KR101118650B1

KR101118650B1 - Resistance uniformity evaluation method and device without damage for conducing film

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Publication number: KR101118650B1
Application number: KR1020100139416A
Authority: KR
Inventors: 이상문; 이윤수; 박이순
Original assignee: 경북대학교 산학협력단
Priority date: 2010-12-30
Filing date: 2010-12-30
Publication date: 2012-03-06

Abstract

본 발명은 투명 전극이 형성된 도전성 박막의 전기적 특성을 측정하는 장치에 대한 것이다. 더욱 상세하게는 도전성 박막의 저항과 같은 전기적 특성의 균일성을 측정하는 장치 및 상기 장치를 이용한 저항 균일성 측정 방법에 대한 것이다.
본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위해 새롭게 안출된 도전성 박막의 저항 균일성을 측정하기 위한 장치를 제공한다. 상기 저항 균일성 측정 장치는, 기판; 상기 기판의 전면에 형성되며 전압 측정용으로 사용하기 위한 다수의 전압 측정용 전극; 상기 기판의 전면에 형성되며 상기 전압 측정용 전극의 전원 공급용으로 사용하기 위한 둘 이상의 전원 공급용 전극; 상기 기판의 전면에 형성된 전극들과 상기 도전성 박막의 전극을 압력을 가하여 접촉시키는 가압롤러; 상기 전압 측정용 전극에 연결되어 전압을 측정하는 전압 측정 장치; 및 상기 전원 공급용 전극에 연결되어 전원을 공급하는 전원 공급 장치;를 포함한다. 상기 저항 균일성 측정장치는 상기 전압 측정용 전극의 전압을 측정함으로써 도전성 박막의 전기적 특성을 검사할 수 있다.The present invention relates to an apparatus for measuring electrical characteristics of a conductive thin film on which a transparent electrode is formed. More particularly, the present invention relates to a device for measuring the uniformity of electrical characteristics such as the resistance of the conductive thin film and a method for measuring the resistance uniformity using the device.
The present invention provides an apparatus for measuring the resistance uniformity of a newly prepared conductive thin film to solve the above problems. The resistance uniformity measuring apparatus includes a substrate; A plurality of voltage measuring electrodes formed on the front surface of the substrate for use in measuring voltage; Two or more power supply electrodes formed on the front surface of the substrate and used for power supply of the voltage measurement electrode; A pressure roller for contacting the electrodes formed on the front surface of the substrate with the electrodes of the conductive thin film by applying pressure; A voltage measuring device connected to the voltage measuring electrode to measure a voltage; And a power supply device connected to the power supply electrode to supply power. The resistance uniformity measuring apparatus may inspect the electrical characteristics of the conductive thin film by measuring the voltage of the voltage measuring electrode.

Description

Damage uniformity evaluation method and device without damage for conducing film}

본 발명은 투명 전극이 형성된 도전성 박막의 전기적 특성을 측정하는 장치에 대한 것이다. 더욱 상세하게는 도전성 박막의 저항과 같은 전기적 특성의 균일성을 측정하는 장치 및 상기 장치를 이용한 저항 균일성 측정 방법에 대한 것이다. The present invention relates to an apparatus for measuring electrical characteristics of a conductive thin film on which a transparent electrode is formed. More particularly, the present invention relates to a device for measuring the uniformity of electrical characteristics such as the resistance of the conductive thin film and a method for measuring the resistance uniformity using the device.

도전성 투명 박막은 터치패널의 제조, 디스플레이의 전극으로 널리 사용되고 있다. 디스플레이 표시 장치나 터치 패널에 사용되는 투명 전극은 넓은 면적을 필요로 하는 재료이며 전체 면적에 대해 균일한 전기적 특성을 갖고 있을 것이 요구된다. 일반적으로 터치 패널의 제조에 널리 사용되는 PET 필름기판 위에 증착되는 ITO(Indium Tin Oxide) 투명 전극 박막은 양산의 효율성을 위해 롤투롤(Roll to Roll) 공정을 이용하여 증착하는데, 대부분의 유연기판 생산시 롤투롤 공정은 고속으로 공정이 이루어진다. 따라서 전기 전도도 균일성에 대한 측정은 원제품 단계에서 평가가 어렵다. 특히 전기 저항의 균일성 부분은 터치패널이나 디스플레이의 성능에 직접적인 영향을 미치는 요소이지만, 넓은 면적에 대해 상세히 전기적 특성을 평가하는 것은 비용이 많이 들고 소재의 손상을 동반하기 때문에 후속 공정에서도 검사가 어렵다. Electroconductive transparent thin films are widely used as electrodes for the manufacture of touch panels and displays. The transparent electrode used for the display display device or the touch panel is a material requiring a large area, and it is required to have a uniform electrical characteristic for the entire area. In general, indium tin oxide (ITO) transparent electrode thin films deposited on PET film substrates, which are widely used in manufacturing touch panels, are deposited using a roll-to-roll process for mass production efficiency. Sea roll to roll process is a high speed process. Therefore, the measurement of electrical conductivity uniformity is difficult to evaluate at the raw product level. In particular, the uniformity of the electrical resistance is a factor that directly affects the performance of the touch panel or display.However, evaluating the electrical characteristics of a large area in detail is expensive and difficult to inspect even in subsequent processes. .

