JPS6230084A - 光学情報記録部材 - Google Patents
光学情報記録部材Info
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- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕本発明は光、熱等を利用する光学的情報
の記録、再生を行なう光学情報記録部材に関するもので
あって、その目的とするところは、情報信号を高速度か
つ、高密度に光学的に記録再生すると共に、消去速度お
よび消去感度が高く、情報の書き換えが可能な光学情報
記録部材を提供することにある。
の記録、再生を行なう光学情報記録部材に関するもので
あって、その目的とするところは、情報信号を高速度か
つ、高密度に光学的に記録再生すると共に、消去速度お
よび消去感度が高く、情報の書き換えが可能な光学情報
記録部材を提供することにある。
レーザ光線を利用して高密度の情報の記録再生に用いる
記録媒体には、テルルのアモルファスと結晶間の状態変
化を利用するものが用いられている。これらは比較的強
くて短いパルス光を照射して照射部を昇温状態から急冷
してアモルファス状態にし、その光学定数を減少させ、
(白色化する)あるいは比較的弱くて長いパルス光を照
射して結晶状態にし、光学定数を増大させる(黒色化す
る)ことによって記録、消去を行なうものであり、記録
時には光学定数を減少させる方向を、消去時にはこれを
増大させる方向を利用している。
記録媒体には、テルルのアモルファスと結晶間の状態変
化を利用するものが用いられている。これらは比較的強
くて短いパルス光を照射して照射部を昇温状態から急冷
してアモルファス状態にし、その光学定数を減少させ、
(白色化する)あるいは比較的弱くて長いパルス光を照
射して結晶状態にし、光学定数を増大させる(黒色化す
る)ことによって記録、消去を行なうものであり、記録
時には光学定数を減少させる方向を、消去時にはこれを
増大させる方向を利用している。
テルルは室温では結晶として安定であシ、アモルファス
状態としては存在しない。したがって室温でアモルファ
ス状態で安定に存在させるためには添加物が必要であシ
、その代表的な添加物として、セレンが知られている。
状態としては存在しない。したがって室温でアモルファ
ス状態で安定に存在させるためには添加物が必要であシ
、その代表的な添加物として、セレンが知られている。
セレンは室温において非常に安定なアモルファスとして
存在し、また、テルルといかなる比率でも完全に固溶し
てテルルとセレンとのあらゆる組成範囲において、アモ
ルファスとして安定なTe−8e薄膜を形成する。
存在し、また、テルルといかなる比率でも完全に固溶し
てテルルとセレンとのあらゆる組成範囲において、アモ
ルファスとして安定なTe−8e薄膜を形成する。
ところでとのTe−8e薄膜は、情報の光学的記録、消
去は可能であるがアモルファスとして非常に安定である
ため、比較的弱くて長いパルス光を照射して照射部を除
熱、除冷した場合に結晶化速度が遅いために書きかえが
できない。
去は可能であるがアモルファスとして非常に安定である
ため、比較的弱くて長いパルス光を照射して照射部を除
熱、除冷した場合に結晶化速度が遅いために書きかえが
できない。
この書き換えが可能な記録薄膜として、Te−8e−s
b薄膜(例えばTe80Se80Sb80)があるがこ
の薄膜の光ディスクは、消去速度が遅くかつ、消去感度
が不十分で、加うるに黒色部と白色部の光学定数の差が
小さいために書き込みコントラスト比が不十分であるな
どの欠点を有する。
b薄膜(例えばTe80Se80Sb80)があるがこ
の薄膜の光ディスクは、消去速度が遅くかつ、消去感度
が不十分で、加うるに黒色部と白色部の光学定数の差が
小さいために書き込みコントラスト比が不十分であるな
どの欠点を有する。
一方、本発明者らは先に、 TeとTea、との混合物
よりなるTeOx 薄膜に金を添加することによって結
晶化速度を改善することに成功した(特願昭59−61
463号)が、このTeOx −Au記録薄膜は一度黒
化させると再び白化させるのが困難なため、書き換え可
能な記録薄膜として使用することができない。本発明は
この点にかんがみ、Te−8e薄膜のもつアモルファス
としての安定性と、TeOx −Au薄膜のもつ高速黒
色結晶化特性との双方のすぐれた特性を有すると共に、
これらTe −8e薄膜およびTeOx −Au薄膜に
期待することのできない書き換えの可能な光学情報記録
部材を提供することを目的とするものである。
よりなるTeOx 薄膜に金を添加することによって結
晶化速度を改善することに成功した(特願昭59−61
463号)が、このTeOx −Au記録薄膜は一度黒
化させると再び白化させるのが困難なため、書き換え可
能な記録薄膜として使用することができない。本発明は
この点にかんがみ、Te−8e薄膜のもつアモルファス
としての安定性と、TeOx −Au薄膜のもつ高速黒
色結晶化特性との双方のすぐれた特性を有すると共に、
これらTe −8e薄膜およびTeOx −Au薄膜に
期待することのできない書き換えの可能な光学情報記録
部材を提供することを目的とするものである。
〔発明の構成〕本発明の光学情報記録部材は、テルル(
Te)、セレン(Se)および金(Au)を ゛主成分
として含み、これらの元素の割合が、Te。
Te)、セレン(Se)および金(Au)を ゛主成分
として含み、これらの元素の割合が、Te。
Se、Auをそれぞれ100at%の頂点とする三角座
標図において座標(at%)が、 A (Te80Ss15 Au、 )、B (Te15
Se15 Au1o)C(Te408J1 Au43
)、D (Te80Beg Au15 )の4点で囲ま
れた範囲内にある組成をもつ記録薄膜を有することを特
徴とする。すなわち、本発明の記録薄膜を構成するTe
、Se%Auの原子数の割合は第1図のA%B%C,D
で囲まれた範囲内にある。
標図において座標(at%)が、 A (Te80Ss15 Au、 )、B (Te15
Se15 Au1o)C(Te408J1 Au43
)、D (Te80Beg Au15 )の4点で囲ま
れた範囲内にある組成をもつ記録薄膜を有することを特
徴とする。すなわち、本発明の記録薄膜を構成するTe
、Se%Auの原子数の割合は第1図のA%B%C,D
で囲まれた範囲内にある。
