JPH09323249A - 研磨工具 - Google Patents
研磨工具Info
- Publication number
- JPH09323249A JPH09323249A JP8141452A JP14145296A JPH09323249A JP H09323249 A JPH09323249 A JP H09323249A JP 8141452 A JP8141452 A JP 8141452A JP 14145296 A JP14145296 A JP 14145296A JP H09323249 A JPH09323249 A JP H09323249A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tool
- polisher
- polishing tool
- polishing
- elastic member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 非球面量の大きな形状の被加工物に対して
も、工具径を小径にすることなく、加工面に存在するう
ねりを効率よく研磨除去することができる研磨工具を提
供する。 【解決手段】 ツール４表面に、多数の小径弾性ポリシ
ャ３を均一に分散させて貼り付ける。これら小径弾性ポ
リシャ３は、被加工物の加工面に存在するうねりの周期
の２倍以上の所定の大きさに切った円板状の弾性部材１
上に、同径のポリシャ２を貼り付けたものである。ポリ
シャ２表面には、研磨液が回りやすくするための溝５を
形成する。このように、ツール４と小径のポリシャ２と
の間に弾性部材１を設けたため、各ポリシャ２面は加工
面の形状に従って個々に変形ないし傾斜可能となり、ツ
ール４表面の多数の小径弾性ポリシャ３は加工面に良好
に圧接され、加工面のうねりを効率よく研磨除去でき
る。
も、工具径を小径にすることなく、加工面に存在するう
ねりを効率よく研磨除去することができる研磨工具を提
供する。 【解決手段】 ツール４表面に、多数の小径弾性ポリシ
ャ３を均一に分散させて貼り付ける。これら小径弾性ポ
リシャ３は、被加工物の加工面に存在するうねりの周期
の２倍以上の所定の大きさに切った円板状の弾性部材１
上に、同径のポリシャ２を貼り付けたものである。ポリ
シャ２表面には、研磨液が回りやすくするための溝５を
形成する。このように、ツール４と小径のポリシャ２と
の間に弾性部材１を設けたため、各ポリシャ２面は加工
面の形状に従って個々に変形ないし傾斜可能となり、ツ
ール４表面の多数の小径弾性ポリシャ３は加工面に良好
に圧接され、加工面のうねりを効率よく研磨除去でき
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はミラ―やレンズ等の
光学素子あるいは成形用金型などの研磨加工に用いられ
る研磨工具に係り、特に非球面形状の加工面の研磨に好
適な研磨工具に関する。
光学素子あるいは成形用金型などの研磨加工に用いられ
る研磨工具に係り、特に非球面形状の加工面の研磨に好
適な研磨工具に関する。
【０００２】
【従来の技術】光学レンズやミラ―に非球面を用いる
と、ある種の光学系では著しく性能が改善されることが
知られている。放物面，双曲面，楕円面などの回転２次
曲面の非球面鏡が、ニュ―トン，カセグレン，グレゴリ
―反射望遠鏡の主鏡、副鏡に用いられている事は有名で
ある。また、乱視用眼鏡レンズ、強度のル―ペやコンデ
ンサレンズ、プロジェクタ―用反射鏡なども、非球面光
学部品としてよく知られている。
と、ある種の光学系では著しく性能が改善されることが
知られている。放物面，双曲面，楕円面などの回転２次
曲面の非球面鏡が、ニュ―トン，カセグレン，グレゴリ
―反射望遠鏡の主鏡、副鏡に用いられている事は有名で
ある。また、乱視用眼鏡レンズ、強度のル―ペやコンデ
ンサレンズ、プロジェクタ―用反射鏡なども、非球面光
学部品としてよく知られている。
【０００３】非球面光学部品の研磨加工にはその形状か
ら、通常の球面研磨加工方法は適用できず様々な加工方
法が取られている。しかし、いずれの加工方法でも、加
工面には、その加工方法特有のうねり乃至リップル（以
