JPS63232953A - 研磨工具 - Google Patents
研磨工具Info
- Publication number
- JPS63232953A JPS63232953A JP6480787A JP6480787A JPS63232953A JP S63232953 A JPS63232953 A JP S63232953A JP 6480787 A JP6480787 A JP 6480787A JP 6480787 A JP6480787 A JP 6480787A JP S63232953 A JPS63232953 A JP S63232953A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- abrasive
- holder
- elastic support
- tool
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、レンズやレンズ金型等の光学鏡面、特に非球
面形状の表面を研摩するのに適した研摩工具に関する。
面形状の表面を研摩するのに適した研摩工具に関する。
[従来の技術]
従来、研削等により創成された非球面形状の表面を研摩
して光学鏡面とするには、一般に第9図に示すように、
非球面の有効径部分Mと頂点Pとを結ぶ円の半径R(以
下、参照Rという)とほぼ等しい長さR′ を半径とす
る球面に研摩体としてフェルト等の研摩布102を貼布
し、研摩布102とワーク(工作物)105 との間に
遊離砥粒を介在させて研摩を行フていた。そして、非球
面の参照Rからのずれ部分では研摩布が変形しつつ追従
して研摩を行っていた。
して光学鏡面とするには、一般に第9図に示すように、
非球面の有効径部分Mと頂点Pとを結ぶ円の半径R(以
下、参照Rという)とほぼ等しい長さR′ を半径とす
る球面に研摩体としてフェルト等の研摩布102を貼布
し、研摩布102とワーク(工作物)105 との間に
遊離砥粒を介在させて研摩を行フていた。そして、非球
面の参照Rからのずれ部分では研摩布が変形しつつ追従
して研摩を行っていた。
丁発明が解決しようとする問題点]
しかしながら、上記のような従来例では、研摩布の変形
後の弾性回復が遅いので、ホルダ101に回転と揺動運
動をさせて研摩した時に、研摩布102のワーク表面に
対する追従性が悪く、表面あらさが均一にならない、い
わゆる研摩むらが生じ易いという欠点があった。また、
その研摩むらを避けるために、工具のワークに対する押
付圧を高くすると、今度はA部のように加工表面の高い
部分が他の部分よりも多く研摩されてしまい、研削等に
より高精度に創成された表面の形状精度が劣化してしま
うという重大な欠点があった。
後の弾性回復が遅いので、ホルダ101に回転と揺動運
動をさせて研摩した時に、研摩布102のワーク表面に
対する追従性が悪く、表面あらさが均一にならない、い
わゆる研摩むらが生じ易いという欠点があった。また、
その研摩むらを避けるために、工具のワークに対する押
付圧を高くすると、今度はA部のように加工表面の高い
部分が他の部分よりも多く研摩されてしまい、研削等に
より高精度に創成された表面の形状精度が劣化してしま
うという重大な欠点があった。
そこで、本発明は、上述のような従来の欠点を除去し、
研摩体のワーク表面に対する追従性を向上し、高精度な
鏡面仕上が得られる研摩工具を提供することを目的とす
る。
研摩体のワーク表面に対する追従性を向上し、高精度な
鏡面仕上が得られる研摩工具を提供することを目的とす
る。
[問題点を解決するための手段]
かかる目的を達成するため、本発明は、被加工物の加工
表面を研摩する研摩体を弾性支持部を介してホルダ表面
に配置したことを特徴とする。
表面を研摩する研摩体を弾性支持部を介してホルダ表面
に配置したことを特徴とする。
[作 用]
本発明は、複数の研摩体を弾性体を介して工具表面に例
えばほぼ均等に分布するように配置し、各研摩体が独立
して変位可能な構造としたので、軽い研摩圧で研摩体の
ワーク表面に対する追従性を向上し、それにより表面あ
らざが均一となり、研摩むらを少なくし、表面形状精度
の劣化のおそれがなくなる。
えばほぼ均等に分布するように配置し、各研摩体が独立
して変位可能な構造としたので、軽い研摩圧で研摩体の
ワーク表面に対する追従性を向上し、それにより表面あ
らざが均一となり、研摩むらを少なくし、表面形状精度
の劣化のおそれがなくなる。
[実施例]
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する
。
。
A、第1の実施例
第1図および第2図は本発明の第1の実施例の構成を示
す。第1図は研摩工具lの縦断面、第2図はその工具表
面を示す。
