JPS6211575A - 単分子膜形成方法 - Google Patents
単分子膜形成方法Info
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- JPS6211575A JPS6211575A JP14819485A JP14819485A JPS6211575A JP S6211575 A JPS6211575 A JP S6211575A JP 14819485 A JP14819485 A JP 14819485A JP 14819485 A JP14819485 A JP 14819485A JP S6211575 A JPS6211575 A JP S6211575A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- monomolecular film
- substrate
- roll
- layer
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はウェブ状基体上又はウェブ状基体に設けられた
層上に両親媒性分子の単分子膜を連続的に形成する方法
に関する。
層上に両親媒性分子の単分子膜を連続的に形成する方法
に関する。
従来、ガラス、金属材料、金属蒸着膜、等の基体上に有
機化合物の薄膜を形成することが種々性われておシ、そ
の1つとして両親媒性分子の単分子層を設ける方法が例
えばラングミュア等(Laogmuir−Blodge
tt、 ”Physical Reuiew”、 51
゜664(1937)によって提案されている。この方
法は1両親媒性分子である飽和脂肪酸ヲハンゼン等の揮
発性溶媒に溶解した溶液を水面上に静から滴下すると、
溶媒が揮発したあとに単分子膜が残される。このように
して形成された単分子層を圧縮して所定の表面圧にした
後に、ガラス基板を水中に浸°漬して引上げるとガラス
表面に単分子膜が形成される。この場合ガラス基板を引
き上げると第4図に示すように単分子膜の水に面してい
る親水層が基板側に付き、疎水基(又は親油基)が表、
面に並ぶ単分子膜構成となるC人形膜と称する)。
機化合物の薄膜を形成することが種々性われておシ、そ
の1つとして両親媒性分子の単分子層を設ける方法が例
えばラングミュア等(Laogmuir−Blodge
tt、 ”Physical Reuiew”、 51
゜664(1937)によって提案されている。この方
法は1両親媒性分子である飽和脂肪酸ヲハンゼン等の揮
発性溶媒に溶解した溶液を水面上に静から滴下すると、
溶媒が揮発したあとに単分子膜が残される。このように
して形成された単分子層を圧縮して所定の表面圧にした
後に、ガラス基板を水中に浸°漬して引上げるとガラス
表面に単分子膜が形成される。この場合ガラス基板を引
き上げると第4図に示すように単分子膜の水に面してい
る親水層が基板側に付き、疎水基(又は親油基)が表、
面に並ぶ単分子膜構成となるC人形膜と称する)。
またガラス基板を浸漬すると第5図のように疎水基(又
は親油基)が基板側に付き親水基が表面に並ぶ単分子膜
構成となるCB形膜と称する)。
は親油基)が基板側に付き親水基が表面に並ぶ単分子膜
構成となるCB形膜と称する)。
(「薄膜ハンドブックJ、268〜269頁1日本学術
振興会編、昭和58年12月、■オーム社発行)。
振興会編、昭和58年12月、■オーム社発行)。
このような方法による単分子層が最近エレクトロニクス
等の分野において絶縁層等に利用されるようになシ、種
々の改良が提案されている(例えば、特開昭52−98
038号公報)。
等の分野において絶縁層等に利用されるようになシ、種
々の改良が提案されている(例えば、特開昭52−98
038号公報)。
また、本出願人は、先に蒸着又は電解メッキ等によって
支持体上に強磁性合金薄膜を形成した磁気記録媒体にこ
の方法を利用して飽和脂肪酸またはその金属塩の単分子
層を保護層として設けることを提案した(特公昭56−
30609号公報)。
支持体上に強磁性合金薄膜を形成した磁気記録媒体にこ
の方法を利用して飽和脂肪酸またはその金属塩の単分子
層を保護層として設けることを提案した(特公昭56−
30609号公報)。