本発明の記録薄膜はアモルファスとしてきわめて安定し
ており、かつ、黒化感度が非常にすぐれていて光学的に
信号の書き換えが可能である。このTe −Se −A
u記録薄膜中におけるSeの作用はアモルファス状態に
おいてTeaるいはTe −Au化合物が結晶化するの
を阻止してアモルファス状態(信号の記録ビット)を安
定にするものと考えられる。一方、Auは消去時にTe
−Au化合物又はSe Au化合物を形成して結晶の
成長を促進する結晶核としての作用をするものと考えら
れる。したがって8eを含むことによってアモルファス
状態の安定した記録薄膜がAuを含むことによって十分
な消去速度と消去感度とをもつようになると考えられる
のである。さらに、Te −Se −Au薄膜はTe
−Se薄膜に比べ、光の透過率が低いため、記録薄膜に
おける光の吸収率がよく、感度が高い。また、結晶化が
高速に、かつ十分に行なわれるためアモルファスと結晶
との光学定数の差が大きく信号書き込み時のコントラス
ト比が大となり、大きなC/Nがえられる。
ており、かつ、黒化感度が非常にすぐれていて光学的に
信号の書き換えが可能である。このTe −Se −A
u記録薄膜中におけるSeの作用はアモルファス状態に
おいてTeaるいはTe −Au化合物が結晶化するの
を阻止してアモルファス状態(信号の記録ビット)を安
定にするものと考えられる。一方、Auは消去時にTe
−Au化合物又はSe Au化合物を形成して結晶の
成長を促進する結晶核としての作用をするものと考えら
れる。したがって8eを含むことによってアモルファス
状態の安定した記録薄膜がAuを含むことによって十分
な消去速度と消去感度とをもつようになると考えられる
のである。さらに、Te −Se −Au薄膜はTe
−Se薄膜に比べ、光の透過率が低いため、記録薄膜に
おける光の吸収率がよく、感度が高い。また、結晶化が
高速に、かつ十分に行なわれるためアモルファスと結晶
との光学定数の差が大きく信号書き込み時のコントラス
ト比が大となり、大きなC/Nがえられる。
次に本発明の記録薄膜を構成するTe 、 Se、Au
の原子数の割合について説明する。構成元素のうちTe
はレーザ照射による加熱、急冷によってアモルファス状
態となり、除熱、除冷によって結晶状態となる。すなわ
ち、このTe −S e −Au薄膜においては主とし
てTeの相変態による反射率の変化によって信号の記録
、消去が行なわれるのであるが、Te 40 at%(
第1図BC線)以下の領域では十分な反射率変化かえら
れなかった。そしてBC線以下のTeの少ない領域では
アモルファスと結晶との相変態を繰返すと、徐々に結晶
化しにくくなることが確認された。Teそれ自体は室温
で結晶性が強<、Te80at%(第1図CD線)以上
のTeの豊富な領域ではアモルファス部分(記録ビット
)が結晶しやすく、記録信号の保存の点で問題がある。
の原子数の割合について説明する。構成元素のうちTe
はレーザ照射による加熱、急冷によってアモルファス状
態となり、除熱、除冷によって結晶状態となる。すなわ
ち、このTe −S e −Au薄膜においては主とし
てTeの相変態による反射率の変化によって信号の記録
、消去が行なわれるのであるが、Te 40 at%(
第1図BC線)以下の領域では十分な反射率変化かえら
れなかった。そしてBC線以下のTeの少ない領域では
アモルファスと結晶との相変態を繰返すと、徐々に結晶
化しにくくなることが確認された。Teそれ自体は室温
で結晶性が強<、Te80at%(第1図CD線)以上
のTeの豊富な領域ではアモルファス部分(記録ビット
)が結晶しやすく、記録信号の保存の点で問題がある。
SeはTeといかなる比率においても完全に固溶してT
eの結晶中に入りこみ、Teの結晶が増大するのを阻止
して記録薄膜をアモルファス状態に保持するよう作用す
るのに対し、 AuはTeがアモルファスから結晶化す
るときにTe −Auあるいは8e −Auのなんらか
の化合物を作ることによって一種の結晶核のような作用
をするものと考えられ、レーザ照射によって高速かつ高
感度でTeの結晶化(記録信号の消去)を促進する作用
を有する。したがってSeとAuは記録薄膜中で相反す
る作用をするのでこれらの含有量の相対的割合は重要で
ある。
eの結晶中に入りこみ、Teの結晶が増大するのを阻止
して記録薄膜をアモルファス状態に保持するよう作用す
るのに対し、 AuはTeがアモルファスから結晶化す
るときにTe −Auあるいは8e −Auのなんらか
の化合物を作ることによって一種の結晶核のような作用
をするものと考えられ、レーザ照射によって高速かつ高
感度でTeの結晶化(記録信号の消去)を促進する作用
を有する。したがってSeとAuは記録薄膜中で相反す
る作用をするのでこれらの含有量の相対的割合は重要で
ある。
Auの含有量が第1図CD線以下の少ない領域ではAu
の作用がSeの作用に比べて小さすぎ、白化感度(記録
感度)は十分に見られるが黒化感度(消去感度)が不足
する。Auの含有量が第1図CD線以上の多い領域では
Seの作用がAuの作用に比べて小さすぎ、アモルファ
ス化が不足する。また、アモルファス化した部分も結晶
化し易いために、記録信号の保存に信頼性が乏しい。本
発明の記録薄膜が十分な記録、消去感度と記録信号の保
存性および高いC/N を有し、かつ、信号の記録、消
去の繰返しに安定した特性を示すためのTe、Se%A
uの相対的割合はTe= 40〜80 at%、 Se
= 5〜50at%、Au = 5〜43 at%で
あって、これらの数字は後述の実施例1〜3のデータか
ら明らかであり、これを三角座標によって表わすと第1
図に示すように、AlB、C,Dで囲まれた領域となる
。なお、AlB、C,’D各点の座標(at%)は次の
とおシである。
の作用がSeの作用に比べて小さすぎ、白化感度(記録
感度)は十分に見られるが黒化感度(消去感度)が不足
する。Auの含有量が第1図CD線以上の多い領域では
Seの作用がAuの作用に比べて小さすぎ、アモルファ
ス化が不足する。また、アモルファス化した部分も結晶
化し易いために、記録信号の保存に信頼性が乏しい。本
発明の記録薄膜が十分な記録、消去感度と記録信号の保
存性および高いC/N を有し、かつ、信号の記録、消
去の繰返しに安定した特性を示すためのTe、Se%A
uの相対的割合はTe= 40〜80 at%、 Se
