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KR101127030B1 - Inspection fixture, inspection probe - Google Patents

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KR101127030B1
KR101127030B1 KR1020100051694A KR20100051694A KR101127030B1 KR 101127030 B1 KR101127030 B1 KR 101127030B1 KR 1020100051694 A KR1020100051694 A KR 1020100051694A KR 20100051694 A KR20100051694 A KR 20100051694A KR 101127030 B1 KR101127030 B1 KR 101127030B1
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KR
South Korea
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cylinder
inspection
contactor
jig
electrode
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KR1020100051694A
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Inventor
스스무 가스카베
기요시 누마타
Original Assignee
니혼덴산리드가부시키가이샤
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Publication date
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Abstract

(과제)
본 발명은, 기판의 미세화 및 복잡화에 대응할 수 있고, 부품수를 감소시키는 간소화한 구조의 4단자 측정을 가능하게 하는 접촉자를 구비하는 검사용 치구의 제공을 과제로 한다.
(해결수단)
피검사물과 검사장치를 전기적으로 접속하는 검사용 치구로서, 상기 검사장치와 전기적으로 접속되는 전극부와, 일단이 검사부에 압접되어 타단이 전극부에 압접되는 도전성의 통모양의 제1통체와, 상기 제1통체 내에 대략 동축으로 배치되고, 일단이 검사부에 압접되어 타단이 전극부에 압접되는 도전성의 통모양의 제2통체와, 상기 제1통체와 상기 제2통체는, 통벽부의 나선 모양의 절단부에 의하여 형성되는 장축방향으로 신축하는 2개의 신축부가 중간부를 사이에 두고 설치되고, 제1통체와 상기 제2통체는, 각각의 중간부에 있어서 상기 제1통체와 상기 제2통체가 고정되는 것을 특징으로 한다.
(assignment)
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an inspection jig provided with a contactor that can cope with miniaturization and complexity of a substrate and that enables four-terminal measurement of a simplified structure that reduces the number of parts.
(Solution)
An inspection jig for electrically connecting an inspection object and an inspection device, comprising: an electrode portion electrically connected to the inspection device, a conductive cylindrical first cylinder in which one end is pressed against the inspection portion, and the other end is pressed against the electrode portion; The conductive cylindrical second cylinder, which is disposed substantially coaxially in the first cylinder, and has one end pressed against the inspection portion and the other end pressed against the electrode portion, and the first cylinder and the second cylinder are spirally shaped. Two expansion and contraction portions extending and contracting in the longitudinal direction formed by the cutting portion are provided with the intermediate portion interposed therebetween, wherein the first cylinder and the second cylinder are fixed to the first cylinder and the second cylinder at respective intermediate portions. It is characterized by.

Description

검사용 치구 및 검사용 접촉자{INSPECTION FIXTURE, INSPECTION PROBE}Inspection jig and inspection contact {INSPECTION FIXTURE, INSPECTION PROBE}

본 발명은, 피검사물인 검사대상부 상에 미리 설정되는 검사점과 이 검사를 실시하는 검사장치를 전기적으로 접속하는 검사용 치구에 관한 것으로서, 특히 4단자 측정(4端子測定)을 용이하게 측정 가능하게 하는 검사용 접촉자와 이 접촉자를 사용하는 검사용 치구에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection jig for electrically connecting an inspection point set in advance on an inspection object portion to be inspected and an inspection device that performs the inspection, and particularly, 4-terminal measurement can be easily measured. And a test fixture using the contactor.

본 발명의 검사용 치구는, 피검사물이 구비하는 검사대상부에, 검사장치로부터 전력 또는 전기신호를 소정의 검사위치로 공급함과 아울러 검사대상부로부터 전기신호를 검출함으로써, 검사대상부의 전기적 특성을 검출하거나, 동작시험을 하거나 하는 것을 가능하게 한다.The inspection jig of the present invention detects the electrical characteristics of the inspection target portion by supplying power or an electrical signal from the inspection apparatus to a predetermined inspection position to the inspection target portion of the inspected object and detecting the electrical signal from the inspection target portion. It shall be possible to perform an operation test.

이러한 피검사물이라 함은, 예를 들면 프린트 배선기판(print 配線基板), 플렉시블 기판(flexible 基板), 세라믹 다층배선기판(ceramic 多層配線基板), 액정 디스플레이(液晶 display)나 플라즈마 디스플레이용(plasma display用)의 전극판(電極板) 및 반도체 패키지용(半導體 package用)의 패키지 기판(package 基板)이나 필름 캐리어(film carrier) 등 다양한 기판이나, 반도체 웨이퍼(半導體 wafer)나 반도체 칩(半導體 chip)이나 CSP(Chip size package) 등의 반도체 장치(半導體 裝置)를 예시할 수 있다.Such an object is, for example, a printed wiring board, a flexible substrate, a ceramic multilayer wiring board, a liquid crystal display or a plasma display. Various substrates, such as electrode plates for use and package substrates for semiconductor packages, film carriers, semiconductor wafers, or semiconductor chips. Or a semiconductor device such as a chip size package (CSP).

본 명세서에서는, 이러한 상기한 피검사물을 총칭하여 「피검사물」이라고 하고, 피검사물에 형성되는 검사대상부를 「검사부」라고 부른다. 또, 검사부에는 이 검사부의 전기적 특성을 실제로 검사하기 위한 검사점이 설정되어, 이 검사점에 접촉자를 압접시킴으로써 검사부의 전기적 특성이 검출된다.
In this specification, such an inspection object is collectively called "inspection thing", and the inspection object part formed in an inspection object is called "inspection part." In addition, an inspection point for actually inspecting the electrical characteristics of the inspection portion is set in the inspection portion, and the electrical characteristics of the inspection portion are detected by contacting the contact point with the inspection point.

종래에, 피검사물의 한 실시예인 회로기판에는 복수의 배선이 형성되어 있다. 이 배선은, 회로기판 상에 탑재되는 전기?전자부품이 원하는 기능을 구비하도록, 전력을 공급하거나 전기신호를 흐르게 하기 위해서 형성되어 있다. 이 때문에 배선의 불량은, 회로기판의 동작불량으로 이어진다는 것이 알려져 있다.Conventionally, a plurality of wirings are formed on a circuit board which is an example of an inspection object. This wiring is formed in order to supply electric power or flow an electric signal so that the electric / electronic component mounted on the circuit board has a desired function. For this reason, it is known that poor wiring leads to malfunction of the circuit board.

이러한 문제를 해결하기 위해서, 회로기판이나 반도체 장치 등의 피검사물에 형성되는 배선과 같은 대상부의 양부를 판정하는 검사장치의 발명이 다수 제안되어 있다.In order to solve such a problem, many inventions of the test | inspection apparatus which determine the quality of the target part, such as the wiring formed in the to-be-tested object, such as a circuit board and a semiconductor device, are proposed.

이러한 검사장치는, 예를 들면 피검사물이 되는 기판 상에 형성되는 배선의 양부를 판단하기 위해서, 배선 상에 미리 설정되는 복수의 검사점과, 각각에 접속되는 복수의 접촉자(프로브)를 구비하는 검사용 치구를 사용하여 검사가 실시된다.Such an inspection apparatus includes, for example, a plurality of inspection points set in advance on a wiring and a plurality of contacts (probes) connected to each other in order to determine whether the wiring is formed on a substrate to be inspected. Inspection is carried out using inspection fixtures.

이러한 검사용 치구는, 접촉자의 일단이 배선(검사부) 상의 검사점에 압접되고, 그 타단이 기판검사장치와 전기적으로 접속되는 전극부에 압접된다. 그리고 이 검사용 치구를 통하여, 기판검사장치로부터 배선의 전기적 특성을 측정하기 위한 전류나 전압을 공급함과 아울러 배선으로부터의 전기적 신호를 기판검사장치로 송신하게 된다.In this inspection jig, one end of the contactor is pressed against the inspection point on the wiring (inspection portion), and the other end is pressed against the electrode portion electrically connected to the substrate inspection apparatus. Through the inspection jig, a current or voltage for measuring electrical characteristics of the wiring is supplied from the substrate inspection apparatus, and an electrical signal from the wiring is transmitted to the substrate inspection apparatus.

최근의 기술의 진보에 의하여 반도체 장치가 작아지거나, 기판이 작아지거나 함에 따라, 기판 상의 배선도 보다 미세하고 또한 복잡하게 형성되고 있다. 이러한 기판의 배선의 미세화 및 복잡화가 진행됨에 따라서, 검사용 치구가 구비하는 접촉자도 접촉자 자체의 세선화(細線化), 접촉자간의 협피치화(狹pitch化)나 다핀화(多pin化)나 간소화가 요구되고 있다.As semiconductor devices become smaller or substrates become smaller due to the recent advances in technology, wiring on the substrate is also formed finer and more complicated. As the wiring of the substrate becomes smaller and more complicated, the contactors provided in the inspection jig also become thinner, smaller pitch or multi-pinch contact between the contacts themselves. Simplification is required.

특히, 미세화 및 복잡화된 피검사물의 대상부를 측정하는 경우에는, 대상부가 접촉자와 접촉하였을 경우에 발생하는 접촉 저항치의 영향이 크기 때문에 4단자 측정법이 실시된다. 이 4단자 측정법에서는, 검사점에 전력공급용과 전기신호 검출용의 전기적으로 독립된 2개의 접촉자를 배치할 필요가 있다. 이 때문에 통상보다도 세선화된 접촉자가 요구된다.In particular, in the case of measuring the target portion of the inspected object which has been miniaturized and complicated, a four-terminal measurement method is performed because the influence of the contact resistance value generated when the target portion contacts the contactor is large. In this four-terminal measurement method, it is necessary to arrange two electrically independent contacts for supplying power and detecting electrical signals at inspection points. For this reason, a thinner contact than usual is required.

여기에서 예를 들면 특허문헌1에 개시되어 있는 검사용 치구의 접촉자에서는, 통부재의 제1전극부와, 이 제1전극부 내부와 절연되어서 그 내부에 배치되는 제2전극부를 구비하여 이루어지고, 검사점에 대하여 제1전극부와 제2전극부가 동시에 접촉하도록 형성되어 있다.Here, for example, in the contact of the inspection jig disclosed in Patent Document 1, the contact member is provided with a first electrode portion of the cylindrical member and a second electrode portion insulated from and disposed inside the first electrode portion, The first electrode portion and the second electrode portion are formed in contact with the inspection point at the same time.

그러나 특허문헌1에 개시되어 있는 검사용 치구에서는, 권선을 사용한 코일 스프링에 의하여 형성되기 때문에 권선의 지름의 4배정도보다 작은 지름을 구비하는 코일의 형성이 곤란하여, 외경이 100μm 이하의 권선 코일 스프링을 형성하여 검사용 치구로서 조립하는 것은 극히 곤란하다. 가령 형성할 수 있다고 하더라도, 제조비용의 문제로부터 2~4000개의 접촉자를 구비하는 검사용 치구에 이용하는 것은 너무 고가가 되기 때문에 현실적이지 않다는 문제점을 구비하고 있었다.
However, in the inspection jig disclosed in Patent Literature 1, since it is formed by a coil spring using a winding, it is difficult to form a coil having a diameter smaller than about four times the diameter of the winding, and the winding coil spring having an outer diameter of 100 μm or less. It is extremely difficult to form and assemble as a jig for inspection. For example, even if it can be formed, it is not practical because it is too expensive to use it for the inspection jig with 2 to 4000 contacts because of the manufacturing cost.

일본국 공개특허 특개2005-249447호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2005-249447

본 발명은, 기판의 미세화 및 복잡화에 대응할 수 있을 뿐만 아니라, 부품수를 감소시킨 간소화한 구조의 4단자 측정용의 접촉자를 구비하는 검사용 치구를 제공한다.
The present invention provides an inspection jig which can not only cope with the miniaturization and complexity of the substrate, but also has a contactor for four-terminal measurement with a simplified structure with a reduced number of parts.

청구항1에 기재되어 있는 발명은, 검사대상이 되는 검사부를 구비하는 피검사물과, 상기 검사부의 전기적 특성을 검사하는 검사장치를 전기적으로 접속하는 검사용 치구로서, 상기 검사장치와 전기적으로 접속되는 전극부를 복수 구비하는 접속 전극체와, 일단이 상기 검사부에 압접됨과 아울러 타단이 상기 전극부에 압접되는 도전성의 통모양의 제1통체와, 상기 제1통체와 전기적으로 비접촉이고 또한 상기 제1통체 내에 대략 동축으로 배치되고, 일단이 상기 검사부에 압접됨과 아울러 타단이 상기 전극부에 압접되는 도전성의 통모양의 제2통체와, 상기 제1통체와 상기 제2통체의 각각의 일단을 상기 검사점으로 안내하는 제1안내 구멍을 구비하는 제1판상부재와, 상기 제1통체와 상기 제2통체의 각각의 타단을 상기 전극부로 안내하는 제2안내 구멍을 구비하고, 상기 제1판상부재와 소정의 간격을 두고 배치되는 제2판상부재와, 상기 제1통체와 상기 제2통체는, 통벽부의 나선 모양의 절단부에 의하여 형성되는 장축방향으로 신축하는 2개의 신축부가 중간부를 사이에 두고 형성되고, 상기 제1통체와 상기 제2통체는, 각각의 중간부에 있어서 상기 제1통체와 상기 제2통체가 고정되는 것을 특징으로 하는 검사용 치구를 제공한다.The invention described in claim 1 is an inspection jig for electrically connecting an inspection object including an inspection unit to be inspected and an inspection apparatus for inspecting electrical characteristics of the inspection unit, the electrode being electrically connected to the inspection apparatus. A connecting electrode body having a plurality of portions, a conductive cylindrical first cylinder in which one end is pressed against the inspection portion, and the other end is pressed against the electrode portion, and is electrically non-contacted with the first cylinder and within the first cylinder. It is arranged substantially coaxially, and one end of each of the first cylindrical body and the second cylindrical body of the conductive cylindrical shape, the one end is pressed against the inspection portion and the other end is pressed against the electrode portion, the test point A first plate-like member having a first guide hole for guiding, the first cylinder and the second cylinder A second plate member having a second guide hole for guiding each other end to the electrode portion, the second plate member being arranged at a predetermined distance from the first plate member, and the first cylinder and the second cylinder are spirals of a tube wall portion. Two expansion and contraction portions extending and contracting in the longitudinal direction formed by the cut portions are formed with the intermediate portion interposed therebetween, and the first cylinder and the second cylinder each have the first cylinder and the second cylinder in the intermediate portion. It provides a test jig characterized in that the fixing.

청구항2의 발명은, 상기 제1통체와 제2통체는, 니켈을 주성분으로 하는 합금에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 청구항1에 기재되어 있는 검사용 치구를 제공한다.The invention of claim 2 provides the inspection jig according to claim 1, wherein the first cylinder and the second cylinder are formed of an alloy containing nickel as a main component.