これらの改良方法においては、例えば第3図に示すよう
に、タンク1の下層液(水層)2の表面にベンゼン、ク
ロロホルム等の揮発性溶媒に溶解したステアリン酸、パ
ルミチン酸の如き飽和脂肪酸の溶液を滴下して水面上に
飽和脂肪酸の単分子層を形成させ、水面下に一部が浸漬
しているシリンダー5等の適当な圧縮手段によって単分
子層4を圧縮して固体状単分子膜(凝集膜)6となし。
に、タンク1の下層液(水層)2の表面にベンゼン、ク
ロロホルム等の揮発性溶媒に溶解したステアリン酸、パ
ルミチン酸の如き飽和脂肪酸の溶液を滴下して水面上に
飽和脂肪酸の単分子層を形成させ、水面下に一部が浸漬
しているシリンダー5等の適当な圧縮手段によって単分
子層4を圧縮して固体状単分子膜(凝集膜)6となし。
水中に設けられたガイrローラ7によって案内される基
体8の表面に単分子膜9が形成される。この場合、基体
の引き上げ時に単分子膜全形成すればA形膜引き込れ時
にはB形膜が形成される。基体に付着してはこび出され
る分の単分子層は、ノズルから脂肪酸溶液を供給するこ
とによって補結される。
体8の表面に単分子膜9が形成される。この場合、基体
の引き上げ時に単分子膜全形成すればA形膜引き込れ時
にはB形膜が形成される。基体に付着してはこび出され
る分の単分子層は、ノズルから脂肪酸溶液を供給するこ
とによって補結される。
前記技術は下層液(水相)上への固体膜の形成を連続的
に行うという点から、従来のパッチ式に比べて大きな進
歩であるが、工業的生産という観点からみると、例えば
人形膜を作る場合、基体上への単分子膜の転写過程にお
いて、基体の移動速度を非常におそくしなければならな
いと云う欠点がある。すなわち、人形膜を作る場合、基
体の引き上げ速度を速くすると、下層液をも一緒に引き
上げ、これが単分子膜の下に入シこんでしまい、この蒸
発が単分子層に阻害されて非常におそいと共に、完全に
蒸発した後も形成される単分子膜のち密度に欠陥を生じ
させるからである。
に行うという点から、従来のパッチ式に比べて大きな進
歩であるが、工業的生産という観点からみると、例えば
人形膜を作る場合、基体上への単分子膜の転写過程にお
いて、基体の移動速度を非常におそくしなければならな
いと云う欠点がある。すなわち、人形膜を作る場合、基
体の引き上げ速度を速くすると、下層液をも一緒に引き
上げ、これが単分子膜の下に入シこんでしまい、この蒸
発が単分子層に阻害されて非常におそいと共に、完全に
蒸発した後も形成される単分子膜のち密度に欠陥を生じ
させるからである。
さらにまた、これらの従来方式においては、基体を−た
ん下層液に引き入れなければならないので、基体全体が
下層液、例えば水で濡らされることになシ、基体の種類
によっては好ましくなり、、また、乾燥に手間がかかる
等の問題がある。
ん下層液に引き入れなければならないので、基体全体が
下層液、例えば水で濡らされることになシ、基体の種類
によっては好ましくなり、、また、乾燥に手間がかかる
等の問題がある。
また、場合によっては基体のバック面にも単分子層が付
着したり1例えば引き上げ法によって人形膜を形成する
場合、基体を水中に引き入れる時にB形膜が形成される
可能性があるので、これらが生じないよう単分子層の移
行可能な範囲を制限するために特別な手段全槽する必要
がある。
着したり1例えば引き上げ法によって人形膜を形成する
場合、基体を水中に引き入れる時にB形膜が形成される
可能性があるので、これらが生じないよう単分子層の移
行可能な範囲を制限するために特別な手段全槽する必要
がある。
従って本発明の目的は上記の如き問題音生ずることなく
、高速で単分子膜を基体に形成させる方法を提供するこ
とに6る。
、高速で単分子膜を基体に形成させる方法を提供するこ
とに6る。
本発明の他の目的は、基体を水中に浸漬することなく基
体に単分子膜を形成させる方法を提供することにある。
体に単分子膜を形成させる方法を提供することにある。
本発明者らは種々検討を重ねた結果、上記目的は「2本
ロール」方式を利用することによって達成できることを
見出し本発明を得ることができた。
ロール」方式を利用することによって達成できることを
見出し本発明を得ることができた。
すなわち、本発明は、両親媒性分子の単分子膜をウェブ
