KR101118394B1

KR101118394B1 - 판재의 세정설비

Info

Publication number: KR101118394B1
Application number: KR1020067017447A
Authority: KR
Inventors: 요시아키 아오키; 케이지 츠지타; 모리마사 쿠게; 타카아키 요코야마; 타카시 사쿠라이; 히데키 이나바; 히로유키 카메이
Original assignee: 코닝 제팬 가부시끼 가이샤; 카와사키 주코교 카부시키 카이샤
Priority date: 2004-02-18
Filing date: 2004-02-18
Publication date: 2012-03-09
Anticipated expiration: 2024-02-18
Also published as: WO2005077553A1; KR20060134974A; EP1719561A4; EP1719561A1; CN1913982A; CN1913982B

Abstract

대형화, 박형화한 판유리 등의 판재에 대하여 그 품질의 더욱 향상을 도모하고, 신속히 효과적인 세정처리를 하는 판재의 세정장치로서, 세로 상태의 판유리의 하단을 지지하는 벨트콘베이어(2)와 판유리(G)의 측면에 유체압을 작용시킴으로써 판유리를 선 상태로 지지하는 유체 가이드(8)와, 유체 가이드(8)에서 세정액을 판유리의 표면에 공급하는 세제 세정장치(3)와, 판유리의 양면측에서 고압 액 스프레이를 분사하는 고압 액 스프레이부재(19)를 상하 이동 가능하게 구비한 고압 액 스프레이 세정장치(4)와, 판유리의 양면측에서 상하 방향으로 연장하는 막상 기류인 에어나이프를 뿌리는 탈수부재(30)를 구비한 탈수장치(6)를 구비하고 있다.

판유리, 세정, 고압 액 스프레이 세정장치, 유체 가이드, 세제 세정장치, 탈수부재, 벨트콘베이어, 에어나이프

Description

판재의 세정설비{WASHING APPARATUS FOR PLATE MATERIAL}

본 발명은 판재(板材)의 세정설비에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 레어메탈(rare metal), 실리콘, 평면형 디스플레이용 유리 등 판재의 표면을 세제(洗劑)에 의해 세정하고, 판재의 표면을 고압 액 스프레이에 의해 세정하고, 또한 세정 후의 판재의 표면으로부터 수분을 제거하기 위한 판재의 세정설비에 관한 것이다.

종래에는 여러 분야에서 판유리가 사용되고 있다. 특히 액정 디스플레이와 플라즈마 디스플레이 등에 사용되고 있는 판유리(유리 기판이라고도 한다)는 매우 얇은 것이다. 예를 들면 두께가 0.7㎜ 정도이며 크기가 550㎜ X 650㎜ 정도의 것이 많이 생산되고 있다. 이와 같은 유리 기판의 트리밍(trimming)과 분단(分斷) 등의 가공은, 일반적으로 판유리를 수평 상태(횡방향 상태)로 하여 벨트 콘베이어(belt conveyor) 등에 의해 반송하고, 각 장치에 있어서 수평 상태에서 처리한다. 가공 후의 판유리의 세정에 대해서도 수평 상태에서 처리된다. (예를 들면 특개평11-44877호 공보 및 특허제2699911호 공보 참조). 또한 이러한 수평 상태에서 세정하는 장치 중에서도 한층 더 세정효과 향상을 목표한 초음파 세정장치를 구비한 세정 설비도 제안되어 있다(예를 들면 특개평9-19667호 공보 참조).

또한 판유리를 롤러(roller) 열에 기대어 세워 놓은 자세로 반송하고, 이 기대어 세워놓은 상태에서 판유리의 각 단변(端邊)을 연마하는 장치가 제안되어 있다(예를 들면 특허 제2623476호 공보 참조).

한편 최근에는 유리 기판 등의 분야에 있어서, 생산성을 향상시키기 위하여 수율을 좋게 할 목적으로, 또한 더욱 대형의 디스플레이 등에 대응함을 목적으로 복수의 유리 기판의 원판이 되는 모재 유리(mother glass)의 사이즈를 대형화하고 싶다고 하는 요구가 나오고 있다. 모재 유리의 사이즈를 크게 하면 1장의 모재 유리에서 얻을 수 있는 유리 기판의 장수가 많아지고, 수율이 향상한다. 더욱이 대형 디스플레이용 유리 기판을 제조하는 것도 가능해진다. 아울러 유리 기판을 더욱 얇게 함으로써 디스플레이 등의 성능을 향상시키고자 하는 요구도 있고, 모재 유리가 더욱 박형화하는 경향이 있다. 게다가, 유리 기판의 품질에 대한 요구는 해를 거듭할 때마다 까다로워지고, 또한 저비용화의 요구도 있다.

그러나 상술한 바와 같은 수평 상태로 판유리를 반송하여 세정하는 기술 및 어떠한 구조부재에 기대어 세워놓은 상태로 반송하는 기술에서는 대형화, 박형화한 판유리를 가공할 경우, 그 자체 무게에 기인하는 휨 등에 의한 깨어짐, 판유리의 면을 지지하는 구조부재로부터의 반력(反力)에 의한 깨어짐 등이 발생할 우려가 있다. 물론 판유리를 세정할 경우에도 동일한 문제가 발생한다. 또한 판유리가 구조물에 접촉한 상태에서는 그 부분의 세정이 곤란하다. 더욱이 초음파 세정에 의해 얻어지는 청정도 이상의 것이 요구되도록 되고 있다.

본 발명은 이러한 문제를 해결하기 위하여 이루어진 것으로, 대형화, 박형화한 판유리를 포함하는 판재에 대하여, 깨어짐 등의 손상을 방지하고, 판재의 품질의 한층 더 향상을 가능하게 한 세정처리를 할 수 있는 판재의 세정설비를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

본 발명에 의한 판재의 세제 세정장치는,

세워진 상태의 판재 하단을 지지하는 지지장치와,

상기 판재 측면에 유체압(流體壓)을 작용시킴으로써 이 판재를 선 상태로 비접촉으로 지지하는 유체 가이드와,

세워진 상태의 판재에 세정액을 공급하기 위한 세정액 공급부를 구비하고 있고,

이 세정액 공급부는 상기 유체 가이드의 적어도 일부를 포함하고 있고,

이 적어도 일부의 유체 가이드는 세정액의 흐름을 판재의 측면에 공급하도록 구성되어 있다.

이러한 구성에 의해, 판재의 자체 무게의 영향과 구조물로부터의 큰 반력을 받음 없이 판재의 양면과 주연(周緣)을 세제에 의해 빠짐없이 세정할 수 있다. 따라서 먼지에 한정하지 않고 유지분(油脂分)까지 제거할 수 있다.

