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JPS63103453A - Optical information recording member - Google Patents

Optical information recording member

Info

Publication number
JPS63103453A
JPS63103453A JP61248608A JP24860886A JPS63103453A JP S63103453 A JPS63103453 A JP S63103453A JP 61248608 A JP61248608 A JP 61248608A JP 24860886 A JP24860886 A JP 24860886A JP S63103453 A JPS63103453 A JP S63103453A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
information recording
optical information
resistant protective
heat
recording member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP61248608A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH0474785B2 (en
Inventor
Masatoshi Takao
高尾 正敏
Kenichi Osada
憲一 長田
Kunio Kimura
邦夫 木村
Toshimitsu Kurumisawa
利光 胡桃沢
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP61248608A priority Critical patent/JPS63103453A/en
Priority to US07/108,649 priority patent/US4847132A/en
Priority to CA000549563A priority patent/CA1298912C/en
Priority to DE8787309209T priority patent/DE3781363T2/en
Priority to EP87309209A priority patent/EP0265204B1/en
Priority to KR1019870011615A priority patent/KR900008085B1/en
Publication of JPS63103453A publication Critical patent/JPS63103453A/en
Publication of JPH0474785B2 publication Critical patent/JPH0474785B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
  • Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)

Abstract

PURPOSE:To prevent the deterioration of heat resistant protective layers and to improve the sensitivity in recording and erasing by forming the heat resistant protective layers of a mixture composed of plural compds. and using the compds. which do not solutionize each other for two kinds among the constituting compds. of the mixture. CONSTITUTION:The heat resistant protective layers 2, 4 consisting of the plural compds. are provided between an optically active layer 3 and a base material 1 or on the optically active layer 3. At least two kinds among the constituting compds. of the mixture are selected from the compds. which do not solutionize each other. More specifically, the state as if the compds. are forcibly dispersed and solutionized is obtd. and the thermal properties of the heat resistant layers are changed by using at least two kinds of the materials which do not solutionize each other as the heat resistant protective layer 2. The recording sensitivity of optical type information recording and the reliability with respect to the repetition of the recording and erasure are thereby improved.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は光学的手段を用いて高速かつ高密度に情報を記
録、再生、消去するための光学式情報記録部材に関する
ものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Industrial Application The present invention relates to an optical information recording member for recording, reproducing, and erasing information at high speed and high density using optical means.

従来の技術 消去可能で繰り返し記録再生可能な非破壊型の光学式情
報記録部材、たとえば光デイスクメモリーにおいて、基
材として用いられるプラスチックス)、 ・ス、゛ρ“レーザー加熱時に損傷を受けないように・
酸化物等の耐熱保護膜を基材と光学活性層の間、もしく
は光学活性層の直上に設けることが提案されている。耐
熱保護層として用いられる材料としては酸化物(Si0
2. GeO2,Al2O3,BeO2) 、窒化物(
BN。
Conventional technology Non-destructive optical information recording members that can be erased and repeatedly recorded and reproduced, such as plastics used as a base material in optical disk memories), To・
It has been proposed to provide a heat-resistant protective film such as an oxide between the substrate and the optically active layer or directly on the optically active layer. The material used as the heat-resistant protective layer is oxide (Si0
2. GeO2, Al2O3, BeO2), nitrides (
B.N.

Si3N4.AIN )、炭化物(SiC)、カルコゲ
ン化物(ZnS、ZnSe )などが提案されている。
Si3N4. AIN), carbides (SiC), chalcogenides (ZnS, ZnSe), etc. have been proposed.

耐熱保護層に要求される特性の主なものは、 (1)使用波長領域で透明であること、(2)融点が動
作する温度より高いこと、(3)機械的強度が大きいこ
と、 (4)化学的に安定なこと、 (5)適当な熱定数(熱伝導率、比熱)を持っているこ
と、 等である。
The main characteristics required for a heat-resistant protective layer are (1) transparency in the wavelength range used, (2) melting point higher than the operating temperature, (3) high mechanical strength, (4) ) be chemically stable, (5) have appropriate thermal constants (thermal conductivity, specific heat), etc.

これらを説明すると、(1)は言うまでもなくレーザー
のエネルギーを効率よく光学活性層へ吸収させるために
必要であるし、(2)は光学活性層が熱変態する温度よ
り先に耐熱層が変化してしまっては不都合であるからで
あり、(3)は特に加熱、冷却の過程で割れたりしては
困るからであり、また(4)は水分により加水分解した
り潮解いしたりしては困るからであり、最後に(5)は
、光学式情報記録法のうちでも、相変化型の場合には加
熱と、急冷または徐冷を組み合わせて2つの相の間を可
逆的に往復させることにより記録、消去を実現している
ので、熱定数が適当でないと、レーザーのエネルギーが
効率的に利用されない。
To explain these, it goes without saying that (1) is necessary for efficiently absorbing laser energy into the optically active layer, and (2) is necessary for the heat-resistant layer to change before the temperature at which the optically active layer thermally transforms. This is because it would be inconvenient if it were to be exposed to moisture, (3) is a problem especially if it cracks during the heating and cooling process, and (4) is a problem if it hydrolyzes or deliquesces due to moisture. Finally, (5) is one of the optical information recording methods, in the case of phase change type, by combining heating and rapid cooling or slow cooling to reversibly reciprocate between two phases. Since recording and erasing is achieved, unless the thermal constant is appropriate, the laser energy will not be used efficiently.

そこで記録消去時の照射レーザーパワーに対する感度が
十分でなくなる。すなわち、記録消去にレーザーパワー
が多く必要になる。
Therefore, the sensitivity to the irradiated laser power during recording and erasing is insufficient. In other words, a large amount of laser power is required to erase records.

発明が解決しようとする問題点 前記の諸物質はこれらの条件をほぼみたしているが、ま
だ完全に光学式情報記録用途とての要求を満足している
とはいえない。特に書き換え可能な光メモリーの場合、
レーザー照射加熱、冷却の繰り返しによって耐熱保護層
が変質すると、十分な記録、消去の繰り返し信頼性が得
られないことになる。
Problems to be Solved by the Invention Although the above-mentioned materials almost satisfy these conditions, they still cannot be said to completely satisfy the requirements for optical information recording applications. Especially in the case of rewritable optical memory,
If the heat-resistant protective layer changes in quality due to repeated laser irradiation heating and cooling, sufficient reliability over repeated recording and erasing cannot be obtained.

本発明は、光学式情報記録部材の記録、消去の繰り返し
寿命を決定する要因のひとつである、M熱保護層の劣化
と、記録および消去感度の改善を目的とするる。
The present invention aims to prevent deterioration of the M thermal protective layer and improve recording and erasing sensitivity, which is one of the factors that determines the repeated recording and erasing life of an optical information recording member.

問題点を解決するための手段 耐熱保護層として、複数の化合物の混合物よりなるとと
もに、前期混合物の構成化合物のうち、少なくとも2槽
は互いに固溶しないものを用いる。
Means for Solving the Problems The heat-resistant protective layer is made of a mixture of a plurality of compounds, and at least two of the constituent compounds of the mixture are not dissolved in solid solution with each other.