기존의 전기 저항 균일성 평가 장치는 정밀한 2축 이송장치와 네 개의 탐침 전기 저항 측정단자를 이용하여 여러 지점으로 이동해가며 저항을 측정하는 방식으로 동작한다. 기존 측정 장치가 2축의 고정도 수평 장치, 4 탐침 방식의 측정 탐침과 저항 측정기는 장치의 제작 비용 상승의 요인이다. 또한, 이 방법으로 평가된 시료는 탐침의 접촉에 의해 광학적, 전기적 손상이 발생하므로 제조공정의 모든 재료를 검사할 수 없어 샘플 추출검사로만 사용해야 한다. 또한 시료의 면적이 커짐에 따라 측정 시간과 측정 자료가 증가하게 되는 문제가 있다. Conventional electric resistance uniformity tester operates by measuring resistance by moving to various points by using precision two-axis feeder and four probe electric resistance measuring terminals. Conventional measuring devices are two-axis high-precision horizontal devices, four-probe measuring probes, and resistance measuring instruments that increase the manufacturing cost of the device. In addition, samples evaluated by this method are optically and electrically damaged by the contact of the probe, so all materials in the manufacturing process cannot be inspected. In addition, there is a problem that the measurement time and measurement data increases as the area of the sample increases.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 원자재 투입 초기에 도전성 박막의 저항 균일성 측정하며 측정시 시료의 손상을 최소화하여 측정된 박막을 생산공정에 투입할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다. The present invention has been made to solve the above problems, the purpose of measuring the uniformity of resistance of the conductive thin film at the beginning of the raw material input and to minimize the damage of the sample during the measurement so that the measured thin film can be introduced into the production process do.

본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위해 새롭게 안출된 도전성 박막의 저항 균일성을 측정하기 위한 장치를 제공한다. 상기 저항 균일성 측정 장치는, 기판; 상기 기판의 전면에 형성되며 전압 측정용으로 사용하기 위한 다수의 전압 측정용 전극; 상기 기판의 전면에 형성되며 상기 전압 측정용 전극의 전원 공급용으로 사용하기 위한 둘 이상의 전원 공급용 전극; 상기 기판의 전면에 형성된 전극들과 상기 도전성 박막의 전극을 압력을 가하여 접촉시키는 가압롤러; 상기 전압 측정용 전극에 연결되어 전압을 측정하는 전압 측정 장치; 및 상기 전원 공급용 전극에 연결되어 전원을 공급하는 전원 공급 장치;를 포함한다. 상기 저항 균일성 측정장치는 상기 전압 측정용 전극의 전압을 측정함으로써 도전성 박막의 전기적 특성을 검사할 수 있다.The present invention provides an apparatus for measuring the resistance uniformity of a newly prepared conductive thin film to solve the above problems. The resistance uniformity measuring apparatus includes a substrate; A plurality of voltage measuring electrodes formed on the front surface of the substrate for use in measuring voltage; Two or more power supply electrodes formed on the front surface of the substrate and used for power supply of the voltage measurement electrode; A pressure roller for contacting the electrodes formed on the front surface of the substrate with the electrodes of the conductive thin film by applying pressure; A voltage measuring device connected to the voltage measuring electrode to measure a voltage; And a power supply device connected to the power supply electrode to supply power. The resistance uniformity measuring apparatus may inspect the electrical characteristics of the conductive thin film by measuring the voltage of the voltage measuring electrode.

상기 전압 측정용 및 전원 공급용 전극은 선모양인 것을 특징으로 한다.The voltage measuring and power supply electrode is characterized in that the line shape.

상기 전압 측정용 전극 및 전원 공급용 전극은 기판의 전면에 이격되어 평행하게 형성되는 것을 특징으로 한다.The voltage measuring electrode and the power supply electrode are characterized in that formed in parallel to the front surface of the substrate.

상기 가압롤러는 상기 전극의 형성 방향과 평행한 방향으로 이동하면서 상기 기판을 연속적으로 가압하는 것을 특징으로 한다.The pressing roller is characterized in that the pressing the substrate continuously while moving in a direction parallel to the forming direction of the electrode.

상기 가압롤러는 가압시 기판에 이격되어 형성된 상기 전압 측정용 전극 및 전원 공급용 전극 모두를 동시에 가압하는 것을 특징으로 한다.The pressure roller is characterized in that at the same time pressurizing both the voltage measuring electrode and the power supply electrode formed to be spaced apart from the substrate.

상기 전압 측정 장치는 입력된 전압값을 도표화하여 표시하는 출력장치를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The voltage measuring device may further include an output device for plotting and displaying an input voltage value.

상기 전원 공급용 전극의 단면적은 상기 전압 측정용 전극에 비해 넓은 것을 특징으로 한다.The cross-sectional area of the power supply electrode may be wider than the voltage measurement electrode.

