KR100966131B1 - 판형체 반송 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 제작의 용이화를 도모할 수 있는 판형체 반송 장치를 제공한다.

이를 달성하기 위하여, 본 발명은 반송되는 판형체의 하면을 향해서 청정공기를 공급하여, 판형체를 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 기구가 구비되어 있는 판형체 반송 장치로서, 송풍식 지지 기구가 먼지를 제거하는 제진 필터(12)와, 상기 제진 필터(12)를 통해서 판형체(2)의 하면을 향해서 청정공기를 공급하는 송풍팬(13)을 구비하고 있다.

청정 공기, 송풍, 판형체, 반송, 먼지, 제진, 필터, 유리 기판

Description

판형체 반송 장치 {APPARATUS FOR TRANSPORTING PLATE-SHAPED WORK PIECE}

도 1은 제1 실시예의 판형체 반송 장치의 사시도이다.

도 2는 제1 실시예의 판형체 반송 장치의 정단면도이다.

도 3은 제1 실시예의 판형체 반송 장치의 정단면의 일부 확대도이다.

도 4는 제1 실시예의 반송 공간에서의 측단면도이다.

도 5는 제1 실시예의 수납 공간에서의 측단면도이다.

도 6은 제1 실시예의 추진력 부여 수단의 정단면도이다.

도 7은 제1 실시예의 추진력 부여 수단의 측단면도이다.

도 8은 제1 실시예의 반송 장치의 제어블럭도이다.

도 9는 제2 실시예의 판형체 반송 장치의 사시도이다.

도 10은 제2 실시예의 판형체 반송 장치의 정단면도이다.

도 11은 제2 실시예의 반송 유닛의 사시도이다.

도 12는 제2 실시예의 판형체 반송 장치의 평면도이다.

도 13은 제2 실시예의 전달 기구를 나타내는 정면도이다.

도 14는 판형체의 솟아오름 상태를 나타내는 작용도이다.

도 15는 다른 실시예의 배기량 조절 수단을 나타내는 정면도이다.

도 16은 다른 실시예의 배기량 조절 수단을 나타내는 평면도이다.

도 17은 다른 실시예의 배기량 조절 수단을 나타내는 정면도이다.

도 18은 다른 실시예의 배기량 조절 수단을 나타내는 평면도이다.

도 19는 다른 실시예의 배기량 조절 수단을 나타내는 정면도이다.

도 20은 다른 실시예의 배기량 조절 수단을 나타내는 평면도이다.

도 21은 다른 실시예의 반송 유닛을 나타내는 평면도이다.

도 22는 또 다른 실시예의 반송 유닛을 나타내는 평면도이다.

도 23은 제3 실시예의 반송 장치의 일부를 생략한 사시도이다.

도 24는 제3 실시예의 반송 장치의 일부 절개 측면도이다.

도 25는 다른 실시예의 송풍 유닛의 일부 확대 측단면도이다.

도 26은 다른 실시예의 송풍 유닛의 일부 확대 평면도이다.

도 27은 제4 실시예의 판형체 반송 기구의 측면도이다.

도 28은 제4 실시예의 주판형체 반송 유닛의 측면도이다.

도 29는 제4 실시예의 종속 판형체 반송 유닛의 측면도이다.

도 30은 다른 실시예의 주판형체 반송 유닛의 측면도이다.

* 도면의 부호의 설명

1: 판형체 반송 유닛 2: 유리 기판

2a: 유리 기판 하면 2b: 유리 기판 양단부

2c: 유리 기판 중간부 2d: 유리 기판 일단부

3: 송풍식 지지 수단 4: 추진력 부여 수단

4a: 구동측 추진력 부여 기구 4b: 종동측 추진력 부여 기구

5: 반송 케이스 7: 케이스

8: 수납 프레임

8a: 수납 프레임 내주벽 8b: 수납 프레임 아랫벽

8c: 수납 프레임 상벽 8d: 수납 커버

9, 9A: 구동롤러 9B: 종동롤러

9a: 구동롤러 대직경부 10: 전동 모터

12: 제진 필터 13: 송풍팬

14: 팬 필터 유닛 14A: 팬 필터 유닛의 하우징

15: 유닛용 프레임

15a: 지지 프레임 부분 15b: 판형 프레임 부분

16: 정류판 16a: 제1 통기구멍

16b: 제2 통기구멍 16c: 제3 통기구멍

17: 공기 배출구 18: 공기 도입구

19: 차단부 20: 반송 커버

21: 역류 방지 밸브 23: 서브팬 필터 유닛

24: 외부 배출구 26: 출력축

27: 전동축 28: 평치차

29: 출력 기어부 30: 입력 기어부

31: 커플링 33: 판형체 수직 반송 유닛

34: 타이밍벨트 36: 구동륜

37: 종동륜 38: 내부 지지륜

39: 외부 지지륜 40: 배기량 조절 수단

41: 분할 정류판 41a: 판형부분

41b: 다공형부 42: 실린더

45: 조절판 46: 모터

46a: 기어부 48: 유닛용 실린더

50: 전동식 모터 53: 송풍식 지지 기구

53a: 주요 부분 53b: 종속 부분

54: 통풍로 55: 가로 통풍로

56: 세로 통풍로 57: 팬케이스

57a: 팬케이스 도입구멍 58: 풍량 조절밸브

A: 반송 공간 B: 수납 공간

C: 챔버실 CP1: 제1순환로

CP2: 제2순환로 CP3: 제3순환로

EM: 전동 모터 H: 판형체 반송 장치

M1: 상측 반송부 M2: 하측 반송부

TS: 전동축 TG: 전달기어

VT: 수직 자세용 추진력 부여 수단

본 발명은 반송되는 판형체의 하면을 향해서 청정공기를 공급하여, 상기 판형체를 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단이 구비되어 있는 판형체 반송 장치에 관한 것이다.

[배경기술]

이러한 판형체 반송 장치는 액정용 유리 기판 등의 판형체를 반송하기 위해서 이용되는 것이다. 종래의 장치에서는, 판형체를 수평 또는 대략 수평 상태로 반송하기 위해, 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단이 구비되어 있었다. 추진력 부여 수단에는, 판형체의 양단부를 접촉 지지하면서 추진력을 부여하는 구동 회전체가 구비되어 있었다. 판형체는 그 중간부가 송풍식 지지 수단으로 지지된 상태에서 구동 회전체에 의해 판형체의 양단부가 접촉 상태로 지지되어, 수평 또는 대략 수평 상태로 반송된다. 송풍식 지지 수단은 판형체의 반송 경로를 따라 소정 간격을 두고 구비된 다수의 공기 분출부와, 압축펌프 등을 포함하는 공기 공급원을 구비하여, 공급원으로부터의 압축 공기를 다수의 공기 분출부로 분배 공급하도록, 공급원과 공기 분출부가 공급관으로써 접속되어 있었다. 그리고, 공기 분출부에서 분출되는 압축 공기를 상기 판형체의 양단부의 사이에 위치하는 중간부에 공급하여, 판형체의 중간부를 비접촉 상태로 지지하도록 구성되어 있었다(예를 들면, 일본 특개 2002-321820호 공보 참조).

또, 판형체를 수직 자세 또는 그것에 가까운 자세로 반송함으로써, 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단이 상기 판형체의 하단부를 접촉 지 지하면서 추진력을 부여하는 구동 회전체를 구비하여 구성되고, 그 추진력 부여 수단으로써 하단부를 접촉 지지하여, 수직 자세 또는 그것에 가까운 자세로 반송되는 판형체의 중간부를 송풍식 지지 수단으로써 지지하도록 되어 있었다. 송풍식 지지 수단은 판형체의 반송 경로를 따라 소정 간격을 두고 구비된 다수의 공기 분출부와, 에어블로워 등을 포함하는 공급원을 구비하여, 공급원으로부터의 압축 공기를 다수의 공기 분출부로 분배 공급하도록, 공급원과 공기 분출부가 공급관으로써 접속되며, 그리고, 공기 분출부에서 분출되는 압축 공기를 상기 판형체의 중간부에 공급하여, 판형체의 중간부를 비접촉 상태로 지지하도록 구성되어 있었다(예를 들면, 일본 특개 2002-308423호 공보 참조).

종래의 판형체 반송 장치에서는, 송풍식 지지 수단이 공기 공급원과 반송 방향으로 정렬되는 다수의 공기 분출부를 공급관으로써 접속하는 구성이기 때문에, 공급원과 다수의 공기 분출부를, 압축 공기가 누설되지 않도록 접속하는 복잡한 작업을 요하며, 판형체 반송 장치의 제작이 복잡하였다.

판형체의 반송 경로가 길어지면, 반송 방향을 따라 소정의 간격으로 구비되는 공기 분출부의 수가 많아지기 때문에, 공급원도 반송 방향을 따라 소정 간격을 두고 설치하여, 복수개의 공급원에서 다수의 공기 분출부에 대하여 압축 공기를 분담하여 공급하게 된다. 이와 같이 복수개의 공급원을 설치하면, 그 만큼 구성이 복잡하게 되며, 또한, 그 복수개의 공급원을 배치할 공간이 필요하게 되는 등의 단점을 초래하게 된다.

본 발명은 상기 실정을 감안한 것이며, 본 발명의 목적은 제작의 용이화를 도모할 수 있는 판형체 반송 장치를 제공하는데 있다.

또, 종래 기술에서는, 송풍식 지지 수단이 반송물의 하면부를 향해서 송풍하는 공기의 송풍량을 일정하게 하고 있으므로, 반송물을 비접촉 상태로 지지시키기 위해서만, 송풍식 지지 수단을 사용하게 되어 있다. 따라서, 종래의 반송 장치에서는, 반송물을 비접촉 상태로 지지하면서 반송할 수 밖에 없어, 다른 상황에 대응할 수 없게 되어 있다.

본 발명의 다른 목적은, 이 문제에 관해서, 다른 상황에 대응할 수 있는 반송 장치를 제공하는데 있다.

또한, 종래 기술에서는, 반송되는 판형체의 하방에는, 송풍식 지지 수단이 위치하고 있기 때문에, 판형체의 하면에 공급된 청정공기의 배출 경로는, 판형체와 송풍식 지지 수단의 사이를 통하여 송풍식 지지 수단의 옆쪽으로 배출하는 경로밖에 없고, 판형체의 중간부의 하방으로는 청정공기가 배출되기 어렵기 때문에 체류하기 쉽게 되어 있었다. 상기 체류에 의해, 판형체는 중간부가 솟아오른 형상으로 변형된 상태로 반송되기 때문에, 판형체에 대하여 큰 부하가 걸리고 있었다.

본 발명의 또 다른 목적은 송풍식 지지 수단의 청정공기의 공급에 의한 판형체에 대한 부하를 경감할 수 있는 판형체 반송 장치를 제공하는데 있다.

[과제를 해결하기 위한 수단]

제1 발명에 의하면, 판형체의 하면을 향해서 청정공기를 공급하여, 상기 판형체를 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단이 구비되어 있는 판형체 반송 장치에 있어서, 상기 송풍식 지지 수단이 먼지를 제거하는 제진 필터와, 상기 제진 필터를 통해서 상기 판형체의 하면을 향해서 청정공기를 공급하는 송풍 수단을 구비하고 있다.

따라서, 제진 필터를 판형체의 반송 방향이나 그 반송 방향에 직교하는 횡폭 방향으로 크게 함으로써, 송풍 수단으로부터의 공기를 제진 필터의 저항을 이용하여 균일화하고, 판형체의 하면에 광범위하게 공급할 수 있기 때문에, 송풍 수단과 다수의 제진 필터를 접속하는 통풍로를 구비하는 경우에도, 접속하는 제진 필터의 수가 적어도 되므로, 송풍 수단과 제진 필터를 접속하는 개소가 감소하여 조립 작업이 간단하게 되는 등, 송풍식 지지 수단의 설치가 간단히 행하여져, 제작의 용이화를 도모할 수 있는 판형체 반송 장치를 제공할 수 있다. 또한, 제진 필터의 송풍 아래쪽에 정류판 등을 설치함으로써 보다 균일화된 정상 공기를 판형체의 하면에 공급할 수 있다.

제2 발명에 의하면, 판형체에 대하여 반송 방향의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단이 구비되어 있고, 상기 추진력 부여 수단에는, 수평 또는 대략 수평 상태의 상기 판형체의, 상기 반송 방향과는 수직인 폭 방향의 양단부와 접촉하여 추진력을 부여하는 구동 회전체가 구비되어 있고, 상기 송풍식 지지 수단이 상기 판형체의 상기 양단부의 사이에 위치하는 부분을 지지하도록 구성되어 있다.

