KR100272329B1 - 비디오 마이크로스코프 - Google Patents

Abstract

본 발명은 시료를 반사식과 투과식으로 조사할 수 있도록 함으로써, 시료의 정확한 표면상태와 광학성 특성을 조사할 목적으로; 베이스의 일측으로 세워지는 아암을 포함하여 이루어지는 스텐드와; 상기 아암에 높이 조절수단과 촛점조절수단을 개재시켜 배치되는 고체촬상소자와; 상기 고체촬상소자의 하측으로 결합되어 반사식과 투과식의 편광을 동시에 수용하는 렌즈부와; 상기 렌즈부의 일측으로 결합되어 반사식 광원을 조사하는 라이트 가이드부와; 상기 렌즈부의 직하방의 베이스상에 반사식 광원을 포함하여 배치되는 스테이지부를 포함하여 이루어지는 비디오 마이크로스코프를 제공한다.

Description

비디오 마이크로스코프

제1도는 본 발명에 의한 마이크로스코프의 구성도.

제2도는 본 발명에 적용되는 렌즈부의 단면도.

제3도는 본 발명에 적용되는 라이트 가이드부의 단면도.

제4도는 본 발명에 적용되는 스텐드부의 단면도.

제5도는 종래 마이크로스코프의 구성도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

12 : 베이스 14 : 아암

16 : 스텐드 18 :높이조절수단

20 : 촛점조절수단 22 : 고체촬상소자

24 : 렌즈부 26 : 라이트 가이드

28 : 스테이지

본 발명은 비디오 마이크로스코프(Video Microscope)에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반사식과 투과식 겸용으로 사용할 수 있도록 하여 시료의 정확한 표면상태와 광학적 성질을 조사할 수 있도록 한 비디오 마이크로스코프에 관한 것이다.

일반적으로 시료의 광학적 성질을 조사하기 위하여는 마이크로스코프를 사용하게 되는데, 종래 마이크로스코프는 제5도에서 보인바와 같이, 베이스(100)의 일측으로 세워지는 아암(102)의 상단으로 고체촬상소자(104)를 포함하는 렌즈부(106)와, 상기 렌즈부(106)의 하측으로 배치되어 시료가 올려지는 스테이지(108)가 촛점 조절수단(110)의 조작에 의하여 상하 이동될 수 있도록 상기 아암(102)장착된다.

상기 렌즈부(106)는 상측으로부터 고체 촬상소자(104)와 편각 프리이즘(112), 그리고 편광판으로 이루어지는 검광자(114)와 대물렌즈(116)가 배치된다.

그리고 스테이지(108)는 편광자(118)가 배치되며, 하부의 베이스(100)의 내부에는 광원인 할로겐 램프(120)와, 상기 관원을 집중시키는 컬렉터 렌즈(122), 그리고 상기 컬렉터 렌즈(122)로부터 입사되는 광의 조사방향을 상측으로 전환시키는 반사경(124)이 내장된다.

이에따라 스테이지(100)에 올려지는 시료는 편광자(118)와 검광자(114)의 작용에 의하여 편광된 상으로 픽업됨으로써, 시료를 조사할 수 있게 된다.

그러나 상기와 같은 마이크로스코프에 있어서는 투과식에 의해서만 시료의 조사가 가능하므로 얇은 박판의 시료를 조사하는데에만 사용할 수 있다는 폐단이 있다.

따라서 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 시료를 투과식과 반사식으로 조사할 수 있도록 함으로써, 시료의 정확한 표면상태와 광학성 특성을 조사할 수 있도록 한 비디오 마이크로스코프를 제공하려는 것이다.

이를 실현하기 위하여 본 발명은 베이스의 일측으로 세워지는 아암을 포함하여 이루어지는 스텐드와; 상기 아암에 높이 조절수단과 촛점조절수단을 개재시켜 배치되는 결상 스크린인 고체촬상소자와; 상기 고체촬상소자의 하측으로 결합되어 반사식과 투과식의 편광을 동시에 수용하는 경통부와; 상기 렌즈부의 일측으로 결합되어 반사식 광원을 조사하는 라이트 가이드부와; 상기 렌즈부의 직하방의 베이스상에 반사식 광원을 포함하여 배치되는 스테이지부를 포함하여 이루어지는 비디오 마이크로스코프를 제공한다.