또한 본원 발명은 상기 저항 균일성 측정 장치를 이용하여 도전성 박막의 저항 균일성을 측정하는 방법을 제공한다. 상기 방법은 다수의 전극이 형성된 기판을 제공하는 단계(S1); 기판에 형성된 전극과 측정 대상 도전성 박막의 전극이 마주보도록 상기 기판에 도전성 박막을 배치하는 단계(S2); 상기 기판에 형성된 전극과 도전성 박막의 전극이 접촉하도록 가압롤러로 가압하는 단계(S3); 상기 기판의 전면에 형성된 전극에 전원 공급 장치를 통해 전원을 공급하는 단계(S4); 상기 가압롤러가 압력을 유지하며 상기 전극의 한쪽 말단인 이송 시작점에서 상기 전극의 다른 말단인 이송 종료점까지 이송되는 단계(S5); 및 상기 기판에 형성된 각의 전극에 대한 전압이 측정되는 단계(S6);의 다수의 단계를 포함하며, 상기 기판에 형성된 전극을 통해 전원이 공급되며 상기 가압롤러의 가압으로 인해 상기 기판과 상기 도전성 박막이 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 한다.The present invention also provides a method for measuring the resistance uniformity of the conductive thin film using the resistance uniformity measuring device. The method includes providing a substrate on which a plurality of electrodes are formed (S1); Disposing a conductive thin film on the substrate such that an electrode formed on the substrate and an electrode of the conductive thin film to be measured face each other (S2); Pressurizing with a pressure roller such that the electrode formed on the substrate and the electrode of the conductive thin film are in contact with each other (S3); Supplying power to an electrode formed on a front surface of the substrate through a power supply device (S4); Maintaining the pressure and transferring the pressure roller from a transfer start point of one end of the electrode to a transfer end point of the other end (S5); And a step (S6) of measuring a voltage of each electrode formed on the substrate, wherein power is supplied through an electrode formed on the substrate, and the substrate and the conductive material are pressed by the pressing roller. It is characterized in that the thin film is electrically connected.

또한, 본 발명은 전압을 측정하는 단계(S6)는 롤러가 가압을 유지하며 이송됨에 따라 각 전극에서 전압이 연속적으로 측정되는 것을 특징으로 한다.In addition, the present invention is characterized in that the step of measuring the voltage (S6) is characterized in that the voltage is continuously measured at each electrode as the roller is conveyed while maintaining the pressure.

상기 (S1) 단계에서의 전극은 전압 측정용 전극 및 전원 공급용 전극으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.The electrode in the step (S1) is characterized in that consisting of the electrode for voltage measurement and the electrode for power supply.

상기 (S1) 단계에서의 전극은 선모양인 것으로 각 전극이 서로 평행하게 이격되어 형성되는 것을 특징으로 한다.Electrodes in the step (S1) is characterized in that each electrode is formed in a linear shape spaced parallel to each other.

본 발명은 기존 측정 장치의 탐침이 측정 대상 도전성 박막과 점접촉 하는데 비하여 전기 저항 측정 부위가 면접촉을 이루게 됨으로써 도전성 박막의 기계적 손상을 최소화하여 측정된 시료를 생산에 사용할 수 있게 한다. 또한 측정 시간이 짧고 데이터가 2차원 그래프로 출력되므로 생산과정의 지연을 최소화할 수 있다. 또한 본 발명의 장치는 1축 단방향 이송축 장치로 구성되며 정전압 공급기와 다채널의 전압 측정 장치를 사용한다. According to the present invention, the electrical resistance measurement site is in surface contact with the probe of the conventional measuring device in point contact with the conductive thin film to be measured, thereby minimizing mechanical damage of the conductive thin film, thereby making it possible to use the measured sample in production. In addition, the measurement time is short and the data is output as a two-dimensional graph, minimizing the delay in the production process. In addition, the apparatus of the present invention is composed of a single-axis unidirectional feed shaft device and uses a constant voltage supply and a multi-channel voltage measuring device.

도 1은 터치 패널 제작 공정에서 기존에 사용하고 있는 투명 도전성 박막인 ITO 박막의 전기 저항 균일성 평가 장비의 개념도이다.
도 2는 박막의 전극이 형성된 기판과 가압롤러를 이용한 저항 균일성 평가 장비의 구성을 설명하기 위한 개념도이다.
도 3은 도 2의 개념도를 입체적으로 나타낸 것이다. 점선은 기판의 전면(204a)에 형성된 전원 공급용 전극(203b)의 위치를 표시한 것이다. 전압 측정용 전극(203a)의 위치는 표시하지 않았다.
도 4는 측정을 위해 기판에 형성된 박막의 전극 구조에 대한 개념도이다.
도 5는 측정 기판에 전압 공급기의 연결과 전압 측정 장치의 연결도이다.
도 6은 측정된 출력 전압을 도표로 나타내어 시각적으로 균일성을 평가하는 예이다. 1 is a conceptual diagram of an electrical resistance uniformity evaluation equipment of an ITO thin film which is a transparent conductive thin film conventionally used in a touch panel manufacturing process.
2 is a conceptual view for explaining the configuration of the resistance uniformity evaluation equipment using a substrate and a pressure roller on which a thin film electrode is formed.
3 is a three-dimensional view of the conceptual diagram of FIG. The dotted line indicates the position of the power supply electrode 203b formed on the front surface 204a of the substrate. The position of the voltage measuring electrode 203a is not shown.
4 is a conceptual diagram of an electrode structure of a thin film formed on a substrate for measurement.
5 is a connection diagram of a voltage supply and a voltage measurement device to a measurement substrate.
6 is an example of visually evaluating uniformity by plotting the measured output voltage.