상기 세정액 공급부를 구성하는 유체 가이드는 수평 방향으로 연장하는 상하 복수단의 제1 유체 분출부를 가지고 있고, 이 제1 유체 분출부에 복수개의 세정액 분사 노즐이 배열되어 이루어지는 세제 세정장치가 바람직하다. 중력에 의해 판재의 전면(全面)에 세제를 공급하는 것이 가능해지기 때문이다. 이러한 작용을 간단하고 쉬운 구성에 의해 이루어낼 수 있다.

상기 세정액 공급부를 구성하는 유체 가이드는 수평 방향으로 서로 간격을 두고 배치된 상하 방향으로 연장하는 제2 유체 분출부를 더 갖고 있고, 이 제2 유체 분출부에 복수개의 세정액 분사 노즐이 배열되어 이루어는 세제 세정장치가 바람직하다. 판재가 반송되는 것과 같은 장치의 경우, 반송속도가 상승하여도 판재의 면(面)에 분명하게 세정액을 공급할 수 있기 때문이다.

또한 상기 지지장치는 판재를 세워진 상태로 수평 방향으로 반송하는 반송부를 갖고 있고, 상기 유체 가이드는 반송부의 반송 경로를 따라 배치되어 이루어지는 세제 세정장치가 바람직하다. 이 반송부 및 유체 가이드에 의해 판재를 세운 상태로 세제 세정장치에 반입하고, 또한 반출할 수 있기 때문이다.

더욱이 상기 세정액 공급부에서의 판재의 반송 방향으로 바라본 상류단측과 하류단측에, 세워진 상태의 판재의 상하 방향을 따라 에어커텐부가 배치되어 있고, 상기 에어커텐부는 상하 방향으로 배열된 복수개의 에어 분사 노즐을 갖고 이루어지는 세제 세정장치가 바람직하다. 상기 에어커텐부에 의해 상류 및 하류 공정으로의 수분 이동을 방지하고, 또한 상류 및 하류 공정으로부터의 수분 진입을 방지할 수 있기 때문이다. 이렇게 함으로써 예를 들면 세정액의 농도 변화를 강력하게 억제할 수도 있다.

본 발명의 고압 액 스프레이 세정장치는, 세워진 상태의 판재의 하단을 지지하는 지지장치와,

상기 판재 측면에 유체압을 작용시킴으로써 이 판재를 선 상태로 비접촉으로 지지하는 유체 가이드와,

세워진 상태의 판재에, 그 양면측(兩面側)에서부터 각각 고압 액 스프레이를 뿌리기 위한 고압 액 스프레이부를 구비하고 있다.

이러한 구성에 의해, 판재의 자체 무게의 영향과 구조물로부터의 큰 반력을 받음 없이 판재의 양면을 고압 액 스프레이에 의해 세정할 수 있다. 따라서, 대형화, 박형화한 판재의 깨어짐 등 손상을 발생시킴 없이 고품질로 세정할 수 있다. 또한 유체 가이드로부터의 유체에 의해서도 판재의 면으로부터 박리되어 수중(水中)에 부유하는 먼지 등을 제거하는 것도 가능해진다.

상기 지지장치는 판재를 세워진 상태로 수평 방향으로 반송하는 반송부를 갖고 있고, 상기 유체 가이드가 반송부의 반송 경로를 따라 배치되어 이루어지는 고압 액 스프레이 세정장치가 바람직하다. 이 반송부 및 유체 가이드에 의해 판재를 세운 상태로 고압 액 스프레이 세정장치에 반입하고 또한 반출할 수 있기 때문이다.

더욱이 상기 고압 액 스프레이부는 상하 방향으로 이동 가능하게 된 고압 액 스프레이 노즐을 갖고 있고, 판재의 양면측에 배치된 고압 액 스프레이 노즐끼리가 판재 지지위치를 사이에 두고 대향하여 이루어지는 고압 액 스프레이 세정장치가 바람직하다. 상기 반송부에 의해 판재가 선 채 반송되면서 양면으로부터 고압 액 스프레이가 뿌려지므로 고압 액 스프레이 노즐을 상하 방향으로 이동시키는 것만으로 판재의 전면(全面)에 걸쳐 세정할 수 있기 때문이다. 또한 양측의 고압 액 스프레이 노즐끼리를 대향시킴으로써 고압 액에 의한 판재의 손상을 방지할 수 있다.

또는 상기 고압 액 스프레이부는 상하 방향으로 배열된 복수개의 고압 액 스프레이 노즐을 갖고 있고, 판재의 양면측에 배치된 고압 액 스프레이 노즐끼리가 판재 지지위치를 사이에 두고 대향하여 이루어지는 고압 액 스프레이 세정장치가 바람직하다. 상기 반송부에 의해 판재가 선 채 반송되면서 양면으로부터 고압 액 스프레이가 뿌려지므로 복수개의 고압 액 스프레이 노즐을 상하 방향으로 배열되어 있는 것만으로 판재의 전면(全面)에 걸쳐 세정할 수 있기 때문이다.

상기 고압 액 스프레이 노즐은 세정 대상인 판재의 면에 실질적으로 수직 방향의 회전축심 주위로 회전하도록 구성되어 이루어지는 고압 액 스프레이 세정장치가 바람직하다. 더욱 넓은 범위의 판재의 면을 세정할 수 있기 때문이다.

또한 고압 액 스프레이 노즐과 일체로 상하 방향으로 이동 가능하게 된 이동식 유체 가이드는 해당 고압 액 스프레이 노즐에 인접하여 배치되어 이루어지는 고압 액 스프레이 세정장치가 바람직하다. 비교적 높은 압력으로 판재에 수류(水流)가 뿌려지지만, 인접한 이동식 유체 가이드의 작용에 의해 고압 액 스프레이에 기인하는 판재의 진동 등을 감쇠시킬 수 있기 때문이다.

또는 본 발명의 판재의 반송 방향으로 바라본 상류단측에, 세워진 상태의 판재의 상하 방향을 따라 수세부(水洗部)가 배치되어 있고, 이 수세부는 상하 방향으로 배열된 복수개의 물 분사(水噴射) 노즐을 갖고 이루어지는 고압 액 스프레이 세정장치가 바람직하다. 수세부에 의해 상류공정의 부착물 예를 들어 세정액 등을 씻어낼 수 있기 때문이다.

본 발명의 판재의 탈수장치는, 세워진 상태의 판재 하단을 지지하여 수평 방향으로 반송하는 반송장치와,

상기 판재의 측면에 유체압을 작용시킴으로써 이 판재를 선 상태로 비접촉으로 지지하는 유체 가이드와,

세워진 상태의 판재에, 그 양면측으로부터 각각 판재의 윗쪽에서 아래쪽으로 대응하도록 연장 설치된, 막상(膜狀) 기류를 판재를 향하여 분사하는 탈수부를 구비하고 있다.

이러한 구성에 의해 이 반송부 및 유체 가이드에 의해 판재가 세웠던 상태 그대로 반송되면서 막상 기류가 그 외면에 뿌려지므로, 이로써 수분이 불려 날아가고, 판재의 자체 무제의 영향과 구조물로부터의 큰 반력을 받음 없이 판재의 양면과 주연으로부터 효과적으로 수분을 제거할 수 있다. 이를테면 건조 상태로 만들 수가 있다.