後この２つを併せてうねりと呼ぶ）を生じてしまい、光
学的に問題であった。そこで、前記うねりの除去を目的
として小径なポリシャ研磨工具を用いて研磨する平滑研
磨方法が提案されている（特開平４−２５６５６２号公
報）。
ら、通常の球面研磨加工方法は適用できず様々な加工方
法が取られている。しかし、いずれの加工方法でも、加
工面には、その加工方法特有のうねり乃至リップル（以
後この２つを併せてうねりと呼ぶ）を生じてしまい、光
学的に問題であった。そこで、前記うねりの除去を目的
として小径なポリシャ研磨工具を用いて研磨する平滑研
磨方法が提案されている（特開平４−２５６５６２号公
報）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
特開平４−２５６５６２に開示された研磨方法では、非
球面形状が高次になるにつれて非球面量が大きくなる
と、加工条件によってはポリシャ面形状が被加工面形状
になじまずポリシャ面が加工面に当たらない箇所がで
き、研磨が進行しないという問題が生じてしまう。これ
を回避するためには、ポリシャ径をより小径にしなけれ
ばならず、加工効率が低下するという問題があった。
特開平４−２５６５６２に開示された研磨方法では、非
球面形状が高次になるにつれて非球面量が大きくなる
と、加工条件によってはポリシャ面形状が被加工面形状
になじまずポリシャ面が加工面に当たらない箇所がで
き、研磨が進行しないという問題が生じてしまう。これ
を回避するためには、ポリシャ径をより小径にしなけれ
ばならず、加工効率が低下するという問題があった。
【０００５】本発明の目的は、非球面量の大きな形状の
被加工物に対しても、工具径を小径にすることなく、加
工面に存在するうねりを効率よく研磨除去することがで
きる研磨工具を提供することにある。
被加工物に対しても、工具径を小径にすることなく、加
工面に存在するうねりを効率よく研磨除去することがで
きる研磨工具を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第１の発明は、被加工物の加工面上を滑動させなが
ら加工を行う研磨工具であって、前記加工面の除去した
いうねり周期の２倍以上の径を有するポリシャを、前記
研磨工具のツ―ルに３個以上設けると共に、前記各ポリ
シャを独立に傾斜可能に設けたものである。
に、第１の発明は、被加工物の加工面上を滑動させなが
ら加工を行う研磨工具であって、前記加工面の除去した
いうねり周期の２倍以上の径を有するポリシャを、前記
研磨工具のツ―ルに３個以上設けると共に、前記各ポリ
シャを独立に傾斜可能に設けたものである。
【０００７】このように、ポリシャ径を、被加工物の加
工面に存在するうねりの周期の２倍以上の大きさに細か
く分割し、これらポリシャをツール上にそれぞれ独立に
傾斜可能に設けたため、各ポリシャは加工面の形状に追
従して傾動することとなり、非球面量の大きな加工面に
対しても、良好な研磨を行うことができる。また、ツー
ルは３個以上の小径ポリシャを備え、ある程度の大きさ
を有するので、加工面のうねりを効率的に迅速に除去で
きる。ポリシャ径が除去したいうねり周期の２倍以上な
ので、ポリシャ面は常にうねりの山と山との間に跨った
状態にあり、うねりを確実に除去できる。ポリシャは、
ポリシャ径の１／２以下の周期を有する全てのうねりを
除去することが可能であり、研削により生じたうねり或
いは研磨により生じたうねり等、どのようなうねりにも
適用できる。なお、ツールに３個以上のポリシャを設け
たのは、研磨工具の姿勢の安定性を図るためである。
工面に存在するうねりの周期の２倍以上の大きさに細か
く分割し、これらポリシャをツール上にそれぞれ独立に
傾斜可能に設けたため、各ポリシャは加工面の形状に追
従して傾動することとなり、非球面量の大きな加工面に
対しても、良好な研磨を行うことができる。また、ツー
ルは３個以上の小径ポリシャを備え、ある程度の大きさ
を有するので、加工面のうねりを効率的に迅速に除去で
きる。ポリシャ径が除去したいうねり周期の２倍以上な
ので、ポリシャ面は常にうねりの山と山との間に跨った
状態にあり、うねりを確実に除去できる。ポリシャは、