이하 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention.

명세서 전체에서 기판과 도전성 박막을 설명할 때 '전면'은 전극이 형성되어 있는 일측면을 의미하는 것이며, '배면'은 전극이 형성된 면의 이면을 의미하는 것이다. When describing the substrate and the conductive thin film throughout the specification 'front' means one side on which the electrode is formed, 'back' means the back of the surface on which the electrode is formed.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 저항 균일성 평가 장치를 도시한 도면이다. 도 2를 참조하면, 본 발명의 저항 균일성 평가 장치는, 기판(204), 상기 기판의 전면(204a)에 형성된 다수의 전압 측정용 전극(203a), 및 상기 기판(204)의 전면(204a)에 형성된 전원 공급용 전극(203b), 저항 측정 대상 도전성 박막(202)의 전면(202a)과 상기 기판의 전면(202a)이 전기적으로 연결되도록 상기 도전성 박막(202)의 배면에서 압력을 가하여 접촉시키는 가압롤러(201), 상기 전압 측정용 전극(203a)에 연결되어 전압을 측정하는 전압 측정 장치(205) 및 상기 전원 공급용 전극(203b)에 연결되어 전원을 공급하는 전원 공급 장치(206)를 포함한다.2 is a view showing a resistance uniformity evaluation apparatus according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 2, the resistance uniformity evaluation apparatus of the present invention includes a substrate 204, a plurality of voltage measuring electrodes 203a formed on the front surface 204a of the substrate, and a front surface 204a of the substrate 204. Is applied to the power supply electrode 203b and the back surface of the conductive thin film 202 so that the front surface 202a of the resistance measurement target conductive thin film 202 and the front surface 202a of the substrate are electrically connected to each other. A voltage measuring device 205 connected to the pressure roller 201, the voltage measuring electrode 203a to measure the voltage, and a power supply device 206 connected to the power supply electrode 203b to supply power. It includes.

상기 기판(204)은 측정 대상 도전성 박막(202)을 거치하기 위한 지지대 역할을 한다. 상기 기판(204)은 측정된 전압의 오차를 최소화하기 위해 요철이 없는 평탄한 것을 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 가압롤러(201)로 압력을 가했을 때 기판에 변형이 생기는 경우에는 측정된 저항값에 영향을 미칠 수 있으므로 가해지는 압력에 의해 기판의 변형이 발생하지 않도록 경도가 높은 것을 사용하는 것이 바람직하다. The substrate 204 serves as a support for mounting the conductive thin film 202 to be measured. The substrate 204 preferably uses a flat surface having no irregularities in order to minimize the error of the measured voltage. In addition, when deformation occurs in the substrate when the pressure is applied to the pressure roller 201, it may affect the measured resistance value, it is preferable to use a high hardness so that deformation of the substrate does not occur by the pressure applied. Do.

상기 기판(204)의 재료로는 가령 유리 또는 인쇄 회로 기판에 사용되는 플라스틱과 같은 고분자 물질을 사용할 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않고 상기한 바와 같이 요철이 없고 압력에 의한 변형이 적은 것이면 어느 것이나 기판의 재료로 사용가능하다. The material of the substrate 204 may be a polymer material such as glass or a plastic used for a printed circuit board. However, the present invention is not limited thereto, and any material can be used as the material of the substrate as long as there is no unevenness and little deformation due to pressure.

상기 기판(204)의 크기나 면적은 특별히 제한되지 않으며 측정 대상 도전성 박막의 크기에 따라 여러 가지 크기로 제작될 수 있다. 가령 관련 산업계에서 현재 터치패드용으로 제작되는 도전성 박막은 370mm×480mm와 500mm×500mm 두 규격으로 제작되고 있으므로 상기 기판(204)의 크기는 상기 규격의 도전성 박막의 규격에 맞추어 제작할 수 있다. The size or area of the substrate 204 is not particularly limited and may be manufactured in various sizes according to the size of the conductive thin film to be measured. For example, since a conductive thin film currently manufactured for a touch pad in the related industry is manufactured in two standards of 370 mm × 480 mm and 500 mm × 500 mm, the size of the substrate 204 may be manufactured according to the standard of the conductive thin film of the standard.