= 5〜50at%、Au = 5〜43 at%で
あって、これらの数字は後述の実施例1〜3のデータか
ら明らかであり、これを三角座標によって表わすと第1
図に示すように、AlB、C,Dで囲まれた領域となる
。なお、AlB、C,’D各点の座標(at%)は次の
とおシである。
A (Te、6 Se15 Au、 ) s B (T
’e4(l Se、OAu14 )C(Te15 Se
15 Au15)、 D (Te8. Ss、 Au
15 )〔添加物〕本発明の記録薄膜は添加物を配合す
ることによって特性をよシ向上させることができる。特
許請求の範囲(2)の実施例は少量のGeを添加した場
合で高温で使用するときに特に有効である。記録薄膜が
劣化する原因の1にアモルファス状態のTeを高温中に
放置したときに徐々に、結晶化(白化部が徐々に黒化す
る)することが考えられるが、Qeは記録薄膜中におい
てアモルファス化したTeが結晶化を開始する転移開始
温度を上昇させる作用があるものと考えられる。
’e4(l Se、OAu14 )C(Te15 Se
15 Au15)、 D (Te8. Ss、 Au
15 )〔添加物〕本発明の記録薄膜は添加物を配合す
ることによって特性をよシ向上させることができる。特
許請求の範囲(2)の実施例は少量のGeを添加した場
合で高温で使用するときに特に有効である。記録薄膜が
劣化する原因の1にアモルファス状態のTeを高温中に
放置したときに徐々に、結晶化(白化部が徐々に黒化す
る)することが考えられるが、Qeは記録薄膜中におい
てアモルファス化したTeが結晶化を開始する転移開始
温度を上昇させる作用があるものと考えられる。
Geの添加量は2at%程度でもその効果が十分に認め
られる。添加量が15at%をこえると転移開始温度が
高くなシすぎて消去感度が低下するので、15at%が
限度である。
られる。添加量が15at%をこえると転移開始温度が
高くなシすぎて消去感度が低下するので、15at%が
限度である。
特許請求の範囲(3)ノ実施例は、 Sn、 Sb、
Bi。
Bi。
Inのなかから選択した元素の少くともその1を添加す
る場合である。Te −Se −Au記録薄膜の黒化感
度を向上させるためにAuの含有量を増加すると白化感
度を低下させるが、少量のSn%5b1Bi%In等を
添加すると白化感度を低下させることなく黒化感度を向
上させることができ、その添加量は5〜3Q at%が
適当である。この5n1Sb、 Bi、 In等の添加
は黒化感度を向上させる点でAuの含有量の少い領域に
おいて特に有効であり、Auが高価な元素であることを
併せ考えると、実用上、有利な添加物質である、という
ことができる。
る場合である。Te −Se −Au記録薄膜の黒化感
度を向上させるためにAuの含有量を増加すると白化感
度を低下させるが、少量のSn%5b1Bi%In等を
添加すると白化感度を低下させることなく黒化感度を向
上させることができ、その添加量は5〜3Q at%が
適当である。この5n1Sb、 Bi、 In等の添加
は黒化感度を向上させる点でAuの含有量の少い領域に
おいて特に有効であり、Auが高価な元素であることを
併せ考えると、実用上、有利な添加物質である、という
ことができる。
本発明の光学情報記録部材およびその製造法並びにその
特性評価の方法を第2図および第3図について説明する
。第2図は本発明の光学情報記録部材の断面図で、1は
PMMA 、ポリカーボネイト、塩化ビニール、ポリエ
ステル等の透明な樹脂又はガラスよりなる基板、2は記
録薄膜である。記録薄膜2は基板1の上に蒸着、スパッ
タリング等によって形成され、その膜組成はオージェ電
子分光法、誘導結合高周波プラズマ発光分析法、X線マ
イクロアナリシス法等により決定される。
特性評価の方法を第2図および第3図について説明する
。第2図は本発明の光学情報記録部材の断面図で、1は
PMMA 、ポリカーボネイト、塩化ビニール、ポリエ
ステル等の透明な樹脂又はガラスよりなる基板、2は記
録薄膜である。記録薄膜2は基板1の上に蒸着、スパッ
タリング等によって形成され、その膜組成はオージェ電
子分光法、誘導結合高周波プラズマ発光分析法、X線マ
イクロアナリシス法等により決定される。
記録薄膜の形成には3源蒸着の可能な電子ビーム蒸着機
を採用し、 Te、 Se、 Auをそれぞれのソース
から15Orpmで回転するアクリル樹脂基板(10X
20 X 1.2%)上にI X 10 Torr以
下の真空の下で蒸着した。記録薄膜の厚さは約1200
人とした。各ソースからの蒸着速度は記録薄膜中のTe
s Se s Auの原子数の割合を調整するために
、いろいろと変化させた。
を採用し、 Te、 Se、 Auをそれぞれのソース
から15Orpmで回転するアクリル樹脂基板(10X
20 X 1.2%)上にI X 10 Torr以
下の真空の下で蒸着した。記録薄膜の厚さは約1200
人とした。各ソースからの蒸着速度は記録薄膜中のTe
s Se s Auの原子数の割合を調整するために
、いろいろと変化させた。
上記の方法によって作成した試験片の黒化特性(消去特
性)および白化特性(記録特性)を評価する方法を第3
図について説明する。半導体レーザ3を出た波長830
nmの光は第2レンズ6によって疑似平行光5となり、
第2レンズ6で丸く整形された後、第3レンズ7で再び
平行光になり、ハーフミラ−8を介して第4レンズ9で
試験片10上に波長限界約0.8μmの大きさのスポッ
トllに集光され記録が行なわれる。信号の検出は、試
験片10からの反射光をハーフミラ−8を介して受け、
第5レンズ12を通して光感応ダイオード13で行なっ
た。このように半導体レーザを変調して、試験片上に照
射パワーと照射時間の異なる種々のパルスレーザ光を照
射することにより黒化特性と白化特性とを知ることがで
きる。
性)および白化特性(記録特性)を評価する方法を第3
図について説明する。半導体レーザ3を出た波長830
nmの光は第2レンズ6によって疑似平行光5となり、
第2レンズ6で丸く整形された後、第3レンズ7で再び
平行光になり、ハーフミラ−8を介して第4レンズ9で
試験片10上に波長限界約0.8μmの大きさのスポッ
トllに集光され記録が行なわれる。信号の検出は、試
験片10からの反射光をハーフミラ−8を介して受け、
第5レンズ12を通して光感応ダイオード13で行なっ
た。このように半導体レーザを変調して、試験片上に照