作用 耐熱保護層として相互に固溶し合わない少なくとも2種
の物質を用いることにより、あたかも強制的に分散固溶
させたような状態が得られ、耐熱層の熱的性質を変化さ
せて、光学式情報記録の記録感度の向上および、記録、
消去の繰り返しに関する信頼性を向上させることができ
る。
Function By using at least two types of substances that do not dissolve into each other as a heat-resistant protective layer, a state as if they were forcibly dispersed and dissolved in each other can be obtained, changing the thermal properties of the heat-resistant layer and improving optical properties. Improving the recording sensitivity of formula information recording and recording,
Reliability regarding repeated erasing can be improved.

実施例 以下本発明の実施例について添付図面に基づき説明する
。第1図は、本発明において基本となる光学式情報記録
部材の断面の概略であり、1が基材、2と4が耐熱保護
層、3が光学活性層であって、6の保護基材を5の接着
材で貼り合わせている。本発明では、2と4の耐熱保護
層の材質を特定のものにすることが特徴である。すなわ
ち従来の材料、たとえば2酸化ゲルマニウム(GeO2
)、2酸化ケイ素(5i02 )、硫化アエン(zns
)ナト、を用いた場合とくに機械的強度と熱的性質が十
分でなっかった。
EXAMPLES Hereinafter, examples of the present invention will be described based on the accompanying drawings. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of an optical information recording member that is the basis of the present invention, in which 1 is a base material, 2 and 4 are heat-resistant protective layers, 3 is an optically active layer, and 6 is a protective base material. are pasted together using the adhesive shown in step 5. The present invention is characterized in that the heat-resistant protective layers 2 and 4 are made of specific materials. That is, conventional materials such as germanium dioxide (GeO2
), silicon dioxide (5i02), aene sulfide (zns
), the mechanical strength and thermal properties were insufficient.

レーザーで照射した場合に高温での機械的強度が弱いと
耐熱保護層が熱変形して割れたり、あるいは構造的な欠
陥が多いと保護音自体が加熱により収縮して永久変形し
たりする。また、熱的性質はレーザーの熱エネルギーを
効率よく利用するために、適当な熱伝導率と比熱を持っ
ていることが必要である。熱伝導率が大き過ぎると、余
分なエネルギーを必要とするので不都合であるし、また
小さ過ぎると今度は急冷条件が得られなくなってしまう
、急冷条件は、光学式情報記録法のうちでも、相変化型
の場合には加熱と、急冷または徐冷を組み合わせて2つ
の層の間を可逆的に往復させることにより記録、消去を
実現しているので、重要である。
When irradiated with a laser, if the mechanical strength at high temperatures is weak, the heat-resistant protective layer will be thermally deformed and cracked, or if there are many structural defects, the protective layer itself will shrink due to heating and become permanently deformed. In addition, in order to efficiently utilize the thermal energy of the laser, it is necessary to have appropriate thermal conductivity and specific heat. If the thermal conductivity is too large, extra energy is required, which is disadvantageous, and if it is too small, it becomes impossible to obtain rapid cooling conditions. The variable type is important because it realizes recording and erasing by reversibly reciprocating between two layers by combining heating and rapid cooling or slow cooling.

本発明の特徴は、前記の高温での機械特性、とくに顕著
な熱変形を最小限に抑えたままで、熱定数を制御して記
録、消去特性を改善し、更には記録消去の繰り返しの信
頼性を向上させたことである。実際の保護層の設計条件
としては、光学的にまずレーザーのエネルギーの吸収効
率がよいのが望ましい。そのためには入射レーザー光が
無反射条件を満たすことが必要である。Teを主成分と
した光学活性層では屈折率が概ね4前後であるので、無
反射条件を得るためには、耐熱保護層の屈折率が4以下
、計算によると2以上3以下でもっとも効率がよいこと
がわかっている。無反射条件は保護層の屈折率をN、レ
ーザーの波長をり、保護層の膜厚をdとしたときに、お
およそ次のように示される。
The features of the present invention are to improve the recording and erasing characteristics by controlling the thermal constants while minimizing the mechanical properties at high temperatures, especially significant thermal deformation, and to improve the reliability of repeated recording and erasing. This is an improvement. As an actual design condition for the protective layer, it is desirable that the protection layer has good optical absorption efficiency for laser energy. For this purpose, it is necessary that the incident laser light satisfy the non-reflection condition. Since the refractive index of an optically active layer containing Te as a main component is approximately 4, in order to obtain a non-reflection condition, the refractive index of the heat-resistant protective layer must be 4 or less, and according to calculations, the most efficient value is 2 or more and 3 or less. I know it's good. The non-reflection condition is approximately expressed as follows, where N is the refractive index of the protective layer, d is the wavelength of the laser, and d is the thickness of the protective layer.

d=L/4N この条件を満たす材料のうちで代表的なものが、硫化ア
エン(ZnS  : N =2.3 )である。
d=L/4N A typical material that satisfies this condition is aene sulfide (ZnS: N = 2.3).

しかし前記のごとく、ZnSは初期的な特性は優れてい
るのであるが、記録、消去の繰り返し特性は必ずしも満
足すべきものではないことが実験の結果判明したので、
本発明者らは改良を試みた。
However, as mentioned above, although ZnS has excellent initial characteristics, it has been found through experiments that its repeated recording and erasing characteristics are not necessarily satisfactory.
The inventors attempted to make improvements.

その結果得られた材料が、硫化アエンと2酸化ケイ素の
混合物であった。さらに実験を続けたところ、基本的に
相互に固溶し合わない2種の材料を蒸着のような気相か
らの急冷によって薄膜を構成する粒子を均一に微粒化し
、混合して、強制的にあたかも固溶体が形成されたよう
にすることにより新規な特性を示す材料群を見出した。
The resulting material was a mixture of aene sulfide and silicon dioxide. Further experiments revealed that the particles that make up the thin film were uniformly atomized by rapid cooling from the gas phase, such as in vapor deposition, and were mixed together to force the two materials to form a solid solution. We have discovered a group of materials that exhibit novel properties as if they were formed as a solid solution.

この材料群の成分の特徴は前記の相互に固溶し合わない
ことであるが、その材料の組み合わせが、結晶質のもの
とガラス質の組み合わせであることである。
The characteristics of the components of this material group are that they do not form a solid solution with each other, but the combination of materials is a combination of crystalline materials and glassy materials.

結晶質の材料としては前記のZnS、ZnSeのカルコ
ゲン化アエン、あるいは硫化ナマリのようなカルコゲン
化ナマリ等のカルコゲン化物でありであり、またガラス
質材料またはガラス化を促進する材料としては2酸化ケ
イ素、2酸化ゲルマニウムなどの酸化物ガラス、あるい
は窒化ケイ素や、炭化ケイ素などの非酸化物系ガラスで
ある。
Examples of crystalline materials include chalcogenides of ZnS, ZnSe, and other chalcogenides such as sulfide, and examples of glassy materials or materials that promote vitrification include silicon dioxide. , oxide glass such as germanium dioxide, or non-oxide glass such as silicon nitride or silicon carbide.