상기 양 탈수부의 상류측에, 세워진 상태의 판재의 양면측 각각에 상하 방향을 따라 수세부가 배치되어 있고, 이 수세부는 상하 방향으로 배열된 복수개의 물 분사(水噴射) 노즐을 갖고 이루어지는 탈수장치가 바람직하다. 먼지 등의 재부착이 방지되기 때문이다.

또는 상기 수세부는 판재의 반송 방향으로 바라본 상류방향으로 경사져 배치되어 이루어지는 탈수장치가 바람직하다. 반송 방향으로 이동하는 판재 표면에 빠짐없이 새로운 물을 공급할 수 있기 때문이다.

또는 상기 탈수부는 판재의 반송 방향으로 바라본 상류 방향으로 경사져 배치되어 이루어지는 탈수장치가 바람직하다. 판재 표면의 수분을 아래쪽 또는 상류 방향을 향하여 불어 날려버릴 수 있기 때문이다.

본 발명의 판재의 세정설비는, 세워진 상태의 판재 하단을 지지하여 반송하는 반송장치와,

상기 반송장치의 반송 경로에 배치된, 상술한 세제 세정장치 중 어느 하나인 세제 세정장치와,

상기 반송 경로에서의 상기 세제 세정장치의 하류측에 배치된, 상술한 고압 액 스프레이 세정장치 중 어느 하나인 고압 액 스프레이 세정장치와,

상기 반송 경로에서의 이 고압 액 스프레이 세정장치의 하류측에 배치된, 상술한 탈수장치 중 어느 하나인 탈수장치를 구비하고 있다.

이러한 구성에 의해 판재는 그 자체 무게 영향과 구조물로부터의 큰 반력을 받음 없이 효율 좋게 세정되고, 탈수가 이루어진다.

그리고 상기 고압 액 스프레이 세정장치와 탈수장치 사이에 마무리 세정장치가 배치되어 있고 이 마무리 세정장치는 상기 반송장치의 양측에 상기 유체 가이드를 갖고 이루어지는 세정장치가 바람직하다. 고압 액 스프레이 세정장치에 있어서 판재로부터 유리되어 수중(水中)에 부유하는 먼지 등이 상기 유체 가이드로부터의 유체에 의해 씻어지기 때문이다.

이하, 첨부 도면을 참조하면서 본 발명의 판재의 세정설비 및 이 세정설비에 적합하게 사용되는 세제 세정장치, 고압 액 스프레이 세정장치 및 탈수장치의 실시 형태를 설명한다.

도 1은 본 발명의 세정설비의 일 실시예를 나타낸 정면도이다.

도 2는 도 1의 세정설비의 평면도이다.

도 3a는 도 1의 세정설비에서의 세제 세정장치의 일 실시형태를 나타낸 평면도이고,

도 3b는 도 3a의 정면도이며, 이해 용이를 위해 앞쪽의 유체 가이드를 제거한 상태를 나타내고 있다.

도 4는 도 3a의 Ⅳ-Ⅳ선 단면도이다.

도 5는 도 3의 세제 세정장치의 측면도이며, 도 3b의 Ⅴ-Ⅴ선 시시도(矢視圖도)이다.

도 6은 도 1의 세정설비에서의 고압 액 스프레이 세정장치의 일 실시형태를 나타낸 일부 절결 정면도이다.

도 7은 도 6의 고압 액 스프레이 세정장치의 평면도이다.

도 8a는 도 6의 고압 액 스프레이 세정장치에서의 고압 액 스프레이 노즐의 일 예를 나타낸 정면도이며, 도 8b는 도 8a의 Ⅷ-Ⅷ선 단면도이다.

도 9는 도 6의 고압 액 스프레이 세정장치에서의 수세부재의 일 예를 나타낸 측면도이며, 도 6에서의 Ⅸ-Ⅸ선 시시도에 해당하는 도면이다.

도 10은 도 1의 세정설비에서의 마무리 세정장치의 일 예를 나타낸 정면도이다.

도 11은 도 1의 세정설비에서의 탈수장치의 일 실시형태를 나타낸 정면도이다.

도 12는 도 11의 탈수장치의 평면도이다.

도 13은 도 11의 탈수장치에서의 수세부재를 나타낸 측면도이고, 도 11에서의 ⅩⅢ-ⅩⅢ선 단면도에 해당하는 도면이다.

도 14a는 도 11의 탈수장치에서의 탈수부재를 나타낸 측면도로서, 도 11에서의 ⅩⅣ-ⅩⅣ선 단면도에 해당하는 도면이며, 도 14b는 도 14a의 평면도이다.

도 1 및 도 2에 도시한 세정설비(1)에는 직사각형 판유리(G)를 세운 상태로 그 저변을 지지하고, 수평 방향으로 반송하기 위한 벨트콘베이어(2)가 배치되어 있다. 벨트콘베이어에 한정되지 않고 예를 들면 롤러콘베이어 등 공지의 콘베이어를 채용할 수 있다. 벨트콘베이어(2)에 의한 반송 방향을 따라, 즉 판유리의 패스라인(L)을 따라 판유리(G)의 표면을 세제에 의해 세정하기 위한 세제 세정장치(3)와, 판유리(G)의 표면을 고압 액 스프레이(워터제트라고도 함)에 의해 세정하기 위한 고압 액 스프레이 세정장치(4)와, 고압 액 스프레이 세정장치(4)에 의해 판유리(G)로부터 이탈하여 수중에 부유하는 먼지 등을 씻어내기 위한 마무리 세정장치(5)와, 세정 후의 판유리(G)의 표면으로부터 수분을 제거하기 위한 탈수장치(6)가 상류에서부터 이 순서로 배치되어 있다. 또한 본 실시형태의 탈수장치(6)에서는 탈수동작 전에 마무리 세정이 더 이루어지도록 구성되어 있다. 그러나 이에 한정되지 아니 한다.

또한 벨트콘베이어(2)의 반송 방향(패스라인(L))을 따라 그 양측에 판유리(G)의 면을 비접촉으로 지지하기 위한 유체 가이드(8)가 설치되어 있다. 유체 가이드(8)는 반송 방향을 따라 상기 장치(3),(4),(5),(6) 마다의 부분으로 나뉘어져 있다. 또한 후술하는 바와 같이 탈수장치(6)에서는 다른 장치(3),(4),(5)와는 유체 가이드의 구성이 상이하기 때문에 탈수장치(6)의 유체 가이드를 부호 27로 표시한다.

유체 가이드(8)는 세제 세정장치(3)의 측면도인 도 4도 함께 참조하면 명백한 바와 같이 프레임 부재(9)와 이 프레임 부재(9)에 설치된 가이드 판(10)을 구비하고 있다. 가이드 판(10)이 구성하는 평면에는 판유리(G)의 면을 향하여 지지용 유체압을 작용시키기 위한 유체 분출부(11)가 배치되어 있다.