즉, 판형체의 양단부를 추진력 부여 수단의 구동 회전체로 접촉 지지하는 동시에, 판형체에서의 양단부의 사이에 위치하는 부분을, 송풍식 지지 수단에 의해서 비접촉 상태로 지지하고, 구동 회전체와 송풍식 지지 수단에 의해 지지된 판형체 를, 판형체의 양단부를 접촉 지지하는 구동 회전체로써 추진력을 부여한다.

따라서, 구동 회전체에 의하여, 양단부를 접촉 지지함으로써 판형체를 안정된 상태로 지지하고, 그 지지하는 구동 회전체에 의해 추진력이 부여되기 때문에 안정된 상태로 반송할 수 있는 동시에, 송풍식 지지 수단에 의하여, 판형체의 특정한 부분을 판형체의 파손을 억제하면서 판형체의 이완을 억제하도록 지지할 수 있기 때문에, 판형체는 안정된 자세로 지지된 상태로 반송되고, 판형체의 반송을 원활히 행할 수 있다.

제3 발명에 의하면, 제진 필터와 송풍 수단이 일체로 조합되어 송풍 유닛이 구성되어 있고, 상기 송풍 유닛을 판형체의 반송 방향으로 정렬시킴으로써 상기 송풍식 지지 수단이 구성되어 있다.

따라서, 송풍 장치와 제진 필터를 일체로 조립한 송풍 유닛을 판형체의 반송 방향으로 나란하게 구비하는 것만으로, 반송되는 판형체의 하면을 향해서 청정공기를 공급하여 판형체를 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단을 설치할 수 있기 때문에, 송풍식 지지 수단의 설치가 간단하게 되어, 제작의 용이화를 도모할 수 있는 판형체 반송 장치를 제공할 수 있다.

제4 발명에 의하면, 상기 송풍식 지지 수단이 상기 반송 방향으로 정렬된 복수의 상기 제진 필터와, 상기 송풍 수단으로부터의 공기를 복수의 상기 제진 필터에 분배 공급하는 통풍로를 구비하여 구성되어 있다.

즉, 통풍로에 의해 송풍 수단으로부터의 공기를 복수의 제진 필터에 분배 공급하는 구성이기 때문에, 제진 필터에 대하여 적은 수의 송풍 수단으로써 공기를 분배 공급할 수 있으므로, 송풍 수단의 수를 줄일 수 있음으로써, 송풍 수단에 대한 배선이 적어져 간소화되거나, 송풍식 지지 수단을 경량화시킬 수 있다.

제5 발명에 의하면, 상기 송풍식 지지 수단과 상기 판형체의 반송 경로를 수납하는 반송 공간을, 밀폐 상태 또는 대략 밀폐 상태로 덮는 반송 케이스가 구비되고, 상기 송풍 수단이 상기 반송 케이스내의 공기를 흡인하여, 그 흡인한 공기를 상기 제진 필터를 통해서 상기 판형체의 하면을 향해서 청정공기로서 공급하는 형태로, 상기 반송 공간 내의 공기를 순환시키도록 구성되어 있다.

즉, 반송 케이스에 의해, 송풍식 지지 수단과 상기 판형체의 반송 경로를 수납하는 반송 공간을, 밀폐 상태 또는 대략 밀폐 상태로 덮는 것에 의해, 외부에서 먼지가 반송 공간 내부로 진입할 가능성이 적어진다. 따라서, 반송 케이스를 구비함으로써, 판형체 반송 장치를 먼지가 많고 청정도가 그다지 높지 않은 개소에 구비되어도, 반송 공간 내의 청정도를 장기간에 걸쳐 높게 유지할 수 있다.

제6 발명에 의하면, 상기 반송 케이스가 상기 반송 공간 내의 공기의 일부를 배출하는 공기 배출부와, 외부 공기를 상기 반송 공간 내부로 도입하는 공기 도입부를 구비하여 구성되어 있다.

즉, 공기 배출부로부터 반송 공간 내의 공기의 일부를 배출하고, 공기 도입부로부터 외부 공기를 반송 공간 내로 도입함으로써, 반송 공간 내의 환기를 행할 수 있다. 따라서, 송풍식 지지 수단 등의 열 배출에 의한 반송 공간 내의 온도 상승을 억제할 수 있고, 반송 공간 내의 온도를 외부의 온도 또는 외부의 온도에 가까운 온도로 유지할 수 있다.

또, 송풍 유닛에 의해서 공기 도입부로부터 외부 공기를 반송 공간 내로 도입함으로써, 그 외부 공기의 도입에 의해 반송 케이스 내부가 가압되고, 반송 케이스 내부가 가압됨으로써, 공기 배출부나 반송 케이스의 간극 등으로부터 반송 공간 내의 공기의 일부가 배출되게 된다.

따라서, 송풍 유닛에 의해 반송 공간 내는 가압 상태가 되기 때문에, 공기 배출부나 반송 케이스의 간극으로부터 반송 케이스밖의 공기가 반송 공간 내로 진입하는 것을 방지할 수 있고, 반송 공간 내의 청정도를 장기간에 걸쳐 유지할 수 있다.

제7 발명에 의하면, 상기 공기 배출부로부터 배출되는 공기를 제진하여 외부로 배출하는 외부 배출 수단이 구비되어 있다.

즉, 공기 배출부로부터 배출되는 반송 공간 내의 공기는 외부 배출 수단으로써 제진한 후 배출하며, 반송 공간 내에서 송풍식 지지 수단 등으로부터 발생된 먼지의 외부로의 배출을 외부 배출 수단으로써 방지함으로써, 반송 공간 내부로부터 외부로 배출되는 공기의 청정도를 높게 할 수 있다. 따라서, 반송 공간 내에서 외부로 배출되는 공기는 세정도가 높기 때문에, 판형체 반송 장치를 청정실 등의 청정도가 높은 개소에 설치해도, 그 청정도를 높게 유지할 수 있다.

제8 발명에 의하면, 상기 추진력 부여 수단에서의 상기 구동 회전체에 대한 구동 수단을 수납하는 수납 공간을 대략 밀폐 상태로 덮는 수납 케이스가, 상기 반송 케이스의 횡측에 인접하는 상태로 구비되고, 상기 반송 케이스의 상기 공기 배출부가 상기 반송 공간 내의 공기를 상기 수납 공간 내로 배출하도록 구성되고, 상기 외부 배출 수단이 상기 수납 공간 내의 공기를 흡인하여, 그 공기를 제진하여 외부로 배출하도록 구성되어 있다.

즉, 반송 공간 내의 공기의 일부를 공기 배출부로부터 수납 공간 내부로 배출하여 수납 공간 내의 공기와 혼합시키며, 그리고, 반송 공간 내의 공기의 일부를 혼합시킨 수납 공간 내의 공기를, 외부 배출 수단으로써 흡인하는 동시에 제진하여 외부로 배출하기 위해, 외부 배출 수단에 의해 반송 공간 내에서 송풍식 지지 수단 등으로부터 발생된 먼지와 함께, 수납 공간 내에서 구동 수단 등으로부터 발생된 먼지도 외부로의 배출을 방지할 수 있으므로, 수납 공간 내부로부터 배출되는 공기의 청정도를 높게 할 수 있기 때문에, 더욱 청정실 등의 외부의 청정도를 높게 유지할 수 있다.

또, 외부 배출 수단에 의해서 수납 케이스 내부의 공기를 외부로 배출시킴으로써, 그 공기의 배출에 의해 수납 케이스 내부가 감압되고, 수납 케이스 내부가 감압됨으로써, 공기 배출부나 수납 케이스의 간극으로부터 수납 공간 내로 공기가 도입되게 된다. 따라서, 외부 배출 수단에 의해 수납 공간 내부는 감압 상태로 되므로, 공기 배출부나 수납 케이스의 간극으로부터 먼지가 비교적 많은 반송 케이스 내부의 공기가 수납 공간 외부로 배출되는 것을 방지할 수 있고, 반송 공간이나 청정실의 수납 공간 외부의 청정도를 장기간에 걸쳐 유지할 수 있다.

제9 발명에 의하면, 상기 송풍식 지지 수단이 상기 제진 필터를 통과한 청정공기를 유동시키는 판형의 다공체와, 상기 다공체의 통기구멍에서의 청정공기의 흐름을 허용하는 상태에서 청정공기의 흐름 방향으로 상기 통기구멍을 막는 차단부를 구비하여 구성되어 있다.

즉, 차단부로써, 상기 다공체의 통기구멍에서의 청정공기의 흐름을 허용하는 상태에서 청정공기의 흐름 방향으로 상기 통기구멍을 막는 것에 의해, 송풍식 지지 수단을 청정공기의 흐름 방향으로 볼 때, 통기구멍으로부터 제진 필터가 보이지 않게 되므로, 송풍식 지지 수단의 외관, 따라서 판형체 반송 장치의 외관이 좋게 된다.

특히, 판형체로서 액정의 유리 기판을 반송하는 경우, 그 반송되는 유리 기판의 결함검사, 특성검사, 에지검사 등의 검사를 행하기 위해, 판형체 반송 장치의 반송면, 즉, 반송되는 유리 기판의 하면과 대향하는 면을 흑색으로 할 것이 요구되지만, 송풍식 지지 수단에서는, 다공체나 차단부를 흑색으로 함으로써 반송면을 용이하게 흑색으로 할 수 있다.

제10 발명에 의하면, 상기 판형체를 반송하는 상하 2단의 반송부가 구비되고, 그 상하 2단의 반송부 중의 상측의 반송부가, 하측의 반송부의 상방을 개방하도록 일단측을 지점으로 하여 상방측으로 요동 조작할 수 있도록 구성되어 있다.

판형체를 반송하는 반송부를 상하 2단으로 구비했다고 해도, 상측의 반송부를 일단측을 지점으로 상방측으로 요동 조작함으로써, 하측의 반송부의 상방이 개방되기 때문에, 하단의 반송부의 유지보수를 용이하게 행할 수 있다.

또한, 반송부를 상하 2단으로 한 경우, 반송 케이스도 상하 2단으로 구비하여 상단의 반송부와 하단의 반송부를 각각 반송 케이스에 수납할 수도 있으며, 또, 상단의 반송부와 하단의 반송부를 하나의 반송 케이스에 수납할 수도 있다.

제11 발명에 의하면, 상기 송풍 수단이 상기 반송물의 하면부를 향해서 송풍하는 공기의 송풍량을, 상기 반송물을 비접촉 상태로 지지하는 제1 송풍량과 상기 제1 송풍량과는 상이한 송풍량으로 변경 가능하게 구성되어 있다.

즉, 송풍식 지지 수단은 제진 필터를 통해서 반송물의 하면부를 향해서 청정공기를 송풍하는 송풍 수단을 구비하고 있기 때문에, 송풍 수단으로써 송풍되는 청정공기로써 반송물에의 먼지의 부착을 방지하면서, 반송물을 비접촉 상태로 반송할 수 있다.

그리고, 송풍 수단은 반송물의 하면부를 향해서 송풍하는 공기의 송풍량을, 제1 송풍량 뿐 아니라, 상기 제1 송풍량과는 상이한 송풍량으로도 변경할 수 있기 때문에, 반송물을 비접촉 상태로 지지시키기 위한 용도뿐만 아니라 기타 용도에도 송풍식 지지 수단을 사용할 수 있다.

상기로부터, 반송 장치의 용도로서, 반송물을 비접촉 상태로 지지하면서 반송한다고 하는 용도뿐만 아니라, 예를 들면, 반송 경로상에 먼지 등이 부유하는 것을 방지하거나, 또는 반송 경로 상에 축적되어 있는 먼지 등의 이물질을 불어날리는 등 다른 용도도 실현할 수 있어, 다른 상황에 대응할 수 있는 반송 장치를 제공할 수 있게 되었다.

제12 발명에 의하면, 상기 송풍 수단이 상기 반송물의 하면부를 향해서 송풍하는 공기의 송풍량을 상기 제1 송풍량보다도 작은 설정 송풍량으로 변경 가능하게 구성되어 있다.

즉, 송풍 수단을, 반송물의 하면부를 향해서 송풍하는 공기의 송풍량이 설정 송풍량으로 되도록 작동시킴으로써, 송풍 수단을 작동시키기 위해서 필요하게 되는 에너지량을 매우 작게 하면서, 반송물의 반송 경로 상에 청정공기를 송풍하여, 반송물의 반송 경로 상에 먼지 등이 부유하는 것을 방지할 수 있다.

따라서, 반송 장치의 용도로서 반송물을 비접촉 상태로 지지하면서 반송한다고 하는 용도뿐만 아니라, 반송 경로상에 먼지 등이 부유하는 것을 방지한다고 하는 용도도 실현할 수 있다.