상기 기판(204)의 전면(204a)에는 다수의 전압 측정용 전극(203a) 및 두 개의 전원 공급용 전극(203b)이 형성된다. 본 발명에 따른 장치의 일실시형태에 따르면 상기 전극들(203a, 203b)은 선모양으로 서로 이격되어 평행하게 배열된다. 상기 전극들(203a, 203b) 각각은 물리적으로 분리되어 있으며 서로 직접 연결되어 있지 않다. 상기 전극들(203a, 203b)은 공지의 잉크젯 프린터기를 이용해서 형성하거나 공지의 금속 증착 및 식각 방법에 의해 형성될 수 있다.A plurality of voltage measuring electrodes 203a and two power supply electrodes 203b are formed on the front surface 204a of the substrate 204. According to one embodiment of the device according to the invention the electrodes 203a and 203b are arranged in parallel, spaced apart from each other in a line shape. Each of the electrodes 203a and 203b is physically separated and not directly connected to each other. The electrodes 203a and 203b may be formed using a known inkjet printer or by a known metal deposition and etching method.

기판과 상기 기판에 형성되는 전극들의 단차가 크면 롤러로 가압했을 때 상기 단차에 의해 박막이 손상될 수 있으므로 기판과 전극의 단차는 적은 것이 바람직하다. 따라서, 상기 전원 공급용 전극 및 전압 측정용 전극은 약 0.1 ㎛ 내지 0.5 ㎛의 높이로 형성하는 것이 바람직하다. 상기 전압 측정용 전극들의 폭은 0.1mm 내지 1mm의 범위 내인 것이 바람직하다. 상기 전원 공급용 전극(203b)은 전극의 단면적을 넓혀 낮은 전기 저항을 유지하며 측정용 도전성 박막의 전극과 접촉시에 신뢰성을 높게 유지하는 것이 바람직하다. 이를 위해 상기 전원 공급용 전극(203b)은 상기 전압 측정용 전극(203a)에 비해 약 20 내지 50% 범위 내에서 폭을 더 넓게 형성할 수 있다. When the step between the substrate and the electrodes formed on the substrate is large, the thin film may be damaged by the step when the roller is pressed, so the step between the substrate and the electrode is preferably small. Therefore, the electrode for power supply and the electrode for voltage measurement are preferably formed at a height of about 0.1 μm to 0.5 μm. The width of the voltage measuring electrodes is preferably in the range of 0.1mm to 1mm. Preferably, the power supply electrode 203b maintains low electrical resistance by increasing the cross-sectional area of the electrode and maintains high reliability upon contact with the electrode of the conductive thin film for measurement. To this end, the power supply electrode 203b may have a wider width in the range of about 20 to 50% than the voltage measurement electrode 203a.

각 전극 사이의 간격은 1 센티미터 이하로 하여 측정 데이터의 신뢰성을 높이는 것이 바람직하다. 본 발명의 일 실시형태에 따르면, 각 전극 사이의 간격은 약 0.2 센티미터 내지 1 센티미터로 형성한다.It is preferable that the space | interval between each electrode shall be 1 centimeter or less, and improve the reliability of a measurement data. According to one embodiment of the invention, the spacing between each electrode is formed from about 0.2 centimeters to 1 centimeter.

도 4 및 도 5는 본 발명에 따른 장치에서 전극의 형성 패턴의 일실시형태를 도시한 것이다. 상기 전원 공급 용 전극(203b)은 후술하는 전원 공급 장치(206)가 연결되는 것으로서 기판의 전면(204a)에 두 개를 형성하여 각각 양극 및 음극의 역할을 수행하도록 한다. 이때 상기 양극 및 음극은 각각 기판(204)의 최외곽부에 서로 이격되어 위치한다. 후술하겠지만, 상기 가압롤러(201)로 가압시 양극 및 음극을 동시에 가압하여야 기판의 양극, 음극과 측정 대상 도전성 박막의 전극들로 이루어진 전체 회로가 전기적으로 연결되어 전류가 흐르게 된다. 상기 전압 측정용 전극(203a)는 상기 전원 공급용 전극(203b)의 음극과 양극 사이에 형성되며, 후술하는 전압 측정 장치(205)가 연결된다. 4 and 5 illustrate one embodiment of the formation pattern of the electrodes in the device according to the invention. The power supply electrode 203b is connected to a power supply device 206 which will be described later, and forms two on the front surface 204a of the substrate to serve as a positive electrode and a negative electrode, respectively. In this case, the anode and the cathode are respectively spaced apart from each other at the outermost portion of the substrate 204. As will be described later, when pressing the anode and cathode at the same time when the pressure roller 201 is pressed, the entire circuit including the anode, the cathode of the substrate and the electrodes of the conductive thin film to be measured is electrically connected to the current. The voltage measuring electrode 203a is formed between the cathode and the anode of the power supply electrode 203b, and a voltage measuring device 205 to be described later is connected.

가압롤러(201)는 기판 상부에 배치시킨 측정 대상 도전성 박막(202)의 배면에 압력을 가하여 기판 전면(204a)에 형성된 전극(203a, 203b)과 도전성 박막의 전면(202a)에 형성된 전극이 전기적으로 연결되도록 하는 역할을 한다. 따라서, 롤러의 길이(X)는 양극과 음극을 동시에 가압할 수 있도록 양극과 음극 사이의 거리(Y)을 고려하여 정한다. The pressure roller 201 applies pressure to the back surface of the conductive thin film 202 to be measured on the substrate, so that the electrodes 203a and 203b formed on the substrate front surface 204a and the electrode formed on the front surface 202a of the conductive thin film are electrically It is connected to the Therefore, the length X of the roller is determined in consideration of the distance Y between the positive electrode and the negative electrode so as to pressurize the positive electrode and the negative electrode at the same time.