状基体上に形成する方法において、下層液上に展開され
た固体状単分子膜f、、回転軸が水平に設定され、その
一部が上記液中に浸漬された第1の回転ロールにより適
量の下層液と共に引き上げ、前記第1のロールの上方に
近接して適当な小間隙を保って配置された第2の回転ロ
ールに密着しながら移動するウェブとの間に液だまbt
影形成ながら該ウェブ上に前記単分子膜を転写すること
を特徴とする単分子膜形成方法である。
状基体上に形成する方法において、下層液上に展開され
た固体状単分子膜f、、回転軸が水平に設定され、その
一部が上記液中に浸漬された第1の回転ロールにより適
量の下層液と共に引き上げ、前記第1のロールの上方に
近接して適当な小間隙を保って配置された第2の回転ロ
ールに密着しながら移動するウェブとの間に液だまbt
影形成ながら該ウェブ上に前記単分子膜を転写すること
を特徴とする単分子膜形成方法である。
以下、本発明を蒸着型磁気記録媒体に保護層を設ける場
合について説明するが、本発明は、これのみに限られず
、エレクトロニクスその他の分野における単分子膜の形
成に応用できることは勿論である。
合について説明するが、本発明は、これのみに限られず
、エレクトロニクスその他の分野における単分子膜の形
成に応用できることは勿論である。
第1図は本発明の1例を示す説明であってタンク1内の
下層液(水層)2にノズル3から両親媒性分子を揮発性
溶媒に溶解した溶液を適下K、下層液面上に両親媒性分
子の単分子層4′t−形成させる。
下層液(水層)2にノズル3から両親媒性分子を揮発性
溶媒に溶解した溶液を適下K、下層液面上に両親媒性分
子の単分子層4′t−形成させる。
揮発性溶媒としては、ヘキサン、クロロホルム。
ジクロロメタン(ンゼン等が用いられ、両親媒性分子と
しては、保護層として用いる場合は、トリデカン酸、ミ
リスチン酸、ペンタデカン酸、パルミチン酸、マルガリ
ン酸、ステアリン酸、ノナデカン酸、アラキン酸等の炭
素数13〜21の直鎖型脂肪酸又はこれらのLi、Na
、に、Mg、Ca、Ba等の塩が用いられる。下層液と
しては一般に純水または無機塩等の水溶液が用いられる
。好ましい下層液はCa 、Cd 、Ba 、M
g 等の二価の金属イオンを含み、炭酸、炭酸水素
す) リウムを加えてpH?調整したものである。
しては、保護層として用いる場合は、トリデカン酸、ミ
リスチン酸、ペンタデカン酸、パルミチン酸、マルガリ
ン酸、ステアリン酸、ノナデカン酸、アラキン酸等の炭
素数13〜21の直鎖型脂肪酸又はこれらのLi、Na
、に、Mg、Ca、Ba等の塩が用いられる。下層液と
しては一般に純水または無機塩等の水溶液が用いられる
。好ましい下層液はCa 、Cd 、Ba 、M
g 等の二価の金属イオンを含み、炭酸、炭酸水素
す) リウムを加えてpH?調整したものである。
次に、水面上く形成された単分子層を圧縮して塗布域に
導く。このためKは、例えばテフロンやポリエチレンの
如き疎水性材料か、ノぞイレックスガラスやアルミニウ
ム合金の如き材料よシなるシリンダ5を水中に一部浸漬
し、矢印方向に回転させて表面の単分子層4だけを塗布
域に送って圧縮し、固体状単分子膜層6y&−形成させ
る。
導く。このためKは、例えばテフロンやポリエチレンの
如き疎水性材料か、ノぞイレックスガラスやアルミニウ
ム合金の如き材料よシなるシリンダ5を水中に一部浸漬
し、矢印方向に回転させて表面の単分子層4だけを塗布
域に送って圧縮し、固体状単分子膜層6y&−形成させ
る。
塗布域には第1の回転ロール10が回転軸を水平に設定
し、その一部が液中に浸漬するように設けられておシ、
またその上方に近接して適当な小間隙を保って第2の回
転ロール1)が回転ロール10と平行に設けられ、ウェ
ブ状基体8t−矢印方向に連続的に走行させる。第1回
転ロール10は下層液と親和性のあるステンレス鋼等よ
シなシ、矢印方向に回転させることにより適量の下層液
と共に下層液水面よシ、第1回転ロール上液面及び前記
液溜まシ表面を介して、固体状単分子膜6のみが基体8
に転写され、基体上に単分子膜9αを形成する。その際
第1回転ロールの表面速度v0はロール表面の液膜及び
前記液溜まシを維持できる範囲で低速に保つことが望ま