射パワーと照射時間の異なる種々のパルスレーザ光を照
射することにより黒化特性と白化特性とを知ることがで
きる。
黒化特性の評価には、照射パワーを比較的小さく例えば
1mw/μm2程度のパワー密度に固定し照射時間を変
化させて黒化開始の照射時間を測定する方法を採用した
、白化特性の評価には、記録部材をあらかじめ黒化して
おき、照射時間を例えば50 n5eC程度に固定し白
化開始に必要な照射光パワーを測定する方法を採用した
。半導体レーザの実用的な出力を考慮した場合、上記の
評価方法において、黒化開始の照射時間が3μ池程度以
下、白化開始の照射パワーが10mw/μm”程度以下
であればその記録薄膜は実用的な光ディスクに利用可能
と考えられる。作成した試験片−を上記評価方法を用い
て評価した結果は次に示すとおりである。
1mw/μm2程度のパワー密度に固定し照射時間を変
化させて黒化開始の照射時間を測定する方法を採用した
、白化特性の評価には、記録部材をあらかじめ黒化して
おき、照射時間を例えば50 n5eC程度に固定し白
化開始に必要な照射光パワーを測定する方法を採用した
。半導体レーザの実用的な出力を考慮した場合、上記の
評価方法において、黒化開始の照射時間が3μ池程度以
下、白化開始の照射パワーが10mw/μm”程度以下
であればその記録薄膜は実用的な光ディスクに利用可能
と考えられる。作成した試験片−を上記評価方法を用い
て評価した結果は次に示すとおりである。
〔実施例1〕評価材料組成としてSeとAuの原子数比
が50 : 50となるように組成制御を行ない、同時
にこのSe80Au5゜とTeの比を変化させて複数の
試験片を作成した。
が50 : 50となるように組成制御を行ない、同時
にこのSe80Au5゜とTeの比を変化させて複数の
試験片を作成した。
第4図(11はSe5oAu80に保ちながらTeの含
有量を変化させてゆき1mw/μm”のパワーで照射し
たときの黒化開始に要する照射時間の変化を示したもの
である。この図から黒化開始に要する照射時間はTeの
含有量が少ないと長くなることがわかるが、本実施例の
範囲であれば十分に実用的な時間でおると考えられる。
有量を変化させてゆき1mw/μm”のパワーで照射し
たときの黒化開始に要する照射時間の変化を示したもの
である。この図から黒化開始に要する照射時間はTeの
含有量が少ないと長くなることがわかるが、本実施例の
範囲であれば十分に実用的な時間でおると考えられる。
またTeの含有量が40 at%よシも少なくなると反
射率の変化量が小さくなるのが認められ、これは大きな
C/Nがえられないことを示している。さらに、Teの
含有量が40 at%よシ少ない領域、例えばTe80
Se□Au15の薄膜では、一度黒化した後、白化した
部分は、再び黒化しても最初の黒化状態はど十分に黒化
しないことが確認された。これはレーザ照射された部分
の記録薄膜が何らかの相分離を起こすことによるものと
考えられ、信号の記録、消去を繰返したときに、徐々に
記録、消去特性が変動することを示すもので実用上問題
がある。
射率の変化量が小さくなるのが認められ、これは大きな
C/Nがえられないことを示している。さらに、Teの
含有量が40 at%よシ少ない領域、例えばTe80
Se□Au15の薄膜では、一度黒化した後、白化した
部分は、再び黒化しても最初の黒化状態はど十分に黒化
しないことが確認された。これはレーザ照射された部分
の記録薄膜が何らかの相分離を起こすことによるものと
考えられ、信号の記録、消去を繰返したときに、徐々に
記録、消去特性が変動することを示すもので実用上問題
がある。
第4図(b)は、1mW/μrrL2のパワーで15μ
式照射して十分に黒化した部分に、照射時間を50n卸
として照射パワーを変化して照射したときの白化開始に
要する照射パワーの違いを示している。これからSe8
0Au50に対するTeの割合が増加するにつれて白化
開始に要する照射パワーは増大することがわかるが、本
実施例の範囲であれば十分に実用的な照射パワーである
と考えられる。しかし、 Teの含有量が80 at%
を越える領域では白化部分(アモルファス部分)は室温
で長期間安定に存在することができず、徐々に黒化(結
晶化)することが確認された。これは信号の記録ビット
が自然に消滅することを示すもので実用上問題がある。
式照射して十分に黒化した部分に、照射時間を50n卸
として照射パワーを変化して照射したときの白化開始に
要する照射パワーの違いを示している。これからSe8
0Au50に対するTeの割合が増加するにつれて白化
開始に要する照射パワーは増大することがわかるが、本
実施例の範囲であれば十分に実用的な照射パワーである
と考えられる。しかし、 Teの含有量が80 at%
を越える領域では白化部分(アモルファス部分)は室温
で長期間安定に存在することができず、徐々に黒化(結
晶化)することが確認された。これは信号の記録ビット
が自然に消滅することを示すもので実用上問題がある。
以上から(Se15 Au80) too −x Te
X(at%)で表わされる組成からなる記録薄膜は、X
の値を40<、 X < 80 at%に選ぶことによ
って、記録、消去特性がともにすぐれた記録薄膜となる
ことがわかる。
X(at%)で表わされる組成からなる記録薄膜は、X
の値を40<、 X < 80 at%に選ぶことによ
って、記録、消去特性がともにすぐれた記録薄膜となる
ことがわかる。
〔実施例2〕評価材料組成としてTeと(Se−)−A
u )の原子数比が75 : 25となるように組成制
御を行ない、同時にSeとAuO比を変化させて複数の
試験片を作成した。
u )の原子数比が75 : 25となるように組成制
御を行ない、同時にSeとAuO比を変化させて複数の
試験片を作成した。
第5図(a)はTe15 Sc15 −x kuz 1
0≦X≦25 (at%表示)において、Xの値を変化
させ、 1mw/μm2のパワーで照射したときの黒
化開始に要する照射時間の変化を示している。同図から
黒化開始に要する照射時間はXの値が大きいほど(Au
の添加量が多いほど)短かくなくなることがわが’t、
xの値が5at%以上であれば実用的な黒化速度が得ら
れることを明らかにしている。
0≦X≦25 (at%表示)において、Xの値を変化
させ、 1mw/μm2のパワーで照射したときの黒
化開始に要する照射時間の変化を示している。同図から