도 2 및 도 3은 측정 대상 도전성 박막을 거치시킨 기판 상부에 가압롤러(201)를 배치한 상태를 도시한 것이다. 상기 가압롤러(201)는 상기 도전성 박막(202)의 배면과 접촉하도록 위치한다. 상기 가압롤러(201)는 상기 전극들(203a, 203b)이 배열된 방향에 대해 수직인 방향으로 배치되며 상기 전극들(203a, 203b)이 배열된 방향을 따라 상기 전극(203a, 203b)의 한쪽 말단(이하 이송 시작점(208a))에서 다른 쪽 말단(이하 이송 종료점(208b))까지 하부에 배치된 도전성 박막(202)에 소정의 압력을 가하며 연속적으로 이송된다. 본 발명에 따른 장치의 일 실시형태에 따르면 상기 가압롤러(201)의 이송은 1축 단방향 이송축 장치를 이용하여 수행될 수 있다.2 and 3 illustrate a state in which the pressure roller 201 is disposed on the substrate on which the conductive thin film to be measured is placed. The pressure roller 201 is positioned to contact the rear surface of the conductive thin film 202. The pressure roller 201 is disposed in a direction perpendicular to the direction in which the electrodes 203a and 203b are arranged, and one side of the electrodes 203a and 203b along the direction in which the electrodes 203a and 203b are arranged. The conductive thin film 202 disposed at the lower end from the end (hereinafter referred to as the transfer start point 208a) to the other end (hereinafter referred to as the transfer end point 208b) is continuously transferred with a predetermined pressure. According to one embodiment of the apparatus according to the invention the conveying of the pressure roller 201 can be carried out using a one-axis unidirectional feed shaft device.

상기 가압롤러(201)가 도전성 박막(202)의 배면부를 통해 압력을 가하며 이송되면서 상기 도전성 박막(202)과 상기 기판(204) 사이에 회로가 연결되어 상기 전원 공급용 전극(203b)으로부터 공급되는 전류가 상기 기판(204) 및 상기 박막(202)에 흐르게 된다. The pressure roller 201 is supplied from the power supply electrode 203b by a circuit connected between the conductive thin film 202 and the substrate 204 while being transferred while applying pressure through the back portion of the conductive thin film 202. Current flows through the substrate 204 and the thin film 202.

상기 가압롤러(201)는 가압시 측정 대상 도전성 박막(202)에 손상을 주지 않게 하기 위해 표면이 매끄럽고 부드러운 것을 사용하는 것이 바람직하다. 본 발명의 일 실시형태에 따르면 상기 가압롤러(201)는 공지의 가압롤러를 사용할 수 있는데, 가령 롤러의 축은 금속으로, 몸체는 우레탄과 같은 탄성부재로 이루어진 것이다. The pressing roller 201 is preferably a smooth and smooth surface in order not to damage the conductive thin film 202 to be measured at the time of pressing. According to an embodiment of the present invention, the pressure roller 201 may use a known pressure roller. For example, the shaft of the roller is made of metal, and the body is made of an elastic member such as urethane.

상기 기판(204)과 상기 도전성 박막(202)이 접촉하여 전류가 흐르려면 기판(204)의 최외곽에 위치한 두 전원 공급용 전극(203a)인 음극과 양극이 전기적으로 연결되어야 한다. 즉, 전원 공급용 전극(203b)의 음극과 양극이 도전성 박막(202)의 전극과 동시에 접촉하여야 한다. 따라서, 상기 가압롤러(201)가 한꺼번에 기판 양측의 전원 공급용 전극(203b), 즉 음극과 양극을 동시에 모두 가압하여 회로가 연결되도록 하기 위해, 상기 가압롤러(201)의 길이(x)는 적어도 상기 두 전원 공급용 전극(203b)의 음극과 양극 간의 거리(y)보다 길게 형성한다.In order for current to flow by contacting the substrate 204 and the conductive thin film 202, a cathode and an anode, which are two power supply electrodes 203a located at the outermost sides of the substrate 204, must be electrically connected. That is, the cathode and the anode of the power supply electrode 203b should be in contact with the electrode of the conductive thin film 202 at the same time. Therefore, in order for the pressure roller 201 to simultaneously press both the power supply electrodes 203b, that is, the cathode and the anode, on both sides of the substrate so that the circuit is connected, the length x of the pressure roller 201 is at least It is formed longer than the distance (y) between the cathode and the anode of the two power supply electrodes (203b).