ポリシャ径の１／２以下の周期を有する全てのうねりを
除去することが可能であり、研削により生じたうねり或
いは研磨により生じたうねり等、どのようなうねりにも
適用できる。なお、ツールに３個以上のポリシャを設け
たのは、研磨工具の姿勢の安定性を図るためである。
【０００８】第２の発明は、被加工物の加工面上を滑動
させながら加工を行う研磨工具であって、前記研磨工具
のツ―ルにツ―ル径相当の大きさの弾性部材を固着し、
この弾性部材上に、前記加工面の除去したいうねり周期
の２倍以上の径を有するポリシャを３個以上固着したも
のである。このように、ツールと小径のポリシャとの間
に弾性部材を設けたため、各ポリシャ面は加工面の形状
に従って変形ないし傾斜し、ポリシャ面は、加工面に良
好に圧接されて研磨が進行する。
させながら加工を行う研磨工具であって、前記研磨工具
のツ―ルにツ―ル径相当の大きさの弾性部材を固着し、
この弾性部材上に、前記加工面の除去したいうねり周期
の２倍以上の径を有するポリシャを３個以上固着したも
のである。このように、ツールと小径のポリシャとの間
に弾性部材を設けたため、各ポリシャ面は加工面の形状
に従って変形ないし傾斜し、ポリシャ面は、加工面に良
好に圧接されて研磨が進行する。
【０００９】第３の発明は、被加工物の加工面上を滑動
させながら加工を行う研磨工具であって、前記加工面の
除去したいうねり周期の２倍以上の径を有する弾性部材
を前記研磨工具のツールに３個以上固着し、各弾性部材
上にポリシャをそれぞれ固着したものである。この発明
でも、前記第２の発明と同様に、各ポリシャ面は加工面
に良好に圧接されるが、更に、この発明では、弾性部材
も各ポリシャに対応して分割されているので、ポリシャ
の加工面への追従性が更に高くなる。
させながら加工を行う研磨工具であって、前記加工面の
除去したいうねり周期の２倍以上の径を有する弾性部材
を前記研磨工具のツールに３個以上固着し、各弾性部材
上にポリシャをそれぞれ固着したものである。この発明
でも、前記第２の発明と同様に、各ポリシャ面は加工面
に良好に圧接されるが、更に、この発明では、弾性部材
も各ポリシャに対応して分割されているので、ポリシャ
の加工面への追従性が更に高くなる。
【００１０】第４の発明は、被加工物の加工面上を滑動
させながら加工を行う研磨工具であって、前記研磨工具
のツ―ルに球面座を３個以上設け、各球面座上に前記加
工面の除去したいうねり周期の２倍以上の径を有する基
材を摺動自在に設け、これら基材上にポリシャをそれぞ
れ固着したものである。この発明では、球面座上を基材
が摺動することによって基材上のポリシャ面が傾斜する
構造なので、各ポリシャは加工面の形状に追従して傾斜
することとなり、良好な研磨がなされる。
させながら加工を行う研磨工具であって、前記研磨工具
のツ―ルに球面座を３個以上設け、各球面座上に前記加
工面の除去したいうねり周期の２倍以上の径を有する基
材を摺動自在に設け、これら基材上にポリシャをそれぞ
れ固着したものである。この発明では、球面座上を基材
が摺動することによって基材上のポリシャ面が傾斜する
構造なので、各ポリシャは加工面の形状に追従して傾斜
することとなり、良好な研磨がなされる。
【００１１】上記第４の発明において、基材とポリシャ
との間に弾性部材を介設するようにしてもよい。弾性部
材を介在させると、ポリシャ面が、基材の摺動に応じて
傾斜するばかりでなく、弾性部材の弾性変形に応じて変
形するので、ポリシャの加工面への追従性が更に高ま
る。
との間に弾性部材を介設するようにしてもよい。弾性部
材を介在させると、ポリシャ面が、基材の摺動に応じて
傾斜するばかりでなく、弾性部材の弾性変形に応じて変
形するので、ポリシャの加工面への追従性が更に高ま
る。
【００１２】上記の発明において、弾性部材には、スポ
ンジゴムまたはフェルトを用いるのが好ましい。また、
上記発明において、ポリシャの材質には、ピッチ、エポ
キシ樹脂またはシリコ―ンゴムを用いるのが好ましい。
更に、ポリシャの表面に、適宜間隔の網目状の溝を形成
すると、研磨時にポリシャ面に研磨液が行き渡りやすく
なる。
ンジゴムまたはフェルトを用いるのが好ましい。また、
