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KR100696913B1 - 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드 및 그 제조방법 - Google Patents

정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드 및 그 제조방법 Download PDF

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KR100696913B1
KR100696913B1 KR1020050020531A KR20050020531A KR100696913B1 KR 100696913 B1 KR100696913 B1 KR 100696913B1 KR 1020050020531 A KR1020050020531 A KR 1020050020531A KR 20050020531 A KR20050020531 A KR 20050020531A KR 100696913 B1 KR100696913 B1 KR 100696913B1
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Abstract

정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드 및 그 제조방법이 개시된다. 양방향으로 복수의 제1 돌출부와 제2 돌출부가 형성되는 참빗형상의 고정자와, 일단부가 다이어프램에 결합되는 제1 부재 및 제2 부재를 포함하되, 제1 부재에는 제1 돌출부에 대향하여 제1 돌출부에 접촉하지 않고 치합하는 복수의 제3 돌출부가 형성되고, 제2 부재에는 제2 돌출부에 대향하여 제2 돌출부에 접촉하지 않고 치합하는 복수의 제4 돌출부가 형성되는 이동자를 포함하는 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드는, 헤드의 구조를 소형화할 수 있고, 다이어프램 구동체의 정전력을 크게 하여 적은 전압으로도 큰 변위를 얻을 수 있어 잉크 배출 압력이 증가된다.
정전형, 잉크젯, 프린터, 헤드, 빗형상체

Description

정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드 및 그 제조방법{Ink jet head having an electrostatic actuator and method of the same}
도 1은 종래의 압전 방식 잉크젯 헤드의 단면도.
도 2는 종래의 정전형 잉크젯 헤드의 단면도.
도 3은 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드의 단면도.
도 4는 도 3의 A 부분에 대한 확대도.
도 5는 도 4의 B-B′에 대한 단면도.
도 6은 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드에 전압이 인가된 경우의 단면도.
도 7은 본 발명의 바람직한 제2 실시예에 따른 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드의 단면도.
도 8은 본 발명의 바람직한 제3 실시예에 따른 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드의 단면도.
도 9는 본 발명의 바람직한 제4 실시예에 따른 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드의 단면도.
도 10은 본 발명의 바람직한 제4 실시예에 따른 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드에 전압이 인가된 경우의 단면도.
도 11은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드의 제조공정을 도시한 흐름도.
도 12는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드의 제조방법을 나타낸 순서도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100 : 정전구동기 110 : 고정자
112 : 제1 돌출부 114 : 제2 돌출부
120 : 이동자 122 : 제1 부재
124 : 제2 부재 126 : 제3 돌출부
128 : 제4 돌출부 130 : 잉크챔버
132 : 다이어프램 134 : 잉크노즐
136 : 잉크주입구 138 : 잉크액적
200 : 프레임
본 발명은 프린터 헤드에 관한 것으로, 보다 상세하게는 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드 및 그 제조방법에 관한 것이다.
잉크젯 헤드의 구동방식에는 열전사(thermal) 방식과 압전 방식이 있다. 이 중 열전사 방식은 헤드의 챔버 내에 열을 공급할 수 있는 히터를 장착하여 짧은 시간 내에 상당히 큰 열에너지를 공급하며, 이로 인해 챔버 내의 잉크에 기포(bubble)가 형성됨으로써 잉크가 노즐을 통해 분사되는 방식으로 구동되나, 열에너지에 의해 발생되는 기포의 압력으로 인한 반복된 충격 때문에 내구성에 문제가 있으며, 잉크 액적의 크기를 조절하기 어렵고 인쇄 속도를 증가시키는 데에 한계가 있다.
한편, 압전 방식은 헤드의 챔버에 압력을 가할 수 있도록 다이아프램에 압전물질을 부착하여 전압이 인가되면 힘을 발생시키는 압전특성을 이용하며, 이로 인해 챔버에 압력을 제공함으로써 잉크를 밀어내는 방식으로 구동되며, 인가되는 전압에 따른 힘을 발생시켜 챔버 내에 압력을 가하는 방식이므로 속도면에서 성능이 우수하여 널리 사용되고 있다.
도 1은 종래의 압전 방식 잉크젯 헤드의 단면도이다. 도 1을 참조하면, 종래의 압전 방식 잉크젯 헤드는 기판(7)과, 다이아프램(8)과, 압전소자(9)와, 격벽(10)과 노즐판(1)으로 구성된다. 이와 같이 구성되는 압전 방식의 잉크젯 헤드는 구동신호 발생기(4)로부터 상기 압전소자(9)에 구동신호를 인가하면 압전소자(9)는 기계적으로 신축되며, 이러한 압전소자(9)의 신축작용으로 인하여 잉크챔버(2)내의 잉크(5)가 노즐(3) 밖으로 밀려나가게 되어 잉크 액적(6)이 토출된다.
그러나, 압전 방식 잉크젯 헤드는 고가의 압전소자를 사용하기 때문에 가격이 비싸며, 압전소자를 전극, 절연층, 보호층 등과 잘 조화시켜야 하기 때문에 그 제조공정이 까다로워 수율이 저조한 문제점이 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위해서 정전력을 이용한 잉크젯 헤드가 사용되고 있다. 이러한 잉크젯 프린터헤드는 제작의 간편성, 저 소비전력 및 단순한 동작원리 등의 이점이 있기 때문에 잉크젯 헤드의 방식 중의 하나로 급부상하고 있다.
도 2는 종래의 정전형 잉크젯 헤드의 단면도로서, 다이아프램을 구비한 잉크젯 헤드를 나타낸 미국 특허 제5,894,316호의 FIG.1을 나타낸 것이다. 도 2를 참조하면, 종래의 정전형 잉크젯 헤드는 일측면에 전극(12)이 설치되는 유리판(11)과, 상기 유리판(11)과 일정한 간격을 두고 설치되는 하부기판(13)과, 상기 하부기판(13)의 상면에 설치되어 잉크가 토출 되는 통로인 노즐(15)이 형성되어 있는 상부기판(16)과, 상기 상부기판(16)과 하부기판(13)의 사이에 개재되며, 상기 하부기판(13)의 양측면에 각각 설치되는 중앙기판(14)과, 이들에 둘러싸여 잉크가 저장되는 챔버를 이루는 잉크챔버(17)로 구성된다. 상기 유리판(11)에 설치되어 있는 전극(12)에 대향하여 상기 하부기판(13)에는 도 2에 표시된 간격 G를 사이에 두고 또하나의 전극이 설치된다.
이와 같이 구성되는 정전형 잉크젯 헤드는 전원이 인가되면 2개의 전극에 서로 다른 전하가 대전되어 이들 사이에 서로 끌어당기는 인력이 작용한다. 따라서, 잉크를 저장하는 챔버에 설치되어 있는 전극이 다른 전극(12) 쪽으로 끌어당겨지게 된다. 전원이 단속되면, 끌어당겨진 전극은 다시 원래의 상태로 돌아가게 되어 잉크 챔버속에 들어있는 잉크에 압력을 가하게 된다. 이 압력에 의하여 잉크가 노즐을 통하여 외부로 방출되게 된다.