なぜガラス質と、カルコゲン化物とを混ぜると特性が良
くなるかは、わがっていない。恐らく、ガラス質のもの
が、混合されることにより結晶質のものも結晶粒の成長
が抑えられて微細化するか、あるいはアモルファス化し
熱伝導が、小さくなることにより、投入されるレーザー
エネルギーが効率良く光学活性層の温度上昇に寄与する
ためであると考えられる。レーザーパワーが効率よく光
学活性層に吸収されると、照射パワーが少なくて済み、
ひいては記録消去のときに光学活性層の周囲の温度も上
昇しないので、それだけ活性層および耐熱保護層の熱損
傷も少ないことになる。結果として記録、消去の回数も
多くなり信頼性が向上することになる。従って、記録お
よび消去に要するレーザーパワーが少なくなることが記
録消去の繰り返し回数を多くすることに対して必須であ
る。
It is not known why the properties improve when glass and chalcogenide are mixed. Perhaps, by mixing glassy materials, the growth of crystal grains of crystalline materials is suppressed and become finer, or the laser energy input is made more efficient by becoming amorphous and reducing heat conduction. This is thought to be because it contributes well to the temperature rise of the optically active layer. When laser power is efficiently absorbed by the optically active layer, less irradiation power is required.
Furthermore, since the temperature around the optically active layer does not rise during recording and erasing, thermal damage to the active layer and the heat-resistant protective layer is also reduced accordingly. As a result, the number of times of recording and erasing increases, improving reliability. Therefore, it is essential to reduce the laser power required for recording and erasing in order to increase the number of repetitions of recording and erasing.

以下の各実施例では特に断わらないが記録および消去感
度が改善された耐熱保護層を用いた場合静的な記録消去
の繰り返しの回数が少なくとも10の6乗回以上である
ことは確認されている。
Although not specified in the following examples, it has been confirmed that when a heat-resistant protective layer with improved recording and erasing sensitivity is used, the number of static recording and erasing cycles is at least 10 to the 6th power or more. .

カルコゲン化合物は、一般的に屈折率が大きく(N>2
)の条件を満たすことが可能であるが、酸化物ガラスは
大きくても2であることが多い、そこで、カルコゲン化
物に無闇にガラス質材料を強制混合することは特性的に
も良くないことがわかるが、適当量混合することにより
飛躍的に、特性が向上する。以下に、本発明者らによる
具体的な実施例を示す。
Chalcogen compounds generally have a large refractive index (N>2
), but oxide glasses are often at most 2, so forcefully mixing glassy materials with chalcogenides may not be good in terms of properties. As can be seen, the properties can be dramatically improved by mixing an appropriate amount. Specific examples by the present inventors are shown below.

実施例1 ポリメチルメタクリレート(P〜fMA)よりなる基材
上に2元蒸着法で硫化アエンと2酸化ケイ素の、混合物
よりなる耐熱保護層を作成した。蒸着装置の概略を第2
図に示す。到達真空度は10のマイナス6乗のオーダー
である。7が真空容器で12の排気孔より真空へ排気す
る。8が基材、9が基材を回転させるための回転軸で、
蒸着物質は10と11の蒸発源より蒸発させる。硫化ア
エン(ZnS )と2酸化ケイ素の混合比はそれぞれの
材料の蒸発量を制御することによって決定し、また定量
化学分析も行なった。 光学活性層の成分は可逆的に結
晶状態とアモルファス状態との間を往復させることによ
り、記録消去が可能な相変化型の材料の一種であるTe
Ge5nO系のものを用い、膜厚は100 nmである
。耐熱保護層は光学活性層の基材側および上側に、それ
ぞれおよそ100 nm。
Example 1 A heat-resistant protective layer made of a mixture of aene sulfide and silicon dioxide was created on a base material made of polymethyl methacrylate (P to fMA) by a binary vapor deposition method. The outline of the vapor deposition equipment is shown in the second section.
As shown in the figure. The ultimate degree of vacuum is on the order of 10 to the minus 6th power. A vacuum container 7 is evacuated to vacuum through an exhaust hole 12. 8 is a base material, 9 is a rotation axis for rotating the base material,
The deposition material is evaporated from evaporation sources 10 and 11. The mixing ratio of ZnS and silicon dioxide was determined by controlling the amount of evaporation of each material, and quantitative chemical analysis was also performed. The component of the optically active layer is Te, which is a type of phase change material that can erase records by reversibly reciprocating between a crystalline state and an amorphous state.
A Ge5nO-based material is used, and the film thickness is 100 nm. The heat-resistant protective layer is approximately 100 nm thick on the substrate side and on the top side of the optically active layer.

200 nm作成した。この膜厚構成はレーザーの吸収
効率の観点からと、光学定数の変化か大きくなるような
観点からとから決めたものである。
200 nm. This film thickness configuration was determined from the viewpoint of laser absorption efficiency and from the viewpoint of increasing the change in optical constants.

第3図にまず得られた耐熱保護膜自体の屈折率の5iO
2混合量X依存性を示す。 ZnSに5i02を添加す
るに連れて、屈折率がほぼ直線的に減少することが示さ
れている。これはZnSと5i02が結合して混ざって
いるのではなくて、単純に混合していることを間接的に
しめしている。このことは以下の実施例で示すこれ以外
の物質の組合せの屈折率の変化についても同じことが言
える。
Figure 3 shows the refractive index of 5iO of the heat-resistant protective film itself obtained.
2 shows dependence on mixing amount X. It has been shown that as 5i02 is added to ZnS, the refractive index decreases almost linearly. This indirectly indicates that ZnS and 5i02 are not combined and mixed, but simply mixed. The same can be said of changes in the refractive index of other material combinations shown in the following examples.

次に第1表に、5iO8の添加量に対する結晶化(消去
)およびアモルファス化(記録)に要する最低のレーザ
ーエネルギーを示す、この測定はディスク駄に形成した
ものを回転しながら動的に測定したものでディスクの周
速度はおよそ5 m/sである。レーザーの波長は83
0 nmでビームはディスク上で回折限界まで絞ってい
る。レーザーのパワーはできるだけ小さい方が負担がす
くなくて済むので好ましい。ZnSに5iO7を添加す
るにことにより結晶化およびアモルファス化に要するの
最低エネルギーは減少し、さらに添加量が増えると再び
増加し始める。この結果から明らかなように、5i02
の添加量には最適値があることがわかる。
Next, Table 1 shows the minimum laser energy required for crystallization (erasing) and amorphization (recording) for the amount of 5iO8 added.This measurement was performed dynamically while rotating the disk formed on the disk. The circumferential speed of the disk is approximately 5 m/s. The wavelength of the laser is 83
At 0 nm, the beam is focused to the diffraction limit on the disk. It is preferable that the power of the laser be as low as possible, since this reduces the burden on the user. By adding 5iO7 to ZnS, the minimum energy required for crystallization and amorphization decreases, and begins to increase again as the amount added is further increased. As is clear from this result, 5i02
It can be seen that there is an optimum value for the amount of addition.