す。第1図は研摩工具lの縦断面、第2図はその工具表
面を示す。
第1図において、2は先端が球形状面のホルダ(工具ホ
ルダ)である。3は研摩体あり、フェルト、研摩布ある
いはまたダイヤモンド、ボラゾン等の砥粒を結合材でか
ためたベレットなどを用いる。4は弾性支持部であり、
ゴム、スプリング等の弾性体からなる。
ルダ)である。3は研摩体あり、フェルト、研摩布ある
いはまたダイヤモンド、ボラゾン等の砥粒を結合材でか
ためたベレットなどを用いる。4は弾性支持部であり、
ゴム、スプリング等の弾性体からなる。
研摩体3は弾性支持部4に、弾性支持部4はホルダ2に
それぞれ材質に応じた接着等の適切な固着方法で取付け
られて、研摩工具1を構成している。
それぞれ材質に応じた接着等の適切な固着方法で取付け
られて、研摩工具1を構成している。
また、研摩体3は、複数個あり、かつ第2図に示すよう
に、ホルダ2の球面にほぼ均等に分布して配置されてい
て、各研摩体3がそれぞれ独立して変位可能な構造とな
っている。
に、ホルダ2の球面にほぼ均等に分布して配置されてい
て、各研摩体3がそれぞれ独立して変位可能な構造とな
っている。
以上の構成からなる研摩工具1を、第3図に示すように
、ワーク5に対して配置して、工具1に回転と揺動運動
をさせて研摩を行う。この時、各研摩体3が独立して表
面5aをトレースするので、軽い押付圧で、むらのない
研摩ができる。研摩体3として研摩布、フェルト等を用
いた時はワーク5との間にダイヤモンド、ボラゾン等の
遊離砥粒を介在させる。
、ワーク5に対して配置して、工具1に回転と揺動運動
をさせて研摩を行う。この時、各研摩体3が独立して表
面5aをトレースするので、軽い押付圧で、むらのない
研摩ができる。研摩体3として研摩布、フェルト等を用
いた時はワーク5との間にダイヤモンド、ボラゾン等の
遊離砥粒を介在させる。
また、研摩体3としてベレットを用いた時には、ベレッ
ト表面を第4図に示すように、参照Rとほぼ等しい半径
R7の球面6で包絡されるように形成するとともに、各
ベレットの端部3AをR形状に而取りするのが望ましい
。
ト表面を第4図に示すように、参照Rとほぼ等しい半径
R7の球面6で包絡されるように形成するとともに、各
ベレットの端部3AをR形状に而取りするのが望ましい
。
第5図〜第8図は本発明の他の実施例を示す。
B、第2の実施例
第5図は、上述の弾性支持部4にさらに細い柱状のゴム
等の弾性体24を複数配晋して構成した実施例を示す。
等の弾性体24を複数配晋して構成した実施例を示す。
その弾性体24は研摩体3に直接取付けても良1く、ま
たプレート24Aを介して取付けても良い。また、24
と24Aを一体成形しても良い。
たプレート24Aを介して取付けても良い。また、24
と24Aを一体成形しても良い。
本実施例では弾性体24としてゴムを用いた時には、押
付圧を軽くすることができるとともに、横方向の変位を
容易にして、研摩面への研摩体3の追従性をさらに向上
させることができる。
付圧を軽くすることができるとともに、横方向の変位を
容易にして、研摩面への研摩体3の追従性をさらに向上
させることができる。
C1第3の実施例
第6図は、弾性支持部が二層の弾性体からなる実施例を
示す。本図において、34Aはモルトブレーンゴム等の
比較的軟らかい弾性体であり、34Bはゴム等の比較的
かたい弾性体である。本実施例ではホルダ2の球面の曲
率が大きい場合に、比較的軟らかい弾性体34^がホル
ダ表面形状にならって変形するので、ホルダ2への弾性
支持部の接着が確実に行える利点がある。
示す。本図において、34Aはモルトブレーンゴム等の
比較的軟らかい弾性体であり、34Bはゴム等の比較的
かたい弾性体である。本実施例ではホルダ2の球面の曲
率が大きい場合に、比較的軟らかい弾性体34^がホル
ダ表面形状にならって変形するので、ホルダ2への弾性
支持部の接着が確実に行える利点がある。
D、第4の実施例
第7図は、複数の柱状の弾性体44八とモルトブレーン
等の比較的やわらかい弾性体4411とを組み合わせて
構成した実施例を示す。本実施例では比較的やわらかい
弾性体44Bがホルダ球面の形状にならって変形するの
で接着が確実に行なえるとともに、さらに柱状の弾性体
44八により軽い作用圧で研摩体3が変位するので参照
R(第9図または第4図参照)が小さくて非球面量の大
きいワーク5の研摩に適している。
等の比較的やわらかい弾性体4411とを組み合わせて
構成した実施例を示す。本実施例では比較的やわらかい
弾性体44Bがホルダ球面の形状にならって変形するの
で接着が確実に行なえるとともに、さらに柱状の弾性体
44八により軽い作用圧で研摩体3が変位するので参照
R(第9図または第4図参照)が小さくて非球面量の大
きいワーク5の研摩に適している。
E、第5の実施例