이와 같은 정전형 잉크젯프린터 헤드에서는 압력이 가해지는 잉크 챔버를 일정한 크기 이상으로 형성해야 하고, 정전력을 증가시키고 끌어당겨지는 전극인 박막의 강성을 낮추기 위해서는 전극이 서로 대향하는 면적을 넓게 해야 한다. 이렇게 되면, 노즐당 차지하는 면적이 커지게 되므로 노즐간격이 넓어지게 되어 프린터의 해상도를 높이는 데에 한계가 있고, 제조비용도 상승하는 단점이 있다. 또한, 전극을 형성하기 위해 별도로 금속을 증착해야 하므로 제조공정이 복잡해지는 문제가 있다.
정전형 잉크젯 헤드의 잉크 배출압력을 향상시키기 위한 종래기술로는 첫째, 대한민국 등록특허공보 제10-0242157호('정전구동형 잉크젯 헤드')를 들 수 있다. 그러나, 상기 발명은 핑거가 일방향으로만 돌출되어 있고, 하나의 정전구동기에 의해 다이어프램을 가압하며, 정전구동기가 다이어프램에만 고정되는 구조로서 정전력을 증가시키는 데에 한계가 있다는 문제가 있다.
둘째, 일본 공개특허공보 제2003-276194호('정전액츄에이터, 액적토출헤드 및 잉크젯 기록장치')를 들 수 있다. 그러나, 상기 발명은 핑거가 일방향으로만 돌출되어 있고, 구동체가 프레임에 의해 별도의 구성요소로 구획되어 있지 않으며, 서로 대향하는 평판인 가동전극과 고정전극을 여러겹 적층시켜 정전력이 증가시키고자 한 것으로, 전극 간의 거리에 상관없이 큰 변위를 얻을 수 있는 것은 아니라는 한계가 있다.
본 발명은 정전형 잉크젯 헤드의 구조를 소형화할 수 있고, 다이어프램 구동 체의 정전력을 크게 하여 적은 전압으로도 큰 변위를 얻을 수 있어 잉크 배출 압력이 증가된 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 일측면에 따르면, 복수의 제1 돌출부가 빗살형상으로 형성되는 하나 이상의 고정자와, 제1 돌출부에 대향하는 부분에 상기 제1 돌출부에 접촉하지 않고 치합하는 복수의 제2 돌출부가 형성되는 하나 이상의 이동자와, 이동자의 일단부가 결합되는 다이어프램을 포함하는 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드가 제공된다.
이동자는 고정자를 내부에 수용하는 폐구획 형상인 것이 바람직하다.
또한, 양방향으로 복수의 제1 돌출부와 제2 돌출부가 형성되는 참빗형상의 고정자와, 일단부가 다이어프램에 결합되는 제1 부재 및 제2 부재를 포함하되, 제1 부재에는 제1 돌출부에 대향하여 제1 돌출부에 접촉하지 않고 치합하는 복수의 제3 돌출부가 형성되고, 제2 부재에는 제2 돌출부에 대향하여 제2 돌출부에 접촉하지 않고 치합하는 복수의 제4 돌출부가 형성되는 이동자를 포함하는 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드가 제공된다.
이동자는 제1 부재와 제2 부재의 양단부가 각각 서로 결합되어 고정자를 내부에 수용하는 폐구획을 형성할 수 있다.
폐구획은 육각형 형상일 수 있으며, 제1 돌출부와 제1 부재 간의 최단거리 또는 제2 돌출부와 제2 부재 간의 최단거리는 제1 돌출부와 제3 돌출부 간의 간격 또는 제2 돌출부와 제4 돌출부 간의 간격의 크기보다 큰 것이 바람직하다.
제1 돌출부 내지 제4 돌출부 중 어느 하나 이상의 돌출방향으로의 단면의 형상은 직사각형일 수 있다. 제1 돌출부 내지 제4 돌출부 중 어느 둘 이상은 동일한 형태로 형성될 수 있다.
고정자 또는 이동자는 단결정 실리콘을 포함할 수 있으며, MEMS(Micro Electro Mechanical System) 공정에 의해 제조되는 것이 바람직하다.
또한, 고정자 및 이를 수용하는 이동자를 포함하는 정전구동기를 수용하는 프레임과, 프레임에 수용되며, 하나 이상의 면에 다이어프램을 포함하는 잉크챔버와, 잉크챔버의 일측에 형성되는 잉크노즐과, 잉크챔버에 결합되는 잉크 주입구를 더 포함하되, 정전구동기의 일단부는 다이어프램에 결합되는 것이 바람직하다.
잉크챔버는 다각형의 단면을 가지고, 다각형의 각 변에는 다이어프램이 선택적으로 포함되어 있으며, 각각의 다이어프램에는 정전구동기가 결합되는 것이 바람직하다. 다이어프램에는 복수의 정전구동기가 결합될 수 있다.
또한, 상기 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드를 포함하는 잉크 카트리지 및 상기 잉크 카트리지와, 고정자 또는 이동자에 전원을 인가하는 구동회로를 포함하는 정전구동기를 구비한 잉크젯 프린터가 제공된다.
또한, 가공된 SOI 기판 위에 가공된 유리기판을 결합한 후, 그 위에 배선으로 사용할 메탈 패턴을 형성하여 고정자와 이동자를 포함하는 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드를 제조하되, 가공된 SOI 기판은, (a-1) 산화막층을 포함하는 있는 SOI(Silicon on Insulator) 기판 위에 PR 코팅층을 형성하는 단계, (a-2) PR 코팅층에 정전구동기의 패턴을 형성(PR patterning)하는 단계, (a-3) 단계 (a-2)에서 형성된 패턴에 따라 SOI 기판의 실리콘층을 산화막층이 시작되는 부분까지 식각하는 단계, 및 (a-4) dilute HF 용액을 이용하여 산화막층 중 이동자가 형성되는 부분의 산화막층을 습식 식각하는(wet etching) 단계를 포함하는 SOI 기판 가공방법에 형성되고, 가공된 유리기판은, (b-1) 유리기판의 상면에 DFR(Dry Film Resistor)을 열압착하여 부착하는 단계, (b-2) 유리기판의 하면 중 이동자에 대응되는 부분에 공동(cavity)을 건식 식각하는 단계, 및 (b-3) 유리기판 중 고정자에 대응하는 부분을 천공하는 단계를 포함하는 유리기판 가공방법에 의해 형성되는 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드 제조방법이 제공된다.
가공된 SOI 기판과 가공된 유리기판의 결합은 양극접합(anodic bonding)에 의해 이루어질 수 있다. 단계 (a-3)은 ICP 건식 식각방법(dry etching)에 의해 이루어질 수 있다. 단계 (b-2)의 식각 또는 단계 (b-3)의 천공은 분사법(sandblaster)에 의해 이루어질 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드 및 그 제조방법의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 또한, 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기에 앞서 일반적인 원리에 대해서 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드의 단면도이고, 도 4는 도 3의 A 부분에 대한 확대도이고, 도 5는 도 4의 B-B′에 대한 단면도이다. 도 3 내지 도 5를 참조하면, 정전구동기(100), 고정자(110), 제1 돌출부(112), 제2 돌출부(114), 이동자(120), 제1 부재(122), 제2 부재(124), 제3 돌출부(126), 제4 돌출부(128), 잉크챔버(130), 다이어프램(132), 잉크노즐(134), 잉크주입구(136), 잉크액적(138), 프레임(200)이 도시되어 있다.
