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KR100628100B1 - 초해상 광기록매체 - Google Patents

초해상 광기록매체 Download PDF

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KR100628100B1
KR100628100B1 KR1020050062749A KR20050062749A KR100628100B1 KR 100628100 B1 KR100628100 B1 KR 100628100B1 KR 1020050062749 A KR1020050062749 A KR 1020050062749A KR 20050062749 A KR20050062749 A KR 20050062749A KR 100628100 B1 KR100628100 B1 KR 100628100B1
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KR
South Korea
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layer
recording medium
optical recording
super
resolution optical
Prior art date
Application number
KR1020050062749A
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English (en)
Inventor
이창호
곽금철
김진홍
Original Assignee
엘지전자 주식회사
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Filing date
Publication date
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Abstract

본 발명은 초해상 광기록매체에 관한 것이다. 본 발명은 기판상에 다수의 층을 적층하여 빛의 회절한계 이하로 마크를 생성시켜 기록을 행하고, 상기 마크에 빛을 조사(照射)하여 기록을 재생하는 초해상 광기록매체에 있어서, 텔루리엄(Te)과 옥시전(O) 및 제3의 금속원소에 의해 형성된 기록층; 및 비선형 광학 물질, 써모크로믹(thermochromic) 물질 및 상변화 물질 중 어느 하나의 물질을 포함하여 빛이 상기 기록층에 조사될 경우 초해상 현상이 가능하도록 하는 재생층을 포함하는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체를 제공한다. 본 발명에 따른 초해상 광기록매체에 의하면 기록마크가 버블형태의 큰 부풀림으로 생성되지 않고, 마크의 모양이 균일하게 생성되기 때문에, 상기 초해상 광기록매체는 좋은 재생 신호 품질을 갖을 수 있다. 또한, 기록층에 기록이 장기간 보존될 수 있다.
초해상, 광기록매체

Description

초해상 광기록매체{optical record medium of high resolution}
도 1은 종래의 광기록매체의 구성물질과 단면 구조를 나타낸 단면도
도 2는 본 발명에 따른 광기록매체에 대한 일 실시예의 구성물질과 단면 구조를 나타낸 단면도
도 3는 본 발명에 따른 광기록매체에 대한 다른 일 실시예의 구성물질과 단면 구조를 나타낸 단면도
도 4는 본 발명에 따른 광기록매체에 대한 또 다른 일 실시예의 구성물질과 단면 구조를 나타낸 단면도
<도면 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 기판 20 : 반사층
30a,30b,30c,30d : 유전체층
40 : 광투과층
50 : 기록층 60,60a,60b : 재생층
본 발명은 초해상 광기록매체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 빛의 회절 한계 이하의 마크로 기록을 행하고, 상기 광기록매체에 빛을 조사(照射)하여 상기 기록을 재생하는 초해상 광기록매체에 관한 것이다.
현재 개발되거나 상품화가 된 광기록매체의 대표적인 예로서 기록, 재생시 적색 레이저를 사용하는 DVD(digital versatile disc; 이하 DVD)와 청색 레이저를 사용하는 BD(Blu-ray disc. ; 이하 BD)가 있다. 상기 광기록매체의 저장용량은 DVD급이 4.7기가바이트(Giga byte; 이하 GB)이고, 최근에 시장에 진입한 BD급이 25GB정도이다. 광기록매체는 2005년 이후에는 하나의 CD크기에 100GB이상을 기록할 수 있고, 2010년 이후에는 하나의 CD 크기에 테라바이트(Tera byte; TB)이상을 기록할 수 있을 것으로 예상된다. 그러나, 신호흐름의 정보로서 고선명 디지털 비디오(High Density Digital Video)를 저장하기 위해서는 20GB이상의 용량을 저장할 수 있고, 25Mbps이상의 데이터 전송속도에 따라 정보를 기록할 수 있는 정보저장매체가 필요하다.
현재 다양한 멀티미디어 환경에서 다기능 정보 저장기술이 여러 형태로 개발되고 있다. 그 중에서도 광기록매체는 재생장치에 탈착이 가능하고, 대용량의 정보를 저장할 수 있다. 또한, 재생시 기록에 대한 랜덤 액서스(random access)가 가능하고, 기록된 데이터에 대한 신뢰성이 유지되며, 비용이 저렴하기 때문에 여러 정보저장방식 중 가장 각광 받고 있다.