上記発明において、ポリシャの材質には、ピッチ、エポ
キシ樹脂またはシリコ―ンゴムを用いるのが好ましい。
更に、ポリシャの表面に、適宜間隔の網目状の溝を形成
すると、研磨時にポリシャ面に研磨液が行き渡りやすく
なる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下に、本発明に係る研磨工具の
実施形態を図面を用いて説明する。図１は本発明の第１
実施形態の研磨工具を示すもので、同図（ａ）はその研
磨面側からみた端面図、同図（ｂ）は縦断面図である。
実施形態を図面を用いて説明する。図１は本発明の第１
実施形態の研磨工具を示すもので、同図（ａ）はその研
磨面側からみた端面図、同図（ｂ）は縦断面図である。
【００１４】図１において、ツール４は被加工物の加工
面（非球面の凹面）に近似する凸球面を有するツールで
あり、ツール４表面には、小径弾性ポリシャ３が均一に
分散させて多数貼り付けられている。これら小径弾性ポ
リシャ３は、被加工物の加工面に存在するうねりの周期
（除去したいうねりの内、最大のうねり周期）の２倍以
上の所定の大きさに切った円板状の弾性部材１上に、同
径のピッチからなるポリシャ２を貼り付けたものであ
る。ポリシャ２表面には、研磨液が回りやすくするため
の溝５が形成されている。溝５は、ツール４上の全ての
ポリシャ２表面を加熱して軟化させた後、網目繊維を広
げた被加工物の加工面上に押圧してその網目形状を転写
することにより得られる。
面（非球面の凹面）に近似する凸球面を有するツールで
あり、ツール４表面には、小径弾性ポリシャ３が均一に
分散させて多数貼り付けられている。これら小径弾性ポ
リシャ３は、被加工物の加工面に存在するうねりの周期
（除去したいうねりの内、最大のうねり周期）の２倍以
上の所定の大きさに切った円板状の弾性部材１上に、同
径のピッチからなるポリシャ２を貼り付けたものであ
る。ポリシャ２表面には、研磨液が回りやすくするため
の溝５が形成されている。溝５は、ツール４上の全ての
ポリシャ２表面を加熱して軟化させた後、網目繊維を広
げた被加工物の加工面上に押圧してその網目形状を転写
することにより得られる。
【００１５】このようにして得られた研磨工具は、図２
に示すように、そのツール４の取付部が研磨機のツール
軸６に取り付けられる。一方、ワーク軸７上に取り付け
られた貼り付け皿８上には、被加工物（レンズ）９が貼
り付けられる。ツール軸６は、研磨工具を回転させると
共に、被加工物９の中心を通る一断面を軌跡１１に沿っ
て往復揺動させる。また、ワーク軸７は、被加工物９を
その中心の回りに回転させる。
に示すように、そのツール４の取付部が研磨機のツール
軸６に取り付けられる。一方、ワーク軸７上に取り付け
られた貼り付け皿８上には、被加工物（レンズ）９が貼
り付けられる。ツール軸６は、研磨工具を回転させると
共に、被加工物９の中心を通る一断面を軌跡１１に沿っ
て往復揺動させる。また、ワーク軸７は、被加工物９を
その中心の回りに回転させる。
【００１６】研磨加工に際しては、被加工物９の加工面
１０上に研磨液を供給しつつワーク軸７により被加工物
９を一定速度で回転させると共に、ツール軸６により研
磨工具を一定速度で回転させながら往復揺動させる。こ
の加工において、研磨工具の各ポリシャ２は所定圧力で
加工面１０に押圧されるが、ツール４とポリシャ２の間
には弾性部材１が設けられているので、非球面の加工面
１０の形状に追従してポリシャ２面が個々に変形ないし
傾斜でき、小径弾性ポリシャ３は加工面１０に良好に押
圧される。このため、加工面１０の非球面量が大きくて
も、加工面１０のうねりを、ツール４全面の多数の小径
弾性ポリシャ３によって確実かつ効率よく研磨除去で
き、平滑な研磨面が得られる。
１０上に研磨液を供給しつつワーク軸７により被加工物
９を一定速度で回転させると共に、ツール軸６により研
磨工具を一定速度で回転させながら往復揺動させる。こ
の加工において、研磨工具の各ポリシャ２は所定圧力で
加工面１０に押圧されるが、ツール４とポリシャ２の間
には弾性部材１が設けられているので、非球面の加工面
１０の形状に追従してポリシャ２面が個々に変形ないし