제13 발명에 의하면, 상기 송풍 수단이 상기 반송물의 하면부를 향해서 송풍하는 공기의 송풍량을 상기 지지용 공기량보다도 큰 설정 송풍량으로 변경 가능하게 구성되어 있다.

즉, 송풍 수단을, 반송물의 하면부를 향해서 송풍하는 공기의 송풍량이 설정 송풍량이 되도록 작동시킴으로써, 반송물의 반송 경로 상에 송풍량이 큰 공기를 송풍하여, 반송 경로 상에 축적되어 있는 먼지 등의 이물을 불어날리는 것이 가능해진다.

따라서, 반송 장치의 용도로서, 반송물을 비접촉 상태로 지지하면서 반송한다고 하는 용도뿐만 아니라, 반송 경로 상에 축적되어 있는 먼지 등의 이물을 불어날리는 용도도 실현할 수 있다.

제14 발명에 의하면, 송풍식 지지 수단과 수납 공간의 사이에, 공기가 하방으로 이동하는 것을 허용하는 제1 순환로가 형성되어 있다. 상기 제1 순환로에 의해 송풍식 지지 수단에 의해 판형체에 대하여 이송된 공기를 아랫 방향으로 순환시킬 수 있다.

제15 발명에 의하면, 상기 판형체의 반송 방향과 직교하는 횡폭 방향의 중간 개소에 상기 판형체의 하면에 공급되는 청정공기를 하방으로 배기하는 제2 순환로가 상기 송풍식 지지 수단에 형성되어 있다.

즉, 송풍식 지지 수단에서의 횡폭 방향의 중간 개소, 즉, 반송되는 판형체의 중간부의 하방 개소에, 청정공기를 하방으로 배기시키는 제2 순환로가 형성되어 있기 때문에, 판형체의 하면에 공급된 청정공기는 송풍식 지지 수단의 횡폭 방향의 중간 개소에 형성된 제2 순환로를 통해 하방으로 배출되고, 판형체의 중간부의 하방으로 청정공기가 배출되기 쉽기 때문에, 판형체의 중간부의 하방에 청정공기가 체류하기 어려우므로, 반송되는 판형체는 중간부의 솟아오름이 억제된 수평자세에 가까운 상태로 반송되고, 판형체에 대한 부하를 경감시킬 수 있다.

따라서, 판형체의 하면에 공급된 청정공기를 송풍식 지지 수단의 횡폭 방향의 중간 개소에 형성한 제2 순환로로부터 배출시킴으로써, 판형체의 중간부의 하방에 청정공기가 체류함에 따른 판형체의 솟아오름을 억제할 수 있기 때문에, 송풍식 지지 수단의 청정공기의 공급에 의한 판형체에 대한 부하를 경감할 수 있는 판형체 반송 장치를 제공할 수 있다.

제16 발명에 의하면, 상기 제1 특징구성에 부가하여, 상기 송풍식 지지 수단이 상기 제진 필터와 상기 송풍 수단을 일체로 조립한 송풍 유닛을, 상기 반송 방향과 상기 횡폭 방향으로 정렬하여 구성하고, 상기 제2 순환로가 상기 횡폭 방향으로 정렬되는 송풍 유닛 사이를 이격시킴으로써 형성되어 있다.

즉, 송풍 장치와 제진 필터를 일체로 조립한 송풍 유닛을 반송 방향으로 나 란하게 구비하는 것만으로, 판형체를 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단을 설치할 수 있기 때문에, 송풍식 지지 수단의 설치가 간단하게 되며, 또, 송풍 유닛을 횡폭 방향으로 나란하게 구비할 때에, 그 횡폭 방향으로 정렬되는 송풍 유닛 사이를 이격하는 상태로 정렬시키는 것만으로 제2 순환로를 형성할 수 있기 때문에, 제2 순환로를 용이하게 형성할 수 있다.

또, 판형체를 횡폭 방향에서의 양단부를 지지하여 반송하는 경우에서는, 청정공기의 공급에 의해, 판형체는 반송 방향으로 볼 때로 중간부가 솟아오르기 쉽지만, 횡폭 방향으로 정렬되는 송풍 유닛 사이를 이격시킴으로써, 반송 방향을 따라 긴 제2 순환로를 형성할 수 있기 때문에, 판형체의 반송 방향에서 볼 때의 중간부의 솟아오름을 효과적으로 억제할 수 있다.

제17 발명에 의하면, 상기 제2 순환로의 배기량을 조절할 수 있는 배기량 조절 수단이 설치되어 있다.

즉, 배기량 조절 수단에 의해 제2 순환로의 배기량을 조절할 수 있으므로, 반송하는 판형체의 두께나 크기, 형상 등이 변화되어도, 그 판형체의 두께나 크기, 형상 등에 알맞은 배기량으로 조절할 수 있기 때문에, 다른 상황에 대응할 수 있는 판형체 반송 장치를 제공할 수 있다.

제18 발명에 의하면, 상기 송풍식 지지 수단이, 그 상부측에 위치되어 상기 판형체의 하면에 공급되는 청정공기의 정류를 행하는 다공체를 구비하여 구성되고, 상기 다공체가 상기 제2 순환로로 통풍시키는 통기부를 구비하여 구성되어 있다.

즉, 판형체의 하면을 향해서 공급되는 청정공기는, 다공체에 의해 정류되어 판형체의 하면에 공급되므로, 판형체의 하면에는 광범위하게 균일화된 청정공기를 공급할 수 있고, 판형체의 하면의 일부분에 집중하여 청정공기가 공급되는 것에 의한 판형체의 솟아오름을 억제할 수 있으며, 또한, 송풍식 지지 수단의 상부측에 위치하도록 다공체를 구비하고 있어도, 상기 다공체에는 제2 순환로로 통풍시키는 통기부가 구비되어 있기 때문에, 판형체의 하면에 공급되는 청정공기는 통기부와 제2 순환로를 통하여 하방으로 배출될 수 있다. 따라서, 다공체를 구비함으로써, 청정공기의 공급에 의한 판형체에 대한 부하를 더욱 경감할 수 있다.

제19 발명에 의하면, 상기 다공체가 상기 횡폭 방향으로 분할되어 복수의 판형부분으로 구성되고, 이들 복수의 판형부분이 상기 횡폭 방향으로 이격되는 것 사이를 간격을 두고 위치시켜, 상기 통기부를 형성하도록 구성되고, 상기 배기량 조절 수단이 상기 다공체에서의 상기 판형부분 사이의 간격을 조절함으로써 상기 제2 순환로의 배기량을 조절하도록 구성되어 있다.

즉, 다공체를 횡폭 방향으로 분할하여 복수의 판형부분으로 구성하고, 그 횡폭 방향으로 인접하는 판형부분 사이를 간격을 두고 위치시킴으로써, 통풍부가 형성되도록 구성되므로, 다공체에 구멍 등을 형성할 필요가 없어 통기부를 용이하게 형성할 수 있다.
제20 발명에 의하면, 상기 배기량 조절 수단이 상기 통기부의 개구량을 조정하는 조절판을 구비하여 구성되어 있다.

즉, 배기량 조절 수단이 다공체에 구비된 통기부의 개구량을 조절판에 의해 조절하는 구성이기 때문에, 조절판은 다공체보다 소형으로 구성하기 쉽고, 그 소형으로 구성된 조절판을 움직이는 동력이 작아도 되므로, 배기량 조절 수단의 구동 구조를 소형으로 구성하기 쉽다.

제21 발명에 의하면, 상기 송풍식 지지 수단이 상기 송풍 유닛을 반송 방향으로 나란하게 구성하고, 상기 반송 방향으로 정렬되는 송풍 유닛 사이를 이격시킴으로써, 상기 판형체의 하면에 공급되는 청정공기를 하방으로 배기하는 제3 순환로가 형성되어 있다.

즉, 송풍 유닛을 반송 방향으로 정렬시킬 때에, 그 반송 방향으로 정렬하는 송풍 유닛 사이를 이격하는 상태로 정렬시키는 것만으로 제3 순환로를 형성할 수 있기 때문에, 배기로를 용이하게 형성할 수 있다.

또, 반송 방향으로 정렬되는 송풍 유닛 사이를 이격시킴으로써, 횡폭 방향을 따라 긴 통풍로를 형성할 수 있으므로, 판형체의 횡폭 방향에서 볼 때의 중간부의 솟아오름을 효과적으로 억제할 수 있다.

제22 발명에 의하면 상기 판형체에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단이, 상기 판형체의 일단측을 접촉 지지하는 구동 회전체와, 타단측을 접촉 지지하는 종동 회전체와, 상기 구동 회전체에 대한 구동 기구와, 상기 구동 기구의 동력을 종동 회전체에 전달하는 전달 기구를 구비하여, 상기 판형체의 양단부를 구동 회전체와 종동 회전체에 의해 접촉 지지하면서 추진력을 부여하도록 구성되고, 상기 전달 기구가 상기 제3 순환로에 배치되어 있다.

즉, 판형체의 일단측을 지지하는 구동 회전체와 타단측을 지지하는 종동 회전체와 회전시키기 위한 구동 기구가 하나이면 되기 때문에, 구동 기구에 대한 배선 등을 간소화할 수 있으며, 또, 구동 회전체와 종동 회전체를 동기시키기 쉽기 때문에, 구동 회전체와 종동 회전체의 회전 속도에 차이가 생기는 것에 의한 판형체의 어긋남을 억제할 수 있다.

그리고, 구동 회전체와 종동 회전체를 반대측에 배치하고, 구동 기구를 구동 회전체 근처에 배치한 경우, 구동 회전체와 종동 회전체 사이에는 송풍식 지지 수단이 위치하기 때문에, 구동 기구의 동력을 종동 회전체에 전달하는 전달 기구가 배치하기 어렵지만, 송풍식 지지 수단에서의 반송 방향으로 정렬되는 송풍 유닛 사이를 이격시켜 제3 순환로가 형성되기 때문에, 전달 기구를 상기 제3 순환로를 이용하여 배치함으로써, 전동 기구를 송풍식 지지 수단의 하방을 우회시킬 필요가 없어져, 전달 기구의 구성, 따라서, 추진력 부여 수단의 구성을 간단하게 할 수 있다.

이하, 본 발명에 의한 판형체 반송 장치를 도면을 참조하여 설명한다.

판형체의 예로서 액정용 유리 기판을 사용한다.

이하, 다수의 실시예가 설명되지만, 각각의 실시예에서 개시되는 특징은 그 실시예서만 이용할 수 있는 것이 아니고, 모순이 생기지 않는 한 다른 실시예에도 적용 가능하다.

도 1에 도시한 바와 같이, 판형체 반송 장치(H)는 복수의 반송 유닛(1)을 유리 기판(2)의 반송 방향으로 정렬시킨 상태로 구비하고 있다. 유리 기판(2)은 자동적 또는 인위적으로, 반송 위쪽에 위치하는 반송 유닛(1)에 적재되고, 송풍식 지지 수단(3)과 추진력 부여 수단(4)으로 지지되면서, 추진력 부여 수단(4)에 의해 반송 위쪽으로부터 반송 아래쪽을 향해서 반송된다.

반송 아래쪽에 위치하는 반송 유닛(1)에 반송된 유리 기판(2)은 이동기 등에 의하여 다른 개소에 이동된다. 판형체 반송 장치(H)는 도 1 내지 도 3에 도시되고, 이후에 설명되는 바와 같이, 상하 방향으로 2단으로 배치되고, 동일 구조를 가지는 부분(M1, M2)을 가진다.

도 2와 도 3에 도시한 바와 같이, 반송 유닛(1)의 각각은 수평 또는 대략 수평 상태로 반송되는 유리 기판(2)의 하면(2a)을 향해서 청정공기를 공급하여, 유리 기판(2)을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단(3)과, 유리 기판(2)의 양단부(2b)를 접촉 지지하면서 추진력을 부여하는 구동 회전체로서의 구동롤러(9)를 구비하고, 유리 기판(2)에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단(4)과, 후술하는 반송 공간(A) 및 수납 공간(B)을 대략 밀폐 상태로 덮는 케이스(7)를 구비하고 있다.

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 송풍식 지지 수단(3)은 유리 기판(2)의 반송 방향으로 정렬된 팬 필터 유닛(14)(fan filter unit)에 의해 구성되어 있다. 상기 팬 필터 유닛(14)으로서, 청정실 등에 이용되는 수납 장치의 배면에 장착되고, 수납 공간에 청정 공기를 공급하는 유닛이 이용되고 있다.