청구항3의 발명은, 상기 제1통체의 형상이, 상기 제1통체의 중앙에 대하여 대략 대칭이 되는 형상으로 형성되어, 또한 상기 제2통체의 형상이, 상기 제2통체의 중앙에 대하여 대략 대칭이 되는 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 청구항1 또는 2에 기재되어 있는 검사용 치구를 제공한다.In the invention of claim 3, the shape of the first cylinder is formed to be substantially symmetrical with respect to the center of the first cylinder, and the shape of the second cylinder is substantially symmetrical with respect to the center of the second cylinder. It provides a test jig according to claim 1 or 2, characterized in that it is formed in a shape to be.

청구항4에 기재되어 있는 발명은, 상기 검사용 치구는, 상기 중간부를 관통시켜 안내하는 제3안내 구멍을 구비하는 제3판상부재를 구비하고, 상기 제3판상부재는, 병렬 배치되는 3장의 판부를 구비하고, 중간에 배치되는 하나의 판부가 다른 판부에 대하여 면방향으로 변위하여 상기 제3안내 구멍을 정렬위치로부터 벗어난 위치에 배치함으로써, 상기 중간부를 협지하는 것을 특징으로 하는 청구항1 내지 3 중의 어느 하나에 기재된 검사용 치구를 제공한다.In the invention described in claim 4, the inspection jig includes a third plate member including a third guide hole for guiding the intermediate part through the third jig, and the third plate member includes three plate parts arranged in parallel. And the one plate part disposed in the middle is displaced in the surface direction with respect to the other plate part to arrange the third guide hole at a position deviated from the alignment position, thereby interposing the intermediate part. The test fixture described in any one is provided.

청구항5에 기재되어 있는 발명은, 상기 제1통체의 외경보다도 큰 내경을 구비하는 통모양의 제3통체가 형성되고, 상기 제3통체가, 상기 제3통체 내에 상기 제1통체를 대략 동축으로 수용하고, 상기 제1안내 구멍은, 상기 제3통체의 외경보다도 큰 지름을 구비하는 제1안내 상부 구멍과, 상기 제1안내 상부 구멍과 통하도록 연결되고, 상기 제3통체의 외경보다도 작고 제1통체의 외경보다도 큰 지름을 구비하는 제1안내 하부 구멍을 구비하는 것을 특징으로 하는 청구항1 내지 3 중의 어느 하나에 기재된 검사용 치구를 제공한다.In the invention described in claim 5, a cylindrical third cylinder having an inner diameter larger than the outer diameter of the first cylinder is formed, and the third cylinder is substantially coaxial with the first cylinder in the third cylinder. The first guide hole is connected to communicate with the first guide upper hole having a diameter larger than the outer diameter of the third cylinder and the first guide upper hole, and is smaller than the outer diameter of the third cylinder. The inspection jig of any one of claims 1 to 3 is provided with a first guide lower hole having a diameter larger than the outer diameter of one cylinder.

청구항6에 기재되어 있는 발명은, 상기 제1통체의 2개의 신축부와, 상기 제2통체의 2개의 신축부는, 평면에서 볼 때에 있어서 인접하는 위치에 배치되지 않는 것을 특징으로 하는 청구항1 내지 5 중의 어느 하나에 기재된 검사용 치구를 제공한다.The invention described in claim 6 is characterized in that the two expansion and contraction portions of the first cylinder and the two expansion and contraction portions of the second cylinder are not disposed at adjacent positions in plan view. The test fixture described in any one of the above is provided.

청구항7에 기재되어 있는 발명은, 검사대상이 되는 검사부를 구비하는 피검사물과, 상기 검사부의 전기적 특성을 검사하는 검사장치의 전극부를 전기적으로 접속하는 검사용 치구에 사용되는 검사용 접촉자(檢査用接觸子)로서, 일단이 상기 검사부에 압접됨과 아울러 타단이 상기 전극부에 압접되는 도전성의 통모양의 제1통체와, 상기 제1통체와 전기적으로 비접촉이고 또한 상기 제1통체 내에 대략 동축으로 배치되고, 일단이 상기 검사부에 압접됨과 아울러 타단이 상기 전극부에 압접되는 도전성의 통모양의 제2통체와, 상기 제1통체와 상기 제2통체는, 통벽부의 나선 모양의 절단부에 의하여 형성되는 장축방향으로 신축하는 2개의 신축부가 중간부를 사이에 두고 형성되고, 상기 제1통체와 상기 제2통체는, 각각의 중간부에 있어서 상기 제1통체와 상기 제2통체가 고정되는 것을 특징으로 하는 검사용 접촉자를 제공한다.The invention described in claim 7 includes an inspection contact used for an inspection object for electrically connecting an inspection object including an inspection portion to be inspected and an electrode portion of an inspection apparatus for inspecting electrical characteristics of the inspection portion. And a conductive cylindrical first cylinder in which one end is pressed against the inspection portion and the other end is pressed against the electrode portion, and is electrically non-contacted with the first cylinder and is disposed substantially coaxially within the first cylinder. And a long cylindrical shaft formed by the spiral cut portion of the tubular wall portion of the conductive cylindrical second cylinder, one end of which is pressed against the inspection portion and the other end is pressed against the electrode portion, and the first cylinder and the second cylinder are formed. Two expansion and contraction portions, which extend and contract in the direction, are formed with the intermediate portion interposed therebetween. The second cylinder provides a contactor for inspection, wherein the first cylinder and the second cylinder are fixed at each intermediate portion.

청구항8에 기재되어 있는 발명은, 상기 제1통체와 제2통체는, 니켈 또는 니켈 합금에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 청구항7에 기재된 검사용 접촉자를 제공한다.The invention described in claim 8 provides the test contact according to claim 7, wherein the first cylinder and the second cylinder are formed of nickel or a nickel alloy.

청구항9에 기재되어 있는 발명은, 상기 제1통체의 형상이, 상기 제1통체의 중앙에 대하여 대략 대칭이 되는 형상으로 형성되고, 또한 상기 제2통체의 형상이, 상기 제2통체의 중앙에 대하여 대략 대칭이 되는 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 청구항7 또는 청구항8에 기재된 검사용 접촉자를 제공한다.In the invention described in claim 9, the shape of the first cylinder is formed so as to be substantially symmetrical with respect to the center of the first cylinder, and the shape of the second cylinder is located at the center of the second cylinder. An inspection contact as set forth in claim 7 or 8, which is formed in a shape substantially symmetrical with respect to the present invention.

청구항10에 기재되어 있는 발명은, 상기 제1통체의 외경보다도 큰 내경을 구비하는 통모양의 제3통체가 형성되고, 상기 제3통체가, 상기 제3통체 내에 상기 제1통체를 대략 동축으로 수용함과 아울러 제1통체보다도 짧은 길이로 형성되는 것을 특징으로 하는 청구항7에 기재된 검사용 접촉자를 제공한다.According to the invention described in claim 10, a cylindrical third cylinder having an inner diameter larger than the outer diameter of the first cylinder is formed, and the third cylinder is substantially coaxial with the first cylinder in the third cylinder. An inspection contact according to claim 7 is provided, which is formed in a length shorter than that of the first cylinder.

청구항11에 기재되어 있는 발명은, 상기 제1통체의 2개의 신축부와, 상기 제2통체의 2개의 신축부는, 평면에서 볼 때에 있어서 인접하는 위치에 배치되지 않는 것을 특징으로 하는 청구항7에 기재된 검사용 접촉자를 제공한다.
In the invention described in claim 11, two expansion and contraction portions of the first cylinder and two expansion and contraction portions of the second cylinder are not disposed at adjacent positions in plan view. Provide inspection contacts.

청구항1 또는 청구항7에 기재되어 있는 발명에 의하면, 검사용 치구의 접촉자 또는 검사용 접촉자가, 도전성의 제1통체와 이 제1통체 내부에 수용되는 도전성의 제2통체에 의하여 2개의 단자가 일방의 통체의 내부에 수용되므로, 종래의 4단자 측정용의 프로브에 비하여 협피치(狹pitch)로 대응할 수 있다. 또한 2개의 접촉자가 일체형의 통부재로 형성되기 때문에 부품수를 감소시켜 간소화 할 수 있다. 또 또한 2개의 접촉자는 각각 중간부를 사이에 두고 2개의 신축부가 형성되어 있으므로, 일방의 신축부는 검사점으로부터의 압력에 따라 슬라이딩 하고, 타방의 신축부는 전극부로부터의 압력에 따라 슬라이딩 하기 때문에, 각 신축부가 독립적으로 기능을 할 수 있다.According to the invention described in claim 1 or 7, the contactor of the inspection jig or the inspection contactor has two terminals by one of the conductive first cylinder and the conductive second cylinder housed inside the first cylinder. Since it is accommodated in the inside of the cylinder, it can cope with narrow pitch compared with the conventional probe for 4-terminal measurement. In addition, since the two contacts are formed as an integral cylindrical member, the number of parts can be reduced and simplified. In addition, since the two contactors each have two expansion and contraction portions formed between the intermediate portions, one of the expansion and contraction portions slides according to the pressure from the inspection point, and the other extension portion slides according to the pressure from the electrode portion. The telescopic part can function independently.

청구항2 또는 청구항8의 발명에 의하면, 니켈 또는 니켈 합금에 의하여 형성되어 있기 때문에, 도전성이 있고 용이하게 도금을 할 수 있고, 스프링 성능도 확보할 수 있다.According to invention of Claim 2 or 8, since it is formed by nickel or a nickel alloy, it is electroconductive and can be plated easily, and spring performance can also be ensured.

청구항3 또는 청구항9의 발명에 의하면, 접촉자가 상기 접촉자의 중앙에 대하여 대칭이 되는 형상을 구비하고 있으므로 지지체에 장착하기 쉽고, 접촉자의 중간부를 지지하는 제3판상부재를 설치함으로써 용이하게 접촉자를 지지체가 지지할 수 있다.According to the invention of claim 3 or 9, since the contact has a shape symmetrical with respect to the center of the contact, it is easy to attach to the support, and the contact is easily supported by providing a third plate-like member supporting the middle of the contact. Can support.

청구항5 또는 청구항10에 기재되어 있는 발명에 의하면, 제1통체의 외측에 제3통체가 형성되므로 이 제3통체를 판상부재와의 결합부로 이용할 수 있게 된다.According to the invention described in claim 5 or 10, since the third cylinder is formed on the outside of the first cylinder, the third cylinder can be used as the engaging portion with the plate member.

청구항6에 또는 청구항11 기재되어 있는 발명에 의하면, 제1통체의 신축부와 제2통체의 신축부가 인접하는 위치에 배치되지 않으므로, 상호 영향을 받는 일이 없이 기능할 수 있다.
According to the invention described in claim 6 or 11, since the expansion and contraction portion of the first cylinder and the expansion and contraction portion of the second cylinder are not disposed at adjacent positions, they can function without being influenced by each other.

도1은 본 발명에 관한 검사용 치구의 한 실시예를 나타내는 개략적인 구성도다.
도2는 본 발명의 제1실시예의 접촉자(제1접촉자)의 개략적인 단면도다.
도3은 제1접촉자를 구성하는 제1통체와 제2통체의 분해 단면도를 나타내는 도면으로서, (a)는 제1통체를 나타내고, (b)는 제2통체를 나타내고 있다.
도4는 제1접촉자가 지지체에 부착된 상태를 나타내는 단면도다.
도5는 제1접촉자를 사용한 검사용 치구의 개략적인 구성도다.
도6은 본 발명의 제2실시예의 접촉자(제2접촉자)의 개략적인 단면도다.
도7은 제2접촉자를 구성하는 제1통체, 제2통체와 제3통체의 분해 단면도를 나타내는 도면으로서, (a)는 제1통체를 나타내고, (b)는 제2통체를 나타내고, (c)는 제3통체를 나타내고 있다.
도8은 제2접촉자가 지지체에 부착된 상태를 나타내는 단면도다.
도9는 제2접촉자를 사용한 검사용 치구의 개략적인 구성도다.
도10은 본 발명의 제3실시예의 접촉자(제3접촉자)의 개략적인 단면도다.
도11은 제3접촉자를 구성하는 제1통체와 제2통체의 분해 단면도를 나타내는 도면으로서, (a)는 제1통체를 나타내고, (b)는 제2통체를 나타내고 있다.
도12는 제3접촉자가 지지체에 부착된 상태를 나타내는 단면도다.
도13은 제4접촉자를 사용한 검사용 치구의 개략적인 구성도다.
도14는 본 발명의 제4실시예의 접촉자(제4접촉자)의 개략적인 단면도다.
도15는 제4접촉자를 구성하는 제1통체와 제2통체와 제3통체의 분해 단면도를 나타내는 도면으로서, (a)는 제1통체를 나타내고, (b)는 제2통체를 나타내고, (c)는 제3통체를 나타내고 있다.
도16은 제4접촉자가 지지체에 부착된 상태를 나타내는 단면도다.
도17은 제4접촉자를 사용한 검사용 치구의 개략적인 구성도다.
도18은 제5접촉자가 지지체에 부착된 상태를 나타내는 단면도다.
도19는 제6접촉자가 지지체에 부착된 상태를 나타내는 단면도다.
1 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of an inspection jig according to the present invention.
Fig. 2 is a schematic cross sectional view of a contactor (first contactor) of the first embodiment of the present invention.
Fig. 3 is an exploded sectional view of the first cylinder and the second cylinder that constitute the first contactor, in which (a) shows the first cylinder and (b) shows the second cylinder.
4 is a cross-sectional view showing a state in which the first contactor is attached to the support.
5 is a schematic configuration diagram of an inspection jig using a first contactor.
Fig. 6 is a schematic cross sectional view of a contactor (second contactor) of a second embodiment of the present invention.
7 is an exploded cross-sectional view of the first cylinder, the second cylinder, and the third cylinder constituting the second contactor, (a) shows the first cylinder, (b) shows the second cylinder, and (c Indicates a third cylinder.
8 is a cross-sectional view showing a state in which the second contactor is attached to the support.
9 is a schematic configuration diagram of an inspection jig using a second contactor.
Fig. 10 is a schematic cross sectional view of a contactor (third contactor) of a third embodiment of the present invention.
Fig. 11 is an exploded sectional view of the first and second cylinders constituting the third contactor, wherein (a) shows the first cylinder and (b) shows the second cylinder.
12 is a cross-sectional view showing a state in which the third contactor is attached to the support.
Fig. 13 is a schematic configuration diagram of an inspection jig using a fourth contactor.
Fig. 14 is a schematic cross sectional view of a contactor (fourth contactor) in a fourth embodiment of the present invention.
Fig. 15 is an exploded sectional view of the first cylinder, the second cylinder, and the third cylinder that constitute the fourth contactor, (a) shows the first cylinder, (b) shows the second cylinder, and (c Indicates a third cylinder.
16 is a cross-sectional view showing a state in which the fourth contactor is attached to the support.
17 is a schematic configuration diagram of an inspection jig using a fourth contactor.
18 is a cross-sectional view showing a state in which the fifth contactor is attached to the support.
19 is a cross-sectional view showing a state in which the sixth contactor is attached to the support.