상기 전압 측정 장치(205)는 상기 전압 측정용 전극(203a)에 연결되어 각 전극에 인가되는 전압을 측정하는 역할을 한다. 상기 전압 측정 장치로는 공지의 다채널 전압 측정 장치를 사용할 수 있다. 상기 전압 측정 장치(205)는 상기 가압롤러가 이송하면서 각 전극(203a)의 위치별로 측정된 전압 데이터를 입력받아 연산한 후 도표화하여 출력하는 연산/표시장치(미도시)를 더 포함할 수 있다. The voltage measuring device 205 is connected to the voltage measuring electrode 203a and serves to measure a voltage applied to each electrode. As the voltage measuring device, a known multichannel voltage measuring device may be used. The voltage measuring device 205 may further include a calculation / display device (not shown) that receives the voltage data measured for each position of each electrode 203a while the pressure roller is transferred, calculates the data, and then outputs the chart data. .

도 6은 상기 연산/표시장치에서 출력된 그래프의 일 예를 도시한 것이다. 상기 그래프의 가로축은 가압롤러(201)의 이송거리를 나타내며 세로축은 각 전압 측정용 전극(203a)에서 측정된 전압을 나타낸다. 전극의 각 위치에서 측정된 저항값이 균일한 경우 저항값은 일정하다. 저항값이 일정하지 않은 경우에는 도 6의 그래프의 우측 상부에 표시된 원 부분(503)과 같이 표시된다. 6 illustrates an example of a graph output from the operation / display device. The horizontal axis of the graph represents the conveying distance of the pressure roller 201, and the vertical axis represents the voltage measured at each voltage measuring electrode 203a. The resistance value is constant when the resistance value measured at each position of the electrode is uniform. When the resistance value is not constant, it is displayed as the circle portion 503 displayed on the upper right side of the graph of FIG.

상기 전원 공급 장치(206)는 상기 전원 공급용 전극(205)에 연결되어 상기 장치에 전원을 공급하는 역할을 한다. 상기 전원 공급장치는 공지의 전원 공급장치를 이용할 수 있으며, 예를 들어 정전압 공급기를 사용할 수 있다.The power supply 206 is connected to the power supply electrode 205 and serves to supply power to the device. The power supply may use a known power supply, for example, a constant voltage supply.

이하 도 7을 참조하여 상기 장치를 이용해서 저항 균일성을 측정하는 방법을 설명한다.Hereinafter, a method of measuring resistance uniformity using the apparatus will be described with reference to FIG. 7.

전원 공급 장치에 연결된 전원 공급용 전극(203b) 및 전압 측정 장치에 연결된 전압 측정용 전극(203a)이 형성된 기판(204)을 제공한다(S1). A substrate 204 having a power supply electrode 203b connected to a power supply device and a voltage measurement electrode 203a connected to a voltage measuring device is provided (S1).

다음으로 상기 기판(204)의 전면과 측정 대상 도전성 박막(202)의 전면이 마주보도록 도전성 박막(202)을 상기 기판(204)상에 배치한다(S2). Next, the conductive thin film 202 is disposed on the substrate 204 such that the entire surface of the substrate 204 and the conductive thin film 202 to be measured face each other (S2).

다음으로 상기 도전성 박막(202)의 배면에 가압롤러(201)를 배치시키고 가압롤러(201)가 상기 도전성 박막(202)에 압력을 가한다(S3) 이렇게 함으로써 상기 도전성 박막(202)의 전극과 상기 기판(204)의 전극(203a, 203b)이 접촉하여 전기적으로 연결되게 한다. Next, the pressure roller 201 is disposed on the rear surface of the conductive thin film 202, and the pressure roller 201 applies pressure to the conductive thin film 202 (S3). Electrodes 203a and 203b of the substrate 204 are in contact and electrically connected.

그 다음, 상기 전원 공급용 전극(203b)에 연결된 전원 공급 장치(206)를 통해 전원을 공급하여 회로에 전류가 흐르도록 한다(S4). 이때, 기판 최외곽에 위치한 두 전원 공급용 전극(203b)인 음극 및 양극은 상기 롤러(201)가 가하는 압력에 의해 동시에 측정 대상 도전성 박막(202)에 형성된 전극과 연결되어야 한다. Then, power is supplied through the power supply device 206 connected to the power supply electrode 203b so that a current flows in the circuit (S4). At this time, the cathode and the anode, which are the two power supply electrodes 203b located on the outermost side of the substrate, should be connected to the electrodes formed on the conductive thin film 202 to be measured at the same time by the pressure applied by the roller 201.

다음으로 상기 가압롤러(201)를 압력을 유지하며 이송 시작점(208a)에서 이종 종료점(208b)까지 전극(203)이 배열된 방향과 평행하게 이동시킨다(S5). 가압롤러(201)의 이송에 따라 가압롤러가 가압하는 부분의 전압이 연속적으로 측정된다(S5). 가압롤러(201)는 이송에 의해 측정 대상 도전성 박막(202)의 전체 면적과 접촉하게 되므로 측정 대상 도전성 박막의 전체 면적에 대해 전기 저항의 균일성을 측정할 수 있다(S6). 이때, 각 전압 측정용 전극들(203a) 사이에 위치한 도전성 박막의 부분적인 저항값에 따라 상기 각 전극 사이에 전압차가 발생하게 된다. 각 부분의 저항값이 일정하다면 전압도 일정하게 유지된다. Next, the pressure roller 201 is moved in parallel with the direction in which the electrode 203 is arranged from the transfer start point 208a to the heterogeneous end point 208b while maintaining the pressure (S5). According to the transfer of the pressure roller 201, the voltage of the portion pressurized by the pressure roller is continuously measured (S5). Since the pressure roller 201 is brought into contact with the entire area of the conductive thin film 202 to be measured by the transfer, it is possible to measure the uniformity of the electrical resistance with respect to the entire area of the conductive thin film to be measured (S6). In this case, a voltage difference is generated between the electrodes according to a partial resistance value of the conductive thin film positioned between the voltage measuring electrodes 203a. If the resistance of each part is constant, the voltage is kept constant.