송풍 유닛으로서의 팬 필터 유닛(14)은 먼지를 제거하는 ULPA(Ultra Low Penetration Air) 필터인 제진 필터(12)와, 상기 제진 필터(12)를 통해서 유리 기판(2)의 하면(2a)을 향해서 청정공기를 공급하는 송풍 수단으로서의 송풍팬(13)이 하우징(14A) 내에 수용되고, 지지됨으로써 일체로 조립되어 구성되어 있다. 즉, 송풍식 지지 수단(3)에서의 팬 필터 유닛(14)은 유리 기판(2)의 반송 방향에 직교하는 횡폭 방향으로 정렬된 2개의 송풍팬(13)과, 상기 2개의 송풍팬(13)의 상방을 덮는 하나의 제진 필터(12)와, 상기 제진 필터(12)를 통과한 청정공기의 정풍(整風)을 행하는 판형의 다공체로서의 정류판(16)을 구비하여 구성되어 있다. 정류판(16)도 하우징(14A)에 지지되어 있다. 송풍팬(13)은 전동 모터(EM)에 의해 팬이 회전 구동하는 전동식이다. 정류판(16)에는 펀칭(punching press)에 의해 형성된 통기구멍(16a)이 전체면에 형성되어 있다.

그리고, 송풍팬(13)은, 하방의 공기를 흡인하여, 그 공기를 제진 필터(12)가 위치하는 바로 위를 향해서 공급한다. 상기 제진 필터(12)의 바로 위를 향해서 공급된 공기가, 제진 필터(12)를 통과하고, 정류판(16)의 통기구멍(16a)을 통하여 유리 기판(2)의 하면(2a)에서, 반송 방향과 직교하는 횡폭 방향의 중간 영역(2c)에 청정공기로서 직접 공급되고, 그 청정공기로써 유리 기판(2)의 중간 영역(2c)을 지지한다. 상기 팬 필터 유닛(14)은 반송 케이스(5) 내의 공기를 흡인하여, 그 흡인한 공기를 제진 필터(12)를 통해서 유리 기판(2)의 하면을 향해서 청정공기로서 공급함으로써, 반송 공간(A) 내의 공기를 순환시킨다.

상기 케이스(7)는 팬 필터 유닛(14)을 지지하는, 평면에서 볼 때 대략 장방형의 유닛용 프레임(15)과, 유닛용 프레임(15)의 양단부 각각에 반송 방향을 따라 구비된 좌우 한 쌍의 수납 프레임(8)과, 우측의 수납 프레임(8)의 상단부로부터 좌측의 수납 프레임(8)의 상단부에 걸쳐 연장되는 반송 커버(20)를 구비하고 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 수납 프레임(8) 각각은 상부벽(8c), 하부벽(8b) 및 반송 공간(A)측 내주벽(8a)을 구비한, 반송 방향에서 볼 때 대략 C자형으로 형성되고, 반송 공간(A) 측과 반대측에 수납 커버(8d)가 구비되어 있다.

도 3에 도시한 바와 같이, 유닛용 프레임(15)과 상기 수납 프레임(8)의 내주벽(8a)과 반송 커버(20)에 의해, 송풍식 지지 수단(3)과 추진력 부여 수단(4)과 유리 기판(2)의 반송 경로를 수납하는 반송 공간(A)을, 대략 밀폐 상태로 덮는 반송 케이스(5)가 구성되어 있다. 또, 상부벽(8c), 하부벽(8b) 및 수납 커버(8d)에 의해, 추진력 부여 수단(4)의 전동 모터(10)를 수납하는 수납 공간(B)을 대략 밀폐 상태로 덮는 수납 케이스(6)가 구성되어 있다. 또한, 반송 공간(A) 및 수납 공간(B)은 반송 방향으로 나란하게 설치된 반송 상부쪽의 반송 유닛(1)과 반송 하부쪽의 반송 유닛(1)으로 서로 연통되어 있고, 판형체 반송 장치(H)에서 가장 반송 상부쪽에 위치하는 반송 유닛(1)은 반송 공간(A) 및 수납 공간(B)의 반송 상부쪽 단부가 반송 케이스(5) 및 수납 케이스(6)로 폐쇄되고, 가장 반송 하부쪽에 위치하는 반송 유닛(1)은 반송 공간(A) 및 수납 공간(B)의 반송 하부쪽 단부가 반송 케이스(5) 및 수납 케이스(6)로 폐쇄되어 있다. 또, 반송 공간(A)은 반송 커버(20)를 분리함으로써 상방을 개방하는 것이 가능하고, 수납 공간(B)은 수납 커버(8d)를 분리함으로써 측면을 개방하는 것이 가능하다.

상기 유닛용 프레임(15)은 프레임 부재를 가지는 지지 프레임 부분(15a)과, 지지 프레임 부분보다 하방으로 위치하여 외부 공기를 반송 공간(A) 내부에 도입하는 공기 도입부로서의 공기 도입구(18)를 구비한 판형의 판형 프레임 부분(15b)으로 구성되어 있다. 수납 프레임(8)의 내주벽(8a)에는 반송 공간(A) 내의 공기의 일부를 수납 공간(B)으로 배출하는 공기 배출부로서의 공기 배출구(17)가 구비되어 있다. 또, 수납 프레임(8)의 하부벽(8b)에는 수납 공간(B)의 공기를 외부로 배출하는 외부 배출구(24)가 형성되어 있다. 상기 외부 배출구(24)에는 송풍 기능과 제진 기능을 가지는 외부 배출 수단으로서의 서브팬 필터 유닛(23)(sub-fan-filter unit)이 구비되어 있다.

그리고, 반송 공간(A)과 수납 공간(B)이 상기 공기 배출구(17)에 의해 연통되어 있고, 공기 배출구(17)로부터 배출되는 공기는 공기 배출구(17)를 통하여 수납 공간(B)으로 배출된다. 또, 상기 공기 배출구(17)에는 반송 공간(A)측으로부터 수납 공간(B)측으로의 공기의 흐름을 허용하고, 수납 공간(B)측으로부터 반송 공간(A)측으로의 공기의 흐름을 방지하는 역류 방지 밸브(21)가 구비되어 있다.

즉, 송풍팬(13)의 송풍작용에 의해, 반송 공간(A) 내에서 공기를 순환시키는 동시에, 외부 공기를 공기 도입구(18)로부터 반송 공간(A) 내에 도입하며, 또한, 반송 공간(A) 내에서 순환하는 공기의 일부를 공기 배출구(17)로부터 수납 공간(B) 내부로 배출함으로써, 반송 공간(A) 내의 순환하는 공기의 일부가 교환된다. 수납 공간(B) 내부로 배출된 공기는 서브팬 필터 유닛(23)에 의해서 흡인되고, 그 공기가 제진되어 외부 배출부(24)로부터 외부로 배출된다.

따라서, 반송 공간(A) 내의 공기는 다음과 같이 순환한다. 반송 공간(A) 내의 공기는 송풍팬(13)에 의해 흡인되고, 제진 필터(12)와 정류판(16)을 통하여 유리 기판(2)의 하면(2a)을 향해서 청정공기로서 공급된다. 또, 외부 공기가 공기 도입구(18)로부터 반송 공간(A) 내부로 도입되어, 반송 공간(A) 내부가 가압됨으로 써, 반송 공간(A) 내에서 순환하는 공기의 일부가 공기 배출구(17)로부터 수납 공간(B)으로 배출되거나, 수납 프레임(8)과 반송 커버(20)의 간극 등으로부터 외부로 배출되어, 반송 공간(A) 내부의 순환하는 공기의 일부가 교환된다. 따라서, 반송 공간(A)에서 공기는 가압되는 상태이기 때문에, 공기 배출구(17)로부터 수납 공간(B) 내부의 공기나 수납 프레임(8)과 반송 커버(20)의 간극 등으로부터의 외부 공기의 진입을 방지할 수 있으며, 또, 반송 공간(A) 내부의 공기의 일부를 교환함으로써 반송 공간(A) 내부의 온도 상승을 억제할 수 있다.

그리고, 수납 공간(B)에서 서브팬 필터 유닛(23)에 의해, 수납 공간(B) 내부의 공기가 외부 배출구(24)로부터 외부로 배출되어, 수납 공간(B) 내부가 감압됨으로써, 상부벽(8c)과 수납 커버(8d)의 간극이나 공기 배출구(17) 등으로부터 공기가 수납 공간(B) 내부로 도입되어, 수납 공간(B) 내부의 공기의 일부가 교환된다. 따라서, 수납 공간(B)에서 공기가 감압되어 있는 상태이기 때문에, 공기 배출구나 상부벽(8c)과 수납 커버(8d)의 간극 등으로부터의 수납 공간(B) 내부의 공기의 진출을 방지할 수 있으며, 또, 수납 공간(B) 내부의 공기의 일부를 교환함으로써 수납 공간(B) 내부의 온도 상승을 억제할 수 있다.

다음에, 상기 추진력 부여 수단(4)에 대해 도 5 내지 도 8을 참조하여 상술한다. 도 5에 도시된 바와 같이, 수납 공간(B) 내에, 반송 방향으로 복수개 정렬되고, 서로 커플링(31)에 의해서 연동 연결된 전동축(27)과, 상기 전동 모터(10)가 구비되어 있다. 또, 수납 프레임(8)의 내벽(8a)에, 수납 공간(B)측과 반송 공간(A)측으로 각각 돌출되는 다수의 출력축(26)이, 반송 방향을 따라 간격을 두고 회전 가능하게 지지되어 있다. 출력축(26)의 반송 공간(A)측으로 돌출되는 부분에는, 대직경부(9a)를 설치한 상기 구동롤러(9)가 구비되어 있다. 출력축(26)의 수납 공간(B)측으로 돌출되는 부분에는, 치차로 구성된 입력 기어부(30)가 구비되어 있다. 또, 다수의 전동축(27) 중 하나의 전동축에는, 평치차(28)가 구비되어 있다. 이 평치차(28)가 전동 모터(10)의 기어부에 맞물려 있다. 전동축(27)에는, 다수의 출력축(26) 각각에 출력 기어부(29)가 구비되어 있고, 이들과 출력축(26)의 입력 기어부(30)가 서로 맞물려 있다.

즉, 추진력 부여 수단(4)은 상기 전동 모터(10), 출력축(26), 전동축(27) 및 구동롤러(9)를 구비하며, 상기 구동롤러(9)는 전동 모터(10)의 구동력에 의해 회전 구동하도록 구성되어 있다. 출력축(26)은 칼라 부재(collar member)(CM)를 통하여 회전 가능하게 수납 프레임(8)의 내벽(8a)에 지지되어 있다.

따라서, 도 3에 도시된 바와 같이, 유리 기판(2)은 추진력 부여 수단(4)의 구동롤러(9)로써 양단부(2b)가 접촉 상태로 지지된 상태에서 송풍식 지지 수단(3)의 청정공기로써 중간 영역(2c)이 비접촉 상태로 지지되며, 그리고, 회전 구동되는 구동롤러(9)에 의해서 추진력이 부여됨으로써, 반송 방향을 따라 반송된다. 이 때, 구동롤러(9)의 대직경부(9a)에 의해 반송 방향과 교차하는 방향으로의 위치 어긋남이 규제된다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 판형체 반송 장치(H)에는 유리 기판(2)을 반송하는 상하 2단의 반송부(M1, M2)가 구비되고, 그 상하 2단의 반송부(M1, M2) 중 상측의 반송부(M1)가 하측의 반송부(M2)의 상방을 개방하도록 일단측을 지점으 로 하여 상방측으로 요동 조작할 수 있도록 구성되어 있다. 즉, 반송 유닛(1) 각각은 반송 케이스(5)가 상하 2단으로 구비되어 있고, 상기 반송 케이스(5)의 각각에 송풍식 지지 수단(3)이나 추진력 부여 수단(4) 등으로 구성되는 반송부(M1, M2)가 수납되어 있다. 그리고, 상측의 반송 케이스(5)를 축심(P)을 중심으로 상방측으로 요동시킴으로써, 상기 상측의 반송 케이스(5)와 함께 상측의 반송부(M)도 상방측으로 요동되고, 하측의 반송 케이스(5)의 상방이 개방되고, 하측의 반송 케이스(5)의 커버(20)를 분리함으로써 반송 공간(A) 내부를 상방으로부터 유지보수 할 수 있다. 수납 공간(B)에 대하여 유지보수 작업을 행할 때는, 수납 커버(8d)를 분리함으로써, 수납 공간(B)을 개방하여, 유지보수 작업을 행할 수 있다.