광기록 매체는 기록 피트(pit)의 크기를 줄일 수 있어야 기록밀도를 증가시킬 수 있다. 기록 피트를 줄이기 위해서 입사 레이저 빔 크기를 줄여야 하는데, 레이저 빔의 크기는 레이저 파장(λ)에 비례하고 대물렌즈 개구수(Numerical Aperture; NA)에 반비례한다(d∝λ/NA, 여기서 d는 레이저 빔 크기, λ 파장, NA는 렌즈의 개구수). 따라서, 레이저 빔의 크기를 줄이기 위해 레이저 빔의 파장을 줄이거나 개구수를 증가시켜 왔다. 고밀도 저장매체를 얻기 위해서는 단파장 레이저를 사용하여 기록을 하고 재생을 하여야 한다. 그러나 단파장 레이저(청색레이저(405nm))와 높은 개구수(NA=0.85)를 사용하여 기록의 고밀도화를 이루는 것은 거의 이론적인 한계에 도달하였으며, 그 이상의 저장 용량을 구현하기 위해서는 새로운 기술을 필요로 한다. 따라서, 기존 CD와 DVD 재생기기들과 호환이 가능하면서도 초기 CD 저장 용량인 650MB보다 수 백배 높은 고밀도 정보저장이 가능한 광기록매체의 한 방안으로 초해상(super-resolution) 현상을 이용한 광기록매체에 대한 연구가 새롭게 진행되고 있는 추세에 있다.
이러한 초해상 광기록매체는 기존 레이저 광 픽업 시스템을 사용하면서도 기록 마크 크기를 획기적으로 줄여 저장밀도를 증가시킬 수 있을 것로 기대된다. 기존에 보고되었던 일회 기록형(Write once read many, WORM) 초해상 광기록매체는 기록층에 버블(bubble) 형태로 기록마크가 형성된다. 상기 버블 형태의 마크는 나노 크기의 금속입자(예, Pt)와 산소 또는 질소 등의 결합체가 특정온도 이상에서 나노입자로 분리되면서 형성된다. 또한 비선형 광학물성 또는 열적 거동을 갖는 물질을 이용하여 회절한계이하의 작은 크기의 어퍼춰(aperture)를 형성하여 작은 마크를 재생하는 것으로 알려져 있다.
도 1을 참조하여 종래의 초해상 광기록매체의 구조를 설명하면 다음과 같다. 도 1은 종래의 초해상 광기록매체의 단면 구조를 나타낸다. 종래의 초해상 광기록 매체는 기판(10), 반사층(20), 유전체층(30a, 30b, 30c), 광투과층(40)과 기록층(50), 재생층(60)을 포함한다. 레이저 빔은 광투과층(40)을 통해 상기 광기록매체로 입사하여 반사층(20)까지 도달한 후 반사되어 되돌아 나간다.
종래의 기록용 초해상 광기록매체는 기록층(50)의 물질로서 PtOx(Pt의 산화물)를 사용하였다. 그러나, 상기한 구성물질을 포함하는 종래의 광기록매체에 레이저 빔을 조사하면 부풀림이 큰 버블 형태의 마크가 형성되었다. 그리고, 상기 버블 형태 마크는 그 모양이 불균일하여 신호품질(jitter)이 좋지 않은 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 버블 형태의 부풀림이 크게 생성되지 않고, 마크의 모양이 균일하게 생성되어 좋은 재생 신호 품질을 갖을 수 있는 초해상 광기록매체를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 초해상 광기록매체의 기록층에 기록이 장기간 보존될 수 있는 물질이 포함된 초해상 광기록매체를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 기판상에 다수의 층을 적층하여 빛의 회절한계 이하로 마크를 생성시켜 기록을 행하고, 상기 마크에 빛을 조사(照射)하여 기록을 재생하는 초해상 광기록매체에 있어서, 텔루리엄(Te)과 옥시전(O) 및 제3의 금속원소에 의해 형성된 기록층; 및 비선형 광학 물질, 써모크로믹(thermochromic) 물질 및 상변화 물질 중 어느 하나의 물질을 포함하여 빛이 상기 기록층에 조사될 경우 초해상 현상이 가능하도록 하는 재생층을 포함하는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체를 제공한다.
