JPS62116434A

JPS62116434A - Ｉｃシ−ト給排装置

Info

Publication number: JPS62116434A
Application number: JP60252644A
Authority: JP
Inventors: Yukio Kato; 幸男加藤
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1985-11-13
Filing date: 1985-11-13
Publication date: 1987-05-28

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔目　次〕・概要・産業上の利用分野・従来の技術・発明が解決しようとする問題点・問題点を解決するための手段・作用・実施例（Ｉ）第１実施例（第１図〜第１３図）（（ｂ）ＩＣ自
動切断成形装置（第１３図）（２１１Ｃシートローダ（
第１図〜第１２図）Ｔａ）　　マガジン（第１図、第５
図）（ｂｌ　　マガジンストック部（第１図〜第３図）
（Ｃ）ＩＣシート供給部（第６図〜第１２図）■　ＩＣ
シート供給ヘッド ※　ＩＣシート吸着ヘッド（第９図。

第１０図） ※　ヘッド送り機構（第６図〜第８図）※　ダイヤル式
ストッパ（第１１図。

第１２図） ■　リフト（第１図、第３図）（ｄ＋　　マガジン返送部（第１図、第３図）Ｃｆｒ）
第２実施例・発明の効果〔概　要〕ＩＣシート処理部に対するＩＣシートの供給または排出
を行うＩＣシート排装置であって、上部にＦＣシート出
入口を有しＩＣシートを上下に積み重ねて収容可能なマ
ガジンを複数個水平方向へ並列させた状態でストックし
、このマガジンを所定のＩＣシート出入位置へ順送りし
、その位置で真空吸着式のＩＣシート着ヘッドを鉛直方
向へ上下動させてマガジンに対するＩＣシートの出し入
れを行い、且つＩＣシート吸着ヘッドをＩＣシート出入
位置とＩＣシート処理部間で水平方向へ搬送してＩＣシ
ートの給排を行うような構成とすることにより、高速の
ＩＣシート給排を実現したものである。

〔産業上の利用分野〕

本発明はＩＣ（集積回路）の製造技術、特に複数のＩＣ
がリードフレームで相互連結された状態のＩＣシートの
処理技術に関し、更に詳しくはＩＣシートのＩＣシート
処理部への供給またはＩＣシート処理部からの排出（以
下これらをｒｌＧＩＣシート排」と総称する）を自動的
に行うＩＣシート給排装置に関する。

ＩＣシートの処理には、ＩＣを個々に切り離してリード
端子の曲げ加工を行うＩＣ切断成形処理（いわゆるプロ
ダレ処理）の他に、ＩＣシートに各種のマークや記号を
捺印するマーキング等、種々の処理がある。これらの処
理を自動的に行う装置は各種実用化されているが、これ
らの装置を効率良く稼動させるためにはＩＣシートの効
率的且つ長時間の自動連続給排が不可欠である。

〔従来の技術〕

従来、ＩＣシートをＩＣシートストック部にストックし
ておき、このストック部とＩＣシート処理部との間でＩ
Ｃシート給排を行うようにしたＩＣシート給排装置が実
用化されている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来装置は、ストック部の構造や、ストック部とＩＣシ
ート処理部間のＩＣシート給排部の構造及び作用の点か
ら、ＩＣシート給排に時間がかかるためにＩＣシート処
理装置の効率的な高速運転ができず、従って生産性が低
いという問題があった。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明のＩＣシート給排装置は、上記問題点を解決する
ために、一ヒ部にＩＣシート出入口を有しＩＣシートを上下に積
み重ねて収容可能なマガジンを複数個水平方向へ並列さ
せた状態でストックし、且つ該マガジンを所定のＩＣシ
ート出入位置へ順送りするマガジンストック部と、ＩＣシートを真空吸着するＩＣシート吸着ヘッドと、該
ＩＣシート吸着ヘッドを水平方向ならびに鉛直方向へそ
れぞれ往復移動させるヘッド送り機構とを有し、前記Ｉ
Ｃシート出入位置のマガジンと前記ＩＣシート処理部と
の間でＩＣシート給排を行うＩＣシート給排部と、を具備してなる構成としたものである。

〔作　用〕

例えばＩＣシートをＩＣシート処理部に供給する場合、
ＩＣシート吸着ヘッドがＩＣシート出入位置で上下動し
てマガジンからＩＣシートを取り出した後、ＩＣシート
処理部へ水平移動してＩＣシートを供給する。一方、Ｉ
ＣシートをＩＣシート処理部から排出する場合は、ＩＣ
シート吸着ヘッドがＩＣシート処理部のＩＣシートを吸
着し、ＩＣシート出入位置へ水平移動した後、下降して
ＩＣシートをマガジンに収納する。

上記のようなマガジン及びマガジンストック部の構造に
よれば、ＩＣシートを高密度にストックすることができ
、従って小形にしてしかもＩＣシートストック量の大容
量化が可能である。