제1 실시예에 따른 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드는, 육각형 모양의 정전구동기(100)의 일단부가 잉크챔버(130)의 다이어프램(132)에 고정되어 있어, 정전구동기(100)의 고정자(110)와 이동자(120)에 전압을 인가하면 상호 간에 끌어당기는 정전력이 발생하고, 정전구동기(100)의 형상이 변화하여, 이로 인해 다이어프램(132)을 가압함으로써 잉크챔버(130)의 용적이 감소하여 잉크챔버(130) 내의 잉크를 잉크노즐(134)을 통해 분사하게 되며, 전압을 인가하지 않으면 정전구동기(100)의 복원력에 의해 다이어프램(132)이 원래의 위치로 복원하게 되므로 잉크챔버(130)의 용적이 증가하여 잉크유입구를 통해 잉크가 유입되어 잉크챔버(130)에 채워지는 것을 특징으로 한다.
본 발명 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드는 종래의 열전사 방식 또는 압전 방식보다 수십 kHz 이상 더 높은 주파수에서 작동할 수 있고, 제조공정도 간단하므로 생산성 측면에서 유리한 효과를 가진다.
도 3에 도시된 바와 같이, 정전구동기(100)는 n+1개의 제1 돌출부(112) 및 제2 돌출부(114)가 양방향으로 돌출되는 참빗형상의 고정자(110)와, 제1 돌출부(112)에 대향하여 n개의 제3 돌출부(126) 및 제2 돌출부(114)에 대향하여 n개의 제 4 돌출부(128)가 각각 돌출되어 있는 육각형 모양의 프레임으로 이루어진 이동자(120)로 구성되며, 이러한 고정자(110) 및 이동자(120)는 단결정 실리콘으로 이루어져 고정자(110) 및 이동자(120)에 전압을 인가하면 상호간에 끌어당기는 방향의 정전력이 발생된다.
인가된 전압과 발생되는 정전력 및 변위의 관계는 식 (2), 식 (3)과 같다. 즉, 고정자(110)에 식 (1)과 같은 전압(V)을 인가하고 이동자(120)를 접지로 하면 식 (2), 식 (3)과 같은 정전력(Fe)이 발생한다.
Figure 112005013000036-pat00001
(1)
Figure 112005013000036-pat00002
(2)
Figure 112005013000036-pat00003
(3)
여기서,
Vd : 전압의 mean값(volt)
Va : 교류전압의 크기(amplitude, volt)
ωt : 공진주파수 x 시간(Hz·second)
C : 정전용량(F)
L: 초기 위치(도 4 참조)
H : 이동자 끝단과 고정자와의 거리(도 4 참조)
w : 빗형상체의 폭(도 5 참조)
또한, 이로부터 식 (4)가 성립하게 되며, 식 (4)에서 알 수 있듯이 정전력에 의해 이동자(120)가 고정자(110) 쪽으로 변형한 거리는 고정자(110)와 이동자(120)의 거리에 무관하게 된다.
Figure 112005013000036-pat00004
(4)
여기서,
C : 정전용량(F)
x : 이동자가 움직인 거리(도 4 참조)
ε: 유전율
t : 이동자의 두께(도 5 참조)
g : 제1 돌출부와 제3 돌출부 또는 제2 돌출부와 제4 돌출부의 간격(도 5 참조)
도 4 및 도 5를 참조하여 ∂C/∂x를 정성적으로 구하는 과정을 보다 상세하게 설명한다. 빗살형상의 이동자가 초기 위치인 L에서 x만큼 움직였다면, 이때 이동자에 수직한 전기력선에 의해서 발생되는 정전용량은 식 (5)와 같이 계산된다.
Figure 112005013000036-pat00005
(5)
식 (5)에서 알 수 있듯이, H가 g에 비해 충분히 큰 경우 이동자의 빗살구조의 단부에서 발생한 정전용량은 일정할 것이다. 따라서 ∂C/∂x는 식 (4)와 같이 x에 무관하게 선형적으로 된다.
본 실시예의 정전구동기(100)는 고정자(110)와 이동자(120)로 구성되며, 고정자(110)에는 돌출부가 빗살형상으로 형성되어 있고, 이동자(120)는 육각형 형상의 폐구획으로서 그 내부에 고정자(110)를 수용하며, 고정자에 형성된 돌출부에 치합하는 복수의 돌출부를 포함한다.
보다 바람직하게는, 본 실시예의 정전구동기(100)는 고정자(110)와 이동자(120)로 구성되며, 고정자(110)는 양방향으로 돌출부가 형성된 참빗형상이고, 이동자(120)는 2개의 부재로 구성되며 고정자(110)의 돌출부에 치합하는 돌출부가 형성되는 육각형 형상의 구획을 형성한다.
즉, 고정자(110)는 양방향으로 복수의 제1 돌출부(112)와 제2 돌출부(114)가 형성된 참빗형상으로, 그 위치가 고정되어 있다. 이동자(120)는 제1 부재(122)와 제2 부재(124)로 구성되며, 제1 부재(122)와 제 2부재의 양단부는 각각 서로 결합되어 고정자(110)를 그 내부에 수용하는 폐구획을 형성한다.
도 3을 참조하면, 고정자(110)에서 상방으로 돌출된 것이 제1 돌출부(112), 하방으로 돌출된 것이 제2 돌출부(114)이고, 이동자(120)에서 상부에 위치한 것이 제1 부재(122), 하부에 위치한 것이 제2 부재(124)이며, 제1 돌출부(112)에 대향하는 제1 부재(122)의 부분에서 제1 돌출부(112)를 향해 돌출된 것이 제3 돌출부(126), 제2 돌출부(114)에 대향하는 제2 부재(124)의 부분에서 제2 돌출부(114)를 향해 돌출된 것이 제4 돌출부(128)이다.
다만, 이와 같이 번호를 부여한 순서는 본 발명에 대한 상세한 설명을 위해 명명한 것이며, 본 발명의 각 구성요소가 반드시 상기와 같은 번호의 순서에 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 정전구동기(100)는 식 (4)에서 알 수 있듯이 고정자(110)와 이동자(120) 간의 거리(101)보다는 돌출부 간의 간격, 즉 제1 돌출부(112)와 제3 돌출부(126) 또는 제2 돌출부(114)와 제4 돌출부(128)의 간격(102)에 의해 정전력의 크기가 결정되므로, 고정자(110)와 이동자(120) 간의 거리(101)와 상관없이 전위차(V)에 따라 이동자(120)가 움직이는 변위(x)를 조절할 수 있게 되며, 이로 인해 이동자(120)의 변위가 커지면 정전구동기(100)가 다이어프램(132)을 가압하여 변형시키는 거리를 크게 설계할 수 있다.
따라서, 제1 돌출부(112)와 제3 돌출부(126), 또는 제2 돌출부(114)와 제4 돌출부(128)는 그 측면 간의 거리 즉, 간격(102)을 충분히 가깝게 형성하는 것이 좋으며, 이에 따라 고정자(110)와 이동자(120) 간의 거리(101)는 평평한 면이 대향하고 있는 종래의 헤드구조에 비해 덜 중요하게 된다. 이로 인해 제조가 용이하게 되며, 헤드 작동의 신뢰성이 향상된다.
본 실시예는 제1 돌출부(112)와 제3 돌출부(126), 또는 제2 돌출부(114)와 제4 돌출부(128)를 각각 하나 이상 형성하여 측면이 서로 근접하도록 엇배치함으로써 그 효과를 도출할 수 있으나, 보다 바람직하게는 빗살(comb)과 같은 구조가 되도록 복수의 돌출부를 형성하는 것이 좋다.