상기 기록층의 제 3의 금속원소는 실버(Ag), 골드(Au), 텅스텐(W), 망간니스(Mn), 플래티넘(Pt), 티타늄(Ti), 지콘니엄(Zr), 브롬(B), 크롬(Cr), 아이론(Fe), 코발트(Co), 니켈(Ni), 팔라디움(Pd), 안티모니(Sb), 탄틸리움(Ta), 알루미늄(Al), 이디움(ln), 쿠퍼(Cu), 틴(Sn), 징크(Zn), 비스어스(Bi)로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 원소인 것이 바람직하다. 상기 기록층에 포함되는 텔루리엄(Te)과 옥시전(O)에 제 3의 금속원소을 첨가하는 경우 기록마크가 큰 버블 형태로 생성되지 않기 때문에 양호한 기록특성을 얻을 수 있다.
상기 기록층에 포함된 O의 함유비율은 25원자%이상이고 60원자%이하인 것이 바람직하다. 상기 기록층에 Te와 O에 첨가되는 제 3의 금속원소는 1원자%이상이고 35원자%이하인 것이 바람직하다.
또한, 상기 기록층의 두께는 1nm이상이고 30nm이하인 것이 바람직하다.
상기 재생층은 게루마늄(Ge), 안티모니(Sb), 텔루리엄(Te)로 이루어진 군에서 선택된 하나이상의 원소로 형성된 것이 바람직하다.
상기 재생층은 상기 기록층을 기준으로 상기 기판과 가까운 위치 또는 상기 기판과 먼 위치 중 어느 하나이상의 위치에 적층될 수 있다. 상기 위치에 재생층이 적층될 경우 상기 한 재생층의 두께는 3nm이상이고 200nm이하인 것이 바람직하다.
상기 기록층의 양 접촉면에는 유전체층을 적층할 수 있다. 또한, 상기 광기록매체는 1회 기록형(WORM) 광기록매체인 것이 바람직하다.
이하 상기 목적을 달성할 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명한다.
도 2을 참조하여 본 발명에 따른 초해상 광기록매체의 일 실시예를 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 초해상 광기록매체의 일 실시예는 외경이 약 120 mm, 두께가 약 1.2 mm인 원반상이고, 기판(10) 위에 반사층(20), 유전체층(30a), 기록층(50), 유전체층(30b), 재생층(60), 유전체층(30c), 광투과층(40)을 순서대로 적층할 수 있다. 상기 초해상 광기록매체에 사용되는 레이저 빔의 파장은 380 ~ 450nm사이로, 바람직하게는 약 405nm인 레이저 빔(laser beam)을 광투과층의 표면인 광 입사면으로부터 기록층에 조사하여 데이터(data)를 기록 또는 재생한다. 광기록매체에 대한 데이터의 기록 및 재생의 경우 개구수가 0.7이상, 바람직하게는 0.85 정도의 대물 렌즈가 사용되고, 이에 따르면 기록층위의 레이저 빔의 빔 스폿은 약 0.4 ㎛ 정도의 크기가 된다.
상기 기판(10)은 광기록 매체의 두께를 확보하기 위해서 약 0.6 ~ 1.1mm의 원반상의 기판을 사용한다. 기판(10)의 면은 중심부에서 외주부 방향으로, 또는 그 반대 방향으로 레이저를 가이드하기 위한 그루브(groove) 및 랜드(land)가 나선형으로 형성된다. 기판(10)의 구성물질로서는 유리, 세라믹, 수지등 여러 가지가 가능하지만 가벼우면서, 사출성이 좋고, 레이저가 입사할 때 복굴절(birefringence)이 작아서 신호대잡음비(Carrier-to Noise Ratio ;CNR)가 큰 특성을 가진 폴리카보네이트(Polycarbonate)를 사용한다. 기판의 제작은 스탬퍼를 이용한 사출 성형법을 이용하는 것이 바람직하지만, 포토 폴리머법 등 다른 방법도 가능하다.