黒化開始に要する照射時間はXの値が大きいほど(Au
の添加量が多いほど)短かくなくなることがわが’t、
xの値が5at%以上であれば実用的な黒化速度が得ら
れることを明らかにしている。
第5図(b)は例えば1mw/μm2のパワーで15μ
叔照射して十分に黒化した部分に、照射時間を5゜n8
ecとして照射パワーを変化して照射したときの白化開
始に要する照射パワーの違いを示している。これからT
e15 5e21−xAuxにおいて、Xの値が大きい
ほど白化開始に要する照射パワーは大きくなることがわ
かるが、Xの値が約18at%以下であれば実用上問題
のない照射パワーと考えられる。さらに、X = 20
at%、すなわちTe7゜Se、 Au15)の組成
からなる記録薄膜においては、白化部分は室温での長期
間放置において徐々に黒化することが確認され、記録信
号の長期保存の観点からも実用的でないことがわかった
。
叔照射して十分に黒化した部分に、照射時間を5゜n8
ecとして照射パワーを変化して照射したときの白化開
始に要する照射パワーの違いを示している。これからT
e15 5e21−xAuxにおいて、Xの値が大きい
ほど白化開始に要する照射パワーは大きくなることがわ
かるが、Xの値が約18at%以下であれば実用上問題
のない照射パワーと考えられる。さらに、X = 20
at%、すなわちTe7゜Se、 Au15)の組成
からなる記録薄膜においては、白化部分は室温での長期
間放置において徐々に黒化することが確認され、記録信
号の長期保存の観点からも実用的でないことがわかった
。
以上からTe15 Se15z Auzで表わされる組
成からなる記録薄膜は、Xの値を5 <、 X < 1
8at%に選ぶことによって、記録、消去ともにすぐれ
た特性を示すことが明らかになった。
成からなる記録薄膜は、Xの値を5 <、 X < 1
8at%に選ぶことによって、記録、消去ともにすぐれ
た特性を示すことが明らかになった。
〔実施例3〕評価材料組成としてTeと(Se+Au)
の原子数比が45 : 55となるように組成制御を行
ない、同時に8eとAuの比を変化させて複数の試験片
を作成した。
の原子数比が45 : 55となるように組成制御を行
ない、同時に8eとAuの比を変化させて複数の試験片
を作成した。
第6図(a)はTe15 Se、5−z Aux%0≦
X≦55(at%表示)においてXの値を変化させ、1
mw/μm2のパワーで照射したときの黒化開始に要す
る照射時間の変化を示している。同図から、黒化開始に
要する照射時間はXの値が大きいほど(Auの添加量が
多いほど)短かくなることがわかυ、Xの値が10at
%以上であれば実用的な黒化速度が得られることを明ら
かにしている。
X≦55(at%表示)においてXの値を変化させ、1
mw/μm2のパワーで照射したときの黒化開始に要す
る照射時間の変化を示している。同図から、黒化開始に
要する照射時間はXの値が大きいほど(Auの添加量が
多いほど)短かくなることがわかυ、Xの値が10at
%以上であれば実用的な黒化速度が得られることを明ら
かにしている。
第6図(b)は、例えば1 mw/ μm”のパワーで
15μ庶照射して十分に黒化した部分に、照射時間を5
0 naとして照射パワーを変化して照射したときの白
化開始に要する照射パワーの違いを示している。これか
らTe4. Se□−X Auzにおいて、Xの値が大
きいほど白化開始に要する照射パワーは大きくなること
がわかるが、Xの値が40at%以下であれば実用上問
題はないと考えられる。
15μ庶照射して十分に黒化した部分に、照射時間を5
0 naとして照射パワーを変化して照射したときの白
化開始に要する照射パワーの違いを示している。これか
らTe4. Se□−X Auzにおいて、Xの値が大
きいほど白化開始に要する照射パワーは大きくなること
がわかるが、Xの値が40at%以下であれば実用上問
題はないと考えられる。
以上から、Te15 8e□−X Auzで表わされる
組成からなる記録薄膜はXの値を10 <X < 40
at%とすることによって、記録、消去ともにすぐれ
た記録薄膜となることがわかる。
組成からなる記録薄膜はXの値を10 <X < 40
at%とすることによって、記録、消去ともにすぐれ
た記録薄膜となることがわかる。
上記実施例1〜3から、Te、 Se、 Auを構成元
素とし、各元素の原子数の割合が第1図のA、B、C,
Dで囲まれた範囲内にある記録薄膜は、記録特性、消去
特性ともに良好な光学情報記録部材であることがわかる
。
素とし、各元素の原子数の割合が第1図のA、B、C,
Dで囲まれた範囲内にある記録薄膜は、記録特性、消去
特性ともに良好な光学情報記録部材であることがわかる
。
〔実施例4〕評価材料組成としてTeとSsとAuの原
子数比が65 : 15 : 20となるように組成制
御を行ない、同時にこのTe、llSe15 Au2o
に添加するGeの添加量を変化させた複数個の試験片を
作成した。この試験片の作成方法は4源蒸着が可能な電
子ビーム蒸着機を使用してそれぞれのソースからTe、
Au、 Geを蒸着した。他の蒸着条件は前述の実施
例と同様である。
子数比が65 : 15 : 20となるように組成制
御を行ない、同時にこのTe、llSe15 Au2o
に添加するGeの添加量を変化させた複数個の試験片を
作成した。この試験片の作成方法は4源蒸着が可能な電
子ビーム蒸着機を使用してそれぞれのソースからTe、
Au、 Geを蒸着した。他の蒸着条件は前述の実施
例と同様である。
この試験片を60Cの恒温槽内に放置し、波長830n
mの光における透過率変化を測定することによって耐熱
特性を求めた。第7図(a)はその結果を示している。
mの光における透過率変化を測定することによって耐熱
特性を求めた。第7図(a)はその結果を示している。
同図からTe15 Se15 Au2oにGeを添加す
ることにより、透過率の低下する速度が遅くなることが
わかる。透過率の低下は、アモルファス状態の記録薄膜
を高温中に放置したとき徐々に結晶化していくことを意
味しておシ、(ト)の添加は結晶化温度の上昇を示して
いる。
ることにより、透過率の低下する速度が遅くなることが
わかる。透過率の低下は、アモルファス状態の記録薄膜
を高温中に放置したとき徐々に結晶化していくことを意
味しておシ、(ト)の添加は結晶化温度の上昇を示して
いる。
すなわち、Geを添加することによって、信号の記録ビ