유체 분출부(11)는 전체에서 판유리(G)의 면에 평행해지도록 조절 가능하게 되어 있다. 유체 분출부(11)에는 판유리(G)의 면을 향하여 유체를 분출하는 유체 분출 노즐(11c)이 간격을 두고 배열되어 있다.

패스라인(L)의 좌우 양측에 유체 가이드(8)가 설치되어 있으므로, 판유리 양면에서 작용하는 유체압이 밸런스를 취하므로 판유리가 구조부재와 접촉하지 않고 거의 수직 상태를 유지할 수 있다. 본 실시형태에서는 지지용 유체로서 물(水)이 사용되고 있다. 지지용 유체로서 액체를 사용함으로써 판유리로부터 지스러기유리(cullet) 입자와 이외의 먼지를 효과적으로 제거하는 것이 가능하다. 이 물은 필요에 따라 수도수(水道水), 순수(純水), 세제 수용액(洗劑水溶液)등이 선택된다.

또한 다수개의 유체 분출부(11)를 배열하는 대신에 다공질 재료를 사용하여 가이드 면에 액체를 스며 나오게 하는 다공질 유체 가이드를 설치하여도 좋다. 이 다공질 유체 가이드에 의해서도 가이드용 액체의 표면장력을 이용할 수 있고, 판유리를 구조부재와 접촉시킴 없이, 세운 상태로 지지할 수 있다.

지지용 유체는 액체에 한정되지 않고 예를 들면 청정 기체이어도 좋다. 지지용 유체로서 기체를 사용한 유체 가이드를 패스라인(L)의 일측에만 배치할 경우에는 판유리(G)를 이 유체 가이드 쪽으로 조금 기울임으로써 판유리의 자체 무게의 횡방향 성분과 분출하는 기체압에 의한 힘의 밸런스에 의해 비접촉으로 유체 가이드에 의해 지지시킨다. 그러나 판유리의 세정이 액체에 의해 이루어지기 때문에 지지용 유체도 동일하게 액체로 하는 것이 바람직하다.

도 3 내지 도 5를 참조하면서 세제 세정장치(3)를 설명한다. 세제 세정장치(3)에서는 세제 세정장치(3)에 대응하는 부분의 벨트콘베이어(2)가 세제 세정장치(3)에서의 판유리 지지장치로서 기능한다. 도 3b의 정면도는 이해 용이를 위하여 앞쪽의 유체 가이드(8)를 제거한 상태를 나타내고 있다.

세제 세정장치(3)에서는 유체 분출부(11)로서 제1 유체 분출부(11a) 및 제2 유체 분출부(11b)가 배치되어 있다. 제1 유체 분출부(11a)는 수평 방향으로 연장 설치되어 있고, 이것이 상하로 간격을 두고 복수단 배치되어 있다. 또한 제2 유체 분출부(11b)는 판유리의 반송 방향으로 간격을 두고 상하 방향으로 복수개 배치되어 있다. 각 유체 분출부(11a),(11b)에는 판유리의 면을 향하여 유체를 분출하는 유체 분출 노즐(11c)이 간격을 두고 배열되어 있다. 이들 유체 분출부(11a),(11b)는 전체에서 판유리(G)의 면에 평행이 되도록 조절 가능하게 되어 있다.

세제 세정장치(3)에서는 유체 가이드(8)에 도시하지 않은 세제 공급원으로부터 세제가 압송되고, 그 유체 분출 노즐(11c)에서 세제 수용액(세정액)이 분출하도록 구성되어 있다. 이러한 구성에 의해 세제 세정장치(3)에서는 판유리의 전면(全面)이 세정액에 의해 세정되고 유지분까지 판유리의 면으로부터 제거된다. 물론 하류측에 배치된 다른 장치(4),(5),(6)에서는 유체 가이드에 사용되는 유체로서 세정액 대신에 순수 등을 사용하면 좋다. 또한 세제 세정장치(3)의 유체 가이드(8)에서도 그 전체에 대하여 세정액을 분출하는 구성으로 할 필요는 없고, 유체 가이드(8)의 일부에서부터 세정액을 분출하도록 하여도 좋다. 더욱이 세정액의 온도를 올림(예를 들면 80℃)으로써 유지분 등의 제거효과가 더욱 향상된다.

이 세제 세정장치(3)에는 도 3 및 도 5에 도시한 바와 같이, 반송되어 온 판유리(G) 상변에 대응하는 위치(판유리(G) 상변을 따르는 위치)에서부터 약간 반(反) 유체 가이드 측으로 변위한 위치에 세제 공급관(12)이 연장 설치되어 있다. 이 세제 공급관(12)에는 판유리(G)의 일면에 상변으로부터 세제를 분무하여 뿌리기 위한 세제 노즐(13)이 다수개 배열되어 있다. 세제 공급관(12)에는 도시하지 않은 세제 공급원에서부터 세제가 압송된다. 세제 공급관(12)은 세정 대상인 판유리의 상하 사이즈에 따라 상하 이동하도록 구성되어 있다.

이 다수개의 세제 노즐(13)에 의해 세제가 판유리의 일면의 상변에 걸쳐 빠짐없이 공급된다. 이 세제가 중력에 의해 판유리의 해당 일면의 전면(全面)에 빠짐없이 흐르고, 해당 일면을 세정한다. 본 세제 세정장치(3)에서는 단일의 세제 공급관(12)을 구비하고 있지만 본 발명에서는 이러한 구성에 한정되지 아니 한다. 예를 들면 상하로 이격하여 복수개의 세제 공급관(12)을 구비하면 판유리의 반송속도를 빠르게 하여도 판유리의 표면에 충분히 세제를 널리 퍼뜨릴 수 있다.

전술한 바와 같이 세제 세정장치(3)에서는 패스라인(L)의 양측에 세정액을 분출하는 유체 가이드(8)가 배치되어 있지만 상기 세제 공급관(12)을 구비할 경우에는 패스라인(L)을 사이에 두고 세제 공급관(12)의 반대측에만 유체 가이드를 설치하여도 좋다. 지지 유체가 액체이기 때문에 유체 가이드(8)가 패스라인(L)의 일측에만 설치되어 있어도 판유리(G)는 그 표면과 유체 분출부(11)의 간극에 충만하는 유체의 표면장력에 의해 이를테면 흡착되기 때문에 비접촉하면서 거의 수직 상태를 유지하여 반송될 수 있다. 그러나 상기 구조의 세제 공급관(12)보다는 유체 가이드 쪽이 세정 효과가 높다고 여겨지기 때문에 패스라인(L)의 양측에 세정액을 분출하는 유체 가이드(8)를 구비하는 것이 바람직하다.

세제 세정장치(3)에서의 세제 세정에 의해 판유리의 표면으로부터 먼지 외에 유지분을 유리시킬 수 있다.

