JPH02230791A - プリント基板の洗浄装置 - Google Patents
プリント基板の洗浄装置Info
- Publication number
- JPH02230791A JPH02230791A JP4994989A JP4994989A JPH02230791A JP H02230791 A JPH02230791 A JP H02230791A JP 4994989 A JP4994989 A JP 4994989A JP 4994989 A JP4994989 A JP 4994989A JP H02230791 A JPH02230791 A JP H02230791A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detergent
- printed circuit
- washing
- tank
- water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はプリント基板のはんだ付け後、プリント基板に
付着したフラッグスを水洗除去する装置に関する． 〔発明の背景〕 はんだ付け装置で行うプリント基板のはんだ付けは、先
ずプリント基板のはんだ付け部全面にフラクサーで液状
フラックスを塗布し、それをブリヒーターで乾燥させた
後、溶融はんだに接触させて、はんだ付けがなされる。
付着したフラッグスを水洗除去する装置に関する． 〔発明の背景〕 はんだ付け装置で行うプリント基板のはんだ付けは、先
ずプリント基板のはんだ付け部全面にフラクサーで液状
フラックスを塗布し、それをブリヒーターで乾燥させた
後、溶融はんだに接触させて、はんだ付けがなされる。
このはんだ付けに用いるフラックスは松脂をアルコール
で溶解して液状としたものである。
で溶解して液状としたものである。
ところで松脂は良好な絶縁物質であるが、粘着性がある
ため、はんだ付け後プリント基板にフラックスが残って
いると該フラックスにゴミや埃が付着してしまうことが
ある。これらのゴミや埃は絶縁抵抗を悪くし電子機器の
機能を劣化させるため大型コンピュータや通信機器のよ
うな精密電子機器では、はんだ付け後にフラックスの除
去を行わなければならない。
ため、はんだ付け後プリント基板にフラックスが残って
いると該フラックスにゴミや埃が付着してしまうことが
ある。これらのゴミや埃は絶縁抵抗を悪くし電子機器の
機能を劣化させるため大型コンピュータや通信機器のよ
うな精密電子機器では、はんだ付け後にフラックスの除
去を行わなければならない。
従来、はんだ付け後プリント基板に残ったブラックスの
洗浄には松脂をよく溶解し、しかも人体への影響の少な
いフロン系の溶剤が用いられていた。しかしながらフロ
ン系の溶剤は気化すると上昇し、地球を取りまくオゾン
層を破壊するため、この破壊されたところから太陽の紫
外線が大量に地球に到達して人間に皮膚ガンを起こさせ
る原因となっている。従って、フロン系の溶剤の使用は
規制されてきており、将来全く使えなくなることも考え
られる。
洗浄には松脂をよく溶解し、しかも人体への影響の少な
いフロン系の溶剤が用いられていた。しかしながらフロ
ン系の溶剤は気化すると上昇し、地球を取りまくオゾン
層を破壊するため、この破壊されたところから太陽の紫
外線が大量に地球に到達して人間に皮膚ガンを起こさせ
る原因となっている。従って、フロン系の溶剤の使用は
規制されてきており、将来全く使えなくなることも考え
られる。
本発明は、フロン系溶剤のような問題を起こすものに代
わって松脂の洗浄に効果のある水溶性洗剤が効率的に使
用できる洗浄装置を提供するものである。
わって松脂の洗浄に効果のある水溶性洗剤が効率的に使
用できる洗浄装置を提供するものである。
水溶性洗剤（以下、洗剤という）を用いたプリント基板
の洗浄装置（以下、洗浄装置という）の具備する条件と
しては次の通りである。
の洗浄装置（以下、洗浄装置という）の具備する条件と
しては次の通りである。
■洗剤の消費量が少ないこと
フラックスを洗浄除去する洗剤は特殊なものであるため
、非常に高価である。従って、洗剤の消費量はなるべく
少ないことが好ましい。