しい、tた条件によっては、一旦液溜tシが形成された
あとは、第1回転ロールの回転を停止しても、ロール表
面の液膜と液溜まシを維持できる場合もある。以上述べ
た本発明の固体単分子膜の転写プロセスを第3図に示す
従来方式と比較すると、従来方式では固体単分子膜の転
写が下層液面上で行われると共K。
し、その一部が液中に浸漬するように設けられておシ、
またその上方に近接して適当な小間隙を保って第2の回
転ロール1)が回転ロール10と平行に設けられ、ウェ
ブ状基体8t−矢印方向に連続的に走行させる。第1回
転ロール10は下層液と親和性のあるステンレス鋼等よ
シなシ、矢印方向に回転させることにより適量の下層液
と共に下層液水面よシ、第1回転ロール上液面及び前記
液溜まシ表面を介して、固体状単分子膜6のみが基体8
に転写され、基体上に単分子膜9αを形成する。その際
第1回転ロールの表面速度v0はロール表面の液膜及び
前記液溜まシを維持できる範囲で低速に保つことが望ま
しい、tた条件によっては、一旦液溜tシが形成された
あとは、第1回転ロールの回転を停止しても、ロール表
面の液膜と液溜まシを維持できる場合もある。以上述べ
た本発明の固体単分子膜の転写プロセスを第3図に示す
従来方式と比較すると、従来方式では固体単分子膜の転
写が下層液面上で行われると共K。
転写部における液溜tbのサイズは十分に大きbのに対
し、本発明では固体単分子膜の転写が第1回転ロール上
方の液溜まシで行われるため、液溜′!!シ内部に重力
により負圧が作用するほか、液溜1シのサイズも小さい
ため、液溜iシよシ下層液が基体に引き上げられる傾向
が抑制されることになシ、これによって高速度での単分
子膜転写が可能になっているものと考えられる。またそ
の場合第1回転ロールの速度が低いほど上記抑制効果が
大きくなることが理解できる。
し、本発明では固体単分子膜の転写が第1回転ロール上
方の液溜まシで行われるため、液溜′!!シ内部に重力
により負圧が作用するほか、液溜1シのサイズも小さい
ため、液溜iシよシ下層液が基体に引き上げられる傾向
が抑制されることになシ、これによって高速度での単分
子膜転写が可能になっているものと考えられる。またそ
の場合第1回転ロールの速度が低いほど上記抑制効果が
大きくなることが理解できる。
第1図に例示する態様において第1回転ロール10の径
は、5m+++〜50箇程度が好ましい。5m以下では
高速での転写が困難になF)、50tm以上ではロール
表面の液膜及び液溜まシの安定な維持が困難になる。こ
のように比較的細い径のロールを用いるため、基体の幅
が広くなシ、ロール全体もそれに応じて長くなると、a
−ルがたわみ支障を引き起こす場合があるので、その場
合はロールの下にテフロンなど滑りやすい素材でバック
アップを用いることが望ましい、一方策2同転ロール1
)の径は第1回転ロールの径と略同等でよいが。
は、5m+++〜50箇程度が好ましい。5m以下では
高速での転写が困難になF)、50tm以上ではロール
表面の液膜及び液溜まシの安定な維持が困難になる。こ
のように比較的細い径のロールを用いるため、基体の幅
が広くなシ、ロール全体もそれに応じて長くなると、a
−ルがたわみ支障を引き起こす場合があるので、その場
合はロールの下にテフロンなど滑りやすい素材でバック
アップを用いることが望ましい、一方策2同転ロール1
)の径は第1回転ロールの径と略同等でよいが。
たわみを防止する意味で10w〜100m程度が好まし
い。
い。
基体8としては、蒸着テープの場合は、例えばホリエチ
レンテレフタレートフィルムfCCo−Ni 系合金を
蒸着した強磁性簿膜を有する蒸着型磁気記録媒体等が用
いられ、上記の操作により強磁性薄膜上の飽和脂肪酸の
単分子膜よりなる保護層が形成される。
レンテレフタレートフィルムfCCo−Ni 系合金を
蒸着した強磁性簿膜を有する蒸着型磁気記録媒体等が用
いられ、上記の操作により強磁性薄膜上の飽和脂肪酸の
単分子膜よりなる保護層が形成される。
本発明で用いられる基本としては、上記のものに限定さ
れず、他のタイプの強磁性薄膜、例えば、電解メッキ、
又は無電解メッキ等によって形成された薄膜を有する磁
気記録媒体であってもよく、さらに磁気記録媒体のみな
らず、他の材料であってもよい。また、必要力らば、上
