JPS63267601A - マスク管理設備 - Google Patents
マスク管理設備Info
- Publication number
- JPS63267601A JPS63267601A JP62101365A JP10136587A JPS63267601A JP S63267601 A JPS63267601 A JP S63267601A JP 62101365 A JP62101365 A JP 62101365A JP 10136587 A JP10136587 A JP 10136587A JP S63267601 A JPS63267601 A JP S63267601A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mask
- traverse
- carrier
- central control
- control device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/66—Containers specially adapted for masks, mask blanks or pellicles; Preparation thereof
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
- G03F7/70741—Handling masks outside exposure position, e.g. reticle libraries
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Library & Information Science (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はマスク管理設備に関し、特にマスクの入出庫を
自動化したマスク管理設備に関する。
自動化したマスク管理設備に関する。
ＩＣの高集積化に伴い、ＬＳＩ更には超ＬＳＩと進み、
その回路パターンは益々微細化している。しかもＬＳＩ
はＡＳ（特定用途向け）ＩＣ、カスタム（特別注文）Ｌ
Ｃ製品の製造など多品種化している。
その回路パターンは益々微細化している。しかもＬＳＩ
はＡＳ（特定用途向け）ＩＣ、カスタム（特別注文）Ｌ
Ｃ製品の製造など多品種化している。
一方、パターンの微細化に伴ってＬＳＩ製造設備の無塵
化を促進するためにクリーンルーム内における自動化を
促進している。この自動化はりソゲラフイエ程等におい
て顕著であるが、リソグラフィ工程のパターン形成に用
いるマスクの管理は依然として人手に顆っているのが現
状である。
化を促進するためにクリーンルーム内における自動化を
促進している。この自動化はりソゲラフイエ程等におい
て顕著であるが、リソグラフィ工程のパターン形成に用
いるマスクの管理は依然として人手に顆っているのが現
状である。
従来、マスクの管理を人手によっていたのは、従来のＬ
ＳＩ製造が少品種多量生産で済んでいたことによるもの
である。しかしながら、ＬＳＩの多品種少量化に伴って
マスクも多品種少量化しており、これを人手によって管
理すると、検索に時間を要し、ＬＳＩの生産効率を向上
させる上で障害となるばかりでなく、クリーンルームの
クリーン度低下をもたらすことにもなる。
ＳＩ製造が少品種多量生産で済んでいたことによるもの
である。しかしながら、ＬＳＩの多品種少量化に伴って
マスクも多品種少量化しており、これを人手によって管
理すると、検索に時間を要し、ＬＳＩの生産効率を向上
させる上で障害となるばかりでなく、クリーンルームの
クリーン度低下をもたらすことにもなる。
本発明は上記問題点を解決したもので、マスク管理を自
動化することによって、クリーンルーム下における無人
化、延いては無塵化を促進するとともに生産効率を向上
させることのできるマスク管理設備を提供することを目
的としている。
動化することによって、クリーンルーム下における無人
化、延いては無塵化を促進するとともに生産効率を向上
させることのできるマスク管理設備を提供することを目
的としている。
本発明に係るマスク管理設備は、他の設備と保管庫間に
おいてマスクを収納したマスクケースを運搬するキャリ
アと、キャリアと保管庫の保管棚間においてマスクケー
スを運搬するトラバースと、トラバースによって運搬さ
れるマスクケースのロットを認識してその信号を出力す
る認識装置と、認識装置からの入力信号によりトラバー
スを所望の位置に移動させてマスクケースを収納すべく
指令する中央制御装置と、中央制御装置にマスクケース
の入出庫指令を出力する端末装置とを備えたものである
。
おいてマスクを収納したマスクケースを運搬するキャリ
アと、キャリアと保管庫の保管棚間においてマスクケー
スを運搬するトラバースと、トラバースによって運搬さ
れるマスクケースのロットを認識してその信号を出力す
る認識装置と、認識装置からの入力信号によりトラバー
スを所望の位置に移動させてマスクケースを収納すべく
指令する中央制御装置と、中央制御装置にマスクケース
の入出庫指令を出力する端末装置とを備えたものである
。
本発明によれば、端末装置に所定の人力をするとキャリ