즉, 고정자(110)의 양방향으로 빗살형상으로 복수의 제1 돌출부(112)와 제2 돌출부(114)를 형성하고, 이에 대응하여 이동자(120)에 빗살형상으로 복수의 제3 돌출부(126)와 제4 돌출부(128)가 기어가 맞물리는 것과 같이 치합(齒合)되도록 하면, 고정자(110)와 이동자(120)에 있어서 정전력이 작용하는 부분의 면적이 극대화되므로 본 발명의 효과를 도출하는데에 있어 가장 효율적이다.
물론, 이와 같이 빗살구조가 서로 치합(齒合)되도록 배치할 때에는 정전력이 발생할 수 있도록 서로 전기적으로 접촉하지 않게, 즉 절연되게 해야 한다.
이동자(120)의 제1 부재(122)와 제2 부재(124)는 양단부에서 서로 결합되어야 하므로, 전체적으로 육각형 형상의 폐구획이 형성되나, 본 발명이 반드시 이동자(120)의 형상을 육각형에 한정하는 것은 아니며, 타원형 또는 일부를 곡선으로 형성할 수 있음은 물론이다.
이동자(120)의 전체적인 형상은 고정자(110)와 이동자(120) 간에 정전기적 인력이 작용할 경우 이동자(120)의 움직임에 따라 이동자(120)의 전체적인 형상의 변화, 특히 도 3에서 이동자(120)의 가로방향으로의 변형의 정도가 가장 크도록 형성하는 것이 바람직하다. 이와 같이 함으로써 정전력을 이용하여 잉크챔버(130)의 다이어프램(132)을 보다 효율적으로 가압할 수 있기 때문이다.
본 발명에 따른 잉크젯 헤드는 고정자(110)와 이동자(120) 간의 거리, 즉 제1 돌출부(112)와 제1 부재(122) 간의 최단거리 또는 제2 돌출부(114)와 제2 부재(124) 간의 최단거리와 무관하게 정전력이 발생하도록 하는 것이므로, 상기 최단거리를 충분히 크게 하여 이동자(120)가 움직이는 변위를 극대화할 수 있다.
전술한 바와 같이 본 실시예에서는 제1 돌출부(112)와 제3 돌출부(126) 간의 간격 또는 제2 돌출부(114)와 제4 돌출부(128) 간의 간격이 정전력의 크기를 결정하는 데에 있어서 중요하게 되므로, 제1 돌출부(112)와 제1 부재(122) 간의 최단거리 또는 제2 돌출부(114)와 제2 부재(124) 간의 최단거리는 제1 돌출부(112)와 제3 돌출부(126) 간의 간격 또는 제2 돌출부(114)와 제4 돌출부(128) 간의 간격의 크기보다 크게 할 수 있다.
통상적으로 돌출부의 두께 및 간격이 수 ㎛ 정도일때 고정자(110)와 이동자(120) 간의 거리(상기 최단거리)는 그 이상으로 형성할 수 있다. 이와 같이 고정자(110)와 이동자(120) 간의 거리를 크게 함으로써, 이동자(120)가 움직이는 변위를 극대화할 수 있으며, 이에 따라 정전구동기(100)가 다이어프램(132)을 가압하는 힘이 증가하여 결과적으로 잉크 배출 압력을 증가시킬 수 있게 된다.
돌출부(112, 114, 126, 128)의 돌출방향으로의 단면의 형상은 직사각형인 것이 좋다. 그러나, 본 발명이 반드시 돌출부의 단면의 형상이 직사각형인 것에 한정되는 것은 아니며, 삼각형, 사다리꼴, 반원형, 타원형, 종형 등 정전력을 증가시키기 위해 면적을 극대화할 수 있는 형상을 포함함은 물론이다.
다만, 이동자(120)의 제1 부재(122) 및 제2 부재(124)는 정전력에 의해 움직이는 부재이므로 그 이동 과정에서 기구적으로 문제가 생길 수 있는 형상보다는 직사각형이 바람직하다. 또한, 본 발명은 평행하게 대향하는 2개의 전극 사이에서 발생하는 정전력을 이용하는 것이므로, 삼각형이나 사다리꼴과 같이 돌출부 간의 간격이 부위에 따라 다르게 되는 형상보다는 직사각형과 같이 평행하게 대향하는 면 을 가장 많이 확보할 수 있는 형상이 바람직하다.
돌출부(112, 114, 126, 128)는 각각 복수로 형성되며, 각각의 형태는 반드시 동일해야 하는 것은 아니다. 즉, 제1 부재(122) 또는 제2 부재(124)의 중앙부위와 단부에서 제3 돌출부(126) 또는 제4 돌출부(128)의 형태를 달리할 수 있으며, 보다 큰 정전력을 얻기 위해 다양한 형태로 형성할 수 있음은 물론이다.
다만, 설계 및 제조의 편의상 각 돌출부가 동일한 형태로 반복되도록 형성하는 것이 바람직하다. 제1 돌출부(112)와 제3 돌출부(126), 또는 제2 돌출부(114)와 제4 돌출부(128) 또한 그 형태를 다르게 형성할 수 있으나, 전술한 바와 마찬가지로 설계 및 제조의 편의상 각 돌출부의 형태를 동일하게 형성하는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명 정전구동기(100)는 고정자(110)의 상하방향으로 대칭되게 위치하고 있는 이동자(120)가 고정자(110)에 대한 정전기적 인력에 의해 움직이게 되어 정전구동기(100)의 형상이 도 3에서 가로방향으로 신장됨에 따라 다이어프램(132)을 가압하게 되는 구조이므로, 제1 돌출부(112)와 제2 돌출부(114), 그리고 제3 돌출부(126)와 제4 돌출부(128)를 각각 대칭으로 형성하는 것이 정전구동기(100)의 변형에 있어서 가장 효율적이다.
또한, 본 발명의 빗살형 정전구동기(100)는 모든 구조가 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 공정에 의해 제조되는 것이 바람직하다. MEMS, 즉 마이크로 전자기계 시스템은 전자기계 소자를 육안으로는 보이지 않을 정도로 작은 마이크로 규모로 제작하는 기술로서, 아주 작은 기계 구조물을 제작하는 모든 분야에 응용되 는 기술이다.
MEMS 기술은 미세 가공 기술을 마이크로 단위의 초소형 센서나 구동기 및 전기 기계적 구조물을 제작하는데 응용한 것으로, 기존의 반도체 공정, 특히 집적회로 기술을 응용한 미세 가공 기술에 해당한다. 이와 같은 MEMS 가공기술로 제작된 미세 기계는 ㎛ 이하의 정밀도까지 구현할 수 있다. 본 발명의 고정자(110) 및 이동자(120) 간의 간격은 수 ㎛ 이하의 크기로 제조될 수 있어야 하며, 정전력에 따라 기계적으로 구동되는 부분이므로, 전술한 MEMS 공정에 의해 제조되는 것이 좋다.
다만, 본 발명이 정전구동기(100)의 제조공정을 MEMS 에 한정하는 것은 아니며, 당업자에게 자명한 범위 내에서 발명의 효과를 도출할 수 있는 모든 제조공정을 포함할 수 있은 물론이다.