また、マガジン及びＩＣシート給排部の構造上、マガジ
ンに対するＩＣシートの出し入れ、及びＩＣシート出入
位置とＩＣシート処理部間のＩＣシート搬送を迅速に行
うことができ、従ってＩＣシート給排の高速化が可能で
ある。

〔実施例〕

（１）第１実施例（第１図〜第１３図）以下、本発明の
一実施例として、ＩＣ自動切断成形装置（以下「プロブ
レ装置」と称する）用のＩＣシートローダを例にとって
説明する。

（（ｂ）ＩＣ自動切断成形装置（第１３図）まずプロブ
レ装置について簡単に説明すれば、これは第１３図に示
すように基本的にはＩＣシートローダＡ１切断プレスＢ
１曲げプレスＣ１及びＩＣアンローダＤから構成されて
おり、第４図に示す如く複数のＩＣがリードフレームＦ
で相互連結された状態のＩＣシートＳを第５図に示すよ
うなマガジンＭに収容してＩＣシートローダＡに多数ス
トックしておき、それを１枚ずつ切断プレスＢに供給し
てそこでＩＣを個々に切り離し、更に曲げプレスＣで各
ＩＣのリード端子Ｌ（第４図）を曲げ成形した後、ＩＣ
ｍアンローダＤへ排出してそこにストックしておくよう
に構成されている。

（２１１Ｃシートローダ（第１図〜第１２図）次にＩＣ
シートローダＡについて説明すると、これは第１図から
第３図に示すように基本的にはマガジンＭをストックす
るマガジンストック部ｌ（以下単に「ストック部」と略
記）と、ストック部１の一端側のＩＣシート取出位置Ｔ
Ｐに位置するマガジンＭＡからＩＣシートＳを１枚ずつ
取り出して切断プレスＢ（第１３図）に供給するＩＣシ
ート供給部２と、ＩＣシートＳを供給し終って空になっ
たマガジンをストック部１の他端側のマガジン列最後尾
位置へ返送するマガジン返送部３とを有する。尚、符号
４は操作パネルを示す。以下、各部の構成及び作用を詳
細に説明する。

（ａｌ　　マガジン（第１図、第５図）マガジンＭは特
に第１図から明らかなように全体的には高さ、横幅に比
べ厚さが小さな直方体の形状であり、その具体例を第５
図に平面図で示しである。尚、ＩＣシー）Ｓ（第４図）
にはその長さや幅寸法の異なる多くの種類があり、マガ
ジンＭもそれに応じて多数種類用意されるが、第５図に
はそのうちの１種類のみ例示しである。マガジンＭは基
本的に底板５１、前板５２、後板５３、外側板５４、内
側板５５から構成されており、Ｉｃシー１−３（第５図
では半分のみ仮想線で且つハツチングを付して示しであ
る）をそれぞれ水平状態にて上下に積み重ねて収容でき
るようにしである。マガジンＭの上部は開放したＩＣシ
ート出入口となっており、ここからＩＣシートＳが出し
入れされる。また、前板５２は両側部分にだけ設けられ
ていて中央部は開放し、且つ底板５１には左右２箇所に
切欠５６が形成されていて、後述するよう２０にマガジ
ンＭ内のＩＣシートＳをリフト２２（第１図、第３図）
の爪２２ａによって出入口に向って上昇させられるよう
にしである。

更に、マガジンＭの寸法は、厚さＴならびに内法幅Ｗｌ
はＩＣシートｓの外形寸法に対応させて異なるが、外法
幅Ｗ及び高さは共通とし、後述するようにどの種類のマ
ガジンでもストック部ｌに収納できるようにしである。

（ｂｌ　　マガジンストック部（第１図〜第３図）第２
図及び第３図から明らかなように、ストック部１は底壁
、左右両側壁で囲まれて上方が開放した室であり、複数
のマガジンＭがそれぞれ縦向きに且つ互いに平行な状態
で水平方向へ一定の配列ピッチｐ（第３図）で−列に並
べてストックされる。