アのマスクケースなトラバースが取り出し、これを認識
装置が認識してその信号を中央制御装置に出力すると、
中央制御装置は認識信号に基づいてトラバースを所定の
保管棚に移動させてマスクケースをそこに収納する。逆
に保管庫から所定のマスクケースを出庫する場合には、
端末にその旨入力すると、中央制御装置は指令信号を出
力してトラバースを所定の保管棚に移動させてマスクケ
ースを取り出してキャリアへと運搬するが、キャリアへ
のマスクケース収納前に認識装置によってマスクケース
を認識し、指令に従ったものであればキャリアに、そう
でないものは元の保管棚に戻す。
アのマスクケースなトラバースが取り出し、これを認識
装置が認識してその信号を中央制御装置に出力すると、
中央制御装置は認識信号に基づいてトラバースを所定の
保管棚に移動させてマスクケースをそこに収納する。逆
に保管庫から所定のマスクケースを出庫する場合には、
端末にその旨入力すると、中央制御装置は指令信号を出
力してトラバースを所定の保管棚に移動させてマスクケ
ースを取り出してキャリアへと運搬するが、キャリアへ
のマスクケース収納前に認識装置によってマスクケース
を認識し、指令に従ったものであればキャリアに、そう
でないものは元の保管棚に戻す。
（実施例）
以下第１図及び第２図に示す一実施例に基づいて本発明
を説明する。第１図はマスク管理設備を示す全体図であ
り、第２図はマスクを収納したマスクケースの斜視図で
ある。
を説明する。第１図はマスク管理設備を示す全体図であ
り、第２図はマスクを収納したマスクケースの斜視図で
ある。
マスク管理設備は、第１図に示す如く、マスクを収納し
たマスクケース（第２図参照）（１）を収容する保管棚
（２ａ）を多数備えた保管庫（２） と、保管庫（２）
と他の設備間においてマスクケース（１）を運搬するキ
ャリア（３）とを備えている。キャリア（３）はマスク
ケース（１）が収容できる構成を有し、収容されたマス
クケース（１）をトラバース（４） によって取り出し
て所定の保管棚（２ａ）に運搬するようにしている。ト
ラバース（４）は、モータ（４ａ）によって保管庫（２
）の両端（図中左右両端）を往復移動できるとともに、
マスクケース（１）の載置台（４ｂ）を保管庫（２）に
おいて昇降するように −構成されている。載置台（４
ｂ）は、トラバース（４）の上下端に配置したローラ（
４ｃ） 、 （４ｃ）間に掛は回した無端状ベルト（４
ｄ）の駆動によって昇降するものである。
たマスクケース（第２図参照）（１）を収容する保管棚
（２ａ）を多数備えた保管庫（２） と、保管庫（２）
と他の設備間においてマスクケース（１）を運搬するキ
ャリア（３）とを備えている。キャリア（３）はマスク
ケース（１）が収容できる構成を有し、収容されたマス
クケース（１）をトラバース（４） によって取り出し
て所定の保管棚（２ａ）に運搬するようにしている。ト
ラバース（４）は、モータ（４ａ）によって保管庫（２
）の両端（図中左右両端）を往復移動できるとともに、
マスクケース（１）の載置台（４ｂ）を保管庫（２）に
おいて昇降するように −構成されている。載置台（４
ｂ）は、トラバース（４）の上下端に配置したローラ（
４ｃ） 、 （４ｃ）間に掛は回した無端状ベルト（４
ｄ）の駆動によって昇降するものである。
トラバース（４）によって運搬されるマスクケース（１
）には、第２図に示す如く表面にバーコード（１ａ）が
貼着され、両側面には突起（ｌｂ） 、 （ｌｂ）が形
成され、突起（ｌｂ） 、 （ｌｂ）を介してマスクケ
ース（１）を保管棚（２ａ） 、 （２ａ）に収容する
ようにしている。
）には、第２図に示す如く表面にバーコード（１ａ）が
貼着され、両側面には突起（ｌｂ） 、 （ｌｂ）が形
成され、突起（ｌｂ） 、 （ｌｂ）を介してマスクケ
ース（１）を保管棚（２ａ） 、 （２ａ）に収容する
ようにしている。
然して、トラバース（４）の運搬するマスクケース（１
）は、キャリア（３）から保管棚（２ａ） 、 （２ａ
）に運搬される途上において、キャリア（３）上方に配
設されたバーコードリーダ（図中のＢＣＲ）（５）によ
ってマスクケース（１）のバーコード（１ａ）が読み取
られて、読み取った信号は、バーコードリーダ（５）か
ら出力されて、保管庫（２）に対して端末（６）を介し
て配置された中央制御装置（７）に人力する。中央制御
装置（７）は入力信号に基づいた指令信号をトラバース
（４） に出力し、信号を受けたトラバース（４） は
マスクケース（１）を目的とする保管棚（２ａ）に運搬
し、載置台（４ｂ）から保管棚（２ａ）へと移載する。
）は、キャリア（３）から保管棚（２ａ） 、 （２ａ
）に運搬される途上において、キャリア（３）上方に配
設されたバーコードリーダ（図中のＢＣＲ）（５）によ
ってマスクケース（１）のバーコード（１ａ）が読み取
られて、読み取った信号は、バーコードリーダ（５）か
ら出力されて、保管庫（２）に対して端末（６）を介し
て配置された中央制御装置（７）に人力する。中央制御
装置（７）は入力信号に基づいた指令信号をトラバース
（４） に出力し、信号を受けたトラバース（４） は
マスクケース（１）を目的とする保管棚（２ａ）に運搬