고정자(110)와 이동자(120)는 각각 일체로 형성하는 것이 좋으며, 단결정 실리콘으로 제조하는 것이 바람직하다. 다만, 본 발명이 고정자(110)와 이동자(120)의 재질에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 효과를 도출할 수 있는 당업자에게 자명한 범위 내에서 전기적, 기계적 특성을 만족하는 다른 재질을 포함할 수 있음은 물론이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드에 전압이 인가된 경우의 단면도이다. 도 6을 참조하면, 정전구동기(100), 고정자(110), 제1 돌출부(112), 제2 돌출부(114), 이동자(120), 제1 부재(122), 제2 부재(124), 제3 돌출부(126), 제4 돌출부(128), 잉크챔버(130), 다이어프램(132), 잉크노즐(134), 잉크주입구(136), 잉크액적(138), 프레임(200)이 도시되어 있다.
본 실시예에 따른 잉크젯 헤드는 프레임(200) 내부에 정전구동기(100)와 잉크챔버(130)가 수용되며, 정전구동기(100)의 일단부는 잉크챔버(130)의 다이어프램(132)에 고정된다. 잉크챔버(130)는 정전구동기(100)의 타단부에 대응되는 부분에 형성되며 가압에 따라 변형가능한 다이어프램(132)과, 프레임(200)과 결합되는 부분에 다이어프램(132)의 가압에 따라 잉크가 분사되는 잉크노즐(134)과, 잉크주입구(136)로 구성된다. 정전구동기(100)는 빗살구조의 고정자(110)와 이동자(120)로 이루어짐은 전술한 바와 같다.
도 6에서와 같이 본 발명에 따른 정전구동기(100)를 구비한 잉크젯 헤드는 고정자(110)와 이동자(120)에 전압이 인가되면 인가되는 전압의 제곱에 비례하여 생성되는 정전력에 의해 이동자(120)가 움직이게 된다. 즉, 도 6에서 정전구동기(100)의 세로방향의 크기가 줄어들게 되며, 이에 따라 정전구동기(100)의 가로방향의 크기가 늘어나게 된다. 이로 인해 정전구동기(100)에 결합된 잉크챔버(130)의 다이어프램(132)에 압력이 가해지게 되며, 잉크챔버(130)의 용적이 줄어들게 되므로 잉크챔버(130)에 채워져 있는 잉크가 잉크노즐(134)을 통해 분사된다.
인가된 전압이 해제되어 이동자(120)가 원래의 형태로 복원되면, 잉크챔버(130)의 용적이 다시 원래대로 늘어나게 되므로 잉크공급원(미도시)으로부터 잉크 유입구를 통해 잉크가 공급되어 잉크챔버(130) 내에 채워진다.
고정자(110)와 이동자(120)에 전압이 인가되어 도 6에서 정전구동기(100)의 가로방향의 크기가 신장되면, 정전구동기(100)의 양단부에 압력이 가해지게 된다. 이때 정전구동기(100)로부터의 압력을 최대한 잉크챔버(130)의 다이어프램(132)에 전달하기 위해서는 정전구동기(100)의 타단부는 프레임(200)에 고정시킬 수 있다. 프레임(200)은 변형되지 않으므로 정전구동기(100)는 다이어프램(132) 쪽으로만 신축되며, 정전력에 의한 압력이 다이어프램(132)으로만 전달되게 된다.
다만, 정전구동기(100)가 다이어프램(132) 쪽으로만 변형될 경우 이동자(120)가 고정자(110) 쪽으로만 움직이는 것이 아니라 다이어프램(132) 쪽으로도 움직이게 된다. 이에 따라 고정자(110)의 제1 돌출부(112)와 이동자(120)의 제3 돌출부(126), 또는 고정자(110)의 제2 돌출부(114)와 이동자(120)의 제4 돌출부(128)가 서로 접촉하게 될 가능성도 있다. 따라서, 이 경우에는 정전구동기(100)의 일단부만 다이어프램(132)에 결합시키고 타단부는 자유롭게 움직일 수 있도록 하는 것이 좋다.
그러나, 정전구동기(100)의 타단부를 자유단으로 할 경우 정전구동기(100)가 다이어프램(132)을 가압하는 것에 대한 반작용으로 이동자(120)가 다이어프램(132)의 반대방향으로 움직일 우려도 있으므로, 정전구동기(100)의 타단부를 탄성이 있거나 변형가능한 부재를 개재하여 프레임(200)과 결합시키거나, 정전구동기(100)가 최대한 신장되었을때에는 정전구동기(100)의 타단부가 프레임(200)과 만나도록 설계하는 것이 바람직하다.
본 발명의 정전구동기(100)는 육각형 등으로 형성된 폐구획의 형상이 변형됨에 따라 다이어프램(132)을 가압하는 방식이므로 이동자(120)의 움직인 거리가 반드시 다이어프램(132)이 변형된 거리와 동일한 것은 아니다. 따라서, 고정자(110) 의 제1 돌출부(112)와 이동자(120)의 제3 돌출부(126), 또는 고정자(110)의 제2 돌출부(114)와 이동자(120)의 제4 돌출부(128)가 서로 접촉되지 않는 범위에서 다이어프램(132)이 변형되는 변위로도 충분히 본 발명의 효과를 도출할 수 있는 경우에는 정전구동기(100)의 타단부를 프레임(200)에 고정시킬 수 있다.
도 7은 본 발명의 바람직한 제2 실시예에 따른 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드의 단면도이고, 도 8은 본 발명의 바람직한 제3 실시예에 따른 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드의 단면도이다. 도 7을 참조하면 고정자(1101), 제1 돌출부(1121), 제2 돌출부(1141), 이동자(1201), 제1 부재(1221), 제2 부재(1241), 제3 돌출부(1261), 제4 돌출부(1281)가 도시되어 있고, 도 8을 참조하면 고정자(1102, 1103), 제1 돌출부(1122), 제2 돌출부(1142), 이동자(1202), 제1 부재(1222), 제2 부재(1242), 제3 돌출부(1262), 제4 돌출부(1282)가 도시되어 있다.
본 발명에 따른 정전구동기의 이동자가 제1 실시예와 같이 반드시 육각형 등의 폐구획을 형성하는 것에 한정되는 것은 아니다. 즉, 이동자가 반드시 폐구획을 형성해야 하는 것은 아니며, 이동자의 제1 부재와 제2 부재가 서로 분리되어 있는 경우 및 고정자가 2개의 부분으로 분리되어 있고 각 고정자에 대향하여 이동자가 위치하고 있는 경우도 본 발명에 포함됨은 물론이다.
도 7의 제2 실시예와 같이 이동자의 제1 부재(1221)와 제2 부재(1241)가 서로 분리되어 있는 경우에도 각 부재의 일단부가 다이어프램(132)에 결합되어 있으면, 고정자(1101)와 이동자(1201) 간의 정전기적 인력에 의해 이동자(1201)가 고정자(1101) 쪽으로 이동함에 따라 이동자(1201)의 일단부가 다이어프램(132)에 변형 을 유발하게 되며, 이와 같은 다이어프램(132)의 변형 및 복원에 의해 다이어프램(132)이 잉크챔버(130)를 가압함으로써 잉크가 토출될 수 있는 것이다.