본 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용을 설명한다. 도1은, 본 발명에 관한 검사용 치구의 한 실시예를 나타내는 개략적인 구성도다. 본 발명에 관한 검사용 치구(1)는, 복수의 접촉자(2), 이들 접촉자(2)를 바늘 모양으로 지지하는 지지체(3), 이 지지체(3)를 지지함과 아울러 접촉자(2)와 접촉하여 도통상태가 되는 전극부(41)(도5 참조)를 구비하는 접속 전극체(4), 전극부(41)로부터 전기적으로 접속되어서 연장되는 도선부(5)를 구비하여 이루어진다.Detailed description for carrying out the present invention. 1 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of an inspection jig according to the present invention. The inspection jig 1 according to the present invention includes a plurality of contacts 2, a support 3 supporting these contacts 2 in a needle shape, a support 3, and a contact 2. The connecting electrode body 4 which has the electrode part 41 (refer FIG. 5) which comes into contact and is brought into a conducting state, and the conductor part 5 electrically connected and extended from the electrode part 41 are provided.

또, 도1에서는, 복수의 접촉자(2)로서 3개의 접촉자가 도시됨과 아울러 각각에 대응되는 3개의 도선부(5)가 나타나 있지만, 이들은 3개에 한정되는 것이 아니라, 검사대상의 기판에 설정되는 검사점에 따라 결정할 수 있다.In Fig. 1, three contacts are shown as the plurality of contacts 2, and three conductive wire portions 5 corresponding to each of them are shown. However, these are not limited to three, but are set on the substrate to be inspected. It can be decided according to the checkpoint that is made.

본 발명의 주요한 특징은, 2개의 도전성의 통모양 부재를, 일방의 통모양 부재를 타방의 통모양 부재 내부에 수용하여 1개의 접촉자로서 사용함으로써, 4단자 측정을 실시하는 것을 가능하게 하고 있다는 점이다. 이 때문에 본 발명의 특징적 구성을 구비하는 접촉자에 대하여 상세하게 설명한다.The main feature of the present invention is that it is possible to perform four-terminal measurement by using two conductive tubular members as one contactor by accommodating one cylindrical member inside the other cylindrical member. to be. For this reason, the contactor provided with the characteristic structure of this invention is demonstrated in detail.

또한 이렇게 구성함으로써 접촉자를 지지하는 지지체의 안내 구멍을 형성하는 수를 감소할 수 있다.In addition, by configuring in this way, the number which forms the guide hole of the support body which supports a contact can be reduced.

본 발명에 관한 제1실시예의 접촉자에 대하여 설명한다. 도2는, 본 발명의 제1실시예의 접촉자(제1접촉자)의 개략적인 단면도이며, 도3은, 제1접촉자를 구성하는 제1통체와 제2통체의 분해 단면도를 나타내는 도면으로서, (a)는 제1통체를 나타내고, (b)는 제2통체를 나타내고 있다.A contactor of a first embodiment according to the present invention will be described. Fig. 2 is a schematic cross-sectional view of a contactor (first contactor) according to a first embodiment of the present invention, and Fig. 3 is an exploded cross-sectional view of the first and second cylinders constituting the first contactor, (a ) Represents the first cylinder, and (b) represents the second cylinder.

이 제1접촉자(21)는 제1통체(211)와 제2통체(212)를 구비하고 있고, 제1통체(211)의 내부에 제2통체(212)를 수용하여 형성되어 있다(도2 참조).The first contactor 21 includes a first cylinder 211 and a second cylinder 212, and is formed by accommodating a second cylinder 212 inside the first cylinder 211 (Fig. 2). Reference).

제1통체(211)는 소정의 길이를 구비함과 아울러 도전성의 재료로 형성된다. 이 제1통체(211)는, 양단 개구부(兩端開口部)를 구비하는 중공 모양의 원기둥 형상인 통모양으로 형성된다. 제1통체(211)는, 그 일단부가 검사점에 접촉하고, 타단부가 전극부(41)(제1전극부(411))에 접촉함으로써 검사점과 전극부의 전기적 접속을 하게 한다.The first cylinder 211 has a predetermined length and is formed of a conductive material. The first cylinder 211 is formed in a cylindrical shape having a hollow cylindrical shape having openings at both ends. One end of the first cylinder 211 is in contact with the inspection point, and the other end is in contact with the electrode portion 41 (first electrode portion 411) to allow electrical connection between the inspection point and the electrode portion.

이러한 제1통체(211)는, 외측 선단부(211a), 외측 제1신축부(21lb), 외측 중간부(211c), 외측 제2신축부(211d)와 외측 후단부(211e)의 부위를 구비하여 이루어진다. 이들의 부위(211a~211e)는, 동일한 통부재로 형성되기 때문에 동일한 외경과 내경을 구비하고 있다.The first cylinder 211 has a portion of an outer end portion 211a, an outer first elastic portion 21lb, an outer intermediate portion 211c, an outer second elastic portion 211d and an outer rear end portion 211e. It is done by Since these parts 211a-211e are formed with the same cylinder member, they have the same outer diameter and inner diameter.

외측 선단부(211a)는 후술하는 전극부(41)에 접촉한다. 외측 선단부(211a)는, 후술하는 제2판상부재(32)의 제2안내 구멍(321)의 내부를 관통하여 지지되어 소정의 제1전극부(411)로 안내된다.The outer tip portion 211a is in contact with the electrode portion 41 described later. The outer tip portion 211a is supported through the inside of the second guide hole 321 of the second plate-shaped member 32, which will be described later, and guided to the predetermined first electrode portion 411.

외측 후단부(211e)는, 검사부 상에 설정되는 검사점에 접촉한다. 외측 후단부(211e)는, 후술하는 제1판상부재(31)의 제1안내 구멍(311)의 내부를 관통하여 지지되어서, 소정의 검사점으로 안내된다.The outer rear end 211e contacts the inspection point set on the inspection unit. The outer rear end 211e is supported through the inside of the first guide hole 311 of the first plate-shaped member 31 described later, and guided to a predetermined inspection point.

외측 제1신축부(21lb)는, 통부재의 벽부를 따르는 나선 모양의 절단부를 형성함으로써 통부재의 장축방향으로 신축하는 코일 스프링 형상으로 형성되어 있다. 또, 이 외측 제1신축부(21lb)가 구비하는 탄성력은, 나선 모양의 절단부의 폭이나 길이를 적절하게 조정함으로써 그 탄성력의 강도를 변경할 수 있다.The outer first elastic portion 21 lb is formed in a coil spring shape that expands and contracts in the longitudinal direction of the cylindrical member by forming a spiral cut along the wall of the cylindrical member. Moreover, the elastic force with which this outer 1st elastic part 21lb is equipped can change the intensity | strength of the elastic force by adjusting the width | variety and the length of a spiral cut part suitably.

외측 제2신축부(211d)는, 통부재의 벽부를 따르는 나선 모양의 절단부를 형성함으로써 통부재의 장축방향으로 신축하는 코일 스프링 형상으로 형성되어 있다. 또, 이 외측 제2신축부(211d)가 구비하는 탄성력은, 외측 제1신축부(21lb)와 같이 나선 모양의 절단부의 폭이나 길이를 적당하게 조정함으로써 그 탄성력의 강도를 변경할 수 있다.The outer 2nd elastic part 211d is formed in the coil spring shape which expands and contracts in the longitudinal direction of a cylindrical member by forming the spiral cut part along the wall part of a cylindrical member. Moreover, the elastic force with which this outer 2nd elastic part 211d is equipped can change the intensity | strength of the elastic force by suitably adjusting the width | variety and the length of a spiral cut part like the outer 1st elastic part 21lb.

외측 중간부(211c)는 제1통체(211)의 대략 중앙에 형성된다. 이 외측 중간부(211c)는, 후술하는 제2통체(212)의 내측 중간부(212c)와 전기적으로 절연되어 고정된다. 이 외측 중간부(211c)는, 그 일단이 외측 제1신축부(21lb)와 통하도록 연결되고, 그 타단이 외측 제2신축부(211d)와 통하도록 연결된다. 또, 도3(a)에 나타내는 외측 중간부(211c)는, 내측으로 만곡(彎曲)하는 외측 오목부(211f)가 나타나 있지만, 이 외측 오목부(211f)는, 제2통체(212)를 제1통체(211) 내부에 수용하였을 경우에, 제1통체(211)와 제2통체(212)를 고정하기 위하여 형성된 것으로서, 제1통체(211)에 미리 형성되어 있는 것은 아니다. 또한 이 외측 오목부(211f)는, 제1통체(211)와 제2통체(212)를 고정하기 위하여, 외측(제1통체(211))으로부터 내측(제2통체212)으로 가압(코킹)을 함으로써 고정하는 경우에 형성되는 것이다. 이 제1 및 제2통체의 고정방법은, 이 코킹에 한정되지 않고 레이저 용접, 아크 용접이나 접착제 등의 다른 고정방법을 사용하여도 좋다.The outer middle portion 211c is formed at approximately the center of the first cylinder 211. This outer middle part 211c is electrically insulated from and fixed to the inner middle part 212c of the second cylinder 212 described later. One end of the outer intermediate portion 211c is connected to communicate with the outer first elastic portion 21lb, and the other end thereof is connected to communicate with the outer second elastic portion 211d. Moreover, although the outer side recessed part 211f shown in FIG.3 (a) shows the outer side recessed part 211f which curves inwardly, this outer side recessed part 211f has the 2nd cylinder 212 made. When housed inside the first cylinder 211, it is formed to fix the first cylinder 211 and the second cylinder 212 and is not previously formed in the first cylinder 211. Moreover, in order to fix the 1st cylinder 211 and the 2nd cylinder 212, this outer recess 211f is pressurized (coking) from the outer side (1st cylinder 211) to the inner side (2nd cylinder 212). It is formed when fixing by. The fixing method of this 1st and 2nd cylinder is not limited to this caulking, You may use other fixing methods, such as laser welding, arc welding, and an adhesive agent.

외측 선단부(211a)의 일단은 제1전극부(411)와 접촉되지만, 그 타단은 외측 제1신축부(21lb)의 일단과 통하도록 연결되고, 외측 제1신축부(21lb)의 타단은 외측 중간부(211c)의 일단과 통하도록 연결되고, 외측 중간부(211c)의 타단은 외측 제2신축부(211d)의 일단과 통하도록 연결되고, 외측 제2신축부(211d)의 타단은 외측 후단부(211e)의 일단과 통하도록 연결되고, 외측 후단부(211e)의 타단은 검사점에 접촉된다.One end of the outer tip portion 211a is in contact with the first electrode portion 411, but the other end thereof is connected to communicate with one end of the outer first elastic portion 21lb, and the other end of the outer first elastic portion 21lb is the outer side. It is connected to communicate with one end of the intermediate portion 211c, the other end of the outer intermediate portion 211c is connected to communicate with one end of the outer second elastic portion 211d, the other end of the outer second elastic portion 211d It is connected to communicate with one end of the rear end 211e, and the other end of the outer rear end 211e is in contact with the inspection point.

제1통체(211)는 하나의 도전성의 통모양 부재에 의하여 형성할 수 있고, 예를 들면 외경 40~250μm, 내경 30~240μm, 두께 5~50μm로 형성된다. 이러한 치수로 형성함으로써 미세화 및 복잡화된 기판의 배선이나 반도체 장치 등의 피검사물에 대하여도, 간소화한 구조의 검사장치로서 대응할 수 있다.The first cylinder 211 can be formed by one conductive tubular member, and is formed, for example, with an outer diameter of 40 to 250 µm, an inner diameter of 30 to 240 µm, and a thickness of 5 to 50 µm. By forming in such a dimension, it can respond to the inspection object, such as the wiring of a board | substrate, a semiconductor device, etc. which were refined | miniaturized and complicated, as a inspection apparatus of a simplified structure.

제1통체(211)는, 도3(a)에 나타나 있는 바와 같이 그 중심에 대하여 점대칭 또는 선대칭이 되도록 각 부위가 배치되어 형성되어 있다. 이것은, 이렇게 대칭형상이 되도록 형성됨으로써 후술하는 검사용 치구(1)의 지지체(3)에 장착할 때에, 접촉자(2)의 상하의 구별 없이 취급할 수 있기 때문이다.Each part is arrange | positioned so that 1st cylinder 211 may become point symmetry or line symmetry with respect to the center, as shown to FIG. 3 (a). This is because it is formed so as to be symmetrical and can be handled without distinguishing between the upper and lower sides of the contactor 2 when it is attached to the support 3 of the inspection jig 1 to be described later.

제1통체(211)는, 그 일단이 검사점에 접촉하고 그 타단이 전극부에 접촉하여, 이 제1통체(211)를 통하여 검사점과 전극부의 전기적 도통을 도모하기 위해서 제1통체(211)는 도전성의 재료로 형성된다. 이러한 재료로서는, 도전성을 구비하는 재료이면 특별하게 한정되지 않지만, 예를 들면 니켈이나 니켈 합금이나 팔라듐 합금을 예시할 수 있다.One end of the first cylinder 211 is in contact with the inspection point and the other end thereof is in contact with the electrode, and the first cylinder 211 is configured to achieve electrical connection between the inspection point and the electrode through the first cylinder 211. ) Is formed of a conductive material. The material is not particularly limited as long as it is a material having conductivity, but examples thereof include nickel, nickel alloys, and palladium alloys.

이러한 제1통체(211)는, 상기한 바와 같이 도전성을 구비하는 재료로 형성되게 되지만, 피검사물의 미세화 및 복잡화에 따라 접촉자(2) 자체도 세선화 하여 형성하여야만 한다. 특히, 지지판에 대하여 직각방향으로 신축하기 위해서는, 접촉자(2) 자체에 신축기능을 구비하도록 형성하여야만 하지만, 종래의 권선을 사용한 코일 스프링과 같은 부위를 형성하여서는 권선 자체의 지름의 크기에 의존하게 되어, 권선의 지름의 4배정도보다 작은 지름을 구비하는 코일의 형성이 곤란하여, 외경이 100μm 이하의 코일 스프링을 형성하는 것은 극히 곤란했다. 가령 형성할 수 있다고 하여도, 조립성이나 제조비용의 문제로부터 2~4000개의 접촉자를 구비하는 검사용 치구에 이용하는 것은 너무 고가가 되므로, 현실적이지 않다는 문제점을 구비하고 있었다.The first cylinder 211 is formed of a material having conductivity as described above, but the contactor 2 itself must also be thinned and formed according to the miniaturization and complexity of the inspected object. In particular, in order to stretch in a direction perpendicular to the support plate, the contactor 2 itself must be formed to have a stretch function, but forming a portion such as a coil spring using a conventional winding depends on the size of the diameter of the winding itself. It was difficult to form a coil having a diameter smaller than about four times the diameter of the winding, and it was extremely difficult to form a coil spring having an outer diameter of 100 μm or less. For example, even if it can be formed, it is too expensive to use it for an inspection jig having 2 to 4000 contacts due to problems of assemblability and manufacturing cost, which is not practical.