本実施例においては、5i02の量が10モル%以上3
0モル%以下のときに、結晶化に要するレーザーパワー
が5mWないし7.5 mWと、5i02がないときの
9mWより低下していることが分かる。また、この混合
比では、屈折率がほぼ2以上で、光学的にも前記の条件
を満足している。
In this example, the amount of 5i02 is 10 mol% or more.
It can be seen that when 5i02 is below 0 mol %, the laser power required for crystallization is 5 mW to 7.5 mW, which is lower than 9 mW when 5i02 is not present. Further, at this mixing ratio, the refractive index is approximately 2 or more, and optically the above-mentioned conditions are satisfied.

以上に示すようにZnSにSiO□を添加したときに結
晶化に要するレーザーパワーの低下が見られることで示
される効果がある。
As shown above, when SiO□ is added to ZnS, there is an effect shown by the decrease in laser power required for crystallization.

(以下余白) 第1表 ZnSへの5102の添加効果第4図に静的に
レーザーを用いて記録消去を繰り返し行なった場合の反
射率の変化を示す。第4図中それぞれの曲線のうち、上
側が結晶状態、すなわち消去収態の反射率に対応し、下
側が非晶質状態すなわち記録状態に対応している。反射
率の差が記録信号の強度に比例する訳である。 5i0
2の添加量によって繰り返しの回数に変化が生じるのが
わかる。また、レーザーパワーはディスクにおける熱負
荷をシミュレートするように決めたものである。
(Margin below) Table 1 Effect of adding 5102 to ZnS Figure 4 shows the change in reflectance when recording and erasing is repeatedly performed statically using a laser. Among the respective curves in FIG. 4, the upper side corresponds to the reflectance in the crystalline state, that is, the erasing state, and the lower side corresponds to the amorphous state, that is, the recording state. This means that the difference in reflectance is proportional to the intensity of the recorded signal. 5i0
It can be seen that the number of repetitions changes depending on the amount of 2 added. Furthermore, the laser power was determined to simulate the thermal load on the disk.

記録に用いるレーザーのパワー分布のディスク上への投
影は、はぼ円対称になるように、また消去用の分布は楕
円状になるように調整されている。
The projection of the power distribution of the laser used for recording onto the disk is adjusted so that it is approximately circularly symmetrical, and the distribution for erasing is adjusted so that it is elliptical.

この場合も、5i02が20モル%添加されたときにも
っとも良い結果が得られており10の6乗回以」二の繰
り返しが可能である。
In this case as well, the best results were obtained when 20 mol % of 5i02 was added, and it was possible to repeat the process more than 10 times.

なお、本実施例では5i02とZnSを蒸着などの気相
から急冷する手段を用いて強制的に分散混合して特性を
得たが、同じ気相からでも徐冷となる条件、例えば、堆
積速度が極端に遅い場合などでは、分散が妨げられて相
分離が進行して、感度の向上のみならず記録消去の繰り
返しの回数も多くならなかった。このことは、いかに述
べる実施例での材料の組合せでも同じことがいえる。
In this example, the characteristics were obtained by forcibly dispersing and mixing 5i02 and ZnS using a means of rapid cooling from the gas phase, such as vapor deposition, but the conditions for slow cooling even from the same gas phase, such as the deposition rate In cases where the rate of dispersion is extremely slow, dispersion is hindered and phase separation progresses, making it difficult not only to improve sensitivity but also to increase the number of times recording and erasing can be repeated. The same can be said for any combination of materials in any of the embodiments described.

実施例2 ポリメチルメタクリレートよりなる基材上に2元蒸着法
でセレン化アエンと2酸化ケイ素の、混合物よりなる耐
熱保護層を作成した。到達真空度は10−6のオーダー
である。セレン化アエン(ZnSe )と2酸化ケイ素
の混合比は実施例1と同様にそれぞれの材料の蒸発量を
制御することによって決定し、また定量化学分析もおこ
なった。光学活性層の成分も実施例1と同じTeGe5
nO系のものを用い、膜厚は100 nmである。耐熱
保護層は光学活性層の基材側および上側に、それぞれお
よそ100 nm。
Example 2 A heat-resistant protective layer made of a mixture of aene selenide and silicon dioxide was prepared on a base material made of polymethyl methacrylate by a binary vapor deposition method. The ultimate vacuum degree is on the order of 10-6. The mixing ratio of aene selenide (ZnSe) and silicon dioxide was determined by controlling the amount of evaporation of each material as in Example 1, and quantitative chemical analysis was also performed. The components of the optically active layer are also the same as in Example 1, TeGe5.
An nO-based material is used, and the film thickness is 100 nm. The heat-resistant protective layer is approximately 100 nm thick on the substrate side and on the top side of the optically active layer.

200 nm作成した。200 nm was created.

第5図に得られた耐熱保護膜自体の屈折率の5i02混
合ff1x依存性を示す、 ZnSeに5i02を添加
するに連れて、屈折率がほぼ直線的に減少することが示
されている。
FIG. 5 shows the dependence of the refractive index of the obtained heat-resistant protective film itself on the 5i02 mixture ff1x. It is shown that as 5i02 is added to ZnSe, the refractive index decreases almost linearly.

次に第2表に、SiO□の添加量に対する結晶化および
アモルファス化に要する最低のレーザーエネルギーを示
す、測定法は実施例1と同じである。
Next, Table 2 shows the minimum laser energy required for crystallization and amorphization with respect to the amount of SiO□ added.The measurement method is the same as in Example 1.

(以下余白) 第2表 ZnSeへの5102の添加効果実施例1と同
様に、ZnSeに5i02を添加するにことにより結晶
化およびアモルファス化に要するレーザエネルギーは減
少し、さらに添加量が増えると再び増加し始める。この
結果から明らかなように、SiO□の添加量には最適値
があることが分かる。
(Margins below) Table 2 Effect of adding 5102 to ZnSe As in Example 1, adding 5102 to ZnSe reduces the laser energy required for crystallization and amorphization, and when the amount added further increases, the laser energy required for crystallization and amorphization decreases. begins to increase. As is clear from this result, there is an optimum value for the amount of SiO□ added.

本実施例においては、5i02の量が15モル%以上3
5モル%以下のときに、結晶化に要するレーザーパワー
が6mWないし7.5 mWと、5i02がないときの
9mWより低下していることが分かる。
In this example, the amount of 5i02 is 15 mol% or more.
It can be seen that when 5 mol % or less, the laser power required for crystallization is 6 mW to 7.5 mW, which is lower than 9 mW when 5i02 is not present.