또한, 상하 2단의 반송부(M1, M2)의 사용 형태로는, 상측의 반송부(M1)와 하측의 반송부(M2)의 반송 방향을 역 방향으로 하고, 상단의 반송부(M1)로써 유리 기판(2)을 반송원으로부터 반송처로 반송하고, 하단의 반송부(M2)로써, 동일 공정을 행하는 유리 기판(2)이나, 불량인 유리 기판(2) 등을 반송처로부터 반송원으로 반송하는 것이 가능하다. 이것 대신하여, 상측의 반송부(M1)와 하측의 반송부(M2)의 반송 방향을 동일 방향으로 하고, 상측의 반송부(M1) 및 하측의 반송부(M2)에 의해 판형체를 반송원으로부터 반송처로 반송하는 형태가 가능하다.

판형체 반송 장치의 제어부(H)는 도 8에 도시된 바와 같이, 운전명령 스위치(S)에서의 명령에 따라, 복수의 반송 유닛(1)의 각각에 대해, 전동 모터(EM)의 작동개시 및 작동정지, 팬 필터 유닛(14)의 작동 상태, 및, 서브팬 필터 유닛(23)의 작동개시 및 작동정지를 제어한다.

상기 팬 필터 유닛(14)에서 송풍팬(13)은 유리 기판(2)의 하면부를 향해서 송풍하는 공기의 송풍량을 운전명령 스위치(S)에서의 명령에 따라, 유리 기판(2)을 비접촉 상태로 지지하는 지지용 송풍량과 상기 지지용 송풍량과는 상이한 송풍량으로 변경 가능하게 구성되어 있다. 구체적으로는, 송풍팬(13)이 지지용 송풍량과, 지지용 송풍량보다도 작은 설정 송풍량과, 지지용 공기량보다도 큰 설정 송풍량의 복수단의 송풍량으로 변경 가능하게 구성되어 있다.

그리고, 제어부(H)는 운전명령 스위치(S)에서 반송개시가 명령되면, 추진력 부여 수단의 전동 모터(10) 및 서브팬 필터 유닛(23)을 작동시키는 동시에, 유리 기판(2)의 하면부를 향해서 송풍하는 공기의 송풍량이 지지용 송풍량으로 되도록 송풍팬(13)을 작동시키도록 구성되어 있다. 또, 제어부(H)는 운전명령 스위치(S) 등에 의해 소풍량 운전이 명령되면, 전동 모터(10)를 작동시키지 않고서, 유리 기판(2)의 하면부를 향해서 송풍하는 공기의 송풍량이 작은 설정 풍량으로 되도록 송풍팬(13)을 작동시키도록 구성되어 있다. 이 경우에는, 서브팬 필터 유닛(23)을 작동시키거나, 작동시키지 않아도 된다.

또한, 제어부(H)는 운전명령 스위치(S) 등에 의해 대풍량 운전이 명령되면, 전동 모터(10)를 작동시키지 않고서, 유리 기판(2)의 하면부를 향해서 송풍하는 공기의 송풍량이 큰 설정 풍량으로 되도록 송풍팬(13)을 작동시키도록 구성되어 있다. 이 경우에는, 서브팬 필터 유닛(23)을 작동시키거나, 작동시키지 않아도 된다.

그리고, 운전명령 스위치(S)는 복수의 반송 유닛(1)에 대하여 각각 명령하는 것이 가능하고, 복수의 반송 유닛(1)의 전부에 동일한 명령을 하거나, 각각 상이한 명령을 하는 것이 가능하다.

또, 전술한 송풍팬(13)에 대한 명령에 관해서는, 복수의 반송 유닛(1)의 전부에 동일한 명령을 행하도록 구성되고, 모든 반송 유닛(1)에 대해, 송풍팬(13)이 동일한 동작을 행하도록 구성되어 있다.

조절 가능한 송풍량의 수로서는, 이상 개시된 3개 이외에, 필요에 따라 변경이 가능하다.

또한, 도시하지 않지만, 상기 반송 하부측에 위치하는 소정의 판형체 반송 장치(1)에서는, 반송 방향으로 정렬되는 팬 필터 유닛(14)끼리의 사이에, 판형체를 다른 장소로 이동시키는 이동기의 암부가 들어갈 수 있도록 간극이 형성된다. 또, 판형체 반송 장치(1)에는 상기 판형체 반송 장치(1)로부터 발생되는 마이너스 이온을 중화하는 이오나이저(ionizer)가 구비되어 있다.

〔제2 실시예〕

다음에 제2 실시예에 대하여 설명한다. 제1 실시예와 같이 구성되는 것에 관해서는, 제1 실시예와 동일 부호를 붙이고, 설명을 생략한다.

제1 실시예에서는, 유리 기판(2)의 반송 방향으로 직교하는 횡폭 방향으로 정렬된 2개의 송풍팬(13)을 가지는 팬 필터 유닛(14)이 개시되어 있었다. 이 제2 실시예에 개시되어 있는 팬 필터 유닛(14)의 횡폭 방향의 폭은 제1 실시예에 개시된 것의 폭을 약 절반이며, 각각의 팬 필터 유닛(14)에 하나의 송풍팬(13)이 구비되어 있다. 따라서, 도 12에 도시된 바와 같이, 송풍식 지지 수단(3)이 반송 방향 을 따라 3개 정렬되고 횡폭 방향을 따라 2개 정렬된 합계 6개의 팬 필터 유닛(14)으로 구성되어 있다. 이 실시예에서도, 상기 팬 필터 유닛(14)은 청정실 등에 이용되는 수납 장치의 배면에 장착되어, 수납 공간에 청정 공기를 공급하는 유닛이 이용되어 있다.

그리고, 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 유닛용 프레임(15)에 팬 필터 유닛(14)을 탑재 지지시킨 상태에서는, 팬 필터 유닛(14)과 그 횡측에 위치하는 수납 프레임(8)의 사이에 제1 순환로(CP1)가 형성되어 있다. 횡폭 방향으로 정렬되는 상기 팬 필터 유닛(14) 사이를 이격시킴으로써 제2 순환로(CP2)가 형성되어 있다. 반송 방향으로 정렬되는 상기 팬 필터 유닛(14) 사이를 이격시킴으로써 제3 순환로(CP3)가 형성되어 있다. 제1 순환로(CP1), 제2 순환로(CP2), 제3 순환로(CP3)는 서로 연통되어 있다. 그리고, 도 12에 도시된 바와 같이, 상기 정류판(16)에서 제2 순환로(CP2)의 바로 위에 위치하는 부분에는 펀칭에 의해 제2 통기구멍(16b)이 형성되어 있고, 정류판(16)에서 제3 순환로(CP3)의 바로 위에 위치하는 부분에는 펀칭에 의해 제3 통기구멍(16c)이 형성되어 있다.

따라서, 유리 기판(2)의 하면(2a)을 향해서 공급된 청정공기를 송풍팬(13)의 하방의 공간으로 배기시키는 경로로서는, 송풍식 지지 수단(3)과 그 횡측에 위치하는 수납 프레임(8)사이의 제1 순환로(CP1)를 통하는 경로 이외에, 제2 통기구멍(16b)을 통하여 횡폭 방향으로 정렬되는 상기 팬 필터 유닛(14)끼리 사이의 제2 순환로(CP2)를 통하는 경로나, 제3 통기구멍(16c)을 통하여 반송 방향으로 정렬되는 상기 팬 필터 유닛(14)끼리 사이의 제3 순환로(CP3)를 통하는 경로가 있 다. 따라서, 판형체(2)의 중간 영역(2c)의 하방으로 체류하려고 하는 청정공기를, 특히, 제2 순환로(CP2)를 통하는 경로를 통해서 하방으로 배기시킴으로써, 판형체의 중간 영역(2c)의 솟아오름을 억제하고 있다.

즉, 도 14(a)에 도시된 바와 같이, 송풍식 지지 수단(3)의 횡폭 방향의 중간 개소에 제2 순환로(CP2)가 형성되어 있지 않은 경우에는, 송풍식 지지 수단(3)의 횡폭 방향의 중간 개소의 판형체(2)와 송풍식 지지 수단(3)의 사이에 청정공기가 체류하기 쉽고, 판형체(2)는 중간 영역(2c)이 솟아오른 상태로 반송된다. 그러나, 송풍식 지지 수단(3)의 횡폭 방향의 중간 개소에 제2 순환로(CP2)를 형성함으로써, 도 14(b)에 도시된 바와 같이, 송풍식 지지 수단(3)의 횡폭 방향의 중간 개소에서도 제2 순환로(CP2)로부터 청정공기를 배출시킴으로써, 판형체(2)와 송풍식 지지 수단(3)의 사이에 청정공기가 체류하기 어렵게 되고, 판형체(2)는 중간 영역(2c)이 솟아오른 상태를 억제할 수 있어 대략 수평 상태로 반송할 수 있다.

다음에, 제2 실시예의 상기 유리 기판(2)에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단(4)에 대하여 설명한다. 상기 추진력 부여 수단(4)은 상기 유리 기판(2)의 일단측을 접촉 지지하는 구동 회전체로서의 복수개의 구동롤러(9A)와, 타단측을 접촉 지지하는 종동 회전체로서의 복수개의 롤러(9B)와, 상기 구동롤러(9A)에 대한 구동 기구로서의 전동 모터(10)와, 상기 전동 모터(10)의 동력을 종동롤러(9B)에 전달하는 전달 기구로서의 전동축(TS)을 구비하고 있다. 그리고, 추진력 부여 수단(4)이 수평 또는 대략 수평 상태의 상기 유리 기판(2)의 양단부(2b)를 구동롤러(9A)와 종동롤러(9B)에 의해 접촉 지지하면서 추진력을 부여 한다. 상기 전동축(TS)은 상기 제3 순환로(CP3)에 배치되어 있다.

그리고, 도 12 및 도 13에 도시된 바와 같이, 구동측 추진력 부여 기구(4a)의 전동축(27)의 하나와, 종동측 추진력 부여 기구(4b)의 전동축(27)의 하나에 각각 전달기어(TG)가 구비되어 있다. 구동측 추진력 부여 기구(4a)의 전달기어(TG)로부터 종동측 동력전달 기구(4b)의 전달기어(TG)로의 동력 전달은, 상기 전동축(TS)으로써 연동 연결됨으로써 행하여진다.

따라서, 구동롤러(9A)는 전동 모터(10)의 동력으로써 구동 회전되고, 종동롤러(9B)도 전동 모터(10)로부터 전동축(TS)을 통하여 전달된 동력으로써 구동 회전된다. 그리고, 유리 기판(2)은 추진력 부여 수단(4)의 구동롤러(9A) 및 종동롤러(9B)로써 양단부(2b)가 접촉 상태로 지지되면서, 추진력이 부여되고, 송풍식 지지 수단(4)의 청정공기로써 중간 영역(2c)이 비접촉 상태로 지지되면서 반송 방향을 따라 반송된다. 이때, 구동롤러(9A)와 종동롤러(9B)의 대직경부에 의해 반송 방향과 교차하는 방향으로의 위치 어긋남이 규제된다.

이 구조에 의해, 전동 모터(10) 등의 구동 기구의 수를 줄일 수 있기 때문에, 구조가 간소화되며, 또, 상기 유리 기판(2)의 양측의 롤러를 동기시키기 쉽게 된다. 구동 회전체나 회전체를 타이밍벨트 등의 무단 띠 형체로써 구성하는 것도 본 발명의 범위 내이다.

이 실시예에 있어서, 통기로의 배기량을 조절할 수 있는 배기량 조절 수단을 설치할 수도 있다. 즉, 도 15(a), 도 15(b), 및 도 16에 도시된 바와 같이, 다공체로서의 분할 정류판(41)을 상기 횡폭 방향으로 분할된 복수의 판형부분(41a)으로 구성하고, 상기 횡폭 방향에 인접하는 판형부분(41a) 사이를 간격을 두고 위치시켜, 상기 제2 순환로(CP2)로 통풍되는 제2 통기구멍(16b)을 형성한다. 그러나, 여기에서는, 배기량 조절 수단(40)에 의해, 상기 분할 정류판(41)에서의 상기 판형부분(41a) 사이의 간격을 조절함으로써 상기 제2 순환로(CP2)의 배기량을 조절하도록 구성되어 있다.