ストック部１にはマガジン給送機構が設けられており、
これによりマガジン列はその配列ピッチｐを保ったまま
配列ピッチｐに相当する距離ずつ矢印Ｘ方向へステップ
送りされ、各マガジンＭがＩＣシート取出位置ＴＰへと
順送りされる。このマガジン給送機構は、第２図に符号
１１で一部のみ示すように、ストック部１の左右両側に
それぞれ１対ずつ設けた保持杆及び給送杆からなる。保
持杆及び給送杆にはマガジンＭの外側縁に設けたガイド
レール５７　（第５図）が嵌合し得るようなガイド溝を
マガジン配列ピッチｐと同じピッチで形成しである。保
持杆及び給送杆は共にマガジンに対し横方向へ往復移動
して全マガジンに対し同時に係脱可能であり、給送杆は
更にマガジン配列方向へそれの配列ピッチｐに相当する
距離だけ往復移動可能である。これにより、通常は保持
杆及び給送杆が共にマガジンＭに係合してそれを保持し
ており、そしてマガジン給送時は保持杆がマガジンから
外れ、給送杆がマガジンに係合したまま矢印Ｘ方向へ距
離ｐだけ移動する。そこで保持杆が再びマガジンに係合
してそれを保持する一方、給送杆はマガジンから外れて
給送前の位置へ戻り、再びマガジンに係合して保持杆と
共にマガジンを保持する。このようにしてマガジン列は
矢印Ｘ方向へ距離ｐずつステップ送りされ、各マガジン
ＭはＩＣシート取出位置ＴＰへ順送りされることになる
。尚、このマガジンのステップ送りは、後述するマガジ
ン返送部３による空マガジンの返送と連携して行われる
。

（Ｃ）　ＩＣシート供給部（第６図〜第１２図）ＩＣシ
ート供給部２は基本的には第１図〜第３図に示すように
ＩＣシート供給ヘッド２１と、リフト２２とを有してい
る。

■　ＩＣシート供給ヘッドまず、ＩＣシート供給ヘッド２１は第６図〜第８図に示
すようにＩＣシートローダのコラム２３上の水平なボッ
クスビーム２４に装着され、基本的にはＩＣシートＳを
吸着するＩＣシート吸着ヘッド６０と、これを鉛直方向
及び水平方向へそれぞれ往復移動させるヘッド送り機構
とから構成されている。以下これらについて項を分けて
詳述する。

※　ＩＣシート吸着ヘッド（第９図、第１０図）ＩＣシ
ート吸着へラド６０は第９図及び第１Ｏ図に明示するよ
うにソケット６１とヘッド本体６２との２つの部分から
なっている。ソケット６１は下部に開口室を有し、ここ
にヘッド本体６２が着脱可能に装着されるようになって
いる。

またソケット６１の上部には平行な２本の真空圧導路Ｌ
ＡＩ、ＬＡ２が形成され、上端部には継手ＣＩ　　Ｃ２
を設けである。これらの継手は図示していないフレキシ
ブルチューブを介して真空ポンプに接続されている。尚
、ソケット６０の背面にはストツバ６３を固設しである
。このストッパは切断プレスＢにおいて使用するもので
ある。

一方、ヘッド本体６２は上部のボス部分６４と下部の吸
着部分６５とを有する。ボス部分６４はソケット６１に
着脱可能に挿入され、そして第１０図に示すようにボス
部分の前後面に形成したテーパ付き段差部６６にソケッ
ト６１の前面から止めネジ６７を螺入係合させて抜は止
めされる。

ボス部分６４にはまた２本の真空圧導路ＬＢ　１゜ＬＢ
２が形成され、これらはパツキン６８を介してソケット
６０の真空圧導路ＬＡＩ、ＬＡ２にそれぞれ個別に接続
される。

また吸着部分６５には２本の真空圧導路ＬＣ１゜ＬＣ２
、及び４つの吸着ポートＥＰＩ、ＥＰ２゜ＣＰＩ、ＣＰ
２が形成されている。真空圧導路ＬＣＩはボス部分６４
の真空圧導路ＬＢＩに接続され、そして吸着部分の中央
吸着ボー１−ＣＰ　１゜ＣＰ２はこの真空圧導路しＣ１
に連通している。

一方、真空圧導路ＬＣ２はボス部分６４の真空圧導路Ｌ
Ｂ２に接続され、そして吸着部分の端部吸着ポートＥＰ
Ｉ、ＥＰ２はこの真空圧導路ＬＣ２に連通している。す
なわちＩＣシート吸着ヘッド６０には互に独立した２系
統の真空吸着系、つまりコネクタＣＩ、真空圧導路ＬＡ
Ｉ、ＬＢＩ。

ＬＣＩ、中央吸着ポートＣＰＩ、ＣＰ２を含む第１系統
と、コネクタＣ２、真空圧導路ＬＡ２゜ＬＢ２．ＬＣ２
、端部吸着ポートＥＰＩ、ＥＰ２を含む第２系統とを具
備している。このような２系統の真空吸着系を設ける理
由は、ＩＣシートはその製作過程において上下に反る（
湾曲する）傾向があることから、その場合に吸着ヘッド
がＩＣシートの全面に良好に密着できずに吸着不良が生
ずるのを未然に防止するためである。つまり、上記のよ
うに中央吸着ポートＣＰＩ、ＣＰ２と端部吸着ポートＥ
ＰＩ、ＥＰ２とを別系統にしておけば、ＩＣシートが上
方へ凸状に反っている場合は端部吸着ボー１−ＥＰＩ、
ＥＰ２が吸着不良になっても中央吸着ポートＣＰ１．Ｃ
Ｐ２で確実に吸着でき、逆にＩＣシートが下方へ凸状に
反っている場合は中央吸着ポートＣＰＩ、ＣＰ２が吸着
不良になっても端部吸着ボー）ＥＰＩ、ＥＰ２で確実に
吸着できることになる。