、非常に高価である。従って、洗剤の消費量はなるべく
少ないことが好ましい。
■水洗時、水の汚れが少ないこと
如何に洗剤が公害の少ないものとは言え、洗剤が多量に
河川に放出されると河川の汚染の原因となるため水洗時
、水を汚さないようにしなければならない。また、水の
汚れが少ないことは水への洗剤の混入の少ないことであ
り、前述洗剤の消費量の少なくなることにつながる。
河川に放出されると河川の汚染の原因となるため水洗時
、水を汚さないようにしなければならない。また、水の
汚れが少ないことは水への洗剤の混入の少ないことであ
り、前述洗剤の消費量の少なくなることにつながる。
■プリント基板の特定箇所に洗剤や洗浄水が十分侵入す
ること はんだ付け時、液状フラックスはプリント基板のはんだ
付け面全域に塗布されるためプリント基板の特定箇所、
例えば電子部品とプリント基板の間やスルーホール内に
も付着している。
ること はんだ付け時、液状フラックスはプリント基板のはんだ
付け面全域に塗布されるためプリント基板の特定箇所、
例えば電子部品とプリント基板の間やスルーホール内に
も付着している。
該フラッグスも完全に除去しなければならず、従って洗
浄時に洗剤が該特定箇所に侵入してフラックスを落とし
、その後の水洗時にも洗浄水が侵入してフラックスと洗
剤を洗い出す必要がある． ■プリント基板の特定箇所に汚れが片寄らないこと フロン系の溶剤は沸点が低く揮散しやすいため、溶剤中
に混入した少量の汚れはプリント基板全域に拡がったま
ま直ぐ乾燥してしまう。従ってその汚れは希釈された状
態となり電子機器の機能にはほとんど悪影響を与えない
が、洗剤の場合、フロンよりも揮散しにくい水で洗浄す
るため、プリント基板の前述の特定箇所に洗浄水が残り
、ここに周囲の汚れが凝集してしまって絶縁抵抗を悪く
させる。それ故、プリント基板の特定箇所には汚れ、即
ち水が残らないようにしなければならない。
浄時に洗剤が該特定箇所に侵入してフラックスを落とし
、その後の水洗時にも洗浄水が侵入してフラックスと洗
剤を洗い出す必要がある． ■プリント基板の特定箇所に汚れが片寄らないこと フロン系の溶剤は沸点が低く揮散しやすいため、溶剤中
に混入した少量の汚れはプリント基板全域に拡がったま
ま直ぐ乾燥してしまう。従ってその汚れは希釈された状
態となり電子機器の機能にはほとんど悪影響を与えない
が、洗剤の場合、フロンよりも揮散しにくい水で洗浄す
るため、プリント基板の前述の特定箇所に洗浄水が残り
、ここに周囲の汚れが凝集してしまって絶縁抵抗を悪く
させる。それ故、プリント基板の特定箇所には汚れ、即
ち水が残らないようにしなければならない。
本発明は上記条件を全て満足することのできるプリント
基板の洗浄装置である。
基板の洗浄装置である。
本発明の特徴とするところは、洗剤槽、本洗槽上を走行
しており、プリント基板を立てて搬送することのできる
ベルト、 洗剤槽上に設置されており、ベルトで搬送されたプリン
ト基板に対して斜め下方に洗剤を吹き付ける洗剤ノズル
、 洗剤槽上に設置ざれており、ベルトで搬送されたプリン
ト基板に対して斜め下方にエアーを吹き付けるエアーナ
イフ、 本洗槽上に設置されており、ベルトで搬送されたプリン
ト基板に対して斜め下方に水を吹き付ける複数の水洗ノ
ズル、 およびベルトで搬送されるプリント基板に対して斜め下
方にホットエアーを吹き付けるホットエアーナイフから
構成されているプリント基板の洗浄装置である。
しており、プリント基板を立てて搬送することのできる
ベルト、 洗剤槽上に設置されており、ベルトで搬送されたプリン
ト基板に対して斜め下方に洗剤を吹き付ける洗剤ノズル
、 洗剤槽上に設置ざれており、ベルトで搬送されたプリン
ト基板に対して斜め下方にエアーを吹き付けるエアーナ
イフ、 本洗槽上に設置されており、ベルトで搬送されたプリン
ト基板に対して斜め下方に水を吹き付ける複数の水洗ノ
ズル、 およびベルトで搬送されるプリント基板に対して斜め下
方にホットエアーを吹き付けるホットエアーナイフから
構成されているプリント基板の洗浄装置である。
以下図面に基づいて本発明の洗浄装置を説明する。
洗浄装置ｌは下部が洗剤槽２、第１水洗槽３、第２水洗