상기 반사층(20)은 상기 광투과층(40)으로부터 입사되는 레이저 빔을 반사하여 상기 레이저 빔이 다시 광투과층(40)으로 출사되도록 한다. 상기 반사층 (20)의 구성물질로서 마그네슘, 알루미늄, 티탄, 크롬, 철, 코발트, 니켈, 구리, 아연, 게르마늄, 은, 백금 등을 이용할 수 있다. 이 중 높은 반사율을 얻기 위해서는 알루미늄, 금, 은, 동, 또는 그 합금 등의 금속 재료를 이용하는 것이 바람직하다. 본 발명에 따른 초해상 광기록매체에 있어서 그 내부에 반사층(20)을 설치하는 것은 반드시 필수적인 것이 아니다. 다만, 상기 반사층(20)을 설치하면 입사하는 레이저 빔의 반사도가 확보되어 광기록 후 재생시 다중 간섭 효과에 의하여 높은 재생 신호(C/N비)를 얻을 수 있다. 상기 반사층(20) 두께는 5~300nm인 것이 바람직하고, 20~200nm인 것이 보다 바람직하다. 상기 반사층(20)의 두께가 5nm미만일 때는 상기한 효과를 충분히 얻을 수 없는 반면, 반사층(20)의 두께가 300nm이상일 때는 반사층(20)의 표면성이 낮아질 뿐만 아니라 성막 시간이 길어지고 생산성이 저하되는 단점이 있다.
유전체층(30a,30b,30c)은 그 유전체층(30a,30b,30c) 사이에 위치하는 기록층(50)과 재생층(60)을 물리적 또는 화학적으로 보호하는 역할을 하며 상기 광기록매체에 기록된 정보의 열화를 방지한다. 유전체층(30a,30b,30c)의 구성물질은 기록 및 재생시 사용되는 레이저 빔의 파장 영역에 대해 상기 레이저 빔을 투과시키는 투명한 유전체라면 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어 산화물, 유화물, 질화물 또는 그 조합을 주성분으로 이용할 수 있다. 그러나, 기판(10) 등의 열변형 방지와 기록층(50)의 보호 특성의 관점으로 볼 때, Al2O3, AlN, ZnO, ZnS, GeN, GeCrN, CeO2, SiO, SiO2, Si3N4, SiC, La2O3, TaO, TiO2 등의 알루미늄, 실리콘, 세륨, 티탄, 아연, 탄탈 등의 산화물, 유화물, 질화물 등 또는 그 혼합물을 이용하는 것이 바람직하다. 보다 바람직하게는 ZnS와 SiO2의 혼합물을 이용하는 것이 좋다. ZnS와 SiO2의 혼합물을 이용하는 경우 ZnS와 SiO2의 몰비는 80:20 정도로 설정하는 것이 특히 바람직하다. 각 유전체층(30a 또는 30b 또는 30c)의 구성물질은 서로 동일하여도 좋고 상기 구성물질들에 포함된다면 서로 다른 물질로 구성되어도 좋다. 각 유전체층(30a,30b,30c)의 두께는 특별히 한정될 필요가 없지만, 3~200nm로 하는 것이 바람직하다. 상기 유전체층(30a,30b,30c)의 두께가 3nm미만일 때는 상기한 유전체층의 효과를 얻기가 어려워질 수 있고, 만약 유전체층의 두께가 200nm를 넘는다면 성막시간이 길어져 생산성이 저하되는 우려가 있는 동시에 유전체층이 가지는 응력에 따라서 크랙(crack)이 발생할 가능성이 있기 때문이다.
기록층(50)은 기록 마크가 형성되는 층으로, 1회 기록형(WORM) 광기록매체의 경우라면 비가역적인 기록마크가 형성된다. 일정 파워를 가지는 레이저가 상기 기록층(50)에 조사되면, 두 구성물질이 부분적 또는 전체적으로 혼합되어 상기 기록층(50)에 기록마크를 형성한다. 그리고, 상기 기록마크와 레이저 빔이 조사되지 않은 부분과의 반사율 차이에 의해서 기록 및 재생이 가능하다.