그러나 본원 발명에서는 하기의 같은 제조방법을 이용함으로써 보다 저렴하고 또한 용이하게 미세한 접촉자를 제조할 수 있다. 이 제조방법으로서는, 하기의 같은 2개의 제조방법을 개시할 수 있다.However, in the present invention, a fine contactor can be manufactured more cheaply and easily by using the following manufacturing method. As this manufacturing method, the following two manufacturing methods can be disclosed.

[제법예1]Preparation Example 1

(1)우선, 제1통체(211)의 중공부를 형성하는 심선(도면에는 나타내지 않는다)을 준비한다. 또, 이 심선은, 제1통체(211)의 내경을 규정하는 원하는 굵기(예를 들면 지름30μm)의 SUS선을 사용한다.(1) First, the core wire (not shown) which forms the hollow part of the 1st cylinder 211 is prepared. In addition, this core wire uses the SS line of the desired thickness (for example, diameter of 30 micrometers) which prescribes the internal diameter of the 1st cylinder 211. As shown in FIG.

(2)계속하여 심선(SUS선)에 포토레지스트 피막을 도포하여 이 심선의 원주면을 덮는다. 상기 포토레지스트의 원하는 부분을 노광?현상?가열 처리하여 나선 모양의 마스크를 형성한다. 이 때에, 예를 들면 심선을 중심축을 따라 회전시켜, 레이저에 의하여 노광하여 나선 모양의 마스크를 형성하도록 할 수 있다. 본 발명의 제1통체(211)를 형성하기 위해서는, 2개의 신축부(외측 제1신축부(21lb)와 외측 제2신축부(211d))가 소정의 거리(외측 중간부(211c)의 길이분의 거리)를 구비하여 형성되게 된다.(2) Subsequently, a photoresist film is applied to the core wire (SUS wire) to cover the circumferential surface of the core wire. A desired portion of the photoresist is exposed, developed, and heated to form a spiral mask. At this time, for example, the core wire can be rotated along the central axis, and exposed by a laser to form a spiral mask. In order to form the first cylinder 211 of the present invention, two expansion and contraction portions (the outer first elastic portion 21lb and the outer second elastic portion 211d) have a predetermined distance (the length of the outer intermediate portion 211c). Minute distance).

(3)계속하여 이 심선에 니켈 도금을 실시한다. 이 때에, 심선이 도전성이기 때문에 포토레지스트 마스크가 형성되어 있지 않은 장소는 니켈 도금 된다.(3) Subsequently, this core wire is nickel plated. At this time, since the core wire is conductive, the place where the photoresist mask is not formed is nickel plated.

(4)계속하여 포토레지스트 마스크를 제거하고 심선을 뽑아내어, 원하는 길이로 통체를 절단하여 제1통체(211)를 형성한다. 심선을 완전하게 뽑아내기 전에 통체를 절단하더라도 좋은 것은 말할 필요도 없다.(4) Subsequently, the photoresist mask is removed and the core wire is pulled out to cut the cylinder to a desired length to form the first cylinder 211. Needless to say, the cylinder can be cut before the core wire is completely pulled out.

또한 제1통체(211)는 하기의 방법으로 제조할 수도 있다.In addition, the 1st cylinder 211 can also be manufactured with the following method.

[제법예2]Preparation Example 2

우선, 상기와 같은 제1통체(211)의 중공부를 형성하는 심선(도면에는 나타내지 않는다)을 준비한다.First, the core wire (not shown) which forms the hollow part of the 1st cylinder 211 as mentioned above is prepared.

이러한 심선에 니켈을 원하는 두께로 도금하여 심선의 원주면에 니켈 도금층을 형성한다.Nickel is plated to a desired thickness on the core to form a nickel plating layer on the circumferential surface of the core.

(2)다음에 이 니켈 도금층의 표면에 포토레지스트를 도포한다. 상기 포토레지스트의 원하는 부분을 노광?현상?가열 처리하여 나선 모양의 마스크를 형성한다. 이 때에, 예를 들면 심선을 중심축을 따라 회전시켜, 레이저에 의하여 노광하여 나선 모양의 마스크를 형성하도록 할 수 있다. 본 발명의 제1통체(211)를 형성하기 위해서는, 2개의 신축부(외측 제1신축부(21lb)와 외측 제2신축부(211d))가 소정의 거리(외측 중간부(211c)의 길이분의 거리)를 구비하여 형성되게 된다.(2) Next, photoresist is applied to the surface of this nickel plating layer. A desired portion of the photoresist is exposed, developed, and heated to form a spiral mask. At this time, for example, the core wire can be rotated along the central axis, and exposed by a laser to form a spiral mask. In order to form the first cylinder 211 of the present invention, two expansion and contraction portions (the outer first elastic portion 21lb and the outer second elastic portion 211d) have a predetermined distance (the length of the outer intermediate portion 211c). Minute distance).

(3)계속하여 니켈 도금을 에칭 제거한다. 이 때에, 포토레지스트 마스크가 형성되어 있지 않은 장소의 니켈 도금이 제거된다.(3) Subsequently, the nickel plating is etched away. At this time, nickel plating in the place where the photoresist mask is not formed is removed.

(4)계속하여 포토레지스트 마스크를 제거하고 심선을 뽑아내어, 원하는 길이로 통체를 절단하여 제1통체(211)를 형성한다. 심선을 완전하게 뽑아내기 전에 통체를 절단하더라도 좋은 것은 말할 필요도 없다.(4) Subsequently, the photoresist mask is removed and the core wire is pulled out to cut the cylinder to a desired length to form the first cylinder 211. Needless to say, the cylinder can be cut before the core wire is completely pulled out.

종래의 권선을 사용한 코일 스프링 방식은 권선재료의 지름에 의존하게 되어, 상기 지름의 4배정도보다 작은 지름을 구비하는 코일의 형성이 곤란하여, 100μm 이하의 코일 스프링을 형성하는 것이 극히 곤란했다. 상기한 제법에 의한 본 발명의 제1통체(211)는, 심선을 니켈 도금하여 원하는 형상을 형성한 후에, 심선을 뽑아냄으로써 제조하기 때문에 종래의 권선을 사용한 코일 스프링 방식의 것보다도, 스프링 재료의 두께를 얇게 할 수 있음과 아울러 미세한 외경 및 내경을 고정밀도로 일괄 제조할 수 있다.The coil spring method using the conventional winding is dependent on the diameter of the winding material, and it is difficult to form a coil having a diameter smaller than about four times the diameter, and extremely difficult to form a coil spring of 100 μm or less. The first cylinder 211 of the present invention according to the above-described manufacturing method is manufactured by extracting the core wire after nickel plating the core wire to form a desired shape. The thickness can be reduced, and the fine outer diameter and the inner diameter can be manufactured at high precision in a batch.

다음에 제1접촉자(21)를 형성하는 제2통체(212)에 대하여 설명한다(도3(b) 참조). 이 제2통체(212)는 소정의 길이를 구비함과 아울러 도전성의 재료로 형성된다. 이 제2통체(212)는, 양단 개구부를 구비하는 중공 모양의 원기둥 형상인 통모양으로 형성된다. 제2통체(212)는, 그 일단부가 검사점에 접촉하고 타단부가 전극부(41)(제2전극부(412))에 접촉함으로써 검사점과 전극부의 전기적 접속을 이루게 한다. 이 제2통체(212)가 제1통체(211)와 가장 다른 점은, 제1통체(211) 내에 제2통체(212)가 수용되기 때문에 제2통체(212)의 외경은 제1통체(211)의 내경보다도 약간 작게 형성된다는 점이다.Next, the second cylinder 212 that forms the first contactor 21 will be described (see FIG. 3 (b)). The second cylinder 212 has a predetermined length and is formed of a conductive material. The second cylinder 212 is formed in a cylindrical shape having a hollow cylindrical shape having openings at both ends. The second cylinder 212 has one end in contact with the inspection point and the other end in contact with the electrode portion 41 (second electrode portion 412), thereby making electrical connection with the inspection point and the electrode portion. The difference between the second cylinder 212 and the first cylinder 211 is that since the second cylinder 212 is accommodated in the first cylinder 211, the outer diameter of the second cylinder 212 is determined by the first cylinder ( It is formed slightly smaller than the inner diameter of 211).

이러한 제2통체(212)는, 내측 선단부(212a), 내측 제1신축부(212b), 내측 중간부(212c), 내측 제2신축부(212d)와 내측 후단부(212e)의 부위를 구비하여 이루어진다. 이들의 부위(211a~211e)는 동일한 통부재로 형성되기 때문에 동일한 외경과 내경을 구비하고 있다.The second cylinder 212 includes a portion of an inner tip portion 212a, an inner first elastic portion 212b, an inner middle portion 212c, an inner second elastic portion 212d and an inner rear end portion 212e. It is done by Since these parts 211a-211e are formed with the same cylinder member, they have the same outer diameter and inner diameter.

내측 선단부(212a)는 후술하는 제2전극부(412)에 접촉한다. 내측 선단부(212a)는, 제1통체(211)의 외측 선단부(211a)의 내부공간을 이동한다. 또, 외측 선단부(211a)가 제2안내 구멍(321)에 의하여 제1전극부(411)로 안내되기 때문에 내측 선단부(212a)도 제2전극부(412)로 안내된다.The inner tip portion 212a contacts the second electrode portion 412 which will be described later. The inner leading end 212a moves the inner space of the outer leading end 211a of the first cylinder 211. In addition, since the outer tip 211a is guided to the first electrode 411 by the second guide hole 321, the inner tip 212a is also guided to the second electrode 412.

내측 후단부(212e)는 검사부 상에 설정되는 검사점에 접촉한다. 내측 후단부(212e)는 제1통체(211)의 내측 후단부(211e)의 내부공간을 이동한다. 또, 외측 후단부(211e)가 제1안내 구멍(311)에 의하여 검사점으로 안내되기 때문에 내측 후단부(212e)도 검사점으로 안내된다.The inner rear end portion 212e is in contact with an inspection point set on the inspection portion. The inner rear end 212e moves the inner space of the inner rear end 211e of the first cylinder 211. In addition, since the outer rear end 211e is guided to the inspection point by the first guide hole 311, the inner rear end 212e is also guided to the inspection point.

내측 제1신축부(212b)는, 통부재의 벽부를 따르는 나선 모양의 절단부를 형성함으로써 통부재의 장축방향으로 신축하는 코일 스프링 형상으로 형성되어 있다. 또, 이 내측 제1신축부(212b)가 구비하는 탄성력은, 나선 모양의 절단부의 폭이나 길이를 적절하게 조정함으로써 그 탄성력의 강도를 변경할 수 있다.The inner 1st elastic part 212b is formed in the coil spring shape which expands and contracts in the longitudinal direction of a cylindrical member by forming the spiral cut part along the wall part of a cylindrical member. Moreover, the elastic force with which this inner side 1st elastic part 212b is equipped can change the intensity | strength of the elastic force by adjusting the width | variety and the length of a spiral cut part suitably.

내측 제2신축부(212d)는, 통부재의 벽부를 따르는 나선 모양의 절단부를 형성함으로써 통부재의 장축방향으로 신축하는 코일 스프링 형상으로 형성되어 있다. 또, 이 내측 제2신축부(212d)가 구비하는 탄성력은, 내측 제1신축부(212b)와 같이 나선 모양의 절단부의 폭이나 길이를 적절하게 조정함으로써 그 탄성력의 강도를 변경할 수 있다.The inner second elastic part 212d is formed in a coil spring shape that expands and contracts in the longitudinal direction of the cylindrical member by forming a spiral cut along the wall of the cylindrical member. Moreover, the elastic force with which this inner 2nd elastic part 212d is equipped can change the intensity | strength of the elastic force by appropriately adjusting the width | variety and length of a spiral cut | disconnected part like the inner 1st elastic part 212b.

내측 중간부(212c)는 제2통체(212)의 대략 중앙에 형성된다. 이 내측 중간부(212c)는, 상기 제1통체(211)의 외측 중간부(211c)와 전기적으로 절연되어 고정된다. 이 내측 중간부(212c)는, 그 일단이 내측 제1신축부(212b)와 통하도록 연결되고, 그 타단이 내측 제2신축부(212d)와 통하도록 연결된다. 또, 도3(b)에 나타내는 내측 중간부(212c)는 내측으로 만곡하는 내측 오목부(212f)가 나타나 있지만, 이 내측 오목부(212f)는, 제2통체(212)를 제1통체(211) 내부에 수용하였을 경우에, 제1통체(211)와 제2통체(212)를 고정하기 위하여 형성된 것으로서, 제2통체(212)에 미리 형성되어 있는 것이 아니다. 또한 이 내측 오목부(212f)는, 제1통체(211)와 제2통체(212)를 고정하기 위해서, 외측(제1통체(211))부터 내측(제2통체212)로 가압(코킹)을 함으로써 고정하였을 경우에 형성되는 것이다. 이 제1 및 제2통체의 고정방법은 이러한 코킹에 한정되지 않고, 레이저 용접, 아크 용접이나 접착제 등의 다른 고정방법을 사용해도 좋다.The inner middle portion 212c is formed at approximately the center of the second cylinder 212. The inner middle portion 212c is electrically insulated from and fixed to the outer middle portion 211c of the first cylinder 211. One end of the inner intermediate portion 212c is connected to communicate with the inner first elastic portion 212b, and the other end thereof is connected to communicate with the inner second elastic portion 212d. In addition, although the inner side recessed part 212f which inwardly curves the inner middle part 212c shown to FIG. 3 (b) is shown, this inner side recessed part 212f makes the 2nd cylinder 212 the 1st cylinder ( 211) When housed inside, it is formed in order to fix the 1st cylinder 211 and the 2nd cylinder 212, and is not formed in the 2nd cylinder 212 previously. Moreover, in order to fix the 1st cylinder 211 and the 2nd cylinder 212, this inner recessed part 212f is pressurized (coking) from the outer side (1st cylinder 211) to the inner side (2nd cylinder 212). It is formed when fixed by. The fixing method of the first and second cylinders is not limited to such caulking, and other fixing methods such as laser welding, arc welding or adhesive may be used.