본 발명의 기술사항은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한 본 발명의 기술 분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 변형예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.Although the technical matters of the present invention have been described in detail according to the above-described preferred embodiments, it should be noted that the above-described embodiments are for the purpose of description and not of limitation. In addition, those skilled in the art will understand that various modifications are possible within the scope of the technical idea of the present invention.

101 수평방향 축이동 이송장치 102 투명전극코팅박막
103 4 탐침방식 저항 측정기 104 평탄기판
105 수직방향 축이동 이송장치 201 가압롤러
202 측정 대상 전도성 박막 203 전압 측정용 및 전원 공급용 전극
203a 전압 측정용 전극 203b 전원 공급용 전극
204 기판 205 전압 측정 장치
206 전원 공급 장치 207 롤러 이송 방향
208a 이송 시작점 208b 이송 종료점
x 롤러의 길이 y 전원 공급용 전원 사이의 간격101 Horizontal axis transfer device 102 Transparent electrode coating thin film
103 4 Probe Resistance Meter 104 Flat Board
105 Vertical axis feed conveyor 201 Pressing roller
202 Conductive thin film to be measured 203 Electrodes for voltage measurement and power supply
203a electrode for voltage measurement 203b electrode for power supply
204 Substrate 205 Voltage Measuring Device
206 Power Supply 207 Roller Feed Direction
208a feed start point 208b feed end point
x Length of roller y Spacing between power supplies

Claims

In the apparatus for measuring the resistance uniformity of the conductive thin film,
Board;
A plurality of voltage measuring electrodes formed on the front surface of the substrate for use in measuring voltage;
Two or more power supply electrodes formed on the front surface of the substrate and used for power supply of the voltage measurement electrode;
A pressure roller for contacting the electrodes formed on the front surface of the substrate with the electrodes of the conductive thin film by applying pressure;
A voltage measuring device connected to the voltage measuring electrode to measure a voltage; And
A power supply device connected to the power supply electrode to supply power;
Including,
Resistance uniformity measuring device for measuring the electrical characteristics of the conductive thin film by measuring the voltage of the voltage measuring electrode.

The method of claim 1,
The voltage measuring and power supply electrode is characterized in that the wire shape, resistance uniformity measuring apparatus.

The method of claim 2,
The voltage measuring electrode and the power supply electrode is characterized in that the resistance uniformity measuring device, characterized in that formed in parallel to the front surface of the substrate.

4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The pressure roller is a resistance uniformity measuring apparatus, characterized in that for continuously pressing the substrate while moving in a direction parallel to the forming direction of the electrode.

The method of claim 4, wherein
The pressure roller is characterized in that for pressing both the voltage measuring electrode and the power supply electrode formed at a time apart from the substrate at the time of pressing, resistance uniformity measuring apparatus.

4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The voltage measuring device further comprises an output device for plotting and displaying an input voltage value.

4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The cross-sectional area of the power supply electrode is characterized in that a wider than the voltage measuring electrode, resistance uniformity measuring apparatus.

(S1) providing a substrate on which a plurality of electrodes are formed;
(S2) disposing a conductive thin film on the substrate such that the electrode formed on the substrate and the electrode of the conductive thin film to be measured face each other;
(S3) pressing with a pressure roller so that the electrodes formed on the substrate and the electrodes of the conductive thin film are in contact with each other;
(S4) supplying power to an electrode formed on a front surface of the substrate through a power supply device;
(S5) the pressure roller to maintain the pressure and is transferred from the transfer start point of one end of the electrode to the transfer end point of the other end of the electrode; And
(S6) measuring the voltage of each electrode formed on the substrate;
Including;
Power is supplied through the electrode formed on the substrate and the resistance uniformity measuring method of the conductive thin film is electrically connected to the substrate and the conductive thin film due to the pressing of the pressure roller.

The method of claim 8,
Measuring the voltage of (S6) is characterized in that the voltage is continuously measured at each electrode as the roller is conveyed while maintaining the pressure, resistance uniformity measuring method.

The method according to claim 8 or 9,
The electrode in the step (S1) is made of a voltage measuring electrode and a power supply electrode, resistance uniformity measuring method.

The method according to claim 8 or 9,
The electrode in the step (S1) is a linear shape, each electrode is formed to be spaced apart in parallel to each other, resistance uniformity measuring method.