槽４に区切られており、各槽の上方には縦向に張られた
一対の扶持ベルト５、５がそれぞれ洗剤槽から水洗槽方
向に向かって回動ずるように設置されている。扶持ベル
トは、一対の扶持ベルト閏で挟んだものの洗浄に妨げと
ならないようにメッシュベルトやワイヤーベルトを用い
、それらの間隔はプリント基板を挟んで搬送できる間悶
となっている。また、一対の扶持ベルトの下には、それ
らの間隔よりも少し巾の広い走行ベルト６が設置されて
おり、対面する扶持ベルトと同一方向、同一速度で回動
している。洗剤槽２上には対面する扶持ベルトと走行ベ
ルトを挟むようにして一対の洗剤ノズル７、７が設置さ
れている。該洗剤ノズルには第４図に示すように相対向
する方向で洗剤を斜め下方に噴出させることのできる多
数の穴が穿設されている。洗剤は図示しないボンブで洗
剤ノズル７、７に送られ（矢印Ａ）、ノズルの穴から噴
出後は、いったん洗剤槽２に溜められてから流出口８か
ら流出してゆく。流出口８は図示しないボンブと接続さ
れており、洗剤は洗剤槽・ボンブ・ノズル・洗剤槽を循
環するようになっている。洗剤槽や循環経路にはフィル
ターを設置し、洗剤で落とされたフラックスを除去する
ようにしておく。また洗剤槽の上方でしかも該洗剤ノズ
ルの近傍にはベルト５、６を挟むようにして一対のエア
ーナイフ９、９が設置されている。エアーナイフは相対
向してあけられた多数の穴から斜め下方に向けて圧縮エ
アーを噴出させるもので、圧縮エアーは図示しないエア
ーコンブレッサーで作られ、矢印Ｂのようにエアーナイ
フに送られてくる。
槽４に区切られており、各槽の上方には縦向に張られた
一対の扶持ベルト５、５がそれぞれ洗剤槽から水洗槽方
向に向かって回動ずるように設置されている。扶持ベル
トは、一対の扶持ベルト閏で挟んだものの洗浄に妨げと
ならないようにメッシュベルトやワイヤーベルトを用い
、それらの間隔はプリント基板を挟んで搬送できる間悶
となっている。また、一対の扶持ベルトの下には、それ
らの間隔よりも少し巾の広い走行ベルト６が設置されて
おり、対面する扶持ベルトと同一方向、同一速度で回動
している。洗剤槽２上には対面する扶持ベルトと走行ベ
ルトを挟むようにして一対の洗剤ノズル７、７が設置さ
れている。該洗剤ノズルには第４図に示すように相対向
する方向で洗剤を斜め下方に噴出させることのできる多
数の穴が穿設されている。洗剤は図示しないボンブで洗
剤ノズル７、７に送られ（矢印Ａ）、ノズルの穴から噴
出後は、いったん洗剤槽２に溜められてから流出口８か
ら流出してゆく。流出口８は図示しないボンブと接続さ
れており、洗剤は洗剤槽・ボンブ・ノズル・洗剤槽を循
環するようになっている。洗剤槽や循環経路にはフィル
ターを設置し、洗剤で落とされたフラックスを除去する
ようにしておく。また洗剤槽の上方でしかも該洗剤ノズ
ルの近傍にはベルト５、６を挟むようにして一対のエア
ーナイフ９、９が設置されている。エアーナイフは相対
向してあけられた多数の穴から斜め下方に向けて圧縮エ
アーを噴出させるもので、圧縮エアーは図示しないエア
ーコンブレッサーで作られ、矢印Ｂのようにエアーナイ
フに送られてくる。
第１水洗槽３上にはベルト５、６を挟むようにして一対
の水洗ノズル１０、１０が設置されている。
の水洗ノズル１０、１０が設置されている。
水洗ノズルには矢印Ｃのように圧縮した水が図示しない
ボンブで送られ、ノズルの穴から斜め下方に向けて噴出
される。噴出後の水は第１水洗槽３に溜められ、流出口
１１から流出して図示しないボンブで再度水洗ノズルに
送られるようになっている。第１水洗槽または循環経路
にフィルターを設置すれば洗浄水中のフラックスを取り
除くこともできる。第２水洗槽４上にも複数の水洗ノズ
ル１２・・・が設置されている。該水洗ノズルでは仕上
の水洗を行うため水洗ノズルは複数本設置しておいた方
がよい。水洗ノズル１２には図示しないポンプできれい
な水が矢印Ｄの如く送られてくる。
ボンブで送られ、ノズルの穴から斜め下方に向けて噴出
される。噴出後の水は第１水洗槽３に溜められ、流出口
１１から流出して図示しないボンブで再度水洗ノズルに
送られるようになっている。第１水洗槽または循環経路
にフィルターを設置すれば洗浄水中のフラックスを取り