傾斜でき、小径弾性ポリシャ３は加工面１０に良好に押
圧される。このため、加工面１０の非球面量が大きくて
も、加工面１０のうねりを、ツール４全面の多数の小径
弾性ポリシャ３によって確実かつ効率よく研磨除去で
き、平滑な研磨面が得られる。
【００１７】図３は本発明の研磨工具の第２実施形態を
示すもので、弾性部材１がツール４表面の全面に貼り付
けられている点で上記第１実施形態とは相違する。しか
し、研磨工具の研磨作用に関しては第１実施形態とほぼ
同一である。
示すもので、弾性部材１がツール４表面の全面に貼り付
けられている点で上記第１実施形態とは相違する。しか
し、研磨工具の研磨作用に関しては第１実施形態とほぼ
同一である。
【００１８】また、図４には本発明に係る研磨工具の第
３実施形態を示す。同図に示すように、ツール４表面に
は、球面座１２が多数取り付けられており、これら球面
座１２上には、加工面の除去したいうねりの周期の２倍
以上の径を有する基材１３が摺動自在に設けられてい
る。そして、各基材１３上にはポリシャ２が貼り付けら
れている。この実施形態では、加工面形状に応じて基材
１３が摺動してポリシャ２面が傾斜できるようになって
いるので、各ポリシャ２は加工面に追従して密接され、
良好な研磨がなされる。
３実施形態を示す。同図に示すように、ツール４表面に
は、球面座１２が多数取り付けられており、これら球面
座１２上には、加工面の除去したいうねりの周期の２倍
以上の径を有する基材１３が摺動自在に設けられてい
る。そして、各基材１３上にはポリシャ２が貼り付けら
れている。この実施形態では、加工面形状に応じて基材
１３が摺動してポリシャ２面が傾斜できるようになって
いるので、各ポリシャ２は加工面に追従して密接され、
良好な研磨がなされる。
【００１９】図５は、第４実施形態の研磨工具の一部を
拡大して示すもので、上記第３実施形態と同様に、ツー
ル４表面に球面座１２及び基材１３を有する。基材１３
上には、弾性部材１とポリシャ２からなる小径弾性ポリ
シャ３が貼り付けられている。この場合、加工面形状に
応じて基材１３が摺動することにより各ポリシャ２面が
傾斜し、且つ弾性部材１の変形により各ポリシャ２面が
変形するので、ポリシャ２面の加工面への追従性が更に
高まる。
拡大して示すもので、上記第３実施形態と同様に、ツー
ル４表面に球面座１２及び基材１３を有する。基材１３
上には、弾性部材１とポリシャ２からなる小径弾性ポリ
シャ３が貼り付けられている。この場合、加工面形状に
応じて基材１３が摺動することにより各ポリシャ２面が
傾斜し、且つ弾性部材１の変形により各ポリシャ２面が
変形するので、ポリシャ２面の加工面への追従性が更に
高まる。
【００２０】なお、上記実施形態において、弾性部材１
の弾力を変えたり、或いは、研磨工具の径はそのままで
ポリシャ２の径を変えたりしてもよい。このような調整
をすることにより、大きな非球面量を有する加工面にさ
えも、小さな非球面量の形状同様に追従する事が可能と
なり、所望の微小うねりを効率よく除去する事が可能と
なる。
の弾力を変えたり、或いは、研磨工具の径はそのままで
ポリシャ２の径を変えたりしてもよい。このような調整
をすることにより、大きな非球面量を有する加工面にさ
えも、小さな非球面量の形状同様に追従する事が可能と
なり、所望の微小うねりを効率よく除去する事が可能と
なる。
【００２１】また、上記実施形態では、被加工物９が非
球面の凹レンズであったが、被加工物が凸面の場合に
は、加工面形状に対応してツール表面を凹面とし、その
ツール表面にポリシャ等を設けるようにすればよい。ま
た、被加工物はレンズに限らず、ミラーや成形用金型な
どの研磨も勿論可能である。更に、ポリシャ２には、ピ
ッチの他、エポキシ樹脂やシリコーンゴムなど被加工物
に合わせて適宜選択する。また、弾性部材１としては、
スポンジゴム、フェルトなどが適している。
球面の凹レンズであったが、被加工物が凸面の場合に
は、加工面形状に対応してツール表面を凹面とし、その
ツール表面にポリシャ等を設けるようにすればよい。ま
た、被加工物はレンズに限らず、ミラーや成形用金型な
どの研磨も勿論可能である。更に、ポリシャ２には、ピ
ッチの他、エポキシ樹脂やシリコーンゴムなど被加工物
に合わせて適宜選択する。また、弾性部材１としては、
スポンジゴム、フェルトなどが適している。
【００２２】
【発明の効果】以上要するに、本発明によれば、ツール
上のポリシャを細かく分割し、且つ各ポリシャがそれぞ
れ独立に傾斜ないし変形可能に設けているので、非球面
量の大きな加工面を有する被加工物に対しても、各ポリ
シャは加工面形状に良好に追従でき、加工面の微少なう
ねりも効率よく除去することができる。従って、本発明
は、非球面の被加工物の研磨に好適であり、平滑に研磨
された光学素子等を生産性よく製造できる。
上のポリシャを細かく分割し、且つ各ポリシャがそれぞ
れ独立に傾斜ないし変形可能に設けているので、非球面
量の大きな加工面を有する被加工物に対しても、各ポリ
シャは加工面形状に良好に追従でき、加工面の微少なう
ねりも効率よく除去することができる。従って、本発明
は、非球面の被加工物の研磨に好適であり、平滑に研磨
された光学素子等を生産性よく製造できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る研磨工具の一実施形態を示す図で
ある。
ある。
【図２】図１の研磨工具を用いた研磨機による研磨加工
の一例を示す図である。
の一例を示す図である。
【図３】本発明の研磨工具の他の実施形態を示す断面図
である。
である。
【図４】本発明の研磨工具の他の実施形態を示す断面図
である。
である。
【図５】本発明の研磨工具の他の実施形態の一部を拡大
して示す断面図である。
して示す断面図である。
１ 弾性部材 ２ ポリシャ ３ 小径弾性ポリシャ ４ ツール ５ 溝 ６ ツール軸 ７ ワーク軸 ８ 貼り付け皿 ９ 被加工物 １０ 加工面 １１ 軌跡 １２ 球面座 １３ 基材
Claims (8)
- 【請求項１】 被加工物の加工面上を滑動させながら加
工を行う研磨工具において、前記加工面の除去したいう
ねり周期の２倍以上の径を有するポリシャを、前記研磨
工具のツ―ルに３個以上設けると共に、前記各ポリシャ
を独立に傾斜可能に設けたことを特徴とする研磨工具。 - 【請求項２】 被加工物の加工面上を滑動させながら加
工を行う研磨工具において、前記研磨工具のツ―ルにツ
―ル径相当の大きさの弾性部材を固着し、この弾性部材
上に、前記加工面の除去したいうねり周期の２倍以上の
径を有するポリシャを３個以上固着したことを特徴とす
る研磨工具。 - 【請求項３】 被加工物の加工面上を滑動させながら加
工を行う研磨工具において、前記加工面の除去したいう
ねり周期の２倍以上の径を有する弾性部材を前記研磨工
具のツールに３個以上固着し、各弾性部材上にポリシャ
をそれぞれ固着したことを特徴とする研磨工具。 - 【請求項４】 被加工物の加工面上を滑動させながら加
工を行う研磨工具において、前記研磨工具のツ―ルに球
面座を３個以上設け、各球面座上に前記加工面の除去し
たいうねり周期の２倍以上の径を有する基材を摺動自在
に設け、これら基材上にポリシャをそれぞれ固着したこ
とを特徴とする研磨工具。 - 【請求項５】 前記基材と前記ポリシャとの間に弾性部
材を介設したことを特徴とする請求項４記載の研磨工
具。 - 【請求項６】 前記弾性部材に、スポンジゴムまたはフ
ェルトを用いたことを特徴とする請求項２、３または５
記載の研磨工具。 - 【請求項７】 前記ポリシャの材質に、ピッチ、エポキ
シ樹脂またはシリコ―ンゴムを用いたことを特徴とする
請求項１乃至６のいずれか一項記載の研磨工具。 - 【請求項８】 前記ポリシャの表面に、適宜間隔の網目
状の溝を形成したことを特徴とする請求項１乃至７のい
ずれか一項記載の研磨工具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8141452A JPH09323249A (ja) | 1996-06-04 | 1996-06-04 | 研磨工具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8141452A JPH09323249A (ja) | 1996-06-04 | 1996-06-04 | 研磨工具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09323249A true JPH09323249A (ja) | 1997-12-16 |
Family
ID=15292247
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8141452A Pending JPH09323249A (ja) | 1996-06-04 | 1996-06-04 | 研磨工具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09323249A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2823144A1 (fr) * | 2001-04-10 | 2002-10-11 | Essilor Int | Outil de polissage d'une surface optique et procede de fabricati0n d'une telle surface optique, comprenant une etape de polissage au moyen d'un tel outil |
| GB2477557A (en) * | 2010-02-08 | 2011-08-10 | Qioptiq Ltd | Aspheric optical surface polishing tool with individually movable polishing pads |
| CN105014502A (zh) * | 2015-07-02 | 2015-11-04 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 用于大口径光学玻璃加工的沥青抛光胶盘的成型方法 |
| CN105598802A (zh) * | 2015-12-31 | 2016-05-25 | 深圳市鑫迪科技有限公司 | 金属镜面抛光工艺 |
| CN118493159A (zh) * | 2024-07-18 | 2024-08-16 | 浙江大学 | 一种弹性磁电柔性抛光工具头及使用方法 |
-
1996
- 1996-06-04 JP JP8141452A patent/JPH09323249A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2823144A1 (fr) * | 2001-04-10 | 2002-10-11 | Essilor Int | Outil de polissage d'une surface optique et procede de fabricati0n d'une telle surface optique, comprenant une etape de polissage au moyen d'un tel outil |
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| EP2353781A3 (en) * | 2010-02-08 | 2012-12-26 | Qioptiq Limited | Tool for smoothing or polishing optical surfaces |
| CN105014502A (zh) * | 2015-07-02 | 2015-11-04 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 用于大口径光学玻璃加工的沥青抛光胶盘的成型方法 |
| CN105598802A (zh) * | 2015-12-31 | 2016-05-25 | 深圳市鑫迪科技有限公司 | 金属镜面抛光工艺 |
| CN118493159A (zh) * | 2024-07-18 | 2024-08-16 | 浙江大学 | 一种弹性磁电柔性抛光工具头及使用方法 |
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