記操作をくシ返すことKよシ所望数の単分子層からなる
重ttt’e形成させることができる。
れず、他のタイプの強磁性薄膜、例えば、電解メッキ、
又は無電解メッキ等によって形成された薄膜を有する磁
気記録媒体であってもよく、さらに磁気記録媒体のみな
らず、他の材料であってもよい。また、必要力らば、上
記操作をくシ返すことKよシ所望数の単分子層からなる
重ttt’e形成させることができる。
上記、第1図の場合は、基体に付着する単分子膜の極基
基が人形膜(第4図)の場合であったが、第2図のよう
に第2回転ロール1)の回転を逆にし、基体8の走行方
向を矢印方向にすると、B形膜(第5図)を形成させる
ことができる。
基が人形膜(第4図)の場合であったが、第2図のよう
に第2回転ロール1)の回転を逆にし、基体8の走行方
向を矢印方向にすると、B形膜(第5図)を形成させる
ことができる。
この場合は液だまシから基体の離れる部分において、基
体と第1回転ロールが同一方向に進むため、第1図の場
合と事情が大いに異ってくる。即ち、第2図において基
体8への下層液の転写を抑制するために、第1回転ロー
ルの表面速度U□は同ロール上の液膜が乱れない限シ高
速くすることが望ましい。−万両ロールの径についても
第1図の場合と異る。第1回転ロールは高い表面速度を
安定に得るために50瓢〜200m程度の比較的大径が
、第2回転ロールも第1回転ロールと同等に50m〜2
00m+程度が望ましい。
体と第1回転ロールが同一方向に進むため、第1図の場
合と事情が大いに異ってくる。即ち、第2図において基
体8への下層液の転写を抑制するために、第1回転ロー
ルの表面速度U□は同ロール上の液膜が乱れない限シ高
速くすることが望ましい。−万両ロールの径についても
第1図の場合と異る。第1回転ロールは高い表面速度を
安定に得るために50瓢〜200m程度の比較的大径が
、第2回転ロールも第1回転ロールと同等に50m〜2
00m+程度が望ましい。
次に本発明を蒸着磁気テープに保護層を設ける場合に適
用した実施例について説明する。
用した実施例について説明する。
真空蒸着装置中に25μm厚50clI@巾のポリエチ
レンテレフタレートフィルムを設置し、 Co75重量
%、N125重量%の組成のもの全蒸発源フィラメント
より真空度5.0 + 10 Torr中で該フィル
ム上に0.3μmの厚さとなるように蒸着せしめた。
レンテレフタレートフィルムを設置し、 Co75重量
%、N125重量%の組成のもの全蒸発源フィラメント
より真空度5.0 + 10 Torr中で該フィル
ム上に0.3μmの厚さとなるように蒸着せしめた。
第1図に示すような装置のタンク1の水面上に(ンゼン
xooccあたυO,OO5、!i’の)ξルミテン酸
を溶解した溶液を滴下し単分子層全形成させ。
xooccあたυO,OO5、!i’の)ξルミテン酸
を溶解した溶液を滴下し単分子層全形成させ。
テフロン製のシリンダ5により圧縮して固体単分子層と
した。
した。
第1の回転ロール10は通約20態のステンレススチー
ル製ロール、第2の回転ロール1)は同径のステンレス
スチール製ロールを用い、上記蒸着フィルム全第2回転
ロール1)に密着させて走行し、両者間に液だまシ(ビ
ード)?作って単分子膜を水面からフィルム面に転写さ
せてノルミチン酸の単分子膜からなる保護層を連続的に
形成させた。この場合、第1回転ロールの回転数v1は
10 r、p、m、第2回転ロールの回転数■2は10
0r、p、m、でテープの走行速度は6.3 m /
minで良好な保護層を形成させることができる。
ル製ロール、第2の回転ロール1)は同径のステンレス
スチール製ロールを用い、上記蒸着フィルム全第2回転
ロール1)に密着させて走行し、両者間に液だまシ(ビ
ード)?作って単分子膜を水面からフィルム面に転写さ
せてノルミチン酸の単分子膜からなる保護層を連続的に
形成させた。この場合、第1回転ロールの回転数v1は
10 r、p、m、第2回転ロールの回転数■2は10
0r、p、m、でテープの走行速度は6.3 m /
minで良好な保護層を形成させることができる。
本発明によるときは、ラングミュア法を利用して下層液
を随伴することなく、高速で基体に単分子膜全形成させ