以上に示すようにZnSeにS+02を添加したときに
、結晶化およびアモルファス化に要するレーザーパワー
の低下が見られることで示される効果がある。
As shown above, when S+02 is added to ZnSe, there is an effect shown by a decrease in the laser power required for crystallization and amorphization.

また、同じ組成のとき記録消去の静的な繰り返しにおい
ても実施例1と同様に106回以上の繰り返しに耐えら
れる。
Further, when the composition is the same, static repetition of recording and erasing can be repeated 106 times or more as in Example 1.

実施例3 ポリメチルメタクリレートよりなる基材上に2元蒸着法
でカルコゲン化アエンすなわち硫化アエン(ZnS  
)またはセレン化アエン(ZnSe )またはテルル化
アエン(ZnTe )と、ガラス化した2酸化ゲルマニ
ウム(GeO2) s酸化スズ(5n02 )、酸化イ
ンジウム(In2O3)、2酸化テルル(TeO2)の
いずれかとの、混合物よりなる耐熱保護層を作成した。
Example 3 Chalcogenated aene, that is, aene sulfide (ZnS
) or ene selenide (ZnSe) or ene telluride (ZnTe) and vitrified germanium dioxide (GeO2), tin oxide (5N02), indium oxide (In2O3), tellurium dioxide (TeO2), A heat-resistant protective layer made of the mixture was prepared.

カルコゲン化アエン(ZnX:  Xiカルコゲン)と
ガラス化した酸化物の混合比は実施例1と同様にそれぞ
れの材料の蒸発量を制御することによって決定し、また
定量化学分析もおこなった。光学活性層の成分も実施例
1と同じTeGe5nO系のものを用い、膜厚は100
 nmである。耐熱保護層は光学活性層の基材側および
上側に、それぞれおよそ100 nm、 200 nm
作成した。
The mixing ratio of chalcogenated enene (ZnX: Xi chalcogen) and vitrified oxide was determined by controlling the evaporation amount of each material as in Example 1, and quantitative chemical analysis was also performed. The same TeGe5nO components as in Example 1 were used for the optically active layer, and the film thickness was 100 mm.
It is nm. The heat-resistant protective layer has a thickness of approximately 100 nm and 200 nm on the substrate side and the upper side of the optically active layer, respectively.
Created.

次に第3表に、酸化物の添加量に対する結晶化およびア
モルファス化に要する最低のレーザーエネルギーを示す
、測定法は実施例1と同じである。
Next, Table 3 shows the minimum laser energy required for crystallization and amorphization with respect to the amount of oxide added. The measurement method is the same as in Example 1.

カルコゲン化アエンにガラス質酸化物を添加するにこと
により結晶化に要するの最低エネルギーは減少し、さら
に添加量が増えると再び増加し始める。この結果から明
らかなように、ガラス化酸化物の添加量には最適値があ
ることがわかる。
By adding a glassy oxide to the chalcogenated aene, the minimum energy required for crystallization decreases, and begins to increase again as the amount added is further increased. As is clear from this result, there is an optimum value for the amount of vitrification oxide added.

本実施例においては、SnO3においては添加量が15
モル%以上35モル%以下のときに、結晶化に要するレ
ーザーパワーが611IWないし7mWと、酸化物ガラ
スがないときの9mWより低下していることがわかる。
In this example, the addition amount of SnO3 is 15
It can be seen that when the mol% is greater than or equal to 35 mol%, the laser power required for crystallization is 611 IW to 7 mW, which is lower than 9 mW when there is no oxide glass.

また、アモルファス化に要するレーザーパワーも低下し
ていることがわかる。
It can also be seen that the laser power required for amorphization is also reduced.

他の2種ののカルコゲン化アエンおよび酸化物の場合も
ほぼ同様の結果が得られている。
Almost similar results were obtained with the other two chalcogenated enenes and oxides.

第3表 ZnSへのGeO2の添加効果実施例4 ポリメチルメタクリレートよりなる基材上に2元蒸着法
で硫化アエンと、ガラス試の窒化ケイ素(Si3N4)
との、混合物よりなる耐熱保護層を作成した。硫化アエ
ンとガラス化した窒化物の混合比は実施例1と同様にそ
れぞれの材料の蒸発量を制御することによって決定し、
また定量化学分析もおこなった。光学活性層の成分も実
施例1と同じTeGe5nO系のものを用い、g!厚は
100 nmである。 耐熱保護層は光学活性層の基材
側および上側に、それぞれおよそ100 nm、 20
0 nm作成した。
Table 3 Effect of adding GeO2 to ZnS Example 4 Aene sulfide and silicon nitride (Si3N4) as a glass sample were deposited on a base material made of polymethyl methacrylate using a binary vapor deposition method.
A heat-resistant protective layer was prepared from a mixture of The mixing ratio of aene sulfide and vitrified nitride was determined by controlling the evaporation amount of each material as in Example 1,
Quantitative chemical analysis was also performed. The same TeGe5nO components as in Example 1 were used for the optically active layer, and g! The thickness is 100 nm. The heat-resistant protective layer has a thickness of approximately 100 nm and 20 nm on the substrate side and the upper side of the optically active layer, respectively.
0 nm was created.

次に第4表に、Si3N4の添加量に対する結晶化およ
びアモルファス化に要する最低のレーザーエネルギーを
示す、測定法は実施例1と同じである。
Next, Table 4 shows the minimum laser energy required for crystallization and amorphization with respect to the amount of Si3N4 added, and the measurement method is the same as in Example 1.

第6図に得られた耐熱保護膜自体の屈折率の混合比依存
性を示す。 ZnSeにSi3N4を添加するに連れて
、屈折率がほぼ直線的に減少することが示されている。
FIG. 6 shows the dependence of the refractive index of the heat-resistant protective film itself on the mixture ratio. It has been shown that the refractive index decreases almost linearly as Si3N4 is added to ZnSe.

本実施例においても硫化アエンに窒化物ガラスを添加す
るにことにより結晶化およびアモルファス化に要するの
最低エネルギーは減少する効果が確認された。この結果
から明らかなように、ガラス化酸化物の添加量には最適
値があることがわかる。
In this example as well, it was confirmed that adding nitride glass to aene sulfide reduced the minimum energy required for crystallization and amorphization. As is clear from this result, there is an optimum value for the amount of vitrification oxide added.

本実施例においてもSi3N4の硫化アエンに対する添
加量で効果があるのはおおよそ20モル%前後であるこ
とが確認された。
In this example as well, it was confirmed that the effective amount of Si3N4 added to the aene sulfide was approximately 20 mol%.