즉, 상기 분할 정류판(41)은 횡폭 방향의 한쪽에 위치하는 3개의 팬 필터 유닛(14)의 상방을 덮는 판형부분(41a)과, 횡폭 방향의 다른 한쪽에 위치하는 3개의 팬 필터 유닛(14)의 상방을 덮는 판형부분(41a)과의 2매로 분할되어 구성되어 있다. 상기 양 판형부분(41a)의 사이에 제2 통기구멍(16b)이 형성되어 있다. 그리고, 횡폭 방향의 한쪽의 판형부분(41a)에 대하여 설명하면, 상기 판형부분(41a)은 팬 필터 유닛(14)의 상방으로 위치하는 다수의 통기구멍(16a)이 형성된 다공형부(41b)와, 상기 통기로의 상방으로 위치하는 통기구멍(16a)이 형성되어 있지 않은 폐쇄부(41c)로 구성되어 있고, 팬 필터 유닛(14)의 위쪽에서 횡폭 방향으로 슬라이드이동 가능하게 지지되어 있다. 또, 상기 3개의 팬 필터 유닛(14)에서 반송 위쪽의 팬 필터 유닛(14)의 반송 상측벽, 및, 반송 아래쪽의 팬 필터 유닛(14)의 반송 하측벽 각각에 전동식 실린더(42)가 구비되어 있고, 상기 실린더(42) 각각의 선단부가 판형부분(41a)에 연결되어 있다. 실린더(42)의 신축작동에 의해 판형부분(41a)이 횡폭 방향으로 슬라이드이동되어, 폐쇄부(41c)가 통기로의 상방을 횡폭 방향으로 이동한다. 또한, 다른 쪽의 판형부분(41a)도 동일한 구성을 가지므로 그 설명을 생략한다.

즉, 상기 배기량 조절 수단(40)은 상기 합계 4개의 실린더(42)로 구성되어 있고, 실린더(42) 각각을 동조한 상태로 신축시킴으로써, 판형부분(41a) 사이의 간격을 조절하도록 구성되어 있다. 따라서, 도 15(a)에 도시된 바와 같이, 실린더(42)의 각각을 신장시킴으로써 판형부분(41a) 사이의 간격이 좁아지고, 제2 통기구멍(16b)에서의 통풍량이 적어짐으로써, 제2 순환로(CP2)에서의 배기량도 적어진다. 도 15(b)에 도시된 바와 같이, 실린더(42)의 각각을 단축시킴으로써 판형부분(41a) 사이의 간격이 넓어지고, 제2 통기구멍(16b)에서의 통풍량이 많아짐으로써, 제2 순환로(CP2)에서의 배기량도 많아진다.

상기 실시예에서, 통기로의 배기량을 조절할 수 있는 배기량 조절 수단을 설치하도록 구성할 수도 있다.

도 17 및 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 배기량 조절 수단(40)을 상기 제2 통기구멍(16b)의 개구량을 조절하는 조절판(45)을 구비하여 구성하는 것이 가능하다. 즉, 배기량 조절 수단(40)에 의해 조절판(45)을 이동시킴으로써 제2 통기구멍(16b)의 개구량이 조절되어 상기 제2 순환로(CP2)의 배기량을 조절하도록 구성한다.

상술하면, 상기 실시예와 같이 구성된 정류판(16)의 하면측에 횡폭 방향으로 한 장의 조절판(45)이 슬라이드 가능하게 지지되어 있고, 상기 조절판(45)이 횡폭 방향으로 슬라이드 이동함으로써 복수의 제2 통기구멍(16b)의 각각에 대하여 일부를 막거나 전체를 막아 제2 통기구멍(16b)의 개구량을 조절하도록 구성되어 있다. 그리고, 제2 순환로(CP2)에 위치하도록 전동식 모터(46)가 상기 지지 프레임 부분(15a)에 지지되어 있다. 상기 모터(46)의 출력축에 구비된 기어부(46a)가 조절판(45)의 하면에 형성된 기어홈(45a)에 맞물려 있다.

즉, 배기량 조절 수단(40)은 조절판(45)과 모터(46)로 구성되어 있고, 모터(46)를 정역 회전시켜 조절판(45)을 슬라이드 이동시킴으로써, 제2 통기구멍(16b)의 개구량을 조절할 수 있고, 제2 통기구멍(16b)에서의 통풍량이 조절됨으로써, 제2 순환로(CP2)에서의 배기량도 조절되도록 구성되어 있다.

또, 상기 실시예에서, 송풍 유닛을 횡폭 방향으로 위치조절 가능하게 구성하고, 상기 배기량 조절 수단이 횡폭 방향으로 정렬되는 송풍 유닛 사이의 이격 거리를 변경조절함으로써, 통풍로의 배기량을 조절하도록 구성할 수도 있다.

즉, 도 19(a), 도 19(b), 및 도 20에 도시된 바와 같이, 팬 필터 유닛(14)이 유닛용 프레임(15)의 지지 프레임 부분(15a)에 대하여 횡폭 방향으로 슬라이드 이동가능하게 지지되고, 반송 방향으로 정렬되는 3개의 팬 필터 유닛(14)은 일체로 횡폭 방향으로 슬라이드 이동하도록 연결부재로써 연결되어 있다. 그리고, 도 19(a), 도 19(b)에 도시된 바와 같이, 지지 프레임 부분(15a)에는 전동식 유닛용 실린더(48)가 4개 구비되어 있고, 반송 위쪽의 2개의 팬 필터 유닛(14)의 반송 위쪽의 저부의 각각, 및, 반송 아래쪽의 2개의 팬 필터 유닛(14)의 반송 아래쪽의 저부의 각각에 유닛용 실린더(48)의 선단부가 연결되어 있다. 또, 정류판(16)은 유닛용 프레임(15) 등의 판형체 반송 장치(H)의 고정 부분에 고정 지지되어 있다.

즉, 상기 배기량 조절 수단(40)은 상기 합계 4개의 실린더(48)로 구성되어 있고, 실린더(48) 각각을 동조한 상태로 신축시킴으로써, 횡폭 방향으로 정렬되는 팬 필터 유닛(14) 사이의 간격이 조절되도록 구성되어 있다. 따라서, 도 19(a)에 도시된 바와 같이, 유닛용 실린더(48) 각각을 신장시킴으로써, 횡폭 방향으로 정렬되는 팬 필터 유닛(14) 사이의 간격이 좁아져, 제2 순환로(CP2)에서의 배기량이 적어진다. 또, 도 19(b)에 도시된 바와 같이, 유닛용 실린더(48) 각각을 단축시킴으로써, 횡폭 방향으로 정렬되는 팬 필터 유닛(14) 사이의 간격이 넓게 되어, 제2 순환로(CP2)에서의 배기량이 많아진다. 그리고, 유닛용 실린더(48)를 신축시킴으로써, 팬 필터 유닛(14)이 정류판(16)에 대하여 횡폭 방향으로 이동하게 되고, 유닛용 실린더(48)가 신장되면 팬 필터 유닛(14)에 의해 제2 통기구멍(16b)의 일부가 폐쇄되어, 제2 통기구멍(16b)의 통기량이 적어지게 되도록, 팬 필터 유닛(14)의 이동에 의해 제2 통기구멍(16b)에서의 통풍량도 조절되도록 구성되어 있다.

또한, 판형체의 하면에 공급되는 풍압은 송풍식 지지 수단의 풍력이나 지지하는 판형체에 따라서, 필요하면 변경할 수 있다.

상기 실시예에서는, 횡폭 방향으로 정렬되는 송풍 유닛 사이를 이격시켜 형성한 제2 순환로와, 반송 방향으로 정렬되는 송풍 유닛 사이를 이격시켜 형성한 제3 순환로의 두 개의 순환로를 구비하게 했지만, 어느 하나의 순환로만을 구비한 구성이라도 된다. 즉, 도 21에 도시된 바와 같이, 횡폭 방향으로 정렬되는 팬 필터 유닛(14) 사이를 이격시켜 제2 순환로(CP2)를 구비하고, 반송 방향으로 정렬되는 송풍 유닛 사이를 근접시켜 제3 순환로(CP3)를 구비하지 않도록 구성할 수도 있다.

그리고, 도 22에 도시된 바와 같이, 송풍 유닛으로서의 팬 필터 유닛에서의 2개의 송풍 수단의 사이 개소에 상기 제2 순환로(CP2)를 형성함으로써, 송풍식 지지 수단의 횡폭 방향의 중간 개소에 순환로가 형성되도록 구성할 수도 있다.

[제3 실시예]

도 23 및 도 24는 반송물의 자세의 다른 실시예를 나타내며, 이하, 다른 실시예와의 상위점을 중심으로 도면에 따라 설명한다. 또, 상기 실시예와 대응하는 부품에 관해서는 동일한 부호를 기재하고, 그 상세한 설명은 생략한다.

상기 수직 자세용 반송 유닛(33)은 도 23 및 도 24에 도시된 바와 같이, 유리 기판(2)의 반송 방향으로 복수개 나란하게 설치되고, 반송물로서의 유리 기판(2)을 수직 자세에 가까운 자세로 반송한다.

그리고, 수직 자세용 반송 유닛(33)은 수직 자세에 가까운 자세로 설치되어 있는 수직 자세용 송풍식 지지 수단(3)과, 수직 자세용 추진력 부여 수단(VT)을 구비하여 구성되어 있다.

이와 관련하여, 이 실시예에서는, 유리 기판(2)이 수직 자세에 가까운 자세로 반송되기 때문에, 수직 자세용 반송 유닛(33)이 존재하는 쪽이 유리 기판(2)의 하면부가 된다.

상기 수직 자세용 송풍식 지지 수단(3)은 수직 자세에 가까운 자세로 반송되는 유리 기판(2)의 하면부를 향해서 청정공기를 공급하여, 유리 기판(2)을 비접촉 상태로 지지하도록 구성되어 있다.

이와 관련하여, 이 수직 자세용 송풍식 지지 수단(3)은, 실시예에서의 송풍식 지지 수단(3)과 같이, 제진 필터(12)와 송풍팬(13)을 일체로 조립한 팬 필터 유 닛(14)으로써 구성되고, 상기 팬 필터 유닛(14)은 상하로 정렬되는 2개의 송풍팬(13)과 하나의 제진 필터(12)를 일체로 조립하고 있다.

또, 팬 필터 유닛(14)으로부터의 청정공기를 정류하는 정류판(16)도 설치되어 있다.

그리고, 수직 자세용 추진력 부여 수단(VT)은 유리 기판(2)의 일단부를 접촉 지지하면서 추진력을 부여하는 타이밍벨트(34)를 구비하고, 이것에 의해 유리 기판(2)에 대하여 반송 방향의 추진력을 부여한다. 더 상세하게 설명하면, 수직 자세용 추진력 부여 수단(VT)은 반송 아래쪽에 위치하여 전동식 모터(50)에 의해서 회전되는 구동륜(36)과, 반송 위쪽에 위치하는 회전 가능한 종동륜(37)과, 이들 구동륜(36)과 종동륜(37)에 걸쳐 감기는 타이밍벨트(34)를 구비하고 있다.

그리고, 타이밍벨트(34)는 그 이송 경로 부분을 내주면측으로부터 내부 지지륜(38)으로써 지지되고, 그 귀환 경로 부분을 외주면측으로부터 외부 지지륜(39)으로써 지지되어 있다.

또, 수직 자세용 송풍식 지지 수단(3)과 유리 기판(2)의 반송 경로가 수납되는 반송 공간(A)을 밀폐 상태 또는 대략 밀폐 상태로 덮는 반송 케이스(5)가 설치되어 있다.

상기 송풍팬(13)에 관해서는, 상기 실시예와 같이, 지지용 송풍량과, 상기 지지용 송풍량보다도 작은 설정 송풍량과, 지지용 공기량보다도 큰 설정 송풍량의 복수단의 송풍량으로 변경 가능하게 구성되어 있다.

그리고, 제어부(H)는 운전명령 스위치(S)에서의 명령에 따라, 복수의 반송 유닛(1)의 각각에 대해, 전동식 모터(50)의 작동개시 및 작동정지, 및, 팬 필터 유닛(14)의 작동 상태를 제어하도록 구성되어 있다.

이와 관련하여, 이 실시예에서는, 서브팬 필터 유닛이 설치되어 있지 않기 때문에, 제어블럭도에서는, 도 8에서 서브팬 필터 유닛(23)을 생략하여, 전동 모터(10)를 전동식 모터(50)로 변경한다.

그리고, 제어부(H)는 운전명령 스위치(S)에서의 명령에 따라, 팬 필터 유닛(14)에서의 송풍팬(13)을 지지용 송풍량과 소설정 송풍량과 대설정 송풍량 중 어느 하나로써 작동시키도록 구성되어 있다.

상기의 실시예에서, 반송 공간(A)을 커버하는 반송 케이스(5)를 사용하는 대신에, 이 공간의 상방을 개방하는 반송 케이스(5)를 사용하는 것도 가능하다.

〔제4 실시예〕

이하, 판형체 반송 장치의 송풍식 지지 수단에, 송풍 수단에 의해 송풍되는 공기를 복수의 제진 필터로 분배 공급하는 통풍로를 설치한 경우에 대해, 도면에 따라 설명한다. 이 실시예에서는, 유리 기판을 수평 또는 대략 수평 상태로 반송하게 된다.