除くこともできる。第２水洗槽４上にも複数の水洗ノズ
ル１２・・・が設置されている。該水洗ノズルでは仕上
の水洗を行うため水洗ノズルは複数本設置しておいた方
がよい。水洗ノズル１２には図示しないポンプできれい
な水が矢印Ｄの如く送られてくる。
第２水洗槽４に溜った水は流出口１３からそのまま排水
してもよいし、また浄流して再度水洗用として使用して
もよい。第２水洗槽の上方で水洗ノズル１２の近傍には
ホットエアーナイフｌ４が設置されている。ホットエア
ーナイフからは矢印Ｅの如く送られたホットエアーが多
数の穴から斜め下方に噴出するようになっている． 次
に上記構造を有する本発明洗浄装置におけるプリント基
板の洗浄について説明する。
してもよいし、また浄流して再度水洗用として使用して
もよい。第２水洗槽の上方で水洗ノズル１２の近傍には
ホットエアーナイフｌ４が設置されている。ホットエア
ーナイフからは矢印Ｅの如く送られたホットエアーが多
数の穴から斜め下方に噴出するようになっている． 次
に上記構造を有する本発明洗浄装置におけるプリント基
板の洗浄について説明する。
はんだ付け後のプリント基板Ｐは回動ずるｌ走行ベルト
６に載せられると同時に一対の扶持ベルト５、５間で扶
持され、立てた状態で搬送させられる．ベルト５、６で
搬送されるプリント基板は、先ず洗剤槽２上で洗剤ノズ
ル７、７から斜め下方に噴出する洗剤に当てられる。こ
の時、洗剤はフラックスをよく洗浄するものであり、し
かも噴出に勢いがあるためプリント基板に付着していた
フラックスは、ここでほとんど落とされてしまう。
６に載せられると同時に一対の扶持ベルト５、５間で扶
持され、立てた状態で搬送させられる．ベルト５、６で
搬送されるプリント基板は、先ず洗剤槽２上で洗剤ノズ
ル７、７から斜め下方に噴出する洗剤に当てられる。こ
の時、洗剤はフラックスをよく洗浄するものであり、し
かも噴出に勢いがあるためプリント基板に付着していた
フラックスは、ここでほとんど落とされてしまう。
斜め下方に噴出する洗剤は電子部品搭載箇所のような狭
い箇所にも良く侵入するものである。
い箇所にも良く侵入するものである。
ここでは洗剤がプリント基板に厚く付着してしまうが、
該洗剤は次のエアーナイフ９の圧縮空気吹き付けにより
下方の洗剤槽内に拭い落とされるためプリント基板には
洗剤が薄く付着するだけとなる．そしてプリント基板は
第１水洗槽３上に搬送され、水洗ノズル１０から下方に
噴出する水により薄く付着していた洗剤もほとんど洗い
落とされる．しかしながら、ここでは１回の洗浄でしか
もリサイクルする水を使うため完全な洗浄をとならない
ので次の第２本洗槽上で再度水洗するわけである。第２
水洗槽ではきれいな水を水洗ノズルから斜め下方に勢い
よく噴き付けて完全な洗浄を行うものである。最後にホ
ットエアーナイフｌ４で水洗時にプリント基板に付着し
た水を吹き飛ばすと同時に乾燥を行う。
該洗剤は次のエアーナイフ９の圧縮空気吹き付けにより
下方の洗剤槽内に拭い落とされるためプリント基板には
洗剤が薄く付着するだけとなる．そしてプリント基板は
第１水洗槽３上に搬送され、水洗ノズル１０から下方に
噴出する水により薄く付着していた洗剤もほとんど洗い
落とされる．しかしながら、ここでは１回の洗浄でしか
もリサイクルする水を使うため完全な洗浄をとならない
ので次の第２本洗槽上で再度水洗するわけである。第２
水洗槽ではきれいな水を水洗ノズルから斜め下方に勢い
よく噴き付けて完全な洗浄を行うものである。最後にホ
ットエアーナイフｌ４で水洗時にプリント基板に付着し
た水を吹き飛ばすと同時に乾燥を行う。
なお、実施例では洗剤や水の吹き付けをプリント基板の
両側から行うようにそれぞれ一対のノズルとしたが、片
面だけの洗浄を目的とするのであればノズルを片方だけ
に設置することも可能である． 〔発明の効果〕 本発明の洗浄装置は以下のような効果を有している。
両側から行うようにそれぞれ一対のノズルとしたが、片
面だけの洗浄を目的とするのであればノズルを片方だけ
に設置することも可能である． 〔発明の効果〕 本発明の洗浄装置は以下のような効果を有している。
■プリント基板を立てて搬送するため洗剤や洗浄水がプ