이러한 세제 세정장치(3)의 상류단 및 하류단에는 각각 에어커텐부재(14)가 상하 방향으로 연장 설치되어 있다. 도 5에 도시된 바와 같이 이 에어커텐부재(14)는 패스라인(L)의 양측에 서로 대향하여 상하 방향으로 연장 설치된 청정공기를 공 급위한 급기관(15)과 이 급기관(15)을 따라 조밀하게 배열된, 판유리(G)의 면을 향하여 청정공기를 뿌리기 위한 다수개의 에어 노즐(액 차단 노즐이라고도 함)(16)을 구비하고 있다. 청정공기는 필터 등에 의해 먼지 등을 제거한 공기이다. 상기 급기관(15)에는 도시하지 않은 급기원으로부터 청정공기가 압송된다. 상류단 및 하류단의 각 에어커텐부재(14)에서부터 반송되는 판유리에 청정공기가 분출되어 에어커텐이 형성된다. 이 때문에 세제 세정장치(3)에는 그 상류공정과 하류공정으로부터 수분 등의 진입이 방지된다. 따라서, 세정액의 농도 변화가 방지된다. 또한 상류공정과 하류공정으로의 세정액 이동이 방지된다.

도 3b 및 도 5에 있어서 부호 17로 표시한 것은 벨트콘베이어(2) 아래쪽으로 배치된 뮬받이 채널이다. 또한 부호 18로 표시한 것은 물받이 채널(17)에서 받은 액체를 모아서 아래쪽의 세정액 탱크(미도시)로 회수하기 위한 집수관이다. 세제 세정이 완료된 판유리는 이어 고압 액 스프레이 세정장치(4)로 반송된다(도 1).

도 6 내지 도 9를 참조하면서 고압 액 스프레이 세정장치(4)를 설명한다. 고압 액 스프레이 세정장치(4)에서는 고압 액 스프레이 세정장치(4)에 대응하는 부분의 벨트콘베이어(2)가 고압 액 스프레이 세정장치(4)에서의 판유리 지지장치로서 기능한다. 상술한 바와 같이 고압 액 스프레이 세정장치(4)에서는 유체 가이드(8)가 패스라인(L)의 양측에 설치되어 있다. 또한 반송 방향으로 바라보아서 유체 가이드(8)의 중간부에는 고압 액 스프레이 부재(19)가 배치되어 있다. 도 6에서는 고압 액 스프레이 부재(19)의 이해를 용이하게 하기 위하여 유체 가이드(8)를 일부 절결하여 도시하고 있다.

패스라인(L)을 사이에 두고 양측의 고압 액 스프레이 부재(19)는 각각 노즐 지지 프레임(41)을 갖고 있다. 이 노즐 지지 프레임(41)에는 상하로 이격한 1쌍의 고압 액 스프레이 노즐(20)이 설치되어 있다. 그리고 이 상하의 이격 거리는 변경할 수 있도록 되어 있다. 고압 액 스프레이 노즐(20)에서부터는 고압 수류(워터제트)가 분사된다. 패스라인(L)을 사이에 두고 양측의 고압 액 스프레이 노즐(20)끼리는 서로 대향하고 있다. 고압 액 스프레인 노즐(20)에서부터의 고압 물(水)에 의한 반력을 판유리의 양측에서 밸런스를 유지시키기 위함이다.

도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이 상기 노즐지지 프레임(41)은 고압 액 스프레이 부재(19)의 베이스 프레임(42)에 상하 방향으로 설치된 리니어 가이드(linear guide) 기구(21)에 의해 상하로 이동된다. 그 결과 고압 액 스프레이 노즐(20)이 판유리에 대하여 상대적으로 상하 이동된다. 또한 노즐 지지 프레임(41)에서의 노즐 지지부(41a)는 노즐 지지 프레임(41)의 기부(其部)(41b)에 대하여 바깥쪽으로 선회 가능하게 힌지(41c)를 통하여 설치되어 있다. 노즐 지지부(41a)를 선회시킴으로써 고압 액 스프레이 노즐(20)이 판유리의 면에 대향하는 작용 위치와, 바깥쪽으로 대피한 비작용 위치에 이동된다. 고압 액 스프레이 노즐(20)은 이것을 비작용 위치로 개방된 상태로 정비(maintenance) 등이 이루어진다. 부호 43으로 표시한 것은 노즐 지지부(41a)를 베이스 프레임(42)에 고정 및 분리시키기 위한 고정구의 노즐이다.

고압 액 스프레이 노즐(20)은 판유리에 직각 방향인 회전축(20a)(도 7 및 도 8 참조) 주위로 회전하도록 구성되어 있다. 이로써 각 노즐(20)이 회전하면서 상하 이동하므로 소수의 노즐(20)에 의해서도 넓은 범위의 판유리 표면을 세정할 수 있다. 부호 20b로 표시한 것은 고압 액 스프레이 노즐(20)의 회전을 안정시키기 위한 평형추(balance weight)이다.

또한 이 고압 액 스프레이 노즐(20)과 일체로 상하 이동하는 이동식 유체 가이드(22)가 배치되어 있다. 고압 액 스프레이 노즐(20)로부터의 고압 수류에 의한 판유리의 진동을 방지하기 위함이다. 이 이동식 유체 가이드(22)끼리도 패스라인(L)을 사이에 두고 대향하고 있다. 도시한 이동식 유체 가이드(22)는 고압 액 스프레이 노즐(20)의 위쪽 또는 아래쪽 중 어느 한쪽에만 배치되어 있지만, 특히 이 구성에 한정되지 아니 한다. 예를 들면 상하 양쪽, 좌우 양쪽, 상하좌우 4쪽 등으로 배치하여도 좋다.

상기 고압 액 스프레이 부재(19)의 반송 방향 양측에, 상하로 인접하여 나열된 복수개의 상하 유체 가이드(23)가 배치되어 있다. 이와 같이 고압 액 스프레이 부재(19) 양측에 특히 밀접하여 상하 유체 가이드(23)가 배치되어 있음으로써 고압 액 스프레이 노즐에 의한 판유리의 진동을 더욱 효과적으로 방지할 수 있다.

상기 고압 액 스프레이 세정장치(4)의 상류단에는 수세부재(24)가 상하 방향으로 연장 설치되어 있다. 도 9에 도시된 바와 같이 이 수세부재(24)는 패스라인(L)을 사이에 둔 양측에 서로 대향하여 상하 방향으로 연장 설치된 순수(純水)를 공급하기 위한 급수관(25)과, 이 급수관(25)을 따라 배치된 판유리(G)의 면을 향하여 물(水)을 뿌리기 위한 다수개의 물(水) 노즐(26)을 구비하고 있다. 상기 급수관(25)에는 도시하지 않은 급수원으로부터 물이 공급되고 있다. 상류단의 수세부 재(24)가 반송되는 판유리에 물을 뿌리기 위하여, 판유리의 양면 전면에 순차적으로 빠짐없이 물이 흐른다. 판유리는 상류단의 수세부재(24)에 의해 앞(前) 공정에서 부착할 가능성이 있는 세정액이 씻어진다. 게다가 표면의 건조함으로 인하여 먼지 등이 부착되는 것도 방지된다.