実施例5 ポリメチルメタクリレートよりなる基材上に2元蒸着法
でセレン化アエンと、ガラス試の炭化ケイ素(SiC)
との、混合物よりなる耐熱保護層をスパッタ法で作成し
た。第7図にスパッタ装置の概略と第8図に陰極ターゲ
ットの構成を示す、スパッタ装置は通常の市販のもので
あるが陰極ターゲットは複合式のものを用いた。すなわ
ちZnSeの焼結体の上にSiCの焼結ベレットを添加
量に見合った量おいてスパッタを行なった。また定量化
学分析もおこなった。 光学活性層の成分も実施例1と
同じTeGe5nO系のものを用い、膜厚は100 n
mである。耐熱保護層は光学活性層の基材側および上側
に、それぞれおよそ100 nm、 200 nm作成
した。
Example 5 Aene selenide and silicon carbide (SiC) as a glass sample were deposited on a base material made of polymethyl methacrylate using a binary vapor deposition method.
A heat-resistant protective layer made of a mixture of and was prepared by sputtering. Fig. 7 shows an outline of the sputtering apparatus, and Fig. 8 shows the structure of the cathode target.The sputtering apparatus was a normal commercially available one, but the cathode target used was of a composite type. That is, a sintered pellet of SiC was placed on a sintered body of ZnSe in an amount corresponding to the amount added, and sputtering was performed. Quantitative chemical analysis was also performed. The same TeGe5nO components as in Example 1 were used for the optically active layer, and the film thickness was 100 nm.
It is m. Heat-resistant protective layers were formed on the base material side and the upper side of the optically active layer to a thickness of approximately 100 nm and 200 nm, respectively.

本実施例においても硫化アエンに窒化物ガラスを添加す
るにことにより結晶化およびアモルファス化に要するレ
ーザーエネルギーは低下する効果が確認された。
In this example as well, it was confirmed that adding nitride glass to aene sulfide reduced the laser energy required for crystallization and amorphization.

本実施例においても炭化ケイ素の硫化アエンに対する添
加量で効果があるのはおおよそ20モル%前後であるこ
とが確認された。
In this example as well, it was confirmed that the effective amount of silicon carbide added to aene sulfide was approximately 20 mol%.

実施例6 ポリメチルメタクリレートよりなる基材上に3元蒸着法
で硫化アエンと2酸化ケイ素および2酸化ゲルマニウム
の、混合物よりなる耐熱保護層を作成した。 硫化アエ
ンの量を一定(15,20,50モル%)として、2酸
化ケイ素と2酸化ゲルマニウムの比を変化させて、効果
を測定した。混合比は実施例1と同様にそれぞれの材料
の蒸発量を制御することによって決定し、また定量化学
分析もおこなった。 光学活性層の成分も実施例1と同
じTeGe5nO系のものを用い、膜厚は100 nm
  である、耐熱保護層は光学活性層の基材側および上
側に、それぞれおよそ100 nm、 200 nm作
成した。
Example 6 A heat-resistant protective layer made of a mixture of aene sulfide, silicon dioxide, and germanium dioxide was prepared on a base material made of polymethyl methacrylate by a three-component vapor deposition method. The effect was measured by changing the ratio of silicon dioxide and germanium dioxide while keeping the amount of aene sulfide constant (15, 20, 50 mol %). The mixing ratio was determined by controlling the amount of evaporation of each material as in Example 1, and quantitative chemical analysis was also performed. The same TeGe5nO components as in Example 1 were used for the optically active layer, and the film thickness was 100 nm.
A heat-resistant protective layer having a thickness of approximately 100 nm and 200 nm was formed on the base material side and the upper side of the optically active layer, respectively.

第9図に得られた耐熱保護膜自体の屈折率の混合比依存
制を示す。 ZnSに5i02とGeO□の混合物を添
加するに連れて、屈折率がほぼ直線的に減少することが
示されている。酸化物ガラス全添加量に対する結晶化に
要する最低のレーザーエネルギーは、前記実施例と同様
に約20モル%のとき最も低下し、f3mWとなり、ま
たアモルファス化パワーも2mW低下し効果があること
がわかった。測定法は実施例1と同じである。
FIG. 9 shows the dependence of the refractive index of the heat-resistant protective film itself on the mixture ratio. It has been shown that the refractive index decreases almost linearly as a mixture of 5i02 and GeO□ is added to ZnS. The lowest laser energy required for crystallization with respect to the total amount of oxide glass added was the lowest at about 20 mol %, f3 mW, as in the previous example, and the amorphization power was also reduced by 2 mW, indicating that it is effective. Ta. The measurement method is the same as in Example 1.

実施例7 ポリメチルメタクリレートよりなる基材上に2元蒸着法
でカルコゲン化ナマリと2酸化ケイ素の、混合物よりな
る耐熱保護層を作成した。 到達真空度は10のマイナ
ス6乗のオーダーである。カルコゲン化ナマリ(PbS
 、 Pb5e、 PbTe )と2酸化ケイ素の混合
比は実施例1と同様にそれぞれの材料の蒸発量を制御す
ることによって決定し、また定量化学分析もおこなった
。光学活性層の成分も実施例1と同じTeGe5nO系
のものを用い、膜厚は100 nmである。耐熱保護層
は光学活性層の基材側および上側に、それぞれおよそ1
00 nm、 200 nm作成した。
Example 7 A heat-resistant protective layer made of a mixture of chalcogenated raw material and silicon dioxide was prepared on a base material made of polymethyl methacrylate by a binary vapor deposition method. The ultimate degree of vacuum is on the order of 10 to the minus 6th power. Chalcogenated Namari (PbS)
, Pb5e, PbTe) and silicon dioxide was determined by controlling the evaporation amount of each material as in Example 1, and quantitative chemical analysis was also performed. The same TeGe5nO components as in Example 1 were used for the optically active layer, and the film thickness was 100 nm. The heat-resistant protective layer is provided on the base material side and on the top side of the optically active layer, each having a thickness of approximately 1.
00 nm and 200 nm.

第10図に得られた耐熱保護膜自体の屈折率の混合比依
存制を示す、カルコゲン化ナマリに5i02を添加する
に連れて、屈折率がほぼ単調に減少することが示されて
いる。
FIG. 10 shows that the refractive index of the obtained heat-resistant protective film itself depends on the mixing ratio, and it is shown that as 5i02 is added to the chalcogenated raw material, the refractive index decreases almost monotonically.

次に第2表に、おのおののカルコゲン化ナマリに対して
、結晶化に要する最低のレーザーエネルギーの5i02
添加量依存性を示す。測定法は実施例1と同じで九る。
Next, Table 2 shows the minimum laser energy 5i02 required for crystallization for each chalcogenide name.
Shows dependence on added amount. The measuring method was the same as in Example 1.

実施例1と同様に、カルコゲン化ナマリS+02を添加
するにことにより結晶化およびアモルファス化に要する
の最低エネルギーは減少するものの、カルコゲン化アエ
ンはどの効果の大きさはない。この結果から、5i02
の添加量には最適値があることがわかるが、効果はカル
コゲン化アエンと比べて、小さいといえる。これはカル
コゲン化ナマリは半導体レーザーの波長でわずかながら
吸収があるためであると考えられる。
As in Example 1, although the minimum energy required for crystallization and amorphization is reduced by adding chalcogenated Namali S+02, the effect of chalcogenated Aene is not as large. From this result, 5i02
Although it can be seen that there is an optimum value for the amount of addition of , the effect is smaller than that of chalcogenated aene. This is thought to be due to the fact that chalcogenide has a slight absorption at the wavelength of the semiconductor laser.