第8図は工具の部分断面を示し、複数の研摩体3を取り
付けた弾性支持部54をホルダ2の表面に複数個所配置
した実施例を示す。本実施例では参照Rが大きくとれる
ので、有効径の大きいワークの研摩に適している。
付けた弾性支持部54をホルダ2の表面に複数個所配置
した実施例を示す。本実施例では参照Rが大きくとれる
ので、有効径の大きいワークの研摩に適している。
なお−例として、超硬合金(WC)からなるワーク径3
0+++m、非球面量線lOμmの非球面形状金型を表
面あらさ約0.1μm Rmaxで創成した後、粒径3
μmのダイヤモンド砥粒を用いて表面あらさを0.02
μm l1max以下に研摩加工した場合の本発明実施
例と従来例との比較を第1表に示す。
0+++m、非球面量線lOμmの非球面形状金型を表
面あらさ約0.1μm Rmaxで創成した後、粒径3
μmのダイヤモンド砥粒を用いて表面あらさを0.02
μm l1max以下に研摩加工した場合の本発明実施
例と従来例との比較を第1表に示す。
第 1 表
この実験例に用いた、被加工物に要求される研摩後の形
状の変化量(劣化量)は0.2μm以下であり、上記表
より本発明の工具を用いれば要求精度を十分に満足する
ことができることが分る。
状の変化量(劣化量)は0.2μm以下であり、上記表
より本発明の工具を用いれば要求精度を十分に満足する
ことができることが分る。
また、本発明の実施例としていずれも凹形状のワークを
研摩する場合について説明したが、本発明は凸形状のワ
ークに対応する工具すなわちホルダの球面が凹形状の場
合にも適用できるものであることは勿論である。
研摩する場合について説明したが、本発明は凸形状のワ
ークに対応する工具すなわちホルダの球面が凹形状の場
合にも適用できるものであることは勿論である。
[発明の効果]
以上説明したように、本発明によれば、複数の研摩体を
弾性体を介して工具の表面に例えばほぼ均等に配置する
ようにしたので、各研摩体が独立して変位することがで
き、軽い研摩圧で研摩体がワーク表面の形状に追従する
ので、形状精度を劣化させずに良好な研摩ができるとい
う効果が得られる。
弾性体を介して工具の表面に例えばほぼ均等に配置する
ようにしたので、各研摩体が独立して変位することがで
き、軽い研摩圧で研摩体がワーク表面の形状に追従する
ので、形状精度を劣化させずに良好な研摩ができるとい
う効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第1の実施例の構成を示す断面図、
第2図は第1図の工具表面の屏開を示す底面図、
第3図は本発明を適用した工具による加工の状態を示す
断面図、 第4図は第1図の工具の部分拡大断面図、第5図は本発
明の第2の実施例の構成を示す斜視図、 第6図は本発明の第3の実施例の構成を示す斜視図、 第7図は本発明の第4の実施例の構成を示す分解斜視図
、 第8図は本発明の第5の実施例の構成を示す部分断面図
、 第9図は従来例の構成を示す断面図である。 1・・・研摩工具、 2・・・ホルダ、 3・・・研摩一体、 4・・・弾性支持部、 24.44八 ・・・柱状の弾性体、 24A・・・プレート、 34A、44B・・・軟かい弾性体、 34B・・・かたい弾性体、 54・・・弾性支持部。 第1図 第2図 買方セイ多11の工具t;Iる力り工状懇のゴh狛図第
3図 第す凶 %4QX方廼イタ11の工臭り亦^孕遼件イ見図第7図 2キールタ゛ 第8図
断面図、 第4図は第1図の工具の部分拡大断面図、第5図は本発
明の第2の実施例の構成を示す斜視図、 第6図は本発明の第3の実施例の構成を示す斜視図、 第7図は本発明の第4の実施例の構成を示す分解斜視図
、 第8図は本発明の第5の実施例の構成を示す部分断面図
、 第9図は従来例の構成を示す断面図である。 1・・・研摩工具、 2・・・ホルダ、 3・・・研摩一体、 4・・・弾性支持部、 24.44八 ・・・柱状の弾性体、 24A・・・プレート、 34A、44B・・・軟かい弾性体、 34B・・・かたい弾性体、 54・・・弾性支持部。 第1図 第2図 買方セイ多11の工具t;Iる力り工状懇のゴh狛図第
3図 第す凶 %4QX方廼イタ11の工臭り亦^孕遼件イ見図第7図 2キールタ゛ 第8図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)被加工物の加工表面を研摩する研摩体を弾性支持部
を介してホルダ表面に配置したことを特徴とする研摩工
具。 2)特許請求の範囲第1項記載の研摩工具において、 前記弾性支持部は弾性率の異なる複数の弾性体の多層構
造からなることを特徴とする研摩工具。 3)特許請求の範囲第1項または第2項記載の研摩工具
において、 前記研摩体および前記弾性支持部の少なくともいずれか
一方は柱状等の形状の複数個からなり、前記ホルダ表面