고압 액 스프레이 세정장치(4)의 하류단에는 상술한 세제 세정장치(3)에 있어서 설명한 것과 동일한 에어커텐부재(14)가 상하 방향으로 연장 설치되어 있다(도 6). 그 구성도 설치목적도 상술한 것과 동일하기 때문에 설명을 생략한다.

본 고압 액 스프레이 세정장치(4)에서는 패스라인(L)을 사이에 두고 양측에 각 1개의 고압 액 스프레이 부재(19)가 배치되어 있지만 본 발명에서는 이러한 구성에 한정되지 아니 한다. 패스라인(L)의 양측 각각에 복수개의 고압 액 스프레이 부재(19)를 배치하여도 좋다. 이로써 판유리의 반송속도를 상승하여도 충분한 세정이 가능해진다. 또한 각 고압 액 스프레이 부재(19)에 배치하는 고압 액 스프레이 노즐(20)의 개수를 필요에 따라 증감하여도 좋다. 고압 액 스프레이 노즐의 개수를 증가함으로써 특히 고압 액 스프레이 노즐을 상하 이동시킬 필요 없이 판유리의 전면을 고압 액 스프레이에 의해 세정하는 것이 가능해진다. 이 때에는 고압 액 스프레이 노즐을 특히 상하 방향으로 조밀하게 배열하면 좋다.

이러한 고압 액 스프레이 세정에 의해 종래의 초음파 세정과 브러시(brush) 세정 등과 비교하여 세정효과가 훨씬 향상된다. 이 고압 액 스프레이 세정이 완료된 판유리는 이어 마무리 세정장치(5)로 반송된다(도 1).

도 10에 도시한 마무리 세정장치(5)는, 세제 세정장치(3)와 고압 액 스프레 이 세정장치(4)에서 판유리의 표면으로부터 유리시킨 유지분과 먼지 등을 순환 순수에 의해 더욱 정성들여 씻어내기 위하여 설치되어 있다. 따라서 마무리 세정장치(5)는 패스라인(L)의 양측에 유체 가이드(8)가 배치되어 있을 뿐 그 외에 특별한 장치는 설치되어 있지 않다. 판유리는 유체 가이드(8)로부터 그 표면에 공급되는 물에 의해 세정되기 때문이다. 경우에 따라 세정장치(1)에서 이 마무리 세정장치(5)를 제거하여도 좋다. 마무리 세정이 완료된 판유리는 이어 탈수장치(6)로 반송된다(도 1).

도 11 내지 도 14를 참조하면서 탈수장치(6)를 설명한다. 탈수장치(6)에서는 탈수장치(6)에 대응하는 부분의 벨트콘베이어(2)가 탈수장치(6)에서의 판유리 지지장치로서 기능한다. 상술한 바와 같이 탈수장치(6)에서는 유체 가이드(27)가 패스라인(L)의 양측에 설치되어 있다.

또한 도 11, 도 13 및 도 14에 도시된 바와 같이 패스라인(L) 양측의 반송 방향으로 바라본 유체 가이드(27)의 중간부에는 상류에서부터 차례로 각각 간격을 두고 평행하게 2개의 수세부재(28),(29) 및 탈수부재(30)가 배치되어 있다. 그리고 상기 유체 가이드(27)는 상술한 유체 가이드(8)와는 달리, 후술하는 격리판(25)보다 상류측 부분(22)은 물을 지지용 유체로 사용하고 있고 격리판(25)보다 하류측 부분(27b)은 초청정 공기를 지지용 유체로서 사용하고 있다. 초청정 공기는 상술한 청정 공기보다도 더욱 메시(mesh)가 섬세한 필터 등에 의해 청정 처리한 공기이다.

도 13에 도시된 바와 같이 양측의 수세부재(28),(29)는 동일하게, 수직방향으로부터 조금 상류측으로 경사져 연장 설치된 급수관(31)과, 이 급수관(31)의 길 이방향을 따라 배열된 다수개의 물 노즐(32)을 갖고 있다. 급수관(31)에는 도시하지 않은 급수원으로부터 순수가 압송되고, 각 물 노즐(32)은 판유리(G)의 면을 향하여 순수를 분사한다. 상기 수세부재(28),(29)는 마무리 세정장치(5)에서의 세정과 동일한 바와 같은 세정을 반복함으로써 더욱 정성들여 유지분과 먼지 등을 판유리의 표면에서 씻어내기 위한 것이다. 이 수세부재(28),(29)에서는 순환 순수가 아니라, 순수를 원스루(one-through)하게 사용하여(이를테면 사용하여 버리는 순수를 사용하여) 판유리의 청정도를 향상시킨다.

탈수부재(30)는 급수관(31)과 평행하게 수직방향으로부터 조금 상류측으로 경사져 연장 설치된 급기관(에어나이프 프레임이라고도 함)(33)으로 구성되어 있다. 급기관(33)에는 도시하지 않은 급기원으로부터 초청정 공기가 압송된다. 또한 이 급기관(33)은 도 12 및 도 14에 도시한 바와 같이 공기를 판유리의 면을 향하여 뿌리기 위한 협폭(狹幅)의 슬릿(34)이 형성되어 있다. 그리고 탈수부재(30)는 패스라인(L)의 양측으로부터 분출하는 막상 기류(N)가 판유리의 양면의 대응하는 부위에 뿌려지도록 구성되어 있다. 슬릿(34)은 급기관(33)의 길이방향을 따라 연속하여 형성되든지, 또는 작은 간격을 두고 단속(斷續)적으로 형성된다. 어느 하나로 하여도 판유리(G)에는 연속한 막상의 고압 기류(N)가 상하 방향(조금 상류측으로 경사져 있음)으로 연속하여 뿌려진다. 이 기류는 음속에 가까운 속도로 분사된다. 이 기류를 에어나이프(N)라고 한다.

도 12에 도시된 바와 같이 급기관(33)은 그 길이방향 중심축 주위로 회전하도록 구성되어 있다. 그 결과 에이나이프(N)의 방향이 변화된다. 예를 들면 판유리 의 표면에 수직으로 향하게 할 수도 그리고 상류측으로도 하류측으로도 향하게 할 수 있다. 또한 급기관(33)은 수직으로부터 약간 상류측으로 경사져 있기 때문에 급기관(33)을 회전시켜 에어나이프(N)의 방향을 약간 상류측을 향하게 함으로써 에어나이프(N)는 판유리 표면의 수분을 상류를 향하여 약간 아래쪽으로 불어 날려버릴 수 있다. 그 결과 에어나이프 프레임(33)에서부터 상류측 아래쪽으로 수분을 불어 날려버리고, 하류측으로는 수분이 이동하지 않는다. 에어나이프(N)를 통과한 판유리의 전표면에서는 수분 등이 제거되고, 건조 상태로 된다.