実施例8 ポリカーボネイトよりなる基材上に2元蒸着法でセレン
化アエンと2酸化ケイ素の、混合物よりなる耐熱保護層
を作成した。 到達真空度は10のマイナス6乗のオー
ダーである。硫化アエン(ZnS)と2酸化ケイ素(S
i20)の混合比は実施例1と同様にそれぞれの材料の
蒸発量を制御することによって決定し、また定量化学分
析もおこなった。光学活性層の成分は本実施例では異な
りTbFeCoの光磁気効果を示す材料とした。膜厚は
50 nmである。
Example 8 A heat-resistant protective layer made of a mixture of aene selenide and silicon dioxide was prepared on a base material made of polycarbonate by a binary vapor deposition method. The ultimate degree of vacuum is on the order of 10 to the minus 6th power. Aene sulfide (ZnS) and silicon dioxide (S
The mixing ratio of i20) was determined by controlling the evaporation amount of each material as in Example 1, and quantitative chemical analysis was also performed. The components of the optically active layer were different in this example and were made of TbFeCo, a material exhibiting a magneto-optical effect. The film thickness is 50 nm.

耐熱保護層は光磁気活性層の基材側および上側に、それ
ぞれおよそ100 nm、200 nm作成した。得ら
れた耐熱保護膜は実施例2で用いたものと同様のもので
ある。次に第5表に、5i02の添加量に対する耐酸化
性特性を示す、 ZnS単独では80” C80%RH
環境下では、数日間で、反射率の低下が見られるが、5
i02t”添加することにより、30日では光学的な変
化が見られなかった。
Heat-resistant protective layers were formed to a thickness of approximately 100 nm and 200 nm on the base material side and above the magneto-optical active layer, respectively. The obtained heat-resistant protective film was similar to that used in Example 2. Next, Table 5 shows the oxidation resistance characteristics depending on the amount of 5i02 added.
Under environmental conditions, a decrease in reflectance can be seen within a few days, but 5
By adding i02t'', no optical change was observed after 30 days.

第5表 5102添加量と酸化性 以上の実施例で示した様に本発明は、光学式情報記録部
材の特性向上に効果があるといえる。特に、入射レーザ
ーパワーな効率よく利用する点、記録消去の回数を増加
させる点、光学活性層を酸化などから守る信頼性改善の
点に大きな効果がある。前記実施例では硫化アエン等の
結晶質のものと、2酸化ケイ素等のガラス質のものとを
気相などから急冷することにより薄膜を構成する粒子を
微細化してあたかも強制的に固溶させた様な構造にする
例を示したが、この考え方は従来にないものである。
Table 5 Addition amount of 5102 and oxidizing properties As shown in the above examples, it can be said that the present invention is effective in improving the characteristics of optical information recording members. In particular, it has great effects in efficiently utilizing incident laser power, increasing the number of recording and erasing operations, and improving reliability in protecting the optically active layer from oxidation. In the above example, a crystalline material such as aene sulfide and a glassy material such as silicon dioxide were rapidly cooled from a gas phase, so that the particles constituting the thin film were made fine and forced into a solid solution. Although we have shown an example of a similar structure, this idea is unprecedented.

なお、以上に述べたように本発明は、材料の構造に特徴
があるので、実施例の適用光を光ディスクに限ったが、
光デイスク以外にも熱特性やパッシベーション膜として
の効果を発揮できる、m BH磁気ヘッド、感熱プリン
ター用ヘッドなどの耐熱絶縁膜への適用も考えられる。
As mentioned above, since the present invention is characterized by the structure of the material, the light applicable to the embodiments was limited to optical disks.
In addition to optical disks, application to heat-resistant insulating films such as mBH magnetic heads and heads for thermal printers, which can exhibit thermal properties and effects as a passivation film, is also considered.

発明の効果 本発明によれば、基材上に光学活性層を設けてなる光学
式情報記録部材において、前記光学活性層と基材の間、
もしくは光学活性層の上に、複数の化合物よりなる耐熱
保護層を設け、かつそれらの混合物の構成化合物のうち
少なくとも2槽は互いに固溶し合わないものより選らぶ
ことにより、記録時の入射光パワーに対する感度を上昇
させ、あるいは記録消去の繰り返しの回数を増やすこと
ができる。
Effects of the Invention According to the present invention, in an optical information recording member comprising an optically active layer provided on a base material, between the optically active layer and the base material,
Alternatively, a heat-resistant protective layer made of a plurality of compounds is provided on the optically active layer, and at least two of the constituent compounds of the mixture are selected from those that do not form a solid solution with each other. It is possible to increase the sensitivity to power or increase the number of repetitions of recording and erasing.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、本発明の一実施例における光学式情報記録媒
体の断面図、第2図は2元蒸着装置の断面図、第3図は
ZnS+5IO2系の屈折率を示すグラフ、第4図はZ
nS+5I02系の繰り返し特性を示すグラフ、第5図
はZnSe+5IO2系の屈折率を示すグラフ、第6図
はZnS+5I02系系の屈折率を示すグラフ、第7図
はスパッタ装置の断面図、第8図は陰極ターゲット構成
を示す平面図、第9図はZnS+(S 102+Ge0
2)系の屈折率を示すグラフである。 1・・・基材、 2.4・・・耐熱保護層、3・・・光
学活性層、 5・・・接着剤層、6・・・保護基材。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 はか1名第 1 図 第2図 /Z 押気乳 第3図 02θ 4060  % lθ0 χ:  5LO2ラネカOjヒ (モルh)第4図 ztstsi、Oz 爪 盲乙銖うI可弓独ミr来ニレ:回4≦覧ミ第5図 a      20    4J      60  
    θ0    1002 : 5iOz  ”t
Q 力Oiヒ (%rし% )第6図 o  20 40 60 80 100x−: Si3
N4 2式Qi  Cモル”)第7図 回転軸
FIG. 1 is a cross-sectional view of an optical information recording medium according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view of a binary vapor deposition apparatus, FIG. 3 is a graph showing the refractive index of ZnS+5IO2 system, and FIG. 4 is a graph showing the refractive index of ZnS+5IO2 system. Z
A graph showing the repetition characteristics of the nS+5I02 system, Fig. 5 a graph showing the refractive index of the ZnSe+5IO2 system, Fig. 6 a graph showing the refractive index of the ZnS+5I02 system, Fig. 7 a cross-sectional view of the sputtering device, and Fig. 8 a graph showing the refractive index of the ZnSe+5I02 system. A plan view showing the cathode target configuration, FIG.
2) It is a graph showing the refractive index of the system. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Base material, 2.4... Heat-resistant protective layer, 3... Optical active layer, 5... Adhesive layer, 6... Protective base material. Name of agent Patent attorney Toshio Nakao Number 1 Figure 2/Z Figure 3 02θ 4060 % lθ0 χ: 5LO2 Laneka Ojhi (Mole h) Figure 4 Ztstsi, Oz Nail blindness I can do it, do it, do it, and see it: times 4 ≦ See Figure 5 a 20 4J 60
θ0 1002: 5iOz ”t
Q Force (%r%) Figure 6 o 20 40 60 80 100x-: Si3
N4 2 formula Qi C mole”) Figure 7 Rotating shaft