본 발명에 따른 광기록매체는 상기 기록층(50)의 구성물질로서 텔루리엄(Te)와 옥시전(O)를 포함한다. TeOx(Te의 산화물)를 기록층의 주성분으로 사용할 경우, 상기 기록층(50)에 레이저 어닐(laser anneal)과정 등의 초기화 과정을 수행하지 않아도 성막(成膜) 후에 비정질 상태로 레이저광의 강도를 변화시켜 조사하면 결정 형태의 마크(mark)를 형성할 수 있다. 상기의 과정은 비가역 과정이기 때문에 수정이나 소거를 할 수 없는 일회 기록형 기록매체의 중요한 특성이 된다. 상기 기록막은 내습성이 있어 환경변화에 대해 기록유지의 신뢰성이 높고, 상기 기록물질을 사용하면 단층막으로 기록을 행할 수 있기 때문에 생산 비용(cost)의 면으로도 바람직하다. 그러나, 기록층에 TeOx를 사용하면 상기 기록층(50)에 레이저 조사에 의한 기록막의 결정화가 충분히 이루어질 때까지 약간의 시간을 필요로 하기 때문에 고속 응답성이 요구되는 기록 매체로서는 부적절할 수 있다. 따라서, 상기의 결점을 보완하기 위하여 TeOx에 제 3의 원소(M)를 첨가한다. 제 3의 원소(M)는 실버(Ag), 골드(Au), 텅스텐(W), 망간니스(Mn), 플래티넘(Pt), 티타늄(Ti), 지콘니엄(Zr), 브롬(B), 크롬(Cr), 아이론(Fe), 코발트(Co), 니켈(Ni), 팔라디움(Pd), 안티모니(Sb), 탄틸리움(Ta), 알루미늄(Al), 이디움(ln), 쿠퍼(Cu), 틴(Sn), 징크(Zn), 비스어스(Bi)로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 원소인 것이 바람직하다. 상기 첨가원소(M)는 Te 결정의 성장을 촉진하여 Te-M의 결정립이 고속으로 생성될 수 있다. 따라서, 상기 기록층(50)에 포함된 물질이 고속으로 결정화되어 기록을 행할 수 있고, 고속 응답성을 얻을 수 있다. 또한, 상기 기록층(50)에 포함되는 Te와 O에 첨가되는 원소는 금속 물질로서, 기록마크의 부풀림이 크게 생성되지 않도록 하고, 상기 기록마크를 장기간 보존할 수 있다.
상기한 효과를 충분히 얻기 위해 상기 기록층에 포함된 O의 함유비율은 25원 자%이상이고 60원자% 이하인 것이 바람직하다. 상기 기록층에 Te와 O에 첨가되는 원소의 비율은 1원자 %이상에서부터 35원자 %이하인 것이 바람직하다.
상기 기록층(50)의 두께는 특별히 한정되지는 않지만, 재생 신호의 노이즈 레벨을 충분히 억제하고 충분한 기록 감도를 확보하며 기록 전후의 반사율 변화를 충분히 크게 하기 위해서는 각 층의 두께는 모두 1~30 nm범위에서 형성되는 것이 바람직하다.
재생층(60)은 초해상 현상을 가능하게 하는 물질을 포함하는 것으로서, 상기 재생층(60)에 사용되는 구성물질은 비선형 광학 물질이나 온도 분포에 따라 광학 특성이 변하는 서머크롬믹(thermochromic) 물질 또는 상변화물질 등이 사용될 수 있다. 상기 재생층의 물질로서 Ge, Sb, Te 중 어느 하나 이상의 원소를 포함하는 물질을 사용할 수 있다. 상기 재생층(60)은 기판에서부터 레이저 빔이 입사되는 방향으로 적층되는 순서로 보았을 때 상기 기록층(50)보다 상위에 있을 수도 있고 하위에 있을 수도 있고 양 쪽 모두에 있을 수도 있다. 상기 재생층(60)의 두께는 특별히 한정될 필요가 없지만, 초해상 현상을 충분히 발생시키면서 재생시 광학적인 변화율을 충분히 얻기 위해 3 ~ 200nm인 것이 바람직하다.
상기 반사층(20), 유전체층(30a,30b,30c), 기록층(50), 재생층(60)을 형성하기 위해서는 상기한 각 층의 구성물질에 포함되는 화학종을 이용한 상 성장법, 예를 들면 스퍼터링 방법이나 진공 증착법을 이용할 수 있으며 스퍼터링법이 더욱 바람직하다.
광투과층(40)은 레이저 빔의 입사면을 구성하는 것과 동시에 레이저 빔의 광 로가 되는 층이고, 그 두께로서는 100㎛~0.6mm정도인 것이 바람직하다. 상기 광투과층(40)의 구성물질은 기록및 재생에 레이저 빔의 파장영역에서 광투과율이 충분히 높은 것이면 특별히 한정될 필요가 없으며, 아크릴계 또는 에폭시계의 자외선 경화성 수지를 상기 광투과층(40)의 구성물질로서 이용하는 것이 바람직하다. 또는 광투과성 수지로 제작된 광투과성 시트와 각종 접착제 또는 점착제를 이용할 수도 있다.