し、載置台（４ｂ）から保管棚（２ａ）へと移載する。
逆に保管庫（２）から所定のマスクケース（１）を出庫
する場合には、予め空のキャリア（３）を保管庫（２）
に待機させておき、端末（６）にその旨入力すると、
中央制御装置（７）が作動してトラバース（４）に指令
信号を出力し、トラバース（４）を所定の保管棚（２ａ
）へと移動させる。トラバース（４）は、保管棚（２ａ
）からマスクケース（１）を載置台（４ｂ）上に取り出
して載置した後、キャリア（３）へと向かう。トラバー
ス（４）がキャリア（３）に到達する前に、バーコード
リーダ（５）によってそのマスクケース（１）のバーコ
ード（１ａ）が読み取られて、その信号が中央制御装置
（７）に出力される。中央制御装置（７）は端末（６）
からの指令信号と比較して一致すればトラバース（４）
をキャリア（３）に移動させてマスクケース（１）をキ
ャリア（３）に移載する。キャリア（３）はマスクケー
ス（１）を受けて他の必要設備へとマスクケース（１）
を運搬する。逆にバーコードリーダ（５）からの読み取
り信号が端末（６）からの指令信号と合致しないと、ト
ラバース（４）はマスクケース（１）を元の保管棚（２
ａ）に戻すべく移動する。
する場合には、予め空のキャリア（３）を保管庫（２）
に待機させておき、端末（６）にその旨入力すると、
中央制御装置（７）が作動してトラバース（４）に指令
信号を出力し、トラバース（４）を所定の保管棚（２ａ
）へと移動させる。トラバース（４）は、保管棚（２ａ
）からマスクケース（１）を載置台（４ｂ）上に取り出
して載置した後、キャリア（３）へと向かう。トラバー
ス（４）がキャリア（３）に到達する前に、バーコード
リーダ（５）によってそのマスクケース（１）のバーコ
ード（１ａ）が読み取られて、その信号が中央制御装置
（７）に出力される。中央制御装置（７）は端末（６）
からの指令信号と比較して一致すればトラバース（４）
をキャリア（３）に移動させてマスクケース（１）をキ
ャリア（３）に移載する。キャリア（３）はマスクケー
ス（１）を受けて他の必要設備へとマスクケース（１）
を運搬する。逆にバーコードリーダ（５）からの読み取
り信号が端末（６）からの指令信号と合致しないと、ト
ラバース（４）はマスクケース（１）を元の保管棚（２
ａ）に戻すべく移動する。
尚、マスクケース（１）をキャリア（３）から所定の保
管棚（２ａ）に運搬する場合には、その旨を端末（６）
に入力してトラバース（４）を駆動制御することは言う
までもない。また中央制御装置（７）は関連設備に対し
マスク保管情報を通信する機能をも有している。
管棚（２ａ）に運搬する場合には、その旨を端末（６）
に入力してトラバース（４）を駆動制御することは言う
までもない。また中央制御装置（７）は関連設備に対し
マスク保管情報を通信する機能をも有している。
以上本実施例によれば、マスク管理を自動化することが
できるため、クリーンルームにおける発塵源である人間
を排除して無人化することができるとともに、マスク管
理のミスをなくし得、生産効率の向上を図ることができ
る。
できるため、クリーンルームにおける発塵源である人間
を排除して無人化することができるとともに、マスク管
理のミスをなくし得、生産効率の向上を図ることができ
る。
尚、本実施例では、バーコードリーダ（５）を用いてマ
スクを認識するものについて説明したが、例えば、マス
ク表面に表示した文字を直接読み取ってマスクを認識す
るようにもすることができる。
スクを認識するものについて説明したが、例えば、マス
ク表面に表示した文字を直接読み取ってマスクを認識す
るようにもすることができる。
（発明の効果〕
以上本発明によれば、マスク管理を自動化することがで
き、無塵化を促進することができるとともに生産効率の
向上を図ることができる。
き、無塵化を促進することができるとともに生産効率の
向上を図ることができる。
第１図は本発明に係るマスク管理設備の一実施例を示す
全体図、第２図は本実施例に用いるマスクケースを示す
斜視図である。 図において、（１）はマスクケース、（ｌａ）はバーコ
ードリーダ、（２）は保管庫、（２ａ）は保管棚、（３
）はキャリア、（４）はトラバース、（５）はバーコー
ドリーダ（認識装置）、（６）は端末、（７）は中央制
御装置である。
全体図、第２図は本実施例に用いるマスクケースを示す
斜視図である。 図において、（１）はマスクケース、（ｌａ）はバーコ
ードリーダ、（２）は保管庫、（２ａ）は保管棚、（３
）はキャリア、（４）はトラバース、（５）はバーコー
ドリーダ（認識装置）、（６）は端末、（７）は中央制
御装置である。
Claims (2)
- （１）マスクを収納したマスクケースを複数種それぞれ
の保管棚に収容する保管庫と、該保管庫と他の設備間に
おいて上記マスクケースを運搬するキャリアと、該キャ
リアと上記保管棚間において上記マスクケースを運搬す
るトラバースと、該トラバースの運搬するマスクケース
のロットを認識してその認識信号を出力する認識装置と
、該認識装置の認識信号の入力により、上記トラバース
の運搬するマスクケースを所望の位置に収納すべく指令
する中央制御装置と、該中央制御装置に対して上記マス
クケースの上記保管庫への入出庫指令として出力する端