リント基板に沿って落下し、部分的に溜まることがない
。
リント基板に沿って落下し、部分的に溜まることがない
。
■洗剤がノズルから斜め下方に勢いよく噴出されるため
、電子部品間の狭い箇所やスルーホール内にも侵入し、
ここに存在していたフラックスを除去する。
、電子部品間の狭い箇所やスルーホール内にも侵入し、
ここに存在していたフラックスを除去する。
■洗剤での洗浄後、エアーナイフで洗剤を洗剤槽内に拭
い落とすため、次の水洗工程に持ち出すことがなく消費
量を少なくすることができるし、また次工程での水洗時
、水を汚すことが少ない。
い落とすため、次の水洗工程に持ち出すことがなく消費
量を少なくすることができるし、また次工程での水洗時
、水を汚すことが少ない。
■水洗浄を複数回、しかも勢いのある水を斜め下方に吹
き付けるため完全な洗浄が行える。
き付けるため完全な洗浄が行える。
■水洗後のホットエアーナイフでのホットエアーの吹き
付けは狭い間隙やスルーホールに残った水を吹き飛ばす
と同時にす早い乾燥を行うことができる。
付けは狭い間隙やスルーホールに残った水を吹き飛ばす
と同時にす早い乾燥を行うことができる。
第１図は本発明実施例の斜視図、第２図は本発明実施例
の中央断面図、第３図は同平面図、第４図は第３図ＩＶ
−ｒＶ線断面図である。
の中央断面図、第３図は同平面図、第４図は第３図ＩＶ
−ｒＶ線断面図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 洗剤槽、本洗槽上を走行しており、プリント基板を立て
て搬送することのできるベルト、 洗剤槽上に設置されており、ベルトで搬送されたプリン
ト基板に対して斜め下方に洗剤を吹き付ける洗剤ノズル
、 洗剤槽上に設置されており、ベルトで搬送されたプリン
ト基板に対して斜め下方にエアーを吹き付けるエアーナ
イフ、 水洗槽上に設置されており、ベルトで搬送されたプリン
ト基板に対して斜め下方に水を吹き付ける複数の水洗ノ
ズル、 およびベルトで搬送されるプリント基板に対して斜め下
方にホットエアーを吹き付けるホットエアーナイフから
構成されていることを特徴とするプリント基板の洗浄装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4994989A JPH02230791A (ja) | 1989-03-03 | 1989-03-03 | プリント基板の洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4994989A JPH02230791A (ja) | 1989-03-03 | 1989-03-03 | プリント基板の洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02230791A true JPH02230791A (ja) | 1990-09-13 |
Family
ID=12845282
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4994989A Pending JPH02230791A (ja) | 1989-03-03 | 1989-03-03 | プリント基板の洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02230791A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0544270U (ja) * | 1991-11-12 | 1993-06-15 | 信越ポリマー株式会社 | ゴムロールの研磨粉除去装置 |
| JPH0652973U (ja) * | 1991-04-08 | 1994-07-19 | サッポロビール株式会社 | パレットなどの縦型洗浄装置 |
| WO2005077553A1 (ja) * | 2004-02-18 | 2005-08-25 | Kawasaki Plant Systems Kabushiki Kaisha | 板材の洗浄設備 |
-
1989