Claims (1)

【特許請求の範囲】 (1)基材と、その基材上に設けた光学活性層と、前期
光学活性層と前記基材の間もしくは前記光学活性層の上
に設けた耐熱保護層とを備え、前記耐熱保護層は、複数
の化合物の混合物よりなるとともに、前期混合物の構成
化合物のうち、少なくとも2槽は互いに固溶しないこと
を特徴とする光学式情報記録部材。 (2)耐熱保護層を構成する化合物のうち、少なくとも
一種はガラス、またはガラス化を促進するものであるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光学式情報
記録部材。(3)耐熱保護層を構成する化合物のうち、
少なくとも一種は金属のカルコゲン化物であり、少なく
とも一種は酸化物であることを特徴とする特許請求の範
囲第1項記載の光学式情報記録部材。 (4)金属のカルコゲン化物のうち少なくとも一種はカ
ルコゲン化アエンであり、酸化物のうち少なくとも一種
はガラス化した酸化物であることを特徴とする特許請求
の範囲第3項記載の光学式情報記録部材。 (5)カルコゲン化アエンがZnS、ZnSeおよびZ
nTeから選択された少なくとも一種であり、ガラス化
した酸化物がSiO_2、GeO_2、SnO_2、I
n_2O_3及びTeO_2から選択された少なくとも
一種であることを特徴とする特許請求の範囲第4項記載
の光学式情報記録部材。 (6)金属のカルコゲン化物のうち少なくとも一種は金
属のカルコゲン化ナマリであり、少なくとも一種はガラ
ス化した酸化物であることを特徴とする特許請求の範囲
第3項記載の光学式情報記録部材。 (7)金属のカルコゲン化ナマリがPbS、PbSおよ
びPbTeから選択された少なくとも一種であり、ガラ
ス化した酸化物がSiO_2、GeO_2、SnO_2
、In_2O_3およびTeO_2から選択された少な
くとも一種であることを特徴とする特許請求の範囲第6
項記載の光学式情報記録部材。 (8)耐熱保護層を構成する化合物のうち、少なくとも
一種は金属のカルコゲン化物であり、少なくとも一種は
窒化物であることを特徴とする特許請求の範囲第1項記
載の光学式情報記録部材。 (9)金属のカルコゲン化物のうち少なくとも一種がカ
ルコゲン化アエンであり、窒化物のうち少なくとも一種
がガラス化した窒化物であることを特徴とする特許請求
の範囲第8項記載の光学式情報記録部材。 (10)カルコゲン化アエンがZnS、ZnSe及びZ
nTeから選択された少なくとも一種であり、ガラス化
した窒化物がSi_3N_4であることを特徴とする特
許請求の範囲第9項記載の光学式情報記録部材。 (11)耐熱保護層を構成する化合物のうち、少なくと
も一種は金属のカルコゲン化物であり、少なくとも一種
は炭化物であることを特徴とする特許請求の範囲第1項
記載の光学式情報記録部材。 (12)金属のカルコゲン化物のうち少なくとも一種が
カルコゲン化アエンであり、少なくとも一種はガラス化
した炭化物であることを特徴とする特許請求の範囲第1
1項記載の光学式情報記録部材。 (13)カルコゲン化アエンがZnS、ZnSe及びZ
nTeから選択された少なくとも一種であり、ガラス化
した炭化物がSiCであることを特徴とする特許請求の
範囲第12項記載の光学式情報記録部材。 (14)耐熱保護層を構成する化合物のうち、少なくと
も一種は金属のカルコゲン化物であり、少なくとも一種
は窒化酸化物であることを特徴とする特許請求の範囲第
1項記載の光学式情報記録部材。
[Scope of Claims] (1) A base material, an optically active layer provided on the base material, and a heat-resistant protective layer provided between the optically active layer and the base material or on the optically active layer. An optical information recording member, wherein the heat-resistant protective layer is made of a mixture of a plurality of compounds, and at least two of the constituent compounds of the mixture do not form a solid solution with each other. (2) The optical information recording member according to claim 1, wherein at least one of the compounds constituting the heat-resistant protective layer is glass or one that promotes vitrification. (3) Among the compounds constituting the heat-resistant protective layer,
2. The optical information recording member according to claim 1, wherein at least one kind is a metal chalcogenide and at least one kind is an oxide. (4) Optical information recording according to claim 3, characterized in that at least one of the metal chalcogenides is a chalcogenated aene, and at least one of the oxides is a vitrified oxide. Element. (5) Chalcogenated enenes are ZnS, ZnSe and Z
At least one kind selected from nTe, and the vitrified oxide is SiO_2, GeO_2, SnO_2, I
The optical information recording member according to claim 4, characterized in that it is at least one selected from n_2O_3 and TeO_2. (6) The optical information recording member according to claim 3, wherein at least one of the metal chalcogenides is a metal chalcogenide, and at least one of the metal chalcogenides is a vitrified oxide. (7) The chalcogenated metal is at least one selected from PbS, PbS and PbTe, and the vitrified oxide is SiO_2, GeO_2, SnO_2
, In_2O_3 and TeO_2.
The optical information recording member described in Section 2. (8) The optical information recording member according to claim 1, wherein at least one of the compounds constituting the heat-resistant protective layer is a metal chalcogenide and at least one is a nitride. (9) Optical information recording according to claim 8, characterized in that at least one of the metal chalcogenides is an aene chalcogenide, and at least one of the nitrides is a vitrified nitride. Element. (10) Chalcogenated aenes are ZnS, ZnSe and Z
10. The optical information recording member according to claim 9, wherein the vitrified nitride is at least one selected from nTe and is Si_3N_4. (11) The optical information recording member according to claim 1, wherein at least one of the compounds constituting the heat-resistant protective layer is a metal chalcogenide and at least one is a carbide. (12) Claim 1, characterized in that at least one of the metal chalcogenides is a chalcogenated aene, and at least one of the metal chalcogenides is a vitrified carbide.
The optical information recording member according to item 1. (13) Chalcogenated aenes are ZnS, ZnSe and Z
13. The optical information recording member according to claim 12, wherein the vitrified carbide is at least one selected from nTe and is SiC. (14) The optical information recording member according to claim 1, wherein at least one of the compounds constituting the heat-resistant protective layer is a metal chalcogenide and at least one is a nitride oxide. .
JP61248608A 1986-10-20 1986-10-20 Optical information recording member Granted JPS63103453A (en)

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