９６は、ホルダ１３０である。

上記のホルダ１３０は、いずれも、表示用パネル１２の縁部を弾性ブロック１３６に当接させて、表示用パネル１２を弾性ブロック１３６に摩擦係合させることにより支持する。しかし、ホルダは、表示用パネル１２を受け片に受けることにより支持するもの等、他のタイプのものを用いてもよい。

搬送装置３６は、１つのキャリア６２又は６４を用いるものであってもよい。また、検査ステージ２８に対しＸ方向における両側に受渡しステージ２４を配置した検査装置の場合、パネルを一方の受渡しステージと検査ステージとに搬送するキャリアと、他方の受渡しステージと検査ステージとに搬送するキャリアとを備えた搬送装置であってもよい。

本発明は、液晶表示パネルのみならず、それ用のガラス基板、有機ＥＬ等、他の表示用パネルの電気的接続装置にも適用することができる。

本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。

本発明に係る電気的接続装置を用いた検査装置の一実施例を示す正面図である。 図１に示す検査装置の右側面図であって一部内部を示した図である。 図１に示す検査装置の左側面図であって一部内部を示した図である。 図１に示す検査装置の正面図であってキャリア装置を説明するための図である。 図４における５−５線に沿って得た断面図である。 図４における６−６線に沿って得た断面図である。 搬送装置で用いるホルダの実施例を示す図である。 表示用パネルの撓みを説明するための模式図である。

符号の説明

１０ 検査装置
１２ 表示用パネル
１８ 本体ベース
２４ 受渡しステージ
２８ 検査ステージ
３０ プローブ装置
３６ 搬送装置
３８ チャックトップ
６０ フレーム
６２，６４ キャリア
６６，６８ キャリア移動機構
７２，７４，８４ ガイドレール
７６，７８，８６ ガイド
８０ キャリアベース
８２ 支持アーム
８８，９０ 第１及び第２のアーム
９８ 結合手段
９４ Ｘホルダ
９６ Ｙホルダ
１００ ボールねじ
１０６ Ｘ移動機構
１０８ Ｙ移動機構
１１０ Ｘ駆動源
１１２，１１４ プーリ
１１６ 無端ベルト
１２０ Ｙ駆動源
１２２ シャフト
１２４ ナット
１３０，１４０，１５０ ホルダ

Claims (4)

1. 矩形の表示用パネルを受けて検査する検査ステージであって検査時に前記表示用パネルを傾斜した状態に維持する検査ステージと、
   前記表示用パネルの少なくとも２つの辺に個々に対応された少なくとも２つのプローブユニットとを含み、
   前記検査ステージは、検査時に前記表示用パネルを、７０°以上８５°以下の傾斜角度に維持する、表示用パネルの検査装置。
2. 前記検査ステージは、検査時に前記表示用パネルを、８０°の傾斜角度に維持する、請求項１に記載の表示用パネルの検査装置。
3. さらに、未検査の前記表示用パネル又は検査済みの前記表示用パネルを受ける受渡しステージと、
   前記未検査の前記表示用パネルを前記検査時と同じ傾斜角度に維持した状態で前記受渡しステージから前記検査ステージに移送すると共に、前記検査済みの前記表示用パネルを前記検査時と同じ傾斜角度に維持した状態で前記検査ステージから前記受渡しステージに移送するキャリア装置とを含む、請求項１又は２に記載の検査装置。
4. 前記キャリア装置は、前記表示用パネルの対向する辺を保持するパネル保持機構を有する保持機と、前記保持機を前記検査ステージと前記受渡しステージとに選択的に移動させる移動機構とを含む、請求項１から３のいずれか１項に記載の検査装置。

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