ット(アモルファス状態)の保存特性を向上させること
ができる。この効果はGeの添加量が2 at%以下で
も認められるが添加量が多ければ多いほど耐熱性の向上
することがわかる。
ット(アモルファス状態)の保存特性を向上させること
ができる。この効果はGeの添加量が2 at%以下で
も認められるが添加量が多ければ多いほど耐熱性の向上
することがわかる。
第7図(blはTe15 Se、5Au80に保ちなが
らGeの添加量を増加させてゆきs 1mw/μm2
で照射したときの黒化開始に要する時間の変化を示した
ものである。同図からGeの添加量を増加していくと黒
化開始の照射時間は徐々に長くなることがわかる。これ
はGeの添加によって、アモルファス状態にある記録薄
膜の結晶化温度が上昇したことによるものである。Ge
の添加は黒化感度の低下を招くが、同図から添加量が1
5at%以下であれば問題のないことがわかる。
らGeの添加量を増加させてゆきs 1mw/μm2
で照射したときの黒化開始に要する時間の変化を示した
ものである。同図からGeの添加量を増加していくと黒
化開始の照射時間は徐々に長くなることがわかる。これ
はGeの添加によって、アモルファス状態にある記録薄
膜の結晶化温度が上昇したことによるものである。Ge
の添加は黒化感度の低下を招くが、同図から添加量が1
5at%以下であれば問題のないことがわかる。
第7図(c)は、例えば1mw/pm”のパワーで15
μ5IIC照射して十分に黒化した部分に照射時間を5
0nsecとして照射パワーを変化して照射したときの
、白化開始に要する照射パワーの変化を示している。こ
れからTe6. Se15 Au2oにGeを添加する
ことによって白化開始に要する照射パワーは徐々に増大
するものの、本実施例における添加量の範囲内(25a
t%以下)では実用上何ら問題はない。
μ5IIC照射して十分に黒化した部分に照射時間を5
0nsecとして照射パワーを変化して照射したときの
、白化開始に要する照射パワーの変化を示している。こ
れからTe6. Se15 Au2oにGeを添加する
ことによって白化開始に要する照射パワーは徐々に増大
するものの、本実施例における添加量の範囲内(25a
t%以下)では実用上何ら問題はない。
以上によυ、 Geの添加はTe −Se −Au記録
薄膜の耐熱性向上に有効であυ、特にGeの添加量が1
5at%以下であれば、黒化特性および白化特性をとも
に良好に保ちながら耐熱性を向上させることができるこ
とがわかる。
薄膜の耐熱性向上に有効であυ、特にGeの添加量が1
5at%以下であれば、黒化特性および白化特性をとも
に良好に保ちながら耐熱性を向上させることができるこ
とがわかる。
〔実施例5〕評価材料組成としてTeとAuの原子数比
が65 : 20 : 15となるように組成制御を行
ない、同時にこのTe655e2(I Au、5とSn
、 8b、Bi、Inから選択される一元素との比を変
化させて複数個の試験片を作成した。この場合の試験片
の作成方法は4源蒸着が可能な電子ビーム蒸着機を使用
し、それぞれのソースからTe、Se、AuおよびSn
%Sb、 Bt%Inから選択される一元素を蒸着した
。他の蒸着条件は前述の実施例と同様である。
が65 : 20 : 15となるように組成制御を行
ない、同時にこのTe655e2(I Au、5とSn
、 8b、Bi、Inから選択される一元素との比を変
化させて複数個の試験片を作成した。この場合の試験片
の作成方法は4源蒸着が可能な電子ビーム蒸着機を使用
し、それぞれのソースからTe、Se、AuおよびSn
%Sb、 Bt%Inから選択される一元素を蒸着した
。他の蒸着条件は前述の実施例と同様である。
第8図(a)はTea55e26 Au、5にSnを添
加した場合、第9図(JL)はsbを添加した場合、第
10図(a)はBiを添加した場合、第11図(a)は
Inを添加した場合においてs 1mw/μm2のパ
ワーで照射したときの黒化開始に要する照射時間の変化
をそれぞれ示している。これらの図から、 Sn、 S
b。
加した場合、第9図(JL)はsbを添加した場合、第
10図(a)はBiを添加した場合、第11図(a)は
Inを添加した場合においてs 1mw/μm2のパ
ワーで照射したときの黒化開始に要する照射時間の変化
をそれぞれ示している。これらの図から、 Sn、 S
b。
Bi、Inのどの元素を添加した場合でも黒化開始に要
する照射時間が短かくなることがわかシ、特に5at%
以上添加した場合にその効果が大きいことがわかる。
する照射時間が短かくなることがわかシ、特に5at%
以上添加した場合にその効果が大きいことがわかる。
第8図(b)、第9図(b)、第10図(b)、第11
図(blは、ぞれぞれ、例えば1mw/μm2のパワー
で15μ庶照射して十分に黒化した部分に照射時間を5
0nsecとして照射パワーを変化して照射したときの
、白化開始に要する照射パワーの変化を示している。こ
れらの図から、Te6. Se2゜Au15にSn。
図(blは、ぞれぞれ、例えば1mw/μm2のパワー
で15μ庶照射して十分に黒化した部分に照射時間を5
0nsecとして照射パワーを変化して照射したときの
、白化開始に要する照射パワーの変化を示している。こ
れらの図から、Te6. Se2゜Au15にSn。
sb%Bi、 Inのどの元素を添加した場合でも、白
化開始に要する照射パワーは増加することがわかる。し
かし、Sn、 Sb、 Bi、 Inのどの元素を添加
した場合においても、その添加量が30at%以下であ
れば、十分に実用的な照射パワーと考えて差支えはない
。
化開始に要する照射パワーは増加することがわかる。し
かし、Sn、 Sb、 Bi、 Inのどの元素を添加
した場合においても、その添加量が30at%以下であ
れば、十分に実用的な照射パワーと考えて差支えはない
。
以上より、Te −Se −Au記録薄膜に5n1Sb
。
。
Bi、Inより選択される元素を5〜30 at%添加
することによって、白化特性を実用的な範囲に保ちなが
ら黒化特性を改善することのできることがわかる。
することによって、白化特性を実用的な範囲に保ちなが
ら黒化特性を改善することのできることがわかる。
〔実施例6〕基材として1.2t X 200aIOの
アクリル樹脂板を用い、記録薄膜としてTe15 Se
2゜薄膜およびTe6(、5e2oAu2o薄膜を形成