내측 선단부(212a)의 일단은 제2전극부(412)와 접촉되지만, 그 타단은 내측 제1신축부(212b)의 일단과 통하도록 연결되고, 내측 제1신축부(212b)의 타단은 내측 중간부(212c)의 일단과 통하도록 연결되고, 내측 중간부(212c)의 타단은 내측 제2신축부(212d)의 일단과 통하도록 연결되고, 내측 제2신축부(212d)의 타단은 내측 후단부(212e)의 일단과 통하도록 연결되고, 내측 후단부(212e)의 타단은 검사점에 접촉된다.One end of the inner tip portion 212a is in contact with the second electrode portion 412, but the other end thereof is connected to communicate with one end of the inner first stretchable portion 212b, and the other end of the inner first stretchable portion 212b is inward. It is connected to communicate with one end of the middle portion (212c), the other end of the inner middle portion (212c) is connected to communicate with one end of the inner second elastic portion (212d), the other end of the inner second elastic portion (212d) It is connected to communicate with one end of the rear end 212e, and the other end of the inner rear end 212e is in contact with the inspection point.

제2통체(212)는, 1개의 도전성의 통모양 부재에 의하여 형성할 수 있고, 예를 들면 외경 20~220μm, 내경 10~200μm, 두께 5~50μm로 형성된다. 이러한 치수로 형성함으로써 미세화 및 복잡화된 기판의 배선이나 반도체 장치 등의 피검사물에 대하여도, 간소화된 구조의 검사장치로서 대응할 수 있다.The second cylinder 212 can be formed by one conductive tubular member, and is formed, for example, with an outer diameter of 20 to 220 µm, an inner diameter of 10 to 200 µm, and a thickness of 5 to 50 µm. By forming in such a dimension, it is possible to respond to an inspection object such as a wiring of a finer and complicated board or a semiconductor device as an inspection device having a simplified structure.

제2통체(212)는, 도3(b)에 나타나 있는 바와 같이 그 중심에 대하여 점대칭 또는 선대칭이 되도록 각 부위가 배치되어 형성되어 있다. 이것은, 이렇게 대칭형상이 되도록 형성됨으로써 후술하는 검사용 치구(1)의 지지체(3)에 장착할 때에, 접촉자(2)의 상하의 구별이 없이 취급하는 것이 가능하기 때문이다.As shown in Fig. 3 (b), the second cylinder 212 is formed by arranging respective portions so as to be point symmetrical or line symmetrical with respect to the center thereof. This is because it is formed so as to be symmetrical, so that it can be handled without distinction between the upper and lower sides of the contactor 2 when it is attached to the support 3 of the inspection jig 1 to be described later.

제2통체(212)는, 그 일단이 검사점에 접촉하고, 그 타단이 전극부에 접촉하여, 이 제2통체(212)를 통하여 검사점과 전극부의 전기적 도통을 도모하기 위해서 제2통체(212)는 도전성의 재료로 형성된다. 이러한 재료로서는, 도전성을 구비하는 재료이면 특별하게 한정되지 않지만, 예를 들면 니켈이나 니켈 합금이나 팔라듐 합금을 예시할 수 있다. 이 제2통체(212)의 제조방법은, 상기의 제1통체(211)의 경우와 동일하기 때문에 그 설명을 생략한다.One end of the second cylinder 212 is in contact with the inspection point, the other end thereof is in contact with the electrode portion, and the second cylinder 212 is used to achieve electrical connection between the inspection point and the electrode portion through the second cylinder 212. 212 is formed of a conductive material. The material is not particularly limited as long as it is a material having conductivity, but examples thereof include nickel, nickel alloys, and palladium alloys. Since the manufacturing method of this 2nd cylinder 212 is the same as that of the said 1st cylinder 211, the description is abbreviate | omitted.

제1접촉자(21)는, 제1통체(211)의 내부에 제2통체(212)를 수용하여 배치하기 때문에, 도3(b)에 나타나 있는 바와 같이, 제2통체(212)의 외측 가장자리에는 절연피막(212g)을 형성하는 것이 바람직하다. 이러한 절연피막(212g)은, 예를 들면 폴리이미드나 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE)이나 에폭시 수지를 이용할 수 있다. 이 절연피막(212g)의 두께는 예를 들면 1~5μm로 형성된다.Since the first contactor 21 accommodates and arranges the second cylinder 212 inside the first cylinder 211, as shown in FIG. 3B, the outer edge of the second cylinder 212 is provided. It is preferable to form an insulating coating 212g. As the insulating film 212g, for example, polyimide, polytetrafluoroethylene (PTFE) or epoxy resin can be used. The thickness of this insulating film 212g is formed to be 1-5 micrometers, for example.

이러한 절연피막(212g)은, 도2의 실시예에 있어서 제2통체(212)의 외측 가장자리에 형성되어 있지만, 제1통체(211)의 내측 가장자리에 형성할 수도 있다. 또, 제1통체(211)의 내측 가장자리에 절연피막을 형성하는 경우에는, 제1통체(211)에 각 신축부가 형성되고 심선을 뽑아내어 통모양이 형성된 후에 형성되게 된다.Such an insulating film 212g is formed on the outer edge of the second cylinder 212 in the embodiment of FIG. 2, but may be formed on the inner edge of the first cylinder 211. In addition, in the case where an insulating film is formed on the inner edge of the first cylinder 211, the expansion and contraction portions are formed in the first cylinder 211 and the core wire is drawn out to form the cylindrical shape.

제2통체(212)는, 도2에 나타나 있는 바와 같이 제1통체(211)의 양 개구단으로부터 돌출하도록 배치될 수도 있고, 제2통체(212)가 전혀 돌출하지 않도록 배치할 수도 있다. 제1통체(211)와 제2통체(212)는 어느 것이나 2개의 신축부를 구비하고 있기 때문에, 평면적으로 어느 하나가 돌출하려고 하더라도, 검사점 또는 전극부로부터 가압될 때에 신축부가 충분하게 수축함으로써 제1통체(211)와 제2통체(212)의 양방이 접촉할 수 있다.As shown in FIG. 2, the second cylinder 212 may be arranged to protrude from both open ends of the first cylinder 211, or may be arranged so that the second cylinder 212 does not protrude at all. Since both the first cylinder 211 and the second cylinder 212 have two expansion and contraction portions, even if any one of them is projecting in a plane, the expansion and contraction portion is sufficiently contracted when pressed from the inspection point or the electrode portion. Both the one cylinder 211 and the second cylinder 212 may contact each other.

도4는, 제1접촉자(21)가 지지체에 부착된 상태를 나타내는 단면도다. 검사용 치구(1)는, 제1접촉자(21)를 지지하기 위한 지지체(3)를 구비하고 있다. 이 지지체(3)는, 제1판상부재(31)와 제2판상부재(32)를 구비하여 이루어진다.4 is a cross-sectional view showing a state in which the first contactor 21 is attached to the support. The inspection jig 1 includes a support 3 for supporting the first contactor 21. The support body 3 includes a first plate member 31 and a second plate member 32.

제1판상부재(31)는, 제1접촉자(21)의 일단을 검사점으로 안내하기 위한 제1안내 구멍(311)을 구비한다. 제1안내 구멍(311)은 제1통체(211)의 외경보다도 약간 크게 형성되어 있다. 또, 이 제1판상부재(31)의 두께는 특별하게 한정되지 않지만, 외측 후단부(211e)의 길이보다도 짧게 형성되는 것이 바람직하다. 이것은, 외측 후단부(211e)가 제1안내 구멍(311)을 따라 확실하게 슬라이딩 할 수 있기 때문이다.The first plate-shaped member 31 is provided with a first guide hole 311 for guiding one end of the first contactor 21 to the inspection point. The first guide hole 311 is formed slightly larger than the outer diameter of the first cylinder 211. Moreover, although the thickness of this 1st plate-shaped member 31 is not specifically limited, It is preferable to form shorter than the length of the outer rear end part 211e. This is because the outer rear end portion 211e can reliably slide along the first guide hole 311.

제2판상부재(32)는, 제1판상부재(31)와 소정의 간격을 두고 배치됨과 아울러 제1접촉자(21)의 타단을 전극부(41)로 안내하기 위한 제2안내 구멍(321)을 구비한다. 제2안내 구멍(321)은, 제1통체(211)의 외경보다도 약간 크게 형성되어 있다. 또, 이 제2판상부재(32)의 두께는 특별하게 한정되지 않지만, 외측 선단부(211a)의 길이보다도 짧게 형성되는 것이 바람직하다. 이것은, 외측 선단부(211a)가 제2안내 구멍(321)을 따라 확실하게 슬라이딩 할 수 있기 때문에다.The second plate member 32 is disposed at a predetermined interval from the first plate member 31, and the second guide hole 321 for guiding the other end of the first contactor 21 to the electrode portion 41. It is provided. The second guide hole 321 is formed slightly larger than the outer diameter of the first cylinder 211. Moreover, although the thickness of this 2nd plate-shaped member 32 is not specifically limited, It is preferable to form shorter than the length of the outer tip part 211a. This is because the outer tip portion 211a can reliably slide along the second guide hole 321.

제1안내 구멍(311)과 제2안내 구멍(321)로부터는, 제1접촉자(21)가 각각 외측으로 돌출하도록 배치된다.From the 1st guide hole 311 and the 2nd guide hole 321, the 1st contact 21 is arrange | positioned so that it may respectively protrude outward.

제1접촉자(21)를 사용하는 경우에는, 도4에 나타내는 제3판상부재(33)를 사용하는 것이 바람직하다. 이 제3판상부재(33)는, 소정의 간격을 두고 병렬 배치되는 상판부(331), 중판부(332)와 하판부(333)를 구비하여 이루어진다. 이들의 판상부는, 제1접촉자(21)를 관통시켜 삽입시키기 위한 제3안내 구멍(334)을 구비하여 이루어진다. 제3판상부재(33)는, 제3판상부재(33)의 제3안내 구멍(334)이 제1안내 구멍(311)과 제2안내 구멍(321)과 직선상으로 배치된다.When using the 1st contact 21, it is preferable to use the 3rd plate-shaped member 33 shown in FIG. The third plate member 33 includes an upper plate portion 331, a middle plate portion 332, and a lower plate portion 333 arranged in parallel at predetermined intervals. These plate-shaped parts are provided with the 3rd guide hole 334 for penetrating and inserting the 1st contact 21. As shown in FIG. In the third plate member 33, the third guide hole 334 of the third plate member 33 is disposed in a straight line with the first guide hole 311 and the second guide hole 321.

이러한 제3판상부재(33)의 중판부(332)는, 다른 판부(상판부(331)와 하판부(333))에 대하여 면방향으로 변위한다. 이 때문에 제3안내 구멍(334)은, 중판부(332)가 변위하기 이전에는 제1접촉자(21)가 용이하게 관통할 수 있지만, 중판부(332)가 변위하면 제1접촉자(21)의 외측 중간부(211c)를 중판부(332)가 가압하여 제1접촉자(21)를 지지할 수 있다. 이렇게 하여 제1접촉자(21)를 지지체(3)에 고정하고 있다.The middle plate portion 332 of the third plate member 33 is displaced in the plane direction with respect to the other plate portions (the upper plate portion 331 and the lower plate portion 333). For this reason, the first contactor 21 can easily penetrate the third guide hole 334 before the middle plate portion 332 is displaced, but when the middle plate portion 332 is displaced, The middle plate portion 332 may press the outer intermediate portion 211c to support the first contactor 21. In this way, the first contactor 21 is fixed to the support 3.

도5는 제1접촉자를 사용한 검사용 치구의 개략적인 구성도다. 검사용 치구(1)의 접속 전극체(4)는, 각 제1접촉자(21)에 대응하는 전극부(41)가 형성되어 있다. 이 전극부(41)는, 제1통체(211)와 접촉하여 도통상태가 되는 제1전극부(411)와, 제2통체(212)와 접촉하여 도통상태가 되는 제2전극부(412)를 구비하여 이루어진다. 또, 접속 전극체(4)는 절연재료로 형성된다.5 is a schematic configuration diagram of an inspection jig using a first contactor. In the connecting electrode body 4 of the inspection jig 1, an electrode portion 41 corresponding to each first contactor 21 is formed. The electrode portion 41 includes a first electrode portion 411 in contact with the first cylinder 211 and a conductive state, and a second electrode portion 412 in contact with the second cylinder 212. It is provided with. In addition, the connecting electrode body 4 is formed of an insulating material.

도5에 나타내는 전극부(41)에서는, 제1전극부(411)와 제2전극부(412)는 구리 도선으로 형성되고, 각각의 단면이 각 통체의 단부와 접촉하도록 형성되어 있다. 또한 도5에서는, 제1전극부(411)와 제2전극부(412)가, 각각의 통체와 접촉함과 아울러 가장 먼 위치가 되도록 배치되어 있다.In the electrode part 41 shown in FIG. 5, the 1st electrode part 411 and the 2nd electrode part 412 are formed with the copper conductor wire, and each cross section is formed so that it may contact the edge part of each cylinder. 5, the 1st electrode part 411 and the 2nd electrode part 412 are arrange | positioned so that it may be in the furthest position in contact with each cylinder.

도5에 나타내는 제1실시예에서는 제1통체(211)와 제2통체(212)가 각각의 중간부에서 고정됨과 아울러 제3판상부재(33)의 중판부(332)가 평면방향으로 변위함으로써 제1접촉자(21)와 착탈하도록 지지하고 있다. 또한 제1실시예에서는 지지체(3)에 제1접촉자(21)를 지지시켜서 접속 전극체(4)에 부착하는 경우에는, 외측 제1신축부(21lb)와 내측 제1신축부(21lb)가 압축되어서 가압상태로 장착된다. 이렇게 장착됨으로써, 외측 제1신축부(21lb)와 내측 제1신축부(212b)는 끊임없이 각각의 전극부(41)를 가압하게 되어, 검사점과 제1접촉자(21)의 접촉상태에 관계없이 제1접촉자(21)와 전극부(41)의 접촉 저항치를 극히 안정시킬 수 있게 된다.In the first embodiment shown in Fig. 5, the first cylinder 211 and the second cylinder 212 are fixed at their respective intermediate portions, and the middle plate portion 332 of the third plate member 33 is displaced in the planar direction. The first contactor 21 is supported so as to be attached to and detached from the first contactor 21. In addition, in the first embodiment, when the first contactor 21 is supported on the support 3 and attached to the connecting electrode body 4, the outer first elastic part 21lb and the inner first elastic part 21lb are It is compressed and mounted under pressure. In this way, the outer first elastic portion 21lb and the inner first elastic portion 212b constantly press the respective electrode portions 41, irrespective of the contact state between the inspection point and the first contactor 21. The contact resistance of the first contactor 21 and the electrode portion 41 can be extremely stabilized.

이상이 제1실시예의 검사용 치구의 설명이다.The above is the description of the inspection jig of the first embodiment.