또한, 도 3과 같이 고정자가 양방향으로 복수의 돌출부가 형성된 참빗형상이 아니고, 도 8의 제3 실시예와 같이 고정자가 분리된 복수의 부재(1102, 1103)로 형성된 경우에도, 각각의 고정자(1102, 1103)에 대향하여 이동자(1222, 1242)를 설치하고 그 일단부를 다이어프램(132)에 결합시키게 되면, 고정자와 이동자 간의 정전기적 인력에 의해 이동자(1222, 1242)가 고정자(1102, 1103) 쪽으로 이동함에 따라 전술한 바와 마찬가지로 이동자(1222, 1242)의 일단부가 다이어프램(132)에 변형을 유발함으로써 다이어프램이 잉크챔버(130)를 가압하도록 할 수 있다.
물론, 보다 바람직하게는 복수의 이동자의 각각의 일단부가 다이어프램의 한 지점에서 결합되도록 하게 되면, 이동자가 다이어프램에 가하는 변형력이 집중될 수 있어 보다 효율적으로 잉크챔버를 가압할 수 있으며, 그 바람직한 일 실시예가 도 3과 같이 이동자를 육각형의 폐구획으로 형성하는 것임은 상술한 바와 같다.
도 9는 본 발명의 바람직한 제4 실시예에 따른 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드의 단면도이고, 도 10은 본 발명의 바람직한 제4 실시예에 따른 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드에 전압이 인가된 경우의 단면도이다. 도 9 및 도 10을 참조하면, 정전구동기(100a, 100b, 100c), 고정자(110a), 제1 돌출부(112a), 제2 돌출부(114a), 이동자(120a), 제1 부재(122a), 제2 부재(124a), 제3 돌출부(126a), 제4 돌출부(128a), 잉크챔버(130a), 다이어프램(132a, 132b, 132c), 잉크노즐(134a), 잉크주입구(136a), 프레임(200a)이 도시되어 있다.
도 9를 참조하여, 제4 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 구조를 설명하면, 프레임(200a) 내부에 잉크챔버(130a)를 수용하고, 잉크챔버(130a)의 각 변에 다이어프램(132a, 132b, 132c)을 형성하고, 각 다이어프램(132a, 132b, 132c)에는 제1 실시예에서 설명한 정전구동기(100)를 결합시킨다. 도 9에는 사각형의 잉크챔버(130a)의 일 변은 잉크 주입구로, 나머지 세 변은 다이어프램(132a, 132b, 132c)으로 형성하고 각 다이어프램(132a, 132b, 132c)에 정전구동기를 결합하여 총 세개의 정전구동기기(100a, 100b, 100c)가 결합되어 있다. 잉크챔버(130a)의 일단부(도 9에서는 수직상방)에는 잉크노즐(134a)을 형성하여, 다이어프램(132a, 132b, 132c)을 가압함에 따라 잉크노즐(134a)을 통해 잉크가 배출되도록 하였다.
제4 실시예는 프레임(200a) 내에 수용되는 잉크챔버(130a)에 복수의 다이어프램(132a, 132b, 132c)을 형성하고 각 다이어프램에 정전구동기(100)를 결합하여, 각 정전구동기(100a, 100b, 100c)가 변형함에 따라 다이어프램(132a, 132b, 132c)을 가압하게 되므로 전체적으로는 잉크챔버(130a)의 용적이 정전구동기가 하나일 때보다 더 많이 줄어들게 된다. 이로 인해 잉크챔버(130a)로부터 토출되는 잉크의 양이 많아지거나, 종래에는 정전력의 한계로 인해 사용할 수 없었던 점도 높은 잉크를 사용할 수 있게 된다. 한편, 잉크챔버(130a)에 가해지는 압력을 작게 하여 적은 양의 잉크를 분사하거나, 점도가 낮은 잉크를 분사하고자 할 경우에는 정전구동기(100)에 인가하는 전위차 등을 조절하여 정전기력을 작게 하면 된다.
따라서, 전술한 잉크젯 헤드 및 이를 사용한 잉크 카트리지 및 잉크젯 프린터는 보다 많은 양의 잉크를 분사하여 인쇄할 수 있거나, 점도 높은 잉크를 사용하 여 인쇄할 수 있으므로, 적용성이 향상되게 된다. 물론, 전술한 바와 같이 적은 양의 잉크나 점도가 낮은 잉크를 사용하고자 할 경우에는 전위차 등을 조절할 수 있으므로 사용상의 문제는 발생하지 않는다.
잉크챔버(130a)를 다각형의 단면을 가지도록 제작하고, 그 다각형의 각 변에 다이어프램(132a, 132b, 132c)을 형성하여, 각 다이어프램에 정전구동기를 결합하는 것이 바람직하며, 상기 다각형은 변이 많을수록 많은 수의 정전구동기가 결합되므로 제조의 난이도, 시간 및 비용, 요구되는 잉크 배출 압력 등을 고려하여 충분히 많은 수의 변을 가진 다각형의 잉크챔버(130a)를 형성하는 것이 보다 바람직하다.
다만, 본 발명이 잉크챔버의 단면의 형상을 반드시 다각형에 한정한 것은 아니며, 원, 타원, 폐곡선 등 곡선이 포함된 형상도 포함함은 물론이다. 잉크챔버의 단면을 곡선형상으로 형성한 경우 각 다이어프램의 양단부에 해당하는 부분은 고정되도록 하는 것이 정전구동기로부터의 압력이 효율적으로 잉크챔버에 전달되도록 하는 데에 있어 바람직하다.
한편, 각 다이어프램에는 반드시 하나의 정전구동기가 결합되어야 하는 것은 아니며, 하나의 다이어프램에 복수의 정전구동기가 결합될 수도 있다.
하나의 다이어프램에 복수의 정전구동기를 각각 결합한 경우에는 정전구동기의 신장된 변위는 합산되지 않지만, 1 지점에서 다이어프램을 가압하는 경우보다, 2 이상의 지점에서 다이어프램을 가압하게 되므로, 결과적으로 잉크챔버의 용적이 감소되는 정도는 증가하게 된다. 제1 실시예의 경우에도 다이어프램에 복수의 정전 구동기를 결합시켜 잉크 배출 압력을 증가시킬 수 있음은 물론이다.
본 발명은 고정자와 이동자로 구성되며 고정자와 이동자에 각각 형성된 빗살구조의 돌출부가 치합된 육각형 형상의 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드에 관한 것으로, 본 발명의 범위는 상기 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드뿐만 아니라 상기 잉크젯 헤드가 사용된 잉크 카트리지와 잉크젯 프린터까지 포함한다.
제4 실시예에서도 고정자(110a)와 이동자(120a)에 전압이 인가되면 인가되는 전압의 제곱에 비례하여 생성되는 정전력에 의해 이동자(120a)가 움직이게 된다. 즉, 정전구동기(100a, 100b, 100c)에 있어서 고정자(110a) 또는 이동자(120a)에서 돌출부가 돌출된 방향을 폭방향이라고 하고, 폭방향에 수직한 방향을 길이방향이라고 하면, 이동자(120a)의 움직임에 따라 정전구동기(100)의 폭방향의 크기는 줄어들고 길이방향의 크기는 늘어나게 된다.
이로 인해 정전구동기에 결합된 잉크챔버의 다이어프램(132a, 132b, 132c)에 압력이 가해지게 되며, 잉크챔버의 용적이 줄어들게 되므로 잉크챔버에 채워져 있는 잉크가 잉크노즐(134a)을 통해 분사된다. 제4 실시예의 경우에는 3개의 정전구동기(100a, 100b, 100c)를 사용하였으므로 제1 실시예보다는 잉크 배출 압력이 더 크게 된다.