또한, 제1 실시예와 같이 구성되는 것에 관해서는, 제1 실시예와 동일한 부호를 붙이고, 설명은 생략한다.

판형체 반송 장치(H)는 도 27에 도시된 바와 같은, 판형체 반송 기구(h)를 유리 기판(2)의 반송 방향으로 나란히 사용하며, 상기 판형체 반송 기구(h)에는 반송되는 유리 기판(2)의 하면(2a)을 향해서 청정공기를 공급하여, 유리 기판(2)을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단으로서의 송풍식 지지 기구(53)가 구비되어 있다.

상기 송풍식 지지 기구(53)는 먼지를 제거하는 ULPA 필터로써 구성되는 9개의 제진 필터(12)와, 상기 제진 필터(12)를 통해서 유리 기판(2)의 하면(2a)을 향해서 청정공기를 공급하는 송풍팬(13)과, 송풍팬(13)으로부터의 공기를 복수의 제진 필터(12)로 분배 공급하는 통풍로(54)를 구비하여 구성되어 있다. 또, 도 28 및 도 29에 도시된 바와 같이, 3개의 제진 필터(12)의 상방을 덮도록, 제진 필터(12)를 통과한 청정공기를 유동시키는 판형의 정류판(16)이 구비되어 있다.

그리고, 도 27에 도시된 바와 같이, 상기 통풍로(54)는 경질인 덕트로써 형성되어 있고, 송풍팬(13)으로부터의 공기를 반송 방향을 따라 횡방향으로 안내하는 가로 통풍로(55)와 종방향으로 안내하는 세로 통풍로(56)로 구성되어 있다.

가로 통풍로(55)는 송풍팬(13)을 수납하는 팬케이스(57)의 측벽에 접속되어 있고, 상기 팬케이스(57)로부터 반송 위쪽으로 연장되는 가로 통풍로(55)와 반송 아래쪽으로 연장되는 가로 통풍로(55)의 2개가 구비되어 있다. 세로 통풍로(56)는 9개의 제진 필터(12)와 각각 접속하기 위해서 9개 구비되어 있다.

그리고, 반송 방향 위쪽에 위치하는 4개의 제진 필터(12)와 접속하는 4개의 세로 통풍로(56)는 반송 위쪽으로 연장되는 가로 통풍로(55)에 각각 접속되어 있다. 마찬가지로, 반송 방향 아래쪽에 위치하는 4개의 제진 필터(12)와 접속하는 4개의 세로 통풍로(56)는 반송 아래쪽으로 연장되는 가로 통풍로(55)에 각각 접속되어 있다. 또한, 반송 방향의 한가운데에 위치하는 제진 필터(12)와 접속하는 하나 의 세로 통풍로(56)는 팬케이스(57)의 천정벽에 접속되어 있다.

또한, 팬케이스(57)의 저벽에는 상기 반송 공간(A) 내부의 공기를 팬케이스(57) 내부로 도입하는 도입구멍(57a)이 형성되어 있다.

도 28 및 도 29에 도시된 바와 같이, 세로 통풍로(56) 각각은 횡축심을 중심으로 요동 가능한 풍량 조절밸브(58)가 구비되어 있고, 상기 풍량 조절밸브(58)를 요동시킴으로써, 제진 필터(12)측에 공급되는 공기의 양을 조절할 수 있도록 구성되어 있다. 또, 세로 통풍로(56)의 상단부, 따라서 제진 필터의 주벽부와 접속하는 부분에는, 송풍팬(13)으로부터의 공기를 체류시키는 챔버실(C)이 형성되어 있고, 송풍팬(13)으로부터 공급되는 공기에 맥동(pulsation)이 발생되어도, 챔버실(C)의 내부 공기가 가압 또는 감압됨에 따른 쿠션작용에 의해 맥동을 억제할 수 있다.

상기 판형체 반송 기구(h)는 3개의 유닛으로 구성되어 있고, 도 28에 도시된 바와 같은, 주요 부분(53a)을 구비하고 있는 하나의 주반송 유닛(1a)과, 도 29에 도시된 바와 같은, 종속(sub) 부분(53b)을 구비하고 있는 2개의 종속 반송 유닛(1b)으로 구성되어 있다. 또한, 주반송 유닛(1a)이나 종속 반송 유닛(1b) 각각은, 상기 추진력 부여 수단(4)이나 상기 케이스(7)도 구비되어 있지만, 상기 제1 실시예와 동일한 구성이기 때문에 상세한 설명은 생략한다.

따라서, 주반송 유닛(1a)의 반송 위쪽과 반송 아래쪽 각각에서, 주요 부분(53a)의 가로 통풍로(55)와 종속 부분(53b)의 가로 통풍로(55)가 접속되어, 종속 판상체 반송 유닛(1b)을 접속함으로써 판형체 반송 기구(h)가 조립된다.

또한, 판형체 반송 기구(h)를 주반송 유닛(1a)의 하나의 유닛으로 구성하거나, 주반송 유닛(1a)과 상기 주반송 유닛(1a)의 반송 방향 한쪽으로 종속 반송 유닛(1b)에 접속하여 2개의 유닛으로 구성할 수 있다. 이 경우에는, 주반송 유닛(1a)에서의 접속되지 않는 가로 통풍로(55)의 단부는 폐쇄한다.

그리고, 송풍식 지지 기구(53)에 의한 판형체의 지지는 송풍팬(13)의 송풍작용으로써, 송풍팬(13)의 하방의 반송 공간(A) 내부의 공기를 흡인하여 도입구멍(57a)으로부터 팬케이스(57) 내부로 도입하고, 그 받아들인 공기가 통풍로(54)를 통해서 제진 필터(12)측으로 보내져, 제진 필터(12)와 정류판(16)을 통해서 공기를 청정공기로서 유리 기판(2)의 하면(2a)에서의 중간 영역(2c)에 공급하고, 그 청정공기로써 유리 기판(2)의 중간 영역(2c)을 지지한다.

주반송 유닛(1a)에서는, 송풍팬(13)의 송풍작용으로써, 통풍로(54), 제진 필터(12), 정류판(16)을 통해서 판형체(2)의 하면(2a)에 공급하는 형태로, 주반송 유닛(1a) 내부에서 공기가 순환된다. 또, 송풍팬(13)의 송풍작용에 의해, 외부 공기가 공기 도입구(18)로부터 반송 공간(A) 내부로 도입되고, 반송 공간(A) 내부가 가압됨으로써, 반송 공간(A) 내에서 순환되는 공기의 일부가 공기 배출구(17)나 수납 프레임(8)과 반송 커버(20)의 간극 등으로부터 외부로 배출되어, 반송 공간(A) 내의 순환하는 공기의 일부가 교환된다.

또, 종속 반송 유닛(1b)에서는, 송풍팬(13)의 송풍작용에 의해, 주반송 유닛(1a) 측으로부터 통풍로(54)를 통하여 공기가 종속 반송 유닛(1b)측으로 도입된다. 상기 도입된 공기가 통풍로(54), 제진 필터(12), 정류판(16)을 통해서 판형 체(2)의 하면(2c)에 공급된다. 주반송 유닛(1a)측으로부터의 공기의 도입에 의해, 종속 반송 유닛(1b)의 반송 공간(A) 내부가 가압되어 있는 상태이기 때문에, 반송 공간(A)의 공기의 일부가 공기 배출구(17)나 수납 프레임(8)과 반송 커버(20)의 간극 등으로부터 외부로 배출되어, 반송 공간(A) 내부의 공기의 일부가 교환된다.

따라서, 주반송 유닛(1a) 및 종속 반송 유닛(1b)의 반송 공간(A)에서, 공기를 도입함으로써 가압되어 있는 상태이기 때문에, 공기 배출구(17)나 수납 프레임(8)과 반송 커버(20)의 간극 등으로부터의 외부 공기의 진입을 방지할 수 있다. 또, 외부 공기를 반송 공간(A) 내부에 도입하기 때문에, 반송 공간 내부의 온도를 외부의 온도 또는 외부의 온도에 가까운 온도로 유지할 수 있다.

〔또 다른 실시예〕

(1) 상기 실시예에 있어서, 상기 송풍 유닛에, 상기 다공체의 통기구멍에서의 청정공기의 흐름을 허용하는 상태에서, 청정공기의 흐름 방향으로 볼 때 상기 통기구멍을 막는 차단부를 구비하여 구성할 수도 있다.

즉, 도 25 및 도 26에 도시된 바와 같이, 송풍 유닛(14)에서, 정류판(16)보다 더욱 상방으로 차단부로서의 차단판(19)을 구비하고, 상기 차단판(19)에 정류판(16)의 통기구멍(16a)과 청정공기의 흐름 방향으로 볼 때 중복되지 않는 위치에 펀칭에 의해 통풍구멍(19a)을 형성한다.

또, 정류판과 차단판의 위치관계를 반대로 할 수도 있다. 또한, 차단부를 차단판으로 하고, 정류판과 차단부를 각각 구비하는 대신에, 정류판에서의 통기구멍의 에지부의 상면 또는 하면에, 정류판의 통기구멍에서의 청정공기의 흐름을 허 용하는 상태에서 청정공기의 흐름 방향으로 볼 때 통기구멍을 막는 차단부로서의 차단편을 구비하는 등에 의하여, 정류판에 차단부를 일체로 형성한 구성으로도 된다.

(2) 상기 제4 실시예에서는, 통풍로를 경질인 덕트로써 구성했지만, 통풍로의 전체 또는 일부를 연질인 호스 등으로써 구성할 수도 있다. 또, 풍량 조절밸브를 횡축심을 중심으로 요동 가능하게 구성하여, 제진 필터측으로 공급되는 통풍량을 조절할 수 있도록 구성했지만, 풍량 조절밸브를 통풍로로 이동하도록 슬라이드 이동가능하게 구성하여, 제진 필터측으로 공급되는 통풍량을 조절할 수 있도록 구성할 수도 있다.

즉, 도 30에 도시된 바와 같이, 통풍로(54)에서의 세로 통풍로(56)를 호스로써 구성하며, 또, 가로 통풍로(55)의 세로 통풍로(56)와 연통하도록 형성된 개구의 개구량을 조절하도록 가로 통풍로(55) 위를 슬라이드 가능하게 풍량 조절밸브(58)를 구비하고, 상기 풍량 조절밸브(58)의 통로에 대한 이동량을 조절함으로써, 제진 필터측으로 공급되는 통풍량을 조절할 수 있도록 구성할 수도 있다.

(3) 상기 실시예에서는, 송풍식 지지 수단을 제진 필터와 송풍 수단을 일체로 조립한 송풍 유닛의 복수로써 구성했지만, 제4 실시예와 같이, 송풍 수단으로써 송풍되는 공기를 제진 필터로 안내하는 통풍로 등을 설치하여, 제진 필터(12)와 송풍팬(13)을 별개로서 개별적으로 조립하여 송풍식 지지 수단을 구성할 수도 있다.

(4) 상기 제1 실시예나 제2 실시예에서는, 반송 케이스를 상하 2단으로 구비하고, 상기 반송 케이스의 각각에 반송부를 수납하여, 반송부를 상하 2단으로 구비 했지만, 상하 2단의 반송부를 하나의 수납 케이스에 수납할 수도 있다. 이 경우, 수납 케이스를 상하 2분할 구성으로서, 반송 케이스의 상부분을 일단측의 지점을 중심으로 상방측으로 요동함으로써, 이 상측의 반송 케이스와 함께 상측의 반송부도 상방측으로 요동하도록 구성할 수도 있다. 또, 하나의 반송부를 하나의 반송 케이스에 수납하여, 반송부를 1단으로 하여도 된다.

(5) 상기 제1 실시예나 제2 실시예에서는, 상기 판형체에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단을, 상기 판형체의 양단부를 접촉 지지하면서 추진력을 부여하는 구동 회전체를 구비하여 구성하고, 상기 송풍식 지지 수단을 상기 판형체에서의 양단부의 사이에 위치하는 부분을 지지하도록 구성했지만, 유리 기판을 송풍식 지지 수단만으로 비접촉 상태로 지지할 수도 있다.