도 3을 참조하여, 본 발명에 따른 초해상 광기록매체의 다른 일 실시예를 설명하면 다음과 같다. 도 3은 도 2에서 보인 것과 같이 초해상 광기록매체의 단면 구조를 보인 것이나, 다만 기록층(50)과 재생층(60)의 위치가 바뀐 것을 나타낸다. 상기에서 설명한 바와 같이 기록층(50)과 재생층(60)은 기판(10)으로부터 레이저 빔이 입사되는 방향으로 보았을 때 기록층(50)이 재생층(60)보다 기판(10)에 가까이 위치할 수도 있으며 재생층(60)이 기록층(50)보다 기판(10)에 가까이 위치할 수도 있다.
도 4는 본 발명에 다른 초해상 광기록매체의 또 다른 일 실시예의 단면 구조를 나타낸다. 도 4에서 기록층(50)은 하나의 재생층(60a)보다는 광투과층(40)에 가까이 위치하고, 또 다른 재생층(60b)보다는 기판(10)에 가까이 위치한다. 또한, 각 기록층(50)과 재생층(60a,60b)의 양면은 유전체층(30a,30b,30c,30d)에 각각 접촉하여 적층할 수 있다.
동일한 기술분야의 당업자가 본 특허명세서로부터 본 발명을 변경하거나 변형하는 것은 용이한 것이다. 그래서, 본 발명의 일 실시예가 상기 명확하게 기재되 었더라도, 그것을 여러가지로 변경하는 것은 본 발명의 사상과 관점으로부터 이탈하는 것이 아니며 그 사상과 관점내에 있다고 해야 할 것이다.
상기에서 설명한 본 발명에 따른 초해상 광기록매체의 효과를 설명하면 다음과 같다.
첫째, 본 발명에 따른 초해상 광기록매체에 의하면 기록마크가 버블형태의 큰 부풀림으로 생성되지 않고, 마크의 모양이 균일하게 생성되기 때문에, 상기 초해상 광기록매체는 좋은 재생 신호 품질을 갖을 수 있다.
둘째, 본 발명에 따른 초해상 광기록매체에 의하면 기록층에 기록이 장기간 보존될 수 있다.

Claims (11)

  1. 기판상에 다수의 층을 적층하여 빛의 회절한계 이하로 마크를 생성시켜 기록을 행하고, 상기 마크에 빛을 조사(照射)하여 기록을 재생하는 초해상 광기록매체에 있어서,
    텔루리엄(Te)과 옥시전(O) 및 제3의 금속원소에 의해 형성된 기록층; 및
    비선형 광학 물질, 써모크로믹(thermochromic) 물질 및 상변화 물질 중 어느 하나의 물질을 포함하여 빛이 상기 기록층에 조사될 경우 초해상 현상이 가능하도록 하는 재생층을 포함하는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 기록층의 제 3의 금속원소는 실버(Ag), 골드(Au), 텅스텐(W), 망간니스(Mn), 플래티넘(Pt), 티타늄(Ti), 지콘니엄(Zr), 브롬(B), 크롬(Cr), 아이론(Fe), 코발트(Co), 니켈(Ni), 팔라디움(Pd), 안티모니(Sb), 탄틸리움(Ta), 알루미늄(Al), 이디움(ln), 쿠퍼(Cu), 틴(Sn), 징크(Zn), 비스어스(Bi)로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 원소인 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 기록층에 상기 제 3의 금속원소의 함유비율은 1원자 % 이상이고, 35%원자이하인 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 기록층의 옥시전(O) 원소의 함유 비율은 25 원자 % 이상이고, 60원자 % 이하인 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 재생층은 게루마늄(Ge), 안티모니(Sb), 텔루리엄(Te)로 이루어진 군에서 선택된 하나이상의 원소로 형성된 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 기록층의 두께는 1nm이상이고 30nm이하인 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 재생층은 상기 기록층을 기준으로 상기 기판에 가까운 위치 또는 상기 기판에 먼 위치 중 어느 하나이상의 위치에 적층되는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 재생층의 두께는 3nm이상이고 200nm이하인 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 초해상 광기록매체는 상기 기판에 접촉해 위치하며, 상기 초해상 광기록매체에 입사되는 레이저 빔을 반사하여 출사시키는 반사층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 초해상 광기록매체는 기록층의 양 접촉면에 유전체층을 적층하는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.
  11. 제 1항에 있어서,
    상기 광기록매체는 1회 기록형 광기록매체인 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.
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