尚、吸着部分６５の下面にはＩＣシートとの密着を良好
にするため、ゴムまたは柔軟な樹脂製の吸着板６９を貼
り付けである。

更に、ヘッド本体６２は、マガジンの場合と同様に、Ｉ
Ｃシートの種類に応じて多数種類用意される。但しそれ
のボス部分６４の形状寸法はいずれも共通にしてどの種
類でも同一のソケット６１に装着できるようになし、■
種のＩＣシートに対しヘッド本体６２の交換によって対
処できるようにして汎用性を持たせている。尚、異種ヘ
ッド本体相互間で異なるのは、吸着部分６５の長さと幅
、吸着ポートの数、配置、寸法等である。特に吸着ポー
トはＩＣシートのＩＣの配列ピッチに相応した配列とさ
れる。但し、ＩＣシートの種類によっては同一のヘッド
本体を共用できる場合もある。

※　ヘッド送り機ｆ＃（第６図〜第８図）ヘッド送り機
構は第６図から第８図に示すように基本的に水平送りキ
ャリッジ７１と、鉛直送りキャリッジ７２とを有してい
る。

水平送りキャリッジ７１は特に第８図に示すようにＬ字
形の部材であり、その底壁には直線運動軸受７３が固定
されていて、ボックスビーム底板２５　（第８図）に固
定のガイドレール７４に沿って水平方向に往復移動可能
である。一方、第７図に示すようにボックスビーム底板
２５の両端部にはそれぞれブラケット７５．７６が固定
され、これらのブラケットにエアーシリンダ７７が前記
のガイドレール７４と平行な配置で固定されている。

エアーシリンダ７７の内部には永久磁石のピストンが入
っており、また、外側には軟磁性体からなるスライダ７
８が嵌合しており、そしてこのスライダ７８はピン７９
を介して水平送りキャリッジ７１に連結されている。エ
アーシリンダ７７に両端部から交互にエアーを供給する
と、ピストンの移動に伴ってスライダ７８が磁気的にエ
アーシリンダ７７に沿って往復移動し、従って水平キャ
リアシフ１は第７図の実線図示位置（７１）と仮想線図
示位置（７１Ａ）との間を往復移動する。

また、第７図に示すようにブラケット７５にはネジ軸８
１がナツトで固定され、その先端には水平送りキャリッ
ジ７１の実線図示位置での停止位置を規定するゴム製ま
たは樹脂製のストッパ８２が設けられている。ネジ軸８
１の固定位置を調整すれば、キャリッジ７１の停止位置
を調整できる。

一方、スライダ７８の上部にブロック８３が固定され、
これにネジ軸８４が螺入されていて、その先端にゴムま
たは樹脂製のストッパ８５が取り付けられている。この
ストッパ８５は、スライダ７８が仮想線図水位Ｒ（７８
Ａ）へ移動したときに、後述するダイヤル式ストッパ１
００に当接してスライダ７８の（つまりは水平送りキャ
リッジ７１の）停止位置を規定するためのものであり、
ネジ軸８４の固定位置を調整することによってスライダ
７８の停止位置を調整できる。

※　ダイヤル式ストッパ（第１１図、第１２図）ダイヤ
ル式ストッパ１００は第７図に明示するようにボックス
ビーム２４の左端板２６に設けられ、基本的にダイヤル
１０１　と、ストッパ盤１０２とからなっている。ダイ
ヤル１０１のボス１０３は左端板２６を貫通し、その内
側突出端にストッパ盤１０２がナツト１０４で止められ
ている。第１１図及び第１２図に示すように、ストッパ
盤１０２の外側面の周縁部には個々に高さの異なる複数
個（図示例では１２個）のス）７バ１０５が３０°の等
角度ピッチで配置固定されている。いまこれらのストッ
パ１０５にそれぞれＮｏ、１〜１２の番号（第１１図）
を付すとすると、それに対応する数字１〜１２がダイヤ
ル１０１の外周に標記しく第６図）、そしてボックスビ
ーム２４の前面に標記した矢印１０６（第７図）にダイ
ヤル１０１の成る数字を合わせるとそれに対応するスト
ッパが第１１図に示す位置１０５　Ａに位置するように
しである。この位置１０５Ａは前述したスライダ７８の
ストッパ８５と対応する位置であり、従ってスライダ７
８が仮想線図示位置（８５Ａ）に来たときにストッパ８
５がこの位’ｌ　１０５Ａのストッパ１１５に当接し、
位置決めされる。従って、ダイヤル１０１を回転し、所
望のストッパ１０５を位置１０５Ａに合わせることによ
り、スライダ７８の（つまり水平送りキャリッジ７１の
）停止位置（７１Ａ）を多段に且つ簡単に調整できる。