이하, 상기의 목적을 구체적으로 실현할 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 의거하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

제1도는 본 발명에 의한 마이크로스코프의 구성도로서, 본 발명의 마이크로스코프는 베이스(12)의 일측으로 세워지는 아암(14)을 포함하여 이루어지는 스텐드(16)의 아암(14)에 높이 조절수단(18)과 촛점조절수단(20)을 개재시켜 고체촬상소자(22)가 배치된다.

그리고 상기 고체촬상소자(22)의 하측에는 렌즈부(24)가 결합되고, 상기 렌즈부(24)의 일측으로 결합되는 반사식 조사를 위한 라이트 가이드부(26)가 결합되고, 상기 베이스(12)의 렌즈부(24) 직하방에는 시료가 올려지는 스테이지부(28)가 배치된다.

상기에서 스텐드(16)의 하부를 형성하는 베이스(12)는 마이크로스코프를 안정되게 지지할 수 있는 적정의 크기와 형태를 가지며, 아암(14)은 상기 베이스(12)의 일측으로 세워지는데, 본 발명의 도면에서는 아암(14) 단순히 직립된 상태로 도시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 그 일예로서 종래와 같이 소정의 곡률을 갖고 만곡되는 형태로 형성할 수도 있다.

상기 고체촬상소자(22)는 상기 아암(14)을 타고 상하 슬라이드 가능하게 결합되어 높이 조절수단(18)을 형성하는 제1 슬라이더(30)에 다시 상하 슬라이드 가능하게 결합되는 촛점조절수단(20)의 제2 슬라이더(32)의 일측단에 결합되는데, 상기 제1 슬라이더(30)는 멈춤너트(31)의 풀고 조임에 따라 아암(14)에 고정 또는 비 고정됨으로써, 제1 슬라이더(30)의 높낮이를 조절할 수 있게 되는 것이다.

그리고 상기 제1 슬라이더(30)에 상하 슬라이드 가능하게 결합되는 제2 슬라이더(32)는 상호 공지의 더브테일 결합이 이루어지되, 상기 제1 슬라이더(30)를 관통하는 촛점조절 노브(34)의 회전에 따라 상하 이동되면서 촛점의 조정이 이루어지게 된다.

상기에서 촛점조절 노브(34)의 회전에 따라 제2 슬라이더(32)가 상하 운동될 수 있도록 하는 수단으로는 여러수단이 있겠으나, 그 일예로서는 랙과 피니언을 들 수가 있다.

상기와 같은 제2 슬라이더(32)의 일측으로 결합되는 고체촬상소자(22)는 렌즈계에 의하여 결상되는 스크린 역할을 한다.

상기 고체촬상소자(22)의 하측으로 결합되는 렌즈부(24)는 제2도에서와 같이, 상하 분리 형성되어 나사 결합되는 정통(34)의 내부로 회전 가능하게 결합되는 회전 경통(36)과; 상기 회전 경통(36)의 내경 중간부에 배치되는 검광자 및 색보정렌즈(38)와; 하측부로 대물렌즈(40)가 배치되고 그의 상측으로 빔 스플리터(42)와, 라이트 가이드부(26)외 결합공(44)이 형성되어 상기 경통(34)의 하측부에 결합되는 빔 스플리터 경통(46)을 포함하여 이루어진다.

상기에서 회전 경통(36)의 중간부 외주연에는 깔쭈기(48)를 형성하여 회전 경통(36)을 용이하게 회전시킬 수 있도륵 하였다.

그리고 상기 라이트 가이드부(26)는 반사식으로 시료를 조사할 수 있도록 하는 것으로서, 제3도에서와 같이, 빔 스플리터 경통(46)에 나사결합되는 중공체인 연결구(48)와, 상기 연결부(48)의 후측으로 편광자(50)를 개재시켜 고정 너트(52)로서 연결되는 라이트 가이드(54)로 이루어진다.

이에따라 라이트 가이드(54)를 통해 전송되는 광이 편광자(50)에 의하여 편광되어 빔 스플리터(42)로 편팡 입사된다.