인가된 전압이 해제되어 이동자(120a)가 원래의 형태로 복원되면, 잉크챔버(130a)의 용적이 다시 원래대로 늘어나게 되므로 잉크공급원(미도시)으로부터 잉크 유입구를 통해 잉크가 공급되어 잉크챔버(130a) 내에 채워진다.
도 11은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드의 제조공정을 도시한 흐름도이고, 도 12는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드의 제조방법을 나타낸 순서도이다. 도 11을 참조하면, SOI 기판(300), 산화막층(302), 실리콘층(304), 유리기판(306), 메탈 패턴(312)이 도시되어 있다.
본 발명에 따른 정전구동기는 전술한 바와 같이 MEMS 기술을 이용하여 용이하고 정밀하게 제조할 수 있다. 본 실시예에 따른 정전구동기의 제조공정을 설명하면, 먼저 SOI 기판을 가공한다.
가공된 SOI 기판은, 산화막층(302) 위에 실리콘층(304)이 형성되어 있는 SOI(Silicon on Insulator) 기판(300) 위에 PR 코팅층(미도시)을 형성한 후, PR 코팅층에 정전구동기의 고정자(110)와 이동자(122, 124)의 패턴을 형성(PR patterning)하고(도 11의 (a-1)), 형성된 패턴에 따라 SOI 기판(300a)의 실리콘층(304a)을 산화막층(302)이 시작되는 부분까지 식각하고(도 11의 (a-2)), 산화막층(302a) 중 이동자(122, 124) 부분의 산화막층(302a)을 식각하는(도 11의 (a-3)) SOI 기판 가공방법에 형성된다.
다음으로, 유리기판을 가공한다. 가공된 유리기판은, 유리기판(306)의 상면에 DFR(Dry Film Resistor)(미도시)을 부착하고(도 11의 (b-1)), 유리기판(306a)의 하면 중 가공된 SOI 기판(300b)에 형성되어 있는 이동자(122, 124)에 대응되는 부분에 공동(cavity)(308)을 식각하고(도 11의 (b-2))), 유리기판(306b) 중 고정자(110)에 대응되는 부분을 천공하는(도 11의 (b-3)) 유리기판 가공방법에 의해 형성된다.
SOI 기판과 유리기판을 가공한 후, 가공된 SOI 기판(300b) 위에 가공된 유리기판(306b)을 결합하고 그 위에 배선으로 사용할 메탈 패턴(312)을 형성하여 정전구동기를 제조한다.
실리콘층(304a)의 식각은 ICP 건식 식각방법(dry etching) 등 당업자에게 자명한 방식이 사용될 수 있으며, 산화막층(302a) 중 이동자(122, 124) 부분의 산화막층(302a)에 대한 식각은 dilute HF 용액을 이용하여 습식 식각하는(wet etching) 등 당업자에게 자명한 방식이 사용될 수 있다.
한편, 유리기판(306)의 상면에 DFR을 부착하는 것은 열압착 방법 등 당업자에게 자명한 방식이 사용될 수 있으며, 유리기판(306a)의 하면에 부분에 공동(cavity)(308)을 식각하는 것과 유리기판(306b)을 천공하는 것은 분사(噴砂)법(sandblaster) 등 당업자에게 자명한 방식이 사용될 수 있다.
또한, 가공된 SOI 기판(300b)과 가공된 유리기판(306b)의 결합은 양극접합(anodic bonding) 등 당업자에게 자명한 방식이 사용될 수 있음은 물론이다.
전술한 바와 같이 바람직한 가공방법을 이용하여 MEMS 기술에 따라 잉크젯 헤드의 제조방법을 도 12과 같이 순서도로 나타내면, SOI(Silicon on insulator) 기판 위에 PR 코팅을 하고(402), ICP 건식 식각방법(dry etching)을 이용하여 산화막(약 3㎛)이 시작되는 부분까지 실리콘층(약 40㎛)을 에칭하고(404), dilute HF 용액을 이용하여 산화막층을 습식 에칭한 후(406), 유리기판에 DFR(Dry Film Resistor)를 열압착 방법을 이용하여 붙이고(408), 분사법(sandblaster)을 이용하여 유리기판에 공동(cavity)을 건식 에칭하고(410), 분사법(sandblaster)을 이용하 여 유리기판에 천공을 한 후(412), 단계 406에서 만들어진 SOI 기판 위에 단계 412에서 만들어진 유리기판을 양극접합(anodic bonding)으로 결합하고(414), 접합된 유리기판 위에 배선으로 사용할 메탈 패턴을 형성한다(416).
본 발명의 기술 사상이 상술한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상술한 실시예는 그 설명을 위한 것이지 그 제한을 위한 것이 아니며, 본 발명의 기술분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
이와 같은 구성을 갖는 본 발명에 의하면, 잉크젯 헤드의 정전구동기의 고정자 및 이동자의 크기를 작게 형성할 수 있고, 고정자와 이동자 사이의 간격이 수㎛ 이하이므로 프린터 헤드의 노즐 한 개에 대한 압력챔버 및 다이아프램 등 헤드부의 크기를 수백 ㎛ 정도로 제작할 수 있어 전제적인 헤드구조를 소형화할 수 있다.
또한, 하나 이상의 빗살형상체로 설계된 정전구동기에 의해 정전력을 크게 할 수 있으므로, 적은 전압으로도 다이어프램의 변위나 잉크챔버의 용적 감소율을 크게 할 수 있어 잉크 배출 압력을 증가시킬 수 있으며, 이에 따라 점도 높은 잉크의 토출이 가능해진다. 한편, 프레임의 두께, 전압, 진공도 등의 설계변수를 조절함으로써 필요로 하는 토출 현상에 따라 헤드를 자유롭게 설계할 수 있게 된다.

Claims (19)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 양방향으로 복수의 제1 돌출부와 제2 돌출부가 형성되는 참빗형상의 고정자와;
    일단부가 다이어프램에 결합되는 제1 부재 및 제2 부재를 포함하되, 상기 제1 부재에는 상기 제1 돌출부에 대향하여 상기 제1 돌출부에 접촉하지 않고 치합하는 복수의 제3 돌출부가 형성되고, 상기 제2 부재에는 상기 제2 돌출부에 대향하여 상기 제2 돌출부에 접촉하지 않고 치합하는 복수의 제4 돌출부가 형성되는 이동자 를 포함하는 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 이동자는 상기 제1 부재와 상기 제2 부재의 양단부가 각각 서로 결합되어 상기 고정자를 내부에 수용하는 폐구획을 형성하는 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 폐구획은 육각형 또는 타원 형상인 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 제1 돌출부와 상기 제1 부재 간의 최단거리 또는 상기 제2 돌출부와 상기 제2 부재 간의 최단거리는 상기 제1 돌출부와 상기 제3 돌출부 간의 간격 또는 상기 제2 돌출부와 상기 제4 돌출부 간의 간격의 크기보다 큰 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드.
  7. 제3항에 있어서,
    상기 제1 돌출부 내지 상기 제4 돌출부 중 어느 하나 이상의 돌출방향으로의 단면의 형상은 직사각형인 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드.
  8. 제3항에 있어서,
    상기 제1 돌출부 내지 상기 제4 돌출부 중 어느 둘 이상은 동일한 형태로 형성되는 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드.