또한 수세부재(28),(29)는 수직에서 약간 상류측으로 경사져 있기 때문에 반송되어 오는 판유리의 상부에서부터 상하 방향에 걸쳐 어느 부분에도 새로운 물이 공급되고 고품질의 세정이 가능해진다. 또한 이 수세부재(28),(29)도 상기 급기관(33)과 동일하게 그 길이방향 중심축의 주위로 회전하도록 구성되어 있다. 그 결과 순수의 분사 방향을 변화시킬 수 있다.

도 12에 도시된 바와 같이 패스라인(L) 양측의 탈수부재(30)에 근접하여 격리판(35)이 배치되어 있다. 이 격리판(35)은 탈수부재(30)에서 하류측으로 물이 이동하는 것을 방지하기 위한 것이다. 각 격리판(35)은 탈수부재(30)에서부터 패스라인(L)을 포함하는 수직면(실질적으로 판유리 면)에 대하여 수직적인 방향으로 바깥쪽으로 돌출하고 있다. 또한 격리판(35)은 급기관(33) 및 수세부재(28),(29)와 평행하게 수직 방향으로부터 상류측으로 경사져 연장 설치되어 있다. 그 결과 그 상류측에서 분출되고 있는 물이 어떻게든지 튀어나가려고 하여도 이 격리판(35)에 의해 하류측의 탈수부재(30) 쪽으로 이동하는 것이 방지된다. 이 격리판(35)은 상기 탈수부재(30)에 근접한 위치 외에 예를 들면 하류측의 수세부재(29)의 하류측에 근접하여 설치하여도 좋다.

상술한 바와 같이 상기 유체 가이드(27)는 이 격리판(35)보다 상류측은 지지 유체로서 순수를 사용하고 있고, 격리판(35)보다 하류측은 지지 유체로서 초청정 공기를 사용하고 있다. 따라서 에어나이프 프레임(33)으로부터 하류에서는 물은 전혀 사용되지 않고 판유리는 건조 상태로 된다.

또한 도시하지 않았지만, 세정설비(1)의 각 장치(3),(4),(5),(6)에서의 지지장치인 벨트콘베이어(2)의 부분을, 지지하고 있었던 판유리를 아래쪽으로 낙하시키기 위하여 이동 가능하게 구성할 수 있다. 예를 들면 반송 방향에 수직적인 방향으로 이동 가능하게 하면 벨트콘베이어 상의 판유리는 아래쪽으로 낙하한다. 또는 벨트부를 경사 이동시킴으로써 판유리의 패스라인(L)으로부터 벨트를 대피시켜 판유리를 낙하시키도록 하여도 좋다. 이러한 구성에 의해 예를 들면 세정 때에 손상함으로써 제품화가 불가능해졌던 경우에서도 반송라인과 세정장치를 유리 파편으로 오염시킴 없이 손상 판유리를 용이하게 제거할 수 있다.

이러한 세정설비(1)에 의하면 유체 가이드(8),(27)는 패스라인(L)의 일측 또는 양측에 설치되어 있으므로 지지용 액체의 표면장력에 의해 유체 가이드와 판유리의 간극이 일정 두께의 액체층으로 이루어지고 구조물과 비접촉 상태로 판유리를 지지한 채 반송할 수 있다. 또한 가이드용 유체로서 액체를 사용함으로써 판유리에서 카렛트 입자와 이외의 먼지를 더욱 효과적으로 제거하는 것이 가능해진다.

또한 상기 실시형태에서는 처리 대상으로서 판유리를 예시하였지만 본 발명 에서는 판유리에 한정되지 아니 한다. 예를 들면 레어메탈과 실리콘으로 이루어지는 판재, 평면형 디스플레이용 유리 등 여러 가지 판재가 처리 대상이 될 수 있다.

또한 이상 설명한 세정설비(1)에서는 세제 세정장치(3)와 고압 액 스프레이 세정장치(4)와 마무리 세정장치(5)와 탈수장치(6)가 일직선으로 배치되어 있지만 본 발명에서는 이러한 구성에 한정되지 아니 한다. 예를 들면 도중(途中)에서부터 반송라인이 직교하도록 배치하여도 좋고 또한 평행으로 배치하여도 좋다.

이와 같이 본 발명이 특정 예를 참조하여 설명되었지만 이들 예는 설명을 위한 것일 뿐 본 발명을 한정하지 아니 하고, 이 분야에 통상의 지식을 가진 자에게는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어남 없이 여기에 개시되었던 실시예에 변경, 추가 또는 삭제를 실시하여도 좋음을 알 수 있다.

본 발명에 의하면, 대형화, 박형화한 판유리를 포함하는 판재에 대하여 그 품질의 더욱 향상을 가능하게 한, 신속하고 또한 효과적인 세정처리를 할 수 있다.

Claims

세워진 상태의 판재의 하단을 지지하는 지지장치와,

상기 판재의 측면에 유체압을 작용시킴으로써 상기 판재를 세운 상태로 비접촉으로 지지하는 유체 가이드와,

세워진 상태의 판재에 세정액을 공급하기 위한 세정액 공급부를 구비하며,

상기 세정액 공급부는, 상기 유체 가이드의 적어도 일부를 포함하고,

상기 적어도 일부의 유체 가이드는 세정액의 흐름을 판재의 측면에 공급하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 판재의 세제 세정장치.
제 1 항에 있어서, 상기 세정액 공급부를 구성하는 유체 가이드는 수평 방향으로 연장하는 상하 복수단의 제1 유체 분출부를 가지고 있고, 상기 제1 유체 분출부에 복수개의 세정액 분사 노즐이 배열되는 것을 특징으로 하는 판재의 세제 세정장치.
제 1 항에 있어서, 상기 세정액 공급부를 구성하는 유체 가이드는 수평 방향으로 서로 간격을 두고 배치된, 상하 방향으로 연장하는 제2 유체 분출부를 더 가지고 있고, 상기 제2 유체 분출부에 복수개의 세정액 분사 노즐이 배열되는 것을 특징으로 하는 판재의 세제 세정장치.
제 1 항에 있어서, 상기 지지장치는 판재를 세워진 상태로 수평 방향으로 반송하는 반송부를 갖고 있고, 상기 유체 가이드는 반송부의 반송 경로를 따라 배치되는 것을 특징으로 하는 판재의 세제 세정장치.
제 4 항에 있어서, 상기 세정액 공급부에서의 판재의 반송 방향으로 바라본 상류단측과 하류단측에, 세워진 상태의 판재의 상하 방향을 따라 에어커텐부가 배치되어 있고, 상기 에어커텐부는 상하 방향으로 배열된 복수개의 에어 분사 노즐을 가지는 것을 특징으로 하는 판재의 세제 세정장치.
세워진 상태의 판재의 하단을 지지하는 지지장치와,