した2種類の光ディスクを試作し、記載の方法にょ多信
号の記録、消去の比較試験を行なった。各記録薄膜の形
成方法は上述の実施例と同様である。これら2種類の光
ディスクを用いて、記録パワー、消去パワーをそれぞれ
8mw、 18mwとし、消去レーザビーム長は半値巾
で約1×15μmとして白化記録と黒化消去を行なった
ところ、Tea。
アクリル樹脂板を用い、記録薄膜としてTe15 Se
2゜薄膜およびTe6(、5e2oAu2o薄膜を形成
した2種類の光ディスクを試作し、記載の方法にょ多信
号の記録、消去の比較試験を行なった。各記録薄膜の形
成方法は上述の実施例と同様である。これら2種類の光
ディスクを用いて、記録パワー、消去パワーをそれぞれ
8mw、 18mwとし、消去レーザビーム長は半値巾
で約1×15μmとして白化記録と黒化消去を行なった
ところ、Tea。
S e2oAu2o薄膜を有するディスクは単一周波数
2MHz 、ディスクの周速7m/sで、C/Nは55
dBであり、10万回記録、消去を繰9返した後にもC
/Nの劣化はほとんどみられなかった。
2MHz 、ディスクの周速7m/sで、C/Nは55
dBであり、10万回記録、消去を繰9返した後にもC
/Nの劣化はほとんどみられなかった。
一方、Te、5 Se15薄膜を有するディスクは、消
去ビームを照射しても十分に黒化せず、したがって信号
を記録しても30dB程度のC/NLか得られず、また
記録信号の消去時には黒化速度が遅いために消去ビーム
を1ターン照射しただけでは十分に消去できなかった。
去ビームを照射しても十分に黒化せず、したがって信号
を記録しても30dB程度のC/NLか得られず、また
記録信号の消去時には黒化速度が遅いために消去ビーム
を1ターン照射しただけでは十分に消去できなかった。
〔発明の効果〕以上述べたように本発明の光学情報記録
部材は、アモルファスとして安定なTe−8e薄膜にA
uを添加することによって信号の記録ビット(アモルフ
ァス)の安定性をそこなうことなく、その消去感度を向
上させておシ、TeとSe、!:Auの適正な原子数の
割合を数多くの実験によって第1図のA、B、C,、D
で示す枠の範囲に定めている。またGeを添化すること
によって耐熱性を向上し、さらにSn、 Sb、 In
。
部材は、アモルファスとして安定なTe−8e薄膜にA
uを添加することによって信号の記録ビット(アモルフ
ァス)の安定性をそこなうことなく、その消去感度を向
上させておシ、TeとSe、!:Auの適正な原子数の
割合を数多くの実験によって第1図のA、B、C,、D
で示す枠の範囲に定めている。またGeを添化すること
によって耐熱性を向上し、さらにSn、 Sb、 In
。
Biから選択された元素を添加することによって記録特
性をあまシ低下させることなく消去特性を向上させてい
る。したがってTe−8eを主成分とする信号の書き換
え可能な従来の光学情報記録薄膜のもつ欠点を解消し、
実用的にすぐれた光ディスクを提供するすぐれた効果を
有する。
性をあまシ低下させることなく消去特性を向上させてい
る。したがってTe−8eを主成分とする信号の書き換
え可能な従来の光学情報記録薄膜のもつ欠点を解消し、
実用的にすぐれた光ディスクを提供するすぐれた効果を
有する。
第1図二本発明の記録薄膜の組成を示す三角座標図
第2図二本発明の光学情報記録部材の断面間第3因二本
発明の光学情報記録部材の特性評価装置の光学系概略図 第4図:本発明の記録薄膜(Se、。Au80)+。。 ・XTe xの(a)黒化特性、(b)白化特性を示す
グラフ 第5図:本発明の記録薄膜(Te?!I Se2!I−
x Aux )の(a)黒化特性、(b)白化特性を示
すグラフ 第6図二本発明の記録薄膜(Te、 Se5.−zAu
x )の(a)黒化特性、(b)白化特性を示すグラフ 第7図二本発明の記録薄膜(Te6HSe1g Au2
0 )+004 Gexの(a)耐熱特性、(b)黒化
特性、(e)白化特性を示すグラフ 第8図:本発明の記録薄膜(Te15 Se80Au1
5 )1゜0デSnxの(a)黒化特性、(b)白化特
性を示すグラフ 第9図:本発明の記録薄膜(Te6.5e2oAu15
)80。−XSbxの(aJ黒化特性、(bJ白化特
性を示すグラフ 第10図:本発明の記録薄膜(Te6!l 5etjO
Au1s )too−x Bjxの(a)黒化特性、(
bl白化特性を 、示すグラフ 第11図一本発明の記録薄膜(Te、 5n2oAu1
5 )1゜。−エInxの(a)黒化特性、(b)白化
特性を示すグラフ 図面の浄書(内r〆に変更なし) 牙1図 工 第2図 才3Ii4 第4図 〔(ん80Au5゜)80。−X仏] 9、セ 籍−間(b笈) p、?? 封 l\0ワ−ζ−■//4−1す第5図 〔氾’)S Se 2弘工A帽 (cL) 黒 イヒ 1キ+ 1注9y 曳キ峠
間(,4−5ec) (し) 6 イL @ ・II主 pp 的′ パワー (i、−v/、ψ九つIr6図 〔茹5tuf−エA、工〕 (OL)黒化特1吐 照 41 峠間 (ハ沁) (シ) ぐ6 イI:nプ「1゛、生?、1蛋゛
峠 パワー (−V△−ζン牙8v!J 位)男Xし屏惚 明 月 帳 間炉A) (リ 6 イヒ # ’I’生 回航/\a17− (−△噂 J−’7 図 [’(Kts5−20AUIs )+、−xSらメコ眩
射 時 間(*9り 眩鰐rSq−(−一吟一帽 牙10図 (α) 、粗 イ七、 44 1住 照 射 @藺C7−5e□) (シ) 白 イし @11菓 艮ゼ 44 バr7−C−VZ仏鴫す 才//E Qg 打 時開〈々Sξ) (+lo)白 イし ’¥’j M’!198 鄭
l\0ワー(肯V/u、ytつ手 続 補 正
書(方式) t 事件の表示 昭和60年特許顧第169605号 2 発明の名称 光学情報記録部材 五 補正をする者 事件との関係 特許出願人 571 大阪府門真市大字門真1006番地582
松下電器産業株式会社 4、代理人
発明の光学情報記録部材の特性評価装置の光学系概略図 第4図:本発明の記録薄膜(Se、。Au80)+。。 ・XTe xの(a)黒化特性、(b)白化特性を示す
グラフ 第5図:本発明の記録薄膜(Te?!I Se2!I−
x Aux )の(a)黒化特性、(b)白化特性を示
すグラフ 第6図二本発明の記録薄膜(Te、 Se5.−zAu
x )の(a)黒化特性、(b)白化特性を示すグラフ 第7図二本発明の記録薄膜(Te6HSe1g Au2
