JPS62136041A - ウエハプロ−バ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の分野］ 本発明は’ＡＭ回路チップを焼込む半導体ウェハの検査
装置に使用するウエハプローバであり、更に具体的にい
えば不良集積回路チップに不良マークを付する装置の改
良に関するものである。

［発明の背景］ 従来のウエハプローバにはインカー駆動の結果をモニタ
ーする機能は無く、そのためテストの途中において、イ
ンカーの動作不良、又はインク切れ等の障害があった場
合には不良集積回路チップに不良マークを付することが
できず、後の工程において良品と誤認されることがあっ
た。

このためパッケージング終了後のテストで不良品が多く
発見されるという不都合があった。

又、インカーの動作不良やインク切れ等に至らない場合
でも、経時的なインクの硬化等により不良マークの大ぎ
ざがばらつくことがしばしばあって、これが後の工￥１
（例えばダイマウンター）において良、不良チップの誤
検出の原因になっていた。

最近、この点を改善する目的で、インカーとは別の位置
に不良マーク検出用のセンサーを設けたウエハプローバ
が提案されている。しかしこれは、ウェハ上の全チップ
のテスト及び不良集積回路チップへのインキングが終了
した時点で不良マークの検知を行うため次のような欠点
があった。

１）集積回路チップのテストの途中でインカー不良が発
生した場合でも全チップのテスト完了までこの不良の検
出ができなかった。又、この場合、再テストを行う必要
があるが、再テストを行うとポンディングパッドを傷め
るため、良品の集積回路チップまで６不良品にしてしま
う恐れがあった。

２）不良マークの大きさを一定に保つ機能がないため、
後の工程において良ブツプを不良チップとして、又は不
良チップを良チップとして誤認する場合があった。

３）全チップのテスト終了後、別な位置で不良マークの
検出を行っていたため、スルーブツトが低下していた。

４）不良チップの位置等を記憶するメモリー等が必要で
あった。

［発明の目的］ 本発明の目的はインカーによる不良マークを常に一定の
大きさに保つウエハプローバを提供することにより従来
技術の問題点を解消することにある。

この目的は本発明に従って、インカー駆ｇＩＩＪ時にイ
ンカーにより付けられる不良マークの大きさを検知して
、この大きさが適当な大きさになった時点でインカー駆
動を停止する機能をウエハプローバにもたせることによ
り達成される。すなわち、本発明に従ってウエハプロー
バは、インカーが被検体ウェハに付するマークを検知し
、その大きさを表わす信号を発生する検知装置、この検
知装置からの信号によりマークが適正な大きさとなった
ときを決定しその時点で信号を発生するマークサイズ判
別装置、及びこの判別装置からの信号に応答してインカ
ードライバーの動作を停止させるコントローラを備えて
いる。

［実施例］ 第１図は本発明の実施例を示す。第１図において、１は
テス１へ対象となるウェハ、２はウェハを搭載してＸＹ
方向に移動できるウェハチャック、３はウェハ上の集積
回路チップとテスター（図示せず）との電気的なコンタ
クトをとるために用いられるプローブカード、４は不良
チップに不良マークを付するインカー、５は不良マーク
を検出するためのＴＶカメラ、６はＴＶカメラ５で検出
した不良マークを観察するためのＴＶモニター、７はＶ
カメラで検出した不良マークが最適な大きざになったと
きに、不良マーク検出信号を出力するマークサイズ判別
ユニット、８はインカー４を駆動するインカードライバ
ー、９はインカードライバー８の駆動を行い、そしてマ
ークサイズ判別ユニット７からの不良マーク検出信号に
よりインカードライバー８の駆動を停止するコントロー
ラである。

動作を説明づる。ウェハ１の集積回路チップはウェハチ
ャック２のＸＹ方向と上下方向の動きによりプローブカ
ード３と電気的な接続が行なわれる。この後テスター（
図示せず）によりこの集積回路チップのテストが実施さ
れ、もしそのチップが不良ならばインカードライバー８
で駆動されるインカー４により不良マークが付けられる
。この不良マークを付ける際マークサイズ判別ユニット
７がインカー４の駆動中不良マークの大きさを検出して
おり最適な大きさになったときに不良マーク検出信号を
コントローラ９に出力する。この信号に応答してコント
ローラ９はインカードライバー８の駆動を停止する。