尚、ダイヤル１０１にはネジ込み式ボールクリック１０
７（第７図）を設け、これによってダイヤル１０１をそ
の回転調整された調整位置に保持するようにしである。

このような多段調整可能なストッパを設けるのは、ＩＣ
シートの種類によって切断プレスＢでのＩＣシート供給
位置を調整する必要があることに対処するためであり、
上記のようなダイヤル式は調整が簡単で実用上非常に有
利である。

さてヘッド送り機構の説明に戻ると、スライダ７８には
特に第８図に示す如く平板を２回り字形に折り曲げた形
状の舌片８６を取り付けてあり、そして特に第７図に示
すようにスライダ７８の両端停止位置（７８，７８Ａ）
のそれぞれ近傍に固設したブラケット８７．８８に透過
式光センサ８９゜９０を取り付けである。スライダ７８
の舌片８６がこれらの光センサ８９，９０に挿間される
ことによりスライダ７８がそれぞれ実線図示値Ｉｆ　（
７８）または仮想線図水位Ｗ（７８Ａ）に来たことが検
知され、これに基づいてスライダ駆動用アクチュエータ
（図示せず）が作動停止されるようになっている。

次に、第６図〜第８図に示すように、水平送りキャリッ
ジ７１の前壁には基板９１が固着され、鉛直送りキャリ
ッジ７２はこの基Ｆｉ９１に左右１対の直線運動軸受９
２（第６図、第７図）によって鉛直方向へ在住移動自在
に取り付けられている。

基板９１の上部にはエアーシリンダ９３が下向きに固設
され、それのピストンロッド先端部のフランジ９３ａが
キャリッジ７２の前面突起７２ａ、７２ｂ間に係合し、
エアーシリンダ９３の作動によりキャリッジ７２が上下
駆動される。尚、エアーシリンダ９３のストロークの上
下限（つまりキャリッジ７２の上下動ストロークの上下
限）はエアーシリンダ９３に設けたリミットスイッチｓ
ｗ、、ｓｗ。

によって規定される。

そしてこの鉛直送すキャリッジ７２にＩＣシート吸着ヘ
ッド６０が装着される。つまりヘッド６０のソケット６
１が左右１対の直線運動軸受９４（第６図、第７図）に
よって鉛直方向へ摺動自在に装着され、そしてバネ９５
　（第８図）によって懸架されている。従ってヘッド６
０は鉛直送すキャリッジ７２に対し成る程度の上下動が
自由な浮動状態に支持されている。

■　リフト（第１図、第３図）リフト２２は特に第３図に示すようにＩＣシートローダ
Ａのコラム２３内に設けられ、図示してないスプロケッ
ト・チェーンなどの駆動機構によって鉛直方向へ往復駆
動される。このリフト２２はストック部１内に突出する
２本の爪２２ａを有し、ＩＣシート取出位置ＴＰのマガ
ジンＭＡ内のＩＣシートＳの堆積体を第５図に示す如く
爪２２ａで押し上げる作用をする。このようなリフト２
２を設けたのは、後述するように切断プレスＢへのＩＣ
シート供給に際してマガジンＭＡ内のＩＣシート数が減
るにつれてＩＣシート堆積体をリフト２２で押し上げ、
ＩＣシート供給ヘッド６０によるＩＣシート吸着が常に
良好に行われるようにするためである。

次に上記のＩＣシート供給部２の作用について説明する
。

（ｉ）最初、ＩＣシート供給ヘッド２１は第６図及び第
７図に示す如＜ＩＣシート取出位置ＴＰＯ上方に位置し
く実線図示位置）、またリフト２２はその下方位置にあ
る。

（ｉｉ）前述のようにマガジンＭＡがＩＣシート取出位
置ＴＰに送られると、ＩＣシート供給へフド２１のエア
ーシリンダ９３が作動し、鉛直送りキャリッジ７２と共
にＩＣシート吸着ヘッド６０が矢印ＺＩ　（第６図、第
８図）方向へ下降し、マガジンＭＡ内の一番上側のＩＣ
シートＳに密着してこれを真空吸着する。この際、ＩＣ
シートＳに反りや、傾き、凹凸があっても、前述の如く
ヘッド６０を鉛直送りキャリッジ７２にばね９５で浮動
状態に懸架しであること、及び吸着部分６２に柔軟な吸
着板６９を設けであることから、良好な吸着が可能であ
る。それでもなお補償し得ないような反りがある場合で
も、前述したようにヘッド６０には２系統の真空吸着系
を設けであるため、中央吸着ボー）ＣＰＩ、ＣＦ２また
は端部吸着ポートＥＰＩ、ＥＰ２　（第９図）のいずれ
かで常に確実に吸着可能である。尚、ＩＣシートＳの吸
着は真空圧センサ（図示せず）によって検知される。