다음에 제2실시예의 검사용 치구(1')에 대하여 설명한다. 도6은, 본 발명의 제2실시예의 접촉자(제2접촉자)의 개략적인 단면도이며, 도7은, 제2접촉자를 구성하는 제1통체, 제2통체와 제3통체의 분해 단면도를 나타내는 도면으로서, (a)는 제1통체를 나타내고, (b)는 제2통체를 나타내고, (c)는 제3통체를 나타내고 있다. 또, 제2실시예의 검사용 치구와 제1실시예의 검사용 치구가 동일한 구성인 경우에는, 동일한 부호를 붙이는 동시에 설명을 생략한다.Next, the inspection jig 1 'of the second embodiment will be described. 6 is a schematic cross-sectional view of a contactor (second contactor) according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 7 is an exploded cross-sectional view of the first cylinder, the second cylinder, and the third cylinder that constitute the second contactor. (A) shows the 1st cylinder, (b) has shown the 2nd cylinder, and (c) has shown the 3rd cylinder. In addition, when the inspection jig of 2nd Example and the inspection jig of 1st Example are the same structure, the same code | symbol is attached | subjected and description is abbreviate | omitted.

제2실시예의 제2접촉자(22)는, 제1통체(211)와, 제2통체(212)와 제3통체(223)를 구비하여 이루어진다. 이 제2접촉자(22)의 제1통체(211)와 제2통체(212)는, 제1접촉자(21)의 제1통체(211)와 제2통체(212)와 동일한 구성을 구비하고 있으므로 그 설명을 생략한다.The second contactor 22 of the second embodiment includes a first cylinder 211, a second cylinder 212, and a third cylinder 223. Since the first cylinder 211 and the second cylinder 212 of the second contact 22 have the same configuration as the first cylinder 211 and the second cylinder 212 of the first contact 21. The description is omitted.

제3통체(223)는, 제1통체(211)(및 제2통체(212))를 내부에 동축이 되도록 수용한다. 이 때문에 제3통체(223)는, 제1통체(211)의 외경보다도 약간 큰 내경을 구비하도록 형성되어 있다. 이 제3통체(223)는, 양단이 개구하는 통모양으로 형성되어 이루어지고, 양단 개구로부터 제1통체(211)와 제2통체(212)가 연장되어서 배치된다(도6 참조).The 3rd cylinder 223 accommodates the 1st cylinder 211 (and the 2nd cylinder 212) so that it may become coaxial inside. For this reason, the third cylinder 223 is formed to have an inner diameter slightly larger than the outer diameter of the first cylinder 211. The third cylinder 223 is formed in a cylindrical shape in which both ends are opened, and the first cylinder 211 and the second cylinder 212 extend from the openings at both ends thereof (see Fig. 6).

제3통체(223)는 제1통체(211)(제2통체(212)를 포함한다)와 고정되기 위한 고정 오목부(223a)를 구비하고 있다. 이 고정 오목부(223a)는 미리 형성되어 있는 것이 아니라, 제1통체(211)를 그 내부에 수용하여 배치한 후에 형성되게 된다. 이 고정 오목부(223a)의 형성방법의 상세한 것은 후술한다.The third cylinder 223 includes a fixing recess 223a for fixing with the first cylinder 211 (including the second cylinder 212). The fixed concave portion 223a is not formed in advance, but is formed after the first cylinder 211 is accommodated and disposed therein. The detail of the formation method of this fixed recessed part 223a is mentioned later.

제3통체(223)는, 도전성 재료로 형성되어도 비도전성 재료로 형성되어도 좋지만, 인접하는 다른 제2접촉자(22)와 전기적으로 비접촉이 되도록, 도전성 재료로 형성되는 경우에는 그 가장자리를 필요에 따라 절연 피복한다. 또, 이 제3통체(223)를 제조하는 방법으로서 제1 및 제2통체를 제조하는 방법을 이용할 수 있다.The third cylinder 223 may be formed of a conductive material or a non-conductive material, but when the third cylinder 223 is formed of a conductive material so as to be in electrical contact with another adjacent contactor 22, the edge thereof may be formed as necessary. Insulation sheath. Moreover, as a method of manufacturing this 3rd cylinder 223, the method of manufacturing a 1st and 2nd cylinder can be used.

제2접촉자(22)는, 제1통체(211)에 제2통체(212)가 수용되고, 그 후에 제3통체(223)가 이 제1통체(211)를 그 내부에 수용한다. 그리고 고정 오목부(223a)는, 제3통체(223)의 외측으로부터 내측으로 가압(코킹)을 함으로써 고정하였을 경우에 형성되는 것이다. 이 제1 및 제2통체의 고정방법은, 이러한 코킹에 한정되지 않고, 레이저 용접, 아크 용접이나 접착제 등의 다른 고정방법을 사용하여도 좋다. 또, 제1 내지 제3통체 모두가 배치되고 나서 모든 통체를 고정하도록 형성하더라도 좋고, 우선 제1통체와 제2통체를 고정한 후에 제3통체를 고정하더라도 좋다.As for the 2nd contact 22, the 2nd cylinder 212 is accommodated in the 1st cylinder 211, and the 3rd cylinder 223 accommodates this 1st cylinder 211 inside it. And the fixed recessed part 223a is formed when it fixes by pressing (caulking) from the outer side of the 3rd cylinder 223 inward. The fixing method of this 1st and 2nd cylinder is not limited to such caulking, You may use other fixing methods, such as laser welding, arc welding, and an adhesive agent. Moreover, after all the 1st-3rd cylinders are arrange | positioned, you may form so that all the cylinders may be fixed, and after fixing a 1st cylinder and a 2nd cylinder, you may fix a 3rd cylinder.

도8은 제2접촉자가 지지체에 부착된 상태를 나타내는 단면도다. 제2실시예의 검사용 치구는, 제1판상부재(34)와 제2판상부재(32)를 구비하여 이루어진다. 제2판상부재(32)는, 제1실시예의 검사용 치구와 동일한 구성이므로 설명을 생략한다.8 is a cross-sectional view showing a state in which the second contactor is attached to the support. The inspection jig of the second embodiment includes a first plate member 34 and a second plate member 32. Since the 2nd plate-shaped member 32 is the same structure as the inspection jig | tool of 1st Example, description is abbreviate | omitted.

이러한 제1판상부재(34)는 제2접촉자(22)를 검사점으로 안내하는 제1안내 구멍(341)을 구비하고 있다. 이 제1안내 구멍(341)은, 제1안내 상부 구멍(34a)과 제1안내 하부 구멍(34b)을 구비하여 이루어진다. 이 제1안내 상부 구멍(34a)은, 제3통체(223)의 외경보다도 약간 큰 지름을 구비하도록 형성된다.The first plate member 34 includes a first guide hole 341 for guiding the second contactor 22 to the inspection point. The first guide hole 341 includes a first guide upper hole 34a and a first guide lower hole 34b. The first guide upper hole 34a is formed to have a diameter slightly larger than the outer diameter of the third cylinder 223.

제1안내 하부 구멍(34b)은, 제1통체(211)의 외경보다도 약간 크고 또한 제3통체(223)의 외경보다도 작은 지름을 구비하도록 형성된다. 이렇게 제1안내 구멍(341)이 2개의 서로 다른 지름의 구멍에 의하여 형성됨으로써, 제2접촉자(22)가 제3통체(223)와 제1통체(211)의 단차에 의하여 결합된다.The first guide lower hole 34b is formed to have a diameter slightly larger than the outer diameter of the first cylinder 211 and smaller than the outer diameter of the third cylinder 223. In this way, the first guide hole 341 is formed by two different diameter holes, so that the second contact 22 is coupled by the step between the third cylinder 223 and the first cylinder 211.

도9는, 제2접촉자(22)를 사용한 검사용 치구(1')의 개략적인 구성도다. 제2접촉자(22)는, 지지체(3)에 장착되는 경우에는 제2판상부재(32)의 제2안내 구멍(321)로부터 삽입되고, 제1판상부재(34)의 제1안내 구멍(341)으로 안내된다. 이 때에, 제2접촉자(22)는, 제1안내 구멍(341) 내부에 있어서 지름이 서로 다른 경계에 제3통체(223)가 결합된다.9 is a schematic configuration diagram of an inspection jig 1 'using the second contact 22. As shown in FIG. When the second contactor 22 is mounted on the support 3, the second contact 22 is inserted from the second guide hole 321 of the second plate-like member 32 and the first guide hole 341 of the first plate-like member 34. Guided by). At this time, in the second contact 22, the third cylinder 223 is coupled to a boundary having a different diameter in the inside of the first guide hole 341.

지지체(3)에 제2접촉자(22)를 지지시킨 후에 제2접촉자(22)의 일단이 전극부(41)를 가압하도록, 제2판상부재(32)를 접속 전극체(4)와 접촉시킨다. 이 때에, 제2접촉자(22)의 제1통체(211)와 제2통체(212) 각각이 제1전극부(41a)와 제2전극부(4lb)에 압접되기 때문에 각각의 외측 제1신축부(21lb)와 내측 제1신축부(212b)가 수축하여 가압상태가 되고, 제1통체(211)의 외측 선단부(211a)와 제2통체(212)의 내측 선단부(212a)가 검사점에 접촉하는가에 관계 없이 정상적으로 각각의 전극부(41)에 접촉한다. 또한 타방측에 배치되는 내측 및 외측 제2신축부(211d, 212d)는 본래의 길이의 상태에서 검사대기의 상태로 되고, 실제의 검사 시에 있어서만 이들의 신축부가 슬라이딩 하게 된다.After supporting the second contactor 22 on the support 3, the second plate-like member 32 is brought into contact with the connecting electrode body 4 so that one end of the second contactor 22 presses the electrode portion 41. . At this time, since each of the first cylinder 211 and the second cylinder 212 of the second contact 22 is press-contacted to the first electrode portion 41a and the second electrode portion 4lb, each outer first stretchable The portion 21lb and the inner first elastic portion 212b contract and become pressurized, and the outer end portion 211a of the first cylinder 211 and the inner end portion 212a of the second cylinder 212 are placed at the inspection point. Each electrode portion 41 is normally in contact with or without contact. Further, the inner and outer second elastic portions 211d and 212d disposed on the other side are in the state of waiting for inspection in the state of the original length, and these expansion and contraction portions slide only during the actual inspection.

이상이 제2실시예의 검사용 치구의 설명이다.The above is the description of the inspection jig of the second embodiment.

다음에 제3실시예의 검사용 치구(1'')에 대하여 설명한다. 도10은, 본 발명의 제3실시예의 접촉자(제3접촉자(23))의 개략적인 단면도다. 도11은, 제3접촉자를 구성하는 제1통체와 제2통체의 분해 단면도를 나타내는 도면으로서, (a)는 제1통체를 나타내고, (b)는 제2통체를 나타내고 있다. 또, 제3실시예의 검사용 치구와 제1실시예 또는 제2실시예의 검사용 치구가 동일한 구성인 경우에는, 동일한 부호를 붙이는 동시에 설명을 생략한다.Next, the inspection jig 1 '' of the third embodiment will be described. Fig. 10 is a schematic cross sectional view of a contactor (third contactor 23) of a third embodiment of the present invention. Fig. 11 is an exploded sectional view of the first cylinder and the second cylinder that constitute the third contactor, wherein (a) shows the first cylinder and (b) shows the second cylinder. In addition, when the inspection jig of 3rd Example and the inspection jig of 1st Example or 2nd Example are the same structure, the same code | symbol is attached | subjected and description is abbreviate | omitted.

제3실시예의 검사용 치구(1'')의 주요한 특징은, 제3접촉자(23)의 제1통체(211)의 외측 가장자리에 절연피복(211g)을 형성한 점과, 제2통체(212)의 외측 가장자리에 절연피복(212g)을 형성한 점에 있다.The main features of the inspection jig 1 ″ of the third embodiment are that the insulating coating 211g is formed on the outer edge of the first cylinder 211 of the third contactor 23 and the second cylinder 212 is provided. Insulation coating (212g) is formed on the outer edge of the).

제3접촉자(23)는, 제1통체(211)와 제2통체(212)를 구비하여 이루어진다. 제3접촉자(23)의 제1통체(211)와 제2통체(212)의 기본구성은, 제1접촉자(21)와 동일하기 때문에 설명을 생략하고, 구성이 다른 점을 설명한다. 제1통체(211)의 외측 제1신축부(21lb)와 외측 제2신축부(211d)는, 제2통체(212)의 내측 제1신축부(212b)와 내측 제2신축부(212d)와, 평면에서 볼 때에 있어서 인접하지 않는 위치에 배치된다(도10참조). 이렇게 각각의 신축부가 제3접촉자(23)의 장축방향을 따라 교대로 배치됨으로써, 각각의 신축부가 슬라이딩 하여도 서로 접촉하는 일이 없다.The third contactor 23 includes a first cylinder 211 and a second cylinder 212. Since the basic structure of the 1st cylinder 211 and the 2nd cylinder 212 of the 3rd contactor 23 is the same as that of the 1st contactor 21, it abbreviate | omits description and demonstrates a different point. The outer first elastic part 21lb and the outer second elastic part 211d of the first cylinder 211 are the inner first elastic part 212b and the inner second elastic part 212d of the second cylinder 212. And are disposed at non-adjacent positions in plan view (see Fig. 10). Thus, each of the expansion and contraction parts are alternately arranged along the long axis direction of the third contactor 23, so that the expansion and contraction portions do not contact each other even if they slide.

제1통체(211)는, 외측 선단부(211a), 외측 중간부(211c)와 외측 후단부(211e)의 외측 가장자리에는 절연피복(211g)이 형성되어 있다. 이 절연피복(211g)은 소정의 두께를 구비하여 형성되고, 예를 들면 5~20μm로 형성된다. 특히, 외측 후단부(211e)의 가장자리에 형성되는 절연피복(211g)은, 제2실시예의 검사용 치구(1')의 제3통체(223)와 마찬가지로 제1판상부재(34)의 제1안내 구멍(341)에 결합된다.In the first cylinder 211, an insulating coating 211g is formed at the outer edges of the outer leading end 211a, the outer intermediate portion 211c and the outer rear end 211e. This insulating coating 211g is formed to have a predetermined thickness, and is formed to be, for example, 5 to 20 µm. In particular, the insulating coating 211g formed at the edge of the outer rear end 211e is similar to the third cylinder 223 of the inspection jig 1 ′ of the second embodiment, and thus, the first plate-like member 34 has a first shape. It is coupled to the guide hole 341.