(6) 상기 제1 실시예 및 제2 실시예에서는, 추진력 부여 수단의 구동 회전체로써 판형체의 양단부를 접촉 상태로 지지하고, 그 접촉 지지하는 구동 회전체를 회전 구동시켜 판형체에 대하여 추진력을 부여함으로써, 판형체를 반송 방향을 따라 반송하도록 구성했지만, 판형체의 양단부를 자유회전하는 회전체로써 지지하거나, 상기와 같이, 송풍식 지지 수단만으로 비접촉 상태로 지지하여, 추진력 부여 수단을 갖추지 않고서, 자동적 또는 인위적으로 판형체를 반송 위쪽에 위치하는 판형체 반송 장치로 이동하는 힘을 이용하여, 선행하는 판형체를 뒤쪽에서 가압함으로써 선행하는 판형체에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여하도록 구성할 수도 있다. 또, 송풍식 지지 수단에 의해 공급되는 청정공기에 의하여, 판형체에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여하도록 구성할 수도 있다. 또한, 판형체의 반송 방향으로 감에 따라서 낮아지도록 하여, 판형체의 자중에 의해 추진력을 부여하도록 구성할 수도 있다.

(7) 상기 제3 실시예에서는, 수직 자세용 추진력 부여 수단의 구동 회전체로써 판형체의 일단부를 접촉 상태로 지지하고, 그 접촉 지지하는 구동 회전체를 회전 구동시켜 판형체에 대하여 추진력을 부여함으로써, 판형체를 반송 방향을 따라 반송하도록 구성했지만, 판형체의 일단부를 자유회전하는 회전체로써 지지하여, 수직 반송용 추진력 부여 수단을 구비하지 않고서, 자동적 또는 인위적으로 판형체를 반송 위쪽에 위치하는 판형체 반송 장치로 이동하는 힘을 이용하여, 선행하는 판형체를 뒤쪽에서 가압함으로써 선행하는 판형체에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여하도록 구성할 수도 있으며, 또, 판형체의 반송 방향을 경사 방향으로 설정하여, 판형체의 자중에 의해 추진력을 부여하도록 구성할 수도 있다.

(8) 상기 제1 실시예나 제2 실시예에 있어서, 판형체의 양단부를 접촉 지지하면서 추진력을 부여하는 구동 회전체를 타이밍벨트 등의 무단 띠 형체로써 구성할 수도 있으며, 또, 제3 실시예에서는, 판형체의 일단부를 접촉 지지하면서 추진력을 부여하는 구동 회전체를 구동롤러로써 구성할 수도 있다. 또, 상기 제3 실시예에 있어서, 판형체의 일단부에 대한 타단부를, 구동롤러나 무단 띠 형체로 접촉 지지하면서 추진력을 부여하는 서브 추진력 부여 수단을 구비하여도 된다.

(9) 상기 제3 실시예에서는, 판형체를 수직 자세에 가까운 자세로 반송했지만, 판형체의 양면의 중간부에 청정공기를 공급하고, 판형체를 수직 자세로 반송하도록 구성할 수도 있다.

(10) 상기 실시예에 있어서, 반송 케이스에 공기 배출부와 공기 도입부를 구비하고, 반송 공간을 대략 밀폐 상태로 했지만, 공기 배출부와 공기 도입부를 구비하지 않고서 반송 공간을 밀폐 상태로하여도 된다.

(11) 상기 실시예에 있어서, 제진 필터를 ULPA 필터로써 구성했지만, HEPA(High Efficiency Particulate Air) 필터 등의 다른 필터로써 구성할 수도 있다.

(12) 제1 실시예나 제2 실시예에 있어서, 반송 커버(20)를 사용하지 않음으로써, 반송 공간(A)을 상방향으로 개방하는 구성을 채용하는 것도 가능하다.

(13) 판형체로서, 액정용 유리 기판으로 했지만, 반도체의 웨이퍼 등이어도 되고, 피지지체의 형상이나 크기는 실시예에 한정되지 않는다.

(14) 제1 실시예에 있어서, 풍량 조절을 비접촉 상태로 반송하는 목적에 있어서도, 반송 조건에 의해 다른 풍량을 제공하도록 구성할 수도 있다.

본 발명은 제작의 용이화를 도모할 수 있고, 다른 상황에 대응할 수 있는 판형체 반송 장치를 제공한다.

Claims (22)

1. 반송되는 유리 기판의 하면을 향해서 청정공기를 공급하여, 상기 유리 기판을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단이 구비되어 있는 판형체 반송 장치로서,

   상기 송풍식 지지 수단은 먼지를 제거하는 제진 필터와, 상기 제진 필터를 통해서 상기 유리 기판의 하면을 향해서 청정공기를 공급하는 송풍 수단으로서의 전동식 송풍 팬을 구비하고,

   상기 제진 필터와 상기 송풍 팬이 일체로 조합되어 팬 필터 유닛이 구성되어 있으며, 상기 팬 필터 유닛을, 반송 경로를 반송되는 상기 유리 기판의 아래쪽으로, 상기 유리 기판의 반송 방향을 따라 정렬하여 반송 케이스에 지지되는 것에 의해 상기 송풍식 지지 수단이 구성되어 있는,

   판형체 반송 장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 송풍식 지지 수단과 상기 유리 기판의 반송 경로를 수납하는 반송 공간을 밀폐 상태 또는 대략 밀폐 상태로 덮는 반송 케이스를 구비하며,

   상기 송풍 수단은 상기 반송 케이스 내의 공기를 흡인하고, 흡인한 공기를 상기 제진 필터를 통해서 상기 유리 기판의 하면을 향해서 청정공기로서 공급하고, 상기 반송 공간 내의 공기를 순환시키는, 판형체 반송 장치.
3. 제1항에 있어서,

   상기 유리 기판에 대하여 반송 방향의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단을 구비하며, 상기 추진력 부여 수단에는 수평 또는 대략 수평 상태의 상기 유리 기판의 상기 반송 방향과는 수직인 폭 방향의 양단부를 접촉 지지하여 추진력을 부여하는 구동 회전체가 구비되어 있으며,

   상기 송풍식 지지 수단은 상기 유리 기판의 상기 양단부의 사이에 위치하는 부분을 지지하는, 판형체 반송 장치.
4. 제3항에 있어서,

   상기 송풍식 지지 수단과 상기 유리 기판의 반송 경로를 수납하는 반송 공간을 밀폐 상태 또는 대략 밀폐 상태로 덮는 반송 케이스를 구비하며,

   상기 송풍 수단은 상기 반송 케이스 내의 공기를 흡인하고, 흡인한 공기를 상기 제진 필터를 통해서 상기 유리 기판의 하면을 향해서 청정공기로서 공급하고, 상기 반송 공간 내의 공기를 순환시키는, 판형체 반송 장치.
5. 제4항에 있어서,

   상기 반송 케이스는 상기 반송 공간 내의 공기의 일부를 배출하는 공기 배출부와, 외부 공기를 상기 반송 공간 내로 도입하는 공기 도입부를 구비하고 있는, 판형체 반송 장치.
6. 제5항에 있어서,

   상기 공기 배출부에서 배출되는 공기를 제진하여 외부로 배출하는 외부 배출 수단이 구비되어 있는, 판형체 반송 장치.
7. 제6항에 있어서,

   상기 추진력 부여 수단의 상기 구동 회전체에 대한 구동 수단을 수납하는 수납 공간을 대략 밀폐 상태로 덮는 수납 케이스를, 상기 반송 케이스의 횡측에 인접하는 상태로 구비하고,

   상기 반송 케이스의 상기 공기 배출부가 상기 반송 공간 내의 공기를 상기 수납 공간 내로 배출하도록 구성되며,

   상기 외부 배출 수단이 상기 수납 공간 내의 공기를 흡인하여, 그 공기를 제진하여 외부로 배출하는, 판형체 반송 장치.
8. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 송풍식 지지 수단은 상기 제진 필터를 통과한 청정공기를 유동시키는 판형의 다공체와, 상기 다공체의 통기구멍에서의 청정공기의 흐름을 허용하는 상태에서 청정공기의 흐름 방향으로 볼 때 상기 통기구멍을 막는 차단부를 구비하는, 판형체 반송 장치.
9. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 유리 기판을 반송하는 상하 2단의 반송부를 구비하며,

   상기 상하 2단의 반송부 중 상측의 반송부는 하측의 반송부의 상방을 개방하도록 일단측을 지점(支點)으로 하여 상방측으로 요동 조작할 수 있도록 되어 있는, 판형체 반송 장치.
10. 제1항에 있어서,

    상기 송풍 수단이 상기 유리 기판의 하면부를 향해서 송풍하는 공기의 송풍량을, 상기 유리 기판을 비접촉 상태로 지지하는 지지용 송풍량과, 상기 지지용 송풍량과는 상이한 송풍량으로 변경할 수 있도록 구성되고,

    상기 유리 기판에 대하여 반송 방향의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단이 구비되어 있고,

    운전 지령 스위치로부터의 지령에 따라, 상기 반송물의 하면을 향해 송풍하는 공기의 송풍량이 상기 지지용 송풍량이 되도록 상기 송풍 수단을 작동시키고 또한 상기 추진력 부여 수단을 작동시키는 상태와, 상기 반송물의 하면을 향해 송풍하는 공기의 송풍량이 상기 상이한 송풍량이 되도록 상기 송풍 수단을 작동시키고 또한 상기 추진력 부여 수단을 작동 정지시키는 상태로 변동하도록, 상기 송풍 수단 및 상기 추진력 부여 수단의 작동을 제어하는 제어부가 구비되어 있는, 판형체 반송 장치.
11. 제10항에 있어서,

    상기 송풍 수단이 상기 유리 기판의 하면부를 향해서 송풍하는 공기의 송풍량을 상기 지지용 송풍량보다도 작은 설정 송풍량으로 변경할 수 있는, 판형체 반송 장치.
12. 제10항 또는 제11항에 있어서,

    상기 송풍 수단이 상기 유리 기판의 하면부를 향해서 송풍하는 공기의 송풍량을 상기 지지용 공기량보다도 큰 설정 송풍량으로 변경할 수 있는, 판형체 반송 장치.
13. 제1항에 있어서,

    상기 유리 기판의 반송 방향과 직교하는 횡폭 방향의 중간 개소에 상기 유리 기판의 하면에 공급된 청정공기를 하방으로 배기하는 제2 순환로가 상기 송풍식 지지 수단에 형성되고,

    상기 송풍식 지지 수단은 상기 팬 필터 유닛이 상기 횡폭 방향으로 정렬되어 구성되고,

    상기 제2 순환로가 상기 횡폭 방향으로 정렬되는 팬 필터 유닛끼리를 이격시킴으로써, 상기 팬 필터 유닛을 수납하는 케이스체 내에서 상기 송풍 팬에서 공기가 흡인되는 상기 송풍 팬의 하방의 공간과 상기 케이스체 내에서의 상기 송풍 팬에서 공기가 공급되는 상기 송풍 팬의 상방의 공간을 연통시키는 형상으로 형성되어 있는, 판형체 반송 장치.
14. 제13항에 있어서,

    상기 제2 순환로의 배기량을 조절할 수 있는 배기량 조절 수단을 구비하고 있는, 판형체 반송 장치.
15. 제14항에 있어서,

    상기 송풍식 지지 수단에는 그 상부측에 위치되어 상기 유리 기판의 하면에 공급되는 청정공기의 정풍(整風)을 행하는 판형의 다공체가 구비되고,

    상기 다공체는 상기 제2 순환로로 통풍시키는 통기부를 구비하고 있는, 판형체 반송 장치.
16. 제15항에 있어서,

    상기 다공체가 상기 횡폭 방향으로 분할되어 복수의 판형부분으로 구성되고, 이들 복수의 판형부분이 상기 횡폭 방향으로 서로 간격을 두고 위치함으로써, 상기 통기부가 형성되고, 상기 배기량 조절 수단이 상기 다공체의 상기 판형부분끼리의 간격을 조절함으로써 상기 제2 순환로의 배기량을 조절하는, 판형체 반송 장치.
17. 제15항에 있어서,

    상기 배기량 조절 수단이 상기 통기부의 개구량을 조정하는 조절판을 구비하고 있는, 판형체 반송 장치.
18. 제13항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 송풍식 지지 수단이 상기 반송 방향으로 정렬되는 팬 필터 유닛끼리를 이격시킴으로써, 상기 유리 기판의 하면에 공급되는 청정공기를 하방으로 배기하는 제3 순환로가 형성되어 있는, 판형체 반송 장치.
19. 제18항에 있어서,

    상기 유리 기판에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단이, 상기 유리 기판의 일단측을 접촉 지지하는 구동 회전체와, 타단측을 접촉 지지하는 종동 회전체와, 상기 구동 회전체에 대한 구동 기구와, 상기 구동 기구의 동력을 종동 회전체에 전달하는 전달 기구를 구비하여, 상기 유리 기판의 양단부를 구동 회전체와 종동 회전체에 의해 접촉 지지하면서 추진력을 부여하도록 구성되고,

    상기 전달 기구가 상기 제3 순환로에 배치되어 있는, 판형체 반송 장치.
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