（ｉｉｉ）ＩＣシートＳが吸着されると、エアーシリン
ダ９３が運動し、鉛直送すキャリッジ７２及びＩＣシー
ト吸着ヘッド６０が矢印Ｚ２方向へ上界し、ＩＣシート
ＳをマガジンＭＡから取り出す。

（ｉｖ）そうすると前述したように水平送りキャリッジ
７１が矢印Ｙ＋（第６図、第７図）方向へ駆動され、ヘ
ッド６０は前述したようにスライダ７８に設けたストッ
パ８５とダイヤル式ストッパ１００のストッパ１０５で
規定される位置６０Ａへ送られ、停止させられる。そし
てヘッド６０をその位置に保持したまま、あるいは必要
ならばエアーシリンダ９３を作動させて下降させた後、
真空吸着を解除してＩＣシートを離し、切断プレスＢの
ＩＣシート供給位置に載置する。

（ｖ）ＩＣシート供給が終了すると、水平送りキャリッ
ジ７１は矢印Ｙ２方向へ戻され、ヘッド６０はＩＣシー
ト取出位ｆｆＴＰ上方の初期位置へ復帰する。

（ｖｉ）以上の（ｉ）〜（ｖ）の動作はマガジンＭＡ内
のＩＣシートＳを全て供給し終えるまで繰り返される。

この際、前述したようにマガジンＭＡ内のＩＣシートが
減るにつれてＩＣシート堆積体がリフト２２で押し上げ
られ、−櫓上側のＩＣシートが常にほぼ一定の高さ位置
にあってヘッド６０によるＩＣシート取出しが最後まで
円滑に行われる。尚、マガジンＭＡのＩＣシートの供給
が終了したか否か、つまりマガジンＭＡにＩＣシートが
残っているかまたは空になったか否かは、ＩＣシート取
出位置ＴＰの上下位置に透過式光センサ（図示せず）を
設けておき、そのセンサ光がマガジンＭＡを透過するか
否かによって検知する。

そのために第５図に示すようにマガジンＭの底板５１の
一定の位置にセンサ光透過用の穴５８を設けである。Ｉ
ＣシートＳがマガジン返送部に残っている間はセンサ光
はＩＣシートに遮られて検知されず、マガジンが空にな
るとセンサ光が穴５８を透過して検知され、マガジンＭ
Ａが空になったこと（つまりＩＣシート取出しが終了し
たこと）が検知される。

（ｖｉ）マガジンＭＡからのＩＣシート供給が終了する
と、この空になったマガジンは次に説明するマガジン返
送部３によってストック部１の他端例のマガジン列最後
尾位置へ戻される一方で、ストック部１内の次のマガジ
ンＭがＩＣシート取出位ｆｉＴＰへ送られ、ＩＣシート
供給部２によりＩＣシート供給が開始される。

尚、第６図から第８図の符号２７はＩＣシート供給へラ
ド２１の露出部分を覆う安全カバーを示す。図示してな
いがこのカバー２７はボックスビーム２４にヒンジでも
って上側へ開くことができるように取り付けられている
。しかもＩＣシートローダＡにはこのカバー２７を開い
たときにＩＣシートローダの作動を停止するような機構
を設けて、更に安全を図っている。

（ｄ）　　マガジン返送部（第１図、第３図）マガジン
返送部３は第３図に示すようにストック部１のＩＣシー
ト取出位置ＴＰ及びマガジン列最後尾位置の下方にそれ
ぞれ配置された第１及び第２のエレベータ３１．３２を
有する。第１エレベータ３１はその上下位置３１ａ、３
１ｂ間を上下動可能であり、通常は上方位置３１ａにあ
ってＩＣシート取出位ｆｉＴＰのマガジンを支持してい
る。一方、第２エレベータ３２もやはり上下位置３２ａ
。

３２ｂ間を上下動可能で、通常は上方位置にあってマガ
ジン列最後尾のマガジンを支持している。

前記のようにＩＣシート取出位置のマガジンＭＡが空に
なると、第１エレベータ３１の矢印Ｒ０方向への下降に
よってマガジンＭＡは下降させられる。下降されたマガ
ジンＭＡ、（第１図）は水平搬送体（図示せず）へと移
し変えられ、第１エレヘータ３１は上方位置３１　ａへ
戻る。そうすると前述したストック部１でのマガジン列
のステップ送りがなされ、次のマガジンがＩＣシート取
出位置ＴＰへ送られて第１エレベータ３１で支持される
。一方、このマガジン列のステップ送りによって第２エ
レヘータ３２は空になり、その下方位置３２ｂへと下降
する。そうすると上記の水平搬送体がマガジンＭＡ、を
矢印Ｒ２方向へ水平搬送し、第２エレベータ３２に載せ
る。そうすると第２エレベータ３２が矢印Ｒ１方向へ上
昇し、水平送りされたマガジンＭＡｚ（第１図）はスト
ック部１のマガジン列最後尾位置へ送られることになる
。