도11(a)에 예시되어 있는 제1통체(211)의 절연피복(211g)은, 제1통체(211)와 제2통체(212)를 고정하기 위한 외측 오목부(211f)의 부위에는 형성되어 있지 않다. 이것은, 제1통체(211)의 외측으로부터 가압하는 경우에, 더 확실하게 제1통체(211)와 제2통체(212)를 고정시키기 위하여 절연피복을 형성하지 않고 있다.The insulating coating 211g of the first cylinder 211 illustrated in Fig. 11A is formed at the site of the outer concave portion 211f for fixing the first cylinder 211 and the second cylinder 212. It is not. This does not form an insulation coating in order to more reliably fix the first cylinder 211 and the second cylinder 212 when pressurized from the outside of the first cylinder 211.

제2통체(212)는, 내측 선단부(212a), 내측 중간부(212c)와 내측 후단부(212e)의 외측 가장자리에 절연피복(212g)이 형성되어 있다. 이 절연피복(212g)은 소정의 두께를 구비하여 형성되고, 예를 들면 1~10μm로 형성된다. 제2통체(212)의 상기 각 부위에 절연피복(212g)이 형성됨으로써 제1통체(211)의 각 신축부의 슬라이딩 방향을 제2접촉자(23)의 장축방향에 안정적으로 제한할 수 있다.In the second cylinder 212, an insulating coating 212g is formed at the outer edges of the inner tip 212a, the inner middle 212c and the inner rear end 212e. The insulating coating 212g is formed to have a predetermined thickness, and is formed to be, for example, 1 to 10 m. Since the insulating coating 212g is formed on the respective portions of the second cylinder 212, the sliding direction of each of the expansion and contraction portions of the first cylinder 211 can be stably limited to the long axis direction of the second contact 23.

도12는, 제3접촉자가 지지체에 부착된 상태를 나타내는 단면도다. 이 도12에 나타나 있는 바와 같이, 제2실시예의 제2접촉자와 마찬가지로 제1판상부재(34)가 구비하는 제1안내 구멍(341)이 지름이 서로 다른 2개의 구멍부(제1안내 상부 구멍(34a)과 제1안내 하부 구멍(34b))에 의하여, 외측 후단부(211e)에 형성되는 절연피복(211g)과 제1통체(211)의 단차에 의하여 제3접촉자(23)가 결합된다.12 is a cross-sectional view showing a state in which the third contactor is attached to the support. As shown in Fig. 12, similarly to the second contact of the second embodiment, the first guide hole 341 provided in the first plate-shaped member 34 has two holes having different diameters (first guide upper hole). The third contact 23 is coupled by the step of the insulating coating 211g formed on the outer rear end 211e and the first cylinder 211 by means of 34a and the first guide lower hole 34b. .

도13은 제3접촉자를 사용한 검사용 치구의 개략적인 구성도다. 제3실시예의 검사용 치구(1'')는 제2실시예의 검사용 치구(1')와 마찬가지로, 제3접촉자(23)가 지지체(3)에 장착되는 경우에는, 제2판상부재(32)의 제2안내 구멍(321)로부터 삽입되고, 제1판상부재(34)의 제1안내 구멍(341)으로 안내된다. 이 때에, 제3접촉자(23)는, 제1안내 구멍(341) 내부의 지름이 서로 다른 경계에 절연피복(211g)이 결합된다.Fig. 13 is a schematic configuration diagram of an inspection jig using a third contactor. The inspection jig 1 ″ of the third embodiment is the same as the inspection jig 1 ′ of the second embodiment, when the third contactor 23 is mounted on the support 3, the second plate-like member 32. The first guide hole 341 of the first plate-like member 34 is inserted from the second guide hole 321 of the " At this time, the insulating contact 211g is coupled to the third contact 23 at a boundary where the diameters of the first guide holes 341 are different from each other.

지지체(3)에 제3접촉자(23)를 지지시킨 후에, 제3접촉자(23)의 일단이 전극부(41)를 가압하도록, 제2판상부재(32)를 접속 전극체(4)와 접촉시킨다. 이 때에, 제3접촉자(23)의 제1통체(211)와 제2통체(212) 각각이 제1전극부(41a)와 제2전극부(4lb)에 압접되기 때문에 각각의 외측 제1신축부(21lb)와 내측 제1신축부(212b)가 수축하여 가압상태가 되고, 제1통체(211)의 외측 선단부(211a)와 제2통체(212)의 내측 선단부(212a)가 검사점에 접촉하는가에 관계 없이 정상적으로 각각의 전극부(41)에 접촉한다. 또한 타방측에 배치되는 내측 및 외측 제2신축부(211d, 212d)는 본래의 길이의 상태에서 검사대기의 상태가 되고, 실제의 검사시에 있어서만 이들의 신축부가 슬라이딩 하게 된다.After supporting the third contactor 23 on the support 3, the second plate-shaped member 32 is in contact with the connecting electrode body 4 so that one end of the third contactor 23 presses the electrode portion 41. Let's do it. At this time, since each of the first cylinder 211 and the second cylinder 212 of the third contact 23 is press-contacted to the first electrode portion 41a and the second electrode portion 4lb, each outer first stretchable The portion 21lb and the inner first elastic portion 212b contract and become pressurized, and the outer end portion 211a of the first cylinder 211 and the inner end portion 212a of the second cylinder 212 are placed at the inspection point. Each electrode portion 41 is normally in contact with or without contact. Further, the inner and outer second elastic portions 211d and 212d disposed on the other side are in the state of waiting for inspection in the state of the original length, and these expansion and contraction portions slide only during the actual inspection.

이상이 제3실시예의 검사용 치구의 설명이다.The above is the description of the inspection jig of the third embodiment.

다음에 제4실시예의 검사용 치구의 설명을 한다. 도14는, 본 발명의 제4실시예의 접촉자(제4접촉자)의 개략적인 단면도다. 도15는, 제4접촉자를 구성하는 제1통체와 제2통체와 제3통체의 분해 단면도를 나타내는 도면으로서, (a)는 제1통체를 나타내고, (b)는 제2통체를 나타내고, (c)는 제3통체를 나타내고 있다.Next, the inspection jig of the fourth embodiment will be described. Fig. 14 is a schematic cross sectional view of a contactor (fourth contactor) in a fourth embodiment of the present invention. Fig. 15 is an exploded sectional view of the first cylinder, the second cylinder, and the third cylinder that constitute the fourth contactor, (a) shows the first cylinder, (b) shows the second cylinder ( c) represents a third cylinder.

제4실시예의 제4접촉자(24)는, 제1통체(211)와 제2통체(212)와 제3통체(223)를 구비하여 이루어지고, 제2실시예의 제2접촉자(22)와 유사하다. 제4접촉자(24)와 제2접촉자(22)가 다른 점은, 제2접촉자(22)의 각 신축부가 인접위치에 배치되어 있는 것에 대하여(도6 참조), 제4접촉자는 인접위치에 배치되어 있는 신축부를 구비하지 않고 있다는 점이다.The fourth contactor 24 of the fourth embodiment includes a first cylinder 211, a second cylinder 212, and a third cylinder 223, and is similar to the second contactor 22 of the second embodiment. Do. The difference between the 4th contactor 24 and the 2nd contactor 22 is that each extension part of the 2nd contactor 22 is arrange | positioned at an adjacent position (refer FIG. 6), and a 4th contactor is arrange | positioned at an adjacent position. It does not have a stretchable part.

도16은, 제4접촉자가 지지체에 부착된 상태를 나타내는 단면도다. 도17은, 제4접촉자를 사용한 검사용 치구의 개략적인 구성도다. 이 도16에 나타나 있는 바와 같이 제2실시예의 제2접촉자와 마찬가지로, 제1판상부재(34)가 구비하는 제1안내 구멍(341)이 지름이 서로 다른 2개의 구멍부(제1안내 상부 구멍(34a)과 제1안내 하부 구멍(34b))에 의하여 제4접촉자(24)의 제3통체(223)와 제1통체(211)의 단차에 의하여 제4접촉자(24)가 결합된다.Fig. 16 is a sectional view showing a state in which the fourth contactor is attached to the support. 17 is a schematic configuration diagram of an inspection jig using a fourth contactor. As shown in FIG. 16, as in the second contact of the second embodiment, the first guide hole 341 provided in the first plate-like member 34 has two holes having different diameters (first guide upper hole). The fourth contactor 24 is coupled by a step between the third cylinder 223 of the fourth contactor 24 and the first cylinder 211 by means of 34a and the first guide lower hole 34b.

도17은 제4접촉자를 사용한 검사용 치구의 개략적인 구성도다. 제4실시예의 검사용 치구(1''')는 제2실시예의 검사용 치구(1')와 마찬가지로, 제4접촉자(24)가 지지체(3)에 장착되는 경우에는, 제2판상부재(32)의 제2안내 구멍(321)로부터 삽입되고 제1판상부재(34)의 제1안내 구멍(341)으로 안내된다. 이 때에, 제4접촉자(24)는, 제1안내 구멍(341) 내부에 있어서 지름이 서로 다른 경계에 제3통체(223)가 결합된다.17 is a schematic configuration diagram of an inspection jig using a fourth contactor. The inspection jig 1 '' 'of the fourth embodiment is the same as the inspection jig 1' of the second embodiment, when the fourth contact 24 is mounted on the support 3, the second plate-like member ( It is inserted from the second guide hole 321 of 32 and guided to the first guide hole 341 of the first plate-like member 34. At this time, the third cylinder 223 is coupled to the fourth contactor 24 at boundaries having different diameters inside the first guide hole 341.

지지체(3)에 제4접촉자(24)를 지지시킨 후에, 제4접촉자(24)의 일단이 전극부(41)를 가압하도록 제2판상부재(32)를 접속 전극체(4)와 접촉시킨다. 이 때에, 제4접촉자(23)의 제1통체(211)와 제2통체(212) 각각이 제1전극부(41a)와 제2전극부(4lb)에 압접되기 때문에 각각의 외측 제1신축부(21lb)와 내측 제1신축부(212b)가 수축하여 가압상태가 되고, 제1통체(211)의 외측 선단부(211a)와 제2통체(212)의 내측 선단부(212a)가 검사점에 접촉하는가에 관계 없이 정상적으로 각각의 전극부(41)에 접촉한다. 또한 타방측에 배치되는 내측 및 외측 제2신축부(211d, 212d)는 본래의 길이의 상태에서 검사대기의 상태가 되고, 실제의 검사시에 있어서만 이들의 신축부가 슬라이딩 하게 된다.After supporting the fourth contactor 24 on the support 3, the second plate member 32 is brought into contact with the connecting electrode body 4 so that one end of the fourth contactor 24 presses the electrode portion 41. . At this time, since each of the first cylinder 211 and the second cylinder 212 of the fourth contactor 23 is press-contacted to the first electrode portion 41a and the second electrode portion 4lb, each outer first stretchable The portion 21lb and the inner first elastic portion 212b contract and become pressurized, and the outer end portion 211a of the first cylinder 211 and the inner end portion 212a of the second cylinder 212 are placed at the inspection point. Each electrode portion 41 is normally in contact with or without contact. Further, the inner and outer second elastic portions 211d and 212d disposed on the other side are in the state of waiting for inspection in the state of the original length, and these expansion and contraction portions slide only during the actual inspection.

이상이 제4실시예의 검사용 치구의 설명이다.The above is the description of the inspection jig of the fourth embodiment.

제5실시예의 검사용 치구에 대하여 설명한다. 도18은, 본 발명의 제5실시예의 접촉자(제5접촉자(25))가 지지체에 지지되는 상태를 나타내는 개략적인 단면도다. 또, 제5실시예의 검사용 치구(또는 제5접촉자(25))와 제3실시예의 검사용 치구(또는 제3접촉자(23))가 동일한 구성인 경우에는, 동일한 부호를 붙이는 동시에 설명을 생략한다.The inspection jig of the fifth embodiment will be described. Fig. 18 is a schematic cross sectional view showing a state in which a contactor (a fifth contactor 25) of a fifth embodiment of the present invention is supported by a support. In addition, when the inspection jig (or fifth contactor 25) of the fifth embodiment and the inspection jig (or third contactor 23) of the third embodiment have the same configuration, the same reference numerals will be assigned and the description thereof will be omitted. do.

제5실시예의 검사용 치구(도면에는 나타내지 않는다)의 주요한 특징은, 제5접촉자(25)의 제1통체(211)의 외측 제1신축부(21lb)와 외측 제2신축부(211d)가 제5접촉자(25)의 신축부 중에서 가장 외측에 배치되는 것, 제2통체(212)의 내측 제1신축부와 내측 제2신축부를 각각 2개 설치하고 있다는 점이다.The main feature of the inspection jig (not shown in the drawing) of the fifth embodiment is that the outer first elastic part 21lb and the outer second elastic part 211d of the first cylinder 211 of the fifth contactor 25 are provided. The outermost part of the elastic part of the fifth contactor 25 is provided, and two inner first elastic parts and two inner second elastic parts of the second cylinder 212 are provided.

제5접촉자(25)는 제1통체(211)와 제2통체(212)를 구비하여 이루어진다. 제5접촉자(25)의 제1통체(211)와 제2통체(212)의 기본구성은, 제3접촉자(23)와 동일하기 때문에 설명을 생략하고, 다른 구성에 대하여 설명한다. 제1통체(211)의 외측 제1신축부(21lb)와 외측 제2신축부(211d)는, 제2통체(212)의 내측 제1신축부(212b1, 212b2)와 내측 제2신축부(212d1, 212d2)와, 평면에서 볼 때에 있어서 인접하지 않는 위치에 배치된다(도18 참조). 이렇게 각각의 신축부가 제5접촉자(25)의 장축방향을 따라 인접하지 않는 위치에 배치됨으로써, 각각의 신축부가 슬라이딩 하여도 서로 접촉하는 일이 없다.The fifth contactor 25 includes a first cylinder 211 and a second cylinder 212. Since the basic structure of the 1st cylinder 211 and the 2nd cylinder 212 of the 5th contactor 25 is the same as that of the 3rd contactor 23, description is abbreviate | omitted and another structure is demonstrated. The outer first elastic part 21lb and the outer second elastic part 211d of the first cylinder 211 are the inner first elastic parts 212b1 and 212b2 and the inner second elastic part 211 of the second cylinder 212. 212d1 and 212d2), and it is arrange | positioned in the position which is not adjacent in planar view (refer FIG. 18). Thus, since each expansion-contraction part is arrange | positioned in the position which does not adjoin along the long axis direction of the 5th contact 25, even if each expansion-contraction part slides, it does not contact each other.