にほぼ均等に分布して配置されていることを特徴とする
研摩工具。 4)特許請求の範囲第1項〜第3項のいずれかのの項に
記載の研摩工具において、 前記ホルダ表面は前記加工表面の曲率に対応した曲面に
形成されていることを特徴とする研摩工具。 5)特許請求の範囲第1項〜第4項のいずれかの項に記
載の研摩工具において、 前記研摩体はペレットまたは研摩布からな り、 前記弾性支持部はゴムまたはスプリングからなることを
特徴とする研摩工具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6480787A JPS63232953A (ja) | 1987-03-19 | 1987-03-19 | 研磨工具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6480787A JPS63232953A (ja) | 1987-03-19 | 1987-03-19 | 研磨工具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63232953A true JPS63232953A (ja) | 1988-09-28 |
JPH0549428B2 JPH0549428B2 (ja) | 1993-07-26 |
Family
ID=13268883
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6480787A Granted JPS63232953A (ja) | 1987-03-19 | 1987-03-19 | 研磨工具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63232953A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04111766A (ja) * | 1990-08-31 | 1992-04-13 | Canon Inc | 研磨工具 |
US5766058A (en) * | 1995-02-10 | 1998-06-16 | Advanced Micro Devices, Inc. | Chemical-mechanical polishing using curved carriers |
WO2013130290A1 (en) * | 2012-02-28 | 2013-09-06 | United Technologies Corporation | Component blending tool assembly |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4842494A (ja) * | 1971-10-02 | 1973-06-20 | ||
JPS5646952A (en) * | 1979-09-26 | 1981-04-28 | Hitachi Ltd | Dehumidifier*air conditioner |
-
1987
- 1987-03-19 JP JP6480787A patent/JPS63232953A/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4842494A (ja) * | 1971-10-02 | 1973-06-20 | ||
JPS5646952A (en) * | 1979-09-26 | 1981-04-28 | Hitachi Ltd | Dehumidifier*air conditioner |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04111766A (ja) * | 1990-08-31 | 1992-04-13 | Canon Inc | 研磨工具 |
US5766058A (en) * | 1995-02-10 | 1998-06-16 | Advanced Micro Devices, Inc. | Chemical-mechanical polishing using curved carriers |
WO2013130290A1 (en) * | 2012-02-28 | 2013-09-06 | United Technologies Corporation | Component blending tool assembly |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0549428B2 (ja) | 1993-07-26 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |