JPS63115177U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63115177U JPS63115177U JP610887U JP610887U JPS63115177U JP S63115177 U JPS63115177 U JP S63115177U JP 610887 U JP610887 U JP 610887U JP 610887 U JP610887 U JP 610887U JP S63115177 U JPS63115177 U JP S63115177U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- source electrode
- thin film
- melting point
- transistor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Description
第１図は本考案の表示装置の要部断面図、第２
図は従来装置の要部断面図、第３図ａ，ｂは従来
装置の平面図、及びそのＸ―Ｘ線断面図である。 １０，２０……基板、１１……セグメント電極
、１２……層間絶縁膜、１３……アモルフアスシ
リコン膜ライン、１４……半導体動作領域、１４
′……ｎ＋型アモルフアスシリコン膜、１５……
ドレインライン、１６……ドレイン電極、１６′
……下地層、１７……ソース電極、１７′……下
地層、１８……ゲートライン、１９……ゲート電
極、２１……共通電極、３０……液晶物質。
図は従来装置の要部断面図、第３図ａ，ｂは従来
装置の平面図、及びそのＸ―Ｘ線断面図である。 １０，２０……基板、１１……セグメント電極
、１２……層間絶縁膜、１３……アモルフアスシ
リコン膜ライン、１４……半導体動作領域、１４
′……ｎ＋型アモルフアスシリコン膜、１５……
ドレインライン、１６……ドレイン電極、１６′
……下地層、１７……ソース電極、１７′……下
地層、１８……ゲートライン、１９……ゲート電
極、２１……共通電極、３０……液晶物質。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 行列配置された複数の透光性導電酸化物膜から
なるセグメント電極の夫々に半導体層を有する薄
膜トランジスタを対応させて行列配置してなり、
薄膜トランジスタのソース電極を該トランジスタ
に対応するセグメント電極に一部重畳接続すると
共に、所定数の薄膜トランジスタのドレイン電極
を一体的に延在接続してなるアクテイブマトリク
ス型の表示装置に於いて、 上記トランジスタのソース電極並びにドレイン
電極はチタン等の高融点金属からなる下地層を有
する２層構成とし、ソース電極と上記セグメント
電極との重畳箇所では透光性導電酸化物と高融点
金属と電極主体金属との積層体とし、上記半導体
層とトランジスタのソース電極並びにドレイン電
極との接続箇所では半導体と高濃度不純物半導体
と高融点金属と電極主体金属との積層体となした
事を特徴とする表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP610887U JPS63115177U (ja) | 1987-01-20 | 1987-01-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP610887U JPS63115177U (ja) | 1987-01-20 | 1987-01-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63115177U true JPS63115177U (ja) | 1988-07-25 |
Family
ID=30788313
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP610887U Pending JPS63115177U (ja) | 1987-01-20 | 1987-01-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63115177U (ja) |
-
1987
- 1987-01-20 JP JP610887U patent/JPS63115177U/ja active Pending