상기 판재의 측면에 유체압을 작용시킴으로써 상기 판재를 세운 상태로 비접촉으로 지지하는 유체 가이드와,

세워진 상태의 판재에, 그 양면측에서부터 각각 고압 액 스프레이를 뿌리기 위한 고압 액 스프레이부를 구비하고,

상기 고압 액 스프레이부가 상하 방향으로 이동 가능하게 된 고압 액 스프레이 노즐을 가지며, 상기 고압 액 스프레이 노즐에서의 고압액에 의한 압력을 상기 판재의 양측에서 밸런스시키기 위해, 판재의 양면측에 배치된 고압 액 스프레이 노즐끼리 판재 지지 위치를 사이에 두고 상호 대향한 상태로 이동하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 고압액 스프레이 세정장치.
제 6 항에 있어서, 상기 지지장치는 판재를 세워진 상태로 수평 방향으로 반송하는 반송부를 가지고 있고, 상기 유체 가이드는 반송부의 반송 경로를 따라 배치되는 것을 특징으로 하는 판재의 고압 액 스프레이 세정장치.
제 6 항에 있어서, 상기 고압 액 스프레이 노즐과 일체로 상하 방향으로 이동 가능하게 된 이동식 유체 가이드는 해당 고압 액 스프레이 노즐에 인접하여 배치되는 것을 특징으로 하는 판재의 고압 액 스프레이 세정장치.
제 7 항에 있어서, 판재의 반송 방향으로 바라본 상류단측에, 세워진 상태의 판재의 상하 방향을 따라 수세부가 배치되어 있고, 상기 수세부는 상하 방향으로 배열된 복수개의 물 분사 노즐을 가지는 것을 특징으로 하는 판재의 고압 액 스프레이 세정장치.
세워진 상태의 판재의 하단을 지지하는 지지장치와,

상기 판재의 측면에 유체압을 작용시킴으로써 상기 판재를 세운 상태로 비접촉으로 지지하는 유체 가이드와,

세워진 상태의 판재에, 그 양면측에서부터 각각 고압 액 스프레이를 뿌리기 위한 고압 액 스프레이부를 구비하고,

상기 고압 액 스프레이부가 세정 대상인 판재의 면에 수직 방향의 회전축심 주위로 회전하도록 구성된 고압 액 스프레이 노즐을 갖는 것을 특징으로 하는 판재의 고압 액 스프레이 세정장치.
제 10 항에 있어서, 상기 고압 액 스프레이 노즐이 상하 방향으로 이동 가능하게 되어, 판재의 양면측에 배치된 고압 액 스프레이 노즐끼리가 판재 지지위치를 사이에 두고 대향하는 것을 특징으로 하는 판재의 고압 액 스프레이 세정장치.
제 10 항에 있어서, 상기 고압 액 스프레이 노즐이 상하 방향으로 복수 개 배치되어, 판재의 양면측에 배치된 고압 액 스프레이 노즐끼리가 판재 지지위치를 사이에 두고 대향하는 것을 특징으로 하는 판재의 고압 액 스프레이 세정장치.
세워진 상태의 판재의 하단을 지지하여 수평 방향으로 반송하는 반송장치와,

상기 판재의 측면에 유체압을 작용시킴으로써 상기 판재를 세운 상태로 비접촉으로 지지하는 유체 가이드와,

세워진 상태의 판재에, 그 양면측으로부터 각각 판재의 위쪽에서 아래쪽으로 대응하도록 연장 설치된, 막상(膜狀) 기류를 판재를 향하여 분사하는 탈수부를 구비하고,

상기 탈수부의 급기관의 길이 방향을 따라 탈수용 공기를 분사하기 위한 슬릿이 형성되고,

상기 양 탈수부의 상류측에, 세워진 상태의 판재의 양면측 각각에 상하 방향을 따라 수세부가 설치되어 있고, 상기 수세부는 상하 방향으로 배열된 복수개의 물 분사 노즐을 가지며,

상기 탈수부와 수세부는 근접하여 병행(竝行)하게 배치되는 것을 특징으로 하는 판재의 탈수장치.
제 13 항에 있어서, 상기 탈수부는 판재의 반송 방향으로 바라본 상류 방향으로 경사져 배치되는 것을 특징으로 하는 판재의 탈수장치.
제 13 항에 있어서, 상기 수세부가 판재의 반송 방향으로 바라본 상류 방향으로 경사져 배치되는 것을 특징으로 하는 판재의 탈수장치.
세워진 상태의 판재의 하단을 지지하여 반송하는 반송장치와,

상기 판재의 측면에 유체압을 작용시킴으로써 상기 판재를 세운 상태로 비접촉으로 지지하는 유체 가이드와,

상기 반송장치의 반송 경로에 배치된 세제 세정장치와,

상기 반송 경로에서의 상기 세제 세정장치의 하류측에 배치된 고압 액 스프레이 세정장치와,

상기 반송 경로에서의 상기 고압 액 스프레이 세정장치의 하류측에 배치된 탈수장치를 구비하며,

상기 세제 세정장치는, 세워진 상태의 판재의 하단을 지지하는 지지장치와, 상기 판재의 측면에 유체압을 작용시킴으로써 상기 판재를 세운 상태로 비접촉으로 지지하는 유체 가이드와, 세워진 상태의 판재에 세정액을 공급하기 위한 세정액 공급부를 구비하고, 상기 세정액 공급부는 상기 유체 가이드 중 적어도 일부를 포함하고, 상기 적어도 일부의 유체 가이드는 세정액의 흐름을 판재의 측면에 공급하도록 구성되고,

상기 고압 액 스프레이 세정장치는 세워진 상태의 판재의 하단을 지지하는 지지장치와, 상기 판재의 측면에 유체압을 작용시킴으로써 상기 판재를 세운 상태로 비접촉으로 지지하는 유체 가이드와, 세워진 상태의 판재에 그 양면측으로부터 각각 고압액 스프레이를 뿌리기 위한 고압 액 스프레이부를 구비하고,

상기 탈수장치는 세워진 상태의 판재의 하단을 지지하여 수평 방향으로 반송하는 반송장치와, 상기 판재의 측면에 유체압을 작용시킴으로써 상기 판재를 선 상태로 비접촉으로 지지하는 유체 가이드와, 세워진 상태의 판재에 그 양측면으로부터 각각 판재의 위쪽에서 아래쪽으로 대응하도록 연장 설치된, 막상 기류를 판재를 향하여 분사하는 탈수부를 구비하는 것을 특징으로 하는 판재의 세정설비.
제 16 항에 있어서, 상기 고압 액 스프레이 세정장치와 탈수장치 사이에 마무리 세정장치가 배치되어 있고, 상기 마무리 세정장치는 상기 반송장치의 양측에 상기 유체 가이드를 가지는 것을 특징으로 하는 판재의 세정설비.
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