0 )+004 Gexの(a)耐熱特性、(b)黒化
特性、(e)白化特性を示すグラフ 第8図:本発明の記録薄膜(Te15 Se80Au1
5 )1゜0デSnxの(a)黒化特性、(b)白化特
性を示すグラフ 第9図:本発明の記録薄膜(Te6.5e2oAu15
)80。−XSbxの(aJ黒化特性、(bJ白化特
性を示すグラフ 第10図:本発明の記録薄膜(Te6!l 5etjO
Au1s )too−x Bjxの(a)黒化特性、(
bl白化特性を 、示すグラフ 第11図一本発明の記録薄膜(Te、 5n2oAu1
5 )1゜。−エInxの(a)黒化特性、(b)白化
特性を示すグラフ 図面の浄書(内r〆に変更なし) 牙1図 工 第2図 才3Ii4 第4図 〔(ん80Au5゜)80。−X仏] 9、セ 籍−間(b笈) p、?? 封 l\0ワ−ζ−■//4−1す第5図 〔氾’)S Se 2弘工A帽 (cL) 黒 イヒ 1キ+ 1注9y 曳キ峠
間(,4−5ec) (し) 6 イL @ ・II主 pp 的′ パワー (i、−v/、ψ九つIr6図 〔茹5tuf−エA、工〕 (OL)黒化特1吐 照 41 峠間 (ハ沁) (シ) ぐ6 イI:nプ「1゛、生?、1蛋゛
峠 パワー (−V△−ζン牙8v!J 位)男Xし屏惚 明 月 帳 間炉A) (リ 6 イヒ # ’I’生 回航/\a17− (−△噂 J−’7 図 [’(Kts5−20AUIs )+、−xSらメコ眩
射 時 間(*9り 眩鰐rSq−(−一吟一帽 牙10図 (α) 、粗 イ七、 44 1住 照 射 @藺C7−5e□) (シ) 白 イし @11菓 艮ゼ 44 バr7−C−VZ仏鴫す 才//E Qg 打 時開〈々Sξ) (+lo)白 イし ’¥’j M’!198 鄭
l\0ワー(肯V/u、ytつ手 続 補 正
書(方式) t 事件の表示 昭和60年特許顧第169605号 2 発明の名称 光学情報記録部材 五 補正をする者 事件との関係 特許出願人 571 大阪府門真市大字門真1006番地582
松下電器産業株式会社 4、代理人
Claims (3)
- (1)テルル(Te)、セレン(Se)および金(Au
)を主成分として含み、これらの元素の割合が、Te、
Se、Auをそれぞれ100at%の頂点とする三角座
標図において座標(at%)が、 A(Te_8_0Se_1_5Au_5)、B(Te_
4_0Se_5_0Au_1_0)C(Te_4_0S
e_1_7Au_4_3)、D(Te_5_0Se_5
Au__1_5)の4点で囲まれた範囲内にある組成を
もつ 記録薄膜を有することを特徴とする光学情報記録部材。 - (2)添加物質として添加量が15at%以下のゲルマ
ニウムを含むことを特徴とする特許請求の範囲(1)の
光学情報記録部材。 - (3)添加物質としてスズ、アンチモン、ビスマスおよ
びインジウムのなかから選択された元素の少くとも一種
以上を含み、その添加量の総和が5〜30at%である
ことを特徴とする特許請求の範囲(1)の光学情報記録
部材。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60169605A JPH0675994B2 (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | 光学情報記録部材 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60169605A JPH0675994B2 (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | 光学情報記録部材 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6230084A true JPS6230084A (ja) | 1987-02-09 |
JPH0675994B2 JPH0675994B2 (ja) | 1994-09-28 |
Family
ID=15889593
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60169605A Expired - Lifetime JPH0675994B2 (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | 光学情報記録部材 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0675994B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01162247A (ja) * | 1987-12-18 | 1989-06-26 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 書換型相転移光記録媒体 |
USD938557S1 (en) | 2019-04-19 | 2021-12-14 | Aalberts Integrated Piping Systems Apac Inc. | Coupling |
-
1985
- 1985-07-31 JP JP60169605A patent/JPH0675994B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01162247A (ja) * | 1987-12-18 | 1989-06-26 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 書換型相転移光記録媒体 |
USD938557S1 (en) | 2019-04-19 | 2021-12-14 | Aalberts Integrated Piping Systems Apac Inc. | Coupling |
USD939672S1 (en) | 2019-04-19 | 2021-12-28 | Aalberts Integrated Piping Systems Apac Inc. | Coupling |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0675994B2 (ja) | 1994-09-28 |
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