以上の如く、上記ＩＣシートローダ八へよれば、ＩＣシ
ートＳが収容された填装マガジンＭをス１−ツク部１に
多数ストックしておけば、ストック部１でのマガジンス
テップ送りとマガジン返送部３での空マガジン返送とに
よってマガジンＭは第１図に矢印Ｘ、Ｒ，，Ｒ２，Ｒ：
ｌで示すような矩形の搬送経路に沿って循環送りされ、
従って全てのマガジンが空になるまでＩＣシート供給部
２によって切断プレス部ＢへのＩＣシート供給が連続且
つ自動的に行われる。

また、マガジンＭおよびマガジンストック部１の構造上
、大量のＩＣシートをスト・ツク可能であることから、
長時間自動連続運転が可能である。

従って深夜の無人運転や、あるいは−人の作業員が何台
もの装置を担当する省力化運転が可能となる。

更に、上記ＩＣシートローダＡはマガジンを所定のＩＣ
シート取出位置へ順送りし、そこでＩＣシートを真空吸
着式ＩＣシート供給ヘッドでマガジンの上部出入口から
取り出し、切断プレスへ搬送する方式であるから、ＩＣ
シートの取出及び搬送が迅速にできる。特に図示実施例
の場合、ＩＣシート吸着ヘッドは独立した２系統の真空
吸着系を備えていることからＩＣシートに反りがある場
合でも確実且つ迅速に吸着でき、またヘッド送りも単純
な水平送りと鉛直送りのみでしかもダイヤル式ストッパ
などでヘッド停止位置を高精度に位置決めできるので、
ＩＣシート供給を１枚当り０、８５−一０．９秒程度の
高速で行うことが可能である。

（ｎ）第２実施例上記の第１実施例はＩＣシートをストックしておいてそ
れをＩＣシート処理装置に供給するＩＣシートローダで
あるが、これはＩＣシート処理装置から処理済みＩＣシ
ートを排出してそれをストックしておくＩＣシートアン
ローダとして、例えばＩＣシートに各種のマークや記号
を捺印するマーキング装置のＩＣシートアンローダとし
ても適用可能である。

この場合の構成及び作用はほとんど第１実施例と同じで
あり、単にストック部１に空マガジンをストックしてお
き、ＩＣシート供給部２をＩＣシート排出部として作用
するように変えるだけで良い。つまり、第１実施例では
ＩＣシート供給ヘッド２１はＩＣシート取出位ｆｆＴＰ
でＩＣシートを吸着してマガジンから取り出し、ＩＣシ
ート処理装Ｗ（切断ブレスＢ）でＩＣシートを離すよう
に作用するが、これを逆にしてＩＣシート処理装置（マ
ーキング装置）でＩＣシートを吸着し、ＩＣシート取出
位置ＴＰ　（この場合は「ＩＣシート収納位置」となる
）でＩＣシートを離してマガジンに収納するようにする
。また、ＩＣシートを空マガジンに収納し始めるときは
リフト２２を最上位置に上昇させておき、ＩＣシートの
数が多くなるにつれて下降させるようにする。尚、マガ
ジンがＩＣシートで満杯になったことを検知するには第
１実施例で説明したようなと下方向の透過式光センサで
は不可能であるが、例えば水平方向の１式光センサを用
いれば可能である。ストック部１におけるマガジン列の
ステップ送りならびに満杯になったマガジンのマガジン
列最後尾への返送は第１実施例の場合と同様である。こ
のようにしてマーキング装置からＩＣシートを排出して
マガジンに収納し、ストック部に大量にストックしてお
くことが可能である。

〔発明の効果〕

以上の如く、本発明によるＩＣシート給排装置は多くの
利点を有する。これを要約すれば以下の如くである。

（イ）Ｉｃシート処理装置に対するＩＣシートの供給及
び排出のいずれにも使用可能である゛。

（ロ）マガジン及びマガジンストック部の構造上、ＩＣ
シートを非常に大量にストックすることができ、長時間
自動連続運転が可能となるため、深夜無人運転や、１人
の作業員が何台もの装置を担当する省力化運転が可能と
なり、生産性および省力化の大幅な向上を実現できる。

（ハ）また、同じくマガジン、マガジンストック部、及
びＩＣシート給排部の構造および作用上、ＩＣシート給
排を非常に高速化でき、高い生産性を実現し得る。

尚、図示実施例個有の利点として以下の利点が挙げられ
る。

（ニ）ＩＣシーｌ〜給排部のＩＣシート吸着ヘッドに独
立した２系統の真空吸着系を具備したことにより、ＩＣ
シートに反りがある場合でもそれを確実に吸着できる。

（ホ）ＩＣシート給排部のヘッド送り機構にダイヤル式
ストッパを設けたことにより、Ｉｃシート処理装置での
ＩＣシート給排位置が異なる場合でもヘッドの水平送り
停止位置を簡便且つ正確に調整可能である。