末装置とを備えたことを特徴とするマスク管理設備。 - （２）上記認識装置がバーコードリーダであることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載のマスク管理設備。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62101365A JPS63267601A (ja) | 1987-04-24 | 1987-04-24 | マスク管理設備 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62101365A JPS63267601A (ja) | 1987-04-24 | 1987-04-24 | マスク管理設備 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63267601A true JPS63267601A (ja) | 1988-11-04 |
Family
ID=14298801
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62101365A Pending JPS63267601A (ja) | 1987-04-24 | 1987-04-24 | マスク管理設備 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63267601A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03177206A (ja) * | 1989-12-02 | 1991-08-01 | Sumitomo Rubber Ind Ltd | 物品の取り出し・格納方法と装置 |
| JPH04159902A (ja) * | 1990-10-18 | 1992-06-03 | Nippon Steel Corp | 在庫管理システム及び在庫管理方法 |
| US5340262A (en) * | 1990-05-17 | 1994-08-23 | Daifuku Co., Ltd. | Automatic warehousing system and operating file therefor |
| WO2012035693A1 (ja) * | 2010-09-13 | 2012-03-22 | ムラテックオートメーション株式会社 | 自動倉庫及び物品搬出方法 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52126875A (en) * | 1976-04-15 | 1977-10-25 | Nippon Denso Co Ltd | Automatic warehouse |
| JPS5678706A (en) * | 1979-11-27 | 1981-06-27 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | Method for carrying inventory in and out of storage facilities |
| JPS57156906A (en) * | 1981-03-20 | 1982-09-28 | Nec Corp | Automated warehouse |
| JPS58153935A (ja) * | 1982-03-09 | 1983-09-13 | Toshiba Corp | フオトマスクの出納方式 |
| JPS61228610A (ja) * | 1985-04-03 | 1986-10-11 | Canon Inc | ウエハ処理装置 |
| JPS624102A (ja) * | 1985-06-29 | 1987-01-10 | Sony Corp | フオトマスクの保管装置 |
| JPS62235101A (ja) * | 1986-04-02 | 1987-10-15 | Toshiba Corp | ストツカシステム |
-
1987
- 1987-04-24 JP JP62101365A patent/JPS63267601A/ja active Pending
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| JP5549736B2 (ja) * | 2010-09-13 | 2014-07-16 | 村田機械株式会社 | 自動倉庫及び物品搬出方法 |
| KR101433214B1 (ko) * | 2010-09-13 | 2014-08-22 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 자동창고 및 물품 반출 방법 |
| US8948908B2 (en) | 2010-09-13 | 2015-02-03 | Murata Machinery, Ltd. | Automated warehouse and article removal method |
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