マークサイズ判別ユニット７はＴＶカメラ５からの不良
マーク部の水平映像信号の中の数本を積分し、この水平
映像信号中の黒レベル、つまりインカーにより付けられ
た不良マークの大ぎさを検出する。

第２図は本発明の別な実施例を示す。第１図の実施例と
同様に、１はウェハ、２はウェハチャック、３はプロー
ブカード、４はインカーをそれぞれ示している。８はイ
ンカー４を駆動するインカードライバー、９はコントロ
ーラ、１０は高指向性の発光ダイオード、１１はハーフ
ミラ−１１２はホトセンサー、１３はホトセンサー入っ
て来る光量レベルによりインカーによる不良マークが最
適となったかどうかを判断するためのコンパレータであ
る。

動作は発光ダイオード１０からの光をマークに照射し、
その反射光をホトセンサー１２で検出することを除いて
は、第１図の実施例と同様であり、その説明は省略する
。この第２図の実施例は第１図の実施例に比較して、構
成が簡単であり、小型でもあるので、プローブカード等
の観察用の実体顕微鏡内に装備することもできる 本発明のウエハプローバにおいてはインカーの駆動停止
タイミングを不良マークが最適な大きさになった時とな
るようにコントロールしているが、このインカー駆動は
連続である必要はなく、複数回の間欠駆動で行ってもよ
い。その場合には駆動回数の調整を行うこととなる。

不良マークの大きさが小さいためにインカーの針先が不
良マーク検出の防げとなる場合には、間欠駆動の方が有
効となることもある。

又、不良マークを検出する手段として一次元のラインセ
ンサを使用してもよい。

［発明の効果］ 以上説明したようにインカー駆動時に不良マークの大き
さ検出を行い、これが最適となるように、制御すること
により次のような効果が得られる。

１）集積回路チップのテス１への途中でインカー不良が
発生した場合ずくにこの不良状態を検出することができ
、インカー不良による時間損失を回避できる。

又、再テストの必要がなくなり、再テストによる良品の
集積回路チップの損傷も回避できる。

２）不良マークの大きさを一定に保てるので後の工程に
おいて、不良マークの検出が確実となる。

３）テスト位置でインカー駆動と検知とを行うため別位
置で検知を行う場合に比較して時間損失が少ない。

４）テスト位置でインカー駆動と検知とを行うため不良
集積回路チップの位置等を記憶するメモリー等は不要と
なる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の第１の実施例の略図である。 第２図は、本発明の第２の実施例の略図である。 添付図において１はウェハ、２はウェハチャック、３は
プローブカード、４はインカー、５はＴＶカメラ、６は
ＴＶモニター、７はマークサイズ判別ユニット、８はイ
ンカードライバー、９はコント０−ラ、１０は発光ダイ
オード、１１はハーフミラ−１１２はホトセンサ、１３
はコンパレータである。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、インカー、 このインカーを駆動するインカードライバー、前記のイ
   ンカーが被検体ウェハに付するマークを検知し、その大
   きさを表わす信号を発生する検知装置、 この検知装置からの信号により前記のマークが適正な大
   きさとなったときを決定し信号を発生するマークサイズ
   判別装置、及び この判別装置からの信号に応答して前記のインカードラ
   イバーの動作を停止させるコントローラを備えたことを
   特徴とするウエハプローバ。 ２、前記の検知装置がＴＶカメラである特許請求の範囲
   第１項に記載のウエハプローバ。 ３、前記の検知装置が発光ダイオード、ホトセンサ及び
   この発光ダイオードからの光を被検体ウェハに投射し、
   そしてウェハからの反射光を前記のホトセンサに投射す
   るハーフミラーを含む特許請求の範囲第１項に記載のウ
   エハプローバ。 ４、前記の検知装置が一次元のラインセンサを含む特許
   請求の範囲第１項に記載のウエハプローバ。 ５、前記のインカードライバーがインカーを間欠駆動す
   るドライバーである特許請求の範囲第１項に記載のウエ
   ハプローバ。