상기 스테이지부(28)는 제4도에서 보인바와 같이 베이스(12)상에 결합되는 스페이서(56)와; 중앙부로 배치되는 편광자(58)의 하측을 지지할 수 있도록 상기 스페이서(56)의 상측으로 결합되는 편광자 하부 지지판(60)과; 상기 스페이서(56)와 편광자 하부 지지판(60) 사이로 내경부가 회전 가능하게 결합되는 결합되는 회전판(62)과; 상기 회전판(62)의 상측으로 고정되어 상기 편팡자(58)의 상측을 지지하여 주는 고정판(64)을 포함하여 이루어진다.

물론 상기 스페이서(56)의 내측 하부 즉, 베이스(12)에는 제1도에서와 같이 투과식을 위한 라이트 가이드(66)와 반사경(68)이 배치되며, 편광자(58)를 회전시키고자 할 때에는 회전판(62)을 회전시키면 되는 바, 조작이 매우 용이해진다.

상기에서 라이트 가이드(54)(66)는 미도시한 광원과 연결이 이루어져 이의 4광원으로부터 발생되는 광을 전송하게 되는 것이다.

이와같은 본 발명의 마이크로스코프를 이용하여 얇은 막으로 이루어진 시료를 관찰하고자 할 때에는 투과식으로 하면 편광자(58)와 시료를 거친 편광이 대물렌즈(40)에 의하여 확대 축소되어 입사되고 이의 편광은 다시 검광자(38)를 통해 고체촬상소자(22)에 결상되어 시료를 측정할 수 있게 되는 것이다.

그리고 두꺼운 시료를 조사하고자 할 때에는 반사식으로 하면 라이트 가이드(54)를 통해 전송되는 광이 편광자(50)에 의하여여 편광되어 빔 스플리터(42)로 편광 입사되어 시료의 표면에 반사되며, 이에 반사된 편광은 대물렌즈(40)에 의하여 확대 축소되어 입사되어 검광자(38)를 통해 고체촬상소자(22)에 픽업됨으로써, 반사식으로 시료를 조사할 수 있게 되는 것이다.

이상에서와 같이 본 발명은 하나의 마이크로스코프로서, 반사식과 투과식을 이용하여 시료의 표면상태와 광학적 성질을 정확하게 조사 할 수 있는 발명인 것이다.

Claims (4)

1. 베이스의 일측에 세워지는 아암을 구비하는 스텐드와; 상기 아암에 높이 조절수단과 초점 조절수단을 개재시켜 배치되는 고체촬상소자와; 상기 고체촬상소자의 하측에 결합되어 반사식과 투과식의 편광을 동시에 수용하는 렌즈부와; 상기 렌즈부의 일측에 배치되어 반사식 광원을 조사하는 라이트 가이드부와; 상기 렌즈부의 아래쪽에 배치되는 베이스 상에 투과식 광원을 제공하여 배치되는 스테이지부를 포함하며; 상기 스테이지부는 베이스 위에 결합되는 스페이서와; 중앙부에 배치되는 편광자의 하측을 지지할 수 있도록 상기 스페이서의 상측에 결합되는 편광자 하부 지지판과; 상기 스페이서와 편광자 하부 지지판 사이로 내경부가 회전 가능하게 결합되는 회전판과; 상기 회전판의 상측에 고정되어 상기 편광자의 상측을 지지하여 주는 고정판;을 더 포함하는 비디오 마이크로스코프.
2. 제1항에 있어서, 상기 고체촬상소자는 상기 아암을 타고 상, 하로 슬라이드 가능하게 결합되어 높이 조절수단을 형성하는 제1 슬라이더에 다시 상, 하로 슬라이드 가능하게 결합되는 초점조절수단의 제2 슬라이더 일측단에 결합되는 비디오 마이크로스코프.
3. 제1항에 있어서, 상기 렌즈부는 상, 하 분리 형성되어 나사 결합되는 경통의 내부로 회전 가능하게 결합되는 회전 경통과; 상기 회전 경통의 내경 중간부에 배치되는 검광자와; 하측부로 대물렌즈가 배치되고 그의 상측으로 빔 스플리터와, 라이트 가이드부의 결합공이 형성되어 상기 경통의 하측부에 결합되는 빔 스플리터 경통;을 포함하는 비디오 마이크로스코프.
4. 제1항에 있어서, 상기 라이트 가이드부는 빔 스플리터 경통에 나사결합되는 중공체인 연결구와; 상기 연결부의 후측으로 편광자를 개재시켜 고정 너트로서 연결되는 라이트 가이드;로 이루어지는 비디오 마이크로스코프.