제2통체(212)는, 내측 제1신축부와 내측 제2신축부를 각각 구비하고 있지만, 이 제5접촉자(25)의 실시예에서는 내측 제1신축부를 2개의 신축부(212b1, 212b2)로 형성하고, 내측 제2신축부를 2개의 신축부(212d1, 212d2)로 형성하고 있다. 또, 2개의 신축부의 사이에는 소정의 간격을 구비하기 위한 통부가 형성되고 있고, 이 통부의 외측 가장자리에는 절연피복이 형성되어 있다. 이렇게 제1신축부나 제2신축부를 복수 형성함으로써 내측에 배치되는 제2통체(212)가 휘는 것을 억제할 수 있다.The second cylinder 212 has an inner first elastic part and an inner second elastic part, respectively, but in the embodiment of the fifth contact 25, the inner first elastic part is formed of two elastic parts 212b1 and 212b2. The inner second elastic part is formed of two elastic parts 212d1 and 212d2. Moreover, the cylinder part for providing a predetermined space | interval is formed between two expansion-contraction parts, and the insulation coating is formed in the outer edge of this cylinder part. Thus, the 2nd cylinder 212 arrange | positioned inside can be suppressed by forming a plurality of 1st elastic part or 2nd elastic part.

제5접촉자(25)는, 외측 선단부(211a), 외측 중간부(211c)와 외측 후단부(211e)의 외측 가장자리에 절연피복(211g)이 형성되어 있다. 외측 후단부(211e)의 가장자리에 형성되는 절연피복(211g)은, 제2실시예의 검사용 치구(1')의 제3통체(223)과 마찬가지로 제1판상부재(34)의 제1안내 구멍(341)에 결합된다.The fifth contact 25 is formed with an insulating coating 211g at the outer edges of the outer leading end 211a, the outer intermediate portion 211c and the outer rear end 211e. The insulating coating 211g formed at the edge of the outer rear end 211e is the first guide hole of the first plate-like member 34 similarly to the third cylinder 223 of the inspection jig 1 'of the second embodiment. 341.

이상이, 제5실시예의 검사용 치구의 제5접촉자의 구성의 설명이다.The above is the description of the configuration of the fifth contactor of the inspection jig of the fifth embodiment.

제6실시예의 검사용 치구의 설명을 한다. 도19는, 본 발명의 제6실시예의 접촉자(제6접촉자)의 개략적인 단면도다.The inspection jig of the sixth embodiment will be described. Fig. 19 is a schematic sectional view of a contactor (sixth contactor) in a sixth embodiment of the present invention.

제6실시예의 제6접촉자(26)는, 제1통체(211)와 제2통체(212)와 제3통체(223)를 구비하여 이루어지고, 제4실시예의 제4접촉자(24)와 유사하다. 이 제6접촉자(26)와 제4접촉자(24)가 다른 점은, 제6접촉자(26)의 제2통체(212)에 형성되는 내측 제1신축부(212b)와 내측 제2신축부(212d)가 각각 2개의 신축부에 의하여 형성되어 있다는 점이다. 또, 제6접촉자(26)의 각 신축부는, 제5접촉자(25)와 마찬가지로 신축부가 인접위치에 배치되지 않도록 설정되어 있다.The sixth contactor 26 of the sixth embodiment includes a first cylinder 211, a second cylinder 212, and a third cylinder 223, and is similar to the fourth contactor 24 of the fourth embodiment. Do. The difference between the sixth contactor 26 and the fourth contactor 24 is that the inner first elastic part 212b and the inner second elastic part formed in the second cylinder 212 of the sixth contactor 26 ( 212d) is formed by two expansion and contraction portions, respectively. In addition, like the fifth contactor 25, each of the expansion and contraction portions of the sixth contactor 26 is set so that the expansion and contraction portion is not disposed at an adjacent position.

제6접촉자(26)에서는, 제3통부(223)가 제1판상부재(34)의 제1안내 구멍(341)에 결합되어, 제6접촉자(26)가 지지체(3)로부터 빠지는 것을 방지하고 있다.In the sixth contactor 26, the third cylindrical portion 223 is coupled to the first guide hole 341 of the first plate-shaped member 34 to prevent the sixth contactor 26 from being pulled out of the support 3. have.

이상이 제6실시예의 검사용 치구에 사용되는 제6접촉자의 설명이다.The above is the description of the sixth contact person used for the inspection jig of the sixth embodiment.

본 명세서에서는, 전극부(41)로서 구리 도선의 단면이 각 제1통체와 제2통체의 일부에 접촉하도록 각각 배치했지만, 이 전극부(41)는 제1통체나 제2통체와 같은 단면을 구비하도록 형성하여 배치할 수도 있다.In this specification, although the cross section of a copper conducting wire was respectively arrange | positioned as an electrode part 41 in contact with a part of each 1st cylinder and a 2nd cylinder, this electrode part 41 has the same cross section as a 1st cylinder or a 2nd cylinder. It may be formed so as to be provided.

또한 절연피막(211g)은, 양 선단부를 제외하고 신축부의 표면에도 피복하도록 형성하여도 좋다. 또한 본 발명에 관하여 설명하기 위한 도면에 기재되어 있는 양 신축부는 오른쪽으로 감기로 형성되어 있지만, 제1통체와 제2통체에서 역방향의 감기 방법이 되도록 설정할 수도 있다.
The insulating film 211g may be formed so as to cover the surface of the stretchable portion, except for both tip portions. In addition, although both the elastic parts described in the drawings for explaining the present invention are formed by winding to the right, the first and second cylinders may be set so as to be the reverse winding method.

1 검사용 치구
2 접촉자
211 제1통체
212 제2통체
31 제1판 상부
311 제1안내 구멍
32 제2판상부재
321 제2안내 구멍
41 전극부
Jig for 1 inspection
2 contact
211 First Body
212 Second Body
31 First Plate Top
311 First Guide Hole
32 2nd plate member
321 2nd guide hole
41 electrode

Claims (11)

검사대상이 되는 검사부(檢査部)를 구비하는 피검사물(被檢査物)과, 상기 검사부의 전기적 특성을 검사하는 검사장치(檢査裝置)를 전기적으로 접속하는 검사용 치구(檢査用治具)로서,
상기 검사장치와 전기적으로 접속되는 전극부(電極部)를 복수 구비하는 접속 전극체(接續電極體)와,
일단(一端)이 상기 검사부에 압접(壓接)됨과 아울러 타단(他端)이 상기 전극부에 압접되는 도전성의 통모양의 제1통체(第1筒體)와,
상기 제1통체와 전기적으로 비접촉(非接觸)이고 또한 상기 제1통체 내에 동축으로 배치되고, 일단이 상기 검사부에 압접됨과 아울러 타단이 상기 전극부에 압접되는 도전성의 통모양의 제2통체와,
상기 제1통체와 상기 제2통체의 각각의 일단을 검사점으로 안내하는 제1안내 구멍을 구비하는 제1판상부재(第1板狀部材)와,
상기 제1통체와 상기 제2통체의 각각의 타단을 상기 전극부로 안내하는 제2안내 구멍을 구비하고, 상기 제1판상부재와 소정의 간격을 두고 배치되는 제2판상부재와,
상기 제1통체와 상기 제2통체는, 통벽부(筒壁部)의 나선 모양의 절단부에 의하여 형성되고 장축방향으로 신축하는 2개의 신축부가 중간부를 사이에 두고 형성되고,
상기 제1통체와 상기 제2통체는, 각각의 중간부에 있어서 상기 제1통체와 상기 제2통체가 고정되는 것을 특징으로 하는 검사용 치구.
As an inspection jig for electrically connecting an inspection object including an inspection unit to be inspected and an inspection device for inspecting the electrical characteristics of the inspection unit. ,
A connecting electrode body having a plurality of electrode portions electrically connected to the inspection apparatus;
A conductive cylindrical first cylinder in which one end is press-contacted to the inspection section and the other end is press-contacted to the electrode section;
A conductive cylindrical second cylinder electrically non-contacted with the first cylinder and coaxially disposed within the first cylinder, one end of which is press-contacted to the inspection section, and the other end of which is press-contacted to the electrode section;
A first plate member having a first guide hole for guiding one end of each of the first cylinder and the second cylinder to an inspection point ;
A second plate member having a second guide hole for guiding the other ends of the first cylinder and the second cylinder to the electrode portion, the second plate member being disposed at a predetermined distance from the first plate member;
The said 1st cylinder and the said 2nd cylinder are formed by the spiral cut part of a cylindrical wall part, and the two expansion-and-contracting parts which expand and contract in the longitudinal direction are formed through the intermediate part,
The first jig and the second cylindrical jig for inspection, characterized in that the first cylinder and the second cylinder is fixed in each intermediate portion.
제1항에 있어서,
상기 제1통체와 제2통체는, 니켈 또는 니켈 합금에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 검사용 치구.
The method of claim 1,
The first jig and the second cylinder are inspection jig, characterized in that formed by nickel or nickel alloy.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1통체의 형상이, 상기 제1통체의 중앙에 대하여 대칭이 되는 형상으로 형성되고, 또한 상기 제2통체의 형상이, 상기 제2통체의 중앙에 대하여 대칭이 되는 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 검사용 치구.
The method according to claim 1 or 2,
The first cylinder is formed in a symmetrical shape with respect to the center of the first cylinder, and the second cylinder is formed in a symmetrical shape with respect to the center of the second cylinder. Jig for examination.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 검사용 치구는, 상기 중간부를 관통시켜 안내하는 제3안내 구멍을 구비하는 제3판상부재를 구비하고,
상기 제3판상부재는 병렬 배치되는 3장의 판부(板部)를 구비하고,
중간에 배치되는 하나의 판부가 다른 판부에 대하여 면방향(面方向)으로 변위(變位)하여 상기 제3안내 구멍을 정렬위치로부터 벗어난 위치에 배치함으로써, 상기 중간부를 협지하는 것을
특징으로 하는 검사용 치구.
The method according to claim 1 or 2 ,
The inspection jig includes a third plate-like member having a third guide hole for guiding the intermediate part through the guide.
The third plate-like member has three plate portions arranged in parallel,
One plate part arranged in the middle is displaced in the plane direction with respect to the other plate part, and the said 3rd guide hole is arrange | positioned in the position which deviates from the alignment position, and it clamps the said intermediate part.
Inspection jig characterized by the above.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1통체의 외경보다도 큰 내경을 구비하는 통모양의 제3통체가 형성되고,
상기 제3통체가, 상기 제3통체 내에 상기 제1통체를 동축으로 수용하고,
상기 제1안내 구멍은,
상기 제3통체의 외경보다도 큰 지름을 구비하는 제1안내 상부 구멍과,
상기 제1안내 상부 구멍과 통하도록 연결되고 상기 제3통체의 외경보다도 작고 또한 제1통체의 외경보다도 큰 지름을 구비하는 제1안내 하부 구멍을
구비하는 것을 특징으로 하는 검사용 치구.
The method according to claim 1 or 2 ,
A cylindrical third cylinder having an inner diameter larger than the outer diameter of the first cylinder is formed,
The third cylinder accommodates the first cylinder coaxially in the third cylinder,
The first guide hole,
A first guide upper hole having a diameter larger than the outer diameter of the third cylinder,
A first guide lower hole connected to the first guide upper hole and having a diameter smaller than the outer diameter of the third cylinder and larger than the outer diameter of the first cylinder;
Inspection jig, characterized in that provided.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1통체의 2개의 신축부와 상기 제2통체의 2개의 신축부는, 평면에서 볼 때에 있어서 인접하는 위치에 배치되지 않는 것을 특징으로 하는 검사용 치구.
The method according to claim 1 or 2 ,
Two expansion and contraction portions of the first cylinder and two expansion and contraction portions of the second cylinder are not disposed at adjacent positions in plan view.
검사대상이 되는 검사부를 구비하는 피검사물과, 상기 검사부의 전기적 특성을 검사하는 검사장치의 전극부를 전기적으로 접속하는 검사용 치구에 사용되는 검사용 접촉자(檢査用接觸子)로서,
일단이 상기 검사부에 압접됨과 아울러 타단이 상기 전극부에 압접되는 도전성의 통모양의 제1통체와,
상기 제1통체와 전기적으로 비접촉이고 또한 상기 제1통체 내에 동축으로 배치되고, 일단이 상기 검사부에 압접됨과 아울러 타단이 상기 전극부에 압접되는 도전성의 통모양의 제2통체와,
상기 제1통체와 상기 제2통체는, 통벽부의 나선 모양의 절단부에 의하여 형성되는 장축방향으로 신축하는 2개의 신축부가 중간부를 사이에 두고 형성되고,
상기 제1통체와 상기 제2통체는, 각각의 중간부에 있어서 상기 제1통체와 상기 제2통체가 고정되는 것을
특징으로 하는 검사용 접촉자.
An inspection contact used for an inspection jig electrically connecting an inspection object including an inspection unit to be inspected and an electrode unit of an inspection apparatus for inspecting electrical characteristics of the inspection unit,
A conductive cylindrical first cylinder in which one end is pressed against the inspection portion and the other end is pressed against the electrode portion;
A conductive cylindrical second cylinder electrically non-contacted with the first cylinder and coaxially disposed within the first cylinder, one end of which is press-contacted to the inspection section, and the other end of which is press-contacted to the electrode section;
The first cylinder and the second cylinder are formed with two expansion and contraction portions extending in the longitudinal direction formed by a spiral cut portion of the cylindrical wall portion with an intermediate portion interposed therebetween,
The first cylinder and the second cylinder are fixed to the first cylinder and the second cylinder in each intermediate portion.
Inspection contact characterized by the above.
제7항에 있어서,
상기 제1통체와 제2통체는, 니켈 또는 니켈 합금에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 검사용 접촉자.
The method of claim 7, wherein
And said first and second cylinders are formed of nickel or a nickel alloy.
제7항 또는 제8항에 있어서,
상기 제1통체의 형상이, 상기 제1통체의 중앙에 대하여 대칭이 되는 형상으로 형성되고, 또한 상기 제2통체의 형상이, 상기 제2통체의 중앙에 대하여 대칭이 되는 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 검사용 접촉자.
The method according to claim 7 or 8,
The first cylinder is formed in a symmetrical shape with respect to the center of the first cylinder, and the second cylinder is formed in a symmetrical shape with respect to the center of the second cylinder. Inspection contacts.
제7항에 있어서,
상기 제1통체의 외경보다도 큰 내경을 구비하는 통모양의 제3통체가 형성되고,
상기 제3통체가, 상기 제3통체 내에 상기 제1통체를 동축으로 수용함과 아울러 제1통체보다도 짧은 길이로 형성되는 것을
특징으로 하는 검사용 접촉자.
The method of claim 7, wherein
A cylindrical third cylinder having an inner diameter larger than the outer diameter of the first cylinder is formed,
The third cylinder is formed to have a length shorter than that of the first cylinder while accommodating the first cylinder coaxially within the third cylinder.
Inspection contact characterized by the above.
제7항에 있어서,
상기 제1통체의 2개의 신축부와, 상기 제2통체의 2개의 신축부는, 평면에서 볼 때에 있어서 인접하는 위치에 배치되지 않는 것을 특징으로 하는 검사용 접촉자.
The method of claim 7, wherein
Two contact parts of the first cylinder and two extend parts of the second cylinder are not disposed at adjacent positions in plan view.
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