  9. 제3항에 있어서,
    상기 고정자 또는 상기 이동자는 단결정 실리콘을 포함하는 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드.
  10. 제3항에 있어서,
    상기 고정자 또는 상기 이동자는 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 공정에 의해 제조되는 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드.
  11. 제3항에 있어서,
    상기 정전구동기를 수용하는 프레임과;
    상기 프레임에 수용되며, 하나 이상의 면에 다이어프램을 포함하는 잉크챔버와;
    상기 잉크챔버의 일측에 형성되는 잉크노즐과;
    상기 잉크챔버에 결합되는 잉크 주입구를 더 포함하되,
    상기 정전구동기의 일단부는 상기 다이어프램에 결합되는 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 잉크챔버는 다각형의 단면을 가지고, 상기 다각형의 각 변에는 다이어프램이 선택적으로 포함되어 있으며, 상기 각각의 다이어프램에는 상기 정전구동기가 결합되는 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 다이어프램에는 복수의 정전구동기가 결합되는 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드.
  14. 제11항의 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드를 포함하는 잉크 카트리지.
  15. 제14항의 잉크 카트리지와;
    상기 고정자 또는 상기 이동자에 전원을 인가하는 구동회로를 포함하는 정전구동기를 구비한 잉크젯 프린터.
  16. 가공된 SOI 기판 위에 가공된 유리기판을 결합한 후, 그 위에 배선으로 사용할 메탈 패턴을 형성하여 고정자와 이동자를 포함하는 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드를 제조하되,
    상기 가공된 SOI 기판은,
    (a-1) 산화막층을 포함하는 있는 SOI(Silicon on Insulator) 기판 위에 PR 코팅층을 형성하는 단계;
    (a-2) 상기 PR 코팅층에 상기 정전구동기의 패턴을 형성(PR patterning)하는 단계;
    (a-3) 상기 단계 (a-2)에서 형성된 패턴에 따라 상기 SOI 기판의 실리콘 층을 상기 산화막층이 시작되는 부분까지 식각하는 단계; 및
    (a-4) dilute HF 용액을 이용하여 상기 산화막층 중 상기 이동자가 형성되는 부분의 산화막층을 습식 식각하는(wet etching) 단계를 포함하는 SOI 기판 가공방법에 형성되고,
    상기 가공된 유리기판은,
    (b-1) 유리기판의 상면에 DFR(Dry Film Resistor)을 열압착하여 부착하는 단계;
    (b-2) 상기 유리기판의 하면 중 상기 이동자에 대응되는 부분에 공동(cavity)을 건식 식각하는 단계; 및
    (b-3) 상기 유리기판 중 상기 고정자에 대응하는 부분을 천공하는 단계를 포함하는 유리기판 가공방법에 의해 형성되는 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드 제조방법.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 가공된 SOI 기판과 상기 가공된 유리기판의 결합은 양극접합(anodic bonding)에 의해 이루어지는 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드 제조방법.
  18. 제16항에 있어서,
    상기 단계 (a-3)은 ICP 건식 식각방법(dry etching)에 의해 이루어지는 정전 구동기를 구비한 잉크젯 헤드 제조방법.
  19. 제16항에 있어서,
    상기 단계 (b-2)의 식각 또는 상기 단계 (b-3)의 천공은 분사법(sandblaster)에 의해 이루어지는 정전구동기를 구비한 잉크젯 헤드 제조방법.
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US11/340,656 US7506967B2 (en) 2005-03-11 2006-01-27 Ink jet head having an electrostatic actuator, ink cartridge, and inkjet printer
JP2006027786A JP4263726B2 (ja) 2005-03-11 2006-02-03 静電駆動機を備えたインクジェットヘッド、静電駆動機を備えたインクジェットヘッド製造方法、静電駆動機を備えたインクカートリッジ、及び静電駆動機を備えたインクジェットプリンタ
CNB2006100078533A CN100411871C (zh) 2005-03-11 2006-02-21 具有静电致动器的喷墨头及其制造方法
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4809178B2 (ja) * 2006-09-29 2011-11-09 富士フイルム株式会社 液体吐出装置および液体供給方法
KR101047486B1 (ko) * 2009-11-12 2011-07-08 삼성전기주식회사 Ｓｏｉ 기판 가공방법
DE102022209187A1 (de) * 2022-09-05 2024-03-07 Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung Mikrofluidisches Interaktionselement zur Erzeugung und/oder Erfassung eines Volumenstroms eines Fluids sowie eine akustische Vorrichtung mit einem solchen mikrofluidischen Interaktionselement

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990048600A (ko) * 1997-12-10 1999-07-05 김덕중 정전구동형 잉크젯 프린터 헤드
KR19990054470A (ko) * 1997-12-26 1999-07-15 김덕중 정전구동형 잉크젯 프린터 헤드
JP2001047624A (ja) 1999-08-05 2001-02-20 Fuji Photo Film Co Ltd 画像記録ヘッドおよび画像形成装置
JP2003250280A (ja) 2002-02-22 2003-09-05 Ricoh Co Ltd 静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6142284A (ja) 1984-08-03 1986-02-28 Nec Kansai Ltd 変位拡大装置
TW294779B (ko) * 1993-07-14 1997-01-01 Seiko Epson Corp
JP2964935B2 (ja) 1995-12-28 1999-10-18 富士ゼロックス株式会社 画像記録装置
JP3656377B2 (ja) * 1997-10-16 2005-06-08 セイコーエプソン株式会社 静電アクチュエータおよびその製造方法
JP3004644B1 (ja) 1999-03-03 2000-01-31 株式会社コミュータヘリコプタ先進技術研究所 ロ―タブレ―ドのフラップ駆動装置
JP4342749B2 (ja) * 2000-08-04 2009-10-14 株式会社リコー 液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ及びインクジェット記録装置
US6352336B1 (en) * 2000-08-04 2002-03-05 Illinois Tool Works Inc Electrostatic mechnically actuated fluid micro-metering device
US6568794B2 (en) * 2000-08-30 2003-05-27 Ricoh Company, Ltd. Ink-jet head, method of producing the same, and ink-jet printing system including the same
JP3603828B2 (ja) * 2001-05-28 2004-12-22 富士ゼロックス株式会社 インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置
JP2003211394A (ja) * 2002-01-17 2003-07-29 Ricoh Co Ltd 静電型アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置、マイクロポンプ、光学デバイス
US6719404B2 (en) * 2002-02-15 2004-04-13 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Method of fabricating ink-jet head
JP2003276194A (ja) 2002-03-22 2003-09-30 Ricoh Co Ltd 静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置
JP2003276191A (ja) * 2002-03-22 2003-09-30 Ricoh Co Ltd 静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置
US7429495B2 (en) * 2002-08-07 2008-09-30 Chang-Feng Wan System and method of fabricating micro cavities
JP2004209725A (ja) 2002-12-27 2004-07-29 Canon Inc 液体吐出ヘッド

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990048600A (ko) * 1997-12-10 1999-07-05 김덕중 정전구동형 잉크젯 프린터 헤드
KR19990054470A (ko) * 1997-12-26 1999-07-15 김덕중 정전구동형 잉크젯 프린터 헤드
JP2001047624A (ja) 1999-08-05 2001-02-20 Fuji Photo Film Co Ltd 画像記録ヘッドおよび画像形成装置
JP2003250280A (ja) 2002-02-22 2003-09-05 Ricoh Co Ltd 静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置

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