（へ）そしてＩＣシート吸着ヘッドをヘッド送り機構に
交換自在に、しかもその着脱部分をヘッドの種類に関係
なく共通としたことから、異種ＩＣシートに対して簡単
なヘッド交換作業だけで対処でき、汎用性がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の基本構成図、第２図はＩＣ
シートローダの外観斜視図、第３図はＩｃシートローダ
の側面図、第４図はＩＣシート一例の平面図、第５図はマガジンの一例の平面図、第６図はＩＣシート供給部の正面図、第７図はＩＣシート供給部の一部断面平面図、第８図は
ＩＣシート供給部の一部断面側面図、第９図はＩＣシー
ト吸着ヘッドの一部断面正面図、第１０図は第９図のＡ−Ａ矢視断面図、第１１図はスト
ッパ盤の正面図、第１２図はストッパ盤の一部断面側面図、第１３図はＩ
Ｃ自動切断成形装置の外観斜視図である。第１図から第１３図において、ＡはＩＣシートローダ、Ｍ、ＭＡはマガジン、ＳはＩＣシート、ｌはマガジンストック部、２はＩＣシート供給部、３はマガジン返送部、２１はＩＣシート供給ヘッド、２２はリフト、６０はＩＣシート吸着ヘッド、６１はソケット、６２はヘッド本体、７１は水平送りキャリッジ、７２は鉛直送りキャリッジ、１００はダイヤル式ストッパである。

Claims

【特許請求の範囲】１、ＩＣシート処理部に対するＩＣシートの供給または
排出を行うＩＣシート給排装置であって、（ａ）上部に
ＩＣシート出入口を有しＩＣシートを上下に積み重ねて
収容可能なマガジンを複数個水平方向へ並列させた状態
でストックし、且つ該マガジンを所定のＩＣシート出入
位置へ順送りするマガジンストック部、及び（ｂ）ＩＣシートを真空吸着するＩＣシート吸着ヘッド
と、該ＩＣシート吸着ヘッドを水平方向ならびに鉛直方
向へそれぞれ往復移動させるヘッド送り機構とを有し、
前記ＩＣシート出入位置のマガジンと前記ＩＣシート処
理部との間でＩＣシート給排を行うＩＣシート給排部、を具備してなることを特徴とするＩＣシート給排装置。２、前記ＩＣシート給排部のＩＣシート給着ヘッドは、
ＩＣシートの中央部分を吸着する中央吸着ポートを含む
第１真空吸着系と、ＩＣシートの両端部を吸着する端部
吸着ポートを含む第２真空圧吸着系との、互に独立した
２つの真空吸着系を具備することを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載のＩＣシート給排装置。３、前記ＩＣシート給排部のヘッド送り機構は、前記Ｉ
Ｃシート出入位置とＩＣシート処理部間を水平方向へ往
復移動する水平送りキャリッジと、該水平送りキャリッ
ジに鉛直方向へ往復移動するように設けられた鉛直送り
キャリッジとを具備し、該鉛直送りキャリッジに前記Ｉ
Ｃシート吸着ヘッドが上下動自在に弾性懸架されている
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項または第２項に
記載のＩＣシート給排装置。４、前記ＩＣシート吸着ヘッドは、前記鉛直送りキャリ
ッジに懸架されたソケットと、該ソケットに着脱可能に
挿着されるヘッド本体とを有することを特徴とする特許
請求の範囲第３項記載のＩＣシート給排装置。５、前記ヘッド本体は、前記ソケットに挿着されるボス
部分と、ＩＣシート吸着ポートが形成された吸着部分と
を有し、該吸着部分の寸法形状はＩＣシートの形状寸法
に相応するも、ボス部分の寸法形状はＩＣシートの寸法
形状に関係なく一定であることを特徴とする特許請求の
範囲第４０項記載のＩＣシート給排装置。６、前記ＩＣシート給排部は更に、ＩＣシート給排によ
るマガジン内のＩＣシート数の増減につれてマガジン内
のＩＣシート堆積体を降下または上昇させるリフトを具
備することを特徴とする特許請求の範囲第１項〜第５項
のいずれかに記載のＩＣシート給排装置。７、前記ＩＣシート給排部は更に、前記水平送りキャリ
ッジのＩＣシート処理部側停止位置に、回転可能なディ
スク状基板の片面の周縁部分にそれぞれ高さの異なる複
数のストッパを等角度ピッチで固設してなるダイヤル式
ストッパを具備し、該ストッパを回転調整することによ
って水平送りキャリッジの停止位置を調整可能としたこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項〜第６項のいずれ
かに記載のＩＣシート給排装置。