- 1989-03-03 JP JP4994989A patent/JPH02230791A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0652973U (ja) * | 1991-04-08 | 1994-07-19 | サッポロビール株式会社 | パレットなどの縦型洗浄装置 |
| JPH0544270U (ja) * | 1991-11-12 | 1993-06-15 | 信越ポリマー株式会社 | ゴムロールの研磨粉除去装置 |
| WO2005077553A1 (ja) * | 2004-02-18 | 2005-08-25 | Kawasaki Plant Systems Kabushiki Kaisha | 板材の洗浄設備 |
| EP1719561A1 (en) * | 2004-02-18 | 2006-11-08 | Kawasaki Plant Systems Kabushiki Kaisha | Washing apparatus for plate material |
| EP1719561A4 (en) * | 2004-02-18 | 2011-06-29 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | WASHER FOR PLATE MATERIAL |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7951244B2 (en) | Liquid cleaning apparatus for cleaning printed circuit boards | |
| US5916374A (en) | Optimized in-line mask cleaning system | |
| US6073369A (en) | Substrate drying apparatus and method | |
| CN101219427A (zh) | 基板处理装置 | |
| US6662812B1 (en) | Method for acoustic and vibrational energy for assisted drying of solder stencils and electronic modules | |
| KR101346911B1 (ko) | 슬릿코터의 노즐 세정장치 | |
| JP2003503845A (ja) | 化学機械研磨またはプラズマ処理の後にウエハを洗浄するための方法およびシステム | |
| JPH02230791A (ja) | プリント基板の洗浄装置 | |
| JPH01130590A (ja) | 部品実装回路基板の洗浄方法 | |
| JP3200876B2 (ja) | 回路基板洗浄方法及び洗浄装置 | |
| JP2005019991A (ja) | 基板処理装置 | |
| JP2002113430A (ja) | 基板処理装置 | |
| JPH06285440A (ja) | 洗浄乾燥装置 | |
| KR101246108B1 (ko) | 인쇄회로기판용 와이퍼의 세척장치 | |
| JPH10189526A (ja) | レチクルの洗浄方法及びその装置 | |
| JPH10256710A (ja) | プリント配線板のスルホール洗浄方法及びその装置 | |
| CN117939795B (zh) | 一种车用柔性镂空板的制备方法及其制备用清洗设备 | |
| JPH08222540A (ja) | リードフレームの洗浄装置 | |
| JP3537875B2 (ja) | 基板洗浄装置 | |
| JP2515254Y2 (ja) | エアー乾燥装置 | |
| KR102520849B1 (ko) | 보조용제의 세정 시스템 | |
| JP2000109986A (ja) | 液体吹き付け方法及び液体吹き付け装置 | |
| JP2755865B2 (ja) | リードフレームの洗浄および乾燥装置 | |
| KR0133343B1 (ko) | 스크린 마스크 세척장치 | |
| JP3215366B2 (ja) | 電子部品洗浄装置 |