ることができ、また単分子膜の形成を基体全水中に引き
入れることなく行うので。
を随伴することなく、高速で基体に単分子膜全形成させ
ることができ、また単分子膜の形成を基体全水中に引き
入れることなく行うので。
基体が水に濡れたり、基体のバック層に単分子層が付着
する等の現象を生ずることなく所望の単分子膜全形成す
ることができる。
する等の現象を生ずることなく所望の単分子膜全形成す
ることができる。
第1図は本発明(反対方向回転)の一実施例の説明図。
第2図は本発明(同一方向回転)の他の一実施例の説明
図。 第3図は従来技術の一実施例の説明図 第4図は人形膜の原理図 第5図はB形膜の原理図である。 1・・・タンク、 2・・・下層液(水層)
3・・・ノズル、 4・・・単分子管第
1)1 1)3 図
図。 第3図は従来技術の一実施例の説明図 第4図は人形膜の原理図 第5図はB形膜の原理図である。 1・・・タンク、 2・・・下層液(水層)
3・・・ノズル、 4・・・単分子管第
1)1 1)3 図
Claims (3)
- (1)両親媒性分子の単分子膜をウェブ状基体上に形成
する方法において、下層液上に展開された固体状単分子
膜を、回転軸が水平に設定され、その一部が上記液中に
浸漬された第1の回転ロールにより適量の下層液と共に
引き上げ、前記第1のロールの上方に近接して適当な小
間隙を保つて配置された第2の回転ロールに密着しなが
ら移動するウェブとの間に液だまりを形成しながら該ウ
ェブ上に前記単分子膜を転写することを特徴とする単分
子膜形成方法。 - (2)第1のロール表面と移動ウェブが液だまりの形成
される部分において反対方向に進行する特許請求の範囲
第(1)項に記載の単分子膜形成方法。 - (3)第1のロール表面と移動ウェブが液だまりの形成
される部分において同一方向に進行する特許請求の範囲
第(1)項に記載の単分子膜形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14819485A JPS6211575A (ja) | 1985-07-08 | 1985-07-08 | 単分子膜形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14819485A JPS6211575A (ja) | 1985-07-08 | 1985-07-08 | 単分子膜形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6211575A true JPS6211575A (ja) | 1987-01-20 |
JPH0563232B2 JPH0563232B2 (ja) | 1993-09-10 |
Family
ID=15447357
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14819485A Granted JPS6211575A (ja) | 1985-07-08 | 1985-07-08 | 単分子膜形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6211575A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0312259A (ja) * | 1989-06-07 | 1991-01-21 | Nippon Laser Denshi Kk | 単分子膜の累積装置 |
-
1985
- 1985-07-08 JP JP14819485A patent/JPS6211575A/ja active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0312259A (ja) * | 1989-06-07 | 1991-01-21 | Nippon Laser Denshi Kk | 単分子膜の累積装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0563232B2 (